KR20060083890A - Coordinates detection apparatus and subject inspection apparatus - Google Patents

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KR20060083890A KR1020060004448A KR20060004448A KR20060083890A KR 20060083890 A KR20060083890 A KR 20060083890A KR 1020060004448 A KR1020060004448 A KR 1020060004448A KR 20060004448 A KR20060004448 A KR 20060004448A KR 20060083890 A KR20060083890 A KR 20060083890A
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Abstract

본 발명은, 스폿광을 피검체에 직접 조사하여 정밀도가 양호한 좌표 위치를 안정적으로 검출하는 피검체 검사 장치를 제공한다.The present invention provides a subject inspection apparatus for stably detecting a coordinate position having good precision by irradiating spot light directly onto a subject.
본 발명의 피검체 검사 장치의 회전 홀더(9) 상에 유리 기판(8)을 탑재하고, 유리 기판(8)의 표면상에서 X축 방향으로 이동 가능한 가이드 바(40)를 설치한다. 가이드 바(40)에는 스폿광을 유리 기판(8)의 결함 부분에 조사하는 레이저 헤드(44)를 제2 벨트(42)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 스폿광의 광속(光束)은 각도(α)로 조사한다. 매크로 관찰시에, 조작부에서, 가이드 바(40)와 레이저 헤드(44)를 X, Y축 방향으로 이동시켜, 유리 기판(8) 상의 스폿광을 결함 부분 상에 이동시킨다. 그때의 각 모터의 구동량을 위치 정보로 하여 좌표 데이터를 좌표 검출부에서 구한다. 현미경 기능을 구비한 관찰부를 좌표 위치로 이동시켜 결함의 마이크로 관찰을 행한다.The glass substrate 8 is mounted on the rotation holder 9 of the object inspection apparatus of the present invention, and a guide bar 40 movable on the surface of the glass substrate 8 in the X-axis direction is provided. In the guide bar 40, a laser head 44 for irradiating spot light to a defective portion of the glass substrate 8 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the second belt 42, so that the light beam of the spot light can be moved. Is irradiated at an angle α. At the time of macro observation, at the operation portion, the guide bar 40 and the laser head 44 are moved in the X and Y axis directions to move the spot light on the glass substrate 8 onto the defective portion. Coordinate data is obtained by the coordinate detecting unit using the drive amount of each motor at that time as position information. The observation part with a microscope function is moved to a coordinate position, and micro observation of a defect is performed.
피검체, 홀더, 가이드 부재, 스폿광, 지시 수단, 조작부, 좌표 검출부, 마이크로 관찰부. A subject, a holder, a guide member, a spot light, an indicating means, an operation part, a coordinate detection part, a micro observation part.

Description

좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치{COORDINATES DETECTION APPARATUS AND SUBJECT INSPECTION APPARATUS}Coordinate Detection Device and Subject Inspection Device {COORDINATES DETECTION APPARATUS AND SUBJECT INSPECTION APPARATUS}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 피검체 검사 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a subject inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 나타낸 피검체 검사 장치의 측면도이다.FIG. 2 is a side view of the test subject apparatus shown in FIG. 1. FIG.
도 3은 도 1에 나타낸 피검체 검사 장치의 좌표 검출 장치의 부분의 사시도이다.It is a perspective view of the part of the coordinate detection apparatus of the subject inspection apparatus shown in FIG.
도 4는 제2 벨트에 장착한 레이저 헤드의 사시도이다.4 is a perspective view of the laser head attached to the second belt.
도 5는 스폿광을 유리 기판상의 결함 부분에 조사한 상태를 나타낸 레이저 헤드의 측면도이다.It is a side view of the laser head which showed the state which irradiated the spot part on the glass substrate with the spot light.
도 6은 좌표 검사 장치의 구동 제어계를 나타낸 블록도이다.6 is a block diagram showing a drive control system of a coordinate inspection apparatus.
도 7은 제2 실시예에 따른 피검체 검사 장치의 좌표 검출 장치의 부분 사시도이다.7 is a partial perspective view of the coordinate detection device of the object inspection apparatus according to the second embodiment.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1: 물체 검사 장치 3, 70: 좌표 검출 장치1: object inspection device 3, 70: coordinate detection device
5: 마이크로 관찰 수단 8: 유리 기판(물체)5: micro observation means 8: glass substrate (object)
9: 회전 홀더 18: 마이크로 관찰부9: rotating holder 18: micro observation part
21: 대물 렌즈 33, 34: 가이드 레일21: objective lens 33, 34: guide rail
35, 36: 제1 벨트 40: 가이드 바(가이드 부재)35, 36: First belt 40: Guide bar (guide member)
40a: 차광 부재 42: 제2 벨트40a: Light blocking member 42: Second belt
44, 72: 레이저 헤드(스폿광원)44, 72: laser head (spot light source)
M1, M2, M3: 모터 M1, M2, M3: Motor
k: 결함 부분(특정 부위) 스폿광k: defect part (specific part) spot light
일본국 특허공개공보 제2002-82067호Japanese Patent Publication No. 2002-82067
국제공개공보 제WO03/002934호International Publication No. WO03 / 002934
본 발명은, 예를 들면 평면 패널 디스플레이에 이용되는 유리 기판 등 각종 피검체에 존재하는 결함 부분 등의 특정 부위의 좌표를 검출하는 좌표 검출 장치, 및 이러한 좌표 데이터에 따라 특정 부위를 관찰하는 피검체 검사 장치에 관한 것이다.The present invention is, for example, a coordinate detection device that detects coordinates of a specific site such as a defective part present in various test targets such as a glass substrate used for a flat panel display, and a test object for observing a specific site according to such coordinate data. It relates to an inspection apparatus.
종래로부터, 액정 디스플레이 등의 평면 패널 디스플레이에 이용되는 유리 기판 표면의 결함을 검사하는 기판 검사 장치가 알려져 있다. 이러한 기판 검사장치는, 유리 기판 표면에 조명광을 조사하고, 그 반사광의 광학적 변화를 육안관찰하여 유리 기판 표면의 손상 및 막의 얼룩, 먼지의 부착 등의 결함을 검출하는 매크로 관찰, 및 이 매크로 관찰로 검출된 결함을 확대하여 관찰하는 마이크로 관찰 을 행한다. 이러한 기판 검사 장치에, 매크로 관찰에 의해 검출된 결함 부분 등의 특정 부위의 좌표를 검출하기 위해 좌표 검출 장치가 이용된다.Conventionally, the board | substrate inspection apparatus which inspects the defect of the glass substrate surface used for flat panel displays, such as a liquid crystal display, is known. Such a substrate inspection apparatus includes a macro observation that irradiates illumination light onto the surface of a glass substrate and visually observes optical changes in the reflected light to detect defects such as damage on the surface of the glass substrate, film stains, and adhesion of dust, and the macro observation. Micro observation to magnify and observe the detected defect is performed. In such a board | substrate inspection apparatus, the coordinate detection apparatus is used in order to detect the coordinate of a specific site | part, such as a defect part detected by macro observation.
예를 들면, 일본국 특허공개공보 제2002-82067호에서, 피검체인 유리 기판을 탑재한 홀더의 대향하는 양쪽 에지를 따라 유리 기판상에서 이동 가능한 막대 모양의 투사 부재를 설치하고, 이 투사 부재와 평행한 홀더의 일측 가장자리를 따라 이동할 수 있는 가이드 이동부를 설치하고 있다. 이 가이드 이동부에는, 홀더 코너부에 고정된 레이저 광원으로부터 출사되는 레이저광을 반사시켜, 투사 부재에 조사하는 미러가 설치된다. 투사 부재로의 레이저광의 조사 위치가 유리 기판의 결함 위치와 일치하도록 투사 부재와 가이드 이동부를 X-Y 축방향으로 이동시킴으로써, 그들의 각각의 이동량으로부터 결함의 좌표 위치를 검출한다.For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-82067, a rod-shaped projection member movable on a glass substrate is provided along both opposing edges of a holder on which a glass substrate as a test object is mounted, and parallel to the projection member. The guide moving part which can move along one edge of one holder is provided. The guide moving part is provided with a mirror which reflects the laser light emitted from the laser light source fixed to the holder corner part and irradiates the projection member. By moving the projection member and the guide moving part in the X-Y axial direction so that the irradiation position of the laser beam to the projection member coincides with the defect position of the glass substrate, the coordinate position of the defect is detected from their respective amounts of movement.
국제공개공보 제WO03/002934호에서는, 피검체인 유리 기판을 탑재하는 홀더 상에서 이동할 수 있는 막대 모양의 발광체를 설치하고, 이 발광체는 그 길이 방향으로 배열된 복수개의 발광 소자로 되어 있다. 발광체를 결함에 대향하도록 유리 기판 표면을 따라 이동시키는 동시에, 이 발광체를 유리 기판상의 결함 위치에 위치시킨 상태에서 다수의 발광 소자를 차례로 점등시키고, 결함에 대향하는 위치의 발광 소자를 점등시킨 상태에서, 발광체의 이동량과 점등되어 있는 발광 소자의 위치로부터 결함의 좌표 위치를 검출한다.In International Publication No. WO03 / 002934, a rod-shaped light-emitting body which is movable on a holder on which a glass substrate as a test object is mounted is provided, and the light-emitting body is a plurality of light-emitting elements arranged in the longitudinal direction thereof. While the light emitter is moved along the surface of the glass substrate so as to face the defect, while the light emitter is positioned at a defect position on the glass substrate, a plurality of light emitting elements are sequentially turned on and the light emitting element at the position facing the defect is turned on. The coordinate position of the defect is detected from the movement amount of the light emitting body and the position of the light emitting element that is turned on.
그러나, 일본국 특허공개공보 제2002-82067호와 국제공개공보 제WO03/002934호에 기재된 좌표 검출 장치는, 결함의 위치 좌표를 특정하는 투사 부재나 발광체를 유리 기판과 접촉되지 않도록 유리 기판의 상면으로부터 떼어 놓을 필요가 있 다. 유리 기판과 투사 부재나 발광체의 간격은, 유리 기판과 투사 부재나 발광체 상호 간의 상하 방향의 진동을 고려하면, 수mm 정도의 간격이 필요하므로, 결함의 지시가 간접적인 것으로 된다. 따라서, 결함 위치와 조사 부재나 점등되는 발광체의 위치 설정을 작업자가 육안관찰로 행할 때, 작업자의 기판에 대한 관찰 각도에 따라서 좌표 위치의 판독 오차가 발생하는 문제가 있다. 특히, 검사 대상이 되는 액정 디스플레이용 유리 기판(마더(mother) 유리 기판)은, 한 변이 2000mm를 초과하는 것이 출현하고 있다. 이 대형 유리 기판을 홀더에 유지하여 소정 각도(예를 들면 60˚)로 경사시켜 매크로 관찰할 때에는, 대형 유리 기판의 상방과 하방에서 관찰 각도가 크게 변하기 때문에, 대형 유리 기판의 상방의 결함과 하방의 결함에서 좌표 위치에 큰 오차가 생긴다.However, the coordinate detection apparatuses described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-82067 and WO03 / 002934 have an upper surface of a glass substrate so that a projection member or a light emitting member specifying a position coordinate of a defect does not come into contact with the glass substrate. It needs to be separated from. When the distance between the glass substrate, the projection member, and the light emitter is considered in the vertical direction between the glass substrate, the projection member, and the light emitter, a distance of about several mm is required, so that the instruction of a defect is indirect. Therefore, when an operator visually observes a defect position, an irradiation member, or a light emitting body to be lit, there is a problem that a reading error of the coordinate position occurs depending on the angle of observation of the operator to the substrate. In particular, it has emerged that one side of the glass substrate for a liquid crystal display (mother glass substrate) to be inspected exceeds 2000 mm. When holding the large glass substrate in the holder and tilting it at a predetermined angle (for example, 60 °) to observe the macro, the observation angle changes greatly from above and below the large glass substrate. In the defect of, a large error occurs in the coordinate position.
본 발명의 목적은, 이와 같은 문제점을 감안하여, 스폿광을 피검체에 직접 조사하여 정밀도가 양호한 좌표 위치를 안정하게 검출할 수 있는 좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a coordinate detecting apparatus and a subject inspecting apparatus capable of stably detecting a coordinate position having good precision by directly irradiating a spot light to a subject under consideration of such a problem.
본 발명에 의한 좌표 검출 장치는, 피검체를 지지하는 홀더, 상기 피검체의 표면상에서 이동 가능한 가이드 부재, 상기 가이드 부재에 설치되어 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 지시 수단, 상기 피검체 상의 상기 스폿광의 조사 위치를 이동시키는 조작부, 및 상기 피검체 상의 상기 스폿광의 상기 조사 위치에 관한 위치 정보로부터 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The coordinate detecting apparatus according to the present invention includes a holder for supporting a subject, a guide member movable on a surface of the subject, and spot light provided on the guide member and irradiated to the subject with respect to the movement direction of the guide member. And an instruction unit capable of moving in an intersecting direction, an operation unit for moving the irradiation position of the spot light on the subject, and a coordinate detector for obtaining coordinate data from the positional information about the irradiation position of the spot light on the subject. It is characterized by.
본 발명에 의하면, 피검체의 특정 부위에 대하여, 가이드 부재를 피검체의 표면에 대향하여 비접촉으로 이동시켜, 지시 수단에 의해 스폿광을 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시킴으로써 피검체에 대향하는 가이드 부재로부터 스폿광을 직접 피검체에 조사할 수 있다. 피검체 상의 스폿광 조사 위치에 관한 좌표 데이터를 좌표 검출부에 의해 구한다. 이 경우, 피검체의 표면에서 이동하는 가이드 부재의 지시 수단으로부터 스폿광을 피검체의 특정 부위에 직접 조사함으로써, 정밀도가 양호한 좌표 데이터가 안정적으로 얻어진다.According to the present invention, a test object is moved by moving the guide member in a non-contact direction with respect to a specific part of the test object, in a non-contact manner, and by moving the spot light in a direction crossing the moving direction of the guide member. The spot light can be directly irradiated to the subject from a guide member opposite to. Coordinate data about a spot light irradiation position on a subject is obtained by a coordinate detector. In this case, the coordinate data with good precision is stably obtained by irradiating a spot light directly to the specific site | part of a subject from the indicating means of the guide member which moves on the surface of a subject.
본 발명에 의한 좌표 검출 장치는, 피검체를 소정의 경사 각도로 유지한 상태에서 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하고, 상기 피검체 상의 결함을 육안으로 관찰하는 피검체 검사 장치에 있어서, 상기 피검체를 유지하여 상기 소정의 경사 각도로 기립시키는 회전 홀더, 상기 회전 홀더에 설치되어 상기 피검체의 표면상에서 이동하는 가이드 부재, 상기 가이드 부재에 설치되어, 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시키는 지시 수단, 상기 가이드 부재와 상기 지시 수단을 각각 이동시켜 상기 스폿광의 조사 위치에 따라 상기 피검체 상의 결함 위치를 지정하는 조작부, 및 상기 가이드 부재와 상기 스폿광의 각 위치의 좌표 데이터로부터 상기 지시 수단에 의해 지정된 결함 위치의 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The coordinate detecting apparatus according to the present invention is a subject inspection apparatus that irradiates macro illumination light from above in a state in which a subject is held at a predetermined inclination angle, and visually observes a defect on the subject. A rotating holder for holding and standing at the predetermined inclination angle, a guide member provided on the rotating holder and moving on the surface of the test object, and a spot light provided on the guide member to irradiate the test object with the guide member. Indicating means for moving in a direction intersecting with the movement direction, an operation portion for moving the guide member and the indicating means, respectively, to designate a defect position on the subject according to the irradiation position of the spot light, and the guide member and the spot light The coordinates of the defect position designated by the indicating means from the coordinate data of each position Characterized by comprising a coordinate detection unit to obtain a foundation.
본 발명에 의하면, 회전 홀더를 검사자가 매크로 관찰하기 쉬운 각도로 기립시켜도, 이 회전 홀더에 가이드 부재와 지시 수단이 일체로 설치되어 있으므로, 회전 홀더가 어떠한 각도로 경사져도, 검사자가 육안관찰에 의해 검출한 결함에 지시 수단의 스폿광을 정확하게 맞출 수 있다.According to the present invention, even when the rotating holder stands up at an angle at which the inspector can easily observe the macro, the guide member and the instructing means are integrally provided on the rotating holder. The spot light of the indicating means can be precisely matched to the detected defect.
본 발명에 따른 피검체 검사 장치는, 피검체의 특정 부위에 대하여 마이크로 관찰을 행할 수 있는 피검체 검사 장치에 있어서, 상기 피검체를 지지하는 홀더, 상기 피검체의 표면상에서 이동 가능한 가이드 부재, 상기 가이드 부재에 설치되어, 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 지시 수단, 상기 피검체 상의 상기 스폿광의 조사 위치를 이동시키는 조작부, 상기 피검체 상의 상기 스폿광의 상기 조사 위치에 관한 위치 정보로부터 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부, 및 마이크로 관찰부를 구비하고, 상기 피검체의 상기 특정부위에 상기 스폿광을 조사함으로써 상기 좌표 검출부에 의해 상기 특정 부위의 좌표 데이터를 구하여, 상기 좌표 데이터 위치에 상기 마이크로 관찰부를 상대적으로 이동시켜 현미경 관찰을 행하도록 한 것을 특징으로 한다.A subject inspection apparatus according to the present invention is a subject inspection apparatus capable of micro-observing a specific portion of a subject, the holder supporting the subject, a guide member movable on the surface of the subject, Instructing means provided in the guide member and capable of moving the spot light irradiated to the subject under a direction intersecting with the moving direction of the guide member, an operation unit for moving the irradiation position of the spot light on the subject, the subject A coordinate detecting unit for obtaining coordinate data from the positional information relating to the irradiation position of the spot light on a specimen, and a micro observation unit, and irradiating the spot light to the specific portion of the subject to be examined by the coordinate detecting unit. Obtaining coordinate data, the micro observation unit at the coordinate data position Transfer the adversary is characterized in that to effect a microscopic observation.
본 발명에 의하면, 피검체의 결함 부분 등의 특정 부위에 대하여, 조작부를 조작함으로써 가이드 부재를 비접촉으로 피검체의 표면상에서 이동시켜, 지시 수단에 의해 스폿광을 가이드 부재의 이동 방향에 대하여 교차하는 방향으로 이동시킴으로써 피검체에 대향하는 가이드 부재로부터 스폿광을 직접 피검체의 특정 부위에 조사할 수 있다. 특정 부위의 스폿광 조사 위치에 관한 좌표 데이터를 좌표 검출부에서 구하여, 이 좌표 데이터의 위치로 마이크로 관찰부를 상대적으로 이동시킴으로써 결함 부분 등의 특정 부위의 현미경 관찰을 행할 수 있다.According to the present invention, the guide member is moved on the surface of the subject in a non-contact manner by operating the operation unit with respect to a specific portion such as a defective portion of the subject, and the indicating means intersects the spot light with respect to the movement direction of the guide member. By moving in the direction, the spot light can be directly irradiated to a specific part of the subject from the guide member facing the subject. Coordinate data regarding the spot light irradiation position of a specific site can be obtained from the coordinate detection unit, and microscopic observation of a specific site such as a defective portion can be performed by relatively moving the micro observation unit to the position of this coordinate data.
본 발명에 따른 좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치에 의하면, 피검체 상의 임의의 부위에 대하여 스폿광을 피검체에 대향하는 가이드 부재로부터 직접 투영할 수 있는 동시에, 지시 수단과 피검체 사이의 거리 및 스폿광의 광속(光束)의 투사 각도를 일정하게 할 수 있어, 스폿광을 투영하는 피검체 상에서의 좌표의 검출 정밀도가 양호하고, 스폿광의 조사 위치에 관계없이 안정된 검출 정밀도를 얻을 수 있다.According to the coordinate detecting apparatus and the subject inspection apparatus according to the present invention, the spot light can be directly projected from a guide member facing the subject against any portion on the subject, and the distance between the indicating means and the subject and The projection angle of the light beam of the spot light can be made constant, the detection accuracy of the coordinates on the subject projecting the spot light is good, and stable detection accuracy can be obtained regardless of the irradiation position of the spot light.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 좌표 검출 장치를 구비한 피검체 검사 장치에 대하여 첨부 도면에 의해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the subject inspection apparatus provided with the coordinate detection apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated by attached drawing.
도 1 내지 도 6은 제1 실시예를 나타낸 것이며, 도 1은 피검체 검사 장치의 개략 사시도, 도 2는 피검체 검사 장치의 측면도, 도 3은 좌표 검출 장치의 주요부 사시도, 도 4는 레이저 헤드의 사시도, 도 5는 레이저 헤드의 측면도, 도 6은 제어 구동계의 블록도이다.1 to 6 show a first embodiment, FIG. 1 is a schematic perspective view of a subject inspection apparatus, FIG. 2 is a side view of a subject inspection apparatus, FIG. 3 is a perspective view of an essential part of a coordinate detection apparatus, and FIG. 4 is a laser head. 5 is a side view of the laser head, and FIG. 6 is a block diagram of the control drive system.
도 1 및 도 2에 나타낸 피검체 검사 장치(1)는, 장치 본체(2)로서 좌표 검출 장치(3)와 그 받침대(4) 상에 설치된 마이크로 관찰장치(5)를 구비하고, 또한 장치 본체(2)에 배선으로 접속된 제어부(6)를 구비한다.The object inspection apparatus 1 shown to FIG. 1 and FIG. 2 is equipped with the micro-observation apparatus 5 provided on the coordinate detection apparatus 3 and the pedestal 4 as the apparatus main body 2, and an apparatus main body. The control part 6 connected by the wiring to (2) is provided.
장치 본체(2)에 있어서, 받침대(4) 상에 피검체로서의 유리 기판(8)을 유지하는 회전 홀더(9)가 설치된다. 회전 홀더(9)는 예를 들면 사각형 프레임 모양으로 형성되고, 그 4개의 변의 프레임부에 유리 기판(8)을 탑재시킨다. 유리 기판(8)은 액정 디스플레이 등의 평면 패널 디스플레이인 이용되는 것이며, 회전 홀더(9)의 2개의 변에 설치된 복수개의 기준 핀(9a) 및 다른 2개의 변에 각각 설치된 누름 부재(9b)에 의해 유리 기판(8)을 기준 위치에 위치시킨다. 회전 홀더(9)의 주위 둘레부에는 전체 주위를 따라 나타내지 않은 복수개의 구멍(흡착 패드)이 형성되고, 이들 구멍을 통해 유리 기판(8)을 흡착함으로써 유리 기판(8)을 회전 홀더(9) 상에 흡착 유지한다.In the apparatus main body 2, the rotation holder 9 which holds the glass substrate 8 as a test object on the pedestal 4 is provided. The rotation holder 9 is formed in a rectangular frame shape, for example, and the glass substrate 8 is mounted in the frame part of its four sides. The glass substrate 8 is used as a flat panel display such as a liquid crystal display, and is used for a plurality of reference pins 9a provided on two sides of the rotary holder 9 and a pressing member 9b respectively provided on two other sides. The glass substrate 8 is thereby positioned at the reference position. A plurality of holes (adsorption pads) not shown along the entire circumference are formed in the peripheral portion of the rotary holder 9, and the glass substrate 8 is rotated by adsorbing the glass substrate 8 through these holes. Maintain adsorption on the phase.
회전 홀더(9)는, 도 2에 나타내듯이 받침대(4)의 한쪽 에지에 설치된 지지축(10)(회전축)에 의해 회전 가능하며, 수평인 상태로부터 검사자가 육안관찰하기 쉬운 각도 θ(예를 들면 45˚~60˚)까지 일어난다. 지지축(10)은, 풀리(11)와 벨트(12)를 통하여 모터(M1)의 회전축(13)에 접속되어, 모터(M1)에 의해 회전 구동된다. 이것들은 회전 수단을 구성한다.The rotary holder 9 is rotatable by the support shaft 10 (rotation shaft) provided on one edge of the pedestal 4, as shown in Fig. 2, and the angle θ (e.g. For example, 45˚ ~ 60˚). The support shaft 10 is connected to the rotation shaft 13 of the motor M1 via the pulley 11 and the belt 12, and is driven to rotate by the motor M1. These constitute the rotating means.
본 실시예에서는, 검사자에 대하여 전후방향으로 회전하는 1축 회전 홀더의 일례를 나타내었지만, 전후좌우로 회전하는 2축 회전 홀더나 전후좌우로 자유롭게 회전하는 평행 링크 또는 다관절 로봇을 이용한 회전 홀더에도 적용될 수 있다.In the present embodiment, an example of the one-axis rotation holder rotating in the front-rear direction with respect to the inspector is shown. Can be applied.
장치 본체(2)에 있어서, 받침대(4) 상에는 회전 홀더(9)의 양쪽 측부를 따라 Y축 방향으로 마이크로 관찰장치(5)용 제1 가이드 레일(15, 16)이 대향하여 배치되어, 이 제1 가이드 레일(15, 16)을 따라 마이크로 관찰장치(5)가 이동 가능하다. 마이크로 관찰장치(5)는 문 모양의 지지부(17)와 마이크로 관찰부(18)를 구비한다. 마이크로 관찰부(18)는 지지부(17)의 X축 방향으로 연장되는 빔(17a)에 설치된 마이크로 관찰부용 제2 가이드 레일(나타내지 않음)을 따라 이동 가능하다.In the apparatus main body 2, on the pedestal 4, the first guide rails 15 and 16 for the micro-observing apparatus 5 are disposed to face each other in the Y-axis direction along both sides of the rotation holder 9, The micro observation device 5 is movable along the first guide rails 15 and 16. The micro observation device 5 includes a door-shaped support 17 and a micro observation 18. The micro observation part 18 is movable along the 2nd guide rail (not shown) for the micro observation part provided in the beam 17a extended in the X-axis direction of the support part 17. As shown in FIG.
마이크로 관찰부(18)는, 예를 들면, 고배율(예를 들면 20~100배)의 대물 렌즈(21), 접안 렌즈(22), 및 나타내지 않은 하향 조사 조명 광원으로 구성되는 현미 경 헤드이다. 마이크로 관찰부로서는, 광학식 현미경 외에 전자 현미경이나 주사형 프로브 현미경 등이 있다. 또한, 마이크로 관찰부(18)에, 유리 기판(8)상의 결함 위치를 극소 배율(예를 들면 0.5~2배 정도)로 관찰하기 위한 보조 대물 렌즈(23)가 장착된다. 마이크로 관찰부(18)의 본체 측면에는, 유리 기판(8)의 표면을 눈으로 직접 보아 매크로 관찰하기 위한 부분 매크로 조명광원(24)이 장착된다.The micro observation part 18 is a microscope head comprised from the objective lens 21 of the high magnification (for example, 20-100 times), the eyepiece 22, and the unilluminated downward illumination light source. As a micro observation part, an electron microscope, a scanning probe microscope, etc. are mentioned besides an optical microscope. In addition, an auxiliary objective lens 23 for observing the defect position on the glass substrate 8 at a very small magnification (for example, about 0.5 to 2 times) is attached to the micro observation part 18. On the main body side surface of the micro observation part 18, the partial macro illumination light source 24 for macro-observing the surface of the glass substrate 8 directly with an eye is attached.
지지부(17)를 Y 방향으로 이동시키는 동시에 마이크로 관찰부(18)를 X 방향으로 이동시킴으로써, 검사자는, 대물 렌즈(21)를 통한 접안 렌즈(22)에 의한 관찰에 의하여, 유리 기판(8) 표면의 고배율 화상을 유리 기판(8)의 전체 면에 걸쳐 관찰할 수 있다. 대물 렌즈(21)와 보조 대물 렌즈(23)의 광로를 전환시킴으로써 보조 대물 렌즈(23)에 의해 넓은 시야로 받아들여진 유리 기판(8) 표면의 저배율 화상을 접안 렌즈(22)로 관찰할 수 있다.By moving the support 17 in the Y direction and the micro observation 18 in the X direction, the inspector can observe the surface of the glass substrate 8 by the eyepiece 22 through the objective lens 21. A high magnification image of can be observed over the entire surface of the glass substrate 8. By switching the optical paths of the objective lens 21 and the auxiliary objective lens 23, a low magnification image of the surface of the glass substrate 8 taken into the wide field of view by the auxiliary objective lens 23 can be observed with the eyepiece 22. .
마이크로 관찰부(18)의 접안 경통(鏡筒)의 상부에 TV 카메라(25)가 접속된다. TV 카메라(25)는 대물 렌즈(21)와 보조 대물 렌즈(23)로 얻어지는 유리 기판(8) 표면의 관찰되는 상(저배율 화상)을 촬상하여, 제어부(6)에 설치된 제어부(26)로 보낸다.The TV camera 25 is connected to the upper part of the eyepiece barrel of the micro observation part 18. As shown in FIG. The TV camera 25 captures the observed image (low magnification image) of the surface of the glass substrate 8 obtained by the objective lens 21 and the auxiliary objective lens 23, and sends it to the control unit 26 provided in the control unit 6. .
마이크로 관찰장치(5)에 있어서, 지지부(17)의 하부에 대물 렌즈(21)의 이동 라인에 대향하여 투과 라인 조명 광원(28)이 형성된다. 이 투과 라인 조명 광원(28)은, 수평 상태로 유지된 회전 홀더(9)의 아래쪽에서 이동할 수 있는 지지부(17)의 하부판(29) 상에 X축을 따라 설치된다(도 2 참조). 투과 라인 조명 광원(28)은 유리 기판(8)의 하방으로부터 선 모양의 투과 조명을 행하는 것으로서, 지 지부(17)와 일체로 Y축 방향으로 이동 가능하다.In the micro-observing apparatus 5, the transmission line illumination light source 28 is formed in the lower part of the support part 17 facing the moving line of the objective lens 21. As shown in FIG. This transmission line illumination light source 28 is provided along the X-axis on the lower plate 29 of the support part 17 which can move below the rotation holder 9 maintained in the horizontal state (refer FIG. 2). The transmissive line illumination light source 28 performs linear transmissive illumination from below the glass substrate 8, and is movable in the Y-axis direction integrally with the supporting portion 17.
한편, 제어부(6)에서는, TV 카메라(25)로 얻어진 관찰된 상을 제어부(26)를 통하여 TV 모니터(30)에 표시한다. 제어부(26)에는, 검사자가 동작 지시나 데이터 입력을 행하기 위한 입력부로서 키보드(31)가 접속된다.On the other hand, the control unit 6 displays the observed image obtained by the TV camera 25 on the TV monitor 30 via the control unit 26. The control unit 26 is connected with a keyboard 31 as an input unit for the inspector to perform an operation instruction or data input.
장치 본체(2)의 상부에는, 회전 홀더(9) 상의 유리 기판(8)을 광범위로 조사하는 나타내지 않은 매크로 조명부가 설치된다. 이 매크로 조명부는, 예를 들면 특허공개공보 제평5-232040호에 기재되어 있는 금속 할로겐 램프(metal halogen lamp), 반사 미러, 및 프레넬 렌즈(Fresnel lens)로 구성된다. 이 매크로 조명부는, 회전 홀더(9)를 소정 각도(45˚~60˚)로 경사시킨 상태에서, 이 회전 홀더(9)에 유지된 유리 기판(8)의 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하고, 검사자가 매크로 조명하에서 유리 기판(8)의 표면을 눈으로 직접 보아 유리 기판(8) 표면의 결함을 매크로 관찰할 때 이용된다.In the upper part of the apparatus main body 2, the macro illumination part which is not shown which irradiates extensively the glass substrate 8 on the rotating holder 9 is provided. This macro illumination unit is composed of, for example, a metal halogen lamp, a reflecting mirror, and a Fresnel lens described in Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 5-232040. This macro illumination part irradiates macro illumination light from the upper side of the glass substrate 8 hold | maintained by this rotation holder 9 in the state which inclined the rotation holder 9 by predetermined angle (45 degree-60 degree), and inspects it. It is used for macro observation of defects on the surface of the glass substrate 8 by directly seeing the surface of the glass substrate 8 under self macro illumination.
다음에 도 3 내지 도 5에 의해 피검체 검사 장치(1)의 좌표 검출 장치(3)를 설명한다. 회전 홀더(9) 상에 있어서, 유리 기판(8)의 전후 방향 양쪽 단부를 따라 좌표 검출용 제3 가이드 레일(33, 34)이 대향하여 설치된다. 각 가이드 레일(33, 34)의 외측에 이음매 없는 제1 벨트(35, 36)가 한쌍 배열된다. 각 벨트(35, 36)는 각각 한쌍의 풀리(37a, 37b 및 37c, 37d)에 걸리고, 대향하는 2개의 풀리(37a, 37c)는 샤프트(38)으로 연결된다. 샤프트(38)는 스테핑 모터 등의 모터(M2)의 출력축에 전동 벨트(39)를 통하여 연결되어, 구동력을 전달받는다. 모터(M2)로서는 양축 모터를 이용하여, 이 양축 모터를 샤프트(38)의 중간에 각각 커플링을 통하여 배치하도록 해도 된다.Next, the coordinate detection apparatus 3 of the subject inspection apparatus 1 is demonstrated with reference to FIGS. On the rotation holder 9, 3rd guide rails 33 and 34 for coordinate detection are provided in opposition along the both ends of the front-back direction of the glass substrate 8. As shown in FIG. A pair of seamless first belts 35 and 36 are arranged outside the guide rails 33 and 34. Each belt 35, 36 is engaged with a pair of pulleys 37a, 37b and 37c, 37d, respectively, and two opposing pulleys 37a, 37c are connected by a shaft 38. The shaft 38 is connected to the output shaft of the motor M2, such as a stepping motor, via the transmission belt 39, and receives a driving force. As the motor M2, a biaxial motor may be used, and the biaxial motor may be arranged in the middle of the shaft 38 via a coupling.
이들 제3 가이드 레일(33, 34) 상에는 가이드 바(40)(가이드 부재)의 양단이 슬라이드 이동 가능하게 장착되고, 가이드 바(40)의 양단이 각 제1 벨트(35, 36)에 연결된다. 가이드 바(40)는, 그 장변(長邊) 방향이 상방으로부터 조사되는 매크로 조명의 조명 방향과 같은 방향을 따르도록 회전 홀더(9)의 회전용 지지축(10)에 직교하는 방향(Y축 방향)으로 설치된다. 즉, 이 가이드 바(40)는, 매크로 관찰을 위해 회전 홀더(9)를 소정 각도로 기립시킨 상태에서 검사자가 검출한 결함에 상방향으로부터 조명된 매크로 조명광에 의한 그림자가 비치지 않게 하기 위하여, 그 장변 방향이 매크로 조명의 조사 방향과 같은 방향을 따르도록 배치하는 것이 바람직하다. 모터(M2)의 구동에 연동하여 샤프트(38)를 통하여 제1 벨트(35, 36)가 구동됨으로써, 가이드 바(40)는 회전 홀더(9)의 회전용 지지축(10)의 방향(X축 방향)을 따라, 유리 기판(8)의 표면상에서 비접촉으로 왕복 이동한다.On these third guide rails 33 and 34, both ends of the guide bar 40 (guide member) are slidably mounted, and both ends of the guide bar 40 are connected to the respective first belts 35 and 36. . The guide bar 40 is a direction (Y axis) orthogonal to the rotation support shaft 10 of the rotation holder 9 such that its long side direction is the same as the illumination direction of the macro illumination irradiated from above. Direction) is installed. That is, the guide bar 40 is designed so that the shadow of the macro illumination light illuminated from above is not reflected on the defect detected by the inspector while the rotary holder 9 stands up at a predetermined angle for macro observation. It is preferable to arrange so that the long side direction may follow the same direction as the irradiation direction of macro illumination. As the first belts 35 and 36 are driven through the shaft 38 in association with the drive of the motor M2, the guide bar 40 moves in the direction X of the supporting shaft 10 for rotation of the rotary holder 9. Along the axial direction) to reciprocate in a non-contact manner on the surface of the glass substrate 8.
도 3에 있어서, 가이드 바(40)에는 그 길이 방향(Y축 방향)을 따라 이음매 없는 제2 벨트(42)가 설치되고, 제2 벨트(42)는 그 양단에 설치된 풀리(43a, 43b)에 걸린다. 한쪽의 풀리(43a)에는 스텝 모터 등의 모터(M3)의 출력축이 연결된다. 제2 벨트(42)에는 레이저광원으로서의 레이저 헤드(44)를 일체로 설치한 파지부(45)가 연결되고, 모터(M3)의 정역회전에 의해 레이저 헤드(44)는 유리 기판(8)의 Y축 방향 전체 길이에 걸쳐 왕복 이동 가능하게 된다.3, the guide bar 40 is provided with the seamless 2nd belt 42 along the longitudinal direction (Y-axis direction), and the 2nd belt 42 has the pulley 43a, 43b provided in the both ends. Takes on The output shaft of the motor M3, such as a step motor, is connected to one pulley 43a. The second belt 42 is connected to the holding portion 45 having the laser head 44 as a laser light source integrally installed thereon, and the laser head 44 is connected to the glass substrate 8 by the forward and reverse rotation of the motor M3. The reciprocating movement is possible over the entire length of the Y-axis direction.
도 4 및 도 5에 나타낸 레이저 헤드(44)(스폿 광원)는 적어도 조사부(44a)(도면에서는 레이저 헤드 전체)가 경사 하방을 향해 파지부(45)에 고정된다. 따라 서, 레이저 헤드(44)로부터 조사되는 스폿광(s)의 광속(光束)은 유리 기판(8)에 대하여 소정 각도(α)(예를 들면 30~70˚)로 투사된다. 투사 각도(α)는 40~60˚의 범위가 바람직하다. 본 실시예에서는, 투사 각도(α)를 45˚로 설정한다. 레이저 헤드(44)의 투사 각도를 소정 각도(예를 들면 45˚)로 설정함으로써, 검사자가 회전 홀더(9)를 매크로 관찰하기 쉬운 각도(예를 들면 45˚)로 기립 상태에서 유리 기판(8)의 스폿광(s)을 육안으로 관찰했을 때, 관찰 위치에 따라서 가이드 바(40)가 그림자가 되어 스폿광(s)을 육안 관찰할 수 없게 되는 것을 방지한다. 또, 레이저 헤드(44)로부터 투사되는 스폿광(s)은 검사자가 육안 관찰로 인식할 수 있는 정도의 직경, 예를 들면 2mm 직경의 원형으로 설정되고, 검사자가 매크로 조명 하에서 검출한 유리 기판(8)의 결함(k) 등을 조사한다. 따라서, 검사자는 틈새(47)를 통해서 상방으로부터 조사된 매크로 조명광에 의해 유리 기판(8) 상의 결함(k)을 확인하여, 이 결함(k)에 스폿광(s)을 정확하게 맞출 수 있다.In the laser head 44 (spot light source) shown in FIGS. 4 and 5, at least the irradiation part 44a (the entire laser head in the drawing) is fixed to the holding part 45 toward the downward slope. Therefore, the light beam of the spot light s irradiated from the laser head 44 is projected with respect to the glass substrate 8 at predetermined angle (alpha) (for example, 30-70 degree). As for the projection angle (alpha), the range of 40-60 degrees is preferable. In this embodiment, the projection angle α is set to 45 degrees. By setting the projection angle of the laser head 44 to a predetermined angle (for example, 45 °), the glass substrate 8 in the standing state at an angle (for example, 45 °) where the inspector is easy to macro observe the rotation holder 9. When the spot light s of) is visually observed, the guide bar 40 becomes a shadow depending on the observation position, and the spot light s is prevented from being visually observed. In addition, the spot light s projected from the laser head 44 is set to a circular diameter of a diameter, for example, 2 mm, that the inspector can recognize by visual observation, and the glass substrate detected by the inspector under macro illumination ( Examine the defect k of 8) and the like. Therefore, the inspector can confirm the defect k on the glass substrate 8 by the macro illumination light irradiated from the upper direction through the clearance 47, and can accurately match the spot light s to this defect k.
가이드 바(40)는 대략 판 모양으로 형성되고, 그 한쪽의 길이 방향의 변에는 소정 폭의 틈새(47)를 통하여 예를 들면 판 모양의 차광 부재(40a)가 형성된다. 레이저 헤드(44)로부터 유리 기판(8)에 조사된 레이저광은 도 5에 나타낸 바와 같이 스폿광(s)으로서 유리 기판(8)의 결함(k)에 조사한 후에 반사하여 차광 부재(40a)에 의해 차광된다. 또, 레이저광은, 검사자의 시선 방향에 대하여 교차하는 방향으로부터 조사되기 때문에, 검사자로 향해 레이저광이 직접 반사되는 일이 없고, 유리 기판(8) 상에서 반사한 레이저광도 반사광로 상의 차광 부재(40a)에 의해 확실하게 차광될 수 있다.The guide bar 40 is formed in a substantially plate shape, and for example, a plate-shaped light blocking member 40a is formed on one side of the longitudinal direction via a gap 47 having a predetermined width. As shown in FIG. 5, the laser light irradiated onto the glass substrate 8 from the laser head 44 is reflected as a spot light s to the defect k of the glass substrate 8 and then reflected to the light shielding member 40a. Shaded by. In addition, since the laser beam is irradiated from the direction intersecting with the eyeline direction of the inspector, the laser beam is not directly reflected toward the inspector, and the laser beam reflected on the glass substrate 8 is also shielded member 40a on the reflected optical path. Can be reliably shielded.
차광 부재(40a)는 레이저광을 투과시키지 않는 재질이면 되고, 착색되어 있어도 투명해도 된다. 차광 부재(40a)는 반사하는 레이저광에 대해 대략 직교하는 차광면을 구비하여 레이저광을 차광하는 것이 바람직하다. 차광 부재는, 가이드 바(40)에 일체로 설치할 필요는 없고, 예를 들면 유리 기판(8)에서 반사하는 레이저광을 충분히 차광할 수 있는 크기(예를 들면, 레이저 스폿 직경의 수배)의 차광판을 레이저 헤드(44)에 설치하고, 이 레이저 헤드(44)에 차광판을 종동시켜도 된다.The light shielding member 40a may be a material which does not transmit laser light, and may be colored or transparent. It is preferable that the light shielding member 40a has a light shielding surface substantially orthogonal to the laser beam which reflects, and light-shields a laser beam. The light shielding member does not need to be integrally provided with the guide bar 40, and is, for example, a light shielding plate having a size capable of sufficiently shielding the laser light reflected from the glass substrate 8 (for example, several times the laser spot diameter). May be provided in the laser head 44, and the light shielding plate may be driven to this laser head 44. FIG.
다음에, 좌표 검출 장치(3)에 있어서의 레이저 헤드(44)의 제어 구동계(50)에 대하여 도 6에 의해 설명한다. 제어 구동계(50)에 있어서, 상위 퍼스널 컴퓨터(51)에 구동 펄스 발생기(52)가 접속된다. 이 구동 펄스 발생기(52)에는 조작부 컨트롤러(53)를 통하여 죠이 스틱 등의 조작부(54)가 접속된다. 조작부(54)는 죠이 스틱에 한정되지 않고 유리 기판(8) 상의 결함(k)에 스폿광(s)을 중첩시켜 조사시킬 수 있도록 지정한 위치의 좌표(X, Y)의 지시를 부여하는 것이면 되고, 예를 들면 트랙 볼, 십자가 등의 2차원 좌표 지정 스위치이라도 된다.Next, the control drive system 50 of the laser head 44 in the coordinate detection apparatus 3 is demonstrated by FIG. In the control drive system 50, the drive pulse generator 52 is connected to the upper personal computer 51. An operation unit 54 such as a joystick is connected to the drive pulse generator 52 via an operation unit controller 53. The operation part 54 is not limited to a joy stick, What is necessary is just to give the instruction | position of the coordinate (X, Y) of the designated position so that the spot light s may be overlaid and irradiated to the defect k on the glass substrate 8 For example, a two-dimensional coordinate designation switch such as a track ball or a cross may be used.
조작부(54)에는, 유리 기판(8)의 표면에 있어서의 제1 벨트(35, 36)의 길이 방향(X축 방향)을 따르는 가이드 바(40)의 정지 위치의 X 좌표, 및 가이드 바(40)의 길이 방향(Y축 방향)을 따르는 레이저 헤드(44)의 정지 위치의 Y 좌표를 등록하기 위한 결함 위치 좌표 등록 스위치(55)가 형성된다. 등록 스위치로서, 본 실시예에서는 죠이 스틱의 조작 레버 근방에 푸시 스위치를 설치하였지만, 피검체 검사 장치(1)의 검사자가 육안 관찰하는 위치의 마루에 스위치를 설치해도 된다.On the operation part 54, the X coordinate of the stop position of the guide bar 40 along the longitudinal direction (X-axis direction) of the 1st belts 35 and 36 in the surface of the glass substrate 8, and a guide bar ( The defect position coordinate registration switch 55 for registering the Y coordinate of the stop position of the laser head 44 along the longitudinal direction (Y-axis direction) of 40 is formed. As a registration switch, although a push switch was provided in the vicinity of the operation lever of a joy stick in this embodiment, you may install a switch in the floor of the position which the inspector of the subject inspection apparatus 1 visually observes.
조작부 컨트롤러(53)는, 검사자에 의해 조작부(54)가 조작되었을 때 발생하는 이차원 좌표 정보를 입력하고, 이 이차원 좌표 정보로부터 조작부(54)에 대한 X축 방향과 Y축 방향의 조작 방향을 분리하여, 이들 X축 방향의 구동 펄스 출력 지시와 Y축 방향의 구동 펄스 출력 지시를 출력하는 기능을 가진다.The operation unit controller 53 inputs two-dimensional coordinate information generated when the operation unit 54 is operated by the inspector, and separates the operation directions in the X-axis direction and the Y-axis direction for the operation unit 54 from the two-dimensional coordinate information. And a drive pulse output instruction in the X-axis direction and a drive pulse output instruction in the Y-axis direction.
구동 펄스 발생기(52)는, 조작부 컨트롤러(53)로부터 출력되는 X축 방향의 구동 펄스 출력 지시와 Y축 방향의 구동 펄스 출력 지시를 받아, X축 방향의 구동 펄스 출력 지시에 의해 X축 방향 구동 펄스를 모터 드라이버(57)로 송출하고, Y축 방향의 구동 펄스 출력 지시에 의해 Y축 방향 구동 펄스를 모터 드라이버(58)로 송출하는 기능을 가진다.The drive pulse generator 52 receives the drive pulse output instruction in the X-axis direction and the drive pulse output instruction in the Y-axis direction output from the operation unit controller 53, and drives the X-axis direction by the drive pulse output instruction in the X-axis direction. A pulse is sent to the motor driver 57, and a Y-axis direction drive pulse is sent to the motor driver 58 by the drive pulse output instruction in the Y-axis direction.
모터 드라이버(57)는, 구동 펄스 발생기(52)로부터의 X축 방향 구동 펄스를 받아, 이 펄스 수에 따른 거리 만큼 가이드 바(40)를 X축 방향으로 이동시키도록 모터(M2)를 회전 구동시키는 기능을 가진다. 모터 드라이버(58)는, 구동 펄스 발생기(52)로부터의 Y축 방향 구동 펄스를 받아, 이 펄스 수에 따른 거리 만큼 레이저 헤드(44)를 Y축 방향으로 이동시키도록 모터(M3)를 회전 구동시키는 기능을 가진다.The motor driver 57 receives the X-axis direction drive pulse from the drive pulse generator 52 and drives the motor M2 to rotate to move the guide bar 40 in the X-axis direction by a distance corresponding to the number of pulses. Has the function of The motor driver 58 receives the Y-axis direction drive pulse from the drive pulse generator 52 and rotates the motor M3 to move the laser head 44 in the Y-axis direction by a distance corresponding to the number of pulses. Has the function of
상위 퍼스널 컴퓨터(51)는, 좌표 검출 수단(60), 및 원점 가변 수단(61)의 각 기능을 가진다. 좌표 검출 수단(60)은, 조작부(54)에 구비되어 있는 결함 위치 좌표 등록 스위치(55)가 조작되었을 때의 구동 펄스 발생기(52)로부터의 X축 방향의 구동 펄스 수와 Y축 방향의 구동 펄스 수로부터 스폿광(s)이 조사하는 결함(k)의 XY 좌표 데이터(2차원 좌표 데이터)를 산출한다.The upper personal computer 51 has the functions of the coordinate detecting means 60 and the origin variable means 61. The coordinate detecting means 60 is a drive pulse generator in the X-axis direction and a drive in the Y-axis direction from the drive pulse generator 52 when the defect position coordinate registration switch 55 provided in the operation unit 54 is operated. The XY coordinate data (two-dimensional coordinate data) of the defect k irradiated by the spot light s is calculated from the number of pulses.
원점 가변 수단(61)은, 레이저 헤드(44)에 의한 스폿광 조사 위치의 좌표 원점을 유리 기판(8)의 X, Y 좌표 기준 위치에 맞추는 기능을 가진다. 예를 들면 유리 기판(8)의 X, Y 좌표 기준 위치가 유리 기판(8)의 좌측단 또는 우측단의 코너부에 있으면, 스폿광(s)의 좌표 원점은, 상기 유리 기판(8)의 좌측단 또는 우측단의 코너부에 스폿광(s)이 조사된 레이저 헤드(44)의 위치에 설정된다. 유리 기판(8) 상의 결함(k)을 발견하고, 이 위치에 스폿광(s)을 조사할 때, 좌표 원점을 X 좌표의 0점, Y 좌표의 0점으로 하여, 이 좌표 원점(0, 0)으로부터 각 모터(M2, M3)의 펄스 수를 카운트하여 좌표(X, Y)를 구한다.The origin variable means 61 has a function of matching the coordinate origin of the spot light irradiation position by the laser head 44 with the X, Y coordinate reference position of the glass substrate 8. For example, when the X and Y coordinate reference positions of the glass substrate 8 are at the corners of the left end or the right end of the glass substrate 8, the coordinate origin of the spot light s is determined by the glass substrate 8. It is set at the position of the laser head 44 irradiated with the spot light s at the corner of the left end or the right end. When the defect k on the glass substrate 8 is found and spot light s is irradiated to this position, the coordinate origin is set as 0 point of X coordinate and 0 point of Y coordinate, and this coordinate origin (0, The number of pulses of the motors M2 and M3 is counted from 0) to obtain the coordinates (X, Y).
이 좌표 원점은, 유리 기판(8)의 좌측단 또는 우측단의 코너부에 한정되지 않고, 임의의 위치를 설정할 수 있다.This coordinate origin is not limited to the corner | angular part of the left end or the right end of the glass substrate 8, and can set arbitrary positions.
도 3에 나타낸 바와 같이, 회전 홀더(9) 상에는, 가이드 바(40)에 대해 평행한 유리 기판(8)의 한쪽의 측부 에지부에 마이크로 관찰부(18)의 대물 렌즈(21)와의 간섭을 방지하기 위해 가이드 바(40)를 대피시키는 대피 영역이 형성된다. 대피 영역은, 적어도 유리 기판(8)으로부터 벗어나면 되고, 유리 기판(8)보다 외측에서 마이크로 관찰부(18)의 대물 렌즈(21)가 주사되는 주사 영역 밖으로 가이드 바(40)를 회전 홀더(9)의 상면보다 하방으로 대피시킬 수도 있다.As shown in FIG. 3, on the rotation holder 9, interference with the objective lens 21 of the micro viewing section 18 on one side edge portion of the glass substrate 8 parallel to the guide bar 40 is prevented. In order to evacuate the guide bar 40 is formed. The evacuation area may be at least removed from the glass substrate 8, and the guide bar 40 is rotated out of the scanning area in which the objective lens 21 of the micro observation unit 18 is scanned outside the glass substrate 8. You can also evacuate below the top of).
본 실시예에 따른 피검체 검사 장치(1)는 전술한 구성을 구비하고 있고, 다음에 그 작용으로서 결함(k)의 좌표 검출 방법 및 관찰 방법에 대하여 설명한다.The subject inspection apparatus 1 according to the present embodiment has the above-described configuration, and next, as a function thereof, the coordinate detection method and the observation method of the defect k will be described.
먼저, 피검체인 유리 기판(8)의 결함 검사를 위해 육안 관찰에 의한 매크로 관찰을 행한다.First, macroscopic observation by visual observation is performed for defect inspection of the glass substrate 8 which is a subject.
유리 기판(8)을 회전 홀더(9)에 탑재하여 기준 위치에 고정한 상태에서, 매크로 관찰을 위해 모터(M1)를 회전 구동시킨다. 모터(M1)의 구동에 의하여, 회전축(13) 및 벨트(12)를 통하여 풀리(11)의 지지축(10)이 회전된다. 이렇게 하여, 회전 홀더(9)는 수평인 상태로부터 지지축(10) 주위로 검사자의 육안관찰 관찰에 적절한 각도(θ)로 회전된다. 검사자는 매크로 관찰을 행할 때, 회전 홀더(9)를 결함(k)이 보이기 쉬운 각도(θ)(예를 들면 45˚)로 정지시키거나, 결함(k)이 나타나는 소정 각도 범위(예를 들면 45˚±5~10˚)로 회전시킨다. 이때, 회전 홀더(9)의 상방으로부터 유리 기판(8)의 전체 면 또는 일부에 매크로 조명광이 투사되어, 검사자의 눈으로 직시함으로써 유리 기판(8)을 매크로 관찰한다.In a state where the glass substrate 8 is mounted on the rotation holder 9 and fixed at a reference position, the motor M1 is rotationally driven for macro observation. By the drive of the motor M1, the support shaft 10 of the pulley 11 is rotated through the rotation shaft 13 and the belt 12. In this way, the rotation holder 9 is rotated from the horizontal state around the support shaft 10 at an angle? Suitable for visual observation of the inspector. When inspecting the macro, the inspector stops the rotation holder 9 at an angle θ (for example, 45 °) where the defect k is easy to be seen, or at a predetermined angle range (for example, where the defect k appears). 45˚ ± 5 ~ 10˚). At this time, macro illumination light is projected on the whole surface or a part of the glass substrate 8 from above the rotation holder 9, and macro observation of the glass substrate 8 is carried out by the eye of an examiner.
이 매크로 관찰에서는, 회전 홀더(9)를 소정 각도 범위로 회전시킬 때, 모터(M1)의 회전 방향을 주기적으로 정역 전환시킨다.In this macro observation, when rotating the rotation holder 9 in a predetermined angle range, the rotation direction of the motor M1 is periodically reversed.
매크로 관찰에 의하여, 검사자에 의해 유리 기판(8)의 표면상에 결함(k)이 검출되면, 회전 홀더(9)를 결함이 보이는 각도에 정지시킨 상태에서 조작부(54)를 조작하여, 가이드 바(40)와 레이저 헤드(44)를 X-Y축 방향으로 이동시켜, 스폿광(s)의 조사 위치를 결함 위치에 합치시킨다. 이 조작은 다음과 같이 행해진다.When a defect k is detected on the surface of the glass substrate 8 by the inspector by macro observation, the operation part 54 is operated in the state which stopped the rotation holder 9 at the angle which a defect is seen, and guide bar. The 40 and the laser head 44 are moved in the XY axis direction so that the irradiation position of the spot light s coincides with the defect position. This operation is performed as follows.
즉, 레이저 헤드(44)에 의한 스폿광 조사 위치를 결함 위치에 합치시키도록, 검사자가 죠이 스틱 등의 조작부(54)를 조작한다. 그러면, 조작부 컨트롤러(53)에는 조작부(54)로부터의 이차원 좌표 정보가 입력되고, 이 이차원 좌표 정보로부터 X축 방향의 구동 펄스 출력 지시와 Y축 방향의 구동 펄스 출력 지시를 각각 출력한다.That is, the inspector operates the operation part 54, such as a joy stick, so that the spot light irradiation position by the laser head 44 may match with a defect position. Then, the two-dimensional coordinate information from the operation unit 54 is input to the operation unit controller 53, and the driving pulse output instruction in the X-axis direction and the drive pulse output instruction in the Y-axis direction are output from the two-dimensional coordinate information, respectively.
구동 펄스 발생기(52)에서는, 조작부 컨트롤러(53)로부터 출력되는 X축 방향의 구동 펄스 출력 지시와 Y축 방향의 구동 펄스 출력 지시를 받아, X축 방향 구동 펄스를 모터 드라이버(57)로 송출하고, Y축 방향 구동 펄스를 모터 드라이버(58)로 송출한다. 모터 드라이버(57)에서는, 구동 펄스 발생기(52)로부터 출력된 펄스 수에 따른 거리 만큼 가이드 바(40)를 X축 방향으로 이동시키도록 모터(M2)를 회전 구동시킨다. 모터 드라이버(58)에서는, 동일하게 펄스 수에 따른 거리 만큼 레이저 헤드(44)를 Y축 방향으로 이동시키도록 모터(M3)를 회전 구동시킨다.The drive pulse generator 52 receives the drive pulse output instruction in the X-axis direction and the drive pulse output instruction in the Y-axis direction output from the operation unit controller 53, and transmits the X-axis direction pulse to the motor driver 57. , The Y-axis direction driving pulse is sent to the motor driver 58. In the motor driver 57, the motor M2 is rotationally driven to move the guide bar 40 in the X-axis direction by a distance corresponding to the number of pulses output from the drive pulse generator 52. In the motor driver 58, the motor M3 is rotationally driven to move the laser head 44 in the Y-axis direction by the distance corresponding to the number of pulses.
모터(M2)의 회전 구동은, 샤프트(38)로부터 풀리(37a, 37c)를 통하여 제1 벨트(35, 36)로 전달되어 제1 벨트(35, 36)를 동기하여 이동시킴으로써 가이드 바(40)가 제3 가이드 레일(33, 34)을 따라 X축 방향으로 소요량만큼 이동한다. 이와 동시에 모터(M3)의 회전 구동은 풀리(43a)로부터 제2 벨트(42)로 전달되어, 제2 벨트(42)를 이동시킴으로써 레이저 헤드(44)가 제2 벨트(42)와 일체로 Y축 방향으로 소요량만큼 이동한다.Rotational drive of the motor M2 is transmitted from the shaft 38 to the first belts 35 and 36 through the pulleys 37a and 37c and moves the first belts 35 and 36 in synchronism with the guide bar 40. ) Moves along the third guide rails 33, 34 by the required amount in the X-axis direction. At the same time, the rotational drive of the motor M3 is transmitted from the pulley 43a to the second belt 42 so that the laser head 44 is integral with the second belt 42 by moving the second belt 42. Move by the required amount in the axial direction.
이와 같이 하여, 검사자에 의한 조작부(54)의 조작 조정에 의하여, 가이드 바(40)와 레이저 헤드(44)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜, 레이저 헤드(44)로부터 투사되는 스폿광(s)이 유리 기판(8) 상의 결함(k)에 중첩되었을 때 조작부(54)의 조작을 정지한다.In this way, the spot light projected from the laser head 44 by moving the guide bar 40 and the laser head 44 in the X-axis and Y-axis directions by the operation adjustment of the operation unit 54 by the inspector. When s) overlaps with the defect k on the glass substrate 8, the operation of the operation part 54 is stopped.
이때, 레이저 헤드(44)의 조사부(44a)로부터 투사된 레이저광은 유리 기판(8)에 대하여 일정 각도(α)로 경사진 상태에서 투사되어 결함(k)에 스폿광(s)을 중첩시켜 조사하기 때문에, 스폿광(s) 및 결함(k)은 검사자에 대하여 가이드 바 (40)의 본체의 그림자로 되지 않으므로, 틈새(47)를 통해 확실하게 스폿광(s)을 육안 관찰하여 확인할 수 있다.At this time, the laser light projected from the irradiating portion 44a of the laser head 44 is projected in a state inclined at a predetermined angle α with respect to the glass substrate 8 to superimpose the spot light s on the defect k. Since the spot light s and the defect k do not become shadows of the main body of the guide bar 40 with respect to the inspector, the spot light s and the defect k can be confirmed by visually observing the spot light s through the gap 47. have.
조작부(54)를 조작하여 스폿광(s)에 의해 결함(k)을 지정한 후에 그 결함(k)을 결함 위치 좌표 등록 스위치(55)에 의해 등록하면, 상위 퍼스널 컴퓨터(51)에서는 구동 펄스 발생기(52)로부터의 X축 방향의 구동 펄스 수와 Y축 방향의 구동 펄스 수로부터 스폿광(s)이 겹쳐진 결함(k)의 좌표 Q(X, Y)를 산출한다. 좌표 Q(X, Y)의 산출은, 유리 기판(8)의 표면상의 각 결함(k)마다 행해지고, 각각 상위 퍼스널 컴퓨터(51)의 메모리에 기억된다.After operating the operation part 54 and designating the defect k by the spot light s, and registering the defect k by the defect position coordinate registration switch 55, the host personal computer 51 drives the drive pulse generator. The coordinates Q (X, Y) of the defect k in which the spot light s overlaps with each other are calculated from the number of drive pulses in the X-axis direction and the number of drive pulses in the Y-axis direction from (52). Calculation of coordinate Q (X, Y) is performed for each defect k on the surface of the glass substrate 8, and is memorize | stored in the memory of the upper personal computer 51, respectively.
이와 같이 하여 매크로 관찰이 종료되면, 모터(M1)가 역회전되어, 회전 홀더(9)는 원래의 수평인 상태로 복귀되어, 가이드 바(40)가 대피 영역으로 이동된다.When the macro observation is completed in this manner, the motor M1 is reversely rotated, the rotation holder 9 is returned to its original horizontal state, and the guide bar 40 is moved to the evacuation area.
조작부(54)에서 마이크로 관찰 모드를 지정함으로써, 회전 홀더(9)가 자동적으로 수평 상태로 복귀되어, 가이드 바(40)를 자동적으로 대피 영역으로 대피시킨다.By designating the micro observation mode in the operation unit 54, the rotary holder 9 automatically returns to the horizontal state, thereby automatically evacuating the guide bar 40 to the evacuation area.
마이크로 관찰시에는, 상위 퍼스널 컴퓨터(51)에 의해서 매크로 관찰로 검출된 각 결함 부분의 좌표 Q(X, Y)가 판독된다. 이 좌표 Q(X, Y)에 기초하여 마이크로 관찰장치(5)의 지지부(17)는 각 가이드 레일(15, 16)을 Y축 방향으로 이동시키고, 이와 동시에 마이크로 관찰부(18)는, 빔(17a)의 나타내지 않은 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동된다. 이렇게 하여, 마이크로 관찰부(18)에 있어서의 대물 렌즈(21)의 관찰축은, 좌표 Q(X, Y) 상에 배치된다.At the time of micro observation, the coordinates Q (X, Y) of each defect part detected by macro observation by the host personal computer 51 are read. Based on this coordinate Q (X, Y), the support part 17 of the micro observation device 5 moves each guide rail 15 and 16 to a Y-axis direction, and simultaneously the micro observation part 18 is a beam ( Along the guide rail not shown in 17a). In this way, the observation axis of the objective lens 21 in the micro observation part 18 is arrange | positioned on the coordinate Q (X, Y).
이때, 가이드 바(40)는 대피 영역 내에 대피하고 있으므로, 마이크로 관찰부 (18)의 대물 렌즈(21)는 가이드 바(40)에 충돌하는 일은 없다. 대물 렌즈(21)는 유리 기판(8) 및 회전 홀더(9)를 협지하여 투과 라인 조명광원(28)과 대향하여, 이 광원(28)으로 투과 조명된 결함(k)을 관찰할 수 있다.At this time, since the guide bar 40 is evacuated in the evacuation area, the objective lens 21 of the micro observation unit 18 does not collide with the guide bar 40. The objective lens 21 sandwiches the glass substrate 8 and the rotation holder 9 so as to face the transmission line illumination light source 28 so that the defect k transmitted through the light source 28 can be observed.
검사자는 접안 렌즈(22)를 들여다봄으로써, 대물 렌즈(21)를 통하여 유리 기판(8) 상의 결함(k)을 현미경에 의한 마이크로 관찰(고배율 관찰)할 수 있다. TV 카메라(25)는, 대물 렌즈(21)를 통하여 얻어지는 유리 기판(8)의 결함(k)을 촬상한다. 검사자는 TV 모니터(30)에 표시되는 결함(k)의 상을 봄으로써 마이크로 관찰을 행한다.By examining the eyepiece 22, the inspector can microscopically observe (high magnification) the defect k on the glass substrate 8 through the objective lens 21. The TV camera 25 picks up the defect k of the glass substrate 8 obtained through the objective lens 21. The inspector performs micro observation by looking at the image of the defect k displayed on the TV monitor 30.
전술한 바와 같이 본 실시예에 따른 좌표 검출 장치(3)와 피검체 검사 장치(1)는, 매크로 관찰에 있어서, 레이저 헤드(44)의 레이저 스폿광(s)에 의해 유리 기판(8) 표면의 결함(k)을 직접 조사하기 때문에, 종래의 좌표 검출 장치와 같이 발광체 등에 의해 지시하는 좌표 위치와 결함(k)의 위치에 엇갈림을 발생시키지 않고 정밀도가 양호하게 결함(k)의 좌표 Q(X, Y)를 검출할 수 있다. 좌표 검출 장치(3)를 회전 홀더(9)에 일체로 설치함으로써, 회전 홀더(9)의 경사 각도가 변하여도, 레이저 헤드(44)에 의한 스폿광(s)의 조사 각도(α)는 유리 기판(8)에 대하여 항상 일정하고, 더욱이 유리 기판(8)의 상방으로부터 짧은 소정 거리로 조사하기 때문에, 유리 기판(8) 상의 결함(k) 위치에 관계없이 검사자에 의한 스폿광 조사 위치의 육안 관찰 확인을 용이 또한 확실히 행하여, 결함(k) 위치의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above, the coordinate detecting apparatus 3 and the object inspecting apparatus 1 according to the present embodiment have the surface of the glass substrate 8 by the laser spot light s of the laser head 44 in macro observation. Since the defect k is directly irradiated, the coordinate Q of the defect k is satisfactorily accurate without causing a gap between the coordinate position indicated by the luminous material or the like and the position of the defect k as in the conventional coordinate detection apparatus. X, Y) can be detected. By providing the coordinate detecting device 3 integrally with the rotation holder 9, even if the inclination angle of the rotation holder 9 changes, the irradiation angle α of the spot light s by the laser head 44 is glass. Since it is always constant with respect to the board | substrate 8, and further irradiates with a short predetermined distance from the upper side of the glass substrate 8, the visual observation of the spot light irradiation position by an inspector irrespective of the position of the defect k on the glass substrate 8 Observation and confirmation can be performed easily and surely, and the detection accuracy of the defect k position can be improved.
또, 유리 기판(8) 면상의 결함(k)의 좌표 Q(X, Y)의 결정은, 죠이 스틱 등의 조작부(54)를 조작하여 가이드 바(40)를 X축 방향으로, 레이저 헤드(44)를 Y축 방향으로 이동시켜, 결함 위치 좌표 등록 스위치(55)를 누르기만 하는 간단한 조작으로 얻어진다. 마이크로 관찰시 및 유리 기판의 반출입시에는, 가이드 바(40)를 대피 영역으로 대피시키므로, 가이드 바(40)가 마이크로 관찰부(18)의 대물 렌즈(21)나 유리 기판(8)을 반출입하는 기판 반송 로봇과 충돌하는 일이 없다.Moreover, the determination of the coordinate Q (X, Y) of the defect k on the surface of the glass substrate 8 operates the operation part 54, such as a joystick, and moves the guide bar 40 to an X-axis direction, and a laser head ( 44 is moved by the Y-axis direction, and it is obtained by the simple operation which only presses the defect position coordinate registration switch 55. FIG. Since the guide bar 40 is evacuated to the evacuation area at the time of micro observation and at the time of carrying in and out of the glass substrate, the guide bar 40 carries in and out of the objective lens 21 and the glass substrate 8 of the micro observation part 18. There is no collision with the carrier robot.
다음에 본 발명의 제2 실시예에 따른 피검체 검사 장치(1)의 좌표 검출 장치(70)에 대하여 도 7에 의해 설명하는데, 전술한 실시예와 동일 또는 마찬가지의 부분 및 부재에 대하여는 동일한 부호를 이용하여 설명을 생략한다.Next, the coordinate detecting apparatus 70 of the object inspection apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7, and the same reference numerals are used for the same or similar parts and members as the above-described embodiment. The description is omitted by using.
도 7에 나타낸 좌표 검출 장치(70)에서, 제2 벨트(42)에는 제1 실시예에 이용된 레이저 헤드(44) 및 파지부(45)에 대신하여 반사 미러(71)(지시 수단)가 장착된다. 가이드 바(40) 상의 한쪽의 단부에는 레이저 헤드(72)(스폿 광원)가 고정된다. 반사 미러(71)는, 레이저 헤드(72)로부터 투사되는 레이저광이 반사되어 유리 기판(8)으로 향하도록 경사지고, 반사된 레이저광이 전술한 실시예와 같이 유리 기판(8)에 대하여 경사각(α)으로 또한 소정 거리로 유리 기판(8)의 결함(k)에 도달하도록 경사진다.In the coordinate detecting device 70 shown in FIG. 7, the second belt 42 has a reflection mirror 71 (instructing means) in place of the laser head 44 and the gripping portion 45 used in the first embodiment. Is mounted. The laser head 72 (spot light source) is fixed to one end on the guide bar 40. The reflection mirror 71 is inclined so that the laser light projected from the laser head 72 is reflected and directed to the glass substrate 8, and the reflected laser light is inclined with respect to the glass substrate 8 as in the above-described embodiment. Inclined at (α) to reach the defect k of the glass substrate 8 at a predetermined distance.
본 제2 실시예에 따르면, 결함(k)을 검출하기 위해 반사 미러(71)를 이동시키면 되기 때문에, 레이저 헤드(44) 및 파지부(45)를 이동시키는 제1 실시예에 따른 것과 비교하여 제2 벨트(42)의 구동력을 감소시킬 수 있어, 모터(M3)로서 저출력의 소형의 것을 채용할 수 있다.According to the second embodiment, since the reflective mirror 71 needs only to be moved to detect the defect k, compared with the first embodiment in which the laser head 44 and the holding part 45 are moved. The driving force of the 2nd belt 42 can be reduced, and the small thing of low output is employable as the motor M3.
이 제2 실시예의 경우, 가이드 바(40)의 단부에 제1 반사 미러(71)에 대향하 여 제2 반사 미러를 배치하고, 레이저 헤드(72)를 제3 가이드 레일(33)을 따르는 회전 홀더(9) 상에 일체로 설치하고, 레이저 헤드(72)로부터의 레이저광이 제2 반사 미러와 제1 반사 미러(71)에서 반사되어 유리 기판(8)의 결함(k)에 도달하도록 해도 된다.In this second embodiment, at the end of the guide bar 40, the second reflecting mirror is disposed opposite the first reflecting mirror 71 and the laser head 72 is rotated along the third guide rail 33. It is provided integrally on the holder 9 and the laser light from the laser head 72 is reflected by the second reflecting mirror and the first reflecting mirror 71 so as to reach the defect k of the glass substrate 8. do.
스폿광(s)은 원 모양에 한정되지 않고 십자가나 바퀴 모양이라도 된다. 모터(M1, M2, M3)는 스텝 모터에 한정되지 않고, 서보 모터 등 적절한 구동원을 채용하여도 된다.The spot light s is not limited to the circle shape but may be a cross or a wheel shape. The motors M1, M2, M3 are not limited to the step motor, and an appropriate drive source such as a servo motor may be adopted.
본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이나 유기 전자 조명(EL) 디스플레이 등의 평면 패널 디스플레이(FPD)에 이용되는 유리 기판 등의 반도체 유리 기판의 표면 결함 검사시에 이용되는 피검체 검사 장치 및 이 장치에 포함되는 좌표 검출 장치에 대하여 설명하였으나, 다른 적절한 피검체의 임의의 부위 검출용 좌표 검출 장치나 피검체 검사 장치에 이용할 수 있다.The present invention is, for example, an apparatus for inspecting a subject and used for inspecting a surface defect of a semiconductor glass substrate such as a glass substrate used for a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display or an organic electronic illumination (EL) display. Although the coordinate detection apparatus contained in the above was demonstrated, it can use for the coordinate detection apparatus for detecting any site | part of another suitable subject, or a subject inspection apparatus.
또, 예를 들면 상기 실시예에서는 마이크로 관찰하는 마이크로 관찰 수단을 설치한 일례를 설명하였으나, 이 마이크로 관찰 수단을 생략하고, 회전 홀더와 매크로 조명부를 구비한 매크로 검사 장치에 본 발명의 좌표 검출 장치를 이용할 수 있다.For example, although the said Example demonstrated the example which provided the micro observation means for micro observation, this micro observation means was abbreviate | omitted, and the coordinate detection apparatus of this invention is provided to the macro inspection apparatus provided with a rotation holder and a macro illumination part. It is available.
이상, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명했으나, 이들 실시예는 본 발명의 예시에 지나지 않고, 본 발명이 이들 실시예에 한정되지 않는 것은 명백하다. 따라서, 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 구성 요소의 추가, 생략, 치환, 그 외의 변경이 가능하다. 즉, 본 발명은 전술한 설명에 한정되 지 않고, 특허 청구의 범위에 의해서만 한정된다.As mentioned above, although the Example of this invention was described with reference to drawings, it is clear that these Examples are only illustrations of this invention, and this invention is not limited to these Examples. Accordingly, additions, omissions, substitutions, and other modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. That is, the present invention is not limited to the above description, but only by the claims.
본 발명에 따른 좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치에 의하면, 피검체 상의 임의의 부위에 대하여 스폿광을 피검체에 대향하는 가이드 부재로부터 직접 투영할 수 있는 동시에, 지시 수단과 피검체 사이의 거리 및 스폿광의 광속(光束)의 투사 각도를 일정하게 할 수 있어, 스폿광을 투영하는 피검체 상에서의 좌표의 검출 정밀도가 양호하고, 스폿광의 조사 위치에 관계없이 안정된 검출 정밀도를 얻을 수 있다.According to the coordinate detecting apparatus and the subject inspection apparatus according to the present invention, the spot light can be directly projected from a guide member facing the subject against any portion on the subject, and the distance between the indicating means and the subject and The projection angle of the light beam of the spot light can be made constant, the detection accuracy of the coordinates on the subject projecting the spot light is good, and stable detection accuracy can be obtained regardless of the irradiation position of the spot light.

Claims (14)

  1. 피검체를 지지하는 홀더, A holder for supporting the subject,
    상기 피검체의 표면상에서 이동 가능한 가이드 부재,A guide member movable on the surface of the subject,
    상기 가이드 부재에 설치되어, 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 지시 수단,Instructing means provided in the guide member and capable of moving the spot light irradiated to the subject under test in a direction intersecting with a moving direction of the guide member;
    상기 피검체 상의 상기 스폿광의 조사 위치를 이동시키는 조작부, 및An operation unit which moves the irradiation position of the spot light on the subject, and
    상기 피검체 상의 상기 스폿광의 상기 조사 위치에 관한 위치 정보로부터 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부Coordinate detection unit for obtaining coordinate data from the positional information on the irradiation position of the spot light on the subject.
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.Coordinate detection apparatus comprising a.
  2. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 지시 수단은, 상기 가이드 부재를 따라 이동 가능한 스폿광원인 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And the indicating means is a spot light source movable along the guide member.
  3. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 지시 수단은 상기 가이드 부재를 따라 이동 가능한 반사 부재이며, 상기 반사 부재에 상기 스폿광을 출사하는 스폿광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And said indicating means is a reflecting member movable along said guide member, said reflecting member including a spot light source for emitting said spot light.
  4. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 피검체에 조사되는 상기 스폿광의 광속(光束)은 상기 피검체에 대하여 소정 각도로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.The light beam of the said spot light irradiated to the said to-be-tested object inclines with respect to the said to-be-tested object at the predetermined angle, The coordinate detection apparatus characterized by the above-mentioned.
  5. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 피검체로 반사되는 스폿광의 반사 광로에 차광 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.The light-shielding member is provided in the reflective optical path of the spot light reflected by the said subject, The coordinate detection apparatus characterized by the above-mentioned.
  6. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 차광 부재는, 검사자가 상기 피검체 상의 결함을 육안관찰할 수 있게 하는 틈새를 상기 가이드 부재와의 사이에 형성하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And the light blocking member is arranged so as to form a gap between the guide member and the guide member so that the inspector can visually observe a defect on the subject.
  7. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 차광 부재는, 상기 지시 수단의 스폿광을 추종하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.The light shielding member is provided so as to follow the spot light of the indicating means.
  8. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 홀더의 자세를 변화시키는 회전 수단, 및 상기 홀더의 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하는 매크로 조명부를 더 구비하고, 상기 가이드 부재는, 상기 홀더가 소정 각도로 기립된 상태에서, 상기 가이드 부재의 장변(長邊) 방향이 매크로 조명광의 조사 방향과 같은 방향을 따르도록, 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.Rotation means for changing the posture of the holder, and a macro illumination unit for irradiating macro illumination light from above the holder, wherein the guide member is a long side of the guide member in a state in which the holder is standing at a predetermined angle ( The coordinate detection apparatus characterized by the above-mentioned being mounted so that a direction may follow the same direction as the irradiation direction of macro illumination light.
  9. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 스폿광은 레이저광인 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And said spot light is a laser light.
  10. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 가이드 부재는, 상기 피검체에 조사되는 상기 스폿광을 검사자가 육안관찰할 수 있게 하는 틈새를 가지는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And the guide member has a gap that allows an inspector to visually observe the spot light irradiated to the subject.
  11. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 조작부는, 상기 가이드 부재와 상기 스폿광을 각각 이동시켜 상기 피검체 상의 결함 위치에 위치시키는 것을 특징으로 하는 좌표 검출 장치.And said operating portion moves said guide member and said spot light, respectively, to position them at a defect position on said object under test.
  12. 피검체를 소정의 경사 각도로 유지한 상태에서 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하고, 상기 피검체 상의 결함을 육안으로 관찰하는 피검체 검사 장치에 있어서,In a subject inspection apparatus for irradiating macro illumination light from above while maintaining a subject at a predetermined inclination angle, and visually observing a defect on the subject,
    상기 피검체를 유지하여 상기 소정의 경사 각도로 기립시키는 회전 홀더, A rotation holder for holding the subject and standing at the predetermined inclination angle,
    상기 회전 홀더에 설치되어 상기 피검체의 표면상에서 이동하는 가이드 부 재,A guide member installed on the rotation holder and moving on the surface of the subject,
    상기 가이드 부재에 설치되어, 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시키는 지시 수단, Instructing means which is provided in the guide member and moves the spot light irradiated to the object under test in a direction intersecting with a moving direction of the guide member;
    상기 가이드 부재와 상기 지시 수단을 각각 이동시켜 상기 스폿광의 조사 위치에 따라 상기 피검체 상의 결함 위치를 지정하는 조작부, 및An operation unit which moves the guide member and the indicating means, respectively, and designates a defect position on the subject under the spot light irradiation position; and
    상기 가이드 부재와 상기 스폿광의 각 위치의 좌표 데이터로부터 상기 지시 수단에 의해 지정된 결함 위치의 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 피검체 검사 장치.And a coordinate detecting unit for obtaining coordinate data of a defect position designated by the indicating means from coordinate data of each position of the guide member and the spot light.
  13. 피검체의 특정 부위에 대하여 마이크로 관찰을 행할 수 있는 피검체 검사 장치에 있어서,In a subject inspection apparatus capable of micro-observing a specific portion of a subject,
    상기 피검체를 지지하는 홀더,A holder for supporting the subject,
    상기 피검체의 표면상에서 이동 가능한 가이드 부재,A guide member movable on the surface of the subject,
    상기 가이드 부재에 설치되어, 상기 피검체에 조사되는 스폿광을 상기 가이드 부재의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 지시 수단,Instructing means provided in the guide member and capable of moving the spot light irradiated to the subject under test in a direction intersecting with a moving direction of the guide member;
    상기 피검체 상의 상기 스폿광의 조사 위치를 이동시키는 조작부,An operation unit which moves the irradiation position of the spot light on the subject,
    상기 피검체 상의 상기 스폿광의 상기 조사 위치에 관한 위치 정보로부터 좌표 데이터를 구하는 좌표 검출부, 및A coordinate detector which obtains coordinate data from positional information relating to the irradiation position of the spot light on the subject;
    마이크로 관찰부를 구비하고,Equipped with a micro observation unit,
    상기 피검체의 상기 특정 부위에 상기 스폿광을 조사함으로써 상기 좌표 검 출부에 의해 상기 특정 부위의 좌표 데이터를 구하여, 상기 좌표 데이터 위치에 상기 마이크로 관찰부를 상대적으로 이동시켜 현미경 관찰을 행하는 것을 특징으로 하는 피검체 검사 장치.By irradiating the spot light to the specific part of the subject, coordinate data of the specific part is obtained by the coordinate detecting part, and the micro observation part is relatively moved to the coordinate data position to perform microscope observation. Subject inspection device.
  14. 제13항에 있어서,The method of claim 13,
    상기 홀더는, 상기 가이드 부재를 대피시켜 상기 마이크로 관찰부와의 간섭을 방지하는 대피 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 피검체 검사 장치.The holder is provided with an evacuation area for evacuating the guide member to prevent interference with the micro-observing unit.
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