KR20060050206A - 기판 조립 방법 및 조립 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따라 상부 기판 및 하부 기판을 조립하고 수송하기 위하여, 제1 케리어 및 제2 케리어가 사용되어 진공챔버 내에 장착된 상부 스테이션 및 하부 스테이션 상에 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판을 적재한다. 상기 제1 케리어는 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트 및 복수개의 하부-흡입-플레이트를 포함하는 반면, 상기 제2 케리어는 복수개의 제2 상부-흡입-플레이트를 포함한다. 상기 제2 케리어에 의해 상기 하부 스테이션 상에 상기 하부 기판을 적재하면서 동시에 이전 단계에서 형성된 기판 조립체를 상기 하부 스테이션 상에 적재한다. 따라서, 상기 제1 케리어는 임의의 추가적인 운동없이도 상기 제2 케리어와 함께 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 적재를 동시에 완료한다. 그 결과로서, 상기 제조 공정이 효과적으로 단순화된다. 따라서, 제조 시간이 단축되고, 수율이 증가된다.
기판, 케리어, 진공챔버, 플레이트, 흡입

Description

기판 조립 방법 및 조립 장치 {Substrate assembling method and device}
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명에 대한 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제1 케리어를 나타낸 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 제1 케리어를 나타낸 평면도와 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 제2 케리어를 나타낸 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 제2 케리어를 나타낸 평면도와 측면도이다.
도 7은 본 발명의 공정 단계를 도시하는 개략도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 공정 단계를 도시하는 개략도이다.
도 9는 도 8의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다.
도 10은 본 발명의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다.
도 11은 본 발명의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다.
본 발명은 기판 조립 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시소자(LCD) 패널에 적합한 기판 조립 방법에 관한 것이다.
최근에, LCD 기술은 점진적으로 발전되어 그 결과 전통적인 음극선과(CRT)은 점차적으로 LCD로 대체되고 있다.
LCD를 조립하기 위한 전통적인 공정에서, 디스플레이 패널의 크기가 커질수록 제조상의 어려움도 증가한다. 종래기술의 공정에서는, 상부 기판과 하부 기판이 결합되고, 두 기판 사이에 스페이서가 배열된다. 또한, 상기 두 기판 사이에 있는 스페이서 위의 UV-경화 광중합 접착제가 도포되고, 이어서 스페이서에 형성된 구멍을 통해서 액정이 주입된다.
그 다음에, 두 기판은 진공처리된 비워진 진공챔버 내에 각각 위치된다. 진공처리가 완료된 후에, 두 개의 기판은 진공챔버 내부에 장착된 액정용기 안에 담가진다. 액정용기 내의 액정은 구멍을 통해 두 기판 내로 주입된다. 마지막으로, 상기 구멍을 메운 다음, 기판을 세정한다.
상기에 설명된 공정은 LCD 패널을 제조하는데 일반적이면서도 널리 적용된다. 그러나, 제조 시간이 길고, 또한 디스플레이 패널의 크기가 커질수록 제조상의 어려움과 불량이 증가한다. 이에 따라, 종래기술의 제조 공정은 대량생산에는 만족 스럽지 못하다. 따라서, 근래에 액정 주입을 위한 개선된 기술이 제공되고 있다.
종래의 개선된 기판 조립 방법에 있어서, 하부 기판이 진공챔버 내의 하부 스테이지 위에 흡착됨과 동시에, 상기 하부 기판 위에 놓여지는 상부 기판은 상부 스테이지 상에 흡착되어 있다. 하부 기판의 주변 테두리는 광중합 접착제로 도포된다. 이어서, 스페이서가 하부 기판 상에 배열된다. 액정은 하부 기판 상의 광중합 접착제와 스페이서에 의해서 제한되는 중앙 영역에 주입된다. 그 다음에, 상부 스테이지가 하강하여 상부 기판과 하부 기판을 접합시킨다. 따라서, 액정 주입 공정이 완료되고, 디스플레이 패널이 형성된다.
비록 상기 개선된 기술이 긴 제조시간의 문제, 종래기술에 관련되어 증가된 어려움과 낮은 수율을 개선했다 하더라도, 진공챔버 내부에 구비된 상부 스테이지와 하부 스테이지에 상부 기판과 하부 기판을 각각 이송하는 로봇 아암과 같은 케리어를 채용하여야만 한다. 즉, 제조과정 동안 로봇 아암은 여러차례 작동되어야만 한다. 아울러, 개선된 기술 또한 시간이 오래 걸린다. 이런 시간낭비는 대량생산의 방법으로 LCD 패널을 만드는 제작자의 수율에 악영향을 미친다.
따라서, 전술한 문제들을 제거하거나 경감시키는 개선된 기판 조립 방법과 조립 장치가 요구된다.
본 발명의 목적은 LCD 패널의 기판 조립체를 손쉽게 제작하기 위해 공정을 단순화하여 수율을 증가시키기 위한 기판 조립 방법과 조립 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 조립 방법은, 상부 스테이지와 하부 스테이지를 구비하는 진공챔버 내부에서 수행되는 기판 조립 방법에 있어서, (A) 상부 기판을 상기 상부 스테이지 상에 적재하는 복수의 제1 하부-흡입-플레이트와 상기 제1 하부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 하부면을 포함하는 제1 케리어에 의해 상부 기판을 상기 상부 스테이지에 적재하는 단계; (B) 이전 단계에서 완성된 기판 조립체를 상기 제1 케리어에 의해 상기 하부 스테이지 상에 인출하는 동시에, 제2 케리어에 의해 하부 기판을 상기 하부 스테이지 상에 적재하는 단계; (C) 상기 하부 기판 위에 액정을 떨어뜨리는 단계; 및 (D) 상기 하부 기판 위에 상기 상부 기판을 적층시켜 기판 조립체를 완성하는 단계;를 포함한다.
기판이 조립될 때, 상부 기판과 하부 기판은 각각의 제1 케리어와 제2 케리어를 통해서 진공챔버 내부에 장착된 상부 스테이지와 하부 스테이지로 이송된다. 제2 케리어에 의해 하부 스테이지 상에 하부 기판의 적재가 진행되면서, 이전 작업이나 이전 공정에서 만들어진 하부 스테이지 상에 있는 조립된 기판 패널은 동시에 제1 케리어에 의해서 인출된다.
따라서, 상기에서 설명된 매카니즘과 구성에 의해, 제1 케리어는 회전과 같은 추가적인 운동없이 제2 케리어와 함께 효과적으로 상부 기판과 하부 기판을 적재한다. 상부 기판의 적재 및 하부 기판의 적재(또는 인출)까지 동일 공정에서 수행되므로, 제조 공정이 효과적으로 단순화된다. 따라서 제조 시간은 단축되고, 수율이 증가된다.
상기 제1 케리어는 복수개의 제1 흡입-플레이트와, 제1 흡입-플레이트가 장착되는 상부면을 포함한다. 또한, 상기 제1 케리어의 복수개의 제1 흡입-플레이트는 각각 제1 상부 공기통로와 교통된다. 복수의 제1 하부-흡입-플레이트는 제1 하부 공기통로와 각각 교통된다. 제1 상부-공기통로와 제1 하부-공기통로는 각각 외부와 교통된다.
상기 제2 케리어는 제2 상부-흡입-플레이트와, 제2 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제2 상부면을 포함한다. 하부 기판은 제2 케리어의 제2 상부-흡입-플레이트에 의해 하부 스테이지 상에 적재된다.
덧붙여, 단계(A)에서, 상부 기판은 상부-기판-전면과, 제1 케리어에 흡착되는 상부-기판-배면을 포함한다. 또한, 단계(B)에서, 하부 기판은 하부-기판-전면과, 제2 케리어에 흡착되는 하부-기판-배면을 포함한다. 이와 같은 구성은, 제1 케리어의 제1 상부-흡입-플레이트와 제1 하부-흡입-플레이트 및 제2 케리어의 제2 상부-흡입-플레이트의 설계를 가능케한다.
상기와 같이 구성하는 이유는 흡입 플레이트의 위치가 제한되는 것을 막기 위함이다. 일반적으로 수율을 증가시키기 위해, 상부 기판과 하부 기판은 제조되는 치수보다 크게 만들어진다. 상기 상부 기판과 하부 기판은 개개의 작은 크기의 조각들로 절단된다. 이 경우에, 6개의 소형 상부 및 하부 기판들이 생기게 된다. 그러므로 상부 기판의 전면과 하부 기판의 전면에 다수의 스크라이빙 라인(scribing line)이 형성된다. 만약 제1 케리어의 제1 상부-흡입-플레이트와 및 제1 하부-흡입-플레이트와, 제2 케리어의 제2 상부-흡입-플레이트가 각각 상부-기판-전면과 하부 -기판-전면에 장착된다면, 흡입 노즐은 오직 스크라이빙 라인 상에 위치될 수 있다. 이것은 흡입 노즐의 위치를 제한하는 것이다. 반면에, 만약 흡입 노즐이 직접적으로 상부-기판-배면과 하부-기판-배면에 장착된다면, 흡입 위치는 특별히 제한되지 않을 것이다. 따라서, 상부-기판-전면과 하부-기판-전면에 손상을 유발시키지 않는 동시에 상부 기판과 하부기판의 품질에 악영향을 주지 않으면서 제1 상부-흡입-플레이트, 제1 하부-흡입-플레이트와 제2 상부-흡입-플레이트 설계의 다양성이 증대될 수 있다.
한편, 단계(A)에서, 진공챔버 내에 장착된 상부 스테이지는 그 위의 상부 기판을 흡입할 수 있는 복수개의 상부-스테이지-흡입-플레이트을 포함한다. 유사하게, 단계(B)에서 하부 스테이지는 그 이전 단계에서 완성된 기판 조립체를 흡착할 수 있음과 함께, 하부 기판을 흡착하는 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트를 포함한다.
더욱이, 단계(C)에서 광중합 접착제는 하부 기판의 주위 영역 상에 충전된다. 그리하여, 상부 기판과 하부 기판은 실질적으로 상호 접합된다.
상기 공정 단계의 견지에서, 본 발명을 따른 기판 조립 장치는 진공챔버 내에서 조립된다. 상기 진공챔버는 상부 스테이지와 하부 스테이지를 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 기판 조립 장치는 제1 프레임, 제2 프레임, 제1 케리어, 제2 케리어를 포함한다.
상기 제1 및 제2 프레임은 진공챔버 안에 구비된다. 제1 프레임 상에 회동가능하게 장착되는 제1 케리어는, 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트, 복수개의 제1 하부-흡입-플레이트, 제1 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 상부면, 그리고 제1 하부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 하부면을 포함한다.
덧붙여, 제2 프레임 상에는 제 2케리어가 회동가능하게 장착된다.
상기 제1 케리어는 각각의 제1 상부-흡입-플레이트와 교통하는 제1 상부 공기통로와, 각각의 제1 하부-흡입-플레이트와 교통하는 제1 하부 공기통로를 포함하되, 제1 상부 공기통로와 상기 제1 하부 공기통로들 모두는 외부와 교통된다. 게다가, 상기 제2 케리어는 복수개의 제2 상부-흡입-플레이트, 및 제2 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제2 상부면을 포함한다.
게다가, 상기 기판은 상기 제1 케리어에 의해 흡착되어 진공챔버 내에 장착된 상부 스테이지에 적재된다. 특히, 상기 상부 기판은 상기 제1 케리어에 있는 제1 하부-흡입-플레이트에 의해 흡착되어 상부 스테이지로 적재된다.
유사하게, 이전 단계에서 완성된 기판 조립체는 제1 케리어에 의해 하부 스테이지로 인출되고, 또한 하부 기판이 제2 케리어에 의해 상기 진공챔버 내에 장착된 하부 스테이지로 적재된다. 상기 이전 단계에서 완성된 기판 조립체는 제1 케리어의 제1 상부-흡입-플레이트에 의해 하부 스테이지 상으로 인출되고, 또한 상기 하부 기판은 상기 제1 케리어의 제2 상부-흡입-플레이트에 의해 상기 하부 스테이지 상에 적재된다.
본 발명의 다른 목적, 이익, 및 새로운 특징은 첨부된 도면을 참조하여 아래의 세부적인 설명으로 더 명백하게 이해될 것이다.
도 2를 참조하면 본 발명의 사시도가 나타나 있다. 도시된 바와 같이, 진공 챔버(1)가 구비된다. 상부 스테이지(11)와 하부 스테이지(12)는 진공챔버(1) 내에 장착되어 있다. 본 실시예에 따르면 상부 스테이지(11)는 복수개의 상부-스테이지-흡입-플레이트(111)를 포함하고, 동시에 하부 스테이지(12)는 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트(121)를 포함한다.
도 3은 본 발명에 따른 제1 케리어를 나타낸 사시도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1 케리어를 나타낸 평면도와 측면도이다. 도 2, 도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 상기 진공챔버(1) 내에는 제1 프레임(5)이 더 구비된다. 회전가능한 제1 케리어(2)는 상기 제1 프레임(5) 상에 회동가능하도록 장착된다. 본 실시예에서, 상기 제1 케리어(2)는 복수개의 제1 흡입-플레이트(211)를 구비하는 제1 상부면(21)과, 복수개의 제1 하부-흡입-플레이트(221)를 구비하는 제1 하부면(22)을 포함한다. 상기 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트(211)는 제1 상부 공기통로(212)와 각각 교통되고, 상기 복수개의 제1 하부-흡입-플레이트(221)는 제1 하부 공기통로(222)와 각각 교통된다. 상기 제1 상부 공기통로(212)와 상기 제1 하부 공기통로(222)는 외부와 각각 교통되어, 상기 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트(211)와 제1 하부-흡입-플레이트(221)에 가스를 공급하여 흡착 기능이 달성되도록 한다.
도 5는 본 발명에 따른 제2 케리어를 나타낸 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제2 케리어를 나타낸 평면도와 측면도이다. 도 2, 도 5, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 상기 진공챔버(1) 내에 제2 프레임(6)이 더 구비된다. 회전가능한 제2 케리어(4)는 상기 제2 프레임(6) 상에 회동가능하게 장착된다. 본 실시예에서, 상기 제2 케리어(4)는 복수개의 제2 상부-흡입-플레이트(411)를 구비하는 제2 상부 면(41)을 포함한다.
도 1은 본 발명의 흐름도이고, 도 7은 본 발명의 공정 단계를 도시하는 개략도이다. 도 1, 도 2, 도 3, 도 4a, 도 4b , 및 도 7을 참조하면, LCD 패널의 제조가 시작되면, 상부 기판(31)은 제1 케리어(2)에 의해 흡착되어 상기 진공챔버(1)에 장착된 상부 스테이지(11) 위에 적재된다(SA). 상기 상부 기판(31)은 상부-기판-전면(311)과 상부-기판-배면(312)을 포함한다. 상기 기판(31)은 그 상부-기판-배면(312)이 상기 제1 케리어(2)에 있는 복수개의 제1 하부-흡입-플레이트(221)에 흡착되어 상부 스테이지(11)로 적재되고, 그에 따라 상부 기판(31)의 상부-기판-배면(312)이 상부 스테이지(11)에 있는 복수개의 상부-스테이지-흡입-플레이트(111)에 의해 흡착된다. 상기 상부 기판(31)의 상부-기판-배면(312)을 흡착하는 이유는 상기 상부 기판(31)의 상부-기판-전면(311)에 원하지 않는 충격이 가해지는 것을 피하기 위함이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 공정 단계를 도시하는 개략도이고, 도 9는 도 8의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다. 도 1, 도 2, 도 3, 도 4a, 도 4b, 도 5, 도 6, 도 8, 및 도 9를 참조하면, 하부 기판(32)이 흡착되어 진공챔버(1) 내에 장착된 하부 스테이지(12) 상에 적재된다. 상기 하부 기판(32)은 하부-기판-전면(321)과 하부-기판-배면(322)을 포함한다. 상기 하부 기판(32)은 그 하부-기판-배면(322)은 상기 제2 케리어(4)에 있는 복수개의 제2 상부-흡입-플레이트(411)에 흡착되어 하부 스테이지(12)로 적재되고, 그에 따라 상기 하부 기판(32)의 하부-기판-배면(322)이 하부 스테이지(12)에 있는 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트 (121)에 의해 흡착된다. 유사하게, 상기 하부 기판(32)의 하부-기판-배면(322)을 흡착하는 이유는 하부 기판(32)의 하부-기판-배면(322)에 충격이 가해지는 것을 피하기 위함이다.
전술한 단계에서 주목할 것은, 먼저, 그 이전 단계에서 완성되는 하부-스테이지-흡입-플레이트(121)에 흡착되어 있던 기판 조립체(30)가 상기 제1 케리어(2)에 있는 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트(211)에 의해 흡착되어 하부 스테이지(12)상으로 인출되고, 그 다음에, 상기 제2 케리어(4)에 있는 복수개의 제2 흡입-플레이트(411)에 의해 하부 기판(32)을 흡착하여 하부 스테이지(12) 상에 적재한다는 것이다(SB). 그러므로, 제1 케리어(2)는 회전운동과 같은 추가적인 운동없이도 제2 케리어(4)와 함께 상부 기판(31)과 하부 기판(32)을 효과적으로 적재하게 된다. 이것은 단일 공정 단계에서 동시에 수행되므로, 제조 공정이 효과적으로 단순화된다. 따라서 제조 시간이 단축되고, 수율이 증가된다.
도 10은 본 발명의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다. 도 1, 도 2 및 도 10을 참조하면, 액정(7)이 상기 하부 기판(32) 위에 떨어뜨려진다(SC). 또한, 광중합 접착제(8)가 상기 하부 기판(32)의 주변 영역에 충전된다.
도 11은 본 발명의 후속 공정 단계를 도시하는 개략도이다. 도 1, 도2, 및 도 11을 참조하면, 상부 스테이지(11)가 하강하여 상부 기판(31)이 하부 기판(32) 위에 적층되도록 한다(SD). 이리하여, 기판 조립체(33)가 완성되고 LCD 패널 제조 방법이 구현된다.
본 발명은 현재에 가장 실제적이고 바람직하다고 여겨지는 실시예를 이용하 여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 실시예에 제한되는 것이 아니라는 것을 이해하여야 한다. 그와 반대로, 첨부된 청구항의 사상과 범주에 포함되는 다양한 변형예와 유사한 구성을 포함한다. 상기 청구항은 이러한 다양한 변형예와 유사한 구성을 포함하도록 가장 폭넓게 이해되어져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 조립 방법 및 조립 장치는 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 제조 공정이 매우 단순화된다.
둘째, 제조 시간이 단축되고 수율이 증가한다.

Claims (18)

  1. 상부 스테이지와 하부 스테이지를 구비하는 진공챔버 내부에서 수행되는 기판 조립 방법에 있어서,
    (A) 상부 기판을 상기 상부 스테이지 상에 적재하는 복수의 제1 하부-흡입-플레이트와 상기 제1 하부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 하부면을 포함하는 제1 케리어에 의해 상부 기판을 상기 상부 스테이지에 적재하는 단계;
    (B) 이전 단계에서 완성된 기판 조립체를 상기 제1 케리어에 의해 상기 하부 스테이지 상에 인출하는 동시에, 제2 케리어에 의해 하부 기판을 상기 하부 스테이지 상에 적재하는 단계;
    (C) 상기 하부 기판 위에 액정을 떨어뜨리는 단계; 및
    (D) 상기 하부 기판 위에 상기 상부 기판을 적층시켜 기판 조립체를 완성하는 단계;를 포함하는 기판 조립 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(A)에서, 상기 제1 케리어는,
    복수개의 제1 상부-흡입-플레이트; 및
    상기 제1 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 상부면을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(B)에서, 상기 제2 케리어는,
    상기 하부 스테이지 상에 상기 하부 기판을 적재하는 복수개의 제2 흡입-플레이트; 및
    상기 제2 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제2 상부면을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(A)에서, 상기 제1 하부-흡입-플레이트는 제1 하부 공기통로와 각각 교통하고,
    상기 제1 하부 공기통로는 외부와 교통하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 단계(A)에서, 상기 제1 상부-흡입-플레이트는 제1 상부 공기통로와 각각 교통되고,
    상기 제1 상부 공기통로는 외부와 교통하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(A)에서, 상기 상부 기판은 상부-기판-전면과 상부-기판-배면을 포함하고,
    상기 상부-기판-배면이 상기 제1 케리어에 의해 흡착되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(A)에서,
    상기 하부 기판은 하부-기판-전면과 하부-기판-배면을 포함하고,
    상기 하부-기판-배면이 상기 제2 케리어에 의해 흡착되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(A)에서, 상기 상부 스테이지는,
    그 위에 상기 상부 기판을 흡착하기 위한 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(B)에서, 상기 하부 스테이지는,
    이전 단계에서 완성된 상기 하부 스테이지 상의 기판 조립체를 흡착하기 위한 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조 립 방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(B)에서, 상기 하부 스테이지는,
    그 위에 상기 하부 기판을 흡착하기 위한 복수개의 하부-스테이지-흡입-플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 단계(C)에서, 상기 하부 기판의 주위 영역 상에 광중합 접착제를 충전하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 방법.
  12. 상부 스테이지 및 하부 스테이지가 구비된 진공챔버 내에 구비되는 기판 조립 장치에 있어서,
    상기 진공챔버 내부에 구성된 제1 프레임;
    상기 진공챔버 내부에 구성된 제2 프레임;
    상기 제1 프레임 상에 회동가능하게 장착되는 것으로서, 복수개의 제1 상부-흡입-플레이트, 복수개의 제1 하부-흡입-플레이트, 상기 제1 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 상부면, 및 상기 제1 하부-흡입-플레이트가 장착되는 제1 하부면을 포함하는 제1 케리어; 및
    상기 제2 프레임 상에 회동가능하게 장착된 제2 케리어를 포함하는 기판 조 립 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제2 케리어는,
    복수개의 제2 상부-흡입-플레이트; 및
    상기 제2 상부-흡입-플레이트가 장착되는 제2 상부면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 제1 케리어는,
    상기 각각의 제1 상부-흡입-플레이트와 교통하는 제1 상부 공기통로; 및
    상기 각각의 제1 하부-흡입-플레이트와 교통하는 제1 상부 공기통로;를 포함하고,
    상기 제1 상부 공기통로와 상기 제1 하부 공기통로들 모두는 외부와 교통하는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
  15. 제 12항에 있어서,
    상기 상부 기판은 상기 제1 케리어에 의해 흡착되어 상기 상부 스테이지 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 상부 기판은 상기 제1 케리어의 제1 하부-흡입-플레이트에 의해 흡착되어 상기 상부 스테이지 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
  17. 제 13항에 있어서,
    이전 단계에서 완성된 기판 조립체는 상기 제1 케리어에 의해 상기 하부 스테이지 상으로 인출되는 동시에, 하부 기판이 상기 제2 케리어에 의해 상기 하부 스테이지 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
  18. 제 17항에 있어서,
    이전 단계에서 완성된 기판 조립체는 상기 제1 케리어의 제1 상부-흡입-플레이트에 의해 상기 하부 스테이지 상으로 인출되는 동시에, 상기 하부 기판은 상기 제2 케리어의 제2 상부-흡입-플레이트에 의해 상기 하부 스테이지 상으로 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 조립 장치.
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