KR20060127537A - 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents
반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 반도체 패키지가 수납된 트레이의 이송 경로 상에 설치된 제1,2비전프로브를 통해 획득한 반도체 패키지의 영상정보와 해당 랏의 반도체 패키지에 대한 기준 영상정보를 비교하여 반도체 패키지의 결합 유무를 분석하고 판별하는 중앙 제어 장치를 포함하는 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치에 있어서,상기 제1비전프로브는 상기 트레이가 이송되는 레일 방향과 동일 축상에 배치되고,상기 제2비전프로브는 상기 제1비전프로브에 대하여 소정의 각도로 회전 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2비전프로브는 상기 제1비전프로브에 대하여 직각으로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1,2비전프로브는 :렌즈를 통해 입력되는 반도체 패키지의 격자무늬 영상 또는 반도체 패키지의 표면 영상을 선택적 또는 교번적으로 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 티에스오피 투(TSOP2) 타입인 경우, 상기 제1비전프로브는 상기 격자무늬 영상 및 표면 영상을 교번적으로 촬상하고, 상기 제2비전프로브는 상기 표면 영상을 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 티에스오피 원(TSOP1) 타입인 경우, 상기 제1비전프로브는 상기 표면 영상을 촬상하고, 상기 제2비전프로브는 상기 격자무늬 영상 및 표면 영상을 교번적으로 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 큐에프피(QFP)타입인 경우, 상기 제1,2비전프로브는 상기 격자무늬 영상 및 표면 영상을 교번적으로 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 장치.
- 트레이에 반도체 패키지가 수납되어 있는 상태에서 반도체 패키지의 외관을 검사하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법에 있어서,상기 트레이가 이송되는 레일 방향과 동일 축상에 배치된 제1비전프로브로부 터 입력되는 영상정보를 이용하여 상기 트레이에 수납된 반도체 패키지들의 외관에 대한 제1영상 정보를 획득하는 단계와;획득한 제1영상 정보와 기 저장되어 있는 해당 반도체 패키지에 대한 제1영상의 기준 정보를 비교하여 반도체 패키지의 결함 유무를 분석 판별하는 제1영상처리단계와;상기 제1비전프로브에 대하여 소정의 각도로 회전 배치된 제2비전프로브로부터 입력되는 영상정보를 이용하여 상기 트레이에 수납된 반도체 패키지들의 외관에 대한 제2영상 정보를 획득하는 단계와;획득한 제2영상 정보와 기 저장되어 있는 해당 반도체 패키지에 대한 제2영상의 기준 정보를 비교하여 반도체 패키지의 결함 유무를 분석 판별하는 제2영상처리단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 제2비전프로브는 상기 제1비전프로브에 대하여 직각으로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법.
- 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 제1,2비전프로브는 :렌즈를 통해 입력되는 반도체 패키지의 격자무늬 영상 또는 반도체 패키지의 표면 영상을 선택적 또는 교번적으로 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 의 인-트레이 검사 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 티에스오피 투(TSOP2) 타입인 경우, 상기 제1비전프로브로부터 입력되는 영상정보는 상기 반도체 패키지에 대한 격자무늬 영상정보 및 표면 영상정보이고, 상기 제2비전프로브로부터 입력되는 영상정보는 상기 반도체 패키지에 대한 표면 영상정보인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 티에스오피 원(TSOP1) 타입인 경우, 상기 제1비전프로브로부터 입력되는 영상정보는 상기 반도체 패키지에 대한 표면 영상정보이고, 상기 제2비전프로브로부터 입력되는 영상정보는 상기 반도체 패키지에 대한 격자무늬 영상정보 및 표면 영상정보인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 반도체 패키지가 큐에프피(QFP)타입인 경우, 상기 제1,2비전프로브로부터 입력되는 영상정보는 상기 반도체 패키지에 대한 격자무늬 영상정보 및 표면 영상정보인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 인-트레이 검사 방법.
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