KR20060044902A - 노광장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 복수의 화소를 가지며 각 화소마다 광원으로부터 조사된 광을 변조하는 변조수단을 갖고,화상 데이터에 기초하여 상기 변조수단의 복수의 화소를 각 화소마다 변조함으로써 노광면 상에 묘화상을 노광하는 노광장치에 있어서,상기 변조수단 중 피측정화소로서 소정의 복수 화소로부터 노광면 상에 조사된 각 광빔의 노광점 위치정보를 검출하는 빔위치 검출수단; 및상기 변조수단에 있어서의 상기 피측정화소의 위치정보와, 상기 빔위치 검출수단을 이용하여 검출된 각 피측정화소로부터 각각 노광면에 조사된 광빔의 각 노광점 위치정보로부터, 이들의 상대적인 위치 어긋남을 산출하는 위치 어긋남 산출수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제1항에 있어서, 상기 위치 어긋남 산출수단으로부터 산출된 상대적인 위치 어긋남으로부터 묘화상의 왜곡량을 산출하는 왜곡량 산출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제2항에 있어서, 상기 왜곡량 산출수단에 의해 산출된 묘화상의 왜곡량에 기초하여, 화상 데이터를 보정하는 화상 데이터 보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제1항에 있어서, 상기 빔위치 검출수단이, 노광면에 배치되는 감광재료를 적재하여 주사방향으로 이동하는 스테이지의 단부에 설치된 슬릿판과, 상기 슬릿판에 형성된 소정 길이를 갖는 직선상의 제 1 슬릿부와 소정 길이를 갖는 직선상의 제 2 슬릿부를 서로가 평행하지 않게 배치한 형상의 검출용 슬릿과, 상기 검출용 슬릿을 통과한 광빔을 수광하는 광검지수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 복수의 화소를 가지며 각 화소마다 광원으로부터 조사된 광을 변조하는 변조수단을 갖고,화상 데이터에 기초하여 상기 변조수단의 복수의 화소를 각 화소마다 변조함으로써 노광면 상에 묘화상을 노광하는 노광장치에 있어서,상기 변조수단 중 피측정화소로서 소정의 복수 화소로부터 노광면 상에 조사된 각 광빔의 노광점 위치정보를 검출하는 빔위치 검출수단을 구비하고,상기 빔위치 검출수단은 상기 노광헤드에 대해서 주사방향으로 배열되어 있지 않은 2점이상의 측정개소에서 빔의 노광점 위치를 측정하고,상기 노광점 위치로부터 상기 빔위치 검출수단의 주사방향에 대한 각도를 검출하는 각도검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제5항에 있어서, 상기 각도검출수단에 의해 검출된 상기 빔위치 검출수단의 주사방향에 대한 각도에 기초하여, 노광면 상에서 노광되는 화상 데이터를 보정하 는 화상 데이터 보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 빔위치 검출수단의 주사방향에 대한 각도를 기계적으로 조정하는 각도조정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 빔위치 검출수단은 슬릿판과 광검지수단으로 이루어지고, 상기 각도조정수단은 상기 슬릿판을 주사방향에 대해서 회전이동시키는 액추에이터인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제4항에 있어서, 상기 슬릿판을 유리판으로 형성하고, 상기 검출용 슬릿을, 상기 유리판 상에 차광막을 형성하고, 그 차광막에 있어서의 광빔을 통과시키는 부분의 상기 차광막을 제거하여 형성한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제9항에 있어서, 상기 차광막이 크롬막을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제10항에 있어서, 상기 유리판이 석영유리판인 것을 특징으로 하는 노광장치.
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