KR20050116704A - 솔더 접합 신뢰도(sjr)를 높일 수 있는 인쇄회로기판및 이를 이용한 반도체 패키지 모듈 - Google Patents
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Abstract
솔더 접합 신뢰도(SJR: Solder Joint Reliability)를 높일 수 있는 인쇄회로기판 및 이를 이용한 반도체 패키지 모듈에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은 절연층과 인쇄회로패턴이 교대로 적층된 다층 구조의 인쇄회로기판과, 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 반도체 패키지의 솔더볼이 연결되는 제1 단자와, 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 다른 인쇄회로기판과 연결될 수 있는 기능을 수행하는 제2 단자와, 제1 단자 하부에 형성되는 절연층으로서 반도체 패키지와 제1 단자 사이의 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 재질의 완충층을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판과 상기 인쇄회로기판에 반도체 패키지가 탑재된 반도체 패키지 모듈을 제공한다.
Description
본 발명은 모듈용 인쇄회로기판 및 이를 이용한 반도체 패키지 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지와 인쇄회로기판 사이에 발생하는 열팽창계수의 차이로 인한 응력(stress)에 의해 악화되는 솔더 접합 신뢰도를 높일 수 있는 모듈용 인쇄회로기판 및 이를 이용한 반도체 패키지 모듈에 관한 것이다.
웨이퍼 상태에서 반도체 패키지의 조립 공정(assembly process)이 구현되는 웨이퍼 레벨 패키지(WLP: Wafer Level Package)는 기존의 와이어 본딩 방식에 의한 플라스틱 패키지(plastic package)를 대체하는 진보된 형태의 반도체 패키지이다. 따라서 최근 수년간 웨이퍼 레벨 패키지(WLP)에 대한 많은 관심과 연구 개발이 진행되어 왔다. 이러한 웨이퍼 레벨 패키지는 단독으로 사용되기도 하지만, 최근에는 인쇄회로기판 위에 복수개가 탑재되는 반도체 패키지 모듈에도 폭넓게 응용되고 있다.
도 1은 일반적인 반도체 패키지 모듈의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 통상 반도체 패키지 모듈(50)에 있어서, 웨이퍼 레벨 패키지(30)는 인쇄회로기판(40)의 단면 혹은 양면에 솔더 범프(solder bump) 혹은 솔더볼(solder ball, 10)을 통하여 탑재된다. 상기 솔더볼(10) 혹은 솔더 범프는 웨이퍼 레벨 패키지(30)의 하부에 형성되어 있다. 상기 인쇄회로기판(40)에는 다른 인쇄회로기판, 예컨대 마더 보드(mother board)에 전기적 연결을 위한 연결단자로서 탭(TAB, 20)이 형성되어 있다.
상기 웨이퍼 레벨 패키지(30)가 탑재된 반도체 패키지 모듈(50)은 신뢰성 확인을 위하여 여러 종류의 검사를 받게 된다. 그 중에 하나가 온도적응검사(Temperature cycling test)이다. 신뢰성 검사중에 하나인 온도적응검사는, 반도체 패키지 모듈을 -55℃와 125℃에서 각각 5분 혹은 10분씩 방치하는 과정을 반복하면서 온도변화에 따른 반도체 패키지 모듈의 내부 상태 및 기능을 점검하는 검사이다.
그러나 웨이퍼 레벨 패키지(30)가 탑재된 일반적인 반도체 패키지 모듈(50)의 경우, 인쇄회로기판(40)의 가장자리에 탑재된 웨이퍼 레벨 패키지(30)가 반도체 패키지(30)와 인쇄회로기판(40)과의 열팽창계수 차이에 의한 응력(stress)을 가장 심하게 받게 된다. 이에 따라 웨이퍼 레벨 패키지(30)와 인쇄회로기판(40)을 연결하는 솔더, 예컨대 솔더 범프 혹은 솔더볼에 결함(defects)이 발생된다.
도 2는 상기 도 1의 II-II' 부분에 대한 절단면도이다.
도 2를 참조하면, 다층기판 형태의 인쇄회로기판(40)에는 절연층(41, 43, 45, 47)과 인쇄회로패턴(42, 44, 46)이 교대로 형성되어 있다. 또한 인쇄회로기판(40)의 외부로 노출된 표면에는 다른 인쇄회로기판과의 연결을 위한 패드(42)와 웨이퍼 레벨 패키지(30)의 솔더볼(10)이 부착되기 위한 패드(46)가 각각 형성되어 있다.
상기 웨이퍼 레벨 패키지(30)의 반도체 칩(32) 위에는 본드패드(31), 패시베이션층(passivation layer, 36), 본드패드 재배치 패턴(33), 제1 및 제2 절연막(34, 35) 등이 형성되어 있으며, 웨이퍼 레벨 패키지(30)의 외부연결단자인 솔더볼(10)을 통해 상기 인쇄회로기판(40)에 부착되어 있다.
도 3은 일반적인 반도체 패키지 모듈을 사용하여 온도적응검사를 수행하였을 때 발생된 결함을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 온도적응검사(Temperature cycling test)와 같은 신뢰도 검사를 진행하면 솔더볼(10')은 웨이퍼 레벨 패키지(30)와 인쇄회로기판(40) 사이의 열팽창 계수의 차이로 인한 응력(stress)을 반도체 패키지 모듈내의 가장자리에서 최대로 받게 된다. 이에 따라 솔더볼에 크랙(crack, 12, 14)이 발생하게 된다. 이러한 크랙은 웨이퍼 레벨 패키지(30) 방향, 혹은 인쇄회로기판(40) 방향에서 모두 발생할 수 있다.
상술한 솔더볼에서 발생하는 솔더 접합 신뢰도 악화 문제를 해결하기 위하여 BGA와 같은 반도체 패키지 내부에 엘라스토머(elastomer)를 사용하여 솔더볼에 집중되는 응력을 완화시키는 기술이 미국 특허 US 5,777,379호에 의해 제안된 바 있다. 그러나 이는 반도체 패키지 방향(30)에서 솔더볼에 발생하는 크랙을 방지하는 기술일 뿐, 인쇄회로기판(40) 방향에서 솔더볼(10')에 발생하는 크랙(crack, 12)을 해결하는 데에는 한계를 갖는다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점들을 해결할 수 있는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판을 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 문제점들을 해결할 수 있도록 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈을 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위해 본 발명에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판은, 절연층과 인쇄회로패턴이 교대로 적층된 다층 구조의 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 반도체 패키지의 솔더볼이 연결되어 연결되는 제1 단자와, 상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 다른 인쇄회로기판과 연결될 수 있는 기능을 수행하는 제2 단자와, 상기 제1 단자 하부에 형성되는 절연층으로서 반도체 패키지와 제1 단자 사이의 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 재질의 완충층을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 완충층은 상기 제1 단자 밑에 부분적으로 형성되고 엘라스토머 혹은 엘라스토머와 금속의 혼합 구조일 수 있다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 다층기판 구조이고 반도체 패키지가 탑재될 수 있는 제1 단자와 머더 보드(mother board)에 연결될 수 있는 제2 단자가 형성된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판의 제1 단자 하부에 형성되고 반도체 패키지와 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 소재 재질의 완충층과, 상기 인쇄회로기판에 제1 단자를 통해 탑재되는 반도체 패키지를 구비하는 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 반도체 패키지는 웨이퍼 레벨 패키지(WLP)로서, 상기 인쇄회로기판의 제1 단자에 연결되는 솔더볼과 접하는 입출력 패드 위에 열팽창계수 차이에 의한 응력을 흡수할 수 있는 구조물, 예컨대 입체 구조의 기둥형 UBM(Under Bump Metal)이 형성된 것이 적합하다.
본 발명에 따르면, 인쇄회로기판은 솔더볼과 연결되는 제1 단자 하부에 완충층이 형성되고, 반도체 패키지는 솔더볼과 연결되는 입출력 패드 위에 입체 형상의 기둥형 UBM이 형성되어 인쇄회로기판과 반도체 패키지의 열팽창계수 차이로 인해 솔더볼에 집중되는 응력을 완화시켜 전체적으로 반도체 패키지 모듈의 솔더접합 신뢰도(SJR)를 개선할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 아래의 상세한 설명에서 개시되는 실시예는 본 발명을 한정하려는 의미가 아니라, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게, 본 발명의 개시가 실시 가능한 형태로 완전해지도록 발명의 범주를 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판(100)은, 절연층(102, 106, 116)과 인쇄회로패턴(103, 108, 114)이 교대로 적층된 다층 구조의 인쇄회로기판이다. 본 발명에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판(100)은, 상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 반도체 패키지의 솔더볼이 연결되어 연결되는 제1 단자(118)가 형성되어 있다. 또한, 상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 다른 인쇄회로기판과 연결될 수 있는 기능을 수행하는 제2 단자(120)가 형성되어 있다.
또한 본 발명에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판(100)은, 상기 제1 단자(118) 하부에 형성되는 절연층으로서 반도체 패키지와 제1 단자(118) 사이의 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 재질의 완충층(110)을 포함한다.
이때, 상기 완충층(110)은 상기 제1 단자(118) 아래에 부분적으로 형성되어 솔더볼에 응력이 집중될 때, 상기 응력을 흡수할 수 있는 엘라스토머 재질이다. 바람직하게는 상기 완충층(110)은 감광성 엘라스토머 재질이기 때문에 제1 단자(118) 아래에 부분적으로 형성하기가 유리하다. 그러나 필요에 따라 상기 완충층(110)은 인쇄회로기판(100) 전체에 형성될 수도 있다.
따라서 PSR(photo solder resist) 재질의 다른 절연막(102, 106, 116)과 같이 응력을 흡수할 수 없는 재질이 아닌 엘라스토머(elastomer) 재질이기 때문에 온도적응검사(Temperature cycling test)를 수행하는 과정에서 솔더볼에 응력이 집중될 때, 상기 완충층(110)에서 응력을 흡수하여 솔더볼에 크랙(crack) 결함이 발생하는 것을 막는 역할을 한다.
상기 완충층(110)을 갖는 인쇄회로기판(100)은 다양한 방법으로 제조될 수 있으나 아래의 도 5 내지 도 9를 참조하여 제조방법에 대한 일 예를 설명한다.
먼저 제1 PSR(Photo Solder Resist)층(102)을 형성하고 상기 제1 PSR층(102) 위에 제1 인쇄회로패턴(103)을 통상의 방법에 따라 형성한다. 이어서 상기 제1 인쇄회로패턴(103)이 형성된 결과물에 제2 PSR층(106)을 형성한 후, 사진 및 식각 공정을 진행하여 상기 제1 인쇄회로패턴(103)의 일부를 노출시키는 제1 비아홀(via hole, 104)을 형성한다. 계속해서 상기 비아홀(104)을 도전층으로 채우는 도금 공정(plating process)을 진행한 후, 상기 도전층과 연결되는 제2 인쇄회로패턴(108)을 통상의 방법에 따라 형성한다.
상기 제2 인쇄회로패턴(108)이 형성된 결과물 상에 완충층(110) 형성을 위한 절연물질, 예를 들면 감광성을 갖는 엘라스토머층을 형성한다. 그 후, 상기 제2 인쇄회로패턴(108)을 노출시키는 제2 비아홀(112)을 형성한다. 그 후, 상기 제2 비아홀(112)을 도금 공정을 통하여 도전층으로 채운다. 계속해서 상기 완충층(110) 위에 도전층과 연결되는 제3 인쇄회로패턴(114)을 형성한다.
상기 제3 인쇄회로패턴(114)이 형성된 결과물 상에 제3 PSR층(116)을 형성하고 사진 및 식각을 진행하여 제3 인쇄회로패턴(114)의 일부를 노출시키는 제1 단자(118)를 형성한다. 상기 제1 단자(118)에는 반도체 패키지의 솔더볼이 부착된다.
이어서, 상기 제1 단자(118)가 형성된 결과물을 반대로 뒤집어서 제1 PSR층(102)에 사진 및 식각 공정을 진행하여 제1 인쇄회로패턴(103)의 일부를 노출시키는 제2 단자(120)를 형성한다. 상기 제2 단자(120)에는 또 다른 솔더볼이 부착될 수 있다. 상기 제2 단자(120)는 일반적인 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판(도1)에 있는 탭(도1의 20)의 형태로 변형될 수도 있다.
도 10은 본 발명에 일 실시예에 의한 인쇄회로기판에서 완충층의 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 10을 참조하면, 위의 실시예에서는 완충층에서 인쇄회로패턴과 인쇄회로패턴 사이를 비아홀을 형성한 후, 도전층으로 채우는 방식으로 연결하였으나 이는 휘어질 수 있는 재질의 리프트 리드(lifted lead, 113)를 사용하여 연결할 수 있다. 따라서 완충층(110)은 엘라스토머와 금속의 혼합으로 이루어지게 된다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈의 부분 단면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈은, 다층기판 구조이고 반도체 패키지가 탑재될 수 있는 제1 단자(118)와 머더(mother) 보드에 연결될 수 있는 제2 단자(120)가 형성된 인쇄회로기판(100)과, 상기 인쇄회로기판의 제1 단자(118) 하부에 형성되고 반도체 패키지(200)와 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 소재 재질의 완충층(110)과, 상기 인쇄회로기판(100)에 제1 단자(118)를 통해 탑재되는 반도체 패키지(200)를 포함한다.
상기 반도체 패키지(200)는 웨이퍼 레벨 패키지(WLP)로서 솔더볼(30) 혹은 솔더 범프를 통해 인쇄회로기판(100)의 제1 단자(118)에 연결된다. 상기 반도체 패키지(200)는 솔더볼(30)이 부착되는 입출력 패드(204)에 반도체 패키지(200)와 인쇄회로기판(100)간의 열팽창계수에 의한 응력을 흡수할 수 있는 구조물이 추가로 형성될 수 있다. 이러한 열팽창계수에 의한 응력을 흡수할 수 있는 구조물은 입체 구조의 기둥형 UBM(Under Bump Metal, 210)으로, 반도체 패키지(200) 방향에서 크랙이 발생하는 것을 막아주는 역할을 한다. 도면에서 참조부호 202는 반도체 칩을 가리키고, 206은 패시베이션층(passivation layer)을 가리킨다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 패키지 모듈에서 반도체 패키지의 입출력 패드 위에 형성된 입체 구조의 기둥형 UBM의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
먼저 반도체 칩(202)에 있는 입출력 패드(203) 위에 도금 공정에서 사용될 시드(seed, 205)층을 스퍼터링(sputtering) 방식으로 형성한다. 상기 시드층(205)은 티타늄, 니켈, 구리, 크롬 및 알루미늄 중에서 하나로 이루어진 단일막, 혹은 하나를 포함하는 다층막을 사용할 수 있다. 이어서 상기 시드층(205)이 형성된 결과물에 입체구조의 기둥형 UBM을 만들기 위한 포토레지스트 패턴(208)을 형성한다.
상기 포토레지스트 패턴(208)이 형성된 결과물에 전기도금을 진행하면, 포토레지스트 패턴(208)에 의해 노출된 시드(208)에서만 입체구조의 기둥형 UBM(210)을 위한 도전층이 성장된다. 성기 포토레지스트 패턴(208) 사이에 입체구조의 기둥형 UBM(210)을 모두 성장시킨 후, 포토레지스트 패턴(208)을 제거하면 입출력 패드(204) 위에 입체구조의 기둥형 UBM(210)만 남게 된다. 상기 입체구조의 기둥형 UBM(210)은 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu) 및 니켈(Ni) 중에서 선택된 하나의 물질 혹은 혼합물질을 사용하여 형성할 수 있다.
따라서 온도적응검사(temperature cycling test)에서 열팽창계수에 의한 응력이 발생할 때 상기 입체구조의 기둥형 UBM(210)은 반도체 패키지 방향의 솔더볼에 크랙이 발생하지 않게 하는 역할을 수행하게 된다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.
따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 인쇄회로기판은 솔더볼과 연결되는 제1 단자 하부에 완충층이 형성되고, 반도체 패키지는 솔더볼과 연결되는 입출력 패드 위에 입체 형상의 기둥형 UBM이 형성되어 인쇄회로기판과 반도체 패키지의 열팽창계수 차이로 인해 솔더볼에 집중되는 응력을 완화시켜 전체적으로 반도체 패키지 모듈의 솔더접합 신뢰도(SJR)를 개선할 수 있다.
도 1은 일반적인 반도체 패키지 모듈의 평면도이다.
도 2는 도 1의 II-II' 부분에 대한 절단면도이다.
도 3은 일반적인 반도체 패키지 모듈을 사용하여 온도적응검사(Temperature cycling test)를 수행하였을 때 발생된 결함을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 인쇄회로기판의 단면도이다.
도5 내지 도 9는 도 4의 인쇄회로기판의 제조공정을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 10은 본 발명에 일 실시예에 의한 인쇄회로기판에서 완충층의 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈의 부분 단면도이다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 패키지 모듈에서 반도체 패키지의 입출력 패드 위에 형성된 입체 구조의 기둥형 UBM의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
Claims (15)
- 다층기판 구조이고 반도체 패키지가 탑재될 수 있는 제1 단자와 머더 보드에 연결될 수 있는 제2 단자가 형성된 인쇄회로기판;상기 인쇄회로기판의 제1 단자 하부에 형성되고 반도체 패키지와 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 소재 재질의 완충층; 및상기 인쇄회로기판에 제1 단자를 통해 탑재되는 반도체 패키지를 구비하는 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 완충층은 엘라스토머(elastomer)인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 완충층은 엘라스토머와 금속의 혼합 구조인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 완충층은 상기 제1 단자 하부에서 부분적으로 형성된 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 인쇄회로기판에서 제2 단자는 솔더볼 패드인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 반도체 패키지는 솔더볼 및 솔더범프 중에서 선택된 하나를 통해 상기 인쇄회로기판의 제1 단자에 탑재되는 구조인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제9항에 있어서,상기 반도체 패키지는 웨이퍼 레벨 패키지(WLP)인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제7항에 있어서,상기 웨이퍼 레벨 패키지는 상기 인쇄회로기판의 제1 단자에 연결되는 솔더볼과 접하는 입출력 패드 위에 열팽창계수 차이에 의한 응력을 흡수할 수 있는 구조물이 추가로 형성된 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제8항에 있어서,상기 웨이퍼 레벨 패키지의 입출력 패드 위에 형성된 구조물은 입체 구조의 기둥형 UBM인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제12항에 있어서,상기 입체 구조의 기둥형 UBM은 Ag, Au, Cu 및 Ni 중에서 선택된 하나를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 제10항에 있어서,상기 입체 구조의 기둥형 UBM은 Ag, Au, Cu 및 Ni 중에서 선택된 하나를 포함하는 혼합 물질인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈.
- 절연층과 인쇄회로패턴이 교대로 적층된 다층 구조의 인쇄회로기판;상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 반도체 패키지의 솔더볼이 연결되어 연결되는 제1 단자;상기 인쇄회로패턴에서 인쇄회로기판의 외부로 노출되어 다른 인쇄회로기판과 연결될 수 있는 기능을 수행하는 제2 단자;상기 제1 단자 하부에 형성되는 절연층으로서 반도체 패키지와 제1 단자 사이의 열팽창계수의 차이로 인한 응력을 흡수할 수 있는 감광성 재질의 완충층을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판.
- 제15항에 있어서,상기 완충층은 엘라스토머(elastomer)인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판.
- 제12항에 있어서,상기 완충층은 엘라스토머와 금속의 혼합 구조인 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판.
- 제12항에 있어서,상기 완충층은 상기 제1 단자 하부에서 부분적으로 형성된 것을 특징으로 하는 솔더 접합 신뢰도(SJR)를 높일 수 있는 반도체 패키지 모듈용 인쇄회로기판.
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