KR20050098630A

KR20050098630A - 액정 표시 장치 제조를 위한 분배 시스템

Info

Publication number: KR20050098630A
Application number: KR1020040024070A
Authority: KR
Inventors: 한재용; 정준호; 정병우
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-04-08
Filing date: 2004-04-08
Publication date: 2005-10-12
Also published as: US20050274588A1; TW200602728A; KR101006449B1; US7347312B2

Abstract

복수개의 기판이 탑재되는 플레이트, 플레이트 위의 기판을 반송 컨베이어로 반송하는 제1 반송 장치, 반송 컨베이어에 의해 반송된 기판을 제1 및 제2 검사 장치로 분배하는 분배 컨베이어를 포함하고, 분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어로 이루어지며, 제1 및 제2 서브 컨베이어 중 어느 하나의 출구는 제1 및 제2 검사 장치 중 어느 하나의 입구와 일치하는 분배 시스템.

Description

액정 표시 장치 제조를 위한 분배 시스템{DISTRIBUTION SYSTEM FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

본 발명은 분배 시스템에 관한 것으로서, 특히 액정 표시 장치의 제조를 위한 분배 시스템에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.

이와 같은 액정 표시 장치의 제조 공정은 기판 제작 공정, 셀(Cell) 제조 공정 및 모듈(Module) 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.

먼저, 기판 제작 공정은 세정된 유리 기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 표시판 제작 공정과 색 필터 표시판 제작 공정으로 나눈다. 따라서, 박막트랜지스터 표시판 제작 공정은 하부 기판 상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소 전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 색필터 표시판 제조 공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판 상에 염료나 안료를 사용하여 R(Red). G(Green). B(Blue) 색상의 색필터층을 형성하여 공통 전극(ITO ; Indium Tin Oxide)을 형성하는 공정을 일컫는다.

다음으로, 셀 제조 공정은 박막 트랜지스터 표시판과 색필터 표시판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서(Spacer)를 산포하고, 박막 트랜지스터 표시판과 색필터 표시판을 합착하고, 박막 트랜지스터 표시판과 색필터 표시판 상에 형성된 복수개의 셀을 각각 분리시키고, 각각의 셀에 대하여 액정을 주입하는 공정이다.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 박막트랜지스터 액정 표시 소자 패널(Panel)과 신호 처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정이다.

특히, 셀 제조 공정은 복수개의 액정 표시 패널이 형성된 대면적의 모기판을 을 각각의 독립된 셀로 각각 나누는 절단 작업이 필요하다. 복수개의 셀이 형성되어 있는 기판을 스크라이빙(Scribing) 공정에 의해 각각의 셀로 분리한다.

스크라이빙(Scribing) 시스템에서 모기판으로부터 각각 분리된 셀(Cell)들은 분배 시스템에 의해 두 라인으로 구성된 에지 그라인더(Edge Grinder) 시스템으로 분배된다.

이 경우 한 장의 모기판에서 동시에 제조되는 셀의 수가 많을수록 분배 시스템의 병목 현상이 심해진다.

즉, 스크라이빙(Scribing) 시스템의 택트 타임(Tact time)보다 분배 시스템의 택트 타임이 커진다. 또한, 액정 표시 장치의 제조 공정이 진행될수록 두 시스템의 택트 타임의 차이가 누적됨으로써 심각한 병목 현상이 발생하게 된다.

기판이 대형화될 수록 한 장의 모기판에서 생산되는 셀의 수가 증가되므로 분배 시스템의 택트 타임이 스크라이빙 시스템의 택트 타임에 대응하지 못하게 된다. 따라서, 분배 시스템에서의 병목 현상은 더욱 심화된다.

또한, 설비 대형화에 따라 반송 장치의 이동 경로의 길이가 늘어나게 되므로 택트 타임이 더욱 증가하게 되어 분배 시스템에서의 병목 현상은 더욱 심화된다.

본 발명의 기술적 과제는 택트 타임을 감소시켜 병목 현상을 제거한 분배 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 분배 시스템은 복수개의 기판이 탑재되는 플레이트, 상기 플레이트 위의 기판을 반송 컨베이어로 반송하는 제1 반송 장치, 상기 반송 컨베이어에 의해 반송된 기판을 제1 및 제2 검사 장치로 분배하는 분배 컨베이어를 포함하고, 상기 분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 서브 컨베이어 중 어느 하나의 출구는 상기 제1 및 제2 검사 장치 중 어느 하나의 입구와 일치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 분배 컨베이어의 제1 및 제2 서브 컨베이어는 서로 평행하며, 연결바에 의해 연결되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 분배 컨베이어는 어느 한 축 방향으로 왕복 이동하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 및 제2 서브 컨베이어 중 어느 하나의 입구는 상기 제1 이동 컨베이어의 출구와 일치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 분배 컨베이어의 이동에 의해 상기 제1 서브 컨베이어의 출구가 상기 제1 검사 장치의 입구와 일치하면, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하고, 상기 제2 서브 컨베이어의 출구가 상기 제2 검사 장치의 입구와 일치하면, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 검사 장치는 상기 제1 서브 컨베이어로부터 반송된 기판이 위치하는 제1 검사 컨베이어, 상기 제1 검사 컨베이어의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제1 검사부, 상기 제1 검사 컨베이어에 위치하는 기판을 제1 검사부로 반송하는 제2 반송 장치를 포함하고, 상기 제2 검사 장치는 상기 제2 서브 컨베이어로부터 반송된 기판이 위치하는 제2 검사 컨베이어, 상기 제2 검사 컨베이어의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제2 검사부, 상기 제2 검사 컨베이어에 위치하는 기판을 제2 검사부로 반송하는 제3 반송 장치를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 내지 제3 반송 장치는 상기 기판을 진공 흡착하는 진공 패드부, 상기 진공 패드부를 수평, 수직 및 회전 이동시키는 반송부를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 분배 컨베이어의 이동에 의해 상기 제1 서브 컨베이어의 출구가 상기 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치하면, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하고, 상기 제2 서브 컨베이어의 출구가 상기 제2 검사 컨베이어의 입구와 일치하면, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 반송 컨베이어, 제1 서브 컨베이어, 제2 서브 컨베이어, 제1 검사 컨베이어 및 제2 검사 컨베이어에는 정렬 장치가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 분배 시스템의 분배 방법은 분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어를 포함할 때, 플레이트 위에 위치하는 제1 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 상기 제1 반송 장치를 이용하여 상기 제1 기판을 반송 컨베이어에 위치시키는 단계, 상기 제1 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에 제2 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 상기 분배 컨베이어를 수평 이동시켜 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에 상기 제1 반송 장치를 이용하여 상기 제2 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계, 상기 제1 기판을 상기 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에 상기 제2 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에 제3 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 상기 제1 기판을 상기 제2 반송 장치를 이용하여 제1 검사부로 이동시키며, 동시에 상기 분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제2 서브 컨베이어의 출구는 제2 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에, 상기 제1 반송 장치를 이용하여 제3 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계, 상기 제1 검사부에 위치하는 제1 기판을 검사하며, 동시에, 상기 제2 기판을 상기 제2 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에, 상기 제3 기판을 그 입구가 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 상기 제1 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 제4 기판의 위로 상기 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 상기 제1 기판을 다음 공정으로 이동시키며, 동시에, 상기 제2 기판을 제3 반송 장치를 이용하여 제2 검사부로 이동시키며, 동시에, 상기 분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 상기 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에, 상기 제1 반송 장치를 이용하여 제4 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계, 상기 제2 검사부에 위치하는 제2 기판을 검사하며, 동시에, 상기 제3 기판을 상기 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에, 상기 반송 컨베이어를 이용하여 제4 기판을 그 입구가 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 상기 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 상기 제5 기판의 위로 상기 제1 반송 장치가 이동하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 분배 시스템의 분배 방법은 분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어를 포함할 때, 제1 및 제2 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 제1 반송 장치를 이용하여 상기 제1 및 제2 기판을 동시에 흡착한 후 반송 컨베이어 위로 제1 및 제2 기판을 동시에 반송시키는 단계, 상기 제1 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 상기 반송 컨베이어에 상기 제1 기판을 위치시키는 단계, 상기 반송 컨베이어를 이용하여 제1 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어로 반송시키는 단계, 상기 제2 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 상기 반송 컨베이어에 상기 제2 기판을 위치시키며, 동시에 제3 및 제4 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계, 분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키는 단계, 상기 제1 서브 컨베이어를 이용하여 제1 기판을 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키는 동시에, 반송 컨베이어를 이용하여 제2 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 제1 반송 장치를 이용하여 제3 및 제4 기판을 동시에 흡착한 후 상기 반송 컨베이어 위로 상기 제3 및 제4 기판을 반송시키는 단계, 상기 제3 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어에 제3 기판을 위치시키는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 반송 장치는 수평 이동 및 회전 이동을 동시에 수행하는 것이 바람직하다.

그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

이제 본 발명의 실시예에 따른 분배 시스템에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 시스템의 평면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 시스템은 플레이트(20), 플레이트(20) 위의 기판(1 내지 12)을 반송 컨베이어(70)로 반송하는 제1 반송 장치(30), 반송 컨베이어(70)에 의해 반송된 기판을 제1 및 제2 검사 장치(60, 70)로 분배하는 분배 컨베이어(40)를 포함한다.

이러한 분배 시스템은 액정 표시 장치의 제조 공정 중 모기판을 복수개의 기판으로 분리하는 스크라이빙 공정과 기판의 모서리를 연마하는 에지 그라인더 공정 사이에 위치하는 시스템으로서, 하나의 라인을 따라 진행하며 제조된 기판을 두 개의 라인으로 된 에지 그라인더 공정으로 분배한다.

플레이트(20)는 컨베이어 형태인 것이 바람직하며, 플레이트(20) 위에는 복수개의 기판(1 내지 12)이 탑재되어 있다.

복수개의 기판(1 내지 12)은 하나의 모기판이 스크라이빙 공정에 의해 분리되어 형성되며, 각각의 기판(1 내지 12)은 하나의 셀(Cell) 즉, 액정 표시 패널에 대응된다.

도 1에 도시한 바와 같이, 컨베이어 형태의 플레이트(20) 위에는 12개의 기판이 위치하고 있다. 하나의 모기판이 전 공정인 스크라이빙 공정에 의해 12개의 기판으로 분리된 것이다. 12개의 기판 중 우측열의 상부에서 하부 방향으로 제1 기판(1), 제2 기판(2), 제3 기판(3) 및 제4 기판(4)이 위치하고 있고, 중앙열의 상부에서 하부 방향으로 제5 기판(5), 제6 기판(6), 제7 기판(7) 및 제8 기판(8)이 위치하고 있다.

제1 반송 장치(30)는 기판을 진공 흡착하는 진공 패드부(31), 진공 패드부(31)를 수평, 수직 및 회전 이동시키는 반송부(35)를 포함한다.

반송부(35)는 수평 아암(32), 수평 아암(32)과 연결되어 X축 방향으로 이동하는 X축 이동부(33)를 포함한다. 그리고, X축 이동부(33)에 연결되어 있는 Y축 이동부(34)는 X축 이동부(33)를 따라 Y축 방향으로 이동한다.

그리고, Y축 이동부(34)는 진공 패드부(31)와 연결되며, 회전 및 수직 이동이 가능하다.

진공 패드부(31)는 기판의 크기에 따라 개폐를 조절하도록 일부분마다 개별 구동이 가능한 것이 바람직하다.

분배 컨베이어(40)는 제1 및 제2 서브 컨베이어(41, 42)로 이루어진다. 그리고, 제1 및 제2 서브 컨베이어(41, 42)는 서로 평행하며, 연결바(43)에 의해 연결되어 있다.

따라서, 제1 및 제2 서브 컨베이어(41, 42)는 동시에 Y축 방향으로 왕복 이동이 가능하다.

제1 검사 장치(50)는 제1 서브 컨베이어(41)로부터 반송된 기판이 위치하는 제1 검사 컨베이어(51), 제1 검사 컨베이어(51)의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제1 검사부(57), 제1 검사 컨베이어(51)에 위치하는 기판을 제1 검사부(57)로 반송하는 제2 반송 장치(56)를 포함한다.

제2 검사 장치(60)는 제2 서브 컨베이어(42)로부터 반송된 기판이 위치하는 제2 검사 컨베이어(61), 제2 검사 컨베이어(61)의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제2 검사부(67), 제2 검사 컨베이어(61)에 위치하는 기판을 제2 검사부(67)로 반송하는 제3 반송 장치(66)를 포함한다.

그리고, 제1 및 제2 서브 컨베이어(41, 42) 중 어느 하나의 출구는 제1 및 제2 검사 장치(50, 60) 중 어느 하나의 입구와 일치한다. 제1 및 제2 서브 컨베이어(41, 42) 중 어느 하나의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치한다.

따라서, 분배 컨베이어(40)의 이동에 의해 제1 서브 컨베이어(41)의 출구가 제1 검사 장치의 제1 검사 컨베이어(51)의 입구와 일치하면, 제2 서브 컨베이어(42)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하고,

제2 서브 컨베이어(42)의 출구가 제2 검사 장치의 제2 검사 컨베이어(61)의 입구와 일치하면, 제1 서브 컨베이어(41)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치한다.

그리고, 반송 컨베이어(70), 제1 서브 컨베이어(41), 제2 서브 컨베이어(42), 제1 검사 컨베이어(51) 및 제2 검사 컨베이어(61)에는 정렬 장치(79, 48, 49, 59, 69)가 설치되어 있는 것이 바람직하며, 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어 형태인 것이 바람직하다.

이러한 정렬 장치(79, 48, 49, 59, 69)는 기판이 위치하는 지점의 측방 및 전방에 설치된 복수개의 푸셔(Pusher)로 이루어지며, 이러한 푸셔를 이용하여 밀어줌으로써 기판을 정렬한다.

또한, 기판의 반전 장치가 분배 시스템에 추가될 수 있다. 즉, 하부 기판이 위로 된 상태에서 분배 시스템에 기판이 공급된 경우에는 제1 및 제2 검사 장치(60, 70)에서 기판을 검사하기 위해 하부 기판이 아래가 되도록 기판을 반전하는 것이 필요하다. 이 경우, 기판의 반전 장치에 의해 기판을 반전시킨다.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.

우선, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 기판(1)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

이 때, 제2 서브 컨베이어(42)의 출구는 제2 검사 컨베이어(61)의 입구와 일치하고, 제1 서브 컨베이어(41)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치한다.

다음으로, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제1 기판(1)을 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제1 기판(1)을 반송시키고, 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제1 기판(1)을 위치시킨다.

그리고, 반송 컨베이어(70)에 설치되어 있는 정렬 장치(79)를 이용하여 반송 컨베이어(70) 위의 제1 기판(1)의 위치를 정렬한다.

다음으로, 도 4에 도시한 바와 같이, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제1 기판(1)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어(41)로 반송시킨다.

이와 동시에, 제2 기판(2)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 서브 컨베이어(41)에 설치되어 있는 정렬 장치(48)로 제1 기판(1)의 위치를 정렬한 후 분배 컨베이어(40)를 Y축 하부 방향으로 수평 이동하여 제1 서브 컨베이어(41)의 출구는 제1 검사 컨베이어(51)의 입구와 일치시키고, 제2 서브 컨베이어(42)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치시킨다.

이는 제1 서브 컨베이어(41)에 위치하는 기판(1)이 제1 검사 컨베이어(51)로 위치의 변화없이 X축 방향으로 이동시키기 위함이다. 이 때, 제1 서브 컨베이어 입구쪽에 위치하던 기판(1)을 제1 서브 컨베이어(41)의 출구쪽으로 이동시킨다.

이와 동시에, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제2 기판(2)을 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제2 기판(2)을 반송시키고, 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제2 기판(2)을 위치시킨다.

다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 서브 컨베이어(41)를 이용하여 제1 기판(1)을 제1 검사 컨베이어(51)로 수평 이동시킨다.

이와 동시에, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제2 기판(2)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어(42)로 반송시킨다.

이와 동시에, 제3 기판(3)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 검사 컨베이어(51) 위에 위치하는 제1 기판(1)을 제2 반송 장치(56)를 이용하여 제1 검사부(57)로 이동시킨다. 즉, 제2 반송 장치(56)는 진공 패드부(35)를 이용하여 제1 기판(1)을 흡착한 후 제1 검사부(57) 위로 제1 기판(1)을 반송시키고, 진공을 해제하여 제1 검사부(57)에 제1 기판(1)을 위치시킨다.

제2 반송 장치(56)는 기판을 진공 흡착하는 진공 패드부(55), 진공 패드부(55)를 수평, 수직 및 회전 이동시키는 반송부(58)를 포함한다.

반송부(58)는 수평 아암(52), 수평 아암(52)과 연결되어 X축 방향으로 이동하는 X축 이동부(53)를 포함한다. 그리고, X축 이동부(53)에 연결되어 있는 Y축 이동부(54)는 X축 이동부(53)를 따라 Y축 방향으로 이동한다.

그리고, Y축 이동부(54)는 진공 패드부(55)와 연결되며, 회전 및 수직 이동이 가능하다.

이와 동시에, 제2 서브 컨베이어(42)에 설치되어 있는 정렬 장치(49)로 제2 기판(2)의 위치를 정렬한 후 분배 컨베이어(40)를 Y축 상부 방향으로 수평 이동하여 제2 서브 컨베이어(42)의 출구는 제2 검사 컨베이어(61)의 입구와 일치시키고, 제1 서브 컨베이어(41)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치시킨다.

이와 동시에, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제3 기판(3)을 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제3 기판(3)을 반송시키고, 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제3 기판(3)을 위치시킨다.

다음으로, 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 검사부(57)에 위치하는 제1 기판(1)을 검사한다. 이 때, 전 공정인 스크라이빙 공정에서 제1 기판(1)이 제대로 스크라이빙 되었는지 여부 및 스크라이빙 공정에서 크랙이 발생하였는지 여부를 검사한다.

이와 동시에, 제2 서브 컨베이어(42)를 이용하여 제2 기판(2)을 제2 검사 컨베이어(61)로 수평 이동시킨다.

이와 동시에, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제3 기판(3)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어(41)로 반송시킨다.

이와 동시에, 제4 기판(4)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 기판(1)을 다음 공정인 에지 그라인더 공정으로 이동시킨다.

이와 동시에, 제2 검사 컨베이어(61) 위에 위치하는 제2 기판(2)을 제3 반송 장치(66)를 이용하여 제2 검사부(67)로 이동시킨다. 즉, 제3 반송 장치(66)는 진공 패드부(65)를 이용하여 제2 기판(2)을 흡착한 후 제2 검사부(67) 위로 제2 기판(2)을 반송시키고, 진공을 해제하여 제2 검사부(67)에 제2 기판(2)을 위치시킨다.

제3 반송 장치(66)는 기판을 진공 흡착하는 진공 패드부(65), 진공 패드부(65)를 수평, 수직 및 회전 이동시키는 반송부(68)를 포함한다.

반송부(68)는 수평 아암(62), 수평 아암(62)과 연결되어 X축 방향으로 이동하는 X축 이동부(63)를 포함한다. 그리고, X축 이동부(63)에 연결되어 있는 Y축 이동부(64)는 X축 이동부(63)를 따라 Y축 방향으로 이동한다.

그리고, Y축 이동부(64)는 진공 패드부(65)와 연결되며, 회전 및 수직 이동이 가능하다.

이와 동시에, 제1 서브 컨베이어(41)에 설치되어 있는 정렬 장치(48)로 제3 기판(3)의 위치를 정렬한 후 분배 컨베이어(40)를 Y축 하부 방향으로 수평 이동하여 제1 서브 컨베이어(41)의 출구는 제1 검사 컨베이어(51)의 입구와 일치시키고, 제2 서브 컨베이어(42)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치시킨다.

이와 동시에, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제4 기판(4)을 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제4 기판(4)을 반송시키고, 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제4 기판(4)을 위치시킨다.

다음으로, 도 10에 도시한 바와 같이, 제2 검사부(67)에 위치하는 제2 기판(2)을 검사한다.

이와 동시에, 제1 서브 컨베이어(41)를 이용하여 제3 기판(3)을 제1 검사 컨베이어(51)로 수평 이동시킨다.

이와 동시에, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제4 기판(4)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어(42)로 반송시킨다.

이와 동시에, 제5 내지 제8 기판(5,6,7,8)은 모두 전방으로 이동한다. 이는 제1 반송 장치(30)의 이동 거리를 줄이기 위함이다.

이와 동시에, 제5 기판(5)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

그리고, 상기한 공정을 반복하여 분배 시스템을 진행함으로써 하나의 라인으로 공급되는 기판을 분배 컨베이어(40)를 이용하여 두 개의 라인으로 공급하여 택트 타임을 감소시킨다.

즉, 종래의 반송 장치는 기판을 직접 두 개의 라인, 즉, 제1 및 제2 검사 장치(50, 60)에 공급해주어야 하므로 반송 거리가 길어져서 택트 타임이 증가된다. 그러나, 본 발명의 분배 시스템에서는 반송 장치가 직접 제1 및 제2 검사 장치(50, 60)로 기판을 공급하지 않고 분배 컨베이어(40)의 Y축 방향으로의 왕복 이동만으로 두 개의 라인에 공급해 줄 수 있기 때문에 반송 장치(30)의 반송 거리가 짧아져서 택트 타임이 감소된다.

이러한 택트 타임의 감소에 대해 이하에서 상세히 설명한다.

19인치 및 46인치 기판의 경우, 제1 반송 장치(30)가 기판을 수취하기 위해 수직으로 이동하는 시간은 진공 패드부(31)가 하강하는 시간(1초), 진공 패드부(31)가 기판을 진공 흡착하는 시간(0.4초) 및 진공 패드부(31)가 상승하는 시간(1초)을 합하여 총 2.4초가 된다.

그리고, 진공 패드부(31)의 수평 이동과 회전 이동이 동시에 진행하며 수평 이동 시간이 더 크므로 총 이동 시간은 수평 이동 시간에 의해 결정된다. 따라서, 제1 반송 장치(30)의 진공 패드부(31)의 이동 시간은 2.0초(19인치 기판) 내지 2.7초(46인치 기판)이다. 따라서, 제1 반송 장치(30)가 기판을 수취하여 반송 컨베이어(70)로 이동하는 시간과 반송 컨베이어(70)에서 다시 기판을 수취하기 위해 다른 기판 위로 이동하는 시간의 합은 4.0초 내지 5.4초가 된다.

그리고, 19인치 및 46인치 기판의 경우, 제1 반송 장치(30)가 반송 컨베이어(70)에 기판을 공급하기 위해 수직으로 이동하는 시간은 진공 패드부(31)가 하강하는 시간(1초), 진공 패드부(31)가 기판을 진공 해제하는 시간(0.2초) 및 진공 패드부(31)가 상승하는 시간(1초)을 합하여 총 2.2초가 된다.

그러므로, 제1 반송 장치(30)의 총 택트 타임은 8.6초(19 인치) 내지 10초(46 인치)가 된다.

분배 컨베이어(40)의 Y축 방향으로의 위치 이동과 제1 서브 컨베이어(41) 및 제2 서브 컨베이어(42)의 입구에서 출구로의 기판의 이동은 동시에 일어나며, 제1 서브 컨베이어(41) 및 제2 서브 컨베이어(42)의 입구에서 출구로의 기판의 이동 시간(9.3초)은 분배 컨베이어(40)의 위치 이동 시간(4.6초)보다 크므로, 분배 컨베이어(40)의 택트 타임은 제1 서브 컨베이어(41) 및 제2 서브 컨베이어(42)의 입구에서 출구로의 기판의 이동 시간에 의해 결정된다.

따라서, 제1 반송 장치(30)의 택트 타임(8.6초 내지 10초)과 분배 컨베이어(40)의 택트 타임(9.3초)에 의해 분배 시스템의 택트 타임은 9.3초 내지 10초 정도가 된다.

따라서, 스크라이빙 공정의 택트 타임이 17인치인 경우 10초, 19인치인 경우12초이므로, 분배 시스템의 택트 타임과 거의 일치하며, 따라서, 분배 시스템에서의 병목 현상은 감소된다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법이 도 11 내지 도 13에 도시되어 있다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조 부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.

다른 실시예에 따른 분배 시스템은 상기의 일 실시예에 따른 분배 시스템과 그 분배 방법에 있어서 구별된다. 즉, 두 개의 기판을 동시에 수취하여 반송함으로써 제1 반송 장치(30)의 택트 타임을 반으로 단축시킨다는 점에서 구별된다.

도 11에 도시한 바와 같이, 컨베이어 형태의 플레이트(20) 위에는 36개의 기판이 위치하고 있다. 하나의 모기판이 전 공정인 스크라이빙 공정에 의해 36개의 기판으로 분리된 것이다. 36개의 기판 중 최우측열의 상부에서 하부 방향으로 제1 내지 제6 기판이 위치하고 있고, 최우측열에 인접한 열의 상부에서 하부 방향으로 제7 내지 제12 기판이 위치하고 있다.

우선, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 및 제7 기판(1, 7)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 12에 도시한 바와 같이, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제1 및 제7 기판(1, 7)을 동시에 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제1 및 제7 기판(1, 7)을 동시에 반송시킨다. 그리고, 제1 기판(1)을 흡착하고 있는 진공 패드부(31)의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제1 기판(1)을 위치시킨다.

그리고, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제1 기판(1)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어(41)로 반송시킨다.

그리고, 제7 기판(7)을 흡착하고 있는 진공 패드부(31)의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제7 기판(7)을 위치시킨다.

그리고, 반송 컨베이어(70)에 설치되어 있는 정렬 장치(79)를 이용하여 반송 컨베이어(70) 위의 제7 기판(7)의 위치를 정렬한다.

이와 동시에, 제2 및 제8 기판(2, 8)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 서브 컨베이어(41)에 설치되어 있는 정렬 장치(48)로 제1 기판(1)의 위치를 정렬한 후 분배 컨베이어(40)를 Y축 하부 방향으로 수평 이동하여 제1 서브 컨베이어(41)의 출구는 제1 검사 컨베이어(51)의 입구와 일치시키고, 제2 서브 컨베이어(42)의 입구는 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치시킨다.

이는 제1 서브 컨베이어(41)에 위치하는 기판이 제1 검사 컨베이어(51)로 위치의 변화없이 X축 방향으로 이동시키기 위함이다.

그리고, 제1 서브 컨베이어(41)를 이용하여 제1 기판(1)을 제1 검사 컨베이어(51)로 수평 이동시키는 동시에, 반송 컨베이어(70)를 이용하여 제7 기판(7)을 그 입구가 반송 컨베이어(70)의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어(42)로 반송시킨다.

이와 동시에, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제2 및 제8 기판(2, 8)을 동시에 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제2 및 제8 기판(2, 8)을 반송시킨다. 그리고, 제2 기판(2)을 흡착하고 있는 진공 패드부(31)의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제2 기판(2)을 위치시킨다.

이와 같이, 제1 기판(1)과 제7 기판(7)을 제1 반송 장치(30)가 동시에 수취하여 반송 컨베이어(70)에 순차적으로 내려놓음으로써 제1 반송 장치(30)의 택트 타임을 반으로 단축시킨다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법이 도 14 내지 도 16에 도시되어 있다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조 부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.

또 다른 실시예에 따른 분배 시스템은 상기의 다른 실시예에 따른 분배 시스템과 그 분배 방법에 있어서 구별된다. 즉, 제1 반송 장치(30)의 진공 패드부(31)가 두 개의 기판을 동시에 수취하고 90도 회전하여 반송함으로써 반송 거리를 단축시켜 제1 반송 장치(30)의 택트 타임을 반으로 단축시킨다는 점에서 구별된다.

도 14에 도시한 바와 같이, 컨베이어 형태의 플레이트(20) 위에는 24개의 기판이 위치하고 있다. 하나의 모기판이 전 공정인 스크라이빙 공정에 의해 24개의 기판으로 분리된 것이다. 24개의 기판 중 최우측열의 상부에서 하부 방향으로 제1 내지 제4 기판(1 내지 4)이 위치하고 있고, 최우측열에 인접한 열의 상부에서 하부 방향으로 제5 내지 제8 기판(5 내지 8)이 위치하고 있다.

우선, 도 14에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 기판(1, 2)의 위로 제1 반송 장치(30)가 이동한다.

다음으로, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 제1 반송 장치(30)는 진공 패드부(31)를 이용하여 제1 및 제2 기판(1, 2)을 동시에 흡착한 후 반송 컨베이어(70) 위로 제1 및 제2 기판(1, 2)을 90도 회전하여 동시에 반송시킨다. 이 경우, 반송 거리가 단축됨으로써 반송 장치의 택트 타임이 단축되는 것이다.

그리고, 제1 기판(1)을 흡착하고 있는 진공 패드부(31)의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제1 기판(1)을 위치시킨다.

그리고, 제2 기판(2)을 흡착하고 있는 진공 패드부(31)의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어(70)에 제2 기판(2)을 위치시킨다.

이와 같이, 두 개의 기판을 동시에 반송하는 경우에 택트 타임에 대해 살펴본다.

19인치의 경우, 상기한 바와 같이, 제1 반송 장치(30)가 제1 기판(1)을 반송하는 시간은 8.6초이다.

그리고, 제1 기판(1)을 정렬하는 시간이 1.0초이며, 제1 기판(1)을 반송 컨베이어에서 분배 컨베이어로 반송하는 시간이 3.3초이다.

그리고, 제1 반송 장치(30)가 반송 컨베이어(70)에 제7 기판(7)을 공급하기 위해 수직으로 이동하는 시간은 진공 패드부(31)가 하강하는 시간(1초), 진공 패드부(31)가 제7 기판(7)을 진공 해제하는 시간(0.2초) 및 진공 패드부(31)가 상승하는 시간(1초)을 합하여 총 2.2초가 된다.

따라서, 19인치의 경우, 기판 하나를 반송하는데 걸리는 제1 반송 장치의 택트 타임은 (8.6초 + 2.2초 + 1.0초 + 3.3초)/2에 의해 7.5초가 된다.

또한, 동시에 2 개의 기판을 반송하기 위해서는 진공 패드부(31)의 전단과 후단이 독립적으로 구동될 수 있어야 한다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

본 발명에 따른 분배 시스템은 하나의 라인으로 공급되는 기판을 분배 컨베이어를 이용하여 두 개의 라인으로 공급함으로써 택트 타임이 감소된다.

또한, 반송 장치는 수평 이동 및 회전 이동을 동시에 수행하여 기판을 반송함으로써 택트 타임이 감소된다.

또한, 분배 컨베이어를 적용함으로써 한 장의 모기판에서 홀수개의 기판이 제조되는 경우에도 설비 효율의 저하 없이 두 개의 에지 그라인더(Edge Grinder) 설비의 사용이 가능하다.

또한, 기판의 크기가 작은 경우에는 2개의 기판을 동시에 수취하여 반송함으로써 택트 타임을 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 시스템의 평면도이고,

도 2 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법을 순서대로 도시한 도면이고,

도 11 내지 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법을 순서대로 도시한 도면이고,

도 14 내지 도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분배 시스템의 분배 방법을 순서대로 도시한 도면이다.

Claims

복수개의 기판이 탑재되는 플레이트,

상기 플레이트 위의 기판을 반송 컨베이어로 반송하는 제1 반송 장치,

상기 반송 컨베이어에 의해 반송된 기판을 제1 및 제2 검사 장치로 분배하는 분배 컨베이어

를 포함하고,

상기 분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 서브 컨베이어 중 어느 하나의 출구는 상기 제1 및 제2 검사 장치 중 어느 하나의 입구와 일치하는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 분배 컨베이어의 제1 및 제2 서브 컨베이어는 서로 평행하며, 연결바에 의해 연결되어 있는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 분배 컨베이어는 어느 한 축 방향으로 왕복 이동하는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 제1 및 제2 서브 컨베이어 중 어느 하나의 입구는 상기 제1 이동 컨베이어의 출구와 일치하는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 분배 컨베이어의 이동에 의해 상기 제1 서브 컨베이어의 출구가 상기 제1 검사 장치의 입구와 일치하면, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하고,

상기 제2 서브 컨베이어의 출구가 상기 제2 검사 장치의 입구와 일치하면, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 제1 검사 장치는

상기 제1 서브 컨베이어로부터 반송된 기판이 위치하는 제1 검사 컨베이어,

상기 제1 검사 컨베이어의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제1 검사부,

상기 제1 검사 컨베이어에 위치하는 기판을 제1 검사부로 반송하는 제2 반송 장치를 포함하고,

상기 제2 검사 장치는

상기 제2 서브 컨베이어로부터 반송된 기판이 위치하는 제2 검사 컨베이어,

상기 제2 검사 컨베이어의 후방에 위치하며 기판의 상태를 검사하는 제2 검사부,

상기 제2 검사 컨베이어에 위치하는 기판을 제2 검사부로 반송하는 제3 반송 장치를 포함하는 분배 시스템.
제1항 또는 제6항에서,

상기 제1 내지 제3 반송 장치는

상기 기판을 진공 흡착하는 진공 패드부,

상기 진공 패드부를 수평, 수직 및 회전 이동시키는 반송부

를 포함하는 분배 시스템.
제1항에서,

상기 분배 컨베이어의 이동에 의해 상기 제1 서브 컨베이어의 출구가 상기 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치하면, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하고,

상기 제2 서브 컨베이어의 출구가 상기 제2 검사 컨베이어의 입구와 일치하면, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 분배 시스템.
제6항에서,

상기 반송 컨베이어, 제1 서브 컨베이어, 제2 서브 컨베이어, 제1 검사 컨베이어 및 제2 검사 컨베이어에는 정렬 장치가 설치되어 있는 분배 시스템.
분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어를 포함할 때,

플레이트 위에 위치하는 제1 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

상기 제1 반송 장치를 이용하여 상기 제1 기판을 반송 컨베이어에 위치시키는 단계,

상기 제1 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에 제2 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

상기 분배 컨베이어를 수평 이동시켜 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에 상기 제1 반송 장치를 이용하여 상기 제2 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계,

상기 제1 기판을 상기 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에 상기 제2 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에 제3 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

상기 제1 기판을 상기 제2 반송 장치를 이용하여 제1 검사부로 이동시키며, 동시에 상기 분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제2 서브 컨베이어의 출구는 제2 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제1 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에, 상기 제1 반송 장치를 이용하여 제3 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계,

상기 제1 검사부에 위치하는 제1 기판을 검사하며, 동시에, 상기 제2 기판을 상기 제2 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에, 상기 제3 기판을 그 입구가 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 상기 제1 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 제4 기판의 위로 상기 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

상기 제1 기판을 다음 공정으로 이동시키며, 동시에, 상기 제2 기판을 제3 반송 장치를 이용하여 제2 검사부로 이동시키며, 동시에, 상기 분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 상기 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키며, 동시에, 상기 제1 반송 장치를 이용하여 제4 기판을 상기 반송 컨베이어에 위치시키는 단계,

상기 제2 검사부에 위치하는 제2 기판을 검사하며, 동시에, 상기 제3 기판을 상기 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키며, 동시에, 상기 반송 컨베이어를 이용하여 제4 기판을 그 입구가 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 상기 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 상기 제5 기판의 위로 상기 제1 반송 장치가 이동하는 단계

를 포함하는 분배 시스템의 분배 방법.
분배 컨베이어는 제1 및 제2 서브 컨베이어를 포함할 때,

제1 및 제2 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

제1 반송 장치를 이용하여 상기 제1 및 제2 기판을 동시에 흡착한 후 반송 컨베이어 위로 제1 및 제2 기판을 동시에 반송시키는 단계,

상기 제1 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 상기 반송 컨베이어에 상기 제1 기판을 위치시키는 단계,

상기 반송 컨베이어를 이용하여 제1 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제1 서브 컨베이어로 반송시키는 단계,

상기 제2 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 상기 반송 컨베이어에 상기 제2 기판을 위치시키며, 동시에 제3 및 제4 기판의 위로 제1 반송 장치가 이동하는 단계,

분배 컨베이어를 수평 이동하여 상기 제1 서브 컨베이어의 출구는 제1 검사 컨베이어의 입구와 일치시키고, 상기 제2 서브 컨베이어의 입구는 상기 반송 컨베이어의 출구와 일치시키는 단계,

상기 제1 서브 컨베이어를 이용하여 제1 기판을 제1 검사 컨베이어로 수평 이동시키는 동시에, 반송 컨베이어를 이용하여 제2 기판을 그 입구가 반송 컨베이어의 출구와 일치하는 제2 서브 컨베이어로 반송시키며, 동시에, 제1 반송 장치를 이용하여 제3 및 제4 기판을 동시에 흡착한 후 상기 반송 컨베이어 위로 상기 제3 및 제4 기판을 반송시키는 단계,

상기 제3 기판을 흡착하고 있는 진공 패드부의 일부분의 진공을 해제하여 반송 컨베이어에 제3 기판을 위치시키는 단계

를 포함하는 분배 시스템의 분배 방법.
제11항에서,

상기 제1 반송 장치는 수평 이동 및 회전 이동을 동시에 수행하는 분배 시스템의 분배 방법.