KR20050069442A - 프로브핀의 벤딩방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체의 제조공정 중 피검사체의 전기적인 특성을 검사하는 프로브카드(Probe Card)나 평판디스플레이(FPD)의 점등검사장비의 프로브유니트(Probe Unit)에서 활용되는 프로브핀(Probe Pin)에 관한 것으로, 특히 이와 같은 프로브핀의 제조공정 중 프로브핀의 벤딩과정을 수행하는 벤딩방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 프로브핀의 선단부로부터 일정한 길이만큼 떨어져 위치한 정확한 위치에서 선단부의 클램핑이 이루어지도록 하고 이와 같이 클램핑이 이루어진 상태에서 후단의 본체부를 가압하여 절곡이 이루어지도록 하는 프로브핀의 벤딩방법과 이를 구체화한 벤딩장치를 제공하여 정확한 공차관리에 의한 불량품의 발생을 크게 감소시키고 품질의 향상과 함께 생산성도 크게 향상시킬수 있도록 한다.

Description

프로브핀의 벤딩방법 및 장치{Bending Method and Apparatus for Probe Pin}
본 발명은 반도체의 제조공정 중 피검사체의 전기적인 특성을 검사하는 프로브카드(Probe Card)나 평판디스플레이(FPD)의 점등검사장비의 프로브유니트(Probe Unit)에서 활용되는 프로브핀(Probe Pin)에 관한 것으로, 특히 이와 같은 프로브핀의 제조공정 중 프로브핀의 벤딩과정을 수행하는 벤딩방법 및 장치에 관한 것이다.
종래에 있어서 반도체의 제조공정에서는 프로브장치를 이용하여 완성되기 전 상태에 있던 각종 반도체디바이스의 전기적 특성에 대한 측정을 반도체웨이퍼의 상태에서 실행하고, 테스트의 결과 불량품을 가려내어 양호한 것만을 선택하여 다음의 제조공정을 진행하도록 하기도 하고, 액정디스플레이의 제조과정 중 프로브유니트를 활용하여 점등검사를 미리 수행함으로써 보다 신뢰도가 높여주고 효율적인 생산이 이루어지도록 하고 있다.
이러한 측정이나 테스트는 전극패드에 프로브핀을 접촉시키고 이 프로브핀을 통하여 전기적인 특성에 대한 측정을 수행하게 되는데, 이때 사용되고 있는 프로브핀은 가는 봉 형태로서 테이퍼진 형태로 가공된 선단부를 벤딩하여 활용하고 있다.
그러나, 이와 같은 벤딩방식으로서 종래의 경우에는 핀홀에 테이퍼진 선단부를 삽입한 상태에서 일부분을 잡고 가압하여 벤딩하는 방식을 채택하고 있으나, 실제로 지름이 가느다란 프로브핀은 선단부가 테이퍼진 상태로 가공이 이루어지게 되는데, 이와 같은 테이퍼 가공시에 프로브핀 자체의 굵기가 너무나 가늘어서 아무리 정교하게 가공이 이루어진다 하더라도 가공오차가 발생하게 되고, 이에 따라 핀홀에 삽입되는 테이퍼부의 지름이 일정하지 않아 절곡이 이루어지는 부분의 길이가 일정하지 아니하게 되어 결국 공차관리에 어려움이 많은 관계로 제품불량현상이 많이 발생하게 되는 문제점이 있다.
더우기 선단부를 가압하여 벤딩작업을 수행하는 경우에 숙련된 작업자가 아니면 정확한 벤딩각도를 얻기가 어려워 공차관리도 용이하지 아니할 뿐만 아니라 제품의 품질이 고르지 아니하며 생산성이 뒤떨어지는 문제가 계속하여 발생되고 있는 것이 현실이다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제를 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어진 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.
본 발명의 주목적은 프로브핀의 선단 끝부분으로부터 벤딩부까지의 정확한 길이를 유지하고 벤딩부의 벤딩각도가 일정하게 유지될수 있게 절곡하여 항상 동일한 제품의 반복적인 재생산이 가능하고 제품의 우수한 품질이 일정하게 유지가 가능하도록 하여 품질관리가 보다 용이하게 이루어질 수 있고, 불량품의 생산 가능성을 사전에 배제시키고, 생산성의 향상과 함께 숙련자나 미숙련자에 거의 관계없이 항상 일정하게 생산이 가능하도록 하고자 하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 프로브핀의 선단부끝으로부터 벤딩이 이루어지는 벤딩부까지의 길이를 조절할 수 있고, 클램핑부위의 위치조절이 가능하며, 벤딩부의 벤딩작업각도를 조절할 수 있게 구성하여 서로 사양이 다른 여러 종류의 프로브핀에 관계없이 필요에 따라 사양에 맞게 조절하여 여러 벤딩작업을 수행할수 있도록 하고자 함에 있다.
본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위하여 프로브핀의 벤딩방법으로서, 프로브핀을 로딩하는 로딩단계, 프로브핀의 선단부로서 벤딩이 이루어지는 부위에 대한 길이를 벤딩작업을 수행하기 전에 미리 정확하게 조절하는 길이조절단계, 이와 같이 길이가 조절된 상태에서 선단부의 일측으로서 벤딩부의 직전까지 위치를 클램핑하는 클램핑단계, 선단부의 클램핑이 정확하게 이루어진 상태에서 후부에 위치한 본체부를 외력으로 가압하여 각도변위시켜 벤딩부가 이루어지도록 하는 벤딩단계, 그리고 벤딩단계에서 벤딩작업이 이루어진 프로브핀을 언로딩하는 언로딩단계를 포함하여 이루어지는 프로브핀 벤딩방법이 제공된다.
또한, 본 발명의 경우에 위의 프로브핀의 벤딩방법을 구체화하여 이룬 바람직한 프로브핀의 벤딩장치로서, 하부에 공간이 형성되도록 복수개의 다리가 설치된 정반과, 이 정반의 일측에 설치되고 작동레버에 의하여 제자리에서 회전이 가능하게 설치된 레버작동축과, 이 레버작동축과 벨트에 의하여 각각 연동되고 정반의 다른 일측에 각각 설치되는 길이조절캠작동축 및 클램프조절캠작동축과, 이들 길이조절캠작동축 및 클램프조절캠작동축의 상부에 고정 설치되는 길이조절캠 및 클램프조절캠과, 상기 길이조절캠에 의하여 연동되는 길이조절기구와, 상기 클램프조절캠에 의하여 연동되는 클램프기구와, 상기 길이조절기구 및 상기 클램프기구와 함께 벤딩받침블록이 서로 인접되게 상부에 설치되는 조립부재와, 상기 클램프조절캠의 상부에 설치되는 가압바아와, 상기 정반의 상부로서 상기 가압바아와 인접된 위치에 각각 설치되는 팁베이스와 그리고 상기 팁베이스와 인접되고 상기 팁베이스와는 단차가 이루어지되 가압바아가 마련되는 클램프조절캠의 상부면과는 동일한 평면을 유지하게 설치되는 가이드베이스를 포함하여 이루어지는 프로브핀 벤딩장치가 제공된다.
또한, 정반의 하부로서 상기 작동레버의 인접된 위치엔 상기 작동레버에 대한 변위각도조절기가 설치되고, 정반의 상부로서 길이조절기구와 클램프기구가 설치 결합되는 조립부재의 대향측 위치에 벤딩받침블록을 포함하는 조립부재의 상하위치를 조절하기 위한 상하위치조절기가 설치되며, 상기 조립부재의 상부로서 길이조절기구의 대향측엔 길이조절기구의 위치를 조절하기 위한 길이위치조절기가 설치되며, 상기 조립부재의 상부로서 벤딩받침블록과 인접한 위치엔 벤딩받침블록의 좌우위치를 조절하기 위한 좌우위치조절기가 각각 설치되는 프로브핀 벤딩장치가 제공된다.
우선, 첨부된 도면에 의하여 본 발명인 장치에 대하여 실시예별로 각각 보다 상세하게 살펴보기로 한다.
이들은 공통적으로, 하부에 공간이 형성되도록 복수개의 다리(8)가 설치된 정반(9)과, 이 정반(9)의 일측에 설치되고 작동레버(10)에 의하여 제자리에서 회전이 가능하게 설치된 레버작동축(12)과, 이 레버작동축(12)과 벨트에 의하여 각각 연동되고 정반(9)의 다른 일측에 각각 설치되는 길이조절캠작동축(14) 및 클램프조절캠작동축(16)과, 이들 길이조절캠작동축(14) 및 클램프조절캠작동축(16)의 상부에 고정 설치되는 길이조절캠(2) 및 클램프조절캠(4)과, 상기 길이조절캠(2)에 의하여 연동되는 길이조절기구(3)와, 상기 클램프조절캠(4)에 의하여 연동되는 클램프기구(5)와, 상기 길이조절기구(3) 및 상기 클램프기구(5)와 함께 벤딩받침블록(1)이 서로 인접되게 상부에 설치되는 조립부재(18)와, 상기 클램프조절캠(4)의 상부에 설치되는 가압바아(6)와, 상기 정반(9)의 상부로서 상기 가압바아(6)와 인접된 위치에 각각 설치되는 팁베이스(20)와 그리고 상기 팁베이스(20)와 인접되고 상기 팁베이스(20)와는 단차가 이루어지되 가압바아(6)가 마련되는 클램프조절캠(4)의 상부면과는 동일한 평면을 유지하게 설치되는 가이드베이스(22)를 포함하여 이루어지게 된다.
이때, 레버작동축(12)은 정반(9)의 내측으로 설치되는 베어링(24)에 끼워 결합되어 일측에 고정 설치된 작동레버(10)에 의하여 제자리에서 각도회전이 가능하게 설치되며, 작동레버(10)의 하부측에 함께 연동되는 풀리(26)가 설치된다.
다음, 클램프조절캠작동축(16)은 정반(9)의 내측으로 설치되는 베어링(28)에 끼워 결합되고 상부엔 가압바아(6)가 마련된 클램프조절캠(4)이 고정 설치되며, 하부엔 풀리(30,32)가 각각 상하로 설치된다.
다음, 길이조절캠작동축(14)은 정반(9)의 내측으로 베어링(34)이 설치되고 상부엔 길이조절캠(2)이 설치되며, 하부엔 풀리(36)가 설치된다.
그리하여 레버작동축(12)의 풀리(26)와 클램프조절캠작동축(16)의 풀리(32)는 벨트(38)에 의하여 상호간 동력전달이 이루어지도록 결합 구성되고, 클램프조절캠작동축(16)의 풀리(30)와 길이조절캠작동축(14)의 풀리(36)는 벨트(40)에 의하여 상호간 동력전달이 이루어지도록 결합 구성되어 작동레버(10)에 의하여 레버작동축(12)을 회전시키면 클램프조절캠작동축(16)과 길이조절캠작동축(14)이 동시에 작동이 가능하게 구성된다.
다음, 클램프기구(5)는 클램프조절캠(4)에 의하여 상호간 연동이 가능하게 조립부재(18)의 상부에 설치되어지되, 저부에 상기 클램프조절캠(4)과 맞닿은 상태로 가압공전운동이 가능하게 로울(42)이 설치된 클램프(44)와, 이 클램프(44)가 고정 설치되는 상부 가동부재(46)와, 이 가동부재(46)의 하부에 위치하고 조립부재(18)와 고정 설치되며 상기 가동부재(46)와는 복귀스프링(48)에 의하여 탄성적으로 지지되고 그 상부에서 가동부재(46)가 왕복 슬라이드 이동이 가능하게 설치되는 고정부재(50)가 서로 조립 구성된다.
다음, 길이조절기구(3)는 길이조절캠(2)에 의하여 상호간 연동이 가능하게 조립부재(18)의 상부에 설치되어지되, 상기 길이조절캠(2)과 맞닿은 상태로 가압공전운동이 가능하게 로울(52)이 설치된 후방부재(54)와, 이 후방부재(54)와 선단에 길이조절바아(3a)가 고정 설치되는 상부 가동부재(56)와, 이 가동부재(56)의 하부에 위치하고 조립부재(18)와 고정 설치되며 상기 가동부재(56)와는 복귀스프링(58)에 의하여 탄성적으로 지지되고 그 상부에서 가동부재(56)가 왕복 슬라이드 이동이 가능하게 설치되는 고정부재(60)가 서로 조립 구성된다.
또한, 정반(9)의 하부로서 상기 작동레버(10)의 인접된 위치엔 상기 작동레버(10)에 대한 변위각도조절기(62)가 설치되고, 정반(9)의 상부로서 길이조절기구(3)와 클램프기구(5)가 설치 결합되는 조립부재(18)의 대향측 위치에 벤딩받침블록(1)을 포함하는 조립부재(18)의 상하위치를 조절하기 위한 상하위치조절기(64)가 설치되며, 상기 조립부재(18)의 상부로서 길이조절기구(3)의 대향측엔 길이조절기구(3)의 위치를 조절하기 위한 길이위치조절기(66)가 설치되며, 상기 조립부재(18)의 상부로서 벤딩받침블록(1)과 인접한 위치엔 벤딩받침블록(1)의 좌우위치를 조절하기 위한 좌우위치조절기(68)가 각각 설치된다.
이때, 상기 변위각도조절기(62)는 나사식으로 회전함에 따라 전,후진이 되면서 작동레버(10)의 회전 각도 범위를 조절하여 제한 할 수 있게 구성되고, 상기 상하위치조절기(64), 길이위치조절기(66) 및 좌우위치조절기(68)는 일측에 마이크로미터(74,76,78)가 각각 설치되고 그 대향측엔 변위 위치에서 위치를 고정시킬수 있도록 나사식의 스토퍼(84,86,88)가 각각 설치되어 구성된다.
다음, 정반(9)의 다른 일측에 카운터(90)를 설치하고 이 카운터(90)와 작동레버(10)와의 연동부위 사이에 스프링(92)을 연결 설치하여 작동레버(10)의 왕복 작동에 따라 카운터(90)도 연동이 이루어지도록 구성한다.
다음, 도9 및 도10에 예시한 구성은 본 발명에 대한 바람직한 다른 실시예를 예시한 것으로서, 이는 작동레버(10)를 포함하는 레버작동축(12)을 전술한 실시에와는 반대로 대향측인 우측에 설치하여 구성한 예를 보여준다.
즉, 상기 정반(9)에 있어서, 상기 작동레버(10)의 설치 위치를 대향측에 설치하고자 길이조절캠작동축(14)과 인접된 위치에 레버작동축(12)을 설치하고, 상기 레버작동축(12), 길이조절캠작동축(14) 및 클램프조절캠작동축(16)이 풀리와 벨트에 의하여 동력전달이 이루어지도록 하고, 작동레버(10)에 의하여 레버작동축(12)을 회전시키면 클램프조절캠작동축(16)과 길이조절캠작동축(14)이 동시에 작동이 가능하게 구성한 예를 보여준다.
이때, 레버작동축(12)과 길이조절캠작동축(14)의 동력전달방식은 예를 들면 하부에 위치하는 풀리와 벨트에 의하여 서로 동력전달이 가능하게 구성하고, 길이조절캠작동축(14)과 클램프조절캠작동축(16)의 경우에는 동력전달방식이 하부에 위치하는 각각의 풀리(27,31) 사이를 벨트(41)에 의하여 동력전달이 이루어지도록 구성하여, 작동레버(10)에 의하여 레버작동축(12)을 회전시키면 클램프조절캠작동축(16)과 길이조절캠작동축(14)이 동시에 작동이 가능하게 구성되는 점만 전술한 실시예와 다른 정도이고 나머지 기술구성은 상호간 대부분 동일하다.
물론, 이러한 도9 및 도10에 예시한 실시예의 경우에도 카운터(90)의 경우에 별도로 예시하지는 아니하였으나 작동레버(10)와 연동되는 부위와의 사이에 스프링을 설치하여 작동레버(10)를 작동시키는 횟수에 따라 카운터(90)의 작동이 이루어지도록 구성하게 된다.
이와 같이 이루어지는 본 발명인 프로브핀 벤딩장치는 다음과 같은 과정을 거치면서 그 작동이 이루어지게 되는데 이는 본 발명인 벤딩방법이 가지고 있는 기본적인 개념을 근거로 하여 도1 내지 도10의 도면을 참조하여 하기와 같이 설명할수 있다.
즉, 프로브핀을 로딩하는 로딩단계, 프로브핀의 선단부로서 벤딩이 이루어지는 부위에 대한 길이를 벤딩작업을 수행하기 전에 미리 정확하게 조절하는 길이조절단계, 이와 같이 길이가 조절된 상태에서 선단부의 일측으로서 벤딩부의 직전까지 위치를 클램핑하는 클램핑단계, 선단부의 클램핑이 정확하게 이루어진 상태에서 후부에 위치한 본체부를 외력으로 가압하여 각도변위시켜 벤딩부가 이루어지도록 하는 벤딩단계, 그리고 벤딩단계에서 벤딩작업이 이루어진 프로브핀을 언로딩하는 언로딩단계를 포함하여 이루어지는 프로브핀 벤딩방법을 기초로 하여 다음과 같이 그 작동이 이루어지게 된다.
우선, 프로브핀을 로딩하는 로딩단계로서, 도1, 도5 및 도6에 예시한 바와 같이 예를 들면 벤딩받침블록(1)은 고정 위치에 위치하고 길이조절캠(2)에 의하여 연동되는 길이조절기구(3)의 길이조절바아(3a)는 초기위치에 위치하며 클램프조절캠(4)에 의하여 연동되는 클램프기구(5)나 가압바아(6) 역시 초기 위치에 자리 잡은 상태에서 프로브핀(7)의 선단부(7a)가 벤딩받침블록(8)과 길이조절바아(3a)에 의하여 형성되는 모서리부위에 맞닿는 위치에 위치하도록 로딩시키는 단계로서 이때 프로브핀(7)이 아주 미세하므로 핀셋을 이용하여 로딩작업을 수행하게 된다.
다음, 프로브핀(7)의 선단부로서 벤딩이 이루어지는 부위에 대한 길이를 벤딩작업을 수행하기 전에 미리 정확하게 조절하는 길이조절단계로서, 이 경우엔 도2, 도5 및 도6에 예시한 바와 같이 예를 들면 벤딩받침블록(1)은 고정 위치에 위치하고 길이조절캠(2)에 의하여 연동되는 길이조절기구(3)의 길이조절바아(3a)는 길이조절캠(2)이 정점에 위치할 때까지 길이조절기구(3)를 가압하여 가장 전진한 위치까지 이동하면서 프로브핀(7)을 가압 이동시켜 프로브핀(7)의 선단부(7a)로부터 벤딩부에 이르기까지의 길이를 조절하는 과정을 거치게 된다.
다음은 이와 같이 길이가 조절된 상태에서 선단부(7a)의 일측으로서 벤딩부의 직전까지 위치를 클램핑하는 클램핑단계로서, 도3, 도5 및 도6에 예시한 바와 같이 길이조절기구(3)의 길이조절바아(3a)는 후진하고 클램프기구(5)가 클램프조절캠(4)에 의하여 전진하여 프로브핀(7)의 선단부(7a)를 벤딩받침블록(1)과의 사이에서 클램핑이 이루어지는 과정을 거치게 된다.
다음은 이와 같이 선단부(7a)의 클램핑이 정확하게 이루어진 상태에서 후부에 위치한 본체부(7b)를 외력으로 가압하여 각도변위시켜 벤딩부가 이루어지도록 하는 벤딩단계로서, 도4 내지 도6에 예시한 바와 같이, 클램프기구(5)는 클램핑 상태에서 가압바아(6)가 변위되면서 프로브핀(7)의 선단부(7a)를 제외한 후부 위치의 본체부(7b)를 가압하고 각도변위가 이루어지면서 벤딩부가 이루어지도록 하는 과정이 이루어지게 된다.
다음은 벤딩단계에서 벤딩작업이 이루어진 프로브핀을 언로딩하는 언로딩단계로서, 도1, 도5 및 도6에 예시한 바와 같이 길이조절캠(2)과 클램프조절캠(4)이 초기상태로 원위치되고 이에 따라 길이조절바아(3a), 클램프기구(5)는 초기의 위치로 복귀하고 벤딩작업이 완료된 프로브핀(7)을 언로딩시키게 되는 과정을 거치고 다시 맨처음의 로딩하는 단계부터 다시 시작이 되게 된다.
이와 같이 작동이 이루어지면서 프로브핀(7)의 벤딩작업은 순차 및 반복적으로 이루어질수 있게 되는 것이다.
이상 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면, 프로브핀(7)의 선단부(7a)로부터 벤딩부까지의 정확한 길이를 유지하고 벤딩부의 벤딩각도가 일정하게 유지될수 있게 절곡하여 항상 동일한 제품의 반복적인 재생산이 가능하고 제품의 우수한 품질이 일정하게 유지가 가능하도록 하여 품질관리가 보다 용이하게 이루어질 수 있게 되며, 불량품의 생산 가능성을 사전에 배제시키고, 생산성의 향상과 함께 숙련자나 미숙련자에 거의 관계없이 항상 일정하게 생산이 가능하게 된다.
또한,변위각도조절기(62), 위치조절기(64) 및 길이위치조절기(66) 등이 설치되어 프로브핀(7)의 선단부(7a)로부터 벤딩이 이루어지는 벤딩부까지의 길이를 조절할 수 있고, 클램핑부위의 위치조절이 가능하며, 벤딩부의 벤딩작업각도를 조절할 수 있게 구성하여 서로 사양이 다른 여러 프로브핀에 관계없이 필요시 사양에 맞게 조절하여 여러 벤딩작업을 수행할 수 있는 등의 우수한 효과를 갖게 된다.
도1 내지 도4는 본 발명에 의한 개념을 설명하기 위한 계통도로서,
도1은 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)이 이루어지는 초기 상태를 예시한 평면계통도,
도2는 프로브핀의 선단부로부터 벤딩부까지의 길이를 정하기 위하여 정위치시키는 상태를 예시한 평면계통도,
도3은 프로브핀의 선단부를 클램핑하는 상태를 예시한 평면계통도,
도4는 프로브핀의 선단부를 클램핑한 상태에서 본체부를 벤딩한 상태를 보여주는 평면계통도,
도5 내지 도8은 본 발명에 의한 장치의 바람직한 일례를 도시한 것으로서,
도5는 전체 평면도,
도6은 도5의 정면에서 바라본 일부 절결 정면도,
도7은 벤딩받침블록의 좌우위치조절기를 중심으로 나타낸 정면도,
도8은 벤딩부 길이조절기구를 중심으로 나타낸 정면도,
도9 및 도10은 본 발명에 의한 장치의 다른 일례를 도시한 것으로서,
도9는 전체 평면도,
도10은 일부 절결 정면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 벤딩받침블록, 2: 길이조절캠,
3: 길이조절기구, 4: 클램프조절캠,
5: 클램프기구, 6: 가압바아,
7: 프로브핀, 8: 다리,
9: 정반, 10: 작동레버,
12: 레버작동축, 14: 길이조절캠작동축,
16: 클램프조절캠작동축, 18: 조립부재,
20: 팁베이스(Tip Base), 22: 가이드베이스(Guide Base)

Claims (6)

  1. 프로브핀을 로딩하는 로딩단계,
    프로브핀의 선단부로서 벤딩이 이루어지는 부위에 대한 길이를 벤딩작업을 수행하기 전에 미리 정확하게 조절하는 길이조절단계,
    이와 같이 길이가 조절된 상태에서 선단부의 일측으로서 벤딩부의 직전까지 위치를 클램핑하는 클램핑단계,
    선단부의 클램핑이 정확하게 이루어진 상태에서 후부에 위치한 본체부를 외력으로 가압하여 각도변위시켜 벤딩부가 이루어지도록 하는 벤딩단계, 그리고
    벤딩단계에서 벤딩작업이 이루어진 프로브핀을 언로딩하는 언로딩단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩방법.
  2. 하부에 공간이 형성되도록 복수개의 다리(8)가 설치된 정반(9)과,
    이 정반(9)의 일측에 설치되고 작동레버(10)에 의하여 제자리에서 회전이 가능하게 설치된 레버작동축(12)과,
    이 레버작동축(12)과 벨트에 의하여 각각 연동되고 정반(9)의 다른 일측에 각각 설치되는 길이조절캠작동축(14) 및 클램프조절캠작동축(16)과,
    이들 길이조절캠작동축(14) 및 클램프조절캠작동축(16)의 상부에 고정 설치되는 길이조절캠(2) 및 클램프조절캠(4)과,
    상기 길이조절캠(2)에 의하여 연동되는 길이조절기구(3)와, 상기 클램프조절캠(4)에 의하여 연동되는 클램프기구(5)와,
    상기 길이조절기구(3) 및 상기 클램프기구(5)와 함께 벤딩받침블록(1)이 서로 인접되게 상부에 설치되는 조립부재(18)와,
    상기 클램프조절캠(4)의 상부에 설치되는 가압바아(6)와, 상기 정반(9)의 상부로서 상기 가압바아(6)와 인접된 위치에 각각 설치되는 팁베이스(20)와 그리고
    상기 팁베이스(20)와 인접되고 상기 팁베이스(20)와는 단차가 이루어지되 가압바아(6)가 마련되는 클램프조절캠(4)의 상부면과는 동일한 평면을 유지하게 설치되는 가이드베이스(22)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 레버작동축(12)은 정반(9)의 내측으로 설치되는 베어링(24)에 끼워 결합되어 일측에 고정 설치된 작동레버(10)에 의하여 제자리에서 각도회전이 가능하게 설치되며, 작동레버(10)의 하부측에 함께 연동되는 풀리(26)가 설치되고,
    상기 클램프조절캠작동축(16)은 정반(9)의 내측으로 설치되는 베어링(28)에 끼워 결합되고 상부엔 가압바아(6)가 마련된 클램프조절캠(4)이 고정 설치되며, 하부엔 풀리(30,32)가 각각 상하로 설치되며,
    상기 길이조절캠작동축(14)은 정반(9)의 내측으로 베어링(34)이 설치되고 상부엔 길이조절캠(2)이 설치되며, 하부엔 풀리(36)가 설치되고,
    상기 레버작동축(12)의 풀리(26)와 클램프조절캠작동축(16)의 풀리(32)는 벨트(38)에 의하여 상호간 동력전달이 이루어지도록 결합 구성되고, 클램프조절캠작동축(16)의 풀리(30)와 길이조절캠작동축(14)의 풀리(36)는 벨트(40)에 의하여 상호간 동력전달이 이루어지도록 결합 구성되어 작동레버(10)에 의하여 레버작동축(12)을 회전시키면 클램프조절캠작동축(16)과 길이조절캠작동축(14)이 동시에 작동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 클램프기구(5)는 클램프조절캠(4)에 의하여 상호간 연동이 가능하게 조립부재(18)의 상부에 설치되어지되, 저부에 상기 클램프조절캠(4)과 맞닿은 상태로 가압 공전운동이 가능하게 로울(42)이 설치된 클램프(44)와, 이 클램프(44)가 고정 설치되는 상부 가동부재(46)와, 이 가동부재(46)의 하부에 위치하고 조립부재(18)와 고정 설치되며 상기 가동부재(46)와는 복귀스프링(48)에 의하여 탄성적으로 지지되고 그 상부에서 가동부재(46)가 왕복 슬라이드 이동이 가능하게 설치되는 고정부재(50)가 서로 조립 구성되고,
    상기 길이조절기구(3)는 길이조절캠(2)에 의하여 상호간 연동이 가능하게 조립부재(18)의 상부에 설치되어지되, 상기 길이조절캠(2)과 맞닿은 상태로 가압공전운동이 가능하게 로울(52)이 설치된 후방부재(54)와, 이 후방부재(54)와 선단에 길이조절바아(3a)가 고정 설치되는 상부 가동부재(56)와, 이 가동부재(56)의 하부에 위치하고 조립부재(18)와 고정 설치되며 상기 가동부재(56)와는 복귀스프링(58)에 의하여 탄성적으로 지지되고 그 상부에서 가동부재(56)가 왕복 슬라이드 이동이 가능하게 설치되는 고정부재(60)가 서로 조립 구성되며,
    정반(9)의 하부로서 상기 작동레버(10)의 인접된 위치엔 상기 작동레버(10)에 대한 변위각도조절기(62)가 설치되고, 정반(9)의 상부로서 길이조절기구(3)와 클램프기구(5)가 설치 결합되는 조립부재(18)의 대향측 위치에 벤딩받침블록(1)을 포함하는 조립부재(18)의 상하위치를 조절하기 위한 상하위치조절기(64)가 설치되며, 상기 조립부재(18)의 상부로서 길이조절기구(3)의 대향측엔 길이조절기구(3)의 위치를 조절하기 위한 길이위치조절기(66)가 설치되며, 상기 조립부재(18)의 상부로서 벤딩받침블록(1)과 인접한 위치엔 벤딩받침블록(1)의 좌우위치를 조절하기 위한 좌우위치조절기(68)가 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 변위각도조절기(62)는 나사식으로 회전함에 따라 전,후진이 되면서 작동레버(10)의 회전 각도 범위를 조절하여 제한 할 수 있게 구성되고,
    상기 상하위치조절기(64), 길이위치조절기(66) 및 좌우위치조절기(68)는 일측에 마이크로미터(74,76,78)가 각각 설치되고 그 대향측엔 변위 위치에서 위치를 고정시킬수 있도록 나사식의 스토퍼(84,86,88)가 각각 설치되며,
    상기 정반(9)의 다른 일측에 카운터(90)를 설치하고 이 카운터(90)와 작동레버(10)와의 연동부위 사이에 스프링(92)을 연결 설치하여 작동레버(10)의 왕복 작동에 따라 카운터(90)도 연동이 이루어지도록 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 정반(9)에 있어서, 상기 작동레버(10)의 설치 위치를 대향측에 설치하고자 길이조절캠작동축(14)과 인접된 위치에 레버작동축(12)을 설치하고, 상기 레버작동축(12), 길이조절캠작동축(16) 및 클램프조절캠작동축(16)이 풀리와 벨트에 의하여 동력전달이 이루어지도록 하고, 작동레버(10)에 의하여 레버작동축(12)을 회전시키면 클램프조절캠작동축(16)과 길이조절캠작동축(14)이 동시에 작동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브핀의 벤딩장치.
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