KR20060045037A - 프린트기판검사장치 - Google Patents

Abstract

기판의 배치도, 인쇄땜납된 기판의 외관을 나타내는 화상 중, 검사의 중심이 되는 배치도를 최대한으로, 또한 빠지지 않고 표시할 수 있는 포맷 및 영역을 할당함에 따라, 검사에 유효한 화면표시를 할 수 있도록 한다.

할당수단(7)이, 상기 배치도의 세로 또는 가로 중 어느 하나의 긴 쪽의 사이즈를 최대한으로 표시할 수 있고, 또한 배치도 전부를 표시할 수 있는 영역을 선택하여, 그 선택한 영역에 상기 최대한으로 표시하는 배율로 배치도를 할당하고, 그 밖의 영역에 화상데이터 생성수단(3)이 출력하는 외관화상 데이터를 할당하여, 그것을 표시수단(8)이 표시한다.

Description

프린트기판검사장치 {PRINTING BOARD INSPECTION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 기능블록을 설명하기 위한 도면이다.

도 2는 포맷의 구성예를 나타내는 도면이다.

도 3(A)는, 포맷의 식별명칭, 치수 등을 기재한 리스트를 나타내는 도면이다.

도 3(B)는, 검사대상의 기판(1)에 관한 치수 등을 기재한 리스트를 나타내는 도면이다.

도 4는 포맷의 다른 일례를 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명의 개략의 동작 흐름을 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 기판

2 : 측정수단

2a : 센서부

2b : 측정처리부

3 : 화상데이터 생성수단

4 : 판정수단

5 : 기판정보기억수단

6 : 표시포맷기억수단

7 : 할당수단

8 : 표시수단

9 : 조작수단

본 발명은, 전자부품 등을 표면에 장착하기 위한 프린트기판상에, 땜납 인쇄장치 등으로 크림상태 땜납이 인쇄되었을 때의 인쇄땜납 형성상태를 측정하여, 그 인쇄땜납의 형상의 검사, 혹은 프린트기판상에 전자부품이 장착되었을 때의 그 장착상태의 검사에 사용되는 검사장치에 관한 것이다.

특히, 본 발명은, 인쇄땜납 검사장치를 예로 들면, 검사결과에 의문이 있을 경우, 프린트기판의 인쇄부분을 나타낸 배치도, 실제로 땜납된 검사대상의 프린트기판의 외관(측정된 화상 혹은 찍어진 화상) 및 검사결과의 비교가 필요한데, 그들을 표시화면으로 관찰하기 쉽게 한 기술에 관한 것이다.

인쇄땜납 검사장치에 있어서는, 기판(이하, 프린트기판을 단순히「기판」이라고 한다)에, 빛을 조사하여 측정한 결과적으로 얻어진, 기판상의 인쇄땜납 부분의 변위(높이를 포함한다)나 휘도(기판으로부터 반사한 빛의 양, 수광량(빛의 강도)을 포함한다)의 측정데이터로부터, 땜납 인쇄되었을 때의 인쇄땜납량을 나타내는 요소가 되는 화상 데이터(높이, 면적, 혹은 부피 등의 데이터: 이하, 이들의 일 부 또는 전부를「평가대상 데이터」라고 한다)로 변환하여, 그 화상 데이터를 판정의 기준이 되는 참조데이터(이하, 이것을 「레퍼런스」라고 한다)와 비교하여 판정하는 검사장치 및 방법에 있어서는, 기판의 인쇄땜납 부분의 패턴형상, 인쇄땜납 상태, 측정조건, 잡음, 상기의 데이터를 변환하는 조건 등 및 그들의 조합으로부터 상기 평가대상 데이터를 정확하게 생성하는 것은 매우 어렵고, 이 평가대상 데이터를 판단하는 판정수단이, 양품의 인쇄땜납 형성상태를 잘못하여 불량품이라고 판정한 결과를 출력하는(이하, 잘못된 판정결과를 「오판단」이라고 한다) 경우가 있다. 따라서, 어떻게 해서라도 판정의 결과와 실물(장착상태)을 비교하고 해석하여 원인을 찾아낼 필요가 있다. 그러나, 실물은, 현장의 제조라인에 있기 때문에, 모두 비교검토를 할 수는 없다. 일반적으로, 실물의 외관을 찍은(혹은 측정한) 화상, 판정결과 및 배치도를 동일화면으로 표시하여 비교할 수 있도록 하고 있다. 지금까지의 형상검사장치 혹은 인쇄땜납 검사장치에 있어서는, 표시화면의 레이아웃은 고정적인 것이 많았다.

상기로부터, 오판단 등의 해석에 있어서는, 크기가 유한한 표시화면을, 효율적으로 또한 관찰하기 쉬운 표시형태로 하는 것이 바람직하다. 그런데, 상기 오판단이 발생하기 쉬운 부분은, 기판의 곳곳에 산재하지만, 전부인 경우는 적다. 그렇게 생각하면, 기판의 전체의 설계도이기도 한 배치도를 기준으로 하여, 적어도 오판단이 발생한 부분의 부분적 화상과 그 부분의 판정결과가 표시되는 것이 바람직하다.

본 발명의 목적은, 미리 1개 또는 복수의 포맷 더구나 복수, 대표적으로는, 주요한 상이한 면적의 복수개 영역을 가진 포맷을 복수, 준비하고, 더욱 인쇄부분의 설계된 배치를 나타내는 배치도, 인쇄땜납이 된 기판의 외관을 나타내는 화상 및 검사결과중의 기판의 배치도를 최대한으로, 또한 빠지지 않고 표시할 수 있는 포맷 및 영역을 선택하여 할당함으로써, 용이하게 검사에 유효한 화면표시를 할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.

또한, 기판의 검사는, 많은 기판을 반송하면서 검사하는 검사라인에서 이루어진다. 그 때 검사자는, 라인을 흐르는 기판과 검사장치의 표시화면을 비교하고, 감시하면서 행하여지는 경우가 있다. 그 때문에, 검사라인의 위치, 기판의 설치방향, 흐름방향 등과 화면에 표시되는 화상의 위치, 방향을 맞추어야 하는 요구가 있다.

그리고, 더욱이 목적은, 상기와 같은 순서로 선택된 영역의 위치, 말하자면 영역의 레이아웃을 조작부로부터 변경할 수 있도록 하는 것으로, 검사라인 및 검사자에게 맞는 레이아웃화면으로 검사할 수 있도록 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 기재된 발명은, 검사대상인 기판의 납땜 부분을 포함하는 배치도를 기억하는 기판정보기억수단(5)과, 상기 프린트기판의 표면으로부터의 위치에 따른 빛의 강도를 수광하여 변위량을 측정하는 측정수단(2)과, 상기 측정수단의 측정치를 기초로 상기 프린트기판상의 형상을 나타내는 평가대상 데이터를 생성함과 동시에, 그 형상의 표면을 나타내는 외관화상 데이 터를 생성하는 화상데이터 생성수단(3)과, 상기 평가대상 데이터에 기초하여 양호불량을 판정하는 판정수단(4)과, 표시수단(8)과, 상기 표시수단에 크기가 다른 복수개 영역으로 분할하여 표시하기 위한 포맷을 기억하는 표시포맷기억수단(6)과, 상기 검사대상의 프린트기판의 배치도를 받아, 상기 배치도의 세로 또는 가로 중 어느 하나의 긴 쪽의 사이즈를 최대한으로 표시할 수 있고, 또한 배치도의 전부를 표시할 수 있는 영역 및 그 영역을 가진 포맷을 선택하여, 그 선택한 영역에 상기 최대한으로 표시하는 배율로 배치도를 할당함과 동시에, 상기 선택한 포맷의 나머지 하나의 영역에는 상기 외관화상 데이터를 할당하여, 할당된 포맷을 상기 표시수단으로 송부하는 할당수단(7)을 구비하였다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 포맷기억수단이 기억하는 포맷의 하나는, 각 포맷과 공통의 위치, 크기를 가진 공통의 영역과, 위치 및 크기가 다른 적어도 복수의 고유의 영역을 가지며,

상기 할당수단은, 상기 배치도 및 외관화상 데이터를 상기 고유의 영역 중의 어느 하나에 할당하고, 상기 판정수단이 출력하는 양호불량판정의 결과를 상기 공통의 영역으로 할당하는 구성으로 하였다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 할당수단은, 할당된 후에, 배치도를 포맷의 지정된 위치로 변경하는 지시를 받아, 그 상기 배치도를 지정된 위치에 우선적으로 변경하는 구성으로 하였다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1, 2 또는 3에 기재된 발명에 있어서, 상기 화상데이터 생성수단은, 상기 프린트기판상에서 원하는 방향에서 원하는 관찰의 범위를 나타내는 지정정보를 받아, 상기 측정치를 기초로 상기 지정된 방향에서 보이는 상기 범위의 외관화상 데이터를 생성하고,

상기 지정정보를 받아, 표시되는 상기 배치도에 상기 원하는 관찰범위를 시인할 수 있도록 표시하는 표시제어부를 구비하였다.

[실시예]

본 발명의 형태를 도 1∼도 5를 사용하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 인쇄땜납 검사장치의 구성을 나타내는 기능블록도이다. 도 2는, 표시의 포맷의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 3(A)는, 포맷의 식별명칭, 치수 등을 포함하는 리스트의 예를 나타내는 도면이다. 도 3(B)는, 검사대상인 기판(1)의 치수 및 표시항목의 치수의 예이다. 도 4는, 도 2와 다른 그 외의 포맷예를 나타내는 도면이다. 도 5는, 인쇄땜납 검사장치의 화면할당부(7c)의 동작을 중심으로 한 동작의 개략적인 흐름을 나타낸 도면이다.

도 1에 있어서, 측정수단(2)은, 예를 들면 레이저 변위계로서, 센서부(2a) 및 측정처리부(2b)로 이루어진다. 센서부(2a)는, 기판(1)에 대하여 주사하여 X축, Y축의 각 방향에, 레이저를 조사할 수 있는 레이저광원 및 기판(1)으로부터의 반사광을 수광하는 수광수단을 구비한다. 수광수단은, 땜납면으로부터는, 위치에 대응한 수광량(빛의 강도)을 얻는다. 그리고, 측정수단(2)은, 이 위치, 수광량을 기초로, 특히 인쇄땜납된 인쇄땜납 부분의 변위, 즉 높이(Z축방향)를 위치와 대응시켜 측정한다. 레이저 변위계로서의 상세한 동작설명은 생략하지만, 원리로서는, 동일출원인이 출원한 일본 특허공개공보 평성 3-291512호가 있다.

측정처리부(2b)는, 검사대상인 기판(1)을 설계하였을 때의 인쇄땜납 부분 혹은 레지스트부분 등의 배치를 포함하는 배치도가 후술하는 기판정보기억수단(5)에 기억되어 있기 때문에, 그것을 받아 배치도에 따라서 센서부(2a)에 대하여 주사측정을 하여, 상기 센서부(2a)가 인쇄땜납 부분의 위치에 대응하여, 검출한 상기의 변위량 및/또는 수광량(빛의 강도)을 측정데이터로서 출력하고 있다.

기판정보기억수단(5)은, 검사대상의 기판정보로서는 적어도 배치도와레퍼런스를 기억하고 있다. 이들은, 기판정보입력부(9a)로부터 미리 입력된다. 배치도는, 검사대상으로 하는 기판(1)의 설계되었을 때의 배치도로서, 예를 들면, 인쇄땜납 부분, 인쇄땜납이 되지 않은 레지스트부분 및 위치의 기준이 되는 인식 마크 등의 기판(1)상의 배치정보(도시하지 않음)를 기억하고 있다. 기판(1)은, 복수종류가 있으므로, 그것들을 특정할 수 있는 기판식별정보와, 세로, 폭의 치수가 기재된 리스트가 준비되어, 전원이 온일 때에 표시되어(라이브러리 표시화면: 도시하지 않음), 어느 하나의 기판(1)을 선택할 수 있도록 되어 있다.

또한, 기판(1)을 검사하여 양호불량판정을 하기 위한 레퍼런스를 데이터로 하여, 검사대상으로 하는 기판(1)에 대응시켜 기억하고 있다. 이들 레퍼런스는, 예를 들면 인쇄땜납 부분의 높이, 면적, 부피, 및 땜납의 결손 등의 각 항목을 판정하기 위해서, 각 기판(1)의 땜납 부분마다 준비되어 있다. 바꾸어 말하면 이들 레퍼런스는, 땜납 부분의 인쇄땜납을 양적(화상적)으로 인식하기 쉬운 정보로서, 양호불량판정의 기준이 되는 데이터이다.

화상데이터 생성수단(3)은, 측정데이터기억부(3a), 평가대상 데이터생성부 (3b), 및 외관화상 데이터생성부(3c)를 포함한다. 기억부(3a)는, 측정수단(2)이 측정한 기판(1)의 땜납 부분의 위치와 그 위치에 있어서의 수광량 혹은 변위량 등의 측정치를 받아, 소정의 파라미터를 역치로서 2치화하여 기억한다. 그리고, 평가대상 데이터생성부(3b)는, 그 측정데이터로부터 각 땜납 부분의 인쇄땜납량을 나타내는 평가대상 데이터로 가공처리한다. 평가대상 데이터로서는, 인쇄땜납 부분에서의 땜납량을 나타내는 요소가 되는 데이터로서, 상기 레퍼런스와 마찬가지로, 각각의 땜납 부분의 높이, 면적, 부피, 및 결손(존재해야 할 땜납량이 없는 상태의 검출) 등이 있다. 또, 기판(1)을 판정하기 위해서는 상기의 화상의 전부를 필요로 한다고는 할 수 없지만, 높이, 면적, 부피중의 적어도 어느 하나는 불가결하다. 판정에 있어서, 검사하고자 하는 기판(1)의 평가대상 데이터로서 무엇을 판정할 것인지, 혹은 어떤 데이터의 조합으로 판정할 것인지는, 기판(1)의 종류, 내용에 따라서 다른 경우가 있다.

평가대상 데이터생성부(3b)는, 상기 높이, 면적 등의 연산을 하였을 때의 수치데이터도 표시시키기 위해서 출력할 수가 있다.

여기서, 간단하게 상기 파라미터치를 언급해 둔다. 파라미터치는, 그것을 사용하여 2치화하여, 생성된 화상 데이터가 판정수단(4)으로 비교되어 양호불량이 판정되는 것이기 때문에, 검사에서는 레퍼런스와 마찬가지로, 중요한 요소이다. 즉, 파라미터치는, 측정데이터가, 예를 들면 인쇄땜납 부분인지의 여부, 혹은 레지스트부분인지의 여부 등을 구별(인식)하기 위한 역치, 혹은 잡음으로부터 구별하기 위한 조건, 혹은 감도조정의 조건 등을 포함한다. 이 파라미터치에 의해서, 오판단 이 발생하거나, 혹은 반대로 오판단을 방지하도록 조정할 수가 있다.

또한, 외관화상데이터 생성부(3c)은, 측정수단(2)이 출력하는 기판(1)에 있어서의 인쇄땜납 부분의 위치에 대응한 변위량 및 수광량 등의 측정데이터를 기초로, 인쇄땜납이 된 외관형상을 파악할 수 있는 화상을 표시하기 위한 외관화상 데이터를 생성하여 출력하고 있다. 예를 들면 입체적인 3D 화상 데이터라고 불리는 것이지만, 평면적인 데이터이더라도 좋다. 또한, 이 외관화상 데이터는, 반드시 평가대상 데이터를 생성한 것과 같은 측정데이터로부터 생성하지 않더라도, CCD 카메라 등으로 촬영한 데이터이더라도 좋다. 이 외관화상 데이터는, 오판단이 발생하고 있지 않은지의 여부를 관찰할 때, 혹은 발생한 부분을 조사할 때에, 인쇄땜납이 된 외관형상을 표시화면으로부터 파악하기 위해서 사용된다. 또한, 공정에서 부품이 탑재된 후에, 탑재를 확인하기 위해서 그 탑재부품을 확인·검사하기 위한 외관화상 데이터이더라도 좋다.

이 외관화상 데이터는, 기판(1)의 전체외관을 나타내는 것으로, 부분적으로 예를 들면, 오판단이 나올 것이 예상되는 인쇄땜납 부분 등을 나타낼 수도 있다. 또한, 외관을 관찰하고 싶은 시각적으로 인식 가능한 방향을 바꾸어 표시할 수 있도록 할 수도 있다. 예를 들면, 외관화상 데이터가 3D 화상 데이터인 경우는, 화상표시부분지정부(9b)에서 지정된 인쇄땜납 부분의 측정데이터를 기억부(3a)로부터 읽어 내어, 어떤 방향으로부터의 3차원좌표상에 3D 화상 데이터를 생성하고, 더욱 방향이 지정되면, 그 방향으로 3차원좌표를 회전시킴에 따라 3D 화상 데이터를 회전시킨다. 3D 화상 데이터의 작성과 그 표시에 대해서는, 일반적인 소프트가 보급 되고 있으며, 상세한 설명은 생략한다. 평면적인 2차원데이터의 경우는, 사시도의 시점을 바꾼다.

또, 도 1의 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 판정의 검사결과를 인쇄땜납 부분마다 출력할 수 있기 때문에, 판정이 불량이 된 인쇄땜납 부분의 위치정보를 기초로, 그 위치정보에 있어서의, 혹은 그 위치를 포함하는 소정 영역의 측정데이터를 기억부(3a)로부터 읽어 내어 그 부근의 외관화상 데이터만을 생성하도록 하여도 좋다.

판정수단(4)은, 상기 화상데이터 생성수단(3)이 출력하는 평가대상 데이터를 받아, 이것과 상기 기판정보기억수단(5)으로부터의 레퍼런스와 비교하여 각 땜납 부분의 양호불량을 판정한다.

각 땜납 부분마다의 판정결과, 및 그에 따른 수치데이터를 검사결과로서 출력한다.

표시포맷 기억수단(6)은, 표시수단(8)의 화면을 복수의 다른 크기의 영역으로 분할표시함으로써 한번에 복수종류의 데이터를 비교할 수 있게 표시하기 위한 포맷을, 복수 기억하고 있다. 포맷으로서는, 기판(1)의 크기에 대응하여 선택할 수 있도록, 혹은 상기한 바와 같이 검사라인과의 관계에서 보기 쉬운 화면 레이아웃을 선택할 수 있도록, 영역의 크기의 레이아웃을 바꾼 포맷이 복수 기억되어 있다. 도 2에 4개의 영역을 가진 3개의 포맷예를 나타낸, 안, 바깥쪽의 영역은, 각 포맷공통의 영역으로서, 그 중의 L, M, N, P는, 각각은, 고정의 양호불량의 판정결과를 표시하는 표시란, 혹은 조작수단(9)으로 커서를 대어 클릭하면(확정되면), 소 정의 기능을 발휘하는 소프트 키(조작키) 등이다. Disp1, Disp2, Disp3가, 각 포맷마다 다른 고유의 영역의 조합을 나타내고 있다. 도 3(A)가 도 2의 각 포맷에 관한 각 고유의 영역의 치수 등을 기재한 리스트이다. 도 4에 포맷의 다른 일례를 나타낸다. 상하에 공통의 영역을 가지며, 상단의 영역에는, 인쇄땜납의 양호불량판정결과(예컨대, NG, OK 등)를 표시하고, 하단의 영역에 조작 패널과 같은 조작에서 필요한 조작키가 배치되며, 고유의 영역은, 3분할되어, 배치도, 외관화상(데이터) 및 수치데이터가 할당되어 있는 예이다.

할당수단(7)은, 포맷선택부(7a), 배율결정부(7b) 및 화면할당부(7c)로 구성된다. 포맷선택부(7a)는, 조작수단(9)으로 지정된 검사대상기판(1)의 식별명칭을 기초로 기판정보기억수단(5)으로부터 대상기판(1)의 배치도 및 치수(세로 Hx, 폭 Wx)를 읽어 낸다. 그 배치도의 치수를 나타낸 예가 도 3(B)이다. 더욱 도 3(B)에는, 외관화상의 크기, 검사결과의 표시크기의 치수가 표시되고, 더욱 화면의 고유의 영역에서의 우선위치를 나타낸 정보는, 영역을 결정할 때의 우선순위를 기재하고 있는 것으로, 이 예에서는, 배치도, 외관화상, 수치데이터의 순서로 정하도록 지정되어 있다. 우선위치는, 영역이 동일치수이면, 이 우선위치에 있지만 영역을 우선하여 결정하기 위한 정보이다.

다음에, 포맷선택부(7a) 및 배율결정부(7b)는, 그 치수의 세로 Hx와 폭 Wx를 비교하여 큰 쪽을 결정한다. 여기서, 설명상, 가령 세로 Hx가 크다고 한다. 그리고 표시포맷기억수단(6)으로부터 각 포맷식별명칭, 그들 각 영역식별명칭, 및 각 영역의 세로 H와 폭 W를 읽어 낸다(도 3(A)를 참조). 그리고, (a)각 영역의 세로 의 치수가 최대의 영역(세로최대영역이라고 한다)을 선택한다. (b)배율 M= 세로최대영역/세로 Hx를 구하고, 또, Mㅧ폭 Wx를 구한다. 그리고, 세로최대영역의 폭 W가 Mㅧ Wx보다 큰지의 여부를 확인한다. (c)크면 그것을 배치도 할당영역으로 결정하고, 또한 그 결정된 영역을 가진 포맷을 사용하는 포맷으로서 선택한다.

상기 (b)의 판단의 결과적으로, 세로최대영역의 폭 W가 Mㅧ Wx보다 작은 경우, 즉, (c)의 결정을 얻을 수 없었던 경우(알기 쉽게 말하면, 세로가 들어가고 가로가 들어가지 않는 경우)는, 세로의 길이가 2번째의 세로영역에 대하여 상기 (a)∼(c)를 행하고, 그래도 결정할 수 없는 경우는, 더욱, 마찬가지로 (a)∼(c)를 반복하여, 영역식별명칭과 그것을 가진 포맷식별명칭을 결정하여, 선택한다. 세로 Hx보다 폭 Wx가 큰 경우에도 상기 설명의 세로와 폭을 반대로 바꾸어 읽으면, 같다.

또, 포맷선택부(7a) 및 배율결정부(7b)는, 배치도의 표시영역을 결정, 선택하는 데 있어서, 하나의 포맷중에 동일한 세로 길이의 영역이 있는 경우는, 도 3(B)의 우선위치를 참조하여 정한다. 도 3(B)에서는, 왼쪽 위의 위치에 있는 영역이 우선적으로 선택된다. 그리고, 화면할당부(7c)는, 선택된 포맷식별명칭 포맷의, 선택한 영역명칭의 영역에 검사대상의 배치도를 배율 M에서 할당한다.

다음에, 포맷선택부(7a) 및 배율결정부(7b)는, 우선순위(도 3(B))에 따라, 외관화상, 수치데이터의 표시영역을 결정한다. 그리고 화면할당부(7c)에서 각 데이터를 각 영역에 할당한다. 예를 들면, 도 2에서, 가령, Hx>Wx, 포맷 Disp1, 영역(1a)을 선택한 경우, (가) 포맷 Disp 1의 영역(1a)에 배율 M에서 배치도를 화면할당부(7c)에서 할당하고, (나) 도 3(B)으로부터, 영역(1b)의 치수와 외관화상의 치수로부터, W1b/3DWs, H1b/3DHs의 각 비(比)중 1에서부터 어긋남이 큰 비를 배율 Mb로 결정한다. 그리고 화면할당부(7c)에서, 외관화상 데이터에 기초한 외관화상을, 그 배율 Mb에서 영역(1b)에 할당한다. (다)마찬가지로, W1c/IWs, H1c/IHs의 각 비 중에서 어긋남이 큰 비를 배율 Mc를 정한다. 그리고, 화면할당부(7c)는, 수치데이터를, 그 배율 Mc에서 영역(1c)에 할당한다. 또, 도 3(B)의 각 치수는, 기판(1)마다 절대치로서 가지더라도 좋고, 기준화된 값으로서 1종류만 가지고 있어, 실제의 각 데이터가 미리 기준치가 되도록 설정되어 있더라도 좋다. 후자쪽이, 후속 처리가 편하다.

또한, 포맷선택부(7a) 및 배율결정부(7b)는, 외관화상, 수치데이터의 표시영역을 결정, 선택하는 데에 있어서, 각각 1개의 포맷중에 동일한 세로의 길이의 영역이 있는 경우는, 도 3(B)의 우선위치를 참조하여 정한다.

다음에, 화면할당부(7c)는, 상기한 바와 같이 포맷선택부(7a) 및 배율결정부(7b)가, 결정한 포맷의 영역에 배치도, 외관화상 데이터 및 수치데이터를 할당하지만, 그 후에, 레이아웃변경지시부(9c)로부터의 지시가 있으면, 그 지시에 의해 동일 포맷내의 레이아웃을 변경한다. 예를 들면, 도 2의 영역(1a)에 할당된 배치도를 오른쪽으로 배치하라는 지시가 레이아웃변경지시부(9c)로부터 있는 경우는, 그 지시와 같이 변경함과 동시에, 영역(1b)을 왼쪽 위, 영역(1c)을 왼쪽 아래로 위치를 변경한다.

상기, 좌우의 영역을 변경하는 것과 같은 레이아웃변경 대신에, 표시포맷기억수단(6)이, 미리, 각 영역의 크기가 같고 영역의 위치만 다른 포맷을 기억해 두 고, 좌우의 변경지시, 혹은 상하의 변경지시, 혹은 그들 조합에 의한 변경지시가 있는 경우, 상기 위치만 다른 포맷으로 바꿈에 따라, 레이아웃을 변경시키도록 하더라도 좋다. 이 경우는, 레이아웃변경지시부(9c)가, 도 3(B)의 배치도의 우선위치를 변경함으로써, 포맷선택부(7a)가 변경한다.

또, 상기, 좌우의 영역을 변경하는 경우에는, 배율을 바꾸지 않았지만, 영역은 그대로 두고, 표시내용을 변경할 수도 있다. 예를 들면, 도 4에 있어서, 현재의 왼쪽의 외관화상과 오른쪽 위의 배치도를 (영역의 크기를 바꾸지 않고, 그들 내용을) 왼쪽으로 배치도, 오른쪽 위에 외관화상으로 할 수도 있다. 이 경우에는, 할당수단(7)이 배율을 다시 계산하여 할당 내용을 바꾼다.

또한, 할당수단(7)은, 판정수단(4)으로부터의 검사결과, 그 중에서도 기판(1)의 양호불량판정결과는, 공통의 영역으로 할당한다. 수치데이터, 예를 들면, 평가대상 데이터의 수치데이터(예를 들면, 인쇄땜납 부분의 땜납 면적 등), 혹은 판정결과에 관한 수치데이터(예를 들면, 지금까지 검사한 기판(1)의 양호불량의 통계데이터) 등은, 도 4와 같이 고유의 영역의 하나에 할당한다. 또, 수치데이터를 고유의 영역에 배율을 결정하여 표시하는 것을 설명해 왔지만, 수치데이터의 영역을 각 포맷으로 같은 크기의 영역으로 하여도 좋고, 공통의 영역에 넣어도 좋다. 그 이유는, 수치데이터는, 배치도, 외관화상과 같이, 화상이 아니기 때문에, 표시상의 보기의 용이함의 문제가 적기 때문이다.

표시수단(8)은, 표시제어부를 가지며, 상기 할당수단(7)으로 배치도, 외관화상 데이터, 및 수치데이터를 할당된 포맷을 표시한다. 표시제어부는, 기타, 조작수 단(9)과 연휴하여 마크표시를 표시하여, 그 제어를 하고, 조작자가 화면을 보면서 조작할 수 있도록 한다.

조작수단(9)은, 기판정보입력부(9a), 화상표시부분지정부(9b), 레이아웃변경지시부(9c), 기타, 전원스위치 등(도시하지 않음)을 실행하는 조작키 및 그 키의 처리수단을 가진다. 그 일부의 키는, 도 4의 공통의 영역에 표시된다.

기판정보입력부(9a)는, 검사대상이 되는 기판(1)의 배치도 및 그에 관한 치수정보 등, 레퍼런스, 포맷을 미리 입력하기 위한 수단으로, 표시수단(8)으로 라이브러리편집화면을 내어, 조작할 수 있다. 화상표시부분지정부(9b)는, 배치도의 위치를 지정하고, 그 위치에 있어서의 외관화상 데이터를 출력시키기 위한 것으로, 외관화상 데이터의 배율도 설정한다. 배율은 배율결정부(7b)로 설정하며, 상기 (나)의 배율 Md를 변경하더라도 좋고, 기판정보기억수단(5)으로 설정하여, 도 3(B)의 기준치를 원하는 배율을 가한 것이어도 좋다. 레이아웃변경지시부(9c)는, 포맷의 영역의 크기를 변경하지 않고, 예를 들면, 배치도의 위치를 오른쪽, 왼쪽, 위, 아래 등을 지정하여 변경하는(레이아웃변경)하는 것이다.

이하, 상기 설명의 구성에 의한 일련의 동작을 도 5를 사용하여 설명한다. 일부, 상기 설명과 겹치는 부분이 있다.

미리, 조작수단(9)의 기판정보입력부(9a)로부터 배치도나 레퍼런스가 입력되어 있는 것으로 한다.

스텝 S1, S2 : 전원스위치를 온으로 한다. 기판정보기억수단(5)으로부터 기판 리스트를 읽어 내어 표시(라이브러리 표시화면)한다.

스텝 S3 : 조작자가 조작수단(9)으로 마크를 리스트의 검사를 희망하는 기판식별명칭으로 설정하고, 클릭(확정)하여, 검사대상의 기판(1)을 선택한다.

스텝 S4 : 기판정보기억수단(5)으로부터 검사대상의 기판배치도, 기판(1)의 치수정보(도 3(B)), 및 레퍼런스를 읽어 낸다.

스텝 S5 : 검사대상의 기판(1)에 대하여, 측정수단(2)에 의한 측정, 화상데이터 생성수단(3)에 의한 평가대상 데이터의 생성, 외관화상 데이터의 생성, 및 판정수단에 의한 판정, 그 판정결과, 수치데이터의 생성이 시작된다.

스텝 S6 : 배치도를 최대의 영역으로 표시하기 위해서, n=1(크기가 1번)로 한다.

스텝 S7 : 배치도의 세로 Hx가 폭 Wx보다 큰 지의 여부를 비교판단한다.

스텝 S8(스텝 S7-Yes) : 표시포맷기억수단(6)의 포맷의 치수를 포함하는 리스트(도 3(A))로부터 n번째(여기서는, 1번)의 세로의 길이를 가진 영역 및 그 영역을 가진 포맷을 선택한다.

스텝 S9 : 배율 M= 선택한 영역의 세로/기판(1)의 세로 Hx를 계산

스텝 S10 : 선택한 영역의 폭에 배치도가 들어가는 지의 여부를 검토한다. 즉, 선택한 영역의 폭이, 배율 Mㅧ 기판(1)의 폭 Wx보다 큰 지의 여부를 판단한다.

스텝 S11 : 스텝 S10에서, No 라고 판정된 경우, 즉, 배치도의 폭이 선택한 영역에 들어가지 않는 경우는, n=n+1=2로 하여, 세로의 길이가 2번째의 영역을 찾아, 스텝 S8, 스텝 S9, 스텝 S10을 행한다. 이하에 마찬가지로 하여 조건이 만족하는 영역을 선택한다. 이와 같이 함으로써, 배치도를 빠지지 않고, 최대의 영역 으로 표시할 수 있다.

스텝 S12, 스텝 S13, 스텝 S14, 스텝 S15 : 이들 스텝을 포함하는 루틴은, 스텝 S7에서 No라고 판정된 경우에, 배치도의 폭이 최대의 영역에 들어가도록 결정되는 것이다.

스텝 S16 : 할당수단(7)으로 설명한 동작과 같이, 선택한 포맷의 영역에 배치도를 배율 M으로 할당한다. 다음에 우선순위, 또한 우선위치(도 3(B))에 따라 할당한다. 가령, Hx> Wx, 포맷 Disp 1, 영역(1a)을 선택한 경우, (가)포맷 Disp 1의 영역(1a)에 배율 M으로 배치도를 할당하고, (나)도 3(B)로부터, 외관화상을 영역(1b)의 치수와 외관화상의 치수로부터, W1b/3DWs, H1b/3DHs의 각 비중 1에서부터 어긋남이 큰 비로 배율을 정하고, 그 배율로 영역(1b)에 할당한다.

(다) 마찬가지로, W1c/IWs, H1c/IHs의 각 비중 1에서부터 어긋남이 큰 비로 배율을 정하고, 그 배율로 수치 데이터를 영역(1c)에 할당한다.

포맷의 공통의 영역에는, 양호불량판정의 결과를 할당한다.

스텝 S17 : 조작수단(9)으로부터 영역교체요구가 있는지의 여부를 판단한다.

스텝 S18 : 예를 들면, 배치도를 왼쪽 위로부터 오른쪽 위로 하는 영역교체 요구가 있는 경우는, 레이아웃변경지시부(9c)가 레이아웃을 변경한다.

스텝 S19 : 영역변경요구가 없으면, 먼저 선택된 영역에 각 데이터를 표시하고, 레이아웃변경이 있는 경우는, 변경된 영역에 각 데이터를 표시한다.

이상의 구성, 동작에 의해, 배치도를 기준으로 하여 최대의 영역 및 그 영역을 가진 포맷을 선택하여 표시할 수 있다. 또한, 검사라인과의 관계에서, 포맷의 영역을 레이아웃 변경할 수가 있다.

청구항 1에 기재된 발명은, 예를 들면, 상이한 면적의 3개의 영역을 가진 포맷을 준비하고, 더욱 인쇄부분의 배치를 나타내는 설계된 배치도, 및 인쇄땜납이 된 기판의 외관을 나타내는 화상 및 기타, 평가대상 데이터등 중의 기판의 배치도를 최대한으로, 또한 빠지지 않고 표시할 수 있는 포맷 및 영역을 선택하여 할당하는 구성으로 하였기 때문에, 기판의 배치도는, 포맷자원중에서, 배치도의 일부도 빠지지 않고, 또한 최대한 유효한 영역을 이용할 수 있다. 따라서 배치도를 중심으로 한 검사에 유효한 화면표시를 할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은, 예를 들면, 각 포맷공통의 영역에 판정결과를 표시하여, 각 포맷고유의 영역에, 예를 들어, 상이한 면적의 3개의 고유의 영역을 형성하여, 그 고유의 영역의 하나에서 기판의 배치도를 최대한으로, 또한 빠지지 않고 표시할 수 있는 구성으로 하였기 때문에, 판정결과를 인식하기 쉽게 하여, 그 판정의 원인을 찾는 데에 있어서, 배치도를 중심으로 행할 수 있는 화면을 제공할 수 있다.

청구항 3의 발명은, 레이아웃을 변경할 수 있는 구성으로 하였기 때문에, 상기 청구항 1, 2의 특징을 살린 채로, 검사라인 및 검사자에게 적합한 레이아웃화면으로 검사할 수 있다.

청구항 4의 발명은, 청구항 1의 특징인 배치도를 최대한으로 빠지지 않고 표시해 두어, 배치도의 위치를 특정하여 그 위치에 있어서의 외관화상 데이터를 표시 할 수 있도록 하였기 때문에, 예를 들면, 어딘가에서 오판단이 발생하거나, 혹은 이상이 발견되더라도, 거기의 외관화상을 추출, 관측하기 쉽다.

Claims (6)

1. 검사대상인 프린트기판표면에 인쇄되는 납땜 부분을 포함하는 상기 프린트기판표면의 배치도와 상기 프린트기판표면의 상기 배치도의 각 위치에 대한 높이의 변위량을 포함하는 형상을 나타내는 판정 레퍼런스를 기억하는 기판정보기억수단(5)과,

   검사대상의 상기 프린트기판의 반사광으로부터 상기 프린트기판표면의 상기 배치도에 각 위치에 대한 높이의 변위량을 측정하여, 그 변위량을 측정데이터로서 출력하는 측정수단(2)과,

   상기 측정데이터를 기초로 인쇄된 땜납의 상기 형상에 포함되는 복수종류의 평가대상 데이터를 생성함과 동시에, 그 형상의 표면을 나타내는 외관화상 데이터를 생성하는 화상데이터 생성수단(3)과,

   상기 기판정보기억수단으로부터의 판정레퍼런스를 기초로 상기 평가대상 데이터의 양호불량을 판정하는 판정수단(4)을 구비한 인쇄땜납 검사장치에 있어서,

   표시수단(8)과,

   상기 표시수단에 크기가 다른 복수개 영역으로 분할하여 표시하기 위한 포맷을 복수 기억하는 표시포맷기억수단(6)과,

   상기 검사대상의 프린트기판의 배치도를 받아, 상기 배치도의 세로 또는 가로 중 어느 긴 쪽의 사이즈를 최대한으로 표시할 수 있고, 또한 배치도의 전부를 표시할 수 있는 영역 및 그 영역을 가진 포맷을 상기 표시포맷기억수단으로부터 선 택하여, 그 선택한 포맷의 하나의 영역에 상기 최대한으로 표시하는 배율로 배치도를 할당함과 동시에, 상기 선택한 포맷의 나머지 영역중의 하나의 영역에는 상기 외관화상 데이터를 할당하여, 할당된 포맷을 상기 표시수단으로 송부하는 할당수단(7)을 구비한 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 포맷기억수단이 기억하는 포맷의 하나는, 각 포맷과 공통의 위치, 크기를 가진 공통의 영역과, 위치 및 크기가 다른 복수의 고유의 영역을 가지며,

   상기 할당수단은, 상기 배치도 및 외관화상 데이터를 상기 고유의 영역중의 어느 하나에 할당하고, 상기 판정수단이 출력하는 양호불량판정의 결과를 상기 공통의 영역에 할당하는 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 할당수단은, 상기 할당수단으로 할당된 후에, 배치도를 포맷의 지정된 위치에 변경하는 지시를 받아, 그 상기 배치도를 지정된 위치에 우선적으로 변경하는 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.
4. 제 1, 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 화상데이터 생성수단은, 상기 배치도에서의 원하는 지정방향으로부터 원하는 관찰범위를 나타내는 지정정보를 받아, 상기 측정치를 기초로 상기 지정방법으로부터 보이는 상기 관찰범위의 외관화상 데이터를 생성하고,

   상기 지정정보를 받아, 표시되는 상기 배치도에 상기 원하는 관찰범위를 시각적으로 인식가능하게 표시하는 표시제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 지정정보는, 위치정보를 포함하여, 상기 판정수단으로 불량이라고 판정된 위치를 특정하고, 불량이라고 판정된 위치가 복수 있는 경우는, 차례로 설정되는 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 지정정보는, 위치정보를 포함하여, 임의로 설정할 수 있는 것을 특징으로 하는 프린트기판검사장치.

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