KR20060072090A - 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법, 및 그에 의해제조되는 디바이스 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (41)
- 기판처리장치에 있어서,방사선 투영빔을 공급하는 조명시스템;상기 투영빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 빔을 형성시키는 역할을 하는 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이;상기 패터닝된 빔을 기판의 타겟부상으로 투영하는 투영시스템;기판의 1이상의 끊어지지 않은 길이부를 출력하도록 구성되는 기판공급부;상기 기판공급부로부터 그리고 상기 투영시스템이 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 따르는 일련의 타겟부상으로 상기 패터닝된 빔을 투영할 수 있도록 상기 투영시스템을 지나 기판의 각각의 출력되는 끊어지지 않은 길이부를 운반하도록 구성된 기판운반시스템을 포함하는 리소그래피 장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판운반시스템은, 상기 기판공급부로부터 그리고 상기 투영시스템을 지나 기판의 각각의 출력되는 끊어지지 않은 길이부를 중단되지 않는 방식으로 운반하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판공급부는 기판의 롤을 포함하며, 상기 기판공급부는 상기 롤로부터 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제3항에 있어서,기판의 롤은 기판의 인접한 층들 사이에 배치되는 별도 재료층을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제4항에 있어서,출력된 기판이 상기 투영시스템을 지나 운반되기 전에, 상기 출력된 기판으로부터 별도 재료층을 분리하기 위한 분리시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판공급부는 릴을 포함하고, 상기 기판의 1이상의 끊어지지 않은 길이부는 상기 릴상으로 감기며, 상기 기판공급부는 상기 릴로부터 각각의 끊어지지 않은 길이부를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제6항에 있어서,상기 기판은 유리기판인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부는 1이상의 길이 대 폭 비를 갖는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부는 실질적으로 균일한 폭 및 상기 폭의 5배 이상의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판공급부는 복수의 개별적인 끊어지지 않은 길이부를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제10항에 있어서,상기 기판운반시스템은 상기 기판공급부로부터 그리고 상기 투영시스템을 지나 기판의 복수의 끊어지지 않은 개별 길이부들을 시리즈로 운반하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제11항에 있어서,상기 시리즈는 연속적인 시리즈인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 리소그래피 장치는 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부상의 정렬마크를 검출하도록 구성되는 검출시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제13항에 있어서,상기 검출시스템은 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 따라 연장되는 정렬마크들의 2이상의 행들을 검출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제13항에 있어서,상기 리소그래피 장치는 제어가능한 요소들의 어레이로 제어신호를 제공하도록 구성되는 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 정렬마크들의 검출에 반응하여 상기 검출시스템으로부터의 검출신호를 수신하고, 상기 검출신호에 따라 상기 제어신호를 결정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제13항에 있어서,상기 정렬마크들의 검출에 반응하여 상기 검출시스템으로부터의 검출신호를 수신하고, 상기 검출신호에 따라 상기 기판운반시스템을 제어하도록 구성되는 제어 기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제16항에 있어서,상기 제어기는, 기판의 출력되는 끊어지지 않은 길이부가 상기 검출신호에 따라 상기 투영시스템을 지나 운반되는 속도를 조정하기 위하여 상기 기판운반시스템을 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 끊어지지 않은 길이부가 상기 투영시스템을 지나 이동하고 있는 동안 상기 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부상에 패터닝된 빔이 투영되도록 상기 리소그래피 장치 및 상기 기판운반시스템을 제어하도록 구성되는 제어시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 끊어지지 않은 길이부가 상기 투영시스템으로부터의 패터닝된 빔에 대해 노광되고 있는 동안 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부의 적어도 일 부분을 지지하도록 구성되는 기판지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판운반시스템은 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부와 맞물리도록 구성된 1이상의 롤러 및 상기 롤러를 회전시키도록 구성된 구동시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 끊어지지 않은 길이부가 상기 투영시스템을 지나 운반된 후에 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 취하도록(take up) 구성되는 릴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부상에서 추가적인 처리를 수행하기 위하여 상기 리소그래피 장치와 시리즈로 배치되는 1이상의 추가 기판 처리 스테이지를 더 포함하며, 상기 운반시스템은 기판공급부로부터 및 상기 1이상의 추가 스테이지를 통해 및 상기 투영시스템을 지나 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 운반하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제22항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는 상기 리소그래피 장치 이전에 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 콘디셔닝하도록 구성되는 기판 콘디셔닝 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제22항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는, 리소그래피 장치 이전에 정렬마크들의 패턴을 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부에 적용시키도록 구성되는 마킹 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제22항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는 상기 리소그래피 장치 이전에 레지스트 재료를 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부에 적용시키도록 구성되는 적용 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제22항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는 상기 리소그래피 장치 후에 노광된 레지스트 재료를 현상하도록 구성되는 현상 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제26항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는 현상된 레지스트 재료의 패턴에 따라 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 수정하도록 구성되는 수정 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제27항에 있어서,상기 1이상의 추가 기판 처리 스테이지는 상기 수정 스테이지에 의한 처리 후에 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부로부터 레지스트 재료를 제거하도록 구성되는 제거 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제22항에 있어서,복수의 추가 기판 처리 스테이지를 더 포함하고, 추가 스테이지들의 시리즈 및 리소그래피 장치는 상기 공급부로부터 기판의 1이상의 끊어지지 않은 베어(bare) 길이부를 수용하고 위에 복수의 디바이스 층이 형성되는 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 리소그래피 장치는 복수의 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하고, 상기 조명시스템은 각각의 투영빔을 각각의 어레이로 공급하도록 구성되며, 상기 리소그래피 장치는 각각의 요소들의 어레이로부터 기판의 타겟부상으로 패터닝된 빔을 투영하도록 각각 구성된 복수의 투영시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제30항에 있어서,각각의 투영시스템은 각각의 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 것을 특징으 로 하는 기판처리장치.
- 제30항에 있어서,복수의 투영시스템은 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부 폭의 실질적인 부분을 노광시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 디바이스 제조방법에 있어서,기판공급부를 제공하는 단계;상기 공급부로부터 기판의 1이상의 끊어지지 않은 길이부를 출력하는 단계;조명시스템을 사용하여 방사선 투영빔을 제공하는 단계;개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 사용하여, 상기 투영빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 빔을 형성시키는 단계;투영시스템을 사용하여 상기 패터닝된 빔을 투영하는 단계;상기 기판공급부로부터 및 상기 투영시스템을 지나 기판의 각각의 출력된 끊어지지 않은 길이부를 운반하는 단계; 및상기 패터닝된 빔을 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 따르는 일련의 타겟부상으로 투영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제33항에 있어서,상기 기판공급부를 제공하는 단계는 롤상에 기판의 각각의 끊어지지 않은 길 이부를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제34항에 있어서,상기 기판은 유리인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제33항에 있어서,상기 패터닝된 빔에 대한 노광후에 롤상에 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 수집하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제33항에 있어서,1이상의 추가 처리 스테이지에서 기판의 각각의 끊어지지 않은 길이부를 처리하는 단계; 및상기 기판 공급부로부터, 및 상기 1이상의 추가 처리 스테이지를 통해, 및 상기 투영시스템을 지나 기판의 각각의 출력되는 끊어지지 않은 길이부를 운반하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제33항에 따른 방법을 사용하여 제조되는 디바이스.
- 제38항에 있어서,상기 디바이스가 평판 디스플레이인 것을 특징으로 하는 디바이스.
- 제1항에 따른 장치를 사용하여 제조되는 디바이스.
- 제40항에 있어서,상기 디바이스는 평판 디스플레이인 것을 특징으로 하는 디바이스.
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