KR20060089948A - 아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치 - Google Patents

아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치에 관한 것이다. 본 발명은 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 저주파 아날로그 신호만을 통과시키는 저주파 패스 필터, 상기 저주파 패스 필터에 연결되며 상기 저주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 정류부, 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 고주파 아날로그 신호만을 통과시키는 고주파 패스 필터, 상기 고주파 패스 필터에 연결되며 상기 고주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 고주파 파워 검출부, 및 상기 정류부와 상기 고주파 파워 검출부에 공통으로 연결되며 상기 정류부로부터 출력되는 신호의 전압과 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호의 전압을 측정하여 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비함으로써, 테스트 비용이 감소된다.

Description

아날로그 반도체 장치를 테스트하는 디지털 테스트 장치{Digital test equipment for testing analog semiconductor device}
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 종래의 아날로그 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 다수개의 아날로그 반도체 장치들을 보여준다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치를 보여준다.
도 3은 도 2에 도시된 고주파 파워 디텍터의 입력 신호에 대한 출력 신호의 전압 레벨을 도시한 그래프이다.
도 4는 도 2에 도시된 정류부의 회로의 일 실시예이다.
도 5는 도 4에 도시된 정류부의 입출력 신호들의 파형도이다.
도 6은 도 2에 도시된 비교부들 중 하나의 일 실시예를 보여준다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치들을 보여준다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치를 보여준다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치들을 보여준다.
본 발명은 반도체 장치를 테스트하는 테스트 장치에 관한 것으로서, 특히 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 측정하는 디지털 테스트 장치에 관한 것이다.
반도체 장치는 크게 아날로그 반도체 장치와 디지털 반도체 장치로 구분할 수 있다. 아날로그 반도체 장치는 아날로그 신호를 처리하며, 연산 증폭기(Operational Amplifier), 오디오 출력 앰프 등이 이에 속한다. 디지털 반도체 장치는 디지털 신호를 처리하며, SSI(Small Scale Integrated circuit), LSI(Large Scale Integrated circuit), 메모리 IC 등이 이에 속한다.
이와 같은 반도체 장치의 성능을 테스트하기 위해서는 테스터(tester)가 사용되며, 이 때, 아날로그 반도체 장치의 성능을 테스트하기 위해서는 아날로그 테스터가 사용되고, 디지털 반도체 장치의 성능을 테스트하기 위해서는 디지털 테스터가 사용된다.
도 1은 복수개의 아날로그 반도체 장치들(111,112)을 테스트하는 아날로그 테스트 장치(101)를 보여준다. 도 1을 참조하면, 아날로그 테스트 장치(101)는 아날로그 테스터(131)와 다수개의 스위치들(121∼124)을 구비한다.
아날로그 테스터(131)는 아날로그 신호들(AN1∼AN4)을 디지털 신호로 변환하여 측정하는 AC 디지타이저(Digitizer)(135)를 구비한다.
복수개의 스위치들(121∼124)은 아날로그 반도체 장치들(111,112)을 테스트할 때, 순차적으로 온(on)되어 아날로그 반도체 장치들(111,112)의 출력핀들(P1∼P4)로부터 출력되는 아날로그 신호들(AN1∼AN4)이 AC 디지타이저(135)로 전달되게 한다.
이와 같이, 아날로그 테스터(131)가 아날로그 반도체 장치들(111,112)을 테스트하기 위해서는 반드시 AC 디지타이저(135)를 구비하여야 한다.
그런데, AC 디지타이저(135)는 가격이 매우 비싸기 때문에 아날로그 테스터(131)에 여러 대가 장착될 수가 없다.
이와 같이, 한정된 수량의 AC 디지타이저(135)를 사용하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들(111,112)을 동시에 테스트하기 위해서는 다수개의 스위치들(121∼124)을 사용할 수밖에 없다. 때문에, 아날로그 반도체 장치들(111,112)을 테스트하는 시간이 길어지며, 이로 인하여, 테스트 비용이 증가하게 된다.
또한, 아날로그 반도체 장치들(111,112)로부터 출력되는 아날로그 신호들(AN1∼AN4)의 주파수가 높아지면, 이를 측정하는 AC 디지타이저(135)의 성능도 그에 비례하여 좋아져야 한다. AC 디지타이저(135)의 성능이 좋아지게 되면 AC 디지타이저(135)의 가격이 대폭적으로 높아지기 때문에 이 또한, 아날로그 반도체 장치들(111,112)의 테스트 비용을 증가시키는 결과를 가져온다.
따라서, 테스트 비용을 줄이기 위해서는 낮은 가격의 테스트 장치가 필요하 며, 상기 낮은 가격의 테스트 장치는 고주파 아날로그 신호(AN1)를 출력하는 아날로그 반도체 장치(111)를 테스트할 수 있어야할 뿐만 아니라, 다량의 아날로그 반도체 장치들(111,112,…)을 동시에 테스트할 수 있어야 한다.
본 발명의 목적은 고주파 아날로그 신호를 처리하는 아날로그 반도체 장치를 테스트할 수 있으면서도 가격이 낮은 디지털 테스트 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다량의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있으면서도 가격이 낮은 디지털 테스트 장치를 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은
아날로그 반도체 장치에 연결되며 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 신호 변환부, 및 상기 신호 변환부에 연결되며 상기 신호 변환부로부터 출력되는 신호의 DC 전압을 측정하여 상기 아날로그 신호의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 디지털 테스트 장치를 제공한다.
바람직하기는, 상기 신호 변환부와 상기 디지털 측정부를 복수개 구비하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한,
아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 저주파 아날로그 신호만을 통과시키는 저주파 패스 필터, 상기 저주파 패스 필터에 연결되며 상기 저주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 정류부, 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 고주파 아날로그 신호만을 통과시키는 고주파 패스 필터, 상기 고주파 패스 필터에 연결되며 상기 고주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 고주파 파워 검출부, 및 상기 정류부와 상기 고주파 파워 검출부에 공통으로 연결되며 상기 정류부로부터 출력되는 신호의 전압과 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호의 전압을 측정하여 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 디지털 테스트 장치를 제공한다.
바람직하기는, 상기 디지털 측정부는 상기 정류부로부터 출력되는 신호를 기준 전압과 비교하는 비교부, 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호를 상기 기준 전압과 비교하는 또 하나의 비교부, 및 상기 비교부들의 출력들을 받아서 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 판단부를 구비하며,
바람직하기는 또한, 상기 디지털 측정부는 반도체 장치들을 테스트하는 ATE에 구비되며, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터 및 상기 고주파 파워 검출부는 상기 반도체 장치와 상기 ATE를 인터페이싱하는 테스트 보드에 구비된다.
바람직하기는 또한, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터, 상기 고주파 파워 검출부 및 상기 비교부들을 각각 복수개 구비하여 복수개 의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있다.
바람직하기는 또한, 상기 아날로그 반도체 장치는 상기 저주파 아날로그 신호를 출력하는 핀과 상기 고주파 아날로그 신호를 출력하는 또 하나의 핀을 구비하며, 상기 저주파 패스 필터는 상기 핀에 연결되고, 상기 고주파 패스 필터는 상기 또 하나의 핀에 연결되며, 상기 핀과 상기 또 하나의 핀은 각각 상기 아날로그 반도체 장치에 복수개 구비된다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한,
제1 및 제2 출력핀들을 구비하고 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 저주파 아날로그 신호와 고주파 아날로그 신호를 입력하며 외부 제어 신호에 의해 제어되어 저주파 아날로그 신호는 상기 제1 출력핀으로 출력하고 상기 고주파 아날로그 신호는 상기 제2 출력핀으로 출력하는 스위칭부, 상기 제1핀에 연결되며 상기 제1핀으로부터 출력되는 저주파 아날로그 신호의 저주파 성분만을 통과시키는 저주파 패스 필터, 상기 저주파 패스 필터에 연결되며 상기 저주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 정류부, 상기 제2 출력핀에 연결되며 상기 제2 출력핀으로부터 출력되는 고주파 아날로그 신호의 고주파 성분만을 통과시키는 고주파 패스 필터, 상기 고주파 패스 필터에 연결되며 상기 고주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 고주파 파워 검출부, 및 상기 정류부와 상기 고주파 파워 검출부에 공통으로 연결되며 상기 정류부로부터 출력되는 신호의 전압 레벨과 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호의 전압 레벨을 측정하여 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출 력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 디지털 테스트 장치를 제공한다.
바람직하기는, 상기 스위칭부는 상기 제어 신호에 의해 제어되는 릴레이를 구비한다.
바람직하기는 또한, 상기 디지털 측정부는 상기 정류부로부터 출력되는 신호를 기준 전압과 비교하는 비교부, 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호를 상기 기준 전압과 비교하는 또 하나의 비교부, 상기 비교부들의 출력들을 받아서 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 판단부; 및 상기 제어 신호를 발생하는 스위칭 제어부를 구비한다.
바람직하기는 또한, 상기 디지털 측정부는 반도체 장치들을 테스트하는 ATE에 구비되며, 상기 스위칭부, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터 및 상기 고주파 파워 검출부는 상기 반도체 장치와 상기 ATE를 인터페이싱하는 테스트 보드에 구비된다.
바람직하기는 또한, 상기 스위칭부, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터, 상기 고주파 파워 검출부 및 상기 비교부들을 각각 복수개 구비하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있다.
바람직하기는 또한, 상기 아날로그 반도체 장치는 상기 저주파 아날로그 신호와 상기 고주파 아날로그 신호를 같이 출력하는 특정 핀을 구비하며, 상기 스위칭부는 상기 특정 핀에 연결되며, 상기 특정 핀은 상기 아날로그 반도체 장치에 복수개 구비된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치를 보여준다. 도 2를 참조하면, 디지털 테스트 장치(201)는 신호 변환부(203)와 디지털 측정부(205)를 구비한다. 테스트될 아날로그 반도체 장치(211)는 저주파 아날로그 신호(LAN1)를 출력하는 핀(P1)과 고주파 아날로그 신호(HAN1)를 출력하는 핀(P2)을 별도로 구비한다.
신호 변환부(203)는 외부로부터 입력되는 아날로그 신호의 파워를 DC 전압으로 변환하여 출력한다. 즉, 아날로그 반도체 장치(211)를 테스트할 때, 신호 변환부(203)는 아날로그 반도체 장치(211)로부터 출력되는 아날로그 신호들(LAN1,HAN1)을 입력하고, 아날로그 신호들(LAN1,HAN1)의 파워들을 DC 전압을 갖는 신호들(LDC1,HDC1)로 변환하여 출력한다.
신호 변환부(203)는 저주파 패스 필터(221), 정류부(231), 고주파 패스 필터(241) 및 고주파 파워 검출부(251)를 구비한다.
저주파 패스 필터(221)는 외부로부터 입력되는 아날로그 신호 중 저주파 성분의 아날로그 신호만을 통과시킨다. 즉, 아날로그 반도체 장치(211)를 테스트할 때, 저주파 패스 필터(221)는 아날로그 반도체 장치(211)의 핀(P1)에 연결되며, 상기 핀(P1)으로부터 출력되는 아날로그 신호(LAN1)의 저주파 성분(L1)만을 통과시킨다. 따라서, 아날로그 신호(LAN1)에 포함된 고주파 성분은 모두 제거된다.
정류부(231)는 저주파 패스 필터(221)에 연결되며, 저주파 패스 필터(221)로부터 출력되는 저주파 아날로그 신호(L1)의 파워를 DC 전압을 갖는 신호(LDC1)로 변환하여 출력한다. 정류부(231)에 대해서는 도 4 및 도 5를 통해서 상세히 설명하기로 한다.
고주파 패스 필터(241)는 외부로부터 입력되는 아날로그 신호 중 고주파 성분의 아날로그 신호만을 통과시킨다. 즉, 아날로그 반도체 장치(211)를 테스트할 때, 고주파 패스 필터(241)는 아날로그 반도체 장치(211)의 핀(P2)에 연결되며, 상기 핀(P2)으로부터 출력되는 아날로그 신호(HAN1)의 고주파 성분(H1)만을 통과시킨다. 따라서, 아날로그 신호(HAN1)에 포함된 저주파 성분은 모두 제거된다.
저주파 패스 필터(221)와 고주파 패스 필터(241)는 각각 특정 주파수만을 통과시키는 밴드 패스 필터로 구성될 수도 있다.
고주파 파워 검출부(251)는 고주파 패스 필터(241)로부터 출력되는 고주파 아날로그 신호(H1)의 파워를 DC 전압을 갖는 신호(HDC1)로 변환하여 출력한다. 고주파 파워 검출부(251)의 입력 신호(H1)에 대한 출력 신호(HDC1)의 전압 레벨을 보여주는 그래프가 도 3에 도시되어 있다.
도 3은 고주파 파워 검출부(251), 예컨대 아날로그 디바이스사에서 생산하는 반도체 장치(AD8313)로 입력되는 2개의 아날로그 신호들(311,321)이 DC 전압을 갖는 신호(HDC1)로 변환되는 것을 측정한 그래프이다. 아날로그 신호(311)의 주파수는 1.9[GHz]이고, 아날로그 신호(321)의 주파수는 10[MHz}이다.
도 3을 참조하면, 고주파 파워 검출부(251)로 입력되는 아날로그 신호(H1)의 주파수가 높을수록 고주파 파워 검출부(251)로부터 출력되는 신호(HDC1)의 DC 전압은 높아진다. 또한, 고주파 파워 검출부(251)로부터 출력되는 신호(HDC1)의 DC 전압 레벨은 고주파 파워 검출부(251)로 입력되는 신호(H1)의 파워의 크기에 비례한다. 즉, 고주파 파워 검출부(251)로 입력되는 신호(H1)의 파워가 낮으면 고주파 파워 검출부(251)로부터 출력되는 신호(LDC1)의 DC 전압도 낮고, 고주파 파워 검출부(251)로 입력되는 신호(H1)의 파워가 높으면 고주파 파워 검출부(251)로부터 출력되는 신호(HDC1)의 DC 전압도 높다. 고주파 파워 검출부(251)는 이미 AD8313과 같은 반도체 장치로 출시된 기술이므로 그 구성 및 동작에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
디지털 측정부(205)는 신호 변환부(203)로부터 출력되는 신호들(LCD1,HDC1)의 DC 전압 레벨들을 측정하여 아날로그 반도체 장치(211)의 양/불량을 판단한다. 디지털 측정부(205)는 복수개의 비교부들(261,262)과 판단부(271)를 구비한다.
비교부(261)는 정류부(231)에 연결되며, 정류부(231)로부터 출력되는 신호(LDC1)의 DC 전압을 기준 전압(도 6의 Vref)과 비교한다.
비교부(262)는 고주파 파워 검출부(251)에 연결되며, 고주파 파워 검출부(251)로부터 출력되는 신호(HDC1)의 DC 전압을 기준 전압(도 6의 Vref)과 비교한다. 비교부들(261,262)에 대해서는 도 6을 통해서 상세히 설명하기로 한다.
판단부(271)는 비교부들(261,262)로부터 출력되는 신호들(CO1,CO2)을 받아서 이들의 양/불량을 판단한다. 예컨대, 신호들(CO1,CO2)이 논리 하이(logic high)이면 양호(pass)로 처리되고, 신호들(CO1,CO2)이 논리 로우(logic low)이면 불량 (fail)으로 처리된다. 설정에 따라서는 그 반대로 처리될 수도 있다.
디지털 측정부(205)는 반도체 장치들을 테스트하는 반도체 테스터, 즉 ATE(Auto Test Equipment; 이하, ATE로 약칭)에 구비된다. 또한, 신호 변환부(203)는 아날로그 반도체 장치(211)와 상기 ATE를 인터페이싱(interfacing)하는 테스트 보드(Test Board)에 구비되는 것이 바람직하다.
상기와 같이, 본 발명에 따른 디지털 테스트 장치(201)는 아날로그 반도체 장치(211)로부터 출력되는 아날로그 신호들(LAN1,HAN1)의 주파수가 낮을 경우에는 정류부(231)를 통해서 DC 전압으로 변환하고, 아날로그 신호들(LAN1,HAN1)의 주파수가 높을 경우에는 고주파 파워 검출부(251)를 통하여 DC 전압으로 변환한다. 또한, 상기 변환된 신호들(LDC1,HDC1)은 디지털 측정부(205)에서 측정되어 양/불량이 판단된다.
신호 변환부(203)와 다지털 측정부(205)는 모두 낮은 가격으로 제작될 수가 있다.
이와 같이, 본 발명에 따르면, 아날로그 반도체 장치(211)로부터 출력되는 고주파 아날로그 신호(HAN1)의 주파수가 아무리 높아지더라도 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저 가격의 디지털 테스트 장치(201)를 사용하여 테스트할 수가 있다. 따라서, 아날로그 반도체 장치(211)의 테스트 비용이 대폭적으로 감소된다.
도 4는 도 2에 도시된 정류부의 회로의 일 실시예이고, 도 5는 도 4에 도시된 정류부의 입출력 신호들의 파형도이다. 도 4를 참조하면, 정류부(231)는 다이 오드(411), 캐패시터(421) 및 저항(431)을 구비한다.
다이오드(411)는 입력되는 저주파 아날로그 신호(L1)를 정류하며, 캐패시터(421)와 저항(431)은 상기 정류된 신호를 평활시켜서 출력한다.
정류부(231)는 출력되는 신호(LDC1)의 DC 전압 레벨이 아날로그 신호(L1)의 피크(peak)값을 갖도록 정류하는 회로이다.
따라서, 정류부(231)로 입력되는 저주파 아날로그 신호(L1)는 도 5에 도시된 바와 같이, 저주파 아날로그 신호(L1)의 피크 전압(Vp)을 DC 전압으로 갖는 신호(LDC1)로 변환되어 출력된다.
도 6은 도 2에 도시된 비교부(261)의 일 실시예를 보여준다. 도 6을 참조하면, 비교부(261)는 신호 변환부(203)의 출력 신호(LDC1)와 기준 전압(Vref)을 입력하고, 이들의 전압들을 비교하는 비교기(611)를 구비한다. 비교기(611)는 출력 신호(LDC1)의 전압이 기준 전압(Vref)보다 높으면 논리 하이 즉, 전원전압(Vcc)을 출력하고, 출력 신호(LDC1)의 전압이 기준 전압(Vref)보다 낮으면 논리 로우 즉, 접지전압(GND)을 출력한다.
기준 전압(Vref)은 2개의 전압, 예컨대, 입력 하이 전압(Vih) 또는 입력 로우 전압(Vil)으로 설정될 수도 있다. 이 경우에는 출력 신호(LDC1)의 전압이 입력 로우 전압(Vil)보다 낮으면 논리 로우이고, 출력 신호(LDC1)의 전압이 입력 하이 전압(Vih)보다 높으면 논리 하이이다. 이 때, 판단부(도 2의 271)는 비교기(611)의 출력신호가 입력 하이 전압(Vih)보다 높거나 입력 로우 전압(Vil)보다 낮으면 아날로그 반도체 장치(도 2의 211)를 양호(pass)로 판단하는 것이 바람직하다. 입 력 로우 전압(Vil)과 입력 하이 전압(Vih) 사이는 하이 임피던스(high impedance) 상태이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치들을 보여준다. 도 7을 참조하면, 디지털 테스트 장치(701)는 신호 변환부(703)와 디지털 측정부(705)를 구비한다. 디지털 테스트 장치(701)에는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(211,212)이 연결된다.
아날로그 반도체 장치(212)는 2개의 핀들(P3,P4)을 가지며, 핀(P3)을 통해서 저주파 아날로그 신호(LAN2)를 출력하고, 핀(P4)을 통해서 고주파 아날로그 신호(HAN2)를 출력한다.
디지털 테스트 장치(701)는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(211,212)을 테스트하기 위한 것이다. 따라서, 디지털 테스트 장치(701)는 도 2의 디지털 테스트 장치(201)에 비해 저주파 패스 필터(222), 정류부(232), 고주파 패스 필터(242), 고주파 파워 검출부(252) 및 비교부들(263,264)을 더 구비한다. 또한, 판단부(271a)는 4개의 비교부들(261∼264)로부터 출력되는 신호들(CO1∼CO4)에 대한 양/불량을 판단한다.
신호 변환부(703)에 구비되는 저주파 패스 필터(222), 정류부(232), 고주파 패스 필터(242), 및 고주파 파워 검출부(252)는 각각 신호 변환부(703)에 구비되는 저주파 패스 필터(221), 정류부(231), 고주파 패스 필터(241) 및 고주파 파워 검출부(251)와 동일한 구성 및 동작을 수행하며, 디지털 측정부(705)에 구비되는 비교부들(263,264)은 디지털 측정부(705)에 구비되는 비교부들(261,262)과 동일한 구성 및 동작을 수행한다. 따라서, 이들에 대한 중복 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 디지털 테스트 장치(701)는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(211,212)을 동시에 테스트할 수가 있다. 또한, 신호 변환부(703)와 디지털 측정부(705)를 제작하는데는 많은 비용이 들지 않는다.
이와 같이, 다량의 아날로그 반도체 장치들(211,212,…)을 테스트하는데 있어서, 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저가의 디지털 테스트 장치(701)를 사용함으로써, 테스트 비용이 대폭적으로 감소된다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치를 보여준다. 도 8을 참조하면, 디지털 테스트 장치(801)는 신호 변환부(803)와 디지털 측정부(805)를 구비한다.
여기서, 아날로그 반도체 장치(811)는 1개의 핀(P1)으로부터 저주파 아날로그 신호와 고주파 아날로그 신호를 선택적으로 출력한다. 이와 같이, 도 8에 도시된 디지털 테스트 장치(801)는 1개의 핀(P1)으로부터 2종류의 아날로그 신호들을 출력하는 아날로그 반도체 장치(811)를 테스트하기 위한 것이다.
신호 변환부(803)는 스위칭부(821), 저주파 패스 필터(221), 정류부(231), 고주파 패스 필터(241) 및 고주파 파워 검출부(251)를 구비한다. 신호 변환부(803)는 도 2에 도시된 신호 변환부(201)에 스위칭부(821)가 추가된 것이다. 따라서, 저주파 패스 필터(221), 정류부(231), 고주파 패스 필터(241) 및 고주파 파워 검출부(251)에 대해서는 중복 설명을 생략한다.
스위칭부(821)는 2개의 출력핀들(823,825)을 구비하며, 제어 신호(CONT1)에 의해 제어되어 외부로부터 입력되는 아날로그 신호를 출력핀들(823,825) 중 하나로 출력한다. 즉, 아날로그 반도체 장치(811)를 테스트할 때, 스위칭부(821)는 아날로그 반도체 장치(811)의 핀(P1)을 통해 출력되는 아날로그 신호(AN1)를 입력하고, 제어 신호(CONT1)에 의해 제어되어 아날로그 신호(AN1)를 출력핀들(823,825) 중 하나로 출력한다. 예컨대, 제어 신호(CONT1)가 논리 하이(logic high)이면 스위칭부(821)는 아날로그 신호(AN1)를 출력핀(823)으로 출력하고, 제어 신호(CONT1)가 논리 로우(logic low)이면 스위칭부(821)는 아날로그 신호(AN1)를 출력핀(825)으로 출력한다. 그 반대로 구성될 수도 있다.
구체적으로, 아날로그 신호(AN1)가 저주파일 때, 아날로그 신호(AN1)가 출력핀(823)으로 출력되도록 제어 신호(CONT1)가 동작하고, 아날로그 신호(AN1)가 고주파일 때는 아날로그 신호(AN1)가 출력핀(825)으로 출력되도록 제어 신호(CONT1)가 동작한다. 스위칭부(821)는 릴레이로 구성되는 것이 바람직하다.
디지털 측정부(805)는 복수개의 비교부들(261,262), 판단부(271) 및 스위칭 제어부(831)를 구비한다. 디지털 측정부(805)는 도 2에 도시된 디지털 측정부(205)에 스위칭 제어부(831)가 추가된 것이다. 따라서, 비교부들(261,262) 및 판단부(271)에 대해서는 중복 설명을 생략한다.
스위칭 제어부(831)는 스위칭부(821)에 연결된다. 스위칭 제어부(831)는 제어신호(CONT1)를 발생하여 스위칭부(821)의 동작을 제어한다. 스위칭 제어부(831)는 CPU(Central Processing Unit)나 마이크로콘트롤러(Micro-controller)로 구성된다. 스위칭 제어부(831)는 소프트웨어로 대체될 수도 있다.
상기와 같이, 디지털 테스트 장치(801)는 스위칭부(821) 및 스위칭 제어부(831)를 구비함으로써, 아날로그 반도체 장치(811)의 특정 핀(P1)으로부터 2종류의 아날로그 신호들 즉, 저주파 아날로그 신호와 고주파 아날로그 신호가 같이 출력될 경우에, 신호 변환부(803)의 구성을 변경시키거나 다른 것으로 교체하지 않고서도, 이들 신호들을 측정할 수가 있다. 또한, 신호 변환부(803)와 디지털 측정부(805)는 낮은 가격으로 제작이 가능하다.
이와 같이, 아날로그 반도체 장치(811)로부터 출력되는 높은 주파수의 아날로그 신호(HAN1)를 측정할 때 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저가의 디지털 테스트 장치(801)를 사용함으로써 테스트 비용이 대폭적으로 감소된다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 디지털 테스트 장치의 블록도 및 이에 연결된 아날로그 반도체 장치들을 보여준다. 도 9를 참조하면, 디지털 테스트 장치(901)는 신호 변환부(903)와 디지털 측정부(905)를 구비하며, 디지털 테스트 장치(901)에는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(811,812)이 연결된다.
이와 같이, 디지털 테스트 장치(901)는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(811,812)을 테스트하기 위한 것이다.
아날로그 반도체 장치(812)는 1개의 핀(P2)으로부터 2종류의 아날로그 신호들 즉, 저주파 아날로그 신호와 고주파 아날로그 신호를 선택적으로 출력한다.
신호 변환부(903)는 복수개의 스위칭부들(821,822), 복수개의 저주파 패스 필터들(221,222), 복수개의 정류부들(231,232), 복수개의 고주파 패스 필터들 (241,242) 및 복수개의 고주파 파워 검출부들(251,252)을 구비한다.
여기서, 스위칭부(822), 저주파 패스 필터(222), 정류부(232), 고주파 패스 필터(242) 및 고주파 파워 검출부(252)는 각각 tm위칭부(821), 저주파 패스 필터(221), 정류부(231), 고주파 패스 필터(241) 및 고주파 파워 검출부(251)와 동일한 구성 및 동작을 수행하므로, 이들에 대한 중복 설명은 생략한다.
디지털 측정부(905)는 비교부들(261∼264), 판단부(971) 및 스위칭 제어부(842)를 구비한다. 여기서, 비교부들(263,264)은 비교부들(261,262)과 동일한 구성 및 동작을 수행함으로, 이들에 대한 중복 설명은 생략한다.
판단부(971)는 비교부들(261∼264)로부터 출력되는 신호들(CO1∼CO4)을 입력하고, 이들에 대한 양/불량을 판단한다.
스위칭 제어부(842)는 제어 신호들(CONT1,CONT2)을 발생하여 스위칭부들(821,822)의 동작을 제어한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 디지털 테스트 장치(901)는 복수개의 아날로그 반도체 장치들(811,812)을 동시에 테스트할 수가 있다. 또한, 신호 변환부(903)와 디지털 측정부(905)는 낮은 가격으로 제작이 가능하다.
이와 같이, 본 발명은 다량의 아날로그 반도체 장치들(811,812,…)을 테스트하는데 있어서, 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저가의 디지털 테스트 장치(901)를 사용함으로써, 테스트 비용이 대폭적으로 감소된다.
도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었으며, 여기서 사용된 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미한정이나 특허청구범위 에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 따라서, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능할 것이므로, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 아날로그 반도체 장치(211,811)로부터 출력되는 높은 주파수의 아날로그 신호를 테스트할 때, 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저가의 디지털 테스트 장치(201,801)를 사용함으로써 테스트 비용이 대폭적으로 감소된다.
또한, 고가의 AC 디지타이저(도 1의 135)를 사용하지 않고 저가의 디지털 테스트 장치(701,901)를 사용하여 다량의 아날로그 반도체 장치들(211,212,811,812,…)을 동시에 테스트할 수가 있기 때문에 생산성이 향상되며, 테스트 비용도 대폭적으로 감소된다.

Claims (17)

  1. 아날로그 반도체 장치에 연결되며, 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 신호 변환부; 및
    상기 신호 변환부에 연결되며, 상기 신호 변환부로부터 출력되는 신호의 DC 전압을 측정하여 상기 아날로그 신호의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호 변환부와 상기 디지털 측정부를 복수개 구비하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  3. 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 저주파 아날로그 신호만을 통과시키는 저주파 패스 필터;
    상기 저주파 패스 필터에 연결되며, 상기 저주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 정류부;
    상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들 중 고주파 아날로그 신호만을 통과시키는 고주파 패스 필터;
    상기 고주파 패스 필터에 연결되며, 상기 고주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 고주파 파워 검출부; 및
    상기 정류부와 상기 고주파 파워 검출부에 공통으로 연결되며, 상기 정류부로부터 출력되는 신호의 전압과 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호의 전압을 측정하여 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 디지털 측정부는
    상기 정류부로부터 출력되는 신호를 기준 전압과 비교하는 비교부;
    상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호를 상기 기준 전압과 비교하는 또 하나의 비교부; 및
    상기 비교부들의 출력들을 받아서 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 판단부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 디지털 측정부는
    반도체 장치들을 테스트하는 ATE에 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터 및 상기 고주파 파워 검출부는 상기 반도체 장치와 상기 ATE를 인터페이싱하는 테스트 보드에 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터, 상기 고주파 파워 검출부 및 상기 비교부들을 각각 복수개 구비하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  8. 제3항에 있어서, 상기 아날로그 반도체 장치는 상기 저주파 아날로그 신호를 출력하는 핀과 상기 고주파 아날로그 신호를 출력하는 또 하나의 핀을 구비하며, 상기 저주파 패스 필터는 상기 핀에 연결되고, 상기 고주파 패스 필터는 상기 또 하나의 핀에 연결되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 핀과 상기 또 하나의 핀은 각각 상기 아날로그 반도체 장치에 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  10. 제1 및 제2 출력핀들을 구비하고, 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 저주파 아날로그 신호와 고주파 아날로그 신호를 입력하며, 외부 제어 신호에 의해 제어되어 저주파 아날로그 신호는 상기 제1 출력핀으로 출력하고, 상기 고주파 아날로그 신호는 상기 제2 출력핀으로 출력하는 스위칭부;
    상기 제1핀에 연결되며, 상기 제1핀으로부터 출력되는 저주파 아날로그 신호의 저주파 성분만을 통과시키는 저주파 패스 필터;
    상기 저주파 패스 필터에 연결되며, 상기 저주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 정류부;
    상기 제2 출력핀에 연결되며, 상기 제2 출력핀으로부터 출력되는 고주파 아날로그 신호의 고주파 성분만을 통과시키는 고주파 패스 필터;
    상기 고주파 패스 필터에 연결되며, 상기 고주파 패스 필터로부터 출력되는 아날로그 신호를 DC 전압으로 변환하여 출력하는 고주파 파워 검출부; 및
    상기 정류부와 상기 고주파 파워 검출부에 공통으로 연결되며, 상기 정류부로부터 출력되는 신호의 전압 레벨과 상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호의 전압 레벨을 측정하여 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 디지털 측정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 스위칭부는 상기 제어 신호에 의해 제어되는 릴레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 디지털 측정부는
    상기 정류부로부터 출력되는 신호를 기준 전압과 비교하는 비교부;
    상기 고주파 파워 검출부로부터 출력되는 신호를 상기 기준 전압과 비교하는 또 하나의 비교부;
    상기 비교부들의 출력들을 받아서 상기 아날로그 반도체 장치로부터 출력되는 아날로그 신호들의 양/불량을 판단하는 판단부; 및
    상기 제어 신호를 발생하는 스위칭 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 디지털 측정부는
    반도체 장치들을 테스트하는 ATE에 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테 스트 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 스위칭부, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터 및 상기 고주파 파워 검출부는 상기 반도체 장치와 상기 ATE를 인터페이싱하는 테스트 보드에 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 스위칭부, 상기 저주파 패스 필터, 상기 정류부, 상기 고주파 패스 필터, 상기 고주파 파워 검출부 및 상기 비교부들을 각각 복수개 구비하여 복수개의 아날로그 반도체 장치들을 동시에 테스트할 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 아날로그 반도체 장치는 상기 저주파 아날로그 신호와 상기 고주파 아날로그 신호를 같이 출력하는 특정 핀을 구비하며, 상기 스위칭부는 상기 특정 핀에 연결되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 특정 핀은 상기 아날로그 반도체 장치에 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 디지털 테스트 장치.
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