KR20060025571A - 자동화된 극저온 펌프의 통합된 안전 세정 - Google Patents

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Abstract

전자 제어기가 극저온 펌프에 합체되고, 극저온 펌프 세정을 위한 오프라인 용액을 제공하고, 비상 조건동안에 배출 라인을 제공한다. 전자 제어기는 극저온 펌프에 연결된 세정, 배출 세정 및 게이트 밸브의 개폐를 책임진다. 전자 제어기는, 비상 조건 동안에는, 이들 밸브를 제어하려는 다른 어떤 시스템으로부터의 어떤 시도라도 미리 방지한다. 비상 조건은, 극저온 펌프에서 동력 차단, 적절하게 작동하지 않는 온도인, 극저온 펌프 또는 온도 감지 다이오드에서의 위험한 온도가 될 수 있다. 비상 조건이 결정되는 때에, 배출 세정 밸브는 개방되고, 게이트 밸브는 밀폐되는 반면에, 세정 밸브의 개방이 안전 기간 동안 딜래이된다. 안전 기간이 경과된 때에 아직 비상 조건이 존재하는 경우에는, 세정 밸브가 개방되도록 된다. 비상-안전 세정 밸브 해제 및 타임 딜래이 기구가 세정 밸브가 기간 경과후에 개방되는 것을 보장하기 위해 사용될 수 있다. 전자화학적 캐패시터가, 정상적으로 개방된 세정 밸브를 안전 기간 동안 밀폐상태를 유지하기 위하여 에너지의 일정양을 저장하는데 사용된다. 이 에너지가 방출되고 비상 조건이 아직 존재하는 때에는, 세정 밸브를 자동적으로 개방된다.

Description

자동화된 극저온 펌프의 통합된 안전 세정 {INTEGRATION OF AUTOMATED CRYOPUMP SAFETY PURGE}
이 출원은 2003년, 6월 27일 출원된 미합중국 특허출원 제 10/608,779 호와, 2003년, 6월 27일 출원된 미합중국 특허출원 제 10/608,851호 및 2003년 6월 27일 출원된 미합중국 특허출원 제 10/608,770 호의 계속출원이다.
전술한 출원들의 전체 기술은 이곳에 참조 되었다.
이온 주입 동안 가스 방출물의 유독성 및 반응성은 안전성 및 취급의 문제를 발생시킨다. 각 장비는 연속 또는 단속 모드에서 휘발성 및 유독성 가스의 상이한 형태 및 농축물을 배출한다. 예를들면, 수소는 이온 주입의 부산물이 될 수 있다. 수소 혼자만으로는 유독하지 않지만, 연소의 잠재적 위험이 존재한다. 여러 요소들이 연소 발생을 일으킬 수 있다. 그러한 요소들은 산화제와, 압력과 온도의 특정한 조합과, 수소와 산소의 일정한 비율로의 조합 또는 연소 쏘스의 존재를 포함한다.
극저온 진공 펌프(극저온 펌프)는 공정 챔버에서 가스를 소개시키는데 종종 사용되는 캡쳐 펌프(capture pump) 형태인데, 이는 그들이 보다 높은 수소 펌핑 속도를 허용하기 때문이다. 수소의 휘발성으로 인해서, 이온 주입의 실시에서 극저온프의 정상 사용 동안과 유지보수 동안에 안전 조건의 유지를 보장하기 위해서 큰 주위를 해야만 한다. 예를들면, 펌핑 설비가 극저온에 유지되는 한, 극저온 펌핑된 가스가 펌프내에 유지된다. 극저온 펌프가 따뜻해질 때에, 이들 가스는 방출된다. 이 공정 동안에 펌프에서의 가스 혼합물이 연소될 수 있는 가능성이 있다. 수소가 펌프에서 배출될 때에, 극저온 펌프에 연결된 배출 라인/매니폴드 시스템에서 산소와 잠재적 폭발성 혼합물을 또한 야기시킬 수 있다.
극저온 펌프에서 안전 기능 관리를 위한 일반적인 구성은 분산된 시스템을 포함한다. 일반적인 구성에서, 극저온 펌프는 네트워크화되고 네트워크 단자로부터 관리되는데, 이것은 호스트 제어 시스템에 표준화된 통신 링크를 제공한다. 극저온 펌프의 국지적 전자부에 대한 제어는 호스트 제어 시스템과 완전히 합체된다. 이런 방법으로, 호스트 제어 시스템은 극저온 펌프의 안전 기능을 제어하고, 위험한 상황에 반응하여 극저온 펌프를 재현하고 세정(purge)을 할 수 있다. 이러한 설비는 펌프를 안전 모드로 가져가서 연소 위험을 감소시킨다. 펌프를 세정하는 것은, 수소가 펌프로부터 유리되고 배출 시스템내로 분출됨에 따라서, 펌프에 존재하는 수소 가스를 희석시킬 수 있다.
전술된 바와 같은 구성은 통신 또는 장비 고장이 있을 때까지 잘 작동한다. 그러한 고장들은 호스트 제어 시스템이 극저온 펌프에 합체된 안전 설비를 효율적으로 관리하는 것을 방해한다. 예를들면, 동력이 정전되는 동안에, 극저온 펌프와 호스트 제어기 사이의 통신 링크에 문제가 있을 수 있다. 동력 정전 동안에 세정 밸브 개방의 고장은 펌프에 존재하는 어떤 수소 가스라도 연소 가능성에 직면하게 할 수 있다. 일반적으로, 이들 시스템은,펌프에서 일어날 수 있는 잠재적 유해상황에 대해 포괄적 안전 해법을 제공하지는 못한다.
또한, 극저온 펌프는 정상적으로 개방된 세정 밸브를 갖는데, 이것은 동력 손실후에 자동적으로 개방된다. 일반적으로, 세정 밸브는 사용자의 명령에 의해 한 터미날로부터 밀폐될 수 있고, 이것은 극저온 펌프의 작동 모드를 변화 시킨다. 세정 밸브는 또한 리셋 또는 오버라이드(override) 스위치 사용에 의해 밀폐될 수 있다. 따라서, 그러한 세정 밸브는, 예를들면, 수소 가스가 극저온 펌프내에 존재하고, 그것의 휘발성으로 인해 연소를 일으킬 수 있는 잠재적인 위험한 또는 비상의 조건 동안에 사용자에 의해 또는 호스트 제어기에 의해 밀폐될 수 있다.
본 발명의 양상은, 극저온 펌프의 비상 조건으로부터 야기되는 안전 유해성의 방지를 위한 포괄적인 비상-안전 설비를 제공한다. 비상 조건은 극저온 펌프에서의 동력 차단, 극저온 펌프에서 불안전한 온도 감지 다이오드, 또는 임계 온도 수준을 초과하는 극저온 펌프의 온도일 수 있다. 본 발명은 비상 조건 동안에 하나 또는 그 이상의 세정 밸브를 제어할 수 있고, 호스트 제어기와 같은 다른 시스템이 극저온 펌프에 합체된 국지적 전자부를 사용하여 극저온 펌프의 작동을 제어하려는 어떤 시도도 무시할 수 있다.
본 발명은 극저온 펌프 제어를 위한 시스템 및 방법을 포함한다. 극저온 펌프에서의 비상 조건이 결정될 수 있고, 세정 가스가 극저온 펌프내로 정향될 수 있다. 또한, 게이트 밸브가 밀폐상태를 유지할 수 있다. 극저온 펌프는 하나 또는 그 이상의 세정 밸브(극저온 밸브 또는 배출 세정 밸브)를 개방되도록 정향시킴으로써 세정될 수 있다. 예를들면, 극저온 펌프는 세정 밸브를 개방시키는 것에 의해 세정될 수 있다. 배출 시스템은 배출 세정 밸브를 개방시킴으로써 세정될 수 있다. 세정 밸브 및 배출 세정 밸브는 정상적으로 개방된 밸브이고, 그들은 해제에 따라 개장 상태를 유지한다. 세정 밸브 및 배출 세정 밸브는 주기적으로 개방 및 밀폐 상태일 수 있다. 극저온 펌프를 세정함으로써 펌프와 배출 라인에 존재하는 어떤 수소도 희석되고 연소 기회가 감소될 수 있다.
극저온 펌프에 연결된 전자 제어기가, 하나 또는 그 이상의 세정 밸브가 개방되도록 정향되는 안전 세정을 개시하는 것에 의해 비상 조건에 반응하는데 사용될 수 있다. 제어기는 안전 세정을 수행하는 동안에 어떤 다른 시스템도 무시할 수 있다. 세정 밸브는 제어기에 의해 자동적으로 제어되고, 인터로크를 활성화시킴으로써 개방 상태를 유지하고, 이것은 어떤 사용자 또는 호스트 제어기가 세정 밸브를 밀폐시키는 것을 방지한다.
안전 세정 동안에 세정 밸브를 해제함으로써, 세정 가스는 극저온 펌프와 배출 라인내로 공급된다. 세정 가스는 세정 밸브에서 극저온 펌프의 제 2 스테이지 배열부로 정향된다. 본 발명은, 다른 시스템으로부터의 어떤 명령도 무시하고, 안전 세정이 중단되는 것을 방지함으로써, 밸브가 충분한 시간동안 개방 상태를 유지하는 것을 보장한다. 극저온 펌프가 오프라인 경우에도 세정 밸브가 제어될 수 있는 것을 보장하기 위해서 국지적 전자부가 펌프에 연결될 수 있다. 안전 세정이 전체 재현 공정의 개시 없이도 완성될 수 있다. 안전 세정이 완성된 후에, 사용자 또는 호스트 시스템은 전체 재현 공정이 필요한지 여부를 결정한다. 그러나, 펌프의 게이드 밸브가 개방된 동안에는 재현의 발생이 방지된다.
시간 딜래이 설비가 포함된다. 이 설비는 소정 시간 동안 세정 밸브의 개방을 딜래이시킨다. 특히, 배출 세정 밸브가 개방되고, 반면에 극저온 세정 밸브가 밀폐 상태를 유지한다. 시간 딜래이 기간이 경과되기 전에 비상 조건이 소멸하지 않는 경우에, 극저온 세정 밸브는 자동적으로 개방되고, 극저온 펌프는 세정 가스로 세정된다.
극저온 펌프에 합체되어 연결된 전자 제어기는, 동력 차단에 반응하여 안전 세정을 개시함으로써 비상 조건에 반응하는데 사용된다. 극저온 펌프에 연결된 국지적 전자부를 사용함으로써, 세정 밸브는 소정 시간 동안 밀폐 상태를 유지한다. 소정 시간의 경과후에, 세정 밸브는 개방되어 세정 가스를 극저온 펌프내로 방출한다. 연속 동력 공급(UPS) 설비가 제어기에 합체되어서, 제어기가 자동적으로 세정 밸브를 밀폐 상태로 유지하나, 안전 시간의 경과후에는 세정 밸브를 개방시킨다. 펌프에 연결된 국지적 전자부를 사용함으로써, 극저온 펌프가 오프라인인 경우에도, 하나 또는 그 이상의 세정 밸브가 제어될 수 있다. 예를들면, 제어기는 배출 세정 밸브가 개방되도록 하고, 세정 밸브의 밀폐 상태를 유지시킨다.
합체된 제어기는 호스트 시스템과 독립적으로 안전 세정을 개시한다. 제어기는 안전 세정이 완성될 때까지, 시스템으로부터 어떤 입력도 무시한다. 세정 밸브는 제어기에 의해 자동적으로 제어되고, 인터로크부를 활성화시킴으로써 개방 상태를 유지하고, 이것은 어떤 사용자 또는 호스트 제어기가 세정 밸브를 밀폐시키는 것을 방지한다.
본 발명은 극저온 펌프의 온도가 작동 셋팅 점 아래인지 여부를 결정하기 위해 극저온 펌프를 모니터한다. 예를들면, 극저온 펌프가 작동 셋팅 점 아래인 온ㄷ도까지 냉각되면, 정지 신호와 같은 식별기가 셋팅된다. 작동 셋팅 점은 18 K 이다.
식별기가 셋팅되고 온도가 웜업(warmup) 셋팅 점 위로 상승했다는 결정이 있는 때에는, 하나 또는 그 이상의 세정 밸브가 개방되도록 정향된다. 예를들면, 식별기가 셋팅되고 극저온 펌프가 웜업 셋팅 점을 초과하는 온도까지 따뜻해지는 경우에, 안전 세정이 세정 밸브 및/또는 배출 세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것에 의해 개시된다. 웜업 셋팅 점은 34 K 이다.
안전 세정은, 가장 적은 자원을 사용하는 반면에 가능한 가장 짧은 시간내에 위험 상황에서 펌프를 복구시킨다. 세정 가스는 극저온 펌프의 제 2 스테이지 배열부내로 직접 공급된다. 세정 밸브와 배출 세정 밸브는 주기적으로 개방 및 밀폐되어 세정 가스를 방출한다. 안전 세정은 전체 재현 공정의 개시 없이도 수행될 수 있다.
본 발명은 동력 차단에 반응하는 제어기를 포함한다. 적어도 하나의 캐패시터 셀이 제공된다. 적어도 하나의 캐패시터 셀에서 동력을 공급받는 딜래이부가 세정 밸브를 밀폐상태로 유지하도록 세정 밸브를 정향시킴으로써 동력 차단에 반응한다. 캐패시터 셀은 방출 시간내에 방출되는 양의 에너지를 저장한다. 방출 시간은 세정 밸브가 반드시 개방되어야하는 안전 시간이다. 딜래이부는 극저온 펌프에 연결된 세정 밸브를 제어하고, 방출 시간이 경과한 때에 세정 밸브를 해제한다. 셀에 저장된 에너지 양은 안전-비상 타이밍 기구로서 사용될 수 있다. 캐패시터 셀은 단지 세정 밸브를 2 분 동안 밀폐 상태로 유지하기에 족한 에너지를 갖는다. 셀에 저장된 에너지가 방출되는 때에, 세정 밸브는 자동적으로 개방된다. 캐패시터 셀은 전자화학적 캐패시터일 수 있다.
기구를 활성화 시키는 시스템 및 방법이 포함된다. 적어도 하나의 캐패시터에 방출 시간내에 방출되는 에너지 양이 저장된다. 방출 시간은 기구가 탈-활성화되어야하는 안전 시간이다. 저장된 에너지로, 시스템은 저장된 에너지로 기구를 활성화시킴으로써 동력 차단에 반응한다. 기구는 제 1 및 제 2 상태를 포함한다. 제 1 상태는 잠재적 위험 상황에 대해 탈-활성화 상태이다. 제 2 상태는 정상 작동에 대해 활성화 상태이다. 예를들면, 기구는 정상적으로 개방된 밸브인데, 제 1 상태는 정상적으로 개방된(동력이 없는), 그리고 제 2 상태는 밀폐(동력이 있는)되어 있는 상태이다.
본 발명의 다른 양상은 극저온 펌프에 연결된 온도 감지 다이오드와 같은 온도 센서를 모니터하기 위한 시스템과 방법을 포함한다. 온도 감지 센서의 하나 또는 그 이상이 적절하게 작동하지 않는 경우에, 세정 밸브는 세정 가스를 극저온 펌프내로 인가하기 위해 개방된다.
본 발명은 동력 차단 복구 시스템 및 방법을 포함한다. 극저온 펌프의 동력이 차단된 때에, 시스템은 세정 밸브를 개방되도록 정향시킴으로써 반응한다. 특히, 모든 동력 차단후에, 시스템은 복구 온도 셋팅 점 위로 극저온 펌프가 따뜻해졌는지를 결정함으로써 복구된 동력에 반응한다. 복구 온도 셋팅 점은 34 K 이다. 극저온 펌프가 복구 온도 셋팅 점위로 따뜻해지는 경우에는, 안전 세정이 개시된다. 본 발명은 안전 세정이 중단되지 않은 것을 보장한다. 본 발명의 실시예에서, 동력 차단 복구 절차가 거부된다.
동력 손실 순간에 극저온 펌프의 작동 상태가 결정된다. 작동 상태가 극저온 펌프가 동력이 차단된 때에 재현 공정에 있음을 지시하는 경우에는, 재현이 개시된다.
본 발명의 전술한 그리고 다른 목적과, 특징과 특성들이 첨부된 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 양호한 실시예에 대한 다음의 특별한 기술로부터 명백해질 것이고, 이 경우에, 상이한 도면을 통하여 동일한 부품에는 유사한 번호가 참조되었다. 도면이 반드시 국한하는 것은 아니지만, 대신에 강조가 본 발명의 원리를 기술하는데 주어진다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 극저온 진공 시스템의 다이아그램;
도 2는 도 1에 따른 극저온 펌프의 다이아그램;
도 3은 극저온 펌프의 횡단부도;
도 4A-B는 극저온 펌프 제어 시스템의 다이아그램;
도 5는 동력 장애 회복 절차를 기술하는 플로어 다이아그램; 및
도 6은 극저온 펌프의 온도가 임계 온도를 초과하는 것을 결정하는 공정을 기술하는 다이아그램이다.
본 발명의 양호한 실시예에 대한 기술은 다음과 같다.
<극저온 진공 시스템>
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 극저온 진공 시스템(100)의 다이아그램이다. 극저온 진공 시스템(100)은 가스를 이온 주입 공정 챔버(102)에서 소개시키기 위해 이온 주입 공정 챔버(102)에 연결된다. 극저온 진공 시스템(100)은 적어도 하나의 극저온 진공 펌프(104, 극저온 펌프)와, 일반적으로 압축 가스를 극저온 펌프(104)에 공급하기 위한 (도시되지 않은) 적어도 하나의 압축기를 포함한다. 극저온 진공 시스템(100)은 또한 러핑(roughing) 펌프(122)와, 워터펌프와, 터보펌프와, 냉각 장치와, 밸브(112, 114, 116)와, 그리고 가스를 포함한다. 또한, 이들 부품들은 반도체 공정용 장비와 같은 보다 광역의 시스템에 극저온 냉각을 제공하도록 작동한다.
장비는 극저온 진공 시스템(100)과 같은 장비내의 시스템에 제어의 어떤 기준을 제공하는 호스트 제어 시스템(106)을 포함한다. 장비는, 이온 주입과, 웨이퍼 식각과, 화학적 또는 플라즈마 증착과, 산화와, 소결과, 그리고 어닐닝과 같은 다양한 반도체-제조 공정을 수행하는 공정 챔버(102)를 사용할 수 있다. 이들 공정들은 종종 별도의 챔버에서 수행될 수 있는데, 그들 챔버 각각은 극저온 진공 시스템(100)의 극저온 펌프(104)를 포함한다.
도 2는 도 1에 따른 극저온 펌프의 다이아그램이다. 극저온 펌프(104)는 플랜지(110)를 따라 공정 챔버(102) 벽에 장착될 수 있는 극저온 챔버(108)를 포함한다. 극저온 챔버(108)는 미합중국 특허 제 4,555,907 호에 개시된 것과 비슷하다. 극저온 펌프(104)는 고진공을 만들고 극저온 펌프(104) 내부의 낮은 온도의 저온패널상에서 가스 분자를 냉동시킴으로써 공정 챔버(102)로부터 가스를 제거할 수 있다.
극저온 펌프(104)는 하나 또는 그 이상의 스테이지 형태를 포함한다. 예를들면, 투 스테이지 펌프는 극저온 냉매에 의해 냉각되는 제 1 스테이지 배열부와 제 2 스테이 배열부를 포함한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 스테이지부(122a)는 수증기와 같은 높은 비등 온도 가스를 응축하기 위한 방사상 시일드(138)로부터 연장되는 저온 패널을 갖는다. 제 2 스테이지부(122b)는 낮은 비등 온도 가스를 응축하기 위한 저온 패널을 갖는다. 제 2 스테이지 배열부의 저온 패널은 수소와 같은 매우 낮은 비등 온도 가스를 흡수하기 위하여 숯과 같은 흡수재를 포함한다. 온도 감지 다이오드(146a, 146b)가 극저온 펌프(104)의 제 1 및 제 2 스테이지 배열부(122a, 122b)의 온도를 결정하기 위해 사용된다. 극저온 펌프(104)의 투-스테이지 변위기가 극저온 펌프(104)의 하우징내에 포함된 모터(124)에 의해 피동된다.
몇 일 또는 몇 주의 사용후에, 저온 패널상에 응축된 가스, 특히, 흡수된 가스는 극저온 펌프를 포화시키기 시작한다. 가스의 결과 혼합물은 그들이 저온 패널상에 동결되어 잔류하는 이상 반드시 유해하지는 않다. 동력 유실, 극저온 펌프내용물의 분출 또는 진공 사고로 초래되는 배열부의 온난화는 그러나, 극저온 펌프(104) 또는 극저온 펌프(104)에 연결된 배출 라인(118)에 잠재적인 불안전 조건을 제공한다. 온난화 동안에, 극저온 펌프(104)의 어떤 수소도 신속하게 자유화되고 배출 라인(118)내로 배출되고, 수소의 신속한 연소 잠재성이, 가스 혼합물과 연소 쏘스가 있는 경우에 존재한다. 극저온 펌프(104)와 배출 라인(118)의 가스를 희석화시키기 위해서 극저온 펌프(104)는 도 2에 도시된 바와 같이, 세정 가스로 세정된다.
재현 동안에, 극저온 펌프(104)는 세정 가스로 세정된다. 세정 가스는 저온 패널의 온난화를 촉진시키고, 또한 극저온 펌프에서 물과 다른 증기를 씻어 낸다. 세정 가스는 또한 극저온 펌프(104)에서 자유화된 어떤 수소 가스도 희석화시키는데 사용될 수 있다. 질소는 일반적인 세정 가스인데, 비교적 불활성이고 수증기에서 자유롭게 얻을 수 있기 때문이다. 질소를 제 2 스테이지 배열부(122b)에 인접한 극저온 펌프(104)내로 정향시킴으로써, 극저온 펌프(104)내로 유동하는 질소는 수증기가 제 1 스테이지 배열부(122a)에서 제 2 스테이지 배열부(122b)로의 역 이동을 최소화시킨다. 극저온 펌프가 세정된 후에, 극저온 펌핑면과 냉각 핑거(finger)주위에 진공을 만들도록 러핑 펌프(122, roughing pump)에 의해 러프하게 펌핑된다. 이 공정은 가스 전도에 의한 열 전달을 감소시키고, 극저온 펌프가 정상적인 작동 온도까지 냉각되도록 할 수 있다. 세정 가스는 극저온 펌프(104)에 연결된 세정 밸브(112)를 통하여 극저온 챔버(108)에 인가된다. 세정 가스는 또한 배출 세정 밸브(114)를 통하여 배출 라인(118)에 인가된다.
세정 가스 쏘스(126)는 도관(128)과, 커넥터(130)와, 도관(132)과, 세정 밸브(112)와, 그리고 도관(136)을 경유하여 극저온 챔버(108)에 연결된다. 세정 밸브(112)가 개방될 때에, 극저온 펌프는 세정 가스 쏘스(126)로부터 세정 가스로 세정된다. 세정 밸브(112)는 솔레노이드 밸브일 수 있고, 이것은 전기적으로 작동되며, 완전 개방과 완전 밀폐의 두 스테이지를 갖는다. 세정 밸브(112)는 와이어 코일을 사용하는데, 이것은, 전류에 의해 활성화될 때에, 밸브를 개방 또는 밀폐시킨다. 전류가 중단되면, 세정 밸브(112)는 자동적으로 그것의 비-활성화 스테이지로 복귀한다. 세정 밸브(112)는 정상적으로 개방 또는 정상적으로 밀폐된 솔레노이드 이다. 본 발명의 어떤 예에서는, 아래에 상술하는 바와 같이, 정상적으로 개방된 밸브가 양호하다. 활성화 될 때에, 세정 밸브(112)는 밀폐되나. 경고 조건이 탐지된 후에는, 그곳에 흐르는 전류가 극저온 펌프(104)에 연결된 제어기(120)에 의해 스위치 오프되고, 정상적으로 개방된 밸브는 세정 가스를 극저온 펌프(104)에 공급하도록 개방된다. 예를들면, 세정 밸브(112)는 동력 장애에 반응하여 일정기간 동안에 밀폐된 상태로 잔류하고, 일정시간이 흐른후에 개방된다.
세정 밸브(112)는 또한 하드웨어 및/또는 소프트웨어 인터로크를 포함한다. 하드웨어 인터로크는 그들의 작동에서 비상시 안전기능을 하는 전형적인 전기적 또는 기계적 장치이다. 소프트웨어 인터로크는 종종 하드웨어 인터로크를 활성화시키기 전에 공정을 중단하는데 사용된다.
세정 가스 공급부(126)가 또한 배출 라인(118)에 연결되고, 이것은 극저온 펌프(104)에 연결된다. 배출 라인(118)은 도관(134)과 배출 세정 밸브(114)를 경유하여 세정 가스 공급부(126)에 연결된다. 배출 라인(118)은 하우징내에 배출 밸브(140)를 포함하는데, 배출 밸브는 도관(142, 144)을 경유하여 극저온 펌프(104)에 연결된다. 배출 밸브(140)는 미합중국 특허 제 5,906,102 호에 개시된 바와 같이, 도관(128)과, 커넥터(130)와, 도관(134)과, 배출 세정 밸브(114)와, 그리고 공급 도관(148)을 경유하여 세정 가스 쏘스(126)에 연결된다. 일반적으로, 배출 밸브(140)는 극저온 펌프 챔버(108)에서 방출된 가스를 배출 라인(118)내로 분출 또는 배출시킨다. 배출 라인(118)으로부터, 가스는, 배출 가스를 처리하고 배출하는데 사용될 수 있는 습식 또는 건식 스크러버와, 드라이 펌프와, 그리고 필터를 포함하는 페기 시스템을 경유하여 처리되는 곳인 배출 유틸러티 주 매니폴드내로 이동되어진다.
배출 세정 밸브(114)는 세정 가스 쏘스(126)로부터 세정 가스를 배출 라인(118)에 공급하도록 개방되는 솔레노이드 밸브일 수 있다. 비상 조건 동안에, 배출 세정 밸브(114)는 세정 가스를 배출 라인(118)내로 공급한다. 배출 세정 밸브(114)가 솔레노이드 밸브인 경우에, 세정 밸브는 극저온-세정 밸브(112)를 참조하고 있는 전술한 것과 비슷하다. 배출 세정 밸브(114)는 또한 인터로크를 포함한다. 그러나, 극저온-세정 밸브(112)와는 다르게, 양호하게는, 비상 조건에 반응하여 배출 세정 밸브(114)의 개방에 영향을 미치는 어떤 활성 딜래이도 없다.
<극저온 펌프 제어 시스템>
극저온 펌프 제어 시스템이 도 4A-4B에 도시되었다. 제어 시스템(120)은 호스트 제어기(106)에 네트워크화된다. 네트워크 제어기(152)는 호스트 제어 시스템(106)에 통신 인터페이스를 제공한다. 이런 방법으로, 호스트 제어 시스템(106)은 정상 작동 동안에 극저온 펌프(104)를 제어한다. 그러나, 비상 상황동안에, 제어 시스템(120)은 다은 어떤 시스템의 지시를 무시함으로써 그들 시스템의 제어를 제한한다. 또한, 제어 시스템(120)은 어떤 사용자라도 세정 밸브(112, 114)와 게이트 밸브(116)를 수동으로 제어하지 못하게 한다.
제어 시스템(120)은 펌프(104)의 작동을 구동하는 공정기(154)를 포함한다. 공정기(154)는 극저온 펌프(104)의 온도와, 압력과, 재현 시간과, 밸브 위치와, 그리고 작동 상태와 같은 시스템 변수를 저장한다. 공정기(154)는 극저온 펌프(104)에 어떤 비상 또는 정상 조건이 있는지 여부를 결정한다. 양호하게는, 제어 시스템(120)은, 이곳에 참조된 미합중국 특허 제 4,918,930 호에 개시된 극저온 펌프에 합체된다.
제어기(120)의 구조는 부품 하부구조에 기초하는데, 하나 또는 그 이상의 모듈을 포함한다. 도 4A-4B에 도시된 특수한 실시에서, 극저온 펌프 제어 모듈(180)과 자동 세정 제어 모듈(150)의 두 개의 모듈이 도시되고 있다. 제어기(120)가 단지 하나의 모듈(150)로서 실시되지만, 제어 시스템을, 상이한 실시에 함께 합체될 수 있는 부품(180,150)으로 분리하는 것이 바람직하다. 제어 시스템(120)을 설계하기 위해 부품 모델을 사용함으로써, 각 모듈(180, 150)은 특수한 제품에 제한되지 않고, 멀티플 제품에 실시 가능하다. 이것은 각 부품이,어떤 후속 모델 또는 다른 형태의 시스템의 어떤 제어기에 개별적으로 합체될 수 있게 한다.
제어 시스템(120)은 비상 조건이 탐지되는 때에, 세정 밸브(112,114)와 게이트 밸브(116)를 모니터하고 제어하는 책임이 있다. 예를들면, 제어 시스템(120)이 극저온 펌프에서 비상 조건이라고 결정하는 때에, 제어 시스템(120)은 세정 밸브(112,114)와 게이트 밸브(116)중 하나가 개방 또는 밀폐되도록 보장한다. 제어 시스템(120)은 이 역할을 수행하도록 자동세정 제어 모듈(150)을 사용한다. 게이트 밸브 제어는 이곳에 참조된 미합중국 특허 제 6,327,863 호에 개시된 것과 비슷하다.
제어 모듈(180)은 전압 조절기(156)에 연결된 AC 전력 공급 입력부(182)를 포함한다. 전압 조절기(156)는, 합체된 자동세정 제어 모듈(150)과, 밸브(112,114,116)와, 그리고 보조 시스템 부품을 포함하는 극저온 펌프(104)에 동력을 공급하도록 AC 24 볼트를 출력시킨다. 전압 조절기(156)는 합체된 자동세정 제어 모듈(150)에 동력을 공급하는 동력 공급 제어기(184)에 연결된다.
자동세정 제어 모듈(150)은 24 볼트 동력 공급부(184)에 연결된 분리된 전압 조절기(186)를 포함한다. 전압 조절기(186)는 동력 공급부(184)로부터 24 볼트를 DC 12 볼트로 전환하는데, 이것은 제어 출력 노드(190,194,196)를 경유하여 밸브(112,114,116)에 동력을 가하도록 공급되어 질 수 있다.
세정 밸브(112,114)는 정상적으로 개방된 밸브이고, 극저온 펌프의 정상 작동 동안에, 릴래이(158,168)부가 활성화되어서, 세정 밸브(112,114)가 밀폐된 상태로 잔류한다. 세정 밸브 구동기(동력 증폭기, 198)는 극저온 펌프(104)의 정상 작동 동안에 세정 밸브(112)를 밀폐된 상태로 유지시킬 수 있다.
게이트 밸브(116)는 정상적으로 밀폐된 밸브이다. 자동세정 제어 모듈(150)은, 게이트 밸브(116)가 극저온 펌프(104)를 공정 챔버(102)에서 분리시키도록 밀폐되도록 한다. 릴래이부(164)는 게이트 밸브(116)의 상태를 제어하도록 활성화된다. 게이트 밸브(116)의 위치가 개방 또는 밀폐 위치인가 여부를 탐지할 수 있는 위치 센서가 게이트 밸브(116)내에 위치된다. 게이트 밸브(116)의 위치는 작동기( 예; 유압 자동기 또는 솔레노이드)에 의해 조절된다. 게이트 밸브(116) 위치 피드백(202,204)이 입력 노드(108)에서 공정기(154)로 입력된다.
웜-업 경고 지시기(warm-up alarm indicator, 166)가 자동세정 제어 모듈(150)에 포함된다. 웜-업 경고 지시기는, 극저온 펌프가 임계온도 이상으로 따뜻해졌는지 여부를 지시하는 상태 광-발산 다이오드(status light-emitting diode)일 수 있다. 웜업 경고 릴래이부(162)는 제어 출력부(192)를 경유하여 경고 지시기(166)를 제어한다.
전압 조절기(186)로부터의 전류가, 동력이 전압 조절기(186)로부터 공급되는지 여부를 지시하는 상태 광-발산 다이오드인 상태 지시기(188)에 이용되는 동력부를 통하여 흐른다. 동력 비상 동안에, 상태 지시기(188)는 일반적으로 전압 조절기(186)로부터 동력이 공급되지 않는다는 것을 지시한다. 본 발명의 한 양상에 따르면, 동력 비상 동안에, 전자화학적 캐패시터(170)를 사용하는 백업-동력 공급부가 동력을 자동세정 제어 모듈(150)에 공급한다. 충전 회로(172)가 동력이 필요할 때에 전자화학적 캐패시터(170)를 충전하기 위해 사용된다. 충전 회로(172)는 일련의 전류 펄스를 캐패시터(170)에 인가함으로써 캐패시터(170)를 충전한다.
<극저온-세정 딜래이>
동력 비상 동안에, 정상적으로 개방된 배출 세정 밸브(114)가 펌프를 세정하기 위해 개방되고, 반면에, 극저온-세정 밸브(112)가 안전 기간 동안에 밀폐 상태를 유지한다. 극저온-세정 밸브(112)의 개방을 딜래이 시키는 것이 바람직한데, 딜래이 없이 극저온 펌프(104)의 안전한 세정을 시작하는 것이 귀중한 시간과 쏘스의 불필요한 낭비를 초래하기 때문이다. 극저온 펌프(104)를 세정하는 것은 극저온 펌프의 진공을 파괴하고, 가스의 방출을 야기하는데, 그 후에 재현을 필요로하므로 이것은 가능하면 피해야 한다. 일정기간 동안에 세정 밸브의 개방을 딜래이하는 것은, 세정 단계의 극저온 펌프의 작동에 대한 중단없이도, 동력의 가능한 유지와 제어기(120)의 가능한 복귀를 허용한다.
캐패시터(170)는, 릴래이부(158)를 활성화시킴으로써, 밀폐된 세정 밸브(112)와 세정 밸브 구동기(198)에 안전기간 동안에 동력을 공급한다. 시간 딜래이 제어 회로(168)가 동력 비상후에 안전 시간이 경과한때를 결정하는데 사용된다. 이 예에서, 시간 딜래이 회로(168)는 5 볼트에서 작동하므로, 분리된 12 DC 볼트 조절기(186)에서 동력을 받는 5 볼트 DC 전압 조절기(200)에 연결된다. 전압 조절기(200)는 제너(zener) 다이오드일 수 있다.
자동세정 제어 모듈(150)은 시간의 안전 기간동안 극저온 펌프(104)의 세정을 딜래이하고, 시간의 안전 기간이 경과한 후에, 동력이 회복되지 않으면, 세정 밸브(112)가 개방되도록 된다. 그러나, 시간의 안전 기간 미만의 시간내에 비상 조건이 안전 조건으로 변화하는 경우에, 제어 모듈(120)은 동력 비상 복구 절차를 개시하고, 아무일도 없는 것처럼 정상 작동으로 돌아간다. 예를들면, 동력이 시스템에 복구될 때에 또는, 호스트 제어기(106)와 같은 다른 시스템이 비상 조건에 적절히 반응하도록 결정되는 경우에, 안전 조건이 결정된다. 세정 밸브(112) 릴래이를 사용하고, 비상 조건이 교정될 때에 비상 조건에 대한 반응을 중단시킴으로써, 자동세정 제어 모듈(150)은 세정과 복구 시간 및 쏘스의 불필요한 낭비를 줄일 수 있 다. 시간의 안전 기간이 만기가 되고 아직 비상 조건이 존재하면, 안전 세정이 개시되고, 세정 밸브(112)는 개방되도록 되며, 세정 가스는 즉시 펌프(104)로 분출된다. 본 발명의 한 양상에 따르면, 안전 세정 동안에 동력이 복구되는 경우에 조차도, 세정이 5 분과 같은 세정 시간동안 지속되고, 사용자 또는 호스트 제어 공정기로부터의 반대되는 입력도 무시한다.
종래의 시스템은 재현 공정을 개시함으로써 동력 비상에 반응하여 왔다. 그러나, 동력이 복구되면, 세정이 중지된다. 그 결과, 유해 가스가 자유화되고, 펌프를 연소가능한 상태로 위치시킨다. 전술된 바와 같이, 본 시스템은 동력이 복구되는 경우에 조차도 안전 세정을 계속하고, 따라서, 연소 가능성을 감소시킨다.
<비상-안전 밸브 방출 및 시간 제어 기구>
본 발명의 한 양상에 따르면, 비상-안전 밸브 방출 및 시간 제어 기구가 합체되었다. 제어 시스템(120)은 보호 수단으로서 백업 시간 제어 기구와 합체되는데, 그것은 세정 밸브(112)가 소정 시간이 경과되었을 때에 세정 밸브(112)가 개방되는 것을 보장한다. 예를들면, 시간 회로(168)가 소정 시간의 경과 후에 세정 밸브(112)의 개방을 허용하지 않는 경우에, 전자화학적 캐패시터(170)와 같은 백업 동력 쏘스는 비상-안전 세정 방출 기구를 제공하도록 사용된다.
전자-화학적 캐패시터(170)에 저장된 에너지는 동력 비상시에 예견가능한 비율(RC 시간 상수)로 소진된다. 에너지의 제한된 양이 세정 밸브(112)를 시간의 안전 기간동안 밀폐상태를 유지하도록 캐패시터(170)에 저장된다. 예를들면, 밸브(112)가 정상적으로 개방 밸브인 경우에, 캐패시터(170)에 저장된 에너지는 세정 밸브 전기 구동기(198)를 작동시키고, 동력 비상시에 세정 밸브(112)를 밀폐상채로 유지하도록 릴래이부(158)를 활성화시킨다. 캐패시터(170)에 저장된 에너지가 고갈되는 때에, 구동기(198)는 작동되지 않고, 밸브(112)는 자동적으로 개방된다. 따라서, 이 기술로, 극저온 펌프는 세정될 수 있고, 비상 조건의 결과는, 시간 회로(168)에 비상이 있는 경우에 조차도 감소될 수 있다. 예를들면, 시간 딜래이 회로(168)는 2 분후에 세정 밸브의 개방을 허용하고, 전자화학적 캐패시터(170)로부터의 동력이 3 분후에 세정 밸브를 개방상태로 유지하는데 불충분하다.
이 기술과 일치하는 다른 비상-안전 기술이 구현될 수 있다. 예를들면, 타이머(168)가 또한 캐패시터(170)에서 동력을 신속히 끌어들이는 회로를 포함한다. 그러한 회로는 캐패시터(170)가 3 분과 같은 시간의 안전 기간 이상 동안에 세정 밸브(112)를 활성화시킬 수 없도록 한다.
상태 광 지시기(174)는 또한 자동세정 제어 모듈(150)에 포함된다. 상태 광 지시기(174)는 상태 광 발산 다이오드일 수 있고, 그것은 전자화학적 캐패시터(170)의 동력과 재충전을 지시한다.
<캐패시터의 제어된 충전>
충전 회로(172)가 동력이 필요할 때에 전자화학적 캐패시터(170)를 충전하는데 사용된다. 그러한 상황에서, 캐패시터(170)는 초단위의 관점에서 완전히 충전될 수 있을 지라도, 충전 회로(172)가 캐패시터(170)를 신속히 충전시키는 것을 고의로 지연시키는 것이 유용하다. 예를들면, 캐패시터(170)가 정상적으로 충전되는 것이 가능하고, 동력 비상과 복구의 신속하고 단속적인 주기가 존재하면, 세정 밸브 가 극저온 펌프가 비상 조건으로 웜잉되는 경우에조차도, 결코 개방되지 않을 가능성이 존재한다. 특히, 동력 복구시마다, 캐패시터(170)는 완전히 충전되는 것이 가능하다. 이 상황을 피하기 위해 충전 회로(172)는 일련의 제어된 전류 펄스를 캐패시터(170)에 인가함으로써 천천히 캐패시터(170)를 충전시킬 수 있다.
<동력 비상 복구>
종래 동력 복구 구성들은 사용자 또는 호스트 시스템에 의해 거부될 수 있었는데, 그들이 종종 펌프의 자원과 휴지기간의 많은 양을 필요로하기 때문이었다. 진공 시스템에서 동력이 복구되는 때에, 사용자는 동력 비상 복구 절차를 중단시키도록 손을 뗄 수 있다. 그러나, 만일 연소 쏘스가 존재한다면, 동력 비상 복구를 거부하는 것은 펌프 용기와 배출 시스템에서 잠재적인 위험 상화을 초래한다.
복구는 일반적으로 복구된 동력에 반응하는 세개의 상이한 시스템을 포함한다. 그러한 종래의 동력 비상 복구 시스템이 미합중국 특허 제 6,510,697 호에 개시되어 있다. 이러한 종래 시스템은 선택적이고 따라서 어느 때라도 거부될 수 있는 동력 비상 복구 절차를 포함한다. 세 개중 제 1 반응은 무반응이다. 동력 비상 복구 절차가 선택적이므로, 사용자는 동력 비상 복구를 함께 거부할 수 있고, 시스템은 단순히 복구된 동력에 반응하지 않는다. 동력 비상 복구 모드 상태에 있고, 펌프의 온도가 어떤 임계점 아래에 있는 경우에, 제 2 반응은 펌프의 냉각 개시를 포함한다. 이것은 일반적으로 펌프가 35 K 와 같은 프로그램된 임계값 아래에 있는 경우에 발생한다. 냉각에서, 냉동기가 가동되고, 펌프는 자동적으로 냉각된다. 펌프가 30 분내에 20 K 아래로 냉각되지 않으면, 경고 또는 정지 신호가 셋팅된다. 세 번째 가능한 반응은 일반적으로, 펌프가 너무 따뜻한 경우, 예를들면, 35 K 이상으로 상승하는 경우에, 전체 재현 싸이클로 들어가는 것을 포함한다.
그러한 재현 싸이클은 세정과, 가열과, 러프 펌핑과 같은 7 단계를 포함한다. 일반적으로, 세정, 압력 및 엠프티니스(emptiness)와 같은 여러 시험이 또한 수행된다. 이들 시험은 시스템이 재현 싸이클의 전단계를 반복해야만 하는지를 결정하는데 도움이 된다. 극저온 패널상에 응축되고 흡수된 가스양에 따라서, 펌프가 안전한 것으로 간주되거나 또는 재현되기전에 시스템은 한 단계 또는 전체 싸이클을 한 번에서 6 번 반복한다.
반도체 제조 공정은 일반적으로 분리된 챔버(그 각각이 극저온 진공 시스템의 극저온 펌프를 포함한다)에서 수행되므로, 이들 펌프의 하나 또는 그 이상이 거쳐야하는 휴지기간 동안에, 하나 또는 그 이상의 재현 싸이클은 길고, 복잡하며 비용이 많이 드는 공정을 초래할 수 있다. 오늘날의 역동적인 글로벌 환경에서, 반도체 산업의 정확도와 속도에 대한 결정적인 특성은 새로운 제품에 대한 또는 회사에 대한 성공과 실패의 차이점을 의미할 수 있다. 제조 상태 전에 대부분의 제품 비용이 결정되는 많은 반도체 제조업자에게, 이 휴지 기간은 제품 개발 시간의 손실을 초래하여 회사에 비용을 많이 요구한다.
본 출원의 동력 비상 복구 절차는 자원의 적은 양을 사용하는 반면에, 가장 짧은 시간에 안전 유해성의 위험을 감소시킬 수 있다. 어떤 불안전한 상황도 안전 세정을 개시하고, 그것에 의해 동력 비상, 재현 또는 극저온 펌프의 고장후에 초래될 수 있는 부식성 또는 유해한 가스 또는 액체의 집적을 방지할 수 있다. 본 발명 의 한 양상에 따르면, 본 동력 비상 복구 절차의 안전 세정은 가스의 가연성 혼합물이, 자원의 최소 양을 사용하고 펌프(104)를 가장 짧은 시간 동안 정상 작동밖에 둠으로써, 펌프(104)와 배출 시스템(118)에서 발달하는 것을 방지한다. 이것을 이루기 위해서, 제정 밸브(112,114)는, 펌프(104)와 배출 시스템(118)이 안전하다는 것을 보장하기 위해 단지 5 분과 같은 시간의 기간 동안만 펄스된다. 다른 실시예에서, 세정 가스는 제 2 스테이지의 극저온 패널상에 직접 인가되고, 세정 가스는 제 2 스테이지 배열부에 분출되며, 배출라인은 싸이클화될 수 있다. 세정 가스가 완성된 후에, 동력 비상 복구 절차는 전체 재현 절차로 이어져야 하는 것은 아니다. 이 선택은 호스트 시스템 또는 사용자가 결정하도록 남겨진다. 안전 세정은 펌프(104)를 안전 작동 상태로 가져가고 펌프가 휴지기간을 줄이기 위해 정상 작동으로 복귀하도록 한다. 아래에 상술되는 바와 같이, 안전을 이유로, 본 동력 비상 복구 절차의 안전 세정은 실패할 수 없고 거절될 수 없다. 안전 세정은 시스템(120)에 의해 고유한, 비상-안전, 반응으로서 구현될 수 있다.
도 5는 본 발명의 한 양상에 따른 동력 비상 복구 절차(500)를 기술하는 플로어 다이아그램이다. 동력이 복구되었을 때에, 극저온 펌프 제어 시스템(120)은 스텝(510)에서, 극저온 펌프(104)의 온도 감지 다이오드로부터 온도를 탐지함으로써 극저온 펌프(104)의 온도를 결정한다. 온도 다이오드의 하나 또는 그 이상이 520에서 적절하게 작동하지 않으면, 시스템(120)은 600에서 안전 세정을 개시한다.
다이오드가 작동하면, 530에서, 시스템(120)은 극저온 펌프(104)의 온도가 35 K와 같은 소정의 임계값 미만인지 여부를 결정한다. 펌프의 온도가 이 한계 미 만인 경우에, 스텝 600에서, 안전 세정이 개시된다. 안전 세정이 완료되면, 580에서, 호스트 시스템 또는 사용자는 극저온 펌프(104)의 제어를 할 수 있다.
극저온 펌프(104)의 온도가 35 K 미만인 경우에, 시스템(120)은 동력 손실시에 극저온 펌프(104)의 작동 상태를 결정한다. 예를들면, 스텝 540에서, 시스템(120)은 극저온 펌프(104)가 동력 비상시에 있는지 여부를 결정한다. 펌프(104)가 동력 비상시의 상태가 아닌 경우에, 스텝 580에서, 호스트 제어 시스템(106) 또는 사용자는 극저온 펌프(104)를 제어할 수 있다.
극저온 펌프(104)가 작동하는 경우에, 550에서, 공정은 펌프가 동력 비상시에 재현 공정에 있는지 여부를 결정한다. 동력 비상이 극저온 펌프(104)에서의 재현 공정을 중단 시키는 경우에, 스텝 590에서, 시스템(120)은 시스템이 극저온 펌프(104)가 사용되지 않는 재현 공정을 완성할 수 있는지 여부를 결정한다. 580에서, 호스트 시스템 또는 사용자가 극저온 펌프(104)를 제어하는 것이 가능하다. 극저온 펌프(104)가 재현 상태에 있지 않은 경우에, 스텝 560에서, 시스템(120)은 극저온 펌프(104)의 온도가 25 K 미만인지 여부를 결정하는 것을 체크한다. 온도가 25 K 보다 큰 경우에, 600에서 안전 세정이 개시된다. 안전 세정이 완료되면, 580에서, 호스트 시스템 또는 사용자가 극저온 펌프(104)를 제어하는 것이 가능하다.
극저온 펌프(104)의 온도가 25 K 미만이고, 펌프(104)가 570에서 18 K 미만까지 냉각되는 경우에, 펌프(104)는 작동에 충분할 정도로 냉각된다. 580에서, 호스트 시스템 또는 사용자는 극저온 펌프(104)를 제어하는 것이 가능하다.
펌프(104)가 18 k 미만까지 냉각될 수 없는 경우에, 작동에 충분할 정도로 냉각된 것이 아니다. 580에서, 호스트 시스템 또는 사용자는 440에서 극저온 펌프를 제어하는 것이 가능하다. 본 시스템(120)은 펌프의 체크가 필요함을 나타내는 정지신호를 셋팅하고, 이 메세지는 호스트 제어기(106)로 루트가 정해진다.
<비상 조건>
본 발명의 한 양상에 따르면, 비상 조건은 극저온 펌프(104)에 잠재적 위험을 줄 수 있는 어떤 것이다. 예를들면, 비상 조건은 극저온 진공 시스템(100)에서 온도 비상이 있는때에, 극저온 펌프의 온도가 임계 온도 수준을 초과할 때에, 또는 극저온 펌프에서의 부적절한 온도 다이오드가 있을 때이다. 일반적으로, 비상 조건은 시스템(120)에 의해 결정되는 때에, 게이드 밸브(116)는 밀폐되고, 극저온 펌프(104)와 배출 라인(118)은 5 분과 같은 시간 기간동안 세정된다. 이 시간동안에, 세정 밸브(112,114)는 주기적으로 개방 및 밀폐된다. 또한, 밸브(112,114)는 호스트 제어기(116)에 의해 제어될 수 없다. 안전 세정이 완료된 후에, 비상 조건은 교정되고, 호스트 제어기(116)는 극저온 펌프(104)를 제어한다.
<임계 온도의 초과>
도 6은 극저온 펌프의 온도가 임계 온도를 초과하는지를 결정하기 위한 공저을 기술하는 프로어 다이아그램이다. 본 발명의 이 양상에 따르면, 시스템(120)은 스텝 630에서, 극저온 온도가 18 K와 같은 작동 셋팅점 아래인지를 결정한다. 스텝 640에서, 시스템(120)은 극저온 펌프가 작동 셋팅점 아래로 가있음을 나타내는 정지 신호를 셋팅한다. 스텝 640에서, 시스템(120)은 극저온 펌프 온도가 35 K와 같은 웜업 셋팅점까지 상승했는지를 결정한다. 극저온 펌프(104)가 이 변수보다 큰 값까지 웜업된 경우에, 스텝 660에서 기술된 바와 같이, 세정 밸브(112,114)는 개방되고, 게이트 밸브(114)는 밀폐된다. 이 시간 동안에, 스텝 670에서, 호스트 제어기(106)는 밸브(112,114,116)을 제어할 수 없다. 이 안전 세정은 스텝 680에서 5 분과 같은 어떤 시간 기간 동안 계속된다. 5 분이 경과된 후에, 스텝 690에서, 호스트 제어기(106)는 밸브(112, 114,116)의 제어를 되찾는다.
<부적절한 온도 다이오드>
도 3에 도시된 바와 같이, 극저온 펌프(104)는 하나 또는 그 이상의 온도 감지 다이오드(146a,146b)를 포함한다. 온도 감지 다이오드(146a,146b) 중 하나가 잘못 기능하는 경우에, 극저온 펌프(104)가 탐지될 수 없는 비상 온도에서 작동되고, 따라서 사고가 발생하는 잠재성이 있다. 본 시스템은 다이오드가 적절히 기능하는지를 결정하기 위하여 국지적 전자부(120)를 사용한다.
종래의 해법은 호스트 시스템이 극저온 펌프 온도 주위의 통신을 수용하는지 여부에 초점이 맞추어져 왔다. 호스트 제어기가 펌프 온도를 결정할 수 없는 때에, 호스트 제어기는 일반적으로 완전한 재현 싸이클을 개시한다. 그러나, 이 접근법에 기초한 극저온 펌프의 완전한 재현의 개시는, 귀중한 자원과 시간의 낭비를 초래하는데, 온도 표시를 수용할 수 없는 것은 부적절한 다이오드와 관계없는 통신 에러 또는 장비 비상과 같은 수많은 다른 비상 상태의 결과가 된다. 일반적으로, 호스트 시스템은 온도 감지 다이오드의 작동 상태를 탐지하기 위한 기술을 갖지 않는다. 대신에, 호스트 제어기는 단순히, 극저온 펌프 온도 주위의 통신을 수용하기 위하여 비상에 반응하여 극저온 펌프의 완전한 재현을 개시한다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 비상 상황은, 온도 감지 다이오드(146a,146b)중의 하나가 적절히 작동하지 않을 때에 존재한다. 본 발명은 다이오드의 작동 상태를 탐지하기 위해 국지적 전자부(120)를 사용하고, 국지적 전자부(120)는 따라서 반응한다. 이런 방법으로, 부적절한 온도 감지 다이오드를 결정할 수 있는 하나의 오프라인 해법이 구현된다. 온도 감지 다이오드가 적절하게 작동하지 않는 때를 결정하는 능력은 증가된 신뢰성과, 불필요한 재현, 시간과 자원의 낭비를 방지할 수 있다.
자동화된 극저온 펌프 안전 세정 및 배출 라인 안전 세정의 합체부에 포함된 방법은 컴퓨터 사용가능한 매개물을 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품에서 실시될 수 있음을 당업자는 이해할 것이다. 예를들면, 그러한 컴퓨터 사용가능한 매개물은 그곳에 저장된 컴퓨터 해독가능한 프로그램 코드 세그먼트를 갖는 어떤 장치도 포함한다. 컴퓨터 해독 가능한 매개물은 또한, 버스 또는 통신 링크와 같은, 디지털 또는 아날로그 신호로서 그곳에 기억된 프로그램 코드 세그먼트를 갖는, 광학, 무선 또는 유선의 통신 또는 전달 매개물을 포함한다.
이곳에 사용된 "극저온 펌프"는, 공지된 또는 후에 개발되는 방법으로 이온 주입 시스템에 직접 또는 간접적으로 연결된 또는 연결될 수 있는 어떤 극저온 캡쳐 펌프 또는 부품을 의미하는 것으로 광범위하게 구성되었다는 것은 당업자에게 명백할 것이다.
본 발명이 특히 어떤 실시예를 참조하여 도시되고 기술되었지만, 첨부된 청구범위에 의해 둘러싸인 본 발명의 범위를 이탈하지 않는 다면 형태와 상세한 부분 에서 다양한 변화가 만들어질 수 있음을 당업자는 이해할 것이다.

Claims (160)

  1. 극저온 펌프 제어 방법에 있어서, 상기 방법이,
    극저온 펌프의 비상 조건을 결정하는 단계; 및
    상기 비상 조건에 반응하여, 세정 밸브를 개방하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키고, 상기 비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지 어떤 호스트 제어기도 세정 밸브를 제어하지 못하도록 하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방하는 단계는 정상적으로 개방된 세정 밸브를 해제하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키는 단계는 또한 세정 밸브를 개방과 밀폐 사이에서 주기화시키는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하는 단계는 또한, 배출 시스템에 연결된 배출 세정 밸브를 개방함으로써 극저온 펌프에 연결된 배출 시스템내로 세정 가스를 정향시키는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지, 어떤 호스트 제어기도 배출 세정 밸브를 제어하지 못하도록 하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    배출 세정 밸브를 개방하는 단계는 정상적으로 개방된 배출 세정 밸브를 해제하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  7. 제 4 항에 있어서,
    세정 가스를 배출 시스템내로 정향시키는 단계는 배출 세정 밸브를 개방 및 밀폐사이에서 주기화하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    비상 조건은, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프의 온도 결정의 불능중 하나가 있는 때에 존재하는,
    극저온 펌프의 제어 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    동력 비상전에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하는 단계; 및
    작동 상태가 극저온 펌프가 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현 공정에 있음을 나타내는 경우에, 재현 공정을 개시하는 것이 적절한지 여부를 결정하는 단계에 의해 동력 비상에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    소정 시간동안 세정 가스가 극저온 펌프내로 정향된 후에 비상 조건이 안전 조건으로 변화하는,
    극저온 펌프의 제어 방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    극저온 펌프의 재현이 필요한지 여부를 결정함으로써 안전 조건으로 변화하 는 비상 조건에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프의 제어 방법.
  12. 제 1 항에 있어서,
    극저온 펌프의 게이드 밸브가 개방되어 있는 동안에 극저온 펌프의 재현이 방지되는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프의 제어 방법.
  13. 제 1 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하는 단계가, 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향하는 것을 딜래이하고, 소정 양의 시간이 경과할 때까지 호스트 제어기가 세정 밸브를 제어하는 것을 딜래이하는 단계; 및
    시간의 소정 양이 경과한 때에 비상 조건이 아직 존재하는 경우에, 세정 밸브의 개방을 개시하고 어떤 호스트 제어기라도 세정 밸브를 제어하는 것을 방지하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  14. 극저온 펌프 제어용 전자 제어기로서, 상기 제어기가,
    극저온 펌프의 비상 조건을 결정하고;
    세정 밸브를 개방되도록 정향함으로써 세정 가스를 극저온 펌프내로 허용하 고;
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 제어기로부터의 어떤 시도라도 미리 회피되도록 하기 위한 명령으로 프로그램된,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  15. 제 14 항에 있어서,
    세정 밸브가 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출함으로써 개방되도록 정향되는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  16. 제 14 항에 있어서,
    세정 가스를 극저온 펌프내로 허용하는 것은 세정 밸브를 주기적으로 개방 및 밀폐시키는 것을 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  17. 제 14 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하기 위한 명령은,
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지, 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브를 개방되도록 정향시킴으로써 세정 가스를 극저온 펌프에 연결된 배출 라인내 로 허용하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  18. 제 17 항에 있어서,
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지 배출 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 제어기로부터의 어떤 시도라도 미리 회피되는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  19. 제 17 항에 있어서,
    배출 세정 밸브를 개방하도록 정향하는 것은 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출시키는 것을 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  20. 제 17 항에 있어서,
    배출 세정 밸브의 개방 및 밀폐를 주기적으로 하는 것을 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  21. 제 14 항에 있어서,
    비상 조건은, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프의 온도 결정의 불능중 하나를 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  22. 제 21 항에 있어서,
    동력 비상인 상기 비상 조건에 반응하기 위한 명령은,
    상기 동력 비상 전의 극저온 펌프의 작동상태를 결정하고;
    상기 작동 상태가, 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현의 냉각 상태임을 지시하는 경우에는, 재현 싸이클을 개시하는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  23. 제 14 항에 있어서,
    세정 가스가 시간의 소정양 동안에 극저온 펌프내로 허용된 후에, 비상 조건이 안전 조건으로 변화하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  24. 제 14 항에 있어서,
    극저온 펌프의 재현이 필요한지 여부를 결정하는 것에 의해 안전 조건으로 변화하는 비상 조건에 반응하는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  25. 제 14 항에 있어서,
    극저온 펌프의 게이트 밸브가 개방되어 있는 동안에는 극저온 펌프의 재현이 방지되는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  26. 제 14 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하는 명령은,
    시간의 소정 양 동안에, 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키는 명령을 딜래이하고, 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 제어기로부터의 어떤 시도라도 미리 회피시키는 것을 딜래이하며;
    시간의 소정 양이 경과한 때에 아직 비상 조건이 존재하는 경우에, 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키고, 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 제어기로부터의 시도라도 미리 회피시키는 명령을 개시하라는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  27. 극저온 펌프에 있어서,
    펌핑면을 갖는 극저온 펌프;
    극저온 펌프에 연결된 세정 밸브; 및
    극저온 펌프를 제어하는 전자 제어기를 포함하고,
    상기 전자 제어기는 극저온 펌프가 안전 또는 비상 조건에서 작동하는지 여부를 결정할 수 있고, 상기 세정 밸브는 비상 조건에 반응하여 제어기에 의해 자동 적으로 제어되고, 상기 제어기는 다른 어떤 시스템에 우선하는,
    극저온 펌프.
  28. 제 27 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하여, 제어기가, 정상적으로 개방된 밸브를 방출하는 것에 의해 세정 밸브를 개방시키는,
    극저온 펌프.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 제어기는, 세정 밸브를 개방 및 밀폐 상태 사이에서 주기화시킴으로써 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 제어기가, 소정 시간의 경과후까지 세정 밸브의 개방을 기다리고,
    소정 시간이 경과되고 비상 조건이 잔존하는 경우에, 세정 밸브를 개방시키는 것에 의해 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  31. 제 27 항에 있어서,
    상기 제어기가 비상 조건 동안에 다른 어떤 시스템에 우선하는,
    극저온 펌프.
  32. 제 27 항에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 배출 라인; 및
    배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브를 또한 포함하고,
    상기 제어기는,
    자동적으로 배출 세정 밸브를 제어하고, 장상적으로 개방된 밸브를 방출시킴으로써 배출 세정 밸브를 개방시키는것에 의해 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  33. 제 31 항에 있어서,
    상기 제어기는 배출 세정 밸브를 개방 및 밀폐 상태 사이에서 주기화함으로써 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  34. 제 27 항에 있어서,
    비상 조건은, 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 펌핑면의 온 도; 또는 펌핑면 온도 결정의 불능의 어느 것을 포함하는,
    극저온 펌프.
  35. 제 27 항에 있어서,
    상기 제어기가,
    동력 비상전에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하고,
    상기 작동 상태가, 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현 공정에 있음을 지시하는 경우에 개시하는 재현 공정이 적절한지 여부를 결정하는 것에 의해 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  36. 제 27 항에 있어서,
    소정 시간의 경과후에 상기 비상 조건이 안전 조건으로 변화되는,
    극저온 펌프.
  37. 제 27 항에 있어서,
    상기 제어기가, 극저온 펌프의 재현이 필요한지 여부를 결정하는 것에 의해 안전 조건으로 변화하는 비상 조건에 반응하는,
    극저온 펌프.
  38. 제 27 항에 있어서,
    상기 제어기가 극저온 펌프의 게이드 밸브가 개방되어 있는 동안에 극저온 펌프의 재현이 방지되도록 프로그램되는,
    극저온 펌프.
  39. 극저온 펌프 제어 방법에 있어서,
    온도 센서가 적절하게 기능하는지 여부를 결정하는 단계;
    세정 밸브를 개방하도록 정향시키는 것에 의해 적절히 기능하지 않는 온도 센서에 반응하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  40. 제 39 항에 있어서,
    상기 세정 밸브가, 극저온 펌프에 연결된 극저온 세정 밸브 및 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브중 하나인,
    극저온 펌프 제어 방법.
  41. 제 39 항에 있어서,
    상기 세정 밸브가 소정 시간 동안 개방 상태를 유지하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  42. 제 41 항에 있어서,
    세정 밸브를 소정 시간 동안 유지하는 것은, 어떤 다른 시스템이 세정 밸브 를 밀폐시키는 것을 방지하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  43. 제 41 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 전체 재현 공정을 개시함이 없이 세정 가스를 극저온 펌프내로 공급하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  44. 제 39 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  45. 제 39 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  46. 극저온 펌프에 연결된 하나 또는 그 이상의 온도 감지 센서를 모니터하는 전자 제어기에 있어서, 상기 전자 제어기가,
    극저온 펌프에 연결된 하나 또는 그 이상의 온도 감지 센서의 작동 상태를 결정하는 단계; 및
    온도 센서중 하나가 작동중이 아닌 것으로 나타나는 경우에, 안전 세정을 개시하는 명령으로 프로그램된,
    극저온 펌프의 전자 제어기.
  47. 제 46 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 한정된 시간 동안에 세정 밸브를 개방 상태로 유지시키는 것을 포함하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  48. 제 47 항에 있어서,
    상기 세정 밸브가 극저온 펌프에 연결된 극저온 밸브 및 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브중 적어도 하나를 포함하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  49. 제 46 항에 있어서,
    상기 제어기가 안전 세정이 중단될 수 없는 것을 보장하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  50. 제 46 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 전체 재현 공정의 개시 없이도 세정 가스를 극저온 펌프내로 공급하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  51. 제 46 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  52. 제 46 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 전자 제어기.
  53. 극저온 펌프에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 세정 밸브;
    극저온 펌프에 연결된 하나 또는 그 이상의 온도 센서; 및
    극저온 펌프에 연결된 전자 제어기를 포함하고,
    상기 제어기는 온도 센서중 어느 것이라도 잘못 기능하는지 여부를 결정하도 록 구성되고, 상기 제어기는 온도 센서중의 어느 하나라도 잘못 기능하는 때에 안전 세정을 개시하는.
    극저온 펌프.
  54. 제 53 항에 있어서,
    상기 안전 세정은 일정 시간 동안 상기 세정 밸브가 개방 상태를 유지하도록 하는 것을 포함하는,
    극저온 펌프.
  55. 제 53 항에 있어서,
    상기 세정 밸브가 극저온 펌프에 연결된 극저온 밸브 및 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브 중 적어도 하나를 포함하는,
    극저온 펌프.
  56. 제 53 항에 있어서,
    상기 제어기가 안전 세정이 중단될 수 없는 것을 보장하는,
    극저온 펌프.
  57. 제 53 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 전체 재현 공정의 개시 없이도 세정 가스를 극저온 펌프내 로 공급하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  58. 제 53 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  59. 제 53 항에 있어서,
    상기 안전 세정이 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  60. 극저온 펌프에서의 동력 비상 복구 방법에 있어서,
    상기 방법이,
    극저온 펌프가 복구 온도 셋팅점 이상으로 따뜻해졌는지 여부를 결정하는 단계; 및
    극저온 펌프가 상기 복구 온도 셋팅점 이상으로 따뜻해진 경우에, 세정 밸브를 개방되도록 정향하고, 세정 밸브가 일정 시간동안 개방된 상태로 잔류하는 것을 보장하는 것에 의해, 모든 동력 비상이 발생한 후에, 극저온 펌프에 복구된 동력에 반응하는 단계를 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  61. 제 60 항에 있어서,
    개방되도록 정향된 세정 밸브가 극저온 펌프에 연결된 극저온 세정 밸브 및 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브 중 적어도 하나인,
    동력 비상 복구 방법.
  62. 제 60 항에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 온도 센서가 적절히 작동하지 않는 경우에, 세정 밸브를 개방되도록 정향하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 방출하는 단계를 또한 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  63. 제 60 항에 있어서,
    동력 손실이 발생한 때에 극저온 펌프의 상태를 결정하는 단계; 및
    극저온 펌프의 작동 상태가 동력 손실시에 극저온 펌프의 재현 공정을 지시하는 경우에, 극저온 펌프의 재현을 개시하는 단계를 또한 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  64. 제 60 항에 있어서,
    복구된 동력에의 반응이 중단될 수 없음을 보장하는 단계를 또한 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  65. 제 60 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 단계가, 전체 재현 공정의 개시 없는 상태에서 세정 가스를 극저온 펌프내로 공급하는 단계를 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  66. 제 60 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 단계가, 세정 밸브를 개방 및 밀폐시키는 주기화단계를 또한 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  67. 제 60 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 단계가, 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 단계를 또한 포함하는,
    동력 비상 복구 방법.
  68. 제 60 항에 있어서,
    상기 복구 온도 셋팅점이 34 K 인,
    동력 비상 복구 방법.
  69. 극저온 펌프 제어용 전자 제어기에 있어서,
    상기 제어기가,
    극저온 펌프가 복구 온도 셋팅점 이상으로 따뜻해졌는지 여부를 결정하는 단계; 및
    상기 극저온 펌프가 복구 온도 셋팅점 이상으로 따뜻해진 경우에, 극저온 펌프의 세정 밸브를 개방되도록 정향하고, 세정 밸브가 일정 시간동안 개방 상태를 유지하도록 보장하는 단계에 의해 모든 동력 비상후에 극저온 펌프의 동력 복구에 반응을 위한 명령으로 프로그램되는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  70. 제 69 항에 있어서,
    개방되도록 정향된 상기 세정 밸브가 극저온 펌프에 연결된 어떤 극저온 세정 밸브 또는 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브인,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  71. 제 69 항에 있어서,
    동력 복구에 반응하는 상기 명령이,
    극저온 펌프에 연결된 온도 센서가 적절히 작동하지 않는 경우에 세정 밸브를 개방되도록 정향하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 분출시키는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  72. 제 69 항에 있어서,
    동력 복구에 반응하는 명령이,
    동력 손실이 발생하는 때에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하는 것; 및
    극저온 펌프의 작동 상태가 동력 손실시에 극저온 펌프가 재현 공저에 있음을 지시하는 경우에, 극저온 펌프의 재현을 개시하는 명령을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  73. 제 69 항에 있어서,
    동력 복구에 반응하는 명령이 중단될 수 없는 것인,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  74. 제 69 항에 있어서,
    세정 밸브가 개방되도록 정향하는 것은 전체 재현 공정의 개시 없이 세정 가스를 극저온 펌프내로 공급하는 것을 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  75. 제 69 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화시키는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  76. 제 69 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  77. 제 69 항에 있어서,
    상기 복구 온도 셋팅 점이 34 K 인,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  78. 극저온 펌프에 있어서,
    극저온 펌프 내부의 온도 센서;
    극저온 펌프에 연결된 세정 밸브; 및
    극저온 펌프에 연결된 전자 제어 시스템을 포함하고,
    온도 센서를 사용하여 극저온 펌프가 복구 온도 셋팅 점 이상으로 따뜻해졌 는지 여부를 결정하고, 극저온 펌프가 복구 온도 셋팅 점 이상으로 따뜻해진 경우에 세정 밸브를 개장되도록 정향하고 세정 밸브가 일정 시간동안 개방된 상태를 유지되도록 보장하는 것에 의해 모든 동력 비상후에 제어 시스템이 동력 복구에 반응하는,
    극저온 펌프.
  79. 제 78 항에 있어서,
    상기 제어기가, 세정 밸브를 개방하도록 정향하는 것에 의해 동력의 동력 복구에 반응하는 경우에, 제어기는 극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 밸브를 정향하는 것에 의해 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  80. 제 78 항에 있어서,
    상기 제어 시스템이,
    극저온 펌프 내부의 온도 센서가 적절히 작동하지 않는 경우에 세정 밸브를 개방하도록 정향시켜서 세정 가스를 극저온 펌프내로 분출시키는 것에 의해 동력의 복구에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  81. 제 78 항에 있어서,
    상기 제어 시스템이,
    동력 손실이 발생한 때에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하고, 그리고,
    극저온 펌프의 작동 상태가 동력 손실시에 극저온 펌프가 재현 공저에 있는 경우에, 극저온 펌프의 재현을 개시하는 것에 의해 동력 복구에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  82. 제 78 항에 있어서,
    동력 복구에의 반응이 중단될 수 없는,
    극저온 펌프.
  83. 제 78 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방하도록 정향하는 것이, 전체 재현 공정의 개시 없이 세정 가스를 극저온 펌프내로 공급하는 것을 포함하는,
    극저온 펌프.
  84. 제 78 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화시키는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  85. 제 78 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방되도록 정향하는 것은 정상적으로 개방된 세정 밸브를 방출하는 것을 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  86. 제 78 항에 있어서,
    상기 복구 온도 셋팅 점이 34 K 인,
    극저온 펌프.
  87. 극저온 펌프 제어 방법에 있어서,
    상기 방법이,
    소정 시간 동안 정상적으로 개방된 세정 밸브를 밀폐 상태로 유지하고, 소정 시간의 경과 후에, 세정 밸브가 개방되도록 하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 분출하도록하는 것에 의해, 극저온 펌프에 연결된 국지적 전자부를 이용하여 극저온 펌프의 잠재적 비상 상황에 반응하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  88. 제 87 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방시켜 세정 가스를 극저온 펌프내로 분출시키는 것은 또한 세정 밸브의 개방 및 밀폐의 주기화 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  89. 제 87 항에 있어서,
    세정 밸브가 개방되도록 한 후에, 잠재적인 비상 조건이 교정될 때까지 다른 어떤 시스템도 세정 밸브를 밀폐시키지 못하도록 하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  90. 제 87 항에 있어서,
    상기 국지적 전자부가, 배출 세정 밸브를 개방하여 극저온 펌프에 연결된 배출 시스템내로 세정 가스를 분출시키는 것에 의해 잠재적 비상 조건에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  91. 제 90 항에 있어서,
    배출 세정 밸브를 개방 시키는 것은 장상적으로 개방된 밸브를 분출시키는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  92. 제 90 항에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 국지적 전자부가 배출 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이 에서 주기화함으로써 잠재적인 비상 조건에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  93. 제 90 항에 있어서,
    배출 세정 밸브를 개방시키는 단계는, 잠재적인 비상 조건이 교정될 때까지, 다른 어떤 시스템이 배출 세정 밸브를 밀폐시키지 못하도록 하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  94. 제 87 항에 있어서,
    비상 조건은, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프 온도 결정의 불능의 어느 것을 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  95. 제 94 항에 있어서,
    동력 비상인 잠재적 비상 조건에 반응하는 것이,
    동력 비상전에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하고,
    작동 상태가, 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현 공정에 있음을 지시하는 경우에는, 재현 공정의 개시가 가능한지 여부를 결정하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  96. 제 87 항에 있어서,
    세정 가스가 소정 시간 동안 극저온 펌프내로 분출된 후에, 잠재적 비상 조건이 안전 조건으로 변화되는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  97. 제 87 항에 있어서,
    국지적 전자부가 극저온 펌프의 재현이 필요한지 여부를 결정하는 것에 의해 안전 조건으로 변화하는 잠재적 비상 조건에 반응하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  98. 제 87 항에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 국지적 전자부가, 게이트 밸브가 개장된 경우에 극저온 펌프의 재현을 방지함으로써 잠재적 비상 조건에 또한 반응하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  99. 극저온 펌프에 합체된 전자 제어기에 있어서,
    상기 제어기가,
    안전 기간 동안에 정상적으로 개방된 세정 밸브를 밀폐상태로 유지하고,
    안전 기간이 경과한 때에 세정 밸브를 분출시킴으로써 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키는 것에 의해 극저온 펌프에서 잠재적 비상 조건에 반응하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  100. 제 99 항에 있어서,
    세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키는 것은 잠재적 비상 조건이 교정될 때까지 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화시키는 것을 포함하는,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  101. 제 99 항에 있어서,
    상기 제어기가, 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 시스템으로 부터의 어떤 시도라도 미리 회피하는 것에 의해 극저온 펌프에서의 잠재적 비상 조건에 반응하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  102. 제 99 항에 있어서,
    상기 제어기가, 배출 라인에 연결된 배출 세정 밸브를 개방시킴으로써 극저온 펌프에 연결된 배출 라인내로 세정 가스를 정향시키는 것에 의해 극저온 펌프의 잠재적 비상 조건에 반응하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  103. 제 102 항에 있어서,
    상기 배출 세정 밸브가 정상적으로 개방된 밸브인,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  104. 제 102 항에 있어서,
    상기 세정 가스가 배출 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는 것에 의해 배출 라인내로 정향되는,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  105. 제 102 항에 있어서,
    상기 전자 제어기가, 잠재적 비상 조건이 교정될 때까지, 배출 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 시스템으로부터의 어떤 시도라도 미리 회피하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  106. 제 99 항에 있어서,
    잠재적 비상 조건은, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프 온도 결정의 불능의 어느 것을 포함하는,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  107. 제 106 항에 있어서,
    전자 제어기가,
    동력 손실이 발생한 때에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하고,
    작동 상태가, 극저온 펌프가 동력 손실시에 재현의 냉각 상태임을 지시하는 경우에는, 재현 싸이클을 개시하는 것에 의해 극저온 펌프에서 동력 손실에 반응하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  108. 제 99 항에 있어서,
    상기 제어기가, 잠재적 비상 조건이 안전 조건으로 변화한 후에 재현이 필요한지 여부를 결정하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  109. 제 99 항에 있어서,
    상기 전자 제어기가, 극저온 펌프의 게이트 밸브가 개방된 때에, 재현 절차가 이루어지는 것을 방지하도록 구성된,
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기.
  110. 극저온 펌프에 있어서,
    펌핑면을 갖는 극저온 펌프;
    극저온 펌프에 연결된 정상적으로 개방된 세정 밸브; 및
    극저온 펌프에 합체된 전자 제어기를 포함하고,
    상기 전자 제어기는 소정 기간 동안 세정 밸브를 밀폐시킴으로써 극저온 펌프의 비상 상태에 반응하고, 안전 기간이 경과한 후에도 비상 상태가 존재하는 경우에, 제어기는 세정 밸브를 개방되도록 정향하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 분출시키는 것에 의해 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  111. 제 110 항에 있어서,
    상기 세정 가스가, 비상 상태가 안전 상태로 변화될 때까지 세정 밸브를 주기적으로 개방 및 밀폐되도록 정향시키는 것에 의해 극저온 펌프내로 공급되는,
    극저온 펌프.
  112. 제 110 항에 있어서,
    상기 제어기가, 세정 가스가 극저온 펌프로 공급되는 동안에, 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 시스템으로부터의 어떤 시도라도 미리 회피시킴으로써 비상 상태에 반응하는,
    극저온 펌프.
  113. 제 110 항에 있어서,
    극저온 펌프에 연결된 배출 시스템; 및
    상기 배출 시스템에 연결된 배출 세정 밸브를 포함하고, 배출 시스템내로 세정 가스를 공급하도록 배출 세정 밸브를 개방되도록 정향시키는 것에 의해 비상 상태에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  114. 제 113 항에 있어서,
    상기 제어기가, 비상 상태가 안전 상태로 변화될 때까지, 세정 밸브를 주기적으로 개방 및 밀폐되도록 정향시키는 것에 의해 비상 상태에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  115. 제 113 항에 있어서,
    상기 제어기가, 비상 상태가 안전 상태로 변화할 때까지, 배출 세정 밸브를 제어하려는 다른 어떤 시스템으로부터의 어떤 시도라도 미리 회피하는 것에 의해 비상 상태에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  116. 제 110 항에 있어서,
    비상 상태는, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일 한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프로부터 표시되는 온도 수용 불능중의 어느것이 있을 때인,
    극저온 펌프.
  117. 제 110 항에 있어서,
    상기 제어기가, 동력 비상전에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하고,
    작동 상태가 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현 공정에 있음을 지시하는 경우에, 재현 공정이 반드시 개시되어야 하는지 여부를 결정하는 것에 의해 극저온 펌프의 동력 비상에 또한 반응하는,
    극저온 펌프.
  118. 제 110 항에 있어서,
    비상 상태가, 소정 시간의 경과후에 안전 상태로 변화되는,
    극저온 펌프.
  119. 제 110 항에 있어서,
    상기 제어기가, 극저온 펌프가 개방되어 있는 동안에, 재현 공정의 발생을 방지하도록 구성된,
    극저온 펌프.
  120. 극저온 펌프 제어 방법에 있어서,
    상기 방법이,
    동력 비상에 반응하여, 세정 밸브를 밀폐 상태로 유지하도록 적어도 하나의 캐패시터 셀로부터의 동력을 이용하는 단계; 및
    적어도 하나의 캐패시터 셀에서, 세정 밸브가 반드시 개방되어야하는 안전 시간인 방전 시간내에 방전된 에너지의 일정양을 저장하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  121. 제 120 항에 있어서,
    셀에 저장된 모든 에너지가 방전되는 때에, 극저온 세정 밸브가 개방되도록 하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  122. 제 120 항에 있어서,
    셀에 저장된 에너지의 일정양이 타이밍 기구로서 사용되는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  123. 제 120 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 캐패시터 셀이 전자화학적 셀인,
    극저온 펌프 제어 방법.
  124. 제 120 항에 있어서,
    동력 비상에 반응하는 단계는,
    극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 밸브를 개방시키고, 극저온 펌프에 연결된 게이트 밸브를 밀폐시키도록 하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  125. 제 120 항에 있어서,
    방전 시간이 5 분 미만인,
    극저온 펌프 제어 방법.
  126. 제 120 항에 있어서,
    세정 밸브가 방전 시간 미만 시간내에 세정 밸브를 개방시키는 딜래이 회로를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  127. 제 126 항에 있어서,
    상기 방전 시간 미만의 시간이 2 분인,
    극저온 펌프 제어 방법.
  128. 동력 비상에 반응하는 극저온 펌프 제어기에 있어서,
    적어도 하나의 캐패시터 셀;
    적어도 하나의 캐패시터 셀을 사용하여 동력이 공급되는 딜래이부를 포함하고, 상기 딜래이부는 세정 밸브를 밀폐상태로 유지시킴으로써 동력 비상에 반응하고, 세정 밸브가 반드시 개방되어야 하는 안전 시간인 방출 시간 내에 방출되는 에너지의 양을 상기 캐패시터 셀이 저장하는,
    극저온 펌프 제어기.
  129. 제 128 항에 있어서,
    상기 제어기가, 상기 셀에 저장된 모든 에너지가 방전되는 때에 세정 밸브를 개방시키도록 하는,
    극저온 펌프 제어기.
  130. 제 128 항에 있어서,
    상기 셀에 저장된 에너지의 양이 타이밍 기구로서 사용되는,
    극저온 펌프 제어기.
  131. 제 128 항에 있어서,
    상기 캐패시터 셀이 전자화학적 셀인,
    극저온 펌프 제어기.
  132. 제 128 항에 있어서,
    상기 제어기가,
    극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 밸브를 개방시키고,
    극저온 펌프에 연결된 게이트 밸브를 밀폐시키는 것에 의해 동력 비상에 반응하는,
    극저온 펌프 제어기.
  133. 제 128 항에 있어서,
    방전 시간이 5 분 미만인,
    극저온 펌프 제어기.
  134. 제 128 항에 있어서,
    방전 시간 미만의 시간에 세정 밸브를 개방시키는 딜래이 회로를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어기.
  135. 제 134 항에 있어서,
    방전 시간 미만의 시간이 2 분인,
    극저온 펌프 제어기.
  136. 극저온 펌프에서,
    적어도 하나의 캐패시터 셀;
    적어도 하나의 캐패시터 셀로부터 동력을 공급받는 딜래이부를 포함하고, 상기 딜래이부는 극저온 펌프에 연결된 세정 밸브를 밀폐상태로 유지시키도록 정향시킴으로써 동력 비상에 반응하고, 세정 밸브가 반드시 개방되어야 하는 안전 시간인 방전 시간 내에 방전되는 에너지의 양을 상기 캐패시터 셀이 저장하는,
    극저온 펌프.
  137. 제 136 항에 있어서,
    상기 딜래이부가, 셀에 저장된 모든 에너지가 방전되는 때에 세정 밸브를 개방시키도록 하는,
    극저온 펌프.
  138. 제 136 항에 있어서,
    상기 셀에 저장된 에너지의 양이 타이밍 기구로서 사용되는,
    극저온 펌프.
  139. 제 136 항에 있어서,
    상기 캐패시터 셀이 전자화학적 셀인,
    극저온 펌프.
  140. 제 136 항에 있어서,
    상기 극저온 펌프가,
    극저온 펌프의 배출 라인에 연결된 배출 밸브를 개방시키고,
    극저온 펌프에 연결된 게이트 밸브를 밀폐시키는 것에 의해 동력 비상에 반응하는 전자부를 포함하는,
    극저온 펌프.
  141. 제 136 항에 있어서,
    방전 시간이 5 분 미만인,
    극저온 펌프.
  142. 제 136 항에 있어서,
    방전 시간 미만의 시간에 세정 밸브를 개방시키는 딜래이 회로를 또한 포함하는,
    극저온 펌프.
  143. 제 142 항에 있어서,
    방전 시간 미만의 시간이 2 분인,
    극저온 펌프.
  144. 안전 기간 동안 기구를 활성화시키는 방법에 있어서,
    상기 방법이,
    적어도 하나의 캐패시터 셀에, 기구가 반드시 탈-활성화되어야 하는 안전 시간인 방전 시간내에 방전된 에너지의 일정 양을 저장하는 단계와,
    저장된 에너지로 기구를 활성화시키는 것에 의해 동력 비상에 반응하는 단계를 포함하는,
    기구 활성화 방법.
  145. 제 144 항에 있어서,
    상기 기구는, 제 1상태 및 제 2상태를 포함하고, 상기 제 1상태는, 잠재적인 유해 상황에 대해 탈-활성화 상태이고, 상기 제 2상태는 정상 작동에 대해 활성화 상태인,
    기구 활성화 방법.
  146. 극저온 펌프 제어 방법에 있어서,
    상기 방법이,
    극저온 펌프의 비상 조건을 결정하는 단계;
    비상 조건에 반응하여, 세정 밸브를 개방하여 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키고, 비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지 어떤 호스트 제어기라도 세정 밸브를 제어하못하게 하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  147. 제 146 항에 있어서,
    세정 밸브를 개방시키는 단계가 정상적으로 개방된 세정 밸브를 분출시키는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  148. 제 146 항에 있어서,
    상기 세정 가스를 극저온 펌프내로 정향시키는 단계는 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  149. 제 146 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하는 단계는, 배출 시스템에 연결된 배출 세정 밸브를 개방시키는 것에 의해 극저온 펌프에 연결된 배출 시스템내로 세정 가스를 정향시키는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  150. 제 149 항에 있어서,
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지, 어떤 호스트 제어기라도 배출 제성 밸브를 제어하는 것이 방지되는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  151. 제 149 항에 있어서,
    배출 세정 밸브를 개방시키는 단계는 정상적으로 개방된 배출 세정 밸브를 분출시키는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  152. 제 149 항에 있어서,
    세정 가스를 배출 시스템내로 정향시키는 단계는 배출 세정 밸브를 개방 및 밀폐 사이에서 주기화하는 단계를 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  153. 제 146 항에 있어서,
    비상 조건은, 극저온 펌프의 동력 비상; 소정 온도 임계값 보다 크거나 동일한 극저온 펌프의 온도; 또는 극저온 펌프 온도 결정의 불능의 어느 하나가 있을 때에 존재하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  154. 제 153 항에 있어서,
    동력 비상전에 극저온 펌프의 작동 상태를 결정하는 단계; 및
    작동 상태가, 동력 비상시에 극저온 펌프가 재현 공정에 있음을 지시하는 경우에는, 재현 공정의 개시가 적절한지 여부를 결정하는 단계에 의해 동력 비사에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  155. 제 146 항에 있어서,
    세정 가스가 소정 시간 동안 극저온 펌프내로 분출된 후에, 비상 조건이 안전 조건으로 변화되는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  156. 제 146 항에 있어서,
    극저온 펌프의 재현이 필요한지 여부를 결정하는 것에 의해 안전 조건으로 변화하는 비상 조건에 반응하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  157. 제 146 항에 있어서,
    게이트 밸브가 개방된 동안에 극저온 펌프의 재현을 방지하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 제어 방법.
  158. 제 146 항에 있어서,
    비상 조건에 반응하는 단계가,
    소정 시간의 경과할 때까지, 세정 가스의 극저온 펌프 내로의 정향을 딜래이하고, 어떤 호스트 제어기라도 세정 밸브를 제어하는 것을 딜래이하는 단계; 및
    소정 시간이 경과된 때에 비상 조건이 존재하는 경우에, 세정 밸브의 개방 단계를 개시하고, 어떤 호스트 제어기라도 세정 밸브를 제어하는 것을 방지하는 단계를 또한 포함하는,
    극저온 펌프 재어 방법.
  159. 극저온 펌프 제어를 위한 전자 제어기에 있어서,
    상기 제어기가,
    극저온 펌프에서 비상 조건을 결정하고,
    세정 밸브가 개방되도록 정향시킴으로써 세정 가스를 극저온 펌프내로 허용하고,
    비상 조건이 안전 조건으로 변화할 때까지 세정 밸브를 제어하려는 어떤 다른 제어기로부터의 시도라도 미리 회피하도록 하는 명령으로 프로그램된,
    극저온 펌프 제어용 전자 제어기.
  160. 제 159 항에 있어서,
    세정 밸브가 정상적으로 개방된 세정 밸브를 분출시키는 것에 의해 개방되도록 정향되는,
    극저온 펌프 제어용 제어기.
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