KR20060055487A

KR20060055487A - 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기

Info

Publication number: KR20060055487A
Application number: KR1020060021084A
Authority: KR
Inventors: 윤근천
Original assignee: (주) 디오브이
Priority date: 2006-03-06
Filing date: 2006-03-06
Publication date: 2006-05-23
Also published as: KR100722801B1

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기를 개시한다.

본 발명의 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 일직선상으로 설치되어 직진 왕복 이동을 하는 이송기를 통해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서, 상기 이송기는 테이블 트랙상에 길이 방향으로 설치되는 레일과, 상기 레일의 상측에 일정한 간격을 두고 이격되는 위치에 구비되면서 양단이 테이블 트랙의 상측에 고정 설치되는 관 형상을 갖는 중공의 부재로서 내부 양측에서 선택적으로 작동압이 작용하는 가이드 포스트와, 상기 가이드 포스트의 내부에 구비된 상태에서 가이드 포스트의 내주면을 따라 슬라이드 이동되는 내부 자성체와, 상기 가이드 포스트의 외부를 감싸는 형태로 구비되며 상기 내부 자성체와 상호 작용에 의해 인력이 작용하여 일체로 연동되는 외부 자성체와, 상기 가이드 포스트의 상측에 구비되어 카세트가 놓여지는 받침면을 제공하는 것으로 그 하부 일측이 외부 자성체를 감싸도록 구비되면서 레일에 접촉되어 슬라이드 이동되게 구비되는 트레이를 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기는 유압 또는 공기압으로 된 작동압에 의해 내부 자성체가 이동을 하고 이에 연동하여 트레이가 결합된 외부 자성체가 연동하는 구조이므로 안정되고 신뢰성 높은 운용을 가능하게 하는 이점을 제공한다.

유기, 기판, 카세트, 반송, 이송기

Description

유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 반송기{cassette mover structure of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치의 전체적인 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기의 구성을 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 측면도,

도 4는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기의 구성을 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 평면도,

도 5는 도 4의 "A-A"선을 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정 챔버 10 : 로테이터

20 : 이송기 21 : 가이드 포스트

22 : 내부 자성체 23 : 외부 자성체

24 : 레일 25 : 트레이

tr : 테이블 트랙

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에서 카세트를 이동하는 이송기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공간활용도를 높이도록 하면서 동작의 신뢰성을 보장할 수 있도록 한 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하 여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극 금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한 다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상 승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

상기와 같이 구성되는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에서 증착공정이 완료된 증착기판은 카세트에 다수개가 순차적으로 적층되어 봉지장치측으로 이동된다.

여기서, 상기 카세트는 이송기에 실려 증착장치에서 봉지장측으로 이동하게 되는데 이때의 이송기는 높은 동작의 신뢰성이 요구될 뿐만 아니라 유기전계 발광소자 제조장치의 전체적인 크기를 고려하여 공간 활용도를 높일 수 있는 구조로 제 공되어야 한다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 증착장치의 반출챔버와 봉지장치의 반입챔버 사이를 연결하는 테이블 트랙 사이에 설치되는 이송기의 구조를 개선하여 최소의 공간에서 높은 신뢰성과 신속한 동작을 보장할 수 있는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 일직선상으로 설치되어 직진 왕복 이동을 하는 이송기를 통해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

상기 이송기는 테이블 트랙상에 길이 방향으로 설치되는 레일과; 상기 레일의 상측에 일정한 간격을 두고 이격되는 위치에 구비되면서 양단이 테이블 트랙의 상측에 고정 설치되는 관 형상을 갖는 중공의 부재로서 내부 양측에서 선택적으로 작동압이 작용하는 가이드 포스트와; 상기 가이드 포스트의 내부에 구비된 상태에서 가이드 포스트의 내주면을 따라 슬라이드 이동되는 내부 자성체와; 상기 가이드 포스트의 외부를 감싸는 형태로 구비되며 상기 내부 자성체와 상호 작용에 의해 인력이 작용하여 일체로 연동되는 외부 자성체와; 상기 가이드 포스트의 상측에 구비되어 카세트가 놓여지는 받침면을 제공하는 것으로 그 하부 일측이 외부 자성체를 감싸도록 구비되면서 레일에 접촉되어 슬라이드 이동되게 구비되는 트레이를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 내부 자성체와 외부 자성체는 적어도 하나 이상은 자석으로 형성되며, 상기 레일과 트레이는 상호 끼움구조에 의해 결속되면서 슬라이드 이동되게 끼움부와 끼움홈이 대응되게 형성되는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치의 전체적인 구성을 설명 하기 위한 계통 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기의 구성을 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 측면도이다.

그리고, 도 4는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기의 구성을 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 4의 "A-A"선을 나타낸 단면도이다.

먼저, 도 2에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착용 공정 챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정 챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정 챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송 챔 버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 3 내지 도 4를 참조하면, 증착장치의 반출챔버(s)와 봉지장치의 반입챔버(e)는 테이블 트랙(tr)으로 연결 구성된다.

상기 반출챔버(s)의 일측에는 봉지공정을 완료한 글라스 기판을 다수 적층한 카세트(c)를 테이블 트랙(tr)의 로테이터(10)에 올려 놓기 위한 로봇(r1)이 설치되며, 상기 반입챔버(e)의 일측에도 카세트(c)를 반입챔버(e)내로 이송하기 위한 로봇(r2)이 설치된다.

여기서, 상기 반출챔버(s)의 로봇(r1)과 반입챔버(e)의 로봇(r2) 사이에는 카세트(c)를 이송시키기 위한 구동수단으로서 이송기(20)가 설치되는 구조이다.

상기 이송기(20)는 본 발명의 주요한 기술적 특징을 갖는 것으로서, 통상의 로드리스 실린더 형태를 취하며, 크게 테이블 트랙(tr) 상에 설치되는 길이재의 레일(24)과, 이 레일(24)의 상측에 간격을 두고 설치되는 관 형상의 가이드 포스트(10) 그리고 상기 가이드 포스트(10)의 내부에 구비되는 내부 자성체(21)와, 상기 가이드 포스트(10)의 외부에 구비되는 외부 자성체(23) 및 이 외부 자성체(23)에 연결되면서 상면에 카세트(c)가 놓여지는 트레이(25)로 구성된다.

상기 레일(24)은 테이블 트랙(tr)상에 설치되는 길이재의 부재로서 그 상측면으로는 후술할 트레이(25)의 하부가 끼움구조로 결합되어 슬라이드 이동된다.

이와 같이 구성되는 레일(24)은 트레이(25)가 안정된 자세로 유동없이 이동될 수 있게 안내하는 역할을 수행하게 된다.

상기 가이드 포스트(10)는 상술한 레일(24)의 상측에 일정한 간격을 두고 이격되는 위치에 설치되는 길이재의 부재이다.

이러한, 상기 가이드 포스트(10)는 양단이 테이블 트랙(tr)의 상측에 고정 설치되는 관 형상을 갖는 중공의 부재로서 내부 양측에서 선택적으로 작동압이 작용하게 되다. 즉, 상기 가이드 포스트(10)는 도면에 나타내지는 않았으나 내부 양측에서 선택적으로 유압 또는 공압으로 된 작동압이 작용하여 후술할 내부 자성체(21)를 직진 왕복 이동되게 한다.

한편, 상기 가이드 포스트(10)에 작동압이 작용하는 구성은 통상의 공지된 기술에 의해 용이하게 실시 가능하므로 상세한 설명은 생략한다.

상기 내부 자성체(21)는 자석 또는 금속 등으로 성형되며, 도면에서 보는 바와 같이 가이드 포스트(10)의 내부에 구비된 상태에서 가이드 포스트(10)의 내주면을 따라 선택적으로 왕복 이동되게 구비된다.

즉, 상기 내부 자성체는 가이드 포스트(10)의 내부 양측에서 선택적으로 작용하는 작동압에 의해 도면을 기준으로 설명하면 가이드 포스트(10)의 내부를 좌측 또는 우측방향으로 이동하게 된다.

이와 같이 구성되는 내부 자성체(21)는 후술할 외부 자성체(23)와 상호 작용을 하여 연동되게 된다.

상기 외부 자성체(23)는 상술한 가이드 포스트(10)의 외부를 감싸는 형태로 구비되면서 상기 내부 자성체(21)와 상호 작용에 의해 인력이 작용하여 일체로 연동되는 구조이다. 이러한 외부 자성체(23)는 상술한 내부 자성체(21)와 마찬가지로 자석 또는 금속재로 형성된다.

상기 트레이(25)는 상술한 가이드 포스트(10)의 상측에 구비되어 카세트(c)가 놓여지는 받침면을 제공하는 것으로서, 그 하부 일측은 하향 돌출되어 외부 자성체를 감싸는 형태로 구비되는 구조이다. 또한, 상기 트레이(25)는 하부 일측이 레일(24)에 접촉되어 슬라이드 이동된다.

즉, 상기 트레이(25)는 상술한 레일(24)과 상호 끼움구조에 의해 결속되는 것에 의해 유동이 억제되는 구조로 구비되며, 이를 위해 상기 레일(24)과 트레이(25)는 도면에서 보는 바와 같이 끼움부와 끼움홈이 대응되게 형성되어 끼워 맞춤으로 결합되는 구조이다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기는 유압 또는 공기압으로 된 작동압에 의해 내부 자성체가 이동을 하고 이에 연동하여 트레이가 결합된 외부 자성체가 연동하는 구조이므로 안정되고 신뢰성 높은 운용을 가능하게 하는 이점을 제공한다.

또한, 상기 트레이는 레일을 따라 이탈이 방지되는 구조이면서 동시에 슬라이드 접촉되는 것에 의해 동작의 정숙성을 보장하면서 트레이에 실린 카세트의 유동을 방지할 수 있어 동작의 안정성을 대폭적으로 높일 수 있는 유용한 효과를 제공한다.

Claims

메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착 및해당 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버가 교차 배치되는 증착장치 및 봉지장치를 구비하고, 증착장치에서 증착이 완료된 증착기판은 로봇에 의해 카세트에 수납적층되고, 이 카세트는 증착장치와 봉지장치를 연결하는 테이블 트랙상에 일직선상으로 설치되어 직진 왕복 이동을 하는 이송기를 통해 이동되는 구성을 포함하는 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

상기 이송기는 테이블 트랙상에 길이 방향으로 설치되는 레일과;

상기 레일의 상측에 일정한 간격을 두고 이격되는 위치에 구비되면서 양단이 테이블 트랙의 상측에 고정 설치되는 관 형상을 갖는 중공의 부재로서 내부 양측에서 선택적으로 작동압이 작용하는 가이드 포스트와;

상기 가이드 포스트의 내부에 구비된 상태에서 가이드 포스트의 내주면을 따라 슬라이드 이동되는 내부 자성체와;

상기 가이드 포스트의 외부를 감싸는 형태로 구비되며 상기 내부 자성체와 상호 작용에 의해 인력이 작용하여 일체로 연동되는 외부 자성체와;

상기 가이드 포스트의 상측에 구비되어 카세트가 놓여지는 받침면을 제공하는 것으로 그 하부 일측이 외부 자성체를 감싸도록 구비되면서 레일에 접촉되어 슬라이드 이동되게 구비되는 트레이;

를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기.
제 1항에 있어서, 상기 내부 자성체와 외부 자성체는 적어도 하나 이상은 자석으로 형성되며, 상기 레일과 트레이는 상호 끼움구조에 의해 결속되면서 슬라이드 이동되게 끼움부와 끼움홈이 대응되게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조장치용 카세트 이송기.