CN113571462A - 基板承载台及承载装置 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种基板承载平台及承载装置，承载平台的承载区域内设置有吸附孔，通过吸附孔对基板进行吸附，同时，基板承载平台内还设置有基板固定结构，通过基板固定结构实现对承载区域内的基板进行固定。本发明实施例中通过吸附孔的吸附作用以及基板固定结构的共同作用，进而有效的提高基板与承载平台之间的贴合效果，有效的防止基板在承载平台表面产生气泡并发生翘曲等问题。
Description
技术领域
本发明涉及显示面板的制造技术领域，具体涉及一种基板承载台以及承载装置。
背景技术
有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)和液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)是目前最常用的平板显示装置。其中，有机电致发光器件以其自发光、全固态和高对比度等优点，而成为近年来最具有潜力的显示器件。因此，有机电致发光器件也被应用于各种显示领域内，以实现人们所需要的显示效果。同时，随着人们使用需求的不断提高，人们对大尺寸的OLED的要求也越来越高。但是，随着OLED显示面板尺寸的增大，大尺寸面板制备完成后，需要对大尺寸的面板进行喷墨打印等工艺处理。在对大尺寸的面板进行喷墨打印时，由于其表面积较大，在对大尺寸的面板支撑时，其面板的边缘容易出现贴合不紧密，容易翘曲等问题，进而使得在对面板进行墨水打印时，墨水不能精准的打印在预定的区域内，从而造成最终形成的显示面板出现混色等问题，影响显示面板的发光性能。
综上所述，现有的大尺寸显示面板在制备过程中，在对显示面板进行喷墨打印等工艺操作时，受支撑的显示面板与支撑面之间的贴合不紧密，容易出现翘曲等问题，进而造成面板出现混色。并影响显示面板的发光性能。
发明内容
本发明实施例提供一种基板承载台及承载装置，以有效的解决在对大尺寸显示面板进行制造时，显示面板的基板不能与支撑台紧密贴合，基板容易出现翘曲等问题，进而造成制备形成的显示面板出现混色等问题。
为解决上述技术问题，本发明实施例提供的技术方法如下：
本发明实施例的第一方面，提供了一种基板承载台，所述基板承载台包括：
承载平台，所述承载平台包括承载区域和设置在所述承载区域一侧的边框区域，所述承载区域内设置有吸附孔，所述吸附孔用于对基板进行吸附；以及，
基板固定结构，所述基板固定结构设置在所述边框区域内，所述基板固定结构用于对所述承载区域内的所述基板进行固定。
根据本发明一实施例，所述基板固定结构包括固定部和连接部，所述固定部与所述连接部相连接，所述连接部与所述承载平台相连接，且所述固定部具有一固定平面，所述固定平面用于对所述基板的边缘进行固定。
根据本发明一实施例，所述固定部包括条状固定部或圆盘固定部。
根据本发明一实施例，所述基板固定结构活动的设置于所述边框区域内的所述承载平台上。
根据本发明一实施例，所述基板固定结构对称的设置在所述承载平台相对的两个侧边对应的边框上。
根据本发明一实施例，所述吸附孔在所述承载区域对应的中心区域内的分布密度大于所述承载区域的非中心区域内的分布密度。
根据本发明一实施例，所述吸附孔相对所述承载平台的几何中心呈同心圆形状分布。
根据本发明一实施例，所述承载区域内的所述承载平台的表面与所述边框区域内的所述承载平台的表面具有一高度差。
根据本发明一实施例，所述基板承载台还包括定位销，所述定位销设置在所述承载平台的边框区域内，且在所述边框区域内至少设置三个所述定位销。
根据本发明实施例的第二方面，还提供一种承载装置，所述承载装置包括：
底座；
承载平台，所述承载平台设置在所述底座上，所述承载平台包括承载区域和设置在所述承载区域一侧的边框区域，所述承载区域内设置有吸附孔，所述吸附孔用于对基板进行吸附；
基板固定结构，所述基板固定结构设置在所述边框区域内，所述基板固定结构用于对所述承载区域内的所述基板进行固定；以及，
吸附装置，所述吸附装置与所述承载平台内的吸附孔对应连接，所述吸附装置用于抽取所述吸附孔内的空气。
综上所述，本发明实施例的有益效果为：
本发明实施例提供一种基板承载平台及承载装置。为了提高在制备大尺寸显示面板的制备工艺，本发明实施例中，通过在承载平台的承载区域内设置多个吸附孔，通过吸附孔的吸附作用，进而有效的提高基板与承载平台之间的贴合效果，有效的防止基板在承载平台表面产生气泡并发生翘曲等问题。同时，本发明实施例中还在承载平台的边框区内设置基板固定结构，通过基板固定结构将基板的边缘压合，防止边缘区域发生翘曲等问题，从而有效的保证了大尺寸显示面板在制备时的制备效果，并有效的提高了显示面板的综合性能。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果更显而易见。
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的基板承载台的俯视图；
图2为本发明实施例提供的承载平台的机构俯视图；
图3为本发明实施例提供的承载区域内对应的承载平台的平面示意图；
图4为本发明实施例提供的基板固定结构的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的又一基板承载台的平面结构示意图；
图6为本发明实施例提供的承载装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
显示面板在制备过程中，需要经过多种制备工艺的处理，处理完成后最终才能制备形成人们所需要的产品。同时，随着显示面板的尺寸的不断增大以及柔性面板的不断普及，在对大尺寸柔性面板制备时，尤其在对其进行转移时，很容易出现膜层的翘起以及破裂等问题，从而进一步增加了面板的制备工艺难度。
本发明实施例提供一种显示面板在转移过程中的承载台以及转移承载装置。以有效的解决在对大尺寸柔性面板进行转移以及制备过程中，面板容易出现翘起等问题，进而影响面板的制备工艺，并有效的防止面板出现混色等显示的问题。
如图1所示，图1为本发明实施例提供的一种显示面板的基板承载台的俯视图。具体的，该承载台包括：承载平台100以及基板固定结构104。
其中，本发明实施例中提供的承载平台100包括承载区域101和边框区域102。边框区域102可设置在承载区域101的一侧，或者边框区域102围绕该承载区域101进行设置。
本发明实施例中，该承载台在对基板200进行承载和转移时，通过承载区域101内的承载平面以实现对所需要转移和承载的基板200进行支撑。其中，为了保证承载台的承载效果，其承载平面的表面积可大于所需支撑的基板200的面积。从而有效的防止在对基板200进行转移时，容易对基板200造成破坏或撕裂等问题。
进一步的，在对基板200进行支撑或者固定时，由于基板200可为柔性基板，并且在转移过程中，容易出现晃动等情况，进而造成基板200偏离预定位置。一旦基板200偏离预定位置，在后续对基板进行喷墨打印形成像素等工艺时，容易使得喷墨打印的墨水不能准确定位，进而造成相邻子像素出现混色等显示问题。影响面板的正常使用。
因此，本发明实施例中，在承载平台100的承载区域101内还设置有吸附孔103。具体的，如图2所示，图2为本发明实施例提供的承载平台的机构俯视图。
其中，本发明实施例中的承载区域101内对应的承载平台的表面可与边框区域102内对应的承载平台的表面之间可位于同一水平面上。这样，承载台的整个上表面就相当于一个水平支撑面，当对基板进行转移等操作时，直接将基板转移到该承载区域101对应的支撑平面上即可实现，整个操作工艺简单快捷。
同时，为了进一步的提高承载平台100对基板的支撑及操作效果，本发明实施例中在设置不同区域内的承载平台时，可将承载平台100的承载区域101和边框区域102内对应的平台设置为存在一高度差。即边框区域102内的承载平台的表面与承载区域101内的承载平台的表面不处于同一水平面上，而具有一定的落差。这样，当对基板进行转移时，可将基板放置于相对边框区域102的表面凹陷的承载区域101对应的平面上，进而可通过边框区域102对应的承载台的侧壁实现对所转移的基板的固定，从而有效的防止基板因外界因素造成的错位或者晃动等问题，在对基板进行喷墨打印等工艺操作时，有效的提高了显示面板的制备精度，保证了显示面板的性能。
进一步的，本发明实施例中提供的承载平台100的承载区域101内还设置有吸附孔103。当将基板放置在该承载区域101内时，吸附孔103便于基板的一面相接触，当将该吸附孔103内抽取形成真空时，吸附孔103内的压强与外界大气压强之间形成一定的压强差，从而使得该吸附孔103对基板产生一吸附力。即由于该压强差的存在，相当于在所转移的基板的表面提供了一压力，进而保证了基板与承载平台100的贴附效果。
其中，吸附孔103可阵列的设置在承载区域101内，如相对承载平台100的长和宽的方向进行阵列设置，如图2中的吸附孔103所示。在设置时，各吸附孔103的直径可相同。
在本发明实施例中，如图3所示，图3为本发明实施例提供的承载区域内对应的承载平台的平面示意图。在对大尺寸基板进行转移或支撑时，其基板的边缘区域300处容易发生翘起，一旦基板翘起，就会对后续的制备精度造成影响。因此，本发明实施例中，为了防止边缘区域300内的基板发生翘起等问题，在设置吸附孔103时，边缘区域300内的吸附孔103的排布密度大于中心区域301内的吸附孔103的排布密度。这样，吸附孔103对边缘区域300内的基板的吸附力大于对中心区域301内的基板的吸附力。从而保证了边缘区域300内的基板的吸附效果，有效的防止了基板容易发生翘起等问题的出现。
优选的，在设置承载区域101内的吸附孔103时，吸附孔103相对承载平台100的承载平面的几何中心呈同心圆阵列分布。并且，在靠近边缘区域300内，其吸附孔103的密度大于中心区域301内的吸附孔103的密度，从而防止边缘区域300内的基板容易发生翘起等问题，影响基板的生产及制造。
优选的，在设置承载区域101内的吸附孔103时，吸附孔103可只设置在边缘区域300内，而在承载平台100的中心区域301内不设置，从而保证基板的四周边缘能有效的与承载平台100的平面相贴合，保证显示面板的制备精度。
优选的，在制备形成本发明实施例中提供的吸附孔103时，各个吸附孔103的孔径可大小相同。或其边缘区域300内的吸附孔103的孔径大于中心区域301内对应的吸附孔103的孔径，这样，孔径越大，当吸附孔103内被抽取成真空时，其对基板形成的吸附力也越大，从而有效的保证了吸附孔103对基板的吸附效果，有效的防止了基板在吸附过程中容易发生移动或者翘起等问题。
进一步的，在制备形成本发明实施例中提供的吸附孔103时，各个吸附孔103还可设置为阶梯孔的结构。当承载平台上的吸附孔103为阶梯孔结构时，其中，靠近承载平台的表面一侧的孔径要大于远离承载平台表面一侧的吸附孔的孔径。这样，与基板相接触的吸附孔103对基板所产生的吸附力就会更大，从而有效的降低了基板发生翘起的问题。
在设置形成上述阶梯孔型结构时，各孔径的大小可根据实际所需承载的基板的大小进行设置，这里不再详细赘述。同时，每个吸附孔103内的阶梯的个数也根据实际所承载的基板的大小进行设置，优选的，阶梯孔内的台阶为1个，从而有效的简化了制备工艺，降低了生产成本。
进一步的，本发明实施例中的基板承载台还包括定位销105。其中，定位销105设置在承载平台100的边框区域102内。由于在边框区域102内不会对基板进行支撑，因此，定位销105不会影响对基板200的支撑效果，并且，由于本发明实施例中设置有定位销105，定位销105可将基板200限定在承载区域101内，从而保证了承载平台100的承载效果。
本发明实施例中的定位销105可设置多个，多个定位销105设置在至少三条边上，从而保证定位销105的定位效果。其中，本发明实施例中的定位销105的数量至少设置为3个或者多个，通过在边框区域102内设置定位孔，并将该定位销105插入到对应的定位孔内，从而实现定位销105的固定，并保证定位销105对基板的定位效果。
进一步的，本发明实施例中提供的承载平台100还包括基板固定结构104。其中，基板固定结构104设置在承载平台100的边框区域102内。
如图4所示，图4为本发明实施例提供的基板固定结构104的结构示意图。其中，本发明实施例中的基板固定结构104包括连接部400和固定部401。连接部400通过连接端402与承载平台的边框区域对应连接，同时，固定部401与连接部400的一端相连接，进而形成本发明实施例中的基板固定结构104。
具体的，本发明实施例中的连接部400可活动的设置在对应的边框区域内，当基板被放置在承载区域后，转动该连接部400的连接端402，使其固定部401与基板的表面相贴合，并对基板施加一定的压力。进而有效的保证了固定部401对基板的边缘进行固定，从而有效的防止了大尺寸基板在边缘区域处容易发生翘起等问题。
当转动连接部400以对基板进行固定时，连接部400还可相对承载平台的表面上下移动，通过承载平台上下移动，以实现对连接部400的高度进行调整，进而达到控制固定部401对基板表面的压力的大小的目的。
本发明实施例中，固定部401还包括一固定面403，通过固定部401的固定面403对基板的边缘进行固定，从而有效的防止边缘区域内的基板发生翘起等问题。
优选的，固定部401可设置为长条结构或者圆盘结构，其中，在对连接部400进行转动时，保证至少有部分固定部401的固定面403与边缘区域内的基板相接触。
具体的，本发明实施例中提供的基板固定结构104可对称的设置在边框区域102内。为了保证其对基板的固定效果，在设置各个基板固定结构104时，承载平台的长边对应的边框上至少设置三个基板固定结构104，并且保证在边框区域102的四个角处均分布有该基板固定结构104。
进一步的，如图5所示，图5为本发明实施例提供的又一基板承载台的平面结构示意图。为了进一步提高基板承载平台100对基板的支撑和吸附效果。其中，基板承载平台100还包括凹槽500。凹槽500对应的设置在承载区域101的边缘区域内。其中，凹槽500的宽度较小，当基板贴合在该承载区域内时，可将该凹槽500的空气抽取，从而使得凹槽500可对其上的基板产生一吸附力，进而有效的防止了基板在边缘区域内发生翘起等问题。
具体的，当基板承载台在对基板进行吸附和支撑时，将基板固定结构104的固定部401转向平台外侧，防止固定部401对基板造成损害，然后再将基板放置在承载区域101上。基板放置完成后，抽取吸附孔103内的空气，使吸附孔103内形成真空或近真空环境，从而有效的保证了吸附孔103对基板的吸附作用，并防止基板在制备过程中发生翘起等问题，并且保证基板的位置精度，当继续在基板上进行喷墨打印等工艺时，打印的材料能准确的涂布在预定位置，从而有效的防止了显示面板后续发生混色的问题，有效的提高了显示面板的可靠性。
如图6所示，图6为本发明实施例提供的承载装置的结构示意图。其中，本发明实施例中提供的承载装置包括底座600、承载平台100、基板固定结构104以及吸附装置601。
具体的，底座600与承载平台100相连，底座用以对承载平台100进行固定和支撑。基板固定结构104设置在承载平台100的边框区域内，基板固定结构104用以对基板进行固定。同时，承载平台100用以对基板进行支撑和转移，吸附装置601可设置在底座600内，并通过连接筒等与承载平台100内的各个吸附孔103相连通。
当基板贴附在承载平台100上时，通过吸附装置601将各个吸附孔103内的空气抽取干净。吸附孔103内的空气被抽取完成后，每个吸附孔103便对基板形成一吸附力，从而有效的保证了承载装置的吸附和承载效果，并保证了在后续制备工艺过程中的制备精度，有效的提高了面板的性能。
以上对本发明实施例所提供的一种基板承载台以及承载装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种基板承载台，其特征在于，包括：
承载平台，所述承载平台包括承载区域和设置在所述承载区域一侧的边框区域，所述承载区域内设置有吸附孔，所述吸附孔用于对基板进行吸附；以及，
基板固定结构，所述基板固定结构设置在所述边框区域内，所述基板固定结构用于对所述承载区域内的所述基板进行固定。
2.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述基板固定结构包括固定部和连接部，所述固定部与所述连接部相连接，所述连接部与所述承载平台相连接，且所述固定部具有一固定平面，所述固定平面用于对所述基板的边缘进行固定。
3.根据权利要求2所述的基板承载台，其特征在于，所述固定部包括条状固定部或圆盘固定部。
4.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述基板固定结构活动的设置于所述边框区域内的所述承载平台上。
5.根据权利要求4所述的基板承载台，其特征在于，所述基板固定结构对称的设置在所述承载平台相对的两个侧边对应的边框上。
6.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述吸附孔在所述承载区域对应的中心区域内的分布密度大于所述承载区域的非中心区域内的分布密度。
7.根据权利要求6所述的基板承载台，其特征在于，所述吸附孔相对所述承载平台的几何中心呈同心圆形状分布。
8.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述承载区域内的所述承载平台的表面与所述边框区域内的所述承载平台的表面具有一高度差。
9.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述基板承载台还包括定位销，所述定位销设置在所述承载平台的边框区域内，且在所述边框区域内至少设置三个所述定位销。
10.一种承载装置，其特征在于，包括：
底座；
承载平台，所述承载平台设置在所述底座上，所述承载平台包括承载区域和设置在所述承载区域一侧的边框区域，所述承载区域内设置有吸附孔，所述吸附孔用于对基板进行吸附；
基板固定结构，所述基板固定结构设置在所述边框区域内，所述基板固定结构用于对所述承载区域内的所述基板进行固定；以及，
吸附装置，所述吸附装置与所述承载平台内的吸附孔对应连接，所述吸附装置用于抽取所述吸附孔内的空气。
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