JP2007521438A - クライオポンプ自動安全パージの一体化 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子コントローラが、クライオポンプと一体であって、非安全状態においてクライオポンプおよび排気管をパージするためのオフラインの解決策を提供する。この電子コントローラは、クライオポンプに接続されたパージ、排気パージ、およびゲートの各バルブの開閉の制御を担当する。この電子回路は、非安全状態において、これらのバルブを制御しようとする他のシステムからのあらゆる試みをあらかじめ阻止することができる。非安全状態は、クライオポンプの停電、クライオポンプ内の危険温度、または適切に機能していない温度検出ダイオードでありうる。
【選択図】図4A
Description
図1は、本発明の一実施形態による低温真空システム100の図である。低温真空システム100が、イオン注入処理チャンバ102から気体を排出するため、イオン注入処理チャンバ102に接続されている。低温真空システム100は、少なくとも1つの低温真空ポンプ(クライオポンプ)104を備えており、通常は、クライオポンプ104へ圧縮ガスを供給するため、少なくとも1つの圧縮機(図示されていない)を備えている。さらに、低温真空システム100は、粗引きポンプ122、水ポンプ、ターボポンプ、冷却機、バルブ112、114、116、および計器を備えることができる。これらの構成要素が協働し、半導体処理のための機器など、上位のシステムに低温冷却をもたらすべく機能する。
クライオポンプ制御システム120が、図4A,4Bに示されている。この制御システム120は、ホストコントローラ106にネットワーク接続されている。ネットワークコントローラ152によって、ホスト制御システム106への通信インターフェイスを提供することができる。このようなやり方で、通常の動作の際に、ホスト制御システム106がクライオポンプ104を制御する。しかしながら、非安全状態においては、制御システム120が、他のあらゆるシステムの制御を、それらシステムからのあらゆる指令を無効にすることによって制限する。さらに、制御システム120は、あらゆるユーザによるパージバルブ112、114およびゲートバルブ116の手動制御を禁止できる。
停電の際、常時開の排気パージバルブ114が、ポンプをパージすべく開く一方で、クライオ−パージバルブ112は、安全時間中閉じた状態に保たれる。遅延なくクライオポンプ104の安全パージを開始することは、価値ある時間およびリソースの不必要な無駄遣いにつながるおそれがあるため、クライオ−パージバルブ112の開放を遅延させることが望ましい。クライオポンプ104をパージすることで、クライオポンプ内の真空が損なわれ、気体の解放が生じ、これによって次に再生が必要になるおそれがあるが、再生は可能であれば回避される。或る時間にわたってパージバルブの開放を遅延させることで、電力の保持の可能性およびパージによってクライオポンプの動作を中断させることがないコントローラ120による回復の可能性が残される。
本発明の一態様によれば、フェイルセーフなバルブの解放および時間制御機構が組み込まれている。制御システム120は、バックアップの時間制御機構を保護手段として組み入れており、所定の時間が過ぎた後にパージバルブ112を確実に開くようにしている。例えば、所定の時間が過ぎた後に、タイミング回路168がパージバルブ112の開放を許さない場合、電気化学キャパシタ170などのバックアップの電源が、フェイルセーフのパージバルブ解放機構をもたらすために使用される。
充電回路172が、電力が利用可能であるときに電気化学キャパシタ170を充電するために使用される。或る特定の状況においては、たとえキャパシタ170が数秒で完全に充電可能であっても、充電回路172によるキャパシタ170の速やかな充電を、故意に妨げることが有用な場合がある。例えば、キャパシタ170が通常どおりに充電可能であって、しかも高速かつ断続的な停電と回復とのサイクルが存在するならば、クライオポンプの温度が上昇して非安全状態になっても、パージバルブが決して開放を許されないおそれがある。具体的には、電力が回復するたびに、キャパシタ170が完全に充電できてしまう。この状況を回避するため、充電回路172が、制御された一連の電流パルスをキャパシタ170に加えることによって、キャパシタ170をきわめて低速で充電することができる。
従来の電力回復の仕組みは、ユーザまたはホストシステムによってオフにすることができ、過剰な量のリソースおよびポンプの停止時間を必要とすることがしばしばである。真空システムにおいて電力が回復したとき、ユーザは、停電回復ルーチンの中止を選択することができる。しかしながら、発火源が存在する場合、停電回復をオフにすることによって、ポンプ容器および排気系統において潜在的に危険な状況がもたらされるおそれがある。
本発明の一態様によれば、非安全状態とは、クライオポンプ104の潜在的危険を生じさせるあらゆる事柄である。例えば、非安全状態は、低温真空システム100において停電が生じているとき、クライオポンプの温度がしきい値温度レベルを超えているとき、またはクライオポンプの温度ダイオードが故障している場合に識別される。一般に、非安全状態がシステム120によって判断されたとき、ゲートバルブ116が閉じられ、クライオポンプ104および排気管118が、例えば5分などといった或る時間中パージされる。この時間中に、パージバルブ112、114を繰り返し開閉することができる。さらに、バルブ112、114、116を、ホストコントローラ106によって制御することはできない。安全パージが完了し、非安全状態が修正された後、ホストコントローラ106はクライオポンプ104を制御できる。
図6は、クライオポンプの温度がしきい値温度を超えたと判断するためのプロセスを説明するフロー図である。本発明のこの態様によれば、システム120はステップ630において、クライオポンプの温度が18Kなどの動作設定点を下回っていることを割り出す。ステップ640においてシステム120は、クライオポンプが動作設定点を下回って低温になっていることを知らせるフラグを設定する。ステップ650においてシステム120は、クライオポンプの温度が35Kなどの高温設定点まで上昇していることを割り出す。クライオポンプ104が、このパラメータを超える値まで温度上昇している場合、ステップ660に説明されるとおり、パージバルブ112、114が680で開き、ゲートバルブ114が閉じる。このときにおいて、ステップ670でホストコントローラ106は、バルブ112、114、116を制御することができない。ステップ680において、この安全パージが、5分間などといった或る特定の時間中続けられる。この5分間が経過した後、ステップ690において、ホストコントローラ106は、再びバルブ112、114、116を制御できるようになる。
図3に示したとおり、クライオポンプ104は、1つ以上の温度検出ダイオード146a、146bを備えている。温度検出ダイオード146a、146bのうちの1つが故障した場合、クライオポンプ104が非安全状態を検出できないまま運転されるおそれがあり、結果として事故が生じるおそれがある。本システムは、局所的な電子機器120を使用して、ダイオードが適切に機能しているか否かを判断する。
Claims (160)
- クライオポンプの制御方法であって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出すステップ、および
・前記非安全状態に対処し、パージバルブを開くことによってパージガスをクライオポンプへ導くとともに、非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御を防止するステップ
を含んでいる方法。 - 請求項1において、前記パージバルブを開くステップが、常時開のパージバルブを解放するステップを含んでいる方法。
- 請求項1において、前記パージガスをクライオポンプへ導くステップが、パージバルブの開閉を繰り返すステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項1において、前記非安全状態への対処が、パージガスをクライオポンプに接続された排気系統へ、前記排気系統に接続された排気パージを開くことによって導くステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項4において、前記非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによる排気パージバルブの制御を防止するステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項4において、前記排気パージを開くステップが、常時開の排気パージバルブを解放するステップを含んでいる方法。
- 請求項4において、前記パージガスを排気系統へ導くステップが、排気パージバルブの開閉を繰り返すステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項1において、クライオポンプの停電、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能が存在するときに、前記非安全状態が存在する方法。
- 請求項8において、前記停電に、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すステップ、および
・前記動作状態が、停電のときにクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、再生プロセスの開始が適切であるか否かを判断するステップ
によって対処するステップをさらに含んでいる方法。 - 請求項1において、パージガスが所定の時間にわたってクライオポンプへ導かれた後に、前記非安全状態が安全状態に変化する方法。
- 請求項1において、
・安全状態に変化する非安全状態に、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって対処するステップ
をさらに含んでいる方法。 - 請求項1において、
・クライオポンプのゲートバルブが開いている間、クライオポンプの再生を防止するステップ
をさらに含んでいる方法。 - 請求項1において、前記非安全状態への対処が、
・所定の時間が経過するまで、クライオポンプへのパージガスの導入を遅延させ、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を遅延させるステップ、および
・前記所定の時間の経過後に非安全状態が依然として存在している場合に、パージバルブを開くことおよびすべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を開始するステップ
をさらに含んでいる方法。 - クライオポンプを制御するための電子コントローラであって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出すための命令、
・パージバルブに開くよう指示することによって、クライオポンプへのパージガスの進入を許可するための命令、および
・非安全状態が安全状態に変化するまで、パージバルブを制御しようとする他のすべてのコントローラからのすべての試みをあらかじめ阻止するための命令
でプログラムされている電子コントローラ。 - 請求項14において、常時開のパージバルブを解放することによって、前記パージバルブが開くよう指示される電子コントローラ。
- 請求項14において、前記クライオポンプへのパージガスの進入の許可が、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項14において、前記非安全状態に対処するための命令が、
・非安全状態が安全状態に変化するまで、クライオポンプに接続された排気管へのパージガスの進入を、前記排気管に接続された排気パージバルブに開くよう指示することによって許可するための命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項17において、前記非安全状態が安全状態に変化するまで、前記排気パージバルブを制御しようとする他のすべてのコントローラからのすべての試みをあらかじめ阻止することをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項17において、前記排気に開くよう指示することが、常時開のパージバルブを解放することを含んでいる電子コントローラ。
- 請求項17において、前記排気パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項14において、前記非安全状態が、クライオポンプの停電、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能を含んでいる電子コントローラ。
- 請求項21において、停電である非安全状態に対処するための命令が、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すための命令、および
・前記動作状態が、停電のときにクライオポンプが再生プロセスの冷却段階にあったことを示している場合に、再生サイクルを開始させるための命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項14において、前記パージガスのクライオポンプへの進入が所定の時間にわたって許可された後に、前記非安全状態が安全状態に変化する電子コントローラ。
- 請求項14において、
・安全状態に変化する非安全状態に、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって対処する命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項14において、
・クライオポンプのゲートバルブが開いている間、クライオポンプの再生を防止する命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項14において、前記非安全状態に対処するための命令が、
・所定の時間にわたって、クライオポンプへパージガスを導く命令を遅延させ、パージバルブを制御しようとする他のすべてのコントローラからのすべての試みのあらかじめの阻止を遅延させる命令、および
・前記所定の時間の経過後に非安全状態が依然として存在している場合に、クライオポンプへパージガスを導く命令を開始させ、パージバルブを制御しようとする他のすべてのコントローラからのすべての試みのあらかじめの阻止を開始する命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - クライオポンプであって、
・ポンピング表面を有するクライオポンプチャンバ、
・当該クライオポンプに接続されたパージバルブ、および
・当該クライオポンプを制御する電子コントローラ
を備え、
前記電子コントローラが、当該クライオポンプが安全状態、非安全状態のいずれで動作しているかを割り出すことができ、前記パージバルブが、非安全状態に対処して前記電子コントローラによって自動的に制御され、前記電子コントローラが、他のすべてのシステムに優先するクライオポンプ。 - 請求項27において、非安全状態に対処し、前記電子コントローラが、常時開のバルブを解放することによって前記パージバルブを開くクライオポンプ。
- 請求項28において、さらに前記電子コントローラが、前記パージバルブの開閉を繰り返すことによって非安全状態に対処するクライオポンプ。
- 請求項28において、さらに前記電子コントローラが、
・前記パージバルブを開くのを所定の時間の経過後まで待つこと、および
・前記所定の時間が経過し、かつ非安全状態のままである場合、前記パージバルブを開くこと
によって非安全状態に対処するクライオポンプ。 - 請求項27において、非安全状態の間前記電子コントローラが他のすべてのシステムに優先するクライオポンプ。
- 請求項27において、
・クライオポンプに接続された排気管、および
・その排気管に接続された排気パージバルブ
をさらに備えており、
前記電子コントローラが、
・前記排気パージバルブを自動的に制御すること、および
・常時開のバルブを解放することにより前記排気パージバルブを開くこと
によって非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。 - 請求項31において、前記電子コントローラが、前記排気パージバルブの開閉を繰り返すことによって非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。
- 請求項27において、前記非安全状態が、停電、所定の温度しきい値以上のポンピング表面の温度、またはポンピング表面の温度の割り出し不能を含んでいるクライオポンプ。
- 請求項27において、さらに前記電子コントローラが、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、停電のときにクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、再生プロセスの開始が適切であるか否かを判断すること
によって非安全状態に対処するクライオポンプ。 - 請求項27において、所定の時間の経過後に前記非安全状態が安全状態に変化するクライオポンプ。
- 請求項27において、前記電子コントローラが、安全状態に変化する非安全状態に、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって対処するクライオポンプ。
- 請求項27において、前記電子コントローラが、クライオポンプのゲートバルブが開いている間、クライオポンプの再生を防止するようにプログラムされているクライオポンプ。
- クライオポンプの制御方法であって、
・温度センサが適切に機能しているか否かを判断するステップ、および
・パージバルブに開くよう指示することによって、適切に機能していない温度センサに対処するステップ
を含んでいる方法。 - 請求項39において、前記パージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブである方法。
- 請求項39において、前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持する方法。
- 請求項41において、前記パージバルブを或る時間にわたって維持することが、他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
- 請求項41において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給するステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項39において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、パージバルブの開閉を繰り返すステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項39において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、常時開のパージバルブを解放するステップをさらに含んでいる方法。
- クライオポンプに接続された1つ以上の温度センサを監視する電子コントローラであって、
・クライオポンプに接続された1つ以上の温度センサの動作状態を割り出すための命令、および
・前記温度センサの1つが機能していないと割り出された場合に、安全パージを開始する命令
でプログラムされている電子コントローラ。 - 請求項46において、前記安全パージが、パージバルブを限られた時間にわたって開状態に維持することを含んでいる電子コントローラ。
- 請求項47において、前記パージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブを含んでいる電子コントローラ。
- 請求項46において、前記電子コントローラが、安全パージを中止できないように保証している電子コントローラ。
- 請求項46において、前記安全パージが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給することをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項46において、前記安全パージが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項46において、前記安全パージが、常時開のパージバルブを解放することをさらに含んでいる電子コントローラ。
- クライオポンプであって、
・当該クライオポンプに接続されたパージバルブ、
・当該クライオポンプに接続された1つ以上の温度センサ、および
・当該クライオポンプに接続された電子コントローラ
を有しており、
前記電子コントローラが、前記温度センサのいずれかが故障しているか否かを判断するように構成されており、前記温度センサのうちの1つが故障しているとき、前記電子コントローラが安全パージを開始させるクライオポンプ。 - 請求項53において、前記安全パージが、パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持することを含んでいるクライオポンプ。
- 請求項53において、前記パージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブを含んでいるクライオポンプ。
- 請求項53において、前記コントローラが、安全パージを中止できないように保証しているクライオポンプ。
- 請求項53において、前記安全パージが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給することをさらに含んでいるクライオポンプ。
- 請求項53において、前記安全パージが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいるクライオポンプ。
- 請求項53において、前記安全パージが、常時開のパージバルブを解放することをさらに含んでいるクライオポンプ。
- クライオポンプにおける停電回復方法であって、
停電ごとに、クライオポンプにおける電力の回復に、
・クライオポンプが回復温度設定点を超えて温度上昇しているか否かを判断すること、および
・クライオポンプが前記回復温度設定点を超えて温度上昇している場合に、パージバルブに開くよう指示し、かつ前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持するのを保証すること
によって対処することを含んでいる停電回復方法。 - 請求項60において、前記開くよう指示されるパージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブを含んでいる停電回復方法。
- 請求項60において、
・クライオポンプに接続された温度センサが適切に機能していない場合に、パージバルブに開くよう指示して、クライオポンプへパージガスを放出すること
をさらに含んでいる停電回復方法。 - 請求項60において、
・電力喪失が生じたときのクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、電力喪失の時点においてクライオポンプが再生中であったことを示している場合に、クライオポンプの再生を開始すること
をさらに含んでいる停電回復方法。 - 請求項60において、前記電力の回復への対処を中止できないように保証することをさらに含んでいる停電回復方法。
- 請求項60において、前記パージバルブに開くよう指示することが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給することを含んでいる停電回復方法。
- 請求項60において、前記パージバルブに開くよう指示することが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる停電回復方法。
- 請求項60において、前記パージバルブに開くよう指示することが、常時開のパージバルブを解放することをさらに含んでいる停電回復方法。
- 請求項60において、前記回復温度設定点が34Kである停電回復方法。
- クライオポンプを制御するための電子コントローラであって、
停電ごとのクライオポンプにおける電力の回復に、
・クライオポンプが回復温度設定点を超えて温度上昇しているか否かを判断すること、および
・クライオポンプが前記回復温度設定点を超えて温度上昇している場合に、クライオポンプのパージバルブに開くよう指示し、かつ前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持するのを保証すること
によって対処するための命令でプログラムされている電子コントローラ。 - 請求項69において、前記開くよう指示されるパージバルブが、クライオポンプに接続された任意のクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された任意の排気パージバルブである電子コントローラ。
- 請求項69において、前記電力の回復に対処するための命令が、
・クライオポンプに接続された温度センサが適切に機能していない場合に、パージバルブに開くよう指示して、クライオポンプへパージガスを放出するための命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項69において、前記電力の回復に対処するための命令が、
・電力喪失が生じたときのクライオポンプの動作状態を割り出すための命令、および
・クライオポンプの動作状態が、電力喪失の時点においてクライオポンプが再生中であったことを示している場合に、クライオポンプの再生を開始するための命令
をさらに含んでいる電子コントローラ。 - 請求項69において、前記電力の回復に対処するための命令を中止できない電子コントローラ。
- 請求項69において、前記パージバルブに開くよう指示することが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給することを含んでいる電子コントローラ。
- 請求項69において、前記パージバルブに開くよう指示することが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項69において、前記パージバルブに開くよう指示することが、常時開のパージバルブを解放することをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項69において、前記回復温度設定点が34Kである電子コントローラ。
- クライオポンプであって、
・当該クライオポンプ内の温度センサ、
・当該クライオポンプに接続されたパージバルブ、および
・当該クライオポンプに接続された電子制御システム
を備えており、
停電ごとに前記電子制御システムが電力の回復に、
・前記温度センサを使用し、当該クライオポンプが回復温度設定点を超えて温度上昇しているか否かを判断すること、および
・当該クライオポンプが前記回復温度設定点を超えて温度上昇している場合に、前記パージバルブに開くよう指示し、かつ前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持するのを保証すること
によって対処するクライオポンプ。 - 請求項78において、前記電子制御システムが、前記パージバルブに開くよう指示することによって電力の回復に対処する場合に、さらに前記電子制御システムが、クライオポンプの排気管に接続された排気バルブに開くよう指示することによって対処するクライオポンプ。
- 請求項78において、さらに前記電子制御システムが、
・クライオポンプ内の温度センサが適切に機能していない場合に、パージバルブに開くよう指示して、クライオポンプへパージガスを放出すること
によって電力の回復に対処するクライオポンプ。 - 請求項78において、さらに前記電子制御システムが、
・電力の喪失が生じたときのクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、電力喪失の時点においてクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、クライオポンプの再生を開始すること
によって電力の回復に対処するクライオポンプ。 - 請求項78において、前記電力の回復への対処を中止できないクライオポンプ。
- 請求項78において、前記パージバルブに開くよう指示することが、再生プロセス全体を開始させることなくクライオポンプへパージガスを供給することを含んでいるクライオポンプ。
- 請求項78において、前記パージバルブに開くよう指示することが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいるクライオポンプ。
- 請求項78において、前記パージバルブに開くよう指示することが、常時開のパージバルブを解放することをさらに含んでいるクライオポンプ。
- 請求項78において、前記回復温度設定点が34Kであるクライオポンプ。
- クライオポンプの制御方法であって、
クライオポンプに接続された局所的な電子機器を使用して、クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に、
・常時開のパージバルブを所定の時間にわたって閉状態に維持すること、および
・前記所定の時間の経過後に、パージバルブが開くことを可能にしてクライオポンプへパージガスを放出すること
によって対処することを含んでいるクライオポンプの制御方法。 - 請求項87において、前記パージバルブが開くことを可能にしてクライオポンプへパージガスを放出することが、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項87において、前記パージバルブが開くことを可能にした後、前記潜在的な非安全状態が修正されるまで、他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項87において、さらに前記局所的な電子機器が、排気パージバルブを開いてクライオポンプに接続された排気系統へパージガスを放出することによって、前記潜在的な非安全状態に対処するクライオポンプの制御方法。
- 請求項90において、前記排気パージバルブを開くことが、常時開のバルブを解放することを含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項90において、さらに前記局所的な電子機器が、前記排気パージバルブの開閉を繰り返すことによって、前記潜在的な非安全状態に対処するクライオポンプの制御方法。
- 請求項90において、前記排気パージバルブを開くことが、前記潜在的な非安全状態が修正されるまで、他のすべてのシステムによる前記排気パージバルブの閉鎖を防止することを含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項87において、前記潜在的な非安全状態が、クライオポンプの停電、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能を含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項94において、前記停電である潜在的な非安全状態への対処が、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、停電のときにクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、再生プロセスの開始が可能であるか否かを判断すること
をさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。 - 請求項87において、前記潜在的な非安全状態が、パージガスが或る時間にわたってクライオポンプへ放出された後に安全状態に変化するクライオポンプの制御方法。
- 請求項87において、前記局所的な電子機器が、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって、安全状態に変化する潜在的な非安全状態に対処するクライオポンプの制御方法。
- 請求項87において、さらに前記局所的な電子機器が、ゲートバルブが開いている場合にクライオポンプの再生を防止することによって、潜在的な非安全状態に対処するクライオポンプの制御方法。
- クライオポンプと一体の電子コントローラであって、クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に、
・常時開のパージバルブを安全時間にわたって閉状態に維持すること、および
・前記安全時間が経過したとき、前記パージバルブを解放することによってパージガスをクライオポンプへ導くこと
によって対処するように構成された電子コントローラ。 - 請求項99において、前記パージガスをクライオポンプへ導くことが、潜在的な非安全状態が修正されるまで、パージバルブの開閉を繰り返すことをさらに含んでいる電子コントローラ。
- 請求項99において、前記パージバルブを制御しようとする他のすべてのシステムのすべての試みをあらかじめ阻止することによって、クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に対処するようにさらに構成されている電子コントローラ。
- 請求項99において、パージガスをクライオポンプに接続された排気管へ、その排気管に接続された排気パージバルブを開いて導くことによって、クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に対処するようにさらに構成されている電子コントローラ。
- 請求項102において、前記排気パージバルブが、常時開のバルブである電子コントローラ。
- 請求項102において、パージガスが、前記排気パージバルブの開閉を繰り返すことによって前記排気管へ導かれる電子コントローラ。
- 請求項102において、前記潜在的な非安全状態が修正されるまで、前記排気パージバルブを制御しようとする他のすべてのシステムのすべての試みをあらかじめ阻止するようにさらに構成されている電子コントローラ。
- 請求項99において、前記潜在的な非安全状態が、クライオポンプにおける電力の喪失、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能を含んでいる電子コントローラ。
- 請求項106において、クライオポンプにおける電力の喪失に、
・電力の喪失が生じたときのクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、電力の喪失が生じたときに再生の冷却段階にあったことを示している場合に、再生サイクルを開始すること
によって対処するようにさらに構成されている電子コントローラ。 - 請求項99において、前記潜在的な非安全状態が安全状態に変化した後に再生が必要であるか否かを判断するようにさらに構成されている電子コントローラ。
- 請求項99において、クライオポンプのゲートバルブが開いているとき、再生ルーチンの発生を防止するようにさらに構成されている電子コントローラ。
- クライオポンプであって、
・ポンピング表面を有するクライオポンプチャンバ、
・当該クライオポンプに接続された常時開のパージバルブ、および
・当該クライオポンプと一体の電子コントローラ
を備えており、
前記電子コントローラが、当該クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に、前記パージバルブを安全時間にわたって閉鎖することによって対処し、前記安全時間の経過後に依然として非安全状態のままである場合に、前記電子コントローラが、前記パージバルブに開くよう指示して当該クライオポンプへパージガスを供給することによってさらに対処するクライオポンプ。 - 請求項110において、前記非安全状態が安全状態に変化するまで、前記パージバルブの開閉の繰り返しをさらに指示することによって、パージガスがクライオポンプへ供給されるクライオポンプ。
- 請求項110において、パージガスがクライオポンプへ供給されている間、前記電子コントローラが、前記パージバルブを制御しようとする他のすべてのシステムのすべての試みをあらかじめ阻止することによって、前記非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。
- 請求項110において、
・クライオポンプに接続された排気系統、および
・その排気系統に接続された排気パージバルブ
をさらに備えており、
前記電子コントローラが、前記排気パージバルブに開くよう指示して前記排気系統へパージガスを導くことによって非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。 - 請求項113において、前記電子コントローラが、非安全状態が安全状態に変化するまで、前記排気パージバルブの開閉の繰り返しを指示することによって非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。
- 請求項113において、前記電子コントローラが、非安全状態が安全状態に変化するまで、前記排気パージバルブを制御しようとする他のすべてのシステムのすべての試みをあらかじめ阻止することによって非安全状態にさらに対処するクライオポンプ。
- 請求項110において、クライオポンプの停電、温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプからの温度読み取り値の受信の失敗が存在するとき、非安全状態が存在するクライオポンプ。
- 請求項110において、前記コントローラが、クライオポンプの停電に、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すこと、および
・前記動作状態が、停電時にクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、再生プロセスを開始すべきか否かを判断すること
によってさらに対処するクライオポンプ。 - 請求項110において、所定の時間の経過後に前記非安全状態が安全状態に変化するクライオポンプ。
- 請求項110において、前記電子コントローラが、前記クライオポンプのゲートバルブが開いている間、再生プロセスの発生を防止するように構成されているクライオポンプ。
- クライオポンプの制御方法であって、
・停電に対処し、少なくとも1つのキャパシタセルからの電力を使用してパージバルブを閉状態に維持すること、および
・前記キャパシタセルに、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存すること
を含んでおり、
前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない安全時間であるクライオポンプの制御方法。 - 請求項120において、前記キャパシタセルに保存されたすべてのエネルギーが放電されたとき、クライオ−パージバルブを開くことをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項120において、前記キャパシタセルに保存されたエネルギーの量が、時限装置として使用されるクライオポンプの制御方法。
- 請求項120において、前記キャパシタセルが、電気化学セルであるクライオポンプの制御方法。
- 請求項120において、前記停電への対処が、
・クライオポンプの排気管に接続された排気バルブを開くこと、および
・クライオポンプに接続されたゲートバルブを閉じること
をさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。 - 請求項120において、前記放電時間が5分未満であるクライオポンプの制御方法。
- 請求項120において、前記放電時間未満の時間で前記パージバルブを開く遅延回路をさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
- 請求項126において、前記放電時間未満の時間が2分であるクライオポンプの制御方法。
- 停電に対処するクライオポンプコントローラであって、
・少なくとも1つのキャパシタセル、および
・前記キャパシタセルを使用して駆動され、パージバルブを閉状態に維持することによって停電に対処する遅延
を備えており、
前記キャパシタセルが、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存し、前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない安全時間であるクライオポンプコントローラ。 - 請求項128において、前記キャパシタセルに保存されたすべてのエネルギーが放電されたとき、パージバルブを開くクライオポンプコントローラ。
- 請求項128において、前記キャパシタセルに保存されたエネルギーの量が、時限装置として使用されるクライオポンプコントローラ。
- 請求項128において、前記キャパシタセルが電気化学セルであるクライオポンプコントローラ。
- 請求項128において、前記停電に、
・クライオポンプの排気管に接続された排気バルブを開くこと、および
・クライオポンプに接続されたゲートバルブを閉じること
によって対処するクライオポンプコントローラ。 - 請求項128において、前記放電時間が5分未満であるクライオポンプコントローラ。
- 請求項128において、前記放電時間未満の時間で前記パージバルブを開く遅延回路をさらに含んでいるクライオポンプコントローラ。
- 請求項134において、前記放電時間未満の時間が2分であるクライオポンプコントローラ。
- クライオポンプであって、
・少なくとも1つのキャパシタセル、および
・前記キャパシタセルで駆動され、前記クライオポンプに接続されたパージバルブを閉状態に維持するよう指示することによって停電に対処する遅延
を備えており、
前記キャパシタセルが、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存し、前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない安全時間であるクライオポンプ。 - 請求項136において、前記遅延が、前記キャパシタセルに保存されたすべてのエネルギーが放電されたとき、前記パージバルブを開くクライオポンプ。
- 請求項136において、前記キャパシタセルに保存されたエネルギーの量が、時限装置として使用されるクライオポンプ。
- 請求項136において、前記キャパシタセルが電気化学セルであるクライオポンプ。
- 請求項136において、
・クライオポンプの排気管に接続された排気バルブを開くこと、および
・クライオポンプに接続されたゲートバルブを閉じること
によって停電に対処する電子機器を備えているクライオポンプ。 - 請求項136において、前記放電時間が5分未満であるクライオポンプ。
- 請求項136において、前記放電時間未満の時間でパージバルブを開く遅延回路をさらに含んでいるクライオポンプ。
- 請求項142において、前記放電時間未満の時間が2分であるクライオポンプ。
- 或る安全時間にわたって或る機構を駆動するための方法であって、
・少なくとも1つのキャパシタセルに、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存し、前記放電時間が、それまでに前記機構が非駆動とされなければならない安全時間であること、および
・停電に、前記保存したエネルギーで前記機構を駆動することによって対処すること
を含んでいる方法。 - 請求項144において、前記機構が、第1の状態および第2の状態を含んでおり、前記第1の状態が、潜在的な危険状態に対応する非駆動状態であって、前記第2の状態が、通常の動作に対応する駆動状態である方法。
- クライオポンプの制御方法であって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出すステップ、および
・前記非安全状態に対処し、パージバルブを開くことによってパージガスをクライオポンプへ導くとともに、非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御を防止するステップ
を含んでいる方法。 - 請求項146において、前記パージバルブを開くステップが、常時開のパージバルブを解放するステップを含んでいる方法。
- 請求項146において、前記パージガスをクライオポンプへ導くステップが、パージバルブの開閉を繰り返すステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項146において、前記非安全状態への対処が、パージガスをクライオポンプに接続された排気系統へ、前記排気系統に接続された排気パージを開くことによって導くステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項149において、前記非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによる排気パージバルブの制御を防止するステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項149において、前記排気パージを開くステップが、常時開の排気パージバルブを解放するステップを含んでいる方法。
- 請求項149において、前記パージガスを排気系統へ導くステップが、排気パージバルブの開閉を繰り返すステップをさらに含んでいる方法。
- 請求項146において、クライオポンプの停電、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能が存在するときに、前記非安全状態が存在する方法。
- 請求項153において、前記停電に、
・停電前のクライオポンプの動作状態を割り出すステップ、および
・前記動作状態が、停電のときにクライオポンプが再生プロセス中であったことを示している場合に、再生プロセスの開始が適切であるか否かを判断するステップ
によって対処するステップをさらに含んでいる方法。 - 請求項146において、パージガスが所定の時間にわたってクライオポンプへ導かれた後に、前記非安全状態が安全状態に変化する方法。
- 請求項146において、
・安全状態に変化する非安全状態に、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって対処するステップ
をさらに含んでいる方法。 - 請求項146において、
・クライオポンプのゲートバルブが開いている間、クライオポンプの再生を防止するステップ
をさらに含んでいる方法。 - 請求項146において、前記非安全状態への対処が、
・所定の時間が経過するまで、クライオポンプへのパージガスの導入を遅延させ、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を遅延させるステップ、および
・前記所定の時間の経過後に非安全状態が依然として存在している場合に、パージバルブを開くことおよびすべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を開始するステップ
をさらに含んでいる方法。 - クライオポンプを制御するための電子コントローラであって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出すための命令、
・パージバルブに開くよう指示することによって、クライオポンプへのパージガスの進入を許可するための命令、および
・非安全状態が安全状態に変化するまで、パージバルブを制御しようとする他のすべてのコントローラからのすべての試みをあらかじめ阻止するための命令
でプログラムされている電子コントローラ。 - 請求項159において、常時開のパージバルブを解放することによって、前記パージバルブが開くよう指示される電子コントローラ。
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