JPH10512955A

JPH10512955A - 光学装置、及び該装置を物体の光学的検査に用いる方法

Info

Publication number: JPH10512955A
Application number: JP8522418A
Authority: JP
Inventors: ケレン，エリエザー
Original assignee: ロートレックス（１９９４）リミテッド
Priority date: 1995-01-19
Filing date: 1996-01-19
Publication date: 1998-12-08
Also published as: IL112395A; IL112395A0; AU4900696A; WO1996022506A1

Abstract

(57)【要約】光学装置と、干渉法の概念に基づいて、該装置を物体の光学的検査に用いる方法において、前記光学装置は、一対の回折格子Ｇ１、Ｇ２を備える。各回折格子は、消失性波動現象と零次数の相殺により、回折次数−１と回折次数＋１を除く全ての回折次数を実質的に除去する方向に減少させるように設計されている。

Description

【発明の詳細な説明】光学装置、及び該装置を物体の光学的検査に用いる方法発明の分野及び背景本発明は、光学装置に関するものであり、また、該装置を物体の光学的検査に用いる方法に関するものである。光学的に物体を検査するために使用される１つの方式としては、２つの光ビームの間の位相遅れを測定する古典的な干渉法（インターフェロメトリー・inter- ferometry）を用いたものがある。この方式に基づいた例には、干渉法（シュリーレン、シャーリングインターフェロメトリー）、シャドウグラフィー、モアレ干渉法等が含まれる。この方式は、一般的に、確度（正確性）が非常に高いとう優れた特徴を備えているが、反面、感度が高過ぎること、また、感度が固定されているという、重大な課題をも備えている。また、光学的に物体を検査するための最近の方式は、モアレ偏向法(デフレクトメトリー・deflectometry)に基づいている。この方式によれば、物体で偏向された平行ビームは、互いに予め選択された角度方向及び間隔をもった一次回折格子と二次回折格子を通過するように導かれて、モアレパターンの生成に使用され、このように生成されたモアレパターンによって、被検査物体の特性が判明する。この方式は、1970年代中頃になって初めて開発され、中確度〜低確度の測定に最適なものになっている。この方式は、古典的な干渉法方式に比べ２つの主要な長所を備えている。すなわち、安定性が高いこと（衝撃及び振動に対して低感度であること）、および、非常に広いダイナミックレンジに亘って感度が調整可能であることである。しかしながら、モアレ偏向法を高確度の領域に広げると、中確度〜低確度の領域では余剰となる高次数の光学的影響を強く受ける。したがって、この技術は高確度領域においては、実用的ではなかった。本発明の簡単な概要本発明は、干渉法の高い確度と、モアレ偏向法の感度調整性及び高い安定性を合わせもった光学装置を提供するものであり、また、この光学装置を用いた検査方法を提供するものである。本発明の広い態様によれば、消失性波動現象(evanescent wave phenomenon)と零次数の相殺により、回折次数−１と回折次数＋１を除く全ての回折次数を実質的に除去する方向に減少させる回折位相格子を含むことを特徴とする光学装置が提供される。消失性波動現象と零次数の相殺は、両方とも周知の現象である（Joseph Good- man 著「フーリエ光学入門・Introduction to Fourier Optics」の第50頁〜第51 頁及び第69頁〜第70頁、参照）。後述するように、本発明は、上記の２つの効果を組み合わせることにより、たった２つの回折次数を有する回折格子を提供する。後述の光学装置は縦に並んだ２つの回折格子を備えている。本発明の他の態様によれば、光学装置は、ずれ（シャーリング）干渉計であり、特に、位相回折格子を使用するモアレずれ計である。このような干渉計は、後述のように光学的に物体を検査するときに使用すると、多数の重要な長所を提供する。図面の簡単な説明本発明は、ある程度図解的に、添付図面を参照して例としてのみここに記載されており、図１は、古典的なモアレ偏向計(デフレクトメータ・deflectometer)の作用を示す図、図２は、図１のモアレ偏向計において二次格子上で観測されるような１つの格子の回折次数を示す図、図３は、ずれ（シャーリング）干渉計における回折次数を示す図、図４は、方形波位相回折格子を示す図、図５は、２つの波長と３つの波長との間のピッチを有する２つの回折格子によって得られた回折次数を示す図、図６は、ピッチが１つの波長と２つの波長との間にあるときに得られるきれいなずれを示す図、図７は、本発明により構成されたずれ装置の１つを示す図、図８〜図１０は、本発明により構成された他の３つのずれ装置を示す図である。技術的な背景米国特許第 4,459,027号や、フランス特許第 8,120,331号にあるように、モアレ偏向計(デフレクトメータ・deflectometer)は、中確度〜低確度の領域で光学的部品や他の位相物体を検査するための実用的な機器である。モアレ偏向計の最も基本的な構成では、２つの方形波透過回折格子(square wave transmission gr atings)を備えている。２つの方形波透過回折格子は、図１のように、その間に間隙ｄを有し、光軸に対して直交している。回折効果(diffraction effects)を無視して簡単に説明すると、左側から回折格子Ｇ１上に投射された平行ビームにより回折格子Ｇ２上で観測される回折格子Ｇ１の幾何学的陰影(shadow)について考察することになる。理想的なビームでは、回折格子Ｇ１の完全な複製となる陰影が得られ、回折格子Ｇ２に取付けたスクリーン上で観測されるモアレパターンは接触（ｄ＝０）状態と一致する。例えば、回折格子Ｇ２を回折格子Ｇ１に対して光軸周りに若干回転させると、回折格子Ｇ１の方向と回折格子Ｇ２の方向との間に形成される角度の二等分線に垂直となる直線状で等距離の縞[equidistantfr inges(傾斜縞といわれる)]のパターンが認められる。レンズ或は完全ではないガラス板等の被検査物体を挿入すると、ビーム視準はずれて、各種光線は異なる方向に伝搬し、歪んだ縞が生じる。縞データの解析により、被検査物体の光学的特性及び収差に関する有用な情報が得られる。この技術についての応用は、文献に多数報告されており、これらには、反射表面の検査についても含まれている。回折効果は、モアレ偏向計の重大な問題点である。本システムの波動説明（wa ve description）では、回折格子Ｇ１を、いろいろな回折次数の方向に移動する多重ビーム(multiple beams)源とみなせる。回折格子Ｇ２のフィールドは、多重ビームの中に介在して、いくつかの場所でぼやけた陰影を生じさせる干渉によって影響を受ける。前記間隙ｄが整数のトールボット距離ｐ²λ（ｐは回折格子のピッチあるいは周期、λは波長）に等しい場合、全ての回折次数は同相となり、原フィールドが回復する。トールボット効果への信頼により、単色光源または少なくとも狭帯域光源が使用されている。フレーネル回折への条件も効果があるにちがいない。トールボット平面での回折格子の陰影の完全な再生は、フィールドが正確に周期的、即ち、回折格子Ｇ１と完全な平行ビームとが無限開口(aperture)のものである場合のみに観測される。有限開口及び／又はゆがみを有する被検査物体を取り入れることによって画像は変化する。円形開口について考察すると、回折格子Ｇ２の画像は図２のようになる。いろいろな回折次数により、放射フィールドでの横方向に変位した複製が得られる。妥当な縞パターンは、次数０が次数±１のいずれか一方または両方と重合する場合のみに見られる。縞コントラストは、完全ではなく、各点において寄与している回折次数の数に局部的に依存している。前記ビームに幾分かのフィルタを掛けて、２つの、次数＋１と次数−１だけが通過するようにできれば、状態は非常によくなり、図３に示したようにシャーリング干渉計の画像と同様な画像を得られる。ここで、２つのビームは、等しい振幅のビームであって、最大のコントラストでクリーンな干渉パターンが発生する。縞の変位（波動において）は、この方法における空間分解能であるずれ距離２ λｄ／ｐ［または大きな角度２λｄ（ｐ²−λ²）^-2/2］により分離された２点間の位相差となる。ここで感度が無限に増加し得ないことが判明する。即ち、ずれが開口よりも大きい場合、円形領域はもはや重合しなくなるからである。この制約は回折制限分解能(deffraction limited resolution)と呼ばれている。シャーリング干渉計（図３）とモアレ偏向計（図２）とを比較すると、モアレ干渉計の空間分解能は少なくとも２倍劣っている。これは、回折次数＋１と回折次数−１を選択することにより、間隙ｄを半分に減少でき、標準的なモアレ偏向計の角感度(angular sensitivety)と同じ角感度［または光線偏差(ray deviat-i on)］を得るられるからである。さらに、シャーリング干渉計の縞は、ちょうど２つのビームによって形成されるため、多重回折効果による不利を招かない。このため、回折格子間の間隙ｄは任意にすることができ、縞は、物体が強烈なゆがみを示している場合でさえ、鮮明で、明確となる。モアレ偏向計の空間分解能は、ピッチｐによって下限され、これにより、最小限のピッチｐを有する回折格子の使用が促される。しかしながら、ピッチｐが約２５ミクロンより小さい場合、トールボット平面は互いにとても近接して、トールボット平面に回折格子Ｇ２を位置させることが非常に困難となる。加えて、局部偏差により、被検査物体の収差は、トールボット平面の歪みをもたらし、位置決め作業が事実上不可能となる。シャーリング干渉計にはこのような制限はなく、ゼロ（回折格子の接触）から回折限界までの任意のずれ（感度）値を選択できる。しかしながら、シャーリング干渉計の課題は、モアレ偏向計の全ての長所、特に、組み立ての容易さ、調整可能な感度と偏向、及びノイズに対する低感受性という長所を受け継いだものがないということである。シャーリング干渉計の商業的実施は、モアレ偏向計の広範囲に及ぶ実施に比べると、事実上ないに等しく、特に眼科業界では顕著となる。本発明本発明によれば、使用される輻射線の波長λによってのみ下限され、これまで可能であったものより非常に小さいピッチｐの回折格子を備えた汎用性のあるモアレ偏向計が得られる。消失性波動(evanescent waves)現象と位相回折格子の方法とを結合することによって、全ての好ましくない回折次数は実質的に除去される。さらに、新しい技術によっても二次回折格子から好ましくない次数を除去するので、干渉パターンを拡散性スクリーンを用いずに直接観測することができる。回折格子から放射されるｍ次数の方向に対応する角度α_mは次式によって示される。（１）ｓｉｎ α_m＝ｍλ／ｐ（ｍ＝０，±１，±２，・・・）ここで、|m|（ｍの絶対値）がｐ／λより大きいことはあり得ないこと、明らかであり、さもないと、１よりも大きいサインが生じてしまう。これらの高次数に入る輻射線は、所謂消失性波動に結合される。消失性波動は、内部反射の現象と同様の性質を示し、そのエネルギーは消散されるか側方に散乱されるかのいずれかである。本目的のために、これらの次数は前方に進んで測定領域に入ることができないことに十分注目すべきである。ロンキー(Ronchi)規則としても知られている方形波振幅透過回折格子は、次の次数を含んでいる。（２）ｍ＝０，±１，±３，±５・・・ピッチｐが３λよりも小さくなるように選択すると、|m|が３またはそれ以上となる全ての波動は消失性になり、次数−１、次数０、次数＋１だけが前方方向に伝搬することを確実にする。次数０は、振幅回折格子を適当な変調深さ(modulat i-on depth)の位相回折格子に置き換えることによって除去可能である。方形波位相回折格子（図４）は、２つの半周期の間に位相差△φを有する。２つの半周期は、２つの半周期の間の高さの差によって求められる光路差に比例する。この高さの差がλｎ（ｎは回折格子原料の屈折率）に等しいとき、半周期の間の位相差は“π”となる。この場合、波頭(wavefront)は、−π／２から＋π ／２にまで及ぶ方形波によって表され、πと０とにより表される２つの部分を備えた振幅透過方形波回折格子と対比される。位相回折格子の波頭の平均値はゼロであるのに対して、振幅回折格子の平均値はπ／２となる。要約すれば、適切な高さの差（変調の深さ）によって、位相回折格子は次数０を生させなくなる。次数０の相殺は、方形波だけによってもたらされるのではなく、正弦波のような他の位相プロフィールによっても達成できる。２つの効果、即ち、消失性波動現象と、位相回折格子による次数０の相殺とが組み合わされることにより、排他的に２つの回折次数を発生させる新種類の回折格子を得られる。この２つの次数は、等しい振幅の次数であり、光軸のいずれか一側に相称的に伝搬される。これらの特徴は、簡単なシャーリング干渉計の構造には理想的であり、さらに、二次位相回折格子を付加することで、シャーリング干渉計とモアレ偏向計の両者の全ての長所を備えたモアレずれ計が出現する。一次回折格子から角度α₁＝ｓｉｎ^-1（λ／ｐ）で二次回折格子に入射された次数＋１について考察する。二次回折格子での＋／−１の次数は、一次回折格子での次数＋２と次数０に対応する方向へそれぞれ伝搬する（図５）。この入射角の場合、次数−３が原次数−２の方向にも現れる。ピッチｐがｐ＜２λであるように選択されると、これらの二次次数は消散によっても除去される。唯一現われる輻射線は、回折格子Ｇ１と回折格子Ｇ２とにおける回折次数＋１と回折次数− １との結合を介して、角度０で前方に伝搬する。次数−１と次数＋１に対応する二次ビームも、前方方向へ移動し、所望の干渉パターンが生じるように一次ビームと結合する（図６）。この２つのビームは、次のずれ距離ｓによって横方向に変位する。ｓ＝２ｄｔａｎ α１＝２λｄ（ｐ²−λ²）^-1/2 ここで、ｐはλよりも大きくなければならない。さもなければ、一次次数も、消失性となって、不透明スクリーンを発生させる。この装置によって得られる干渉縞は、距離ｓによって分離された２つの点における波頭の値が、波長の整数に等しい量だけ異なる点群の軌跡となる。例えば、１つの縞のずれは次式で表される状態に対応する。Ｗ（ｘ，ｙ＋ｓ／２）−ｗ（ｘ，ｙ−ｓ／２）＝λ ここで、Ｗは波頭、ｙはずれの方向であり、ｓが小さいとき、この式は導関数によって次式によって近似させることができる。ｓ（∂Ｗ／∂ｙ）≒λ このため、縞は、次式の導関数による輪郭を描く。この値は、モアレ偏向計における類似式の半分の値となる。感度における係数” ２”の差異は、基本のずれがｄｔａｎ α１となる平らな回折格子において次数０が存在することから生じる。次数０と次数１、および次数−１と次数０の２対は、縞パターンに貢献し、次数±１の間の距離によって求められる空間分解能は両方の場合とも同じとなる。より高い次数のものは、いくぶんかのノイズをもたらし、分解能をさらに減少させる。要するに、新しいずれ計は、与えられる空間分解能に関して、標準的なモアレ偏向計の少なくとも２倍の感度となり、更に、感度と偏向の調整容易性は損なわれない。モアレ偏向計の他の重大な問題点、すなわち、無光沢スクリーンから生じる画像の拡散率についても、本発明によって克服できる。モアレ偏向計において、回折格子Ｇ２に拡散性スクリーンを取付けると、この回折格子に起因する回折効果を防止できる。パターン観測に使用するカメラは、スクリーン上に焦点を合わせなければならない。被検査物体の良好な画像を得るためには、拡散性スクリーンを物体に光学的に結合すべきである。本発明のシステムでは、好ましくない次数は生じず、したがって、劣化をもたらす要因（微粒子、傷等）を有するスクリーンの使用は避けるべきである。カメラの焦点は、回折格子を介して直接物体に合わせることができ、これにより、計器の柔軟性が増加する。好適な実施例の説明図７は、実施例としての、本発明により構成されたずれ装置の一例を示している。図７に示された装置は、透明物体の光学的パラメータを測定するために使用されるずれ計モジュールの形態を呈している。ずれ計モジュールは、上記したように、協同する２つの位相回折格子を備えている。図７に示されたずれ計器は、可干渉光であるビームを発生するダイオードレーザ２を有しており、ビームはビーム拡大器４によって拡大される。拡大された平行ビームは、被検査物体に向けて導かれる。被検査物体は、一枚のガラス・レンズ・あるいはビーム視準の程度を変えることができる透明物体であればよい。被検査物体から出てくるビームは、一対の回折格子Ｇ１、Ｇ２を備えたずれ計モジュールに向けて導かれ、回折格子Ｇ１、Ｇ２は、カメラ１０に記録される縞パターンの形態を出力する。縞パターンの解析により、被検査物体がビーム視準を変位させた程度が求められ、これにより被検査物体の光学的特性が求められる。図８は、発散（負）レンズを被検査物体６’とした例を示している。このレンズは平行ビームを発散球面ビームに変換する。ずれ計は、ビームが平行である時に表示された非摂動の縞の方向に対して縞が角度を形成するように、縞を傾斜させることにより球面ビームに応答する。縞の傾斜はレンズの度に比例し、レンズ度を計算するために使用することができる。図８は、変更例も示している。変更例では、ダイオードレーザ光源が、例えばＭ１で概略的に示されたモータによって後方へ移動自在となっている。光源は、被検査レンズを出てずれ計に入ったビームが、再度平行になる位置まで移動する。光源が移動した距離は、レンズの度を計算するために使用される。正確な位置は、縞の観測と、縞が原位置に戻るような場所の観測よって検出される。得られた縞と非摂動の縞（直線状で等距離の非摂動縞と対照的に曲げられたような縞）との間の差異は、被検査レンズの収差あるいは不完全さを示す。被検査レンズが正であるときは、光源を前方に移動させて、ずれ計に入るビームが再度平行になる位置にすることにより、基準縞パターンを取り出せる。同様に、ずれ計により、名目上フラットの透明シートにおける非平行性の検出、材料の非均一性の検出等が行える。図９は、ざらつき・うねり・ひずみのような、平坦な表面における反射面の偏差を測定するためにずれ計を使用した例を示している。光源１２とビーム拡大器１４からの平行拡大ビームは、ビーム分割器(splitter)１５に向けて導かれる。ビームの通過した部分は、被検査表面１６で反射する。反射したビームは、再度、ビーム分割器１５によって分けられて、原方向のまま進む部分と、直角に反射した部分とに分割される。後者の部分は、回折格子Ｇ１、Ｇ２の一部とカメラ２０とを備えたずれ計モジュールに向けて導かれる。縞位置の変位は、被検査物体の局部的傾斜に比例する。実施例の目的のために、小さい曲率を有する球面部分によりわずかに湾曲した表面について考察する。反射ビームは平行ではなく拡散または集束させると、得られる縞は、レンズに対しての説明と同様に非摂動縞の方向に対して傾斜する。図１０は、球面または略球面の曲率を測定するために使用される同一原理に基づいた他の装置を示している。光源２２とビーム拡大器２４からの平行ビームは、ビーム分割器２５から出て、対物レンズ２３によって集束され、被検査表面２６に向けて導かれる。装置が、回折格子Ｇ１、Ｇ２とカメラ３０とを備えたずれ計モジュールに入る戻りビームが、平行となるように構成されているかが検査される。図１０の検査では、被検査物体を光軸に沿った２点のいずれか一方に配置したときに、このようになることが判明する。すなわち、（１）物体の頂点が対物レンズの焦点に一致するか、または（２）物体の曲率の中心が焦点に一致するときである。両方の場合とも、縞は原方向に沿った方向で観測される。２つの頂点位置の距離は、被検査表面の曲率半径と同一となる。縞パターンと非摂動パターンとの間の残りの差異は、物体が非球面または円環体であるか、或はうねりのような他の非球面特性を含む場合に、理想的な球面形状からの偏差を測定するために使用される。上記のモード（透過あるいは反射）のいずれにおいても、ずれ計ユニットは、光学伝達関数（ＯＴＦ）あるいはその係数、変調伝達関数（ＭＴＦ）を測定するために使用できる。この測定は、ＯＴＦを測定する自己相関方法に基づいている（Joseph Goodman著「フーリエ光学・Fourier optics」第６−３節及び第６−４節、参照）。この方法では、２つのずれたひとみの間で重合する領域を求めることができ（図３及び図６を参照）、重合領域内の光度の積分値を求められる。この積分光度は、ラジアン当たりのサイクル単位で、ｓ／λに等しい空間周波数の特定値に一致するＯＴＦ曲線に入る単一エントリを提供する。mm当たりのサイクルへの変換は、被検査レンズの焦点距離でｓ／λをさらに割ることによって行われる。全ＯＴＦ対空間周波数曲線を取り出すためには、ずれ距離ｓの異なる値で上記の重合積分測定を繰り返すことが必要である。典型的なシャーリング干渉計に関しては、ずれを調整することは、不可能でないならば困難である。ずれ計モジュールでは、一方の回折格子を他方の回折格子に対してスライドさせることによって距離ｓに亘って簡単な走査が可能である（式３を参照）。ＯＴＦ測定計器の動作に対する実施例は、上記の図８を参照して記載することができる。図８の設定に必要な唯一の変更は、ずれ計モジュールにおける２つの回折格子Ｇ１、Ｇ２の間の間隙ｄを連続的に変える手段（例えば、Ｍ２で概略的に示されたモータ）を追加することである。モータＭ２は回折格子間の角度変更にも使用できる。ＯＴＦはｄの関数として重合領域に亘る光度の値を求めることによって構成される。焦点ＭＴＦによって要求される関連数量は、ｄを所定値に固定して、ずれ計に入るビームが再平行化される位置の回りにレーザ光源をスライドさせることにより計算することができる。このレーザ光源の焦点がずれていると、ＭＴＦ値が低くなる。最良の焦点は、通し焦点ＭＴＦ曲線の最大値で検出される。本発明のいくつかの構成に関して説明したが、これらの構成は、単に実施例の例示の目的のために説明したものであって、多数の、変更、修正及び応用が可能である。

Claims

【特許請求の範囲】１．消失性波動現象と零次数の相殺により、回折次数−１と回折次数＋１を除く全ての回折次数を実質的に除去する方向に減少させる回折位相格子を含む光学装置。２．請求項１において、縦に並んだ２つの前記回折位相格子を備えた光学装置。３．請求項２において、前記２つの回折位相格子の間の距離を変更するための手段を有する光学装置。４．請求項２又は３のいずれか１つにおいて、前記２つの回折位相格子の間の角度を変更するための手段を有する光学装置。５．請求項２〜４のいずれか１つにおいて、光学的に検査される被検査物体の保持器と、平行光のビームが前記保持器により保持された前記被検査物体を通過するすることにより波頭を発生させるように配置された平行光の光源とを有し、前記回折位相格子は前記発生波頭を受光して前記被検査物体の光学的特性を表す縞を発生するように配置された光学装置。６．請求項５において、前記光源は可干渉光源とした光学装置。７．請求項５又は６のいずれか１つにおいて、前記縞を記録するカメラを有する光学装置。８．請求項５〜７のいずれか１つにおいて、前記被検査物体を通過する前の前記光の前記ビームを拡大するビーム拡大器を有する光学装置。９．請求項８において、前記ビーム拡大器に近づく方向又は遠ざかる方向に前記光源を移動させる手段を有する光学装置。１０．請求項５〜９のいずれか１つにおいて、前記平行ビームの一部を前記被検査物体に導くビーム分割器を有し、前記被検査物体は前記平行ビームを前記ビーム分割器に戻すように反射させ、前記ビーム分割器は前記平行ビームの他の部分を前記回折位相格子に向けて反射させるとともに、前記被検査物体から反射して戻った前記ビームも前記回折位相格子に向けて反射させる光学装置。１１．請求項１０において、前記ビーム分割器と前記被検査物体の間に集束レンズを備えた光学装置。１２．平行光のビームを、検査される被検査物体を通過させてから、消失性波動現象と零次数の相殺により回折次数−１と回折次数＋１を除く全ての回折次数を実質的に除去する方向に減少させる回折格子を通過させ、前記回折格子により生じた縞を観測することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１３．請求項１２において、前記平行光の前記ビームは縦に並んだ２つの前記回折格子を通過することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１４．請求項１３において、前記平行光の前記ビームは可干渉光源としたことを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１５．請求項１３又は１４のいずれか１つにおいて、前記被検査物体に導かれる前の前記平行光の前記ビームはビーム拡大器を通過することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１６．請求項１２〜１５のいずれか１つにおいて、前記回折位相格子により発生した前記縞における歪みは、前記被検査物体からの前記ビームの視準の偏差の計算に使用することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１７．請求項１２〜１５のいずれか１つにおいて、ビーム視準の程度により縞の密度若しくは位置決め基準点の変位を求めることを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１８．請求項１２〜１８のいずれか１つにおいて、前記被検査物体は反射表面を有し、前記平行ビームの一部分はビーム分割器を通して前記被検査物体に導かれかつ前記被検査物体で反射して前記ビーム分割器に戻され、前記平行ビームの他の部分は前記ビーム分割器によって前記被検査物体から反射して戻された前記ビームと共に前記回折位相格子を通過するように導かれることを特徴とする物体を光学的に検査する方法。１９．請求項１３〜１８のいずれか１つにおいて、前記被検査物体の光学伝達関数を計測するために前記回折位相格子の間の距離を変更することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。２０．請求項１３〜１８のいずれか１つにおいて、前記被検査物体の変調伝達関数を計測するために前記回折位相格子の間の距離を変更することを特徴とする物体を光学的に検査する方法。