JP5788778B2 - ラビング装置およびラビング方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置（液晶パネル）製造工程において用いられるラビング装置およびラビング方法に関するものである。

配向膜が形成された液晶表示素子基板（ガラス基板）の前記配向膜の表面に施すラビング処理は、液晶表示素子基板をラビングステージ上に配置して行う。この場合、ラビング処理による配向膜の表面の配向溝は所定の方向に形成されるようにするため、ラビングステージ上に配置される液晶表示素子基板は、ラビングローラーに対して指定の角度が維持されるようにしなければならない。

このようにして行われる液晶パネルの製造プロセスにおけるラビング工程では、液晶分子の分布を均一に、且つ液晶分子の配向を配向溝に沿って所定の方向に配列し、液晶パネルの全面に亘って均一な画像品質が得られるようにしなければならない。したがって、配向膜の全面を均一な条件下でラビング処理することにより、配向膜の全面に配向溝を均一に形成することが重要となる。

かかるラビング処理装置の一例して、複数の液晶表示素子基板を連続してラビング処理する場合において、処理する基板毎にラビングステージ上の異なる位置に位置決めする位置決め機構を備え、この位置決め後の液晶表示素子基板をラビングステージ上に吸着保持する保持機構である吸着孔（ピンホール）により真空吸着する装置が提案されている（特許文献１参照）。

特開２００８−２５７１０５号公報

ラビングステージ上に配置された液晶表示素子基板の角度は、０°、９０°、１８０°、２７０°が一般的であった。ところが、近年の多岐に亘る製品需要の要望からラビング処理の方向が３６０°の全方向からの角度が可能で、且つ高い角度精度およびラビングステージの面精度が要求されているに至っている。

しかしながら、従来のラビング処理では、その前工程で液晶表示素子基板の角度を設定してロボットなどの搬送手段によりラビングステージへ液晶表示素子基板を搬入するようにしているため、位置ずれを完全に無くすことができず、液晶表示素子基板の角度の精度保証が困難であり、その上、旋回させて位置決めするための専用装置が必要であるが、ラビングステージを旋回するということは、旋回を許容する機構を介してラビングステージを配置する構成となることによる構造的要因により面振れが必ず発生する。

また、処理する液晶表示素子基板の大型化に伴って駆動源の大型化、電力の増加や機構要素の重量増加によりラビングステージの駆動負荷が増大して生産性の低下に繋がる問題があった。このような問題の傾向は液晶表示素子基板も大型化していることから顕著となっており、重要な解決課題となっている。

即ち、大型の液晶表示素子基板は一辺が２ｍに及ぶものもあり、その厚さは、０．６〜０．７ｍｍと極めて薄いものであるが、このような剛性の乏しい液晶表示素子基板をラビングステージ上で平面性を保つとともに、液晶表示素子基板は、ラビングローラーに対して指定の角度精度（±０．０５°〜±０．０１°）を達成しラビング処理を行わなければならない。しかしながら、液晶表示素子基板は大型になるほど平面性を保つのが困難であり、ラビングステージ上への搬入そして定位置への固定も困難なものとなる。

そこで、液晶表示素子基板のラビングステージへ搬入し固定する手段として、特許文献１に開示されているような、ラビングステージに複数の吸着孔を形成し、この吸着孔から圧縮空気を噴出させ、この圧縮空気上に液晶表示素子基板を搬入することにより圧縮空気がいわゆるエアーベアリングとなってラビングステージとの接触を避けながらラビングステージ上に液晶表示素子基板を搬入することができる。

図１９は、ラビングステージ上に液晶表示素子基板Ｗが搬入され、圧縮空気ＡがラビングステージＳＴから噴出している状態を示す。前記圧縮空気Ａは液晶表示素子基板Ｗの外周から外部へ噴き出すので、この部分の空気の流速が早く空気抵抗が低いことと、重力の作用が相俟って液晶表示素子基板Ｗの外周は下方へ降下する一方、液晶表示素子基板Ｗの中央部は、空気の流速が遅くなることから空気溜まりの状態となり、剛性が乏しく撓み易い液晶表示素子基板Ｗは、同図に示すように中央が突出する湾曲状態を呈することになる。

かかる状態でラビングの方向へ位置決めするために、外部からの機械的手段により液晶表示素子基板Ｗを旋回させると、この液晶表示素子基板Ｗの最も降下している角隅部分（エッジ）がラビングステージＳＴに接触してしまう可能性がある。また、図１９に示す状態は液晶表示素子基板Ｗが浮揚（フローティング）しており、圧縮空気による空気層がエアーベアリングとなっていることから、僅かな外力によっても液晶表示素子基板Ｗは移動してしまい、液晶表示素子基板ＷをラビングステージＳＴ上の定位置に定めるのは甚だ困難である。

この液晶表示素子基板ＷのラビングステージＳＴ上への位置決めは、圧縮空気Ａが噴出している間に実行されなければならない。何故ならば、圧縮空気Ａが供給されていない状態では、液晶表示素子基板ＷとラビングステージＳＴとの接触抵抗が、圧縮空気Ａが存在する場合に比べて格段に大きくなることから、薄く大型である液晶表示素子基板ＷをラビングステージＳＴ上で機械的に旋回させ、アライメントにより正確に位置決めして固定することは到底できない。

本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、ラビングステージに液晶表示素子基板の真空吸着機能を備える構成において、ラビングステージ上で液晶表示素子基板の旋回を可能にするとともに、アライメント調整により正確な位置決めをしてラビングステージに固定することが可能となるようにしたラビング装置を提供することを目的とする。

そこで本発明は、以下に述べる各手段により上記課題を解決するようにした。即ち、請求項１記載の発明では、表面に配向膜が形成された液晶表示素子基板をラビングステージ上に配置し、前記液晶表示素子基板に対してラビングローラーを回転させながら所定方向へ相対的に移動させ、前記液晶表示素子基板の表面にラビング処理を施すようにしたラビング装置であり、前記ラビングステージの中央には、前記液晶表示素子基板の中央部を吸着し、該液晶表示素子基板を旋回する機能を有するアライメントヘッドと、前記液晶表示素子基板の中央部以外の部分を吸着または浮揚する機能を有する空圧テーブルを前記アライメントヘッドの外周を囲うように備えるようにする。

請求項２記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、アライメントヘッドおよび空圧テーブルの表面に多孔質材が配設されているようにする。

請求項３記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、空圧テーブルが複数の空気室ユニットを一体化して構成されているようにする。

請求項４記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、アライメントヘッドが面振れ修正機能を備えるようにする。

請求項５記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、アライメントヘッドが平面移動可能となるようにする。

請求項６記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、空圧テーブル内で液晶表示素子基板を支持する昇降ロッドが上下動するようにする。

請求項７記載の発明では、上記請求項１記載の発明において、液晶表示素子基板の中央部の吸着時にはアライメントヘッドを空圧テーブルから上昇させ、該空圧テーブルによる液晶表示素子基板の吸着に対応して前記アライメントヘッドを降下して空圧テーブルの表面とアライメントヘッドの表面が一致するようにする。

請求項８記載の発明では、上記請求項１記載のラビング装置において、空圧テーブルの上部にアライメントカメラを設け、液晶表示素子基板のアライメントマークまたは液晶表示素子基板の角隅部を検出してアライメントが実行されるようにする。

請求項９記載の発明では、上記請求項１−８のいずれかに記載のラビング装置により液晶表示素子基板の表面に形成した配向膜にラビング処理がなされるラビング方法となるようにする。

本発明によれば、表面に配向膜が形成された液晶表示素子基板を、真空吸着機能を備えたラビングステージ上に配置し、前記液晶表示素子基板に対してラビングローラーを回転させながら所定方向へ相対的に移動させ、前記液晶表示素子基板の表面にラビング処理を行うようにしたラビング装置において、配置された液晶表示素子基板の旋回が可能となり、アライメントにより正確な位置決めをしてラビングステージに固定することが可能となる。

本発明のラビング装置の外観を示す図である。 本発明のラビング装置の構成の概要を示す図である。 本発明のラビング装置の空気室ユニットの構成を示す図である。 本発明のラビング装置の空圧テーブルの構成を示す図である。 本発明のラビング装置のアライメントヘッドの構成を示す図である。 本発明のラビング装置のアライメントヘッドの構成を示す図である。 本発明のラビング装置の空気室ユニットと昇降ロッドの構成を示す図である。 本発明のラビング装置の昇降ロッドの構成を示す図である。 本発明のラビング装置の昇降ロッドの機能を説明する模式図である。 本発明のラビング装置の昇降ロッドの機能を説明する模式図である。 本発明のラビング装置の昇降ロッドの機能を説明する模式図である。 本発明のラビング装置の昇降ロッドの機能を説明する模式図である。 本発明のラビング装置における基板配置状態を説明する図である。 本発明のラビング装置におけるアライメント処理を説明する図である。 本発明のラビング装置における処理の流れを説明する図である。 本発明のラビング装置における処理の流れを説明する図である。 本発明のラビング装置における処理の流れを説明する図である。 本発明のラビング装置の作用効果を説明する図である。 従来のラビング装置における不具合の状態を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明のラビング装置の構成の外観を示す斜視図であり、図２に構成の概要を示す。同図においてラビングステージ１の側部にラビングローラーＲが配置され、対向する側部から搬送手段により液晶表示素子基板Ｗがラビングステージ１上に搬入される。搬入された液晶表示素子基板Ｗは、後述する機構手段により旋回され、所定の角度でラビングステージ１上に配置され、液晶表示素子基板Ｗ上をラビングローラーＲが回転しながら移動し、液晶表示素子基板Ｗの配向膜の表面に配向溝を形成する。

前記ラビングステージ１は、液晶表示素子基板Ｗのラビングステージ１への配置調整を行うアライメントヘッド２を中央に備え、その外周を囲う空圧テーブル３を主体に構成されている。この空圧テーブル３は、空気室の表面から圧縮空気の噴出あるいは外気を吸引する真空引きが行われるように構成されたもので、液晶表示素子基板Ｗが中型以下の大きさである場合は単一構造とすることができるが、液晶表示素子基板Ｗの一辺が２ｍに及ぶような大型である場合は、空圧テーブル３は複数のユニットで構成するのが望ましい。

即ち、大型の液晶表示素子基板Ｗに対応する空圧テーブル３を単一構造とした場合、その空気室内に空気圧の偏在が生じ、表面からの圧縮空気の噴出の程度に偏りが生じる。これにより、液晶表示素子基板Ｗを浮揚した場合の水平性が保てなくなり、傾斜方向に移動し易くなり位置精度を正確に保てなくなる要因となる。また、空圧テーブル３の表面材を一枚の単板で構成した場合、空気室の空気の吸引で表面材が空気の吸引方向へ撓んでしまい、ラビング処理に悪影響を及ぼすことになる。

そこで本発明では、ラビング処理の対象となる液晶表示素子基板Ｗが大型である場合にも対応できるように、空圧テーブル３を複数のユニットで構成するようにした。さらに、図１８に示すように、後述するアライメントヘッド２により液晶表示素子基板Ｗの中央部を吸着し、且つ、ラビングステージ１からの浮上量と同一高さに上昇させ、液晶表示素子基板Ｗを浮上した場合の水平性を保つことが可能となるようにするとともに、従来必要であった人為的操作を排除して液晶表示素子基板ＷのＸ−Ｙ−θ方向の自動調整が可能となるようにした。

図３は、空圧テーブル３を構成するための空気室ユニット３１の構造の例を示すもので、同図に示すように、方形筺状体３１ａの上面の開放部に通気板３１ｂの外周を接着などの適宜手段により固定する。前記通気板３１ｂは、例えば、金属、セラミック、カーボンなどによる多孔質（ポーラス）のものを採用し、両面間の空気の流通が円滑に行われるようにする。一方、方形筺状体３１ａの底部には送気パイプ３１ｃを設け、圧縮空気の空気室３１ｄへの供給と空気室３１ｄ内の空気を吸引する真空引きが可能となるようにしている。

以上のように構成された空気室ユニット３１は、図４に示すように側辺同士を接合して適宜手段で結合し、一体化された空圧テーブル３が完成する。なお、この空圧テーブル３は装置本体に配設された基盤１２に固定され、位置の安定が保たれるようにしている。本発明の空圧テーブル３は以上のように構成されていることから、各空気室ユニット３１への圧縮空気の供給を個々に調節することができる。したがって、例えば重力の影響を受けて撓み易い液晶表示素子基板Ｗの外周の角隅部が位置する空気室ユニット３１へ相対的に圧縮空気を多く供給することにより、全体の水平性を維持することができ、液晶表示素子基板Ｗの角隅部の空圧テーブル３との接触を回避することができる。

つぎに、アライメントヘッド２の構成について説明する。図５に示すように円形筺状体２１ａの上面の開放部に通気板２１ｂの外周を接着などの適宜手段により固定する。この通気板２１ｂも前記通気板３１ｂと同様に多孔質のものを採用し、空気室２１ｃと外部の空気の流通が円滑に行われるようにする。そして、前記円形筺状体２１ａは台座４を介してダイレクトドライブモーター５に固定され、開口部が空気室２１ｃに臨む送気パイプ６が前記ダイレクトドライブモーター５の中心空間から配設されている。このようにアライメントヘッド２はダイレクトドライブモーター５上に載置された状態となっているので、このダイレクトドライブモーター５を駆動することによりアライメントベッド２が回転する。

ここで、上記のようにアライメントヘッドを構成すると、少なからず面振れが発生する可能性がある。一般にラビングステージ上の液晶表示素子基板の許容される平面度は２０〜４０μであり、配向膜前面に亘ってラビング処理の均一性を向上させるためには、前記平面度を保つ必要がある。したがって、アライメントヘッド２を旋回させることによる面振れを補正するための機構を備えるようにした。

即ち、前記ダイレクトドライブモーター５は、テーブル板７に載置固定されており、さらにこのテーブル板７には図５、図６に示す３点支持機構、即ち円周端に各々が１２０°の角度で離間して配置されたボールジョイント８を介してスクリュージャッキ機構９に連結されている。このスクリュージャッキ機構９のスクリュー９ａの端部は、サーボモーター１０により回転され、ナット部９ｂの昇降に伴ってテーブル板７が昇降する。これによりアライメントヘッド２の表面の３６０°方向の面振れ補正角度調整が可能となる。

なお、前記サーボモーター１０は、電動機構などの適宜手段によりＸ−Ｙ軸方向に移動可能となるようにしたスライドテーブル１１に固定されていることから、全体がＸ−Ｙ軸方向に移動し、アライメントヘッド２の平面移動が可能となる。このスライドテーブル１１の移動調整は、図１に示すアライメントカメラ１３、１４により液晶表示素子基板Ｗの角隅部またはマーキングを検知した信号に基づいて制御回路を作動して行われる。

つぎに、ラビングステージ１上に搬入される液晶表示素子基板Ｗを確保し、また、ラビング処理の完了した液晶表示素子基板Ｗの搬出が可能となるようにするための機構について説明する。液晶表示素子基板Ｗはラビングステージ１と接触しないように浮上させた状態で搬入し、ラビングステージ１上に配置しなければならない。そこで、ラビングステージ１の所定の位置で上下動する複数の昇降ロッド１５を設けるようにした。この昇降ロッド１５は、図７に示すように方形筺状体３１ａの底板と通気板３１ｂの昇降ロッド１５の貫通位置に通孔３１ａ−１、３１ｂ−１を形成するとともに、この通孔間に気密状態が保たれるようにリングスペーサー１６を配置固定し、このリングスペーサー１６内で昇降ロッドが上下動するようにしてある。

前記昇降ロッド１５は、図８に示すように中空のパイプ状であって、その先端に通気孔１５ａ−１を形成した柔軟性を有する吸着パット１５ａを備える。一方、通気孔１５ｂが形成された昇降ロッド１５の後端は送気管１７内に臨み、送気管１７により外部の空気が吸着パット１５ａから吸引され真空引きが可能となるようにしている。このように構成された複数の昇降ロッド１５は、図９に示すように送気管１７に配設され、サーボモーター１８とスクリュージャッキ機構１９で上下動する昇降棹２０により上下動するようにしている。

本発明のラビング装置は以上のように構成されており、かかる構成において液晶表示素子基板Ｗにラビング処理を施す場合の流れについて、図１５〜図１７を参照して以下に説明する。図１に示すように装置外部に準備された液晶表示素子基板Ｗは、搬送手段（図示省略）によりラビングステージ１上へ搬入されるが、この搬入が開始される以前にサーボモーター１７を作動し、図１０に示すように昇降ロッド１５を所定の高さまで上昇させておく（ステップＳ１）。

昇降ロッド１５の上昇が確認されると、搬送手段が作動して液晶表示素子基板Ｗの搬入が開始され、昇降ロッド１５の吸着パット１５ａ上に図１１、図１３に示すように配置され（ステップＳ２）、吸着パット１５ａによる真空吸着が開始される（ステップＳ３）。これにより、液晶表示素子基板Ｗが昇降ロッド１５により仮固定された状態となり、液晶表示素子基板Ｗの位置ズレを防止する機能を果たす。かかる状態で昇降ロッド１５を降下し（ステップＳ４）、図１２に示すようにアライメントヘッド２および空圧テーブル３の表面と液晶表示素子基板Ｗの裏面を接触させる。

液晶表示素子基板Ｗの裏面にアライメントヘッド２の表面が接触すると、送気パイプ６から空気室２１ｃの空気の吸引、即ち真空引きが開始され、アライメントヘッド２は液晶表示素子基板Ｗの中央部を真空吸着し（ステップＳ５）、これと同時に吸着パット１５ａによる真空吸着を解除して昇降ロッド１５を降下させる（ステップＳ６）。

そして、空圧テーブル３により液晶表示素子基板Ｗの全面を真空吸着して固定し（ステップＳ７）、アライメントカメラ１３，１４を作動して液晶表示素子基板Ｗの角隅部またはアライメントマークを検出し、液晶表示素子基板Ｗの位置ズレ量を計測する（ステップＳ８）。この計測により液晶表示素子基板Ｗの設定された所定位置との誤差が生じている場合は、その補正量を加味した必要回転角度を算出する。

つぎに、アライメントヘッド２による液晶表示素子基板Ｗの中央部の真空吸着を継続した状態において、空圧テーブル３の全ての空気室ユニット３１の通気板３１ｂから圧縮空気を噴射する（ステップＳ９）。これにより、空圧テーブル３に対応する部分の液晶表示素子基板Ｗは空圧テーブル３上に浮上することになるので、この浮上に相当する高さまでアライメントヘッド２を上昇させる（ステップＳ１０）。

前記ステップ１０の状態に至ると、液晶表示素子基板Ｗと空圧テーブル３との間には空気層が形成され、エアーベアリング作用により液晶表示素子基板Ｗが遊動し易くなるが、アライメントヘッド２による真空吸着は継続されているので、液晶表示素子基板Ｗの定位置は保たれることになる。かかる状態においてダイレクトドライブモーター５を駆動すると、液晶表示素子基板Ｗが空圧テーブル３に接触することなく旋回し、図１４に例示するように液晶表示素子基板ＷをラビングローラーＲに対して設定された相対角度の位置関係となるようにすることができる（ステップＳ１１）。なお、液晶表示基板Ｗの旋回量は、ステップＳ８で測定した位置ズレ補正量を含むようにする。

このようにして液晶表示素子基板Ｗの旋回を完了すると、空圧テーブル３からの圧縮空気の噴射を中断し、液晶表示基板Ｗの中央部を真空吸着した状態を維持してアライメントヘッド２を降下し、空圧テーブル３の表面と液晶表示素子基板Ｗの裏面を接触させる（ステップＳ１２）。この状態で、アライメントヘッド２の旋回に伴って面振れが生じている場合は、上述した３点支持機構によりその修正を行う（ステップＳ１３）。

前記の修正が完了すると、空圧テーブル３から空気の吸引が開始され、液晶表示素子基板Ｗの真空吸着が行われる（ステップＳ１４）。これにより液晶表示素子基板Ｗがラビングステージ１上の正確な位置に固定され、ラビングローラーＲによるラビング処理が実行される（ステップＳ１５）。

このようにして液晶表示素子基板Ｗのラビング処理が完了すると、アライメントヘッド２による真空吸着は継続した状態で、空圧テーブル３から圧縮空気を噴射する（ステップＳ１６）。これにより液晶表示素子基板Ｗが浮上するので、この浮上量に相当する高さまでアライメントヘッド２を上昇し（ステップＳ１７）、液晶表示素子基板Ｗを搬入時の初期位置に戻るようにアライメントヘッド２を旋回する（ステップ１８）。

液晶表示素子基板Ｗが初期位置に達すると、昇降ロッド１５が上昇し（ステップと１９）、その先端の吸着パット１５ａを液晶表示素子基板Ｗの裏面に接触させ、真空吸着を開始する（ステップＳ２０）。その後、空圧テーブル３からの圧縮空気の噴射を中断するとともに、アライメントヘッド２による真空吸着を解除して液晶表示素子基板Ｗの浮上相当を降下する（ステップＳ２１）。

このようにして液晶表示素子基板Ｗは昇降ロッド１５により支持され、更に昇降ロッド１５を上昇し（ステップＳ２２）、ラビングステージ１から液晶表示素子基板Ｗを搬出して処理を完了する（ステップＳ２３）。

以上の説明から明らかなように本発明のラビング装置によれば、液晶表示素子基板Ｗの空圧テーブル３上における旋回を、空圧テーブル３上に噴出する圧縮空気による空気層で接触を回避しながら行われるので、液晶表示素子基板Ｗに損傷を与えることがない。また、空圧テーブル３上に搬入された液晶表示素子基板Ｗは、その中央がアライメントヘッド２により真空吸着されて保持されるが、この中心部以外は噴出する圧縮空気により浮上する状態となるので、液晶表示素子基板Ｗの全体を空圧テーブル３上でどのような角度にも旋回させることができる。

しかも、空圧テーブル３は旋回することなく定位置に固定した状態とすることができるので、空圧テーブル３により面振れが発生する可能性は皆無であることから正確に水平性を維持することができ、所定の角度で液晶表示素子基板Ｗを真空吸着により空圧テーブル３上に確実に保持してラビング処理を実行することができる。

本発明のラビング装置について、大型の液晶表示素子基板を対象とする実施例に基づいて説明したが、液晶表示素子基板が中型あるいは小型のものを対象として本発明を実施したラビング装置を構成することができる。

１・・・・・・ラビングステージ
２・・・・・・アライメントヘッド
３・・・・・・空圧テーブル
３１・・・・・空気室ユニット
４・・・・・・台座
５・・・・・・ダイレクトドライブモーター
６・・・・・・送気パイプ
７・・・・・・テーブル板
８・・・・・・ボールジョイント
９・・・・・・スクリュージャッキ機構
１０・・・・・サーボモーター
１１・・・・・スライドテーブル
１３・１４・・アライメントカメラ
１５・・・・・昇降ロッド
１６・・・・・リングスペーサー
１７・・・・・送気管
１８・・・・・サーボモーター
１９・・・・・スクリュージャッキ機構
２０・・・・・昇降棹
Ｒ・・・・・・ラビングローラー
Ｗ・・・・・・液晶表示素子基板

Claims (9)

1. 表面に配向膜が形成された液晶表示素子基板をラビングステージ上に配置し、前記液晶表示素子基板に対してラビングローラーを回転させながら所定方向へ相対的に移動させ、前記液晶表示素子基板の表面にラビング処理を施すようにしたラビング装置であり、
   前記ラビングステージの中央には、前記液晶表示素子基板の中央部を吸着し、該液晶表示素子基板を旋回する機能を有するアライメントヘッドと、前記液晶表示素子基板の中央部以外の部分を吸着または浮揚する機能を有する空圧テーブルを前記アライメントヘッドの外周を囲うように備えたことを特徴とするラビング装置。
2. 前記アライメントヘッドおよび空圧テーブルの表面に多孔質材が配設されていることを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
3. 前記空圧テーブルが複数の空気室ユニットを一体化して構成されていることを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
4. 前記アライメントヘッドが面振れ修正機能を備えていることを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
5. 前記アライメントヘッドが平行移動可能となるようにしたことを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
6. 前記空圧テーブル内で液晶表示素子基板を支持する昇降ロッドが上下動するようにしたことを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
7. 前記液晶表示素子基板の中央部の吸着時にはアライメントヘッドを空圧テーブルから上昇させ、該空圧テーブルによる液晶表示素子基板の吸着に対応して前記アライメントヘッドを降下して空圧テーブルの表面とアライメントヘッドの表面が一致するようにしたことを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
8. 前記空圧テーブルの上部にアライメントカメラを設け、液晶表示素子基板のアライメントマークまたは液晶表示素子基板の角隅部を検出してアライメントが実行されるようにしたことを特徴とする請求項１記載のラビング装置。
9. 請求項１−８のいずれかに記載のラビング装置により液晶表示素子基板の表面に形成した配向膜にラビング処理がなされるようにしたことを特徴とするラビング方法。

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