KR20060096717A - 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 에지 결함 및 디스컬러 검사장치는, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조를 위한 유리기판을 운반하는 로딩유닛과, 로딩유닛에 의하여 공급된 유리기판의 에지 및 디스컬러를 검사하는 검사유닛 및 로딩유닛 및 검사유닛을 제어하는 제어유닛을 구비하며, 이와 같은 구성의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 의하면, 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 유무의 검사를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조공정 중에 자동적으로 진행할 수 있어 경제적이며, 연속된 증착이나 식각, 스퍼터링 등 플라즈마를 이용한 공정들 사이에 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 배치하여 실시간으로 유리기판의 적합성 상태를 확인할 수 있어 경제적이며 신속한 공정을 진행할 수 있는 효과를 제공한다.
박막 트랜지스터 액정 표시 장치, 유리기판

Description

유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치{Apparatus for edge defect and discolor testing of glass board}
도 1은 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치가 배치되는 위치를 나타낸 측면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 1의 검사유닛에 의하여 유리기판의 에지를 순차적으로 검사하는 것을 나타낸 동작도이다.
도 4는 도 2에 의한 에지 결함 및 디스컬러 검사 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 나타낸 평면도이다.
도 6은 도 5에 의한 디스컬러 검사 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
도 7은 도 5에 의한 또 다른 디스컬러 검사 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
10: 로딩유닛
11: 플레이트
12: 이송부재
20: 검사유닛
21: 검사 창
22: 카메라
22a: 중앙 카메라
22b: 측부카메라
23: 집광렌즈
24: 감지센서
25: 조명기
26: 검사 프레임
30: 제어유닛
31: 모니터
40: 유리기판
본 발명은 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 관한 것으로서, 특히 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(TFT-LCD)에서 박막 트랜지스터(TFT) 및 컬러 필터(color filter) 형성을 위한 유리기판의 에지(edge) 결함 및 디스컬러 (discolor) 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 크게 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 하부 유리기판과, 컬러 필터가 형성되어 있는 상부 유리기판, 및 하부 유리기판과 상부 유리기판 사이에 주입된 액정으로 구성된다.
이러한 박막 트랜지스터와 컬러 필터를 형성하기 위한 유리기판에 결함이 생기게 되면, 즉 유리기판의 에지가 깨지거나 금이 가는 등 결함이 발생하게 되면, 유리기판 상에 박막 트랜지스터 및 컬러 필터를 증착, 식각 등의 공정시 유리기판 전체가 깨지는 일이 발생하게 된다.
그러면, 공정이 이루어지는 챔버 내부의 전극 등에 손상을 가하거나 깨진 유리기판의 파편이 날려 챔버 내부를 오염시키게 된다.
또한, 유리기판에 필름의 증착이나 식각 등이 균일하게 되지 않을 경우 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 액정에서 표현되는 색깔에 이상이 발생하게 되어, 즉 디스컬러가 발생하게 되어 불량제품이 생산되게 된다.
따라서, 유리기판을 공정 챔버에 넣어 증착이나 식각, 스퍼터링 등의 플라즈마를 이용하는 공정을 행하기 전에 유리기판의 에지에 결함이 있거나 불균일한 증착이나 식각 등이 있는지 유리기판을 각각의 공정에 들어가기 전에 검사하게 된다.
이러한 검사장비로써 종래에는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조공정에 사용되는 장치와는 별도로 유리기판 에지 검사장치와 유리기판 디스컬러 검사장치를 마련하였다.
그런데, 이와 같은 종래의 유리기판 에지 검사장치와 유리기판 디스컬러 검 사장치 각각은 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조 설비와 별개로 구성되어 있다. 즉, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 이를 제조를 위하여 여러 공정을 반복하여 완성되는데, 각각의 공정마다 유리기판의 에지 검사와 디스컬러 검사를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조 설비와 일체로 구성되어 있지 않은 별개의 장치로 가져가 에지 검사 및 디스컬러 검사를 각각 따로 해야 하는 불편함과 시간이 많이 소요되는 비경제적인 문제점이 있다.
또한, 디스컬러 검사장치의 경우 유리기판에 특정 파장의 빛을 조사하여 유리기판 표면과 입사광의 반사각에 의해 관측되는 무늬를 시각적으로 판단하게 되므로 관측자의 주관에 의해 관측 결과가 달라질 수 있으므로 정확한 관측이 불가능한 문제점이 있다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조를 위한 각각의 연속된 공정 장치들 사이에 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 위치시켜 연속적으로 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러를 실시간으로 검사할 수 있는 개선된 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치는, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조를 위한 유리기판을 운반하는 로딩유닛; 상기 로딩유닛에 의하여 공급된 상기 유리기판의 에지 및 디스컬러를 검사하는 검사유 닛; 및 상기 로딩유닛 및 상기 검사유닛을 제어하는 제어유닛;을 구비한다.
여기서, 상기 유리기판에 대한 상기 에지 검사와 상기 디스컬러 검사는 동시에 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유리기판에 대한 상기 에지 검사와 상기 디스컬러 검사는 선택적으로 어느 하나의 검사가 행해지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 로딩유닛은, 상기 유리기판을 수용하는 플레이트; 및 상기 플레이트가 회동 가능하도록 상기 플레이트의 일측에 결합한 이송부재;를 구비한 것이 바람직하다.
또한, 상기 검사유닛은, 상기 유리기판이 통과되도록 검사 창이 형성된 검사 프레임; 상기 유리기판 진행 방향의 검사 프레임 양면에 설치되어 상기 검사 창을 통과하는 상기 유리기판의 존재 유무를 감지하는 감지센서; 상기 검사 창 상부에 설치되어 상기 유리기판의 에지를 검사하는 복수의 카메라; 상기 검사 창 하부에 설치되어 상기 검사 창을 통과하는 상기 유리기판에 빛을 조사하는 조명기; 및 상기 검사 프레임 상부에 설치되며, 상기 조명기에 의하여 조사된 빛을 집광하여 상기 제어유닛에 전달하는 복수의 집광렌즈를 구비한 것이 바람직하다.
또한, 상기 검사 프레임 상부에는 상기 조명기에 의하여 조사된 빛을 집광하여 상기 제어유닛에 전달하는 복수의 집광렌즈가 설치되고, 상기 제어유닛에는 상기 집광렌즈에 의하여 집광된 빛을 분석하는 분광기가 구비된 것 바람직하다.
또한, 상기 분광기의 관측 파장은 180~1100나노미터이고, 해상도는 0.1~10나노미터인 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수의 카메라는, 상기 검사 창을 최초 및 최후 통과하는 유리기판의 양 단부 에지 결함을 검사하기 위하여 상기 유리기판과 수직으로 설치된 복수의 중앙 카메라; 및 상기 중앙 카메라들을 대칭축으로 양측에, 상기 유리기판의 양 단부를 연결하는 양 측단부의 에지 결함을 검사하기 위한 적어도 한 쌍의 측부 카메라;를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 측부 카메라는 상기 중앙 카메라와 평행인 것이 바람직하다.
또한, 상기 측부 카메라는 상기 중앙 카메라에 대하여 소정 각도 경사진 것이 바람직하다.
또한, 상기 측부 카메라는 라인 스캔 CCD 카메라인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제어유닛은 상기 카메라에 의하여 찍힌 영상을 시각화하는 모니터를 구비한 것이 바람직하다.
또한, 상기 로딩유닛 및 검사유닛은 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조를 위한 플라즈마를 이용하는 공정 설비들 각각의 출입측 게이트 밸브 전방 및 배출측 게이트 밸브 후방 중 적어도 한 곳에 설치된 것이 바람직하다.
그리고 본 발명의 에지 결함 검사방법은, 카메라에 의하여 유리기판을 촬영하는 단계; 상기 촬영된 영상을 디지털 코드로 변환하는 단계; 상기 디지털 코드를 정상적 데이터와 수학적으로 비교 연산하는 단계; 및 상기 수학적 비교 연산치가 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 정상적 데이터는 에지에 결함이 없는 유리기판이 에지 검사장치를 통과하면서 상기 카메라에 의하여 촬영된 영상의 디지털 코드 변환 값인 것이 바람직하다.
그리고 본 발명의 디스컬러 검사방법은, 집광렌즈에 의하여 유리기판에 조사된 빛을 집광하는 단계; 상기 집광된 빛의 파장을 분석하는 단계; 상기 파장과 정상 수준의 파장을 비교하는 단계; 및 상기 비교된 파장이 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 정상 수준의 파장은 박막 두께 측정장치에 의하여 이물질 및 박막의 두께에 이상이 없는 유리기판이 디스컬러 검사장치를 통과하면서 수광된 파장인 것이 바람직하다.
그리고 본 발명의 또 다른 디스컬러 검사방법은, 집광렌즈에 의하여 유리기판에 조사된 빛을 집광하는 단계; 상기 집광된 빛의 파장을 분석하는 단계; 상기 파장과 이전 집광되어 분석된 파장을 비교하는 단계; 및 상기 비교된 파장이 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치가 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조를 위한 증착이나 식각 공정 설비의 게이트 밸브(gate valve) 앞에 설치된 것을 나타낸 측면도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도면을 참조하면, 상기 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조를 위한 증착, 식각, 스퍼터링 공정 등의 플라즈마를 이용하는 공정 설비(50) 각각의 유입측 게이트 밸브(52) 전방 또는/및 배출측 게이트 밸브(미도시) 후방에 선택적으로 설치된다.
이는 후술할 유리기판(40)의 에지 결함 및 디스컬러를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조를 위한 증착이나 식각, 스퍼터링 공정과 같은 각종 공정 설비의 챔버(chamber;51) 내부로 들어가기 전에 검사하거나, 또는 개별적인 공정이 완료되어 배출되는 유리기판(40)의 에지 및 디스컬러를 실시간으로 검사 및 연속적으로 다음 공정으로의 이송을 결정하기 위한 것이다.
상기 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)는 에지 결함 및 디스컬러 검사가 동시에, 또는 선택적으로 어느 하나의 검사만 행하거나, 시간 간격을 두고 양 검사가 행해지며, 도 2와 같이 로딩유닛(loading unit;10)과, 검사유닛(20) 및 제어유닛(30)을 구비한다.
상기 로딩유닛(10)은 유리기판(40)을 지지하는 플레이트(plate;11) 및 이 플레이트(11)를 적정한 위치로 이동시키는 이송부재(12)를 구비한다.
상기 이송부재(12)는 복수의 회전팔(12a,12b,12c,12d)이 각각 소정 각도 회전 가능하도록 적층 결합되어 연동한다. 즉, 복수의 회전팔(12a,12b,12c,12d) 중 어느 회전팔(12b)을 기준으로 그 바로 아래 회전팔(12a)과 일측 단부에서 회전 가능하게 결합하고, 타측 단부에서 기준 회전팔(12b)의 바로 위 회전팔(12c)과 회전 가능하게 결합하여, 최초에 일자로 적층된 상태에서 이송부재(12)의 구동에 의해 하부의 회전팔(12a)부터 상부의 회전팔(12d)로 순차적으로 소정각도 회전하여 유리기판(40)을 이송하게 된다.
상기 검사유닛(20)은 검사 프레임(26)과, 유리기판(40)을 감지하는 감지센서(24)와, 조명기(25) 및 카메라(22)를 구비한다.
상기 검사 프레임(26)에는 로딩유닛(10)에 의하여 이송된 유리기판(40)을 통과시키기 위한 검사 창(21)이 형성되고, 유리기판(40)의 진행방향으로 검사 프레임(26)의 양면에는 감지센서(24)가 설치된다.
상기 감지센서(24) 중 유리기판(40)이 검사 창(21)으로 들어오는 측의 감지센서(24a)는 유리기판(40)이 검사 창(21)으로 들어오는 시점을 감지하여 상기 카메라(22) 및 조명기(25)의 작동이 시작되도록 그 감지내용을 제어유닛(30)에 보내게 된다. 그리고, 상기 감지센서(24) 중 유리기판(40)이 검사 창(21)을 나가는 측에 설치된 감지센서(24b)는 유리기판(40)이 검사 창(21)에 존재하지 않게 된 것을 감지하여 카메라(22) 및 조명기(25)의 작동이 멈춰지도록 제어유닛(30)에 그 감지내용을 전달하게 된다.
상기 조명기(25)는 검사 창(21) 하부에 설치되어 검사 창(21)을 통과하는 유리기판(40)에 빛을 조사한다. 여기서, 상기 조명기(25)는 발광다이오드(light emitting diode;LED) 등을 사용할 수 있다.
상기 카메라(22)는 유리기판(40)의 에지 결함 및 디스컬러를 검사하기 위한 것으로서, 조명기(25)에서 조사한 빛을 이용하여 유리기판(40)의 에지 및 디스컬러 유무 여부를 쉽게 알아볼 수 있도록 도 3a 내지 도 3c와 같이 상기 검사 창(21) 상부에 복수의 중앙 카메라(22a) 및 측부 카메라(22b)가 설치된다. 여기서 상기 카메라(22)는 고해상도의 CCD(Charge-Coupled Device) 카메라가 사용될 수 있다. 그리 고, 이 카메라(22)는 유리기판의 에지에서 5㎜ 이상을 검사할 수 있다. 즉, 에지에 인접한 미세한 부분까지도 검사할 수 있다.
상기 중앙 카메라(22a)는 도 3a 및 도 3c와 같이 검사 창(21)을 최초 및 최후 통과하는 유리기판(40) 양 단부의 에지 및 디스컬러를 검사하기 위한 것으로서, 유리기판(40)에 대하여 수직 방향에서 유리기판(40)의 에지 및 디스컬러를 검사한다.
상기 측부 카메라(22b)는 상기 중앙 카메라(22a)를 중심으로 적어도 한 쌍이 대칭되게 설치된다. 이 측부 카메라(22b)는 도 3b와 같이 중앙 카메라(22a)가 인식하지 못하는 유리기판(40)의 측단부, 즉 중앙 카메라(22a)가 인식할 수 있는 유리기판(40)의 양 단부를 연결하는 측단부의 에지 및 디스컬러를 검사하기 위하여 선택적으로 중앙 카메라(22a)와 평행으로 또는 중앙 카메라(22a)에 대하여 소정 각도 경사지게 검사 창(21) 상부에 설치된다. 여기서 측부 카메라(22b)를 검사 창(21) 상부에 회전 가능하게 힌지 결합시킴으로서 중앙 카메라(22a)에 대하여 소정 각도 경사지게 할 수도 있다. 한편, 측부 카메라(22b)를 중앙 카메라(22a)에 대하여 소정 각도로 경사지게 하는 이유는 유리기판(40)의 크기에 따라 평행 상태의 측부 카메라(22b)가 유리기판(40)의 에지를 검사하기 곤란한 경우 측부 카메라(22b)를 소정 각도 회전하여 유리기판(40)의 에지를 검사하기 위한 것이다.
상기 카메라(22)에 의하여 촬영된 영상은 실시간으로 디지털 코드(digital code)로 바뀌어 유리기판(40)의 손상 여부 등을 판단할 수 있게 된다.
또한, 이때 입력된 영상을 통하여 유리기판(40)에 증착된 필름의 이상 여부 도 확인할 수 있도록 할 수 있다. 즉, 도 4와 같이 유리기판을 촬영(S1)하여 입력되는 영상을 디지털 코드 등의 숫자로 변환(S2)을 하고, 이를 미리 입력된 정상적인 유리기판(40)의 데이터와 실시간으로 수학적 비교 연산(S3)을 하여, 이때 나타나는 차이를 확인하여 사용자가 지정한 특정 허용범위 이상으로 그 차이가 발생(S4)하는 경우 에지 및 디스컬러에 문제가 있다고 판단하여 사용자에게 경고(S5)할 수 있다. 여기서, 상기 정상적 데이터는 에지에 결함이 없는 유리기판이 에지 검사장치를 통과하면서 상기 카메라에 의하여 촬영된 영상의 디지털 코드 변환 값을 말한다.
상기 제어유닛(30)은 모니터(31) 및 콘트롤러(미도시)를 구비한다.
상기 모니터(31)는 중앙 및 측부 카메라(22a,22b)가 촬영한 영상을 시각적으로 나타내기 위한 것이다.
상기 콘트롤러는 감지센서(24)에서 감지한 내용을 전달받아 카메라(22) 및 조명기(25)의 작동을 제어하고, 카메라(22)에서 촬영한 영상을 디지털 코드로 바꾸거나 수학적 연산 등을 행하는 등 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)의 전반적인 구동을 제어한다.
이와 같은 유리기판(40)의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)는 다음과 같이 작동한다.
먼저, 로딩유닛(10)에 의하여 유리기판(40)을 검사 프레임(26)의 검사 창(21)으로 이송한다. 그러면, 유리기판(40) 유입 측 검사 프레임(26)에 마련된 감지센서(24a)는 이를 감지하여 제어유닛(30)에 전달하게 되고, 제어유닛(30)은 카메라 (22)와 조명기(25)를 작동시켜 유리기판(40)의 에지 및 디스컬러를 촬영하여 디지털 코드로 바꾸고, 또한 수학적 연산을 통해 에지 결함 및 디스컬러 유무를 확인한다. 그리고, 유리기판(40)이 검사 창(21)을 통해 배출되어 검사 프레임(26)에 마련된 감지센서(24b)가 유리기판(40)의 부재를 확인하여 제어유닛(30)에 그 내용을 전달하게 되면 제어유닛(30)은 카메라(22)와 조명기(25)의 작동을 멈추게 한다.
이와 같은 구성의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)는 증착이나 식각 공정 설비(50)의 유입측 게이트 밸브(52) 전방 또는/및 배출측 게이트 밸브(52) 후방에 선택적으로 설치되어 증착이나 식각공정으로 들어가는 유리기판(40)의 에지 결함 및 디스컬러를 미리 검사하여 불량한 제품은 공정 챔버(51) 내부로 유입되지 않게 하거나, 공정이 완료된 후 배출되는 유리기판(40)의 에지 결함이나 디스컬러를 검사하여 다음 단계로의 공정에 제공되지 않도록 방지한다.
만일, 증착이나 식각 공정이 완료된 후 배출되는 유리기판(40)에 에지 결함이나 디스컬러가 발견되는 경우에는 아울러 증착이나 식각, 스퍼터링 등 플라즈마를 이용한 공정 설비의 하자를 실시간으로 인지할 수도 있다. 즉, 증착이나 식각, 스퍼터링 공정에 들어가기 전의 유리기판에 하자가 없었으나, 공정 완료 후 배출된 유리기판에 하자가 발견된 경우 공정 설비에 하자가 있는 것이기 때문이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 의한 유리기판의 디스컬러를 검사하기 위한 또 다른 검사 방법을 적용하기 위하여 나타낸 평면도이고, 도 6은 또 다른 검사 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
상기 제2실시예에서 도 1 내지 도 3에 도시된 참조부호와 동일한 참조부호는 동일한 구성 및 작용을 하는 동일부재이다.
그리고, 상기 제2실시예에서는 제1실시예의 구성 및 작용이 유사하므로 반복되는 설명은 생략한다.
상기 에지 결함 및 디스컬러 검사장치(100)는 로딩유닛(10)과, 검사유닛(20) 및 제어유닛(30)을 구비하며, 상기 검사유닛(20)의 검사 프레임(26) 상부에는 집광렌즈(23)가 복수개 설치된다. 그리고, 상기 제어유닛(30)에는 분광기(미도시)가 구비된다.
상기 집광렌즈(23)는 조명기(25)에서 유리기판(40)에 대하여 조사한 빛을 집광(S10)하여 이를 제어유닛(30)의 분광기에 전달한다. 이 분광기는 180~1100나노미터(nanometer)의 파장을 관측할 수 있고, 그 해상도는 0.1~10나노미터이다.
그러면, 분광기에서는 불균일하게 증착된 유리기판(40)을 통해 집광된 빛의 파장을 분석(S20)하여, 집광된 빛의 파장에 따른 명암도 레벨(intensity level)로 나타내고, 이 명암도 레벨을 정상 수준에서 입력된 특정 유리기판(40)의 데이터와 불균일한 증착부(41)가 있는 유리기판(40)을 실시간으로 비교(S30)하여 그 차이를 구한 후, 이 차이가 사용자가 지정한 허용범위와 일정 수준 이상으로 차이가 나는 경우(S40)에 경고 메세지를 사용자에게 알려준다(S50).
이와 같은 방법 외에 또 다른 실시예로서, 상기의 방법과 같이 집광렌즈(23)에 의하여 유리기판(40)에 조사된 빛의 집광(S100), 집광된 빛의 파장 분석(S200), 매시간 들어오는 빛의 파장 데이터를 바로 전 집광된 빛의 파장 데이터와 현재 입력 받은 빛의 파장 데이터를 비교(S300)해서, 그 차이가 사용자가 지정한 허용 범 위로부터 일정수준 이상(S400)이 되면 경고 메세지를 사용자에게 알려주는 방식(S500)도 사용될 수 있다.
이와 같은 구성의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 의하면, 다수의 증착이나 식각 공정 사이에 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 배치하여 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 유무 여부를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 연속된 제조공정 중에 실시간으로 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 의하면, 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 유무의 검사를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조공정 중에 자동적으로 진행할 수 있어 경제적이며, 연속된 증착이나 식각, 스퍼터링 등 플라즈마를 이용한 공정들 사이에 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 배치하여 실시간으로 유리기판의 적합성 상태를 확인할 수 있어 경제적이며 신속한 공정을 진행할 수 있는 효과를 제공한다.
본 발명은 상기에 설명되고 도면에 예시된 것에 의해 한정되는 것은 아니며 다음에 기재되는 청구의 범위 내에서 더 많은 변형 및 변용예가 가능한 것임은 물론이다.

Claims (18)

  1. 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조를 위한 유리기판을 운반하는 로딩유닛;
    상기 로딩유닛에 의하여 공급된 상기 유리기판의 에지 및 디스컬러를 검사하는 검사유닛; 및
    상기 로딩유닛 및 상기 검사유닛을 제어하는 제어유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유리기판에 대한 상기 에지 검사와 상기 디스컬러 검사는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유리기판에 대한 상기 에지 검사와 상기 디스컬러 검사는 선택적으로 어느 하나의 검사가 행해지는 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 로딩유닛은,
    상기 유리기판을 수용하는 플레이트; 및
    상기 플레이트가 회동 가능하도록 상기 플레이트의 일측에 결합한 이송부재;를 구비한 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 검사유닛은,
    상기 유리기판이 통과되도록 검사 창이 형성된 검사 프레임;
    상기 유리기판 진행 방향의 검사 프레임 양면에 설치되어 상기 검사 창을 통과하는 상기 유리기판의 존재 유무를 감지하는 감지센서;
    상기 검사 창 상부에 설치되어 상기 유리기판의 에지를 검사하는 복수의 카메라; 및
    상기 검사 창 하부에 설치되어 상기 검사 창을 통과하는 상기 유리기판에 빛을 조사하는 조명기를 구비한 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 검사 프레임 상부에는 상기 조명기에 의하여 조사된 빛을 집광하여 상기 제어유닛에 전달하는 복수의 집광렌즈가 설치되고,
    상기 제어유닛에는 상기 집광렌즈에 의하여 집광된 빛을 분석하는 분광기가 구비된 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 분광기의 관측 파장은 180~1100나노미터이고, 해상도는 0.1~10나노미터인 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 카메라는,
    상기 검사 창을 최초 및 최후 통과하는 유리기판의 양 단부 에지 결함을 검사하기 위하여 상기 유리기판과 수직으로 설치된 복수의 중앙 카메라; 및
    상기 중앙 카메라들을 대칭축으로 양측에, 상기 유리기판의 양 단부를 연결하는 양 측단부의 에지 결함을 검사하기 위한 적어도 한 쌍의 측부 카메라;를 구비하는 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 측부 카메라는 상기 중앙 카메라와 평행인 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 측부 카메라는 상기 중앙 카메라에 대하여 소정 각도 경사진 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 측부 카메라는 라인 스캔 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 카메라에 의하여 찍힌 영상을 시각화하는 모니터를 구비한 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 로딩유닛 및 검사유닛은 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조를 위한 플라즈마를 이용하는 공정 설비들 각각의 출입측 게이트 밸브 전방 및 배출측 게이트 밸브 후방 중 적어도 한 곳에 설치된 것을 특징으로 하는 에지 결함 및 디스컬러 검사장치.
  14. 카메라에 의하여 유리기판을 촬영하는 단계;
    상기 촬영된 영상을 디지털 코드로 변환하는 단계;
    상기 디지털 코드를 정상적 데이터와 수학적으로 비교 연산하는 단계; 및
    상기 수학적 비교 연산치가 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 에지 결함 검사방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 정상적 데이터는 에지에 결함이 없는 유리기판이 에지 검사장치를 통과하면서 상기 카메라에 의하여 촬영된 영상의 디지털 코드 변환 값인 것을 특징으로 하는 에지 결함 검사방법.
  16. 집광렌즈에 의하여 유리기판에 조사된 빛을 집광하는 단계;
    상기 집광된 빛의 파장을 분석하는 단계;
    상기 파장과 정상 수준의 파장을 비교하는 단계; 및
    상기 비교된 파장이 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 디스컬러 검사방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 정상 수준의 파장은 박막 두께 측정장치에 의하여 이물질 및 박막의 두께에 이상이 없는 유리기판이 디스컬러 검사장치를 통과하면서 수광된 파장인 것을 특징으로 하는 디스컬러 검사방법.
  18. 집광렌즈에 의하여 유리기판에 조사된 빛을 집광하는 단계;
    상기 집광된 빛의 파장을 분석하는 단계;
    상기 파장과 이전 집광되어 분석된 파장을 비교하는 단계; 및
    상기 비교된 파장이 사용자가 지정한 허용범위를 넘는 경우 경고하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 디스컬러 검사방법.
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