JP5515119B2 - マイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置 - Google Patents
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Description
2:マイクロレンズアレイ
2a:マイクロレンズ
2−1〜2−4:(構成)マイクロレンズアレイ
3:マスク
3a:透明基板
3b:Cr膜
4:露光光源
5:スキャン方向
6:支持基板
11:開口絞り
12:6角視野絞り
12a:矩形部分
12b、12c:三角形部分
14(14a、14b、14c),15(15a、15b、15c):圧電素子
17:検出領域
20:アクチュエータ
21:光学系
22:ダイクロイックミラー
23:ラインCCDカメラ
24:画像処理部
25:制御部
Claims (4)
- 露光すべき基板の上方に配置され、マイクロレンズが2次元的に配置された複数個のマイクロレンズアレイと、このマイクロレンズアレイを傾斜可能に支持する支持基板と、前記各マイクロレンズアレイを前記支持基板に対して傾動駆動する駆動部材と、このマイクロレンズアレイの上方に配置され所定の露光パターンが形成されたマスクと、このマスクに対して露光光を照射する露光光源と、前記マイクロレンズアレイと前記基板及び前記マスクとを相対的に一方向に移動させる移動装置と、前記基板の画像を検出する画像検出部と、この画像の検出信号を基に画像処理して基板上に形成されている基準パターンを得る画像処理部と、この基準パターンと露光しようとする前記マスクの露光パターンとの間のずれを演算して前記基準パターンと前記露光パターンとのずれを解消するように前記駆動部材を介して前記マイクロレンズアレイを傾動させる制御部と、を有し、前記複数個のマイクロレンズアレイを基板の面に平行の方向から傾斜させることにより、基板上の露光位置を調整して、露光パターンを前記基準パターンに一致させることを特徴とするマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。
- 前記画像検出部は、画像を線状に検出するラインセンサであり、このラインセンサはその検出領域が前記一方向に対して鋭角をなすように傾斜して配置されており、1本のラインセンサで複数列のマイクロレンズ内の画像を検出することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。
- 前記画像検出部は、画像を線状に検出する複数個のラインセンサであり、この複数個のラインセンサはその検出領域が前記一方向に対して直交する方向に配置されており、複数個のラインセンサの全体で複数列のマイクロレンズ内の画像を検出することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。
- 前記マイクロレンズは、前記マスクの露光パターンの正立等倍像を前記基板上に投影することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。
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