KR20050044901A - 그레이징 입사 간섭계용 줄무늬 패턴 판별기 - Google Patents

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Abstract

투과성 평면평행한 테스트 평판에 관련된 평평도 및 두께 변화 정보가 두 가지 타입의 정보를 포함하는 중첩된 간섭무늬들을 판별하도록 변형된 그레이징 입사 간섭계로부터 획득된다. 간섭계의 그레이징 각도가 변화되고, 중첩된 간섭무늬 내에서 국소적인 줄무늬 세기의 유일한 변조 주파수들이 판별된다. 다른 간섭무늬들에 특징이 있는 국소적인 줄무늬 세기는 그 개별적인 변조 주파수에 의하여 판별된다.

Description

그레이징 입사 간섭계용 줄무늬 패턴 판별기{Fringe pattern discriminator for grazing incidence interferometer}
시편의 평평도와 두께 변화는 짝지어진 표면들간에 생성되는 간섭무늬의 값을 구함으로써 광학적으로 측정될 수 있다. 표면의 평평도는 기준면과 비교된다. 두께 변화는 시편의 두 개의 표면간이 비교된다. 적어도 하나의 짝지어진 표면들이 비수직의 입사각도에서 조사되는 그레이징 입사 간섭계(grazing incidence interferometer)는 반사하는 반사도를 증대시키고 측정의 민감도를 조절하는 것을 제공한다.
투과성 시편의 반대면들이 다수의 간섭무늬를 형성하는데 관여하기 때문에, 얇은 투과성 시편의 간섭계 측정은 고유의 문제점들을 나타낸다. 예를 들면, 간섭무늬는 각각의 반대면들과 공통의 기준면간은 물론 반대면들 그 자체들간에 형성될 수 있다. 각각의 간섭무늬는 시편에 대한 정보를 포함하나, 간섭무늬가 서로 중첩될 때 그 정보는 모호해진다.
참고문헌으로 본 명세서에 일체화되고, 무어(Moore)에게 함께 양도된 미국특허번호 4,325,637의 그레이징 입사 반사계에서, 조사하는 광선의 공간적인 간섭성은 간섭 한계 범위를 넘어서도록 분리된 표면들간의 간섭무늬를 차단하는데 한정되었다. 표면들로부터 반사된 평행광선은 표면들간의 간격의 함수로서 측면으로 전단한다. 간섭 줄무늬가 의도된 테스트와 기준면간에 거리보다 더 크게 분리된 표면들간에서 형성하지 않도록 회전하는 확산기가 조사하는 광선을 차단하고 공간적인 간섭성을 감소시킨다.
그러나, 감소된 공간적인 간섭성은 얇은 투과성 시편의 반대면들간에 형성하는 간섭 줄무늬를 배제하지 못하며, 여기서 반대면들은 투과성 시편 및 기준면간에 간격과 비교되는 양만큼 분리되어 있다. 평평도를 측정하는 제 1 간섭무늬는 기준면 및 시편의 반대편의 테스트 표면들 중 가장 가까운 표면간에 형성된다. 두께(및 굴절률) 변화를 측정하는 제 2의 중첩된 간섭무늬는 시편의 반대면들간에 형성된다. 또한, 평평도를 측정하는 제 3의 중첩된 간섭무늬는 기준면 및 시편의 반대편의 표면들 중 보다 먼 표면간에 형성될 수 있다(간섭성 한계 범위내인 경우). 중첩된 간섭무늬들은 각각의 무늬내에 포함되는 다른 평평도 또는 두께 변화 정보를 모호하게 한다.
도 1은 그레이징 입사 간섭계 및 중첩하는 간섭무늬를 분리시키는 프로세서의 도면이다.
도 2는 중앙의 입력 광선이 프리즘의 기준면 및 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들로부터 반사되어 세 개의 출력 광선으로 분할하는 것을 나타내는 기준 프리즘 및 시편의 확대도이다.
도 3a 내지 도 3c는 예시적인 간섭무늬의 이미지이다. 도 3a 및 도 3b는 표면쌍들간에 분리된 간섭무늬들을 나타내고, 도 3c는 도 3a 및 도 3b의 간섭무늬들의 중첩에 의해 형성되는 결합된 간섭무늬를 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 변화하는 그레이징 각도 및 두 개의 중첩된 간섭무늬의 판별하는 세기 기여도의 함수로서 각각의 픽셀에 의해 수행되는 규격화된 세기 변화의 두 개의 예상되는 주파수 성분들을 나타내는 그래프이다.
도 5는 간섭하는 광선들간의 광행로차 및 그레이징 각도와 같은 변수들과 관계를 나타내는 확대절단도이다.
본 발명은 기준면 및 얇은 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들의 짝지어진 결합들간에 그레이징 입사 간섭계에 의해 형성되는 중첩된 간섭 무늬들을 판별하는 것을 제공한다. 시편 및 기준면 모두에 입사하는 조사 광선의 그레이징 각도는 중첩된 간섭무늬들로부터 판별 응답을 유도하도록 계단형 방식으로 변화된다. 판별 응답은 각각의 간섭무늬의 값을 구하는 것을 가능하게 한다.
예시적인 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법은 기준면 및 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 모두로부터 비수직의 그레이징 각도에서 광선을 반사시키는 단계를 포함한다. 상기 기준면 및 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 하나간에 형성된 제 1 간섭무늬는 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들간에 형성된 제 2 간섭무늬상에 중첩된다. 상기 제 1 및 제 2 간섭무늬간을 판별하기 위하여, 상기 광선의 비수직의 그레이징 각도는 각각의 상기 중첩된 간섭무늬들의 국소적인 줄무늬 세기가 적어도 한 주기동안 변화하는 각도의 범위까지 변화된다. 상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나의 범위 내에서 변화하는 변조 주파수가 측정된다. 상기 변조 주파수에서 변화하는 상기 국소적인 줄무늬 세기는 상기 하나의 간섭무늬로부터 위상정보를 추출하도록 값이 구해진다.
상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 하나의 평평도를 측정하기 위하여, 상기 측정된 변조 주파수는 상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 제 1 간섭무늬의 범위 내에서 변화하는 변조 주파수이다. 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들간의 두께 변화를 측정하기 위하여, 상기 변조 주파수는 상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 제 2 간섭무늬의 범위 내에서 변화하는 변조 주파수이다. 상기 제 1 및 제 2 간섭무늬들 모두의 변조 주파수들은 상기 시편 표면들의 평평도 및 두께 변화의 값을 구하는데 측정될 수 있다.
바람직하게는, 상기 비수직의 그레이징 각도는 상기 하나의 간섭무늬에 의해 값이 구해진 표면들간에 광행로차의 거의 균일한 증가량에 대응하는 다른 크기의 각도 증가량을 통하여 점진적으로 변화된다. 그 결과적인 변조 주파수는 상기 간섭무늬들 모두에 대한 기울기의 범위(즉, 그레이징 각도의 범위)의 전체에 걸쳐 일정하게 남는다. 그러나, 상기 제 1 및 제 2 간섭무늬들과 관련된 변조 주파수는 그들로부터 형성되는 표면들간의 간격의 함수로서 다르다.
상기 중첩된 간섭무늬들의 변조 주파수들간의 차이는 상기 시편 및 상기 기준면간의 비수직의 그레이징 각도 및 간격을 조절함으로써 증대될 수 있다. 상기 변조 주파수는 상기 시편 및 상기 그레이징 입사 간섭계간의 예상되는 관계에 기초를 둔 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계와 관계없이 계산되는 것이 바람직하다.
상기 광선은 공간적으로 간섭성이 한정된 광선의 일시적인 간섭성 광선인 것이 바람직하다. 상기 기준면 및 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들로부터 다양한 반사들간에 생성되는 전단은 상기 표면들간의 비수직의 그레이징 각도 및 간격의 함수이다. 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 두 개의 표면들 중 제 1 면은 상기 기준면에 가까운 방향에 설정되고, 상기 두 개의 명목상으로 평행한 두 개의 표면들 중 제 2 면은 상기 기준면으로부터 먼 방향에 설정된다. 상기 기준면 및 상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 제 2 면으로부터 반사들간의 전단은 간섭무늬가 형성되는 공간적인 간섭성 한정범위를 넘어서는 것이 바람직하다.
전체적으로, 바람직한 방법은 기준면 및 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들의 짝지어진 결합들간에 생성되는 중첩된 간섭무늬들을 판별하기 위하여 비수직의 그레이징 각도 변화의 결과를 이용한다. 변조 주파수는 상기 간섭무늬들을 생성하는 광선이 상기 기준면 및 상기 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면으로부터 반사하는 비수직의 그레이징 각도의 변화의 함수로서 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나의 국소적인 줄무늬 세기의 변화에 대하여 계산된다. 상기 광선의 비수직의 그레이징 각도는 각각의 상기 중첩된 간섭무늬들의 국소적인 줄무늬 세기가 적어도 한 주기동안 변화하는 각도의 범위까지 변화된다. 상기 간섭무늬들의 일련의 중첩된 줄무늬가 변화된 형태들은 상기 광선의 비수직의 그레이징 각도가 변화되는 각도의 범위의 전체에 걸쳐 생성된다. 상기 계산된 변조 주파수에서 상기 간섭무늬들의 일련의 줄무늬가 변화된 형태들을 통하여 점진적으로 변화하는 국소적인 줄무늬 세기는 상기 동일한 변조 주파수에서 유사하게 변화하지 않는 다른 국소적인 줄무늬 세기로부터 판별된다.
상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나 내에서 변화하는 상기 변조 주파수는 상기 시편 및 상기 시편과 상기 그레이징 입사 간섭계의 관계에 대하여 알려진 정보에 기초를 두어 상기 중첩된 간섭무늬들의 생성에 앞서 계산되는 것이 바람직하다. 상기 계산은 상기 중첩된 간섭무늬들 모두에 대한 변조 주파수들을 판별하는 것이 바람직하고, 이 변조 주파수들은 상기 두 개의 중첩된 간섭무늬들간의 국소적인 줄무늬 세기의 점진적인 변화를 판별한다.
실제 측정에 앞서 변조 주파수를 계산하는 것은 실제 측정을 수행하는 것보다 잡음 왜곡을 제거함으로써 유사한 시편을 측정하는 것에 대하여 보다 일치하는 결과를 산출한다. 잡음 왜곡은 정확한 변조 주파수를 잡음과 관련된 다른 주파수들 중에서, 특히 간섭무늬의 줄무늬가 변화된 형태들의 한정된 수로부터 판별하는 것을 보다 어렵게 할 수 있다. 그러나, 상기 변조 주파수가 측정될 때, 상기 다른 간섭무늬들과 관련된 국소적인 줄무늬 세기의 점진적인 변화가 상기 변조 주파수에서 상기 간섭무늬들의 줄무늬가 변화된 형태들의 보다 한정된 수로부터 보다 쉽게 인식될 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 예시적인 그레이징 입사 간섭계(grazing incidence interferometer; 10)가 평면평행판의 형태를 갖는 투과성 시편(transmissive test piece; 12)의 평평도 및 두께 변화 모두들 측정하는 것을 제공한다. 레이저 다이오드와 같은 광원(14)이 일시적인 간섭광의 광선(18)을 방출하며, 여기서 포커싱 렌즈(16)가 초기에 수렴하는 경로에 설치된다.
회전형 확산 평판(rotating diffuser plate; 22)을 구비한 간섭성 조절 장치(coherence adjuster; 20)가 광선(18)의 공간적인 간섭성을 감소시키기 위하여 광선(18)의 좁혀진 부분을 차단한다. 회전형 확산 평판(22)은 광선(18)을 차단하고, 확산 평판(22)상에 반점(spot; 23)을 조사하는 광선을 무작위로 산란시킨다. 반점(23)으로부터 산란된 광선은 확장된 광원에 필적하고, 여기서 확장된 광원의 크기는 광선(18)의 공간적인 간섭성의 정도와 역관계가 된다. 포커싱 렌즈(16)는 광선(18)의 공간적인 간섭성을 조절하기 위하여 조사된 반점(23)의 크기를 변화시키도록 화살표(24) 방향으로 움직일 수 있다.
광선(18)의 확장 부분은 반사면(reflective surface; 28) 및 화살표(32) 방향으로 각도의 한정된 범위까지 반사면(28)을 기울이기 위한 회전축(pivot; 30)을 구비한 틸트 장치(tilt mechanism; 26)를 통하여 전달된다. 유사한 양의 광선 기울기가 회전축 평면평행판을 가지고 광선(18)을 차단함으로써 달성될 수 있다. 수직에서부터 전달 광선(18)까지 기울이게 될 때, 광선은 확산 평판(22)상에 확장된 광원으로부터 상쇄되는 선명한 광원으로부터 평판을 통하여 투과한다.
초점길이가 확산 평판(22)에서부터 측정되는 콜리메이팅 렌즈(collimating lens; 34)는 수직입사에 가깝게 삼각형의 프리즘(40)의 하나의 측면(36)에 접근하도록 확장하는 광선(18)을 명목상으로 평행한 광선(18)으로 변환시킨다. 측면(36)은 거의 45°의 각도로 밑면(42)과 기울어진 두 개의 동일한 길이의 측면들(36, 38) 중 하나인 것이 바람직하다. 명목상으로 평행한 광선(18)의 확장되고 잔존하는 발산이 광선(18)의 한정된 공간적인 간섭성에 의해 조금 증가되나, 프리즘(20)에 접근하는 평행광선(18)의 평균 입사 각도는 수직에서 광선(18)의 기울기까지 조금 벗어날 수 있다.
도 2를 참조하면, 광선(18)의 중심광선(48)은 프리즘(40)을 통하여 전달하고, 기준광선(50)으로 비수직의 그레이징 각도(non-normal grazing angle) "α"를 통하여 프리즘(40)의 밑면(42)으로부터 부분적으로 반사된다. 그레이징 각도 "α"는 반사의 범위 내에서 반사면(프리즘(40)의 밑면(42))으로부터 기울어진 비수직의 각도로서 정의된다. "그레이징 입사(grazing incidence)"로 명명되는 각도는 이 "그레이징 각도(grazing angle)"의 여각이다.
광선의 다른 부분은 제 1 테스트 광선(52)으로서 시편(12)의 두 개의 명목상으로 평평한 표면들(56, 58)의 제 1 표면(56)으로부터 부분적으로 반사되기 전에 공극(air gap; 60)을 통하여 밑면(42)에서부터 굴절된다. 광선(48)의 또 다른 부분은 제 2 테스트 광선(54)으로서 시편(12)의 두 개의 명목상으로 평평한 표면들(56, 58)의 제 2 표면(58)으로부터 반사되기 전에 제 1 표면(56)에서 굴절되고 시편(12)을 통하여 전달한다. 기준광선(50) 및 두 개의 테스트 광선들(52, 54)은 상대적으로 전단된 프리즘 표면(38)을 통하여 프리즘을 나오나, 서로 명목상으로 평행하다. 바람직하게는, 모든 광선들(48, 50, 52, 54)이 수직 입사에 가깝게 프리즘(40)에 들어가고 나오도록, 비수직의 그레이징 각도 "α"는 프리즘(40)의 밑면의 여각과 적어도 거의 동일하다.
제 1 테스트 광선(52)은 거리 "a"에 의해 기준광선(50)에 대하여 전단된다. 제 2 테스트 광선(54)은 거리 "b"에 의해 제 1 테스트 광선(52)에 대하여 전단된다. 제 2 테스트 광선(54)은 거리 "c"에 의해 기준광선(50)에 대하여 전단된다. 바람직하게는, 전단 거리(shear distance) "c"는 간섭성 조절 장치(20)에 의하여 설정되는 광선(18)의 공간적인 간섭성을 넘어선다. 전단 "c"의 한 성분으로 전단 "a"의 양은 다른 지름의 필라멘트 장착부(filament mount; 62)를 이용하여 공극(60)을 증가시키거나 또는 감소시킴으로써 조절될 수 있다. 공극(60)을 조절하는 다른 방법은 시편(12)의 표면들(56, 58) 중 하나와 관련된 지지대를 포함할 수 있다.
광선(18)의 공간적인 간섭성내에서, 시편 표면(56)의 평평도에 관련된 정보를 포함하는 제 1 간섭무늬(64)(예를 들어 도 3a 참조)는 기준면(42)으로부터 반사하는 광선(18)(광선(50)을 포함함)의 제 1 부분 및 제 1 시편 표면(56)으로부터 반사하는 광선(18)(광선(52)을 포함함)의 제 2 부분간에 형성된다. 시편(12)의 두께(및 굴절률) 변화에 관련된 정보를 포함하는 제 2 간섭무늬(66)(예를 들어 도 3b 참조)는 제 1 시편 표면(56)으로부터 반사하는 광선(18)(광선(52)을 포함함)의 제 2 부분 및 제 2 시편 표면(58)으로부터 반사하는 광선(18)(광선(54)을 포함함)의 제 3 부분간에 형성된다. 두께 변화가 흔히 변화, 특히 동종의 물질에 대한 변화의 주요 공급원이나, 실제로 간섭무늬(66)는 시편(12)의 두께 변화 및 굴절률 변화 모두에 대한 정보를 포함한다. 일반적으로 본 명세서에서 두께 변화만 참조되나, 두께 변화 및 굴절률 변화 모두가 시편(12)의 반대면들(56, 58)간의 간섭무늬에 의해 나타난다.
두 개의 간섭무늬들(64, 66)은 연마된 유리 또는 플라스틱으로 만들어질 수 있는 확산 관찰 스크린(diffused viewing screen; 70)상에 하나로 결합된 간섭무늬(68)(예를 들어 도 3c 참조)로 나타난다. 확산을 보다 무작위화하도록 회전될 수 있거나 또는 떨리게 될 수 있는 확산 관찰 스크린(70)은 결합된 간섭무늬(68)의 이미지를 고정시켜서 통상적인 줌 렌즈(zoom lens; 72)가 전하결합소자(charge-coupled device; CCD) 카메라와 같은 기록 장치(74)상에 이미지가 투사할 수 있다. 다른 이미지를 형성하는 광학계 및 기록 장치가 다른 위치에 나타나는 결합된 간섭무늬(68)로부터 유사한 정보를 수집하는데 사용될 수 있다.
시편(12)의 평평도 및 두께 변화에 관련된 정보는 두 개의 간섭무늬들(64, 66)의 중첩에 의해 모호해진다. 두 개의 간섭무늬들(64, 66)의 국소적인 줄무늬 세기(local fringe intensity)는 시편(12)의 평평도 및 두께 변화에 관련된 정보가 서로 모호해지게 결합된 간섭무늬(68)를 생성하도록 함께 합쳐진다.
그레이징 각도 "α"에서 작은 변화가 주기적인 변화를 통하여 두 개의 간섭무늬들의 국소적인 줄무늬 세기가 변화하는 것을 발견하였으며, 여기서 세기의 각각의 주기는 인접한 줄무늬들간의 간격에 대응하였다. 간섭무늬들(64, 66) 모두의 국소적인 줄무늬 세기가 그레이징 각도 "α"의 변화의 결과로서 변화하나, 보다 더 의미 있는 본 발명을 위하여, 두 개의 간섭무늬들간의 국소적인 세기가 변화하는 주파수(즉, 변조 주파수(modulation frequency))가 두 개의 간섭무늬들(64, 66)간을 판별하는데 준비될 수 있다.
두 개의 간섭무늬들의 국소적인 세기가 예측 가능한 방식으로 변화하나, 두 개의 간섭무늬들의 변조 주파수는 그레이징 각도 "α"의 균일한 증가량의 변화의 함수로서 일정하지 않다. 이것은 처프(chirp)되어 개별적인 간섭무늬들(64, 66)을 판별하거나 또는 속성을 부여하기가 어려운 변조 주파수의 결과이다. 그러나, 다른 크기의 각도 증가량을 통하여 비수직의 그레이징 각도 "α"를 변화시킴으로써, 국소적인 줄무늬 세기는 보다 안정한 변조 주파수에서 변화될 수 있다.
예를 들면, 도 4a 및 도 4b는 그레이징 각도 변화의 함수로서 기록 장치(74)의 각각의 화소 센서에서 규격화된 세기의 예상되는 변화의 그래프이다. 두 개의 예측된 변조(76, 78)는 그레이징 각도 "α"의 동일한 변화량과 관련된 두 개의 간섭무늬(64, 66)내에서 규격화된 세기 변화의 다른 비율에 대응한다. 도 4a에서, 틸트 장치(26)의 균일한 증가량의 변화가 두 개의 변조(76, 78)에서 주파수 변화를 생성한다. 그러나, 도 4b에서, 간섭광선들간에 광행로차(optical path difference; OPD)의 균일한 변화에 대응하는 그레이징 각도 "α"의 균일하지 않은 변화가 변조(76, 78)를 보다 안정한 형태(즉, 일정한 주파수를 가짐)로 재생성한다.
그레이징 각도 "α"의 다른 크기의 각도 증가량은 간섭무늬들(64, 66)에 의해 비교되는 명목상으로 평행한 표면들간의 광행로차의 거의 균일한 증가량에 대응한다. 변조 주파수를 안정화시키기 위한 정확한 보정은 간섭무늬들(64, 66) 중 하나에 일반적으로 한정되나, 잔존하는 변조 주파수의 잔존 처핑(residual chirping)은 작다. 우수한 결과가 두 개의 변조 주파수들(76, 78) 중 보다 고주파수(76)를 선택적으로 안정화시킴으로써 획득될 수 있다.
광행로차(OPD) 및 상기 광행로차와 그레이징 각도 "α"의 관계의 대표도 도 5에 제공되어 있다. 광행로차(OPD)는 시편(12)의 반대면들(56, 58)로부터 반사하는 테스트 광선 "A"와 "C" 및 프리즘(40)의 기준면(42)으로부터 반사되는 간섭성 기준광선 "B"와 "D"간에 나타난다. 이전 조사의 광선(18)은 그레이징 각도 "α"에서 기준면(48)에 접근하는 명목상으로 평평한 파면(82)으로서 도 5에 도시되어 있다.
제 1 시편 표면(56) 및 기준면(42)으로부터 반사들간의 광행로차(OPD)는 광선 "A"의 두 배 길이 빼기 광선 "B"의 길이의 합(즉, 2A-B)으로 명백하다. 제 2 시편 표면(58)과 기준면(42)간의 광행로차(OPD)는 광선 "A"의 두 배 길이와 광선 "C"의 두 배 길이 빼기 광선 "D"의 길이의 합(즉, 2A+2C-D)으로 명백하다. 시편(12)의 표면들(56, 58) 및 프리즘의 기준면(42) 중에서 예측되는 광행로차(OPD)는 그레이징 각도 "α", 시편(12)과 기준면(42)간의 간격 "S", 시편(12)의 평균 두께 "Tp", 및 시편(12)과 프리즘(40)의 굴절률에 기초를 두어 즉시 계산될 수 있다. 광행로차(OPD)상에 그레이징 각도 "α"의 변화의 효과는 광행로차(OPD)의 균일한 증가량을 생성하는 그레이징 각도 "α"의 요구되는 변화를 측정하는 동안 유사하게 예측될 수 있다.
컴퓨터 프로세서(80)의 제어하에서, 결합된 간섭무늬(68)로부터 세기 데이터가 두 개의 사전에 계산된 변조 주파수들(76, 78) 중 저주파수(78)의 하나 이상의 주기동안 광행로차(OPD)의 균일한 증가량에서 수집된다. 예를 들면, 데이터의 32∼64 프레임이 화소 배열내에서 결합된 간섭무늬(68)의 점진적으로 변화하는 이미지를 기록하는 구간상에서 수집될 수 있다. 사전에 계산된 변조 주파수들(76, 78)이 통상적인 푸리에 변환(Fourier transform)내에서 두 개의 간섭무늬들(64, 66)의 세기 성분들을 판별하는 수집된 데이터에 적용될 수 있다. 데이터 프레임에 수집된 각각의 화소에 대한 데이터는 이산 푸리에 변환(discrete Fourier transform)을 수행한다. 고주파수의 사전에 측정된 변조 주파수(76)에서 변화하는 화소의 세기 성분은 시편(12)의 제 1 표면(56) 및 프리즘(40)의 기준면(42)간의 간섭무늬(64)의 특성이고(평평도 측정), 저주파수의 사전에 측정된 변조 주파수(78)는 시편(12)의 제 1 및 제 2 표면들(56, 58)간의 다른 간섭무늬 특성이다(두께 변화 측정).
세기 데이터가 간섭무늬들(64, 66)간에서 판별될 때, 데이터 프레임으로부터 관련된 세기 데이터가 각각의 간섭무늬들(64, 66)내에서 세기(즉, 위상) 변화를 보다 정확하게 측정하는 위상 변화를 위하여 사용될 수 있다. 프로세서는 측정결과를 기록하는 하나 이상의 출력 장치(도시되지 않음)에 연결될 수 있다.
수집된 세기 데이터의 연속적인 프레임으로부터 두 개의 다른 변조 주파수들(76, 78)을 추출하는 것이 가능하다 할지라도, 시스템 잡음이 변조 주파수들(76, 78)의 판별을 바꾸거나 또는 모호하게 할 수 있다. 그레이징 각도 "α", 시편(12)의 두께 "Tp", 시편(12)과 프리즘(40)간의 간격 "S", 및 횡단 매질의 굴절률을 포함하는 변조 주파수를 결정하는 요소들은 모두 사전에 알려져 있다. 실제로, 그레이징 각도 "α"와 간격 "S"와 같은 변수들은 사전에 측정된 변조 주파수들(76, 78)을 분리시키는 실제 측정에 앞서 최적화될 수 있다. 사전에 예상되는 변조 주파수를 계산함으로써, 측정을 해석하기 위한 요구사항을 처리하는 과정이 감소되고, 그 결과는 보다 신뢰할 수 있다.

Claims (23)

  1. 하나의 기준면 및 적어도 두 개의 다른 간섭무늬를 생성하는 투과성 평판의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 모두로부터 비수직의 그레이징 각도에서 광선을 반사시키는 단계;
    상기 기준면과 상기 투과성 평판의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 하나간에 형성되는 제 1 간섭무늬를 상기 투과성 평판의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들간에 형성되는 제 2 간섭무늬에 중첩시키는 단계;
    각각의 상기 중첩된 간섭무늬들의 국소적인 줄무늬 세기가 적어도 한 주기동안 변화하는 각도의 범위까지 상기 광선의 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계;
    상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나의 범위 내에서 변화하는 변조 주파수를 측정하는 단계; 및
    상기 하나의 간섭무늬로부터 위상정보를 추출하도록 상기 변조 주파수에서 변화하는 상기 국소적인 줄무늬 세기의 값을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 변화시키는 단계는 다른 크기의 각도 증가량을 통하여 상기 비수직의 그레이징 각도를 점진적으로 변화시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 다른 크기의 각도 증가량은 상기 하나의 간섭무늬에 의해 값이 구해지는 상기 명목상으로 평행한 표면들간의 광행로차의 거의 균일한 증가량에 대응하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정하는 단계는 상기 투과성 평판 및 상기 그레이징 입사 간섭계의 세부사항에 기초를 둔 변조 주파수를 계산하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 변조 주파수는 상기 투과성 평판 및 상기 그레이징 입사 간섭계간의 예상되는 관계에 기초를 둔 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계와 관계없이 계산되는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 변조 주파수는 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계에 앞서 계산되는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 변조 주파수의 계산은 적어도 일부분이 상기 광선의 상기 비수직의 그레이징 각도 및 상기 기준면과 상기 투과성 평판간의 간격을 포함하는 입력 변수에 기초를 두는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    공간적으로 간섭성이 한정된 광선의 일시적인 간섭성 광선을 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 반사시키는 단계는 상기 비수직의 그레이징 각도와 상기 표면들간의 간격 모두의 함수로서 상기 기준면 및 상기 투과성 평편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들로부터 반사들간의 측면 전단을 생성하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 제 1 면은 상기 기준면에 가까운 방향에 설정하고, 상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 제 2 면은 상기 기준면에 먼 방향에 설정되며, 상기 기준면 및 상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 제 2 면으로부터 반사들간의 전단은 간섭무늬가 형성되는 공간적인 간섭성 한정범위를 넘어서는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 변조 주파수를 측정하는 단계는 상기 국소적인 줄무늬 세기를 상기 제 1 간섭무늬 내에서 변화하는 변조 주파수를 측정하는 과정을 포함하고,
    상기 국소적인 줄무늬 세기의 값을 구하는 단계는 상기 평판의 상기 명목상으로 평행한 표면들 중 하나의 평평도를 측정하는 동안 상기 제 1 간섭무늬로부터 위상 정보를 추출하도록 상기 변조 주파수에서 변화하는 상기 국소적인 줄무늬 세기의 값을 구하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 제 1 간섭무늬 내에서 변화하는 상기 변조 주파수는 두 개의 변조 주파수들 중 제 1 주파수이고,
    상기 변조 주파수를 측정하는 단계는 상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 제 2 간섭무늬 내에서 변화하는 변조 주파수를 측정하는 과정도 포함하며,
    상기 국소적인 줄무늬 세기의 값을 구하는 단계는 상기 평판의 상기 명목상으로 평행한 표면들간의 두께 변화를 측정하는 동안 상기 제 1 간섭무늬로부터 위상 정보를 추출하도록 상기 제 2 변조 주파수에서 변화하는 상기 국소적인 줄무늬 세기의 값을 구하는 과정도 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이징 입사 간섭계를 이용한 투과성 평면평행판의 측정 방법.
  13. 기준면 및 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들 중 짝지어진 결합들간에 그레이징 입사 간섭계에 의해 생성되는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법으로서,
    상기 간섭무늬를 생성하는 광선이 상기 기준면 및 상기 투과성 시편의 상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들로부터 반사하는 비수직의 그레이징 각도내에 변화의 함수로서 상기 중첩된 간섭무늬 중 국소적인 줄무늬 세기가 변화하는 변조 주파수를 계산하는 단계;
    각각의 상기 중첩된 간섭무늬들의 국소적인 줄무늬 세기가 적어도 한 주기동안 변화하는 각도의 범위까지 상기 광선의 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계;
    상기 광선의 상기 변화된 비수직의 그레이징 각도와 관련된 상기 간섭무늬들의 일련의 중첩된 줄무늬가 변화된 형태를 생성하는 단계; 및
    상기 계산된 변조 주파수에서 상기 간섭무늬들 중 일련의 줄무늬가 변화된 형태까지 상기 변조 주파수에서 유사하게 변화하지 않는 다른 국소적인 줄무늬 세기로부터 점진적으로 변화하는 국소적인 줄무늬 세기를 판별하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나 내에서 변화하는 상기 변조 주파수는 상기 간섭무늬들의 상기 중첩된 줄무늬가 변화된 형태를 생성하는 단계에 앞서 선택적으로 계산되는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 변조 주파수는 상기 시편 및 상기 시편과 상기 그레이징 입사 간섭계의 관계에 대하여 알려진 정보에 기초를 두어 계산되는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 계산하는 단계는 상기 중첩된 간섭무늬들 모두의 국소적인 줄무늬 세기의 변조 주파수를 계산하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 판별하는 단계는 상기 계산된 변조 주파수들 중 제 1 주파수에서 제 1 간섭무늬의 일련의 줄무늬가 변화된 형태까지 점진적으로 변화하는 국소적인 줄무늬 세기 및 상기 계산된 변조 주파수들 중 제 2 주파수에서 제 2 간섭무늬의 일련의 줄무늬가 변화된 형태까지 점진적으로 변화하는 국소적인 줄무늬 세기를 판별하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 광선의 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 단계는 다른 크기의 각도 증가량까지 상기 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 다른 크기의 각도 증가량은 기준면 및 투과성 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들의 짝지어진 결합들간에 광행로차의 거의 균일한 증가량에 대응하는 것을 특징으로 하는 중첩된 간섭무늬의 판별 방법.
  20. 광선이 기준면과 시편의 명목상으로 평행한 표면들로부터 비수직의 그레이징 각도에서 반사하여, 상기 기준면과 상기 시편의 명목상으로 평행한 표면들 중 하나간에 제 1 간섭무늬 및 상기 시편의 두 개의 명목상으로 평행한 표면들간의 제 2 중첩된 간섭무늬를 생성하는 그레이징 입사 간섭계;
    각각의 상기 중첩된 간섭무늬의 국소적인 줄무늬 세기가 적어도 한 주기동안 변화하는 각도의 범위까지 상기 광선의 비수직의 그레이징 각도를 변화시키는 틸트 장치;
    상기 광선의 상기 변화된 비수직의 그레이징 각도와 관련된 간섭무늬들의 일련의 중첩된 줄무늬가 변화된 형태로부터 데이터를 수집하는 수집 소자; 및
    (a) 상기 중첩된 간섭무늬들 중 하나의 국소적인 줄무늬 세기가 상기 비수직의 그레이징 각도에서 변화의 함수로서 변화하는 변조 주파수를 계산하고, (b) 상기 계산된 변조 주파수에서 상기 간섭무늬들 중 일련의 줄무늬가 변화된 형태까지 상기 변조 주파수에서 유사하게 변화하지 않는 다른 국소적인 줄무늬 세기로부터 점진적으로 변화하는 상기 국소적인 줄무늬 세기를 판별하는 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 명목상으로 평행한 표면을 구비한 시편 측정 시스템.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 프로세서는 상기 기준면 및 상기 두 개의 명목상으로 평행한 표면들의 짝지어진 결합들간에 광행로차의 균일한 증가량을 상기 광선의 비수직의 그레이징 각도에서 변화의 균일하지 않은 증가량과 관련시키는 것을 특징으로 하는 명목상으로 평행한 표면을 구비한 시편 측정 시스템.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 프로세서는 상기 중첩된 간섭무늬들 모두의 상기 국소적인 줄무늬 세기가 상기 비수직의 그레이징 각도에서 변화의 함수로서 변화하는 변조 주파수를 계산하는 것을 특징으로 하는 명목상으로 평행한 표면을 구비한 시편 측정 시스템.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 기준면 및 상기 두 개의 변조 주파수를 분리하는 상기 시편간에 간격을 변화시키는 조절 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 명목상으로 평행한 표면을 구비한 시편 측정 시스템.
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005049317A (ja) * 2003-07-31 2005-02-24 Nidek Co Ltd 干渉計
JP5130513B2 (ja) * 2006-03-10 2013-01-30 国立大学法人 和歌山大学 ３次元変位ひずみ計測方法及び装置
FR2929402B1 (fr) * 2008-03-31 2012-07-13 Univ Troyes Technologie Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel.
JP5713545B2 (ja) * 2009-08-05 2015-05-07 株式会社ミツトヨ 斜入射干渉計
US8743375B2 (en) 2012-06-26 2014-06-03 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Parallelism measuring system and method thereof
CN102749044B (zh) * 2012-06-26 2015-06-24 深圳市华星光电技术有限公司 平行度检测系统及其方法
FR2997181B1 (fr) * 2012-10-18 2014-12-12 Msc & Sgcc Installation pour mesurer l'epaisseur de la paroi de recipients
WO2014070520A1 (en) * 2012-10-31 2014-05-08 Thomas Patrick Ryan Fringe shift measurement system
US9651358B2 (en) * 2013-08-19 2017-05-16 Corning Incorporated Grazing-incidence interferometer with dual-side measurement capability using a common image plane
TWI486550B (zh) * 2014-01-20 2015-06-01 Nat Univ Tsing Hua 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
US9500468B2 (en) 2014-08-25 2016-11-22 Board Of Trustees Of Michigan State University Scanning interferometry technique for through-thickness evaluation in multi-layered transparent structures
TWI601938B (zh) 2016-06-28 2017-10-11 國立清華大學 即時檢測全場厚度的光學裝置
CN106198397B (zh) * 2016-08-16 2020-01-03 京东方科技集团股份有限公司 一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备
CN109458959B (zh) * 2018-12-24 2020-12-04 南京理工大学 一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法
JP7349655B2 (ja) * 2019-05-28 2023-09-25 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 投射装置
CN112378476B (zh) * 2020-11-17 2022-10-04 哈尔滨工业大学 大长径比卧式罐容积多站三维激光扫描内测装置及方法
CN113155164B (zh) * 2021-03-29 2022-12-20 广州大学 基于虚拟参考干涉的灵敏度放大方法、装置、设备及介质
CN113188485B (zh) * 2021-05-06 2022-06-21 苏州天准科技股份有限公司 一种多工位智能表面waviness量检测系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4325637A (en) * 1980-06-02 1982-04-20 Tropel, Inc. Phase modulation of grazing incidence interferometer
US5532821A (en) 1995-03-16 1996-07-02 Tropel Corporation Testing of recessed surfaces at grazing incidence
US5724137A (en) 1996-06-27 1998-03-03 Tropel Corporation Fringe pattern discriminator for interferometer using diffraction gratings
US5777738A (en) 1997-03-17 1998-07-07 Tropel Corporation Interferometric measurement of absolute dimensions of cylindrical surfaces at grazing incidence
US5923425A (en) * 1997-11-20 1999-07-13 Tropel Corporation Grazing incidence interferometry for measuring transparent plane-parallel plates
DE10121516A1 (de) * 2001-05-03 2002-11-07 Michael Kuechel Vorrichtung und Verfahren zur Verminderung der Wirkungen kohärenter Bildfehler in einem Interferometer

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WO2004013565A3 (en) 2004-04-29
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WO2004013565A2 (en) 2004-02-12
EP1527317A4 (en) 2009-01-14
AU2003254246A8 (en) 2004-02-23
DE60332837D1 (de) 2010-07-15

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