KR20110026258A - 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 서로 이웃하여 설치되어 사각형태 패널을 이송하는 인풋컨베이어와 아웃풋컨베이어;상기 패널의 4개변 중 서로 이웃하는 3개변의 엣지면을 순차적으로 검사하는 제1검사부; 및상기 패널의 나머지 변의 엣지면을 검사하는 제2검사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1검사부는 상기 인풋컨베이어와 아웃풋컨베이어 사이에 구비되며, 상기 패널의 이송방향과 직교방향으로 왕복운동하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1검사부를 90°회전시키는 회전수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2검사부는 상기 인풋컨베이어와 아웃풋컨베이어 사이에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1검사부 및 제2검사부는 각각 상부카메라 및 하부카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 서로 이웃하여 설치되어 사각형태 패널을 이송하는 인풋컨베이어와 아웃풋컨베이어;상기 패널의 4개변 중 서로 이웃하는 2개변의 엣지면을 검사하는 제1검사부; 및상기 패널의 나머지 2개변의 엣지면을 검사하는 제2검사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제6항에 있어서,상기 제1검사부 및 제2검사부는 상기 인풋컨베이어와 아웃풋컨베이어 사이에 구비되며, 상기 패널의 이송방향과 직교방향으로 왕복운동하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제7항에 있어서,상기 제1검사부 및 제2검사부를 90°회전시키는 회전수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 제6항에 있어서,상기 제1검사부 및 제2검사부는 각각 상부카메라 및 하부카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치.
- 1) 사각형태 패널의 꼭지점 중 어느 하나에 제1검사부 및 제2검사부를 위치시키는 단계;2) 상기 제1검사부가 제1변을 따라 이동하면서 에지면을 검사하는 단계;3) 상기 패널을 상기 2)단계에서의 상기 제1검사부의 이동방향과 직교방향으로 이동시키면서, 상기 제1검사부 및 제2검사부가 각각 상기 제1변에 이웃하는 제2 변 및 제3변의 에지면을 동시에 검사하는 단계;4) 상기 제1검사부 또는 제2검사부가 상기 제1변과 마주보는 제4변을 따라 이동하면서 에지면을 검사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이패널의 엣지면 검사방법.
- 제10항에 있어서,상기 3)단계는 상기 제1검사부를 90°회전시킨 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이패널의 엣지면 검사방법.
- 제10항에 있어서,상기 4)단계는 상기 제1검사부 또는 제2검사부를 90°회전시킨 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이패널의 엣지면 검사방법.
- 제10항에 있어서,상기 2) 내지 4)단계는 각각 제1변 내지 제4변의 상부 및 하부 에지면을 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이패널의 엣지면 검사방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090084074A KR101023472B1 (ko) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090084074A KR101023472B1 (ko) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110026258A true KR20110026258A (ko) | 2011-03-15 |
KR101023472B1 KR101023472B1 (ko) | 2011-03-24 |
Family
ID=43933383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090084074A KR101023472B1 (ko) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치 및 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101023472B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160066741A (ko) | 2014-12-03 | 2016-06-13 | 주식회사 케이엔제이 | 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101170928B1 (ko) | 2010-11-05 | 2012-08-03 | (주)미래컴퍼니 | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 |
KR102027364B1 (ko) | 2017-06-28 | 2019-10-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 멀티 광학 디스플레이 검사 장치 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100825968B1 (ko) * | 2006-06-09 | 2008-04-29 | (주)리드 | 평판 디스플레이의 가장자리 검사 장치 |
KR100804978B1 (ko) * | 2006-06-22 | 2008-02-20 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 유리기판 면취면의 결함 검사장치 |
KR100915691B1 (ko) | 2008-03-04 | 2009-09-08 | 주식회사 케이엔제이 | 평판디스플레이 패널의 검사장치 및 방법 |
-
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- 2009-09-07 KR KR1020090084074A patent/KR101023472B1/ko active IP Right Grant
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---|---|---|---|---|
KR20160066741A (ko) | 2014-12-03 | 2016-06-13 | 주식회사 케이엔제이 | 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법 |
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---|---|
KR101023472B1 (ko) | 2011-03-24 |
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