KR101464695B1 - 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계 - Google Patents

멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간섭계에 관한 것으로, 특히 간섭계의 내부에 위치하는 집광 렌즈의 전방에 출사하는 광선을 다수의 위상 차이를 갖도록 발산하는 광분할 수단을 구비하여 기준구면을 이동시키기 위한 별도의 이송수단 없이 광학 부품의 면 형상에 대한 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬를 동시에 결상 시킬 수 있도록 함으로써, 간단한 구조로 정밀하고 정확한 측정을 이룰 수 있는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계에 관한 것이다. 구성은 광원과, 상기 광원의 일 측으로 위치하는 광 확대기와, 상기 광 확대기의 일 측으로 위치하는 집광렌즈(대물렌즈)와, 상기 집광렌즈의 일 측으로 위치하는 광 분리기(Beam Splitter)와, 상기 광 분리기의 일 측으로 위치하는 시준렌즈(Collimation Lens)와, 상기 시준렌즈의 일 측으로 위치하는 기준구면렌즈(Reference Sphere Lens)와, 상기 기준구면렌즈의 일 측으로 위치하는 테스트 구면렌즈(Test Sphere)와, 상기 광 분리기의 타 일 측으로 위치하는 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)와, 상기 회전 확산필터의 일 측으로 위치하는 미러와, 상기 미러의 일 측으로 위치하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)와, 상기 투과율 가변필터의 일 측으로 위치하는 결상렌즈와, 상기 결상렌즈의 일 측으로 위치하는 영상분리수단과, 상기 영상분리수단의 일 측으로 위치하는 전하결합소자(CCD : charge coupled device)를 포함하는 간섭계에 있어서, 상기 집광 렌즈와 광 분리기의 사이에는 집광 렌즈 또는 핀 홀에서 출사되는 광선을 다수의 광선으로 분할하는 광 분할수단을 형성하여 시준렌즈에서 출사되는 광선을 평행 광이 아닌 4개 이상의 발산, 수렴 각도로 진행하여 기준구면렌즈 또는 테스트 구면렌즈로 입사되도록 하여, 상호 다른 각도로 발산, 수렴하는 각 광선의 위상 차에 의한 4개 이상의 간섭무늬를 동시에 측정하도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계{Multi-interference phase interferometer with simultaneous measurement functions}
본 발명은 간섭계에 관한 것으로, 특히 간섭계의 내부에 위치하는 집광 렌즈의 전방에 출사하는 광선을 다수의 위상 차이를 갖도록 발산하는 광분할 수단을 구비하여 기준구면을 이동시키기 위한 별도의 이송수단 없이 광학 부품의 면 형상에 대한 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬를 동시에 결상 시킬 수 있도록 함으로써, 간단한 구조로 정밀하고 정확한 측정을 이룰 수 있는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계에 관한 것이다.
일반적으로 평면이나 구면을 형성하는 광학부품 등의 제조시 제작된 광학 부품의 면 정도를 측정하기 위하여 간섭계(한 개의 광원에서 출발한 빛을 두 갈래로 나누어 한 갈래의 빛은 기준평면(혹은 곡면)에서 반사시키고, 다른 갈래의 빛은 측정하고자 하는 광학 면에서 반사시켜, 두 빛이 다시 만났을 때 측정하고자 하는 광학 면에서 반사한 파면은 기준평면에서 반사한 파면과 경로 차이가 생기면서 간섭무늬를 만들게 되는데 이를 통해 광학 면의 형상 오차를 측정하는 기구)가 사용된다.
이와 같은 간섭계 중, 가장 기초적인 형태는 트와이만 그린 간섭계(Twyman-Green interferometer)로서, 간섭하는 두 개의 시료가 서로 직교하고 있는 형태의 간섭계이다.
또, 기초적인 형태의 간섭계 이외에 간섭하는 두 개의 물체가 동일한 광축에 있도록 구성하여 평면 혹은 구면렌즈의 면 정밀도를 측정하는 형태의 피조우 간섭계(Fizeau interferometer)가 있다.
종래의 피조우 간섭계의 기본 구조는 도 1에 도시한 바와 같이, 광원(101)에서 출사한 광선이 광 확대기(Beam Expander)(102)를 통하여 평행 광으로 확대된 후 대물렌즈(Objective Lens)(103)로 입사하고, 공간필터(Spatial Filter)인 핀 홀(Pin Hole)(104)에 포커싱 한다.
상기 핀 홀(104)은 완전한 구면파를 만드는 역할을 한다. 상기 핀 홀(104)에 의하여 만들어진 완전한 구면파는 광 분리기(Beam Splitter)(105)를 지나 시준렌즈(Collimation lens)(106)를 통과 후 평행 광으로 내어 보내진다.
상기 평행 광은 기준구면렌즈(Reference Sphere Lens)(107)과 테스트 구면렌즈(Test Sphere Lens)(108)에서 각각 반사한다.
상기 두 구면렌즈의 반사파는 상호 간섭하여 간섭무늬를 만들고 다시 시준렌즈(106)로 입사 후 광 분리기(105)에서 90°반사하여 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)(109)에 이미징 한다.
상기 회전 확산필터(109)는 스패클을 제거하여 깨끗한 간섭무늬 영상을 획득하는 역할을 한다.
그리고, 상기 회전 확산필터(109)에 이미징된 간섭무늬는 결상 렌즈(111)와 카메라에 입사되는 광량을 조절하는 역할을 하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)(112)를 지나 카메라(113)에 결상 되도록 구성된다.
이때, 상기 카메라(113)를 통해 나타나는 간섭무늬는 상기 기준구면렌즈(107)와 테스트 구면렌즈(108)의 정렬 정도에 따라 통상, 아래의 표 1에 나타난 바와 같이 원형 혹은 직선 형태로 나타난다.
그리고, 2개의 간섭무늬 사이의 간격은 λ/2이다.(여기서, λ는 레이저 광원의 파장이다)
Figure 112013039308663-pat00001
Figure 112013039308663-pat00002
Figure 112013039308663-pat00003

Defocus가 있는 경우
Defocus와 Tilt가 있는 경우
Tilt가 있는 경우
한편, 압전소자(Piezoelectric effect element : 기계적 응력을 걸면 전압이 발생하고 반대로 전압을 걸면 일그러짐이 발생하는 수정이나 압전 세라믹스 등을 사용한 소자로, 압력을 가하면 전압이 변화하고(압전 효과), 반대로 전압을 가하면 팽창되거나 수축되는 성질을 가진 소자를 말한다.)를 이용하여 상기 기준구면렌즈(107)를 미소량 움직여서 테스트 구면렌즈(108)와의 거리를 변화시키면, 표 2에 나타난 바와 같이 위상이 다른 4개의 간섭무늬를 얻게 된다. 이때, 0°와 360°는 같은 간섭무늬이다.
Figure 112013039308663-pat00004
Figure 112013039308663-pat00005
Figure 112013039308663-pat00006
Figure 112013039308663-pat00007
Figure 112013039308663-pat00008

0°
90°
180°
270°
360°
즉, 상기 기준구면렌즈(107)의 움직이는 량이 0°에서 360°까지는 λ/2가 되므로 90°인 경우에는 λ/8, 180°인 경우에는 λ/4, 270°인 경우에는 3λ/8가 되고, 360°인 경우에는 λ/2로서 0°와 동일한 영상이 된다.
또, 위상을 변화시키지 않을 경우, 예컨대 0°의 영상 하나만 있는 경우에는 검은 색으로 표시되는 링에 대하여는 면 형상 정보를 검출할 수 있으나, 흰색부분에는 정보를 검출할 수 없게 되므로 위상 차를 주는 이유는 검은색 링을 흰색부분으로 이동시키기 위한 것이다.
그리고, 표 2에서는 4개의 위상에 대하여 설명하였으나 보다 세분하여 위상을 변화시키면 더 많은 정보를 얻을 수 있음은 물론이다.
이와 같이, 도 1에 의한 간섭계의 원리를 살펴보면 압전소자를 이용하여 기준구면렌즈의 위치를 변화시킴으로써 결과적으로 기준면(기준구면렌즈의 마지막 면)과 테스트 면의 간격을 변화(기준구면렌즈 초점의 위치가 변함)시켜 여러 위상의 간섭무늬를 획득하는 것이다.
또 다른 구조의 간섭계는 도 2에 도시된 바와 같이, 광원(201)에서 출사한 광선이 광 확대기(Beam Expander)(202)를 통하여 평행 광으로 확대된 후 편광 빔 스플리터(PBS : Polarized Cube Splitter)(203)를 통해 반사, 투과 분리되어 기준평면(204)과, 테스트 평면(205)에서 각각 반사한다.
이 과정에서 압전소자로 기준평면(204)을 이동시켜 각기 다른 간섭무늬의 위상 정보를 측정하게 된다.
그러나, 도 1과 도 2에 도시된 간섭계는 압전소자로 기준면을 움직일 경우, 움직이는 시간이 발생하여 움직이는 동안 대류의 흐름 등에 의하여 간섭무늬가 영향을 받기 때문에 정확한 정보를 얻을 수 없는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것이 도 3에 도시된 바와 같이 4D 간섭계라고 불리는 위상차 Twyman-Green 간섭계로서, 도 2와 동일한 구조를 가지고 있으나, 카메라부가 상이하다.
그리고, 도 3과 도 4에 도시한 바와 같이 동일한 시간에 4개의 위상 영상(간섭무늬)을 동시에 측정하도록 카메라 부분의 각 화소 앞에 위상을 변화시켜주는 소자를 와이어 그리드(Wire Grid) 소자로 형성하여 각각 다른 위상의 영상을 획득하도록 하는 구성의 간섭계이다.
그러나, 이러한 간섭계는 획득하고자 하는 위상 개수에 대응하는 여러 개의 와이어 그리드 소자를 설치하여야 하므로 구성이 복잡하고 제작비용이 많이 들어가는 문제점이 있다.
또, 이와 같은 종래의 간섭계는 기준평면을 움직이는 압전소자나, 여러 개의 와이어 그리드 소자와 같이 위상을 천이(변화)시키는 별도의 구성이 반드시 필요함은 물론 하나의 구성요소로 여러 개의 위상 영상을 동시에 측정할 수 없는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 집광 렌즈 일 측에 제작이 간편하면서도 고성능을 발휘할 수 있는 간단한 구성의 광분할 수단을 설치함으로써, 진행하는 광선을 위상 차를 형성하는 여러 개의 광선으로 분할함으로써, 한 번의 측정으로 광학부품 표면의 형상 정보를 신속하고 정확하며 용이하게 얻을 수 있도록 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 위상천이(변화)에 필요한 별도의 구성을 채용하지 않고 단순한 구조로 구현함으로써 간섭계의 측정오차를 해소하고 전체 부피를 줄이며, 제작비용을 줄이면서도 고정밀도의 측정을 매우 빠른 시간에 측정할 수 있는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 광원과, 상기 광원의 일 측으로 위치하는 광 확대기와, 상기 광 확대기의 일 측으로 위치하는 집광렌즈(대물렌즈)와, 상기 집광렌즈의 일 측으로 위치하는 광 분리기(Beam Splitter)와, 상기 광 분리기의 일 측으로 위치하는 시준렌즈(Collimation Lens)와, 상기 시준렌즈의 일 측으로 위치하는 기준구면렌즈(Reference Sphere Lens)와, 상기 기준구면렌즈의 일 측으로 위치하는 테스트 구면렌즈(Test Sphere)와, 상기 광 분리기의 타 일 측으로 위치하는 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)와, 상기 회전 확산필터의 일 측으로 위치하는 미러와, 상기 미러의 일 측으로 위치하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)와, 상기 투과율 가변필터의 일 측으로 위치하는 결상렌즈와, 상기 결상렌즈의 일 측으로 위치하는 영상분리수단과, 상기 영상분리수단의 일 측으로 위치하는 전하결합소자(CCD : charge coupled device)를 포함하는 간섭계에 있어서, 상기 집광 렌즈와 광 분리기의 사이에는 집광 렌즈 또는 핀 홀에서 출사되는 광선을 다수의 광선으로 분할하는 광 분할수단을 형성하여 시준렌즈에서 출사되는 광선을 평행 광이 아닌 4개 이상의 발산, 수렴 각도로 진행하여 기준구면렌즈 또는 테스트 구면렌즈로 입사되도록 하여, 상호 다른 각도로 발산, 수렴하는 각 광선의 위상 차에 의한 4개 이상의 간섭무늬를 동시에 측정하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 영상분리수단은 CGH홀로그램, 피라미드형 프리즘 또는 확대배율을 갖는 렌즈 중 어느 하나로 이루어지고, 상기 광분할 수단은 다수의 홀을 갖는 핀 홀, 홀로그램소자, 복굴절 크리스탈, 반 투과거울, 광파이버 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 광분할 수단이 핀 홀, 반 투과거울 또는 광파이버로 이루어질 경우, 분할되어 진행하는 4개 이상의 광선은 각각 결상 되는 공간적 위치가 상이하므로 4개 이상의 영상을 전하결합소자(CCD)에 용이하게 획득하기 위해 상기 영상분리수단은 피라미드형 프리즘 또는 확대배율을 갖는 렌즈를 사용하는 것을 특징으로 한다.
상기 핀 홀은 상기 집광 렌즈에 의해 결상되는 전방 지점에 형성되어 진행하는 광선이 4개 이상의 각기 다른 위상 차를 갖고 진행하도록 4개 이상의 홀이 형성되고, 각 광선이 위상 차를 갖도록 각각의 홀이 시준 렌즈에 대해 거리가 달라지도록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복굴절 크리스탈은 제 1 크리스탈과 제 2 크리스탈이 설치되며, 상기 제 2 크리스탈은 제 1 크리스탈에 대하여 45°회전된 각도로 설치되어 크리스탈의 복굴절 성분에 의하여 다중의 발산각을 가지는 광선을 만들고 시준렌즈에 입사하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 반 투과거울은, 제 1 반사 면과 제 2 반사 면 및 제 3 반사 면, 제 4 반사 면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 광파이버는 4개 이상의 광파이버가 다발로 형성되며, 일 측 끝 부분은 상기 집광렌즈의 초점이 맺히는 지점에 위치하도록 형성되고, 다른 일 측 끝 부분은 각 광파이버가 상호 길이 차이를 가지도록 형성함으로써 각각 다른 공간적 위치에서 펼쳐지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 홀로그램소자는 홀로그램소자를 투과한 광선이 서로 다른 발산 각을 가지고 시준렌즈에 입사하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단은 반사 또는 굴절에 의해 4개 이상의 영상을 상기 전하결합소자(CCD)에 분할하는 것을 특징으로 한다.
상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단은 반사에 의해 4개 이상의 영상을 분리하여 결상할 경우에는 4개의 전하결합소자(CCD)를 이용하고, 굴절에 의해 4개 이상의 영상을 분리하여 결상할 경우에는 1개의 전하결합소자(CCD)를 이용하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 간단하고 저렴한 비용으로 광학부품의 면 정보를 정확하고 신속하며 용이하게 얻을 수 있는 효과가 있다.
또, 본 발명은 위상천이 된 여러 개의 간섭 무늬를 획득하기 위해 복잡한 구성품 없이 단순한 구성의 발산, 수렴 수단을 이용하여 여러 개의 광선으로 분할하여 여러 개의 간섭 무늬를 한 번에 얻도록 함으로써, 높은 측정성능과 측정결과를 용이하게 얻을 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 피조우 간섭계의 기본 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 트와이만 그린 간섭계의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 4D 간섭계라고 불리는 위상 차 트와이만 그린(Twyman-Green) 간섭계의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 카메라 부분의 이미지로서 각 화소를 확대하여 동일한 시간에 4개 위상의 영상을 동시 측정하는 원리를 나타내는 종래의 간섭계의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계로서, 4개 이상의 광선이 각각 결상되는 공간적 위치가 상이한 핀 홀을 광분할 수단으로 형성하고 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단을 이용하여 다수의 광선을 굴절시켜 1개의 전하결합소자에 다수의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단에 다수의 광선을 반사시켜 4개의 전하결합소자에 각각 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계로서, 광선이 광축을 따라 진행하면서 디포커싱되는 홀로그램소자를 광분할 수단으로 형성하고, CGH홀로그램으로 이루어지는 영상분리수단을 이용하여 1개의 전하결합소자에 다수의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계로서, 광선이 광축을 따라 진행하면서 디포커싱되는 복굴절 크리스탈을 광분할 수단으로 형성하고, CGH홀로그램으로 이루어지는 영상분리수단을 이용하여 1개의 전하결합소자에 다수의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계로서, 광선이 광축을 따라 진행하면서 디포커싱되는 반 투과거울을 광분할 수단으로 형성하고, 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단을 이용하여 4개의 전하결합소자에 다수의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계로서, 4개 이상의 광선이 각각 결상되는 공간적 위치가 상이한 광파이버를 광분할 수단으로 형성하고 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단을 이용하여 다수의 광선을 굴절시켜 1개의 전하결합소자에 다수의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 11은 도 10의 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단에 다수의 광선을 반사시켜 4개의 전하결합소자에 각각 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 광분할 수단의 다른 실시 예로써, 광원인 레이저를 파장이 다르게 다수를 형성하여 각 레이저를 합성하도록 구성한 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명에 따른 영상분리수단의 다른 실시 예로써, 피라미드형 프리즘 대신 확대배율을 갖는 렌즈를 형성하여 4개 이상의 광선이 결상되는 공간적 위치가 상이한 핀 홀을 광분할 수단으로 형성하여 1개의 전하결합소자(CCD)에 4개의 영상을 분할 획득하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 보다 구체적으로 설명한다.
여기서, 하기의 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 반복적인 설명은 생략하며, 아울러, 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이것은 고유의 통용되는 의미로 해석되어야 함을 명시한다.
도 5 내지, 도 11에 도시된 바와 같이 본 발명은 빛을 내는 물체인 광원(501)과, 상기 광원(501)의 일 측으로 위치하는 광 확대기(Beam Expander)(502)와, 상기 광 확대기(502)의 일 측으로 위치하는 집광렌즈(대물렌즈)(503)와, 상기 집광렌즈(503)의 일 측으로 위치하는 광 분할수단(504)과, 상기 광 분할수단(504)의 일 측으로 위치하는 광 분리기(Beam Splitter)(505)와, 상기 광 분리기(505)의 일 측으로 위치하는 시준렌즈(Collimation lens)(506)와, 상기 시준렌즈(506)의 일 측으로 위치하는 기준구면렌즈(Reference Sphere)(507)와, 상기 기준구면렌즈(507)의 일 측으로 위치하는 테스트 구면렌즈(Test Sphere)(508)와, 상기 광 분리기(505)의 타 일 측으로 위치하는 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)(509)와, 상기 회전 확산필터(509)의 일 측으로 위치하는 미러(510)와, 상기 미러(510)의 일 측으로 위치하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)(511)와, 상기 투과율 가변필터(511)의 일 측으로 위치하는 결상렌즈(512)와, 상기 결상렌즈(512)의 일 측으로 위치하는 영상분리수단(513)(513a)과, 상기 영상분리수단(513)의 일 측으로 위치하는 전하결합소자(CCD : charge coupled device)(514)를 포함하는 간섭계로 이루어진다.
여기서, 상기 집광 렌즈(503)와 광 분리기(505)의 사이에는 출사 되는 광선을 평행 광이 아닌 4개 이상의 위상 차를 갖도록 발산하여 시준렌즈(506)를 투과 후, 평행광선(위상 0°)을 기준으로 발산 혹은 수렴 진행하여 기준구면렌즈(507) 또는 테스트 구면렌즈(508)로 입사되도록 하는 광분할 수단(504)이 형성된다.
이에 따라, 상기 광분할 수단(504)에 의해 상호 다른 각도로 발산한 후, 진행하면서 발산, 수렴하는 각 광선의 위상 차에 의한 여러 개의 간섭무늬를 동시에 측정할 수 있다.
상기 광분할 수단(504)은 다수의 홀이 형성된 핀 홀(504a), 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c), 반 투과거울(504d), 광파이버(504e) 중 어느 하나로 이루어지거나, 하나의 홀이 형성된 핀 홀과 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c), 반 투과거울(504d) 중 어느 하나가 한 쌍을 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.
또, 상기 영상분리수단(513)은 피라미드형 프리즘으로 이루어지고, 영상분리수단(513a)은 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어진다.
이러한 구성의 영상분리수단(513),(513a)은 예컨대, 상기 광분할 수단(504)이 상기 핀 홀(504a), 반 투과거울(504d), 또는 광파이버(504e)와 같이 분할하는 각 광선의 초점이 공간상에 맺히는 위치가 다를 경우에는 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)을 형성하는 것이 바람직하다.
그러나, 상기 광분할 수단(504)이 상기 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c)과 같이 분할하는 각 광선의 초점이 광축을 따라 진행하면서 디포커싱((defocusing : 정확하게 초점이 맞지 않은 것을 이른다.)되는 경우에는 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어지는 영상분리수단(513a)을 형성하는 것이 바람직하다.
또, 상기 다수의 홀이 형성된 핀 홀(504a)은 상기 집광 렌즈(503)에 의해 결상 되는 전방 지점에 형성되어 진행하는 광선이 4개 이상의 각기 다른 위상 차를 갖고 진행하도록 4개 이상의 홀이 형성된다.
또한, 상기 핀 홀(504a)은 통과하는 각 광선이 위상 차를 갖도록 각각의 홀이 시준 렌즈(506)에 대해 거리가 달라지도록 기울어지게 형성되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 핀 홀(504a)의 각 홀을 통과하는 광선은 상호 진행 거리가 달라져 위상 차가 다르게 형성되므로 상기 기준구면렌즈(507)와 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하는 광선은 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)로 진행하여 반사 또는 굴절에 의해 분리되어 상기 전하결합소자(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬가 동시에 결상 된다.
즉, 종래의 간섭계는 시준렌즈를 투과한 광파면이 광축과 수직을 이루면서 평행하게 시준되도록 구성되어 있으나, 본 발명에서는 광분할 수단(504)에 의해 평행한 광선(0°위상)을 포함하여 λ/2 이내에서 여러 개의 위상을 가지도록 발산 혹은 수렴하도록 하는 것이다.
상기 홀로그램소자(504b)는 2차원 회절격자의 형태로, 서로 수직한 두 개의 1차원 회절격자가 포개어 진 것과 동일한 형태로서, 광축에서 바라보았을 때 기준격자의 격자무늬 방향을 중심으로 45˚기울어져서 (m, n)회절성분으로 입사광을 여러 개의 광선으로 분할하도록 간섭 줄무늬를 기록한 매체이다.
이에 따라, 상기 홀로그램소자(504b)는 홀로그램소자(504b)를 투과한 광선을 서로 다른 발산 각을 가지고 시준렌즈(506)에 입사시키게 된다.
또, 상기 홀로그램소자(504b)는 핀 홀의 전방으로 위치하여 핀 홀과 간격을 두도록 설치된다.
이와 같은 구성의 홀로그램소자(504b)는 진행하는 광선을 각각 (+1차, 0차)회절성분, (0차, -1차)회절성분, (0차, +1차)회절성분, (-1차, 0차)회절성분으로 분할하게 된다.
즉, 상기 홀로그램소자(504b)를 통해 양측으로 발산 진행하는 어느 일 측의 여러 광선들은 스크린으로 진행하는 기준 광(reference beamㆍ참조광)이 되고, 다른 일 측의 여러 광선들은 측정하고자 하는 광학부품으로 진행하는 테스트광(test beam)이 된다.
통상 홀로그램소자를 만드는 방법은 기준 광과 참조 광을 간섭시켜서 만들고 있으나 최근에는 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 만들어지는 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)이 많이 사용되고 있다.
따라서, 상기 홀로그램소자(504b)를 통과하여 양측으로 발산하는 여러 광선은 광축을 따라 상호 진행 각도가 달라져 위상 차가 다르게 형성되므로 상기 기준구면렌즈(507)와 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하여 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어진 영상분리수단(513a)을 통과하면서 영상이 분리되어 상기 전하결합소자(CCD)(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬로 동시에 결상된다.
상기 복굴절 크리스탈(504c)은 하나의 홀이 형성된 핀 홀을 통과하여 진행하는 광선이 크리스탈(crystal : 석영(SiO2)의 단결정으로, 결 정축 및 결정면을 형성한 매체)의 결정 속을 지나갈 때 각 결정면을 통해 두 갈래 이상으로 나누어지는 현상(double refraction)을 유발하는 것으로서, 상기 핀 홀의 전방으로 위치하도록 설치되는 제 1 크리스탈(504c-1)과, 상기 제 1 크리스탈(504c-1)의 전방에 간격을 두고 위치하도록 설치되는 제 2 크리스탈(504c-2)로 이루어진다.
이러한 복굴절 크리스탈(504c)은 상기 핀 홀에서 발산하는 광선에 대하여 수직방향으로 진동하는 광과 수평방향으로 진동하는 광의 굴절률이 다른 크리스탈을 사용하는 것이 바람직하다.
또, 상기 복굴절 크리스탈(504c)은 4개 이상의 발산 광선을 얻기 위하여 제 1 크리스탈(504c-1)에 대하여 제 2 크리스탈(504c-2)은 45°회전된 각도로 설치되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 복굴절 크리스탈(504c)을 통과하는 광선은 광축을 따라 상호 진행하는 각도가 다른 여러 개의 광선으로 발산되어 상기 기준구면렌즈(507)와 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하여 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어진 영상분리수단(513a)을 통과하면서 영상이 분리되어 상기 전하결합소자(CCD)(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬로 동시에 결상된다.
상기 반 투과거울(504d)은, 제 1 반사 면과 제 2 반사 면 및 제 3 반사 면, 제 4 반사 면으로 형성되는데, 제 1 반사 면에서 일부 광선이 반사하고, 투과한 일부 광선은 제 2 반사 면에서 반사하며, 제 2 반사 면에서 투과한 광선 중, 일부는 제 3 반사 면에서 반사하고 일부 광선은 투과한다.
그리고, 제 3 반사 면에서 투과한 광선은 최종적으로 제 4 반사 면에서 전부 반사한다.
상기 제 4 반사 면은 전반사 거울 코팅을 하여야하나, 제 1, 2, 3 반사 면은 투과율과 반사율이 있는 부분 반사 코팅이 되어 있어야 하고, 분리된 4개 광선의 광량이 동일하게 되기 위하여는 제 1, 2, 3 반사 면의 반사율이 각각 다르게 코팅되어야 한다
또, 상기 반 투과거울(504d)은 핀 홀에 대해 일정한 경사각을 이루도록 설치된다.
이에 따라, 상기 하나의 홀이 형성된 핀 홀을 통해 진행하는 광선이 반 투과거울(504d)의 제 1, 2, 3, 4 반사 면에서 각각 상이한 위상 차를 갖도록 굴절(refraction : 파동이 서로 다른 매질(媒質)의 경계면을 지나면서 진행방향이 바뀌는 현상이다)된다.
따라서, 상기 반 투과거울(504d)에 의해 핀 홀을 통과하여 진행하는 광선은 시준렌즈(506)와 핀 홀과의 거리가 다른 여러 개의 광선으로 발산되어 상기 기준구면렌즈(507)와 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하여 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)에 의해 반사 또는 굴절되어 상기 전하결합소자(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬로 동시에 결상된다.
상기 광파이버(504e)는 4개 이상의 광파이버가 다발로 형성되며, 일 측 끝 부분은 상기 집광렌즈(503)의 초점이 맺히는 지점에 위치하도록 형성되고, 다른 일 측 끝 부분은 각 광파이버가 상호 길이 차이를 가지도록 형성됨과 동시에 공간적으로 각각 다른 위치로 펼쳐지도록 형성된다.
이에 따라, 각 광파이버를 통과하여 진행하는 광선은 각 광파이버의 길이 차이에 의해 시준렌즈(506)를 통과시 평행광선을 기준으로 약간씩 수렴하거나 발산하게 되므로 상호 다른 위상 차를 갖는 광선을 이루며 상기 기준구면렌즈(507)와 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하는 광선은 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)에 의해 반사 또는 굴절되어 상기 전하결합소자(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬로 동시에 결상된다.
한편, 상기 광분할 수단(504) 중, 다수의 홀 예컨대 4개 이상의 홀을 형성하여 단독으로 광분할 수단을 형성하는 핀 홀(504a)과 광파이버(504e)를 제외한, 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c), 반 투과거울(504d) 중, 어느 하나와 한 쌍을 이루도록 형성되는 1개의 홀로 형성되는 핀 홀은 시준렌즈(506)에 대해 수직 하도록 형성된다.
즉, 다수의 홀을 형성한 핀 홀(504a)은 단독으로 기울어지게 설치되어 상기 시준렌즈(506)를 통해 진행하는 광선을 위상 차를 형성하는 여러 개의 광선으로 분할진행하도록 이루어지나, 상기 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c), 반 투과거울(504d) 중, 어느 하나와 한 쌍을 이루도록 형성되는 하나의 홀이 형성된 핀 홀은 집광렌즈(503)를 통해 초점이 맺혀지는 광선을 하나의 광선으로 출사시킨다.
이와 같이 본 발명은 기준구면렌즈(507)를 움직이지 않고 기준구면렌즈(507)에서 출사하는 광선이 다수의 초점거리를 가지도록 하여 여러 위상의 간섭무늬를 획득하도록 하는 것이다.
즉, 상기 시준렌즈(506)를 투과 후, 기준구면렌즈(507)로 입사하는 광선의 각도가 다른 다수의 광선으로 분할되도록 광분할 수단(504)을 형성함으로써 집광 렌즈(503) 또는 하나의 홀을 갖는 핀 홀에서 출사하는 광선의 발산 각도를 달리하거나, 핀 홀과 시준렌즈(506)의 거리를 달리하여 시준렌즈(506)를 투과 후 진행광선이 서로 다른 각도를 가지고 기준구면렌즈(507)에 입사하고 결과적으로 기준구면렌즈(507)에 의한 초점의 조절 위치를 다르게 이루도록 하는 것이다.
한편, 본 발명에 따른 상기 광분할 수단(504)이 핀 홀(504a), 반 투과거울(504d) 또는 광파이버(504e)로 이루어질 경우, 분할되어 진행하는 4개 이상의 광선이 각각 결상되는 공간적 위치가 상이하므로 4개 이상의 영상을 전하결합소자(CCD : charge-coupled device)(514)에 용이하게 획득하기 위해 영상분리수단(513)으로 피라미드형 프리즘을 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 구성의 영상분리수단(513)은 피라미드형 프리즘에 의해 진행하는 광선이 반사 또는 굴절에 의해 4개 이상의 영상으로 분리되어 상기 전하결합소자(CCD)(514)에 각각 분할 형성하게 된다.
예컨대, 상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)에 진행되는 광선을 반사시킬 경우, 각 영상은 피라미드형 프리즘의 사방 면을 통해 각각 반사되므로 영상분리수단(513)의 사방에 4개의 전하결합소자(CCD)(514)를 설치하여 각 영상을 분할 획득하게 된다.
그리고, 상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)에 진행되는 광선을 굴절시킬 경우, 각 영상은 피라미드형 프리즘을 통과하면서 굴절되어 영상분리수단(513)의 전방에 설치된 1개의 전하결합소자(CCD)(514)에 4개 이상의 영상을 분할 획득하게 된다.
즉, 상기 핀 홀(504a), 반 투과거울(504d) 또는 광파이버(504e)와 같이 공간에 맺히는 각 영상의 위치가 다를 경우에는 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)을 이용하여 전하결합소자(CCD)(514)에 영상을 용이하게 분할 획득할 수 있다.
그러나, 광축을 따라 진행하면서 디포커싱(defocusing : 정확하게 초점이 맞지 않은 것을 이른다.)되는 상기 홀로그램소자(504b), 복굴절 크리스탈(504c)과 같은 광분할 수단(504)을 이용할 경우에는 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어지는 영상분리수단(513a)을 사용하여 전하결합소자(CCD)(514)에 영상을 분할 획득한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 동작 관계를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 광원(501)에서 생성된 광선을 출사하여 광 확대기(502)로 진행시킨다.
상기 광 확대기(502)로 진행된 광선은 평행 광으로 확대된 후, 집광렌즈(503)에 의해 포커싱 됨과 동시에 광분할 수단(504)을 통해 4개 이상의 발산 각이 다른 광선으로 분할되어 상기 광 분리기(505)로 진행된다.
상기 광 분리기(505)를 통과한 광선은 시준렌즈(Collimation lens)(506)를 통과 후, 기준구면렌즈(Reference Sphere Lens)(507)와 테스트 구면렌즈(Test Sphere Lens)(508)에서 각각 반사한다.
상기 두 구면렌즈(507),(508)의 반사파는 상호 간섭하여 간섭무늬를 만들고 다시 시준렌즈(506)로 입사 후 광 분리기(505)에서 90°반사하여 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)(509)에 이미징 된다.
상기 회전 확산필터(509)는 스패클을 제거하여 깨끗한 간섭무늬 영상을 획득하는 역할을 한다.
그리고, 상기 회전 확산필터(509)에 이미징된 간섭무늬는 미러(510)에서 90°반사하여 입사되는 광량을 조절하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)(511)와 결상 렌즈(512)를 지나 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단(513)이나 CGH홀로그램(Computer Generated Hologram)으로 이루어지는 영상분리수단(513a)을 통해 전하결합소자(CCD)(514)에 각각 분할 획득되도록 구성된다.
따라서, 상기 광분할 수단(504)에 의해 진행하는 광선은 각도가 다른 여러 개의 광선으로 발산되거나, 발산 각이 같은 경우에는 시준렌즈(506)와의 거리가 다르게 되도록 형성하여 시준렌즈(506)에서 굴절 후 평행 광에 대하여 발산 혹은 수렴되도록 하고, 상기 기준구면렌즈(507)과 테스트 구면렌즈(508)로 진행, 반사하여 상기 전하결합소자(CCD)(514)에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬로 동시에 획득되므로, 기준구면렌즈(507)를 움직이지 않아 대류의 흐름 등에 의한 간섭무늬가 변화되는 영향을 받지않기 때문에 정밀하고 정확한 측정 면의 형상 정보를 얻을 수 있는 것이다.
한편, 도 12는 본 발명에 따른 다른 실시 예를 나타낸 도면으로서, 이는 상기 광분할 수단(504)을 파장이 다른 다수개의 레이저를 광원(501)으로 형성함으로써, 광선의 출사시 서로 다른 파장의 광선을 진행시켜 시준렌즈(506)에서 파장별 굴절률이 다름에 따라 발산 각이 다른 광선으로 만들어지게 하여 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬가 획득되도록 한 것이다.
이와 같이 상기 파장이 다른 다수의 레이저를 광원으로 이용하는 간섭계의 구성은 4개 이상의 광파이버가 다발로 형성되며, 하나의 홀을 형성하는 핀 홀에서는 동일한 파면을 가지고 발산하나, 시준렌즈(506)를 투과한 후에는 시준렌즈 재료의 파장에 다른 굴절률 차이에 의하여 시준되는 각도가 달리 된다.
또, 도 13은 본 발명에 따른 영상분리수단의 다른 실시 예를 나타낸 도면으로서, 이는 상기 영상분리수단(513b)을 피라미드형 프리즘 대신 확대배율을 가진 렌즈로 형성함으로써, 광분할 수단(504)을 통해 여러 개의 영상으로 분할 진행하는 각 영상의 초점 간격을 확대하여 1개의 전하결합소자(CCD)(514)의 분리된 위치에 각기 다른 위상 차를 갖는 여러 개의 간섭무늬가 결상 되도록 하거나, 또는 사방으로 위치하는 4개의 전하결합소자(CCD)(514)에 각각 다른 위상 차를 갖는 간섭무늬가 결상 되도록 한 것이다.
이와 같은 구성의 영상분리수단(513b)은, 상기 광분할 수단(504)이 상기 핀 홀(504a), 반 투과거울(504d), 또는 광파이버(504e)와 같이 분할하는 각 광선의 초점이 공간상에 맺히는 위치가 다를 경우에 주로 적용되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 균등한 타 실시 예로의 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
501 : 광원 502 : 광 확대기
503 : 집광렌즈(대물렌즈) 504 : 광분할 수단
504a : 핀 홀(4개홀) 504b : 홀로그램소자
504c : 복굴절 크리스탈 504c-1 : 제 1 크리스탈
504c-2 : 제 2 크리스탈 504d : 반 투과거울
504e : 광파이버 505 : 광 분리기
506 : 시준렌즈 507 : 기준구면렌즈
508 : 테스트 구면렌즈 509 : 회전 확산필터
510 : 미러 511 : 투과율 가변필터
512 : 결상 렌즈 513,513a,513b : 영상분리수단
514 : 전하결합소자(CCD : charge-coupled device)

Claims (10)

  1. 광원과, 상기 광원의 일 측으로 위치하는 광 확대기와, 상기 광 확대기의 일 측으로 위치하는 집광렌즈(대물렌즈)와, 상기 집광렌즈의 일 측으로 위치하는 광 분리기(Beam Splitter)와, 상기 광 분리기의 일 측으로 위치하는 시준렌즈(Collimation Lens)와, 상기 시준렌즈의 일 측으로 위치하는 기준구면렌즈(Reference Sphere Lens)와, 상기 기준구면렌즈의 일 측으로 위치하는 테스트 구면렌즈(Test Sphere)와, 상기 광 분리기의 타 일 측으로 위치하는 회전 확산필터(Rotating Diffuser Disk)와, 상기 회전 확산필터의 일 측으로 위치하는 미러와, 상기 미러의 일 측으로 위치하는 투과율 가변필터(Gradated ND Filter Disk)와, 상기 투과율 가변필터의 일 측으로 위치하는 결상렌즈와, 상기 결상렌즈의 일 측으로 위치하는 영상분리수단과, 상기 영상분리수단의 일 측으로 위치하는 전하결합소자(CCD : charge coupled device)를 포함하는 간섭계에 있어서,
    상기 집광 렌즈와 광 분리기의 사이에는 집광 렌즈 또는 핀 홀에서 출사되는 광선을 다수의 광선으로 분할하는 광 분할수단을 형성하여 시준렌즈에서 출사되는 광선을 평행 광이 아닌 4개 이상의 발산, 수렴 각도로 진행하여 기준구면렌즈 또는 테스트 구면렌즈로 입사되도록 하여, 상호 다른 각도로 발산, 수렴하는 각 광선의 위상 차에 의한 4개 이상의 간섭무늬를 동시에 측정하도록 한 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 영상분리수단은 CGH홀로그램, 피라미드형 프리즘 또는 확대배율을 갖는 렌즈 중 어느 하나로 이루어지고, 상기 광분할 수단은 다수의 홀을 갖는 핀 홀, 홀로그램소자, 복굴절 크리스탈, 반 투과거울, 광파이버 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 광분할 수단이 핀 홀, 반 투과거울 또는 광파이버로 이루어질 경우, 분할되어 진행하는 4개 이상의 광선은 각각 결상 되는 공간적 위치가 상이하므로 4개 이상의 영상을 전하결합소자(CCD)에 용이하게 획득하기 위해 상기 영상분리수단은 피라미드형 프리즘 또는 확대배율을 갖는 렌즈를 사용하는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 핀 홀은 상기 집광 렌즈에 의해 결상되는 전방 지점에 형성되어 진행하는 광선이 4개 이상의 각기 다른 위상 차를 갖고 진행하도록 4개 이상의 홀이 형성되고, 각 광선이 위상 차를 갖도록 각각의 홀이 시준 렌즈에 대해 거리가 달라지도록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 복굴절 크리스탈은 제 1 크리스탈과 제 2 크리스탈이 설치되며, 상기 제 2 크리스탈은 제 1 크리스탈에 대하여 45°회전된 각도로 설치되어 크리스탈의 복굴절 성분에 의하여 다중의 발산각을 가지는 광선을 만들고 시준렌즈에 입사하도록 한 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 반 투과거울은, 제 1 반사 면과 제 2 반사 면 및 제 3 반사 면, 제 4 반사 면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 광파이버는 4개 이상의 광파이버가 다발로 형성되며, 일 측 끝 부분은 상기 집광렌즈의 초점이 맺히는 지점에 위치하도록 형성되고, 다른 일 측 끝 부분은 각 광파이버가 상호 길이 차이를 가지도록 형성함으로써 각각 다른 공간적 위치에서 펼쳐지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 홀로그램소자는 홀로그램소자를 투과한 광선이 서로 다른 발산 각을 가지고 시준렌즈에 입사하도록 한 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단은 반사 또는 굴절에 의해 4개 이상의 영상을 상기 전하결합소자(CCD)에 분리하는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 피라미드형 프리즘으로 이루어지는 영상분리수단은 반사에 의해 4개 이상의 영상을 분리하여 결상할 경우에는 4개의 전하결합소자(CCD)를 이용하고, 굴절에 의해 4개 이상의 영상을 분리하여 결상할 경우에는 1개의 전하결합소자(CCD)를 이용하는 것을 특징으로 하는 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001099624A (ja) * 1999-09-28 2001-04-13 Fuji Photo Optical Co Ltd 干渉縞測定解析方法
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KR101028061B1 (ko) * 2008-11-19 2011-04-08 한국표준과학연구원 결맞은 광섬유 테이퍼를 이용한 간섭무늬 안정화된 간섭계

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