KR20050042071A - 연마제 입자를 위한 경사 기능 코팅 및 유리질 매트릭스복합체에서의 경사 기능 코팅의 사용 방법 - Google Patents

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삭아론윌버
디에벨린마크필립
김청에스.
짐머만미카엘에이치.
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다이아몬드 이노베이션즈, 인크.
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Abstract

본 발명은 유리질 접합 매트릭에 사용하기 위한 코팅된 연마제 입자에 관한 것인데, 상기 입자는 1 및 약 50개의 코팅층들 사이의 코팅층으로 코팅된다. 각 코팅층 두께 범위은 약 0.1 및 50미크론이다. 각 층은 조성물, 즉 MCxNYBZO W를 갖는데, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이다. 최외곽 코팅층은 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는다.

Description

연마제 입자를 위한 경사 기능 코팅 및 유리질 매트릭스 복합체에서의 경사 기능 코팅의 사용 방법{Functionally graded coatings for abrasive particles and use thereof in vitreous matrix composites}
본 발명은 금속 코팅된 초연마제 입자들(superabrasive particles) 또는 그릿(grit)을 포함하는 유리질 접합 연삭 소재(vitreous bond grinding elements)에 관한 것이며, 특히, 유리질 접합 매트릭스(vitreous bond matrices)에 의해 코팅된 입자들의 습윤성을 개선시키기 위한 경사 기능 코팅(functionally graded coatings)의 사용에 관한 것이다.
연삭 소재로 사용되는 다이아몬드, CBN 및 탄화 규소상에 내화 산화 금속(티타니아, 지르코니아, 알루미나, 실리카)을 코팅하는 것이 제안되어 왔다(미국 특허 제4,951,427호 및 5,104,422호 참조). 이들 코팅 처리는 원소 금속(Ti, Zr, Al)을 연마제 입자 표면상에 침착(deposition)시킨 후 샘플을 적절한 온도로 산화시켜 금속을 산화물로 전환시키는 것을 포함한다. 불행하게도, 산화물 층의 고유 취성 및 산화물과 연마제 입자 사이의 열 팽창 계수의 오정합으로부터 발생되는 잔여 응력으로 인해, 이들 코팅에는 종종 균열이 생긴다. 실제에 있어서, 코팅 및 연마제 입자 사이의 인터페이스가 약할 때, 이들 연마제 입자들은 연삭 동안 매트릭스 에서 취출된다.
연삭 휠(grinding wheel)의 사용 수명을 결정하는 주요 인자는 접합 내에 결정(crystals)의 존재 여부이다. 연삭 휠의 주요 장애 요인들 중 하나는 연삭 동안 유리질 접합으로부터 코팅된 결정이 취출된다는 것이다. 코팅된 연마제 결정을 가진채 작업할 때 2개의 접합 라인이 고려된다. 한 접합 라인은 다이아몬드/코팅 접합 라인이고, 또 다른 접합 라인은 코팅/매트릭스 접합 라인이다. 둘 중 어느 한 접합 라인의 장애가 코팅된 결정을 취출하도록 하여 코팅된 결정을 포함하는 연삭 소재의 수명을 단축시킨다. 따라서, 본 기술 분야에서 유리질 접합의 보존력(retention)을 개선시키는 코팅된 연마제 결정이 필요로 된다.
도1은 실시예 1의 SiC 코팅된 다이아몬드 연마제 입자들에 대한 x-선 회절 분석 결과를 도시한 도면.
도2는 실시예 1의 산화된 SiC 코팅된 다이아몬드 연마제 입자들에 대한 열무게측정 분석(TGA) 결과를 도시한 도면.
도3은 외부 산화된 층을 갖는 실시예 1의 SiC 코팅된 다이아몬드 연마제 입자들에 대한 x-선 회절 분석 결과를 도시한 도면.
도4는 코팅되지 않은 다이아몬드 결정들과 비교되는 실시예 1의 경사 기능 SiC 코팅된 다이아몬드 연마제 입자들에 대한 열무게측정 분석(TGA) 결과를 도시한 도면.
도5 및 도6은 유리질 원소를 형성하기 위하여 붕규산염 유리와 혼합되는 코팅되지 않은 다이아몬드 결정들의 주사 전자 현미경(SEM)으로부터의 현미경 사진(각각 62 및 110배 확대).
도7 및 도8은 유리질 원소를 형성하기 위하여 붕규산염 유리와 혼합되는 SiCXOW 코팅된 다이아몬드 결정들에 대한 주사 전자 현미경(SEM)으로부터의 현미경 사진(각각 78 및 101배 확대)
유리질 접합 매트릭스에서 산화 금속 코팅된 초연마제 입자들의 보존력은 유리질 접합 매트릭스에서 경사 기능 코팅된 연마제 입자들을 접합시킴으로써 개선된다. 다이아몬드, 입방 질화 붕소, 탄화 규소 등의 연마제 입자들은 이 용도로 유용하다. 이 신규한 경사 기능 코팅된 연마제 입자들은 내부 코팅층을 형성하는 탄화 금속, 질화물 및/또는 붕소화물로부터 유도된 외부 산화물 상 코팅 층(oxide phase coating layer)을 갖는다. 이 코팅은 매트릭스내의 연마제 입자들의 접착력 및 도구 제조 및 공정동안 화학물질의 침투에 대한 보호성능을 개선시킨다.
본 발명은 유리질 접합 매트릭스에 사용하기 위한 코팅된 연마제 입자들에 관한 것이다. 이 입자들은 1 및 약 50개의 코팅층들 사이의 코팅층으로 코팅된다. 각 코팅층의 두께 범위는 약 0.1 내지 50 미크론 사이이다. 각 층은 조성물, 즉 MCxNYBZOW를 갖는데, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이다. 최외곽 코팅층은 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는다.
코팅 층은 조성물, 즉 MCxNYBZ로 이루어진 1 및 약 50개의 코팅층들 사이에서 침착됨으로써 형성될 수 있다. 연마제 입자와 직접 접촉하는 코팅층과 비교되는 적어도 약 2 팩터 만큼 산소가 풍부한 최외곽 층(들)은 탄화물/질화물/붕소화물 코팅된 연마제 입자들과의 산소 반응에 의해 형성된다.
그리고 나서, 경사 기능 코팅된 연마제 입자들은 매트릭스 재료들과 결합되어 유리질 접합 연삭 소재를 형성한다. 매트릭스 재료들은 유리질 접합 재료, 즉 SiO2, B2O3, Na2O, CaO, MgO 또는 이외 다른 유사한 유리 형성 재료들을 포함한다. 본 기술 분야에서 통상적인 종래 공정은 유리질 접합 연삭 소재들을 형성하는데 사용된다. 이와 같은 연삭 소재들을 사용함으로써 연삭 성능이 개선된다.
본 발명의 특성 및 장점에 대한 충분한 이해를 위하여, 첨부한 도면과 관련하여 이하에서 상세히 설명될 것이다.
전체 도면이 이하에 보다 상세히 설명될 것이다.
다이아몬드 입자들은 천연적 또는 인조적일 수 있다. 연삭하는데 있어 거의 대부분 인조 다이아몬드가 사용된다. 인조 다이아몬드는 널리 공지된 바와 같이, 고압/고온(HP/HT) 공정에 의해 만들어질 수 있다. 유리질 접합 연삭 소재들을 위한 다이아몬드의 입자 크기는 크기면에서 종래와 같다. 일반적으로, 다이아몬드 그릿의 입자 크기 범위는 약 1 미크론 내지 약 10mm, 유용하게는 약 10 내지 1000미크론, 바람직하게는 약 37미크론(400mesh)이상 내지 425미크론(40mesh)이다. 협 입자 크기 분포는 종래의 연삭 기술에 따라서 바람직하게 될 수 있다. 입방 질화 붕소(CBN)는 또한, SiC 또는 이외 다른 연마제 입자들, 특히 유리질 접합 매트릭스에 의해 습윤화되지 않는 입자들에 대한 것 처럼, 본 발명의 지침에 따라서 코팅될 수 있다.
연마제 입자들은 조성물, 즉 MCxNYBZOW의 재료로 이루어진 적어도 한 층으로 코팅되는데, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이다. 각 층의 코팅 두께는 약 0.1 및 50 미크론이고, 층들의 수는 1 및 약 50개 사이이다. 최외곽 층은 연마제 입자와 직접 접촉하는 층의 산소 농도보다 적어도 약 2 팩터, 유용하게는 적어도 약 5 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는다.
경사 기능 연마제 입자들을 형성시의 초기 단계는 탄소처리, 질소처리, 붕소처리보다 앞서 실행되는 화학 증착법(CVD), 팩 시멘트접합법(pack cementation), 금속 침착법, 또는 본 기술 분야에서 실시되는 다른 방법들, 또는 이와 같은 방법들의 조합에 의해 재료, 즉 MCxNYBZ로 이루어진 층들을 침착시키는 것이다. 각 층의 두께 범위는 약 0.1 내지 50μ사이이며, 층들의 수의 범위는 1 내지 약 50개 이다. 특히, 상대적으로 두꺼운 경우, 단일 층은 본 발명의 지침에 따라서 경사 기능 연마제 입자를 형성하도록 산화되는 외부 표면을 가질 수 있다.
다음에, 화학적으로 접합된 산화물 코팅은 공기, 산소 또는 산소-함유 가스에서의 고온 어닐링, 유리질 매트릭스에서의 소결, CVD 처리, 솔-겔(sol-gel) 기술, 산소-함유 용융 염(가령, 알칼리 질화물, 알칼리 수산화물, 알칼리 탄화물 중 적어도 하나)에서의 용융 처리(fusion treatment), 또는 탄화/질화/붕소화 금속 코팅을 산화시키기 위하여 본 기술 분야에서 실시되는 다른 방법에 의해 탄화물/질화물/붕소화물 코팅된 연마제 입자들과의 산소 반응에 의해 형성된다. 유리 매트릭스는 유리질 접합 자체를 포함하여, 최외곽 산화층의 포메이션 및 유리질 매트릭스 복합체의 소결이 단일 처리 단계에서 발생되도록 할 수 있다. 이에 따라서 형성된 산화물 층은 조성물, 즉 MCxNYBZOW를 갖는데, 여기서 M은 최외곽 층에서 발견되는 금속 또는 합금을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이다.
또 다른 실시양태에서, 산화물이 풍부한 표면층은 MCxNYBZOW층의 최외곽 부분의 산화에 의해서라기 보다 오히려 직접적으로 침착된다. 산화물이 풍부한 표면층의 침착은 CVD, 팩 시멘트접합법 또는 본 기술 분야에서 실시되는 이외 다른 방법들에 의해 수행될 수 있다. 이에 따라서 형성된 산화물 층은 조성물, 즉 MCxNYBZ OW를 갖는데, 여기서 M은 최외곽 층에서 발견되는 금속 또는 합금을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이다.
그 후, 새로운 경사 기능 연마제 입자들이 유리질 매트릭스 복합체 재료들과 결합될 수 있다. 그리고 나서, 유리질 접합 기술에 통상적인 절차 이후, 이 혼합물은 소결되거나 열-가압될 수 있다. 예를 들어, 유리질 접합 연삭 휠에 대해서, 경사 기능 연마제 입자들은 SiO2, B2O3, Na2O, CaO, MgO 또는 이외 다른 유사한 유리 형성 재료(들)와 혼합되어 열 가압된다. 기능적으로 코팅된 다이아몬드의 농도 및 이와 같은 휠의 제조는 본 기술 분야에서 종래 널리 공지되어 있다. 이와 같은 농도 범위는 넓게는 약 25 내지 200(100 농도는 4.4carats/cm3로서 본 기술 분야에서 종래 규정되어 있으며, 여기서, 1carat은 0.2g과 같으며, 다이아몬드 입자의 농도는 단위 부피 농도 당 캐럿에 선형적으로 관계된다). 다이아몬드 그릿의 농도 범위는 약 50-100인 것이 바람직하다. 경사 기능 연마제 입자들을 사용하여 제조된 연삭 소재들(예를 들어, 휠)은 각종 금속, 세라믹 및 관련된 복합체 재료들을 연삭하는데 유용하다.
본 발명이 바람직한 실시양태를 참조하여 서술되었지만, 당업자는 본 발명의 영역을 벗어남이 없이 각종 변경을 행할 수 있고 소재들에 대해 등가물로 대체할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 게다가, 다양한 수정을 행하여 특정 상황 또는 재료를 본 발명의 영역을 벗어남이 없이 본 발명의 개시사항에 적응시킬 수 있다. 그러므로, 본 발명은, 본 발명의 실시를 고려한 최적의 방식으로 설명된 특정 실시예로 제한되는 것이 아니라 첨부된 청구범위 영역내에 있는 모든 실시양태들을 포함할 것이다. 이 출원에서, 달리 표현하지 않는 한, 모든 단위는 미터 체계를 따르고, 모든 량 및 퍼센티지는 중량 당 이다. 또한, 본원에 언급된 모든 인용들은 본원에 참조되어 있다.
실시예들
실시예 1
다이아몬드 입자들(500/425μ또는 35/40mesh)은 CVD 공정을 사용하여 약 2.7의 평균 중량 퍼센트 코팅의 SiC로 코팅된다. 이 코팅에 대해 x-선 회절 분석이 행해진다. 이 코팅은 x-선 회절 결과를 나타내는 도1에 입증된 바와 같이, SiC가 되는지 확인된다.
코팅된 다이아몬드의 산화 특성은 열무게측정 분석(TGA:Thermogravimetric analysis)을 사용하여 결정된다. TGA 노의 온도는 정적 공기(static air)내에서 분당 10℃의 율로 25℃에서 1100℃로 램프(ramp)된다. TGA로 측정된 바와 같은 입자들의 중량 이득(weight gain)은 980℃ 보다 아래의 온도에서 코팅의 최외곽 부분상의 산화물 층의 현상을 나타낸다. 이들 결과가 중량 퍼센트를 온도의 함수로서 도시한 도2에 도시되어 있다. x-선 분석은 또한, 열 처리 이후 샘플에 대해 수행된다. 이들 결과가 도3에 도시되어 있다. 작은 2θ값(피크 10)에서 넓은 비결정질의 피크의 증가된 세기는 코팅의 최외곽 부분상의 SiCXOW의 현상을 나타낸다. SiC 피크(피크 12 및 14)의 연속적인 존재는, 코팅의 산화가 완료되지 않았다는 것을 나타낸다. 산화가 SiC 코팅의 외부 표면으르부터 내부로 진행하기 때문에, 이들 결과는 외부 표면에서의 산화 농도와 경사 기능 코팅의 합성이 다이아몬드/SiC 인터페이스에서의 합성 보다 훨씬 높다는 것을 나타낸다.
공기 중에서 약 700℃를 넘는 온도로 코팅되지 않은 다이아몬드 결정을 가열하면은, 에칭 및 흑연화(graphitization)로 인해 상당한 표면 손상을 야기시켜, 상당한 중량 손실을 초래한다. 이 실시예에서 사용되는 다이아몬드 결정들은 보호 산탄화물(oxycarbide) 코팅으로 인해 최대 약 980℃까지의 열 처리동안 손상을 관찰할 수 없었다. 코팅되지 않은 다이아몬드 결정(라인 18)과 비교(라인 16)하여 코팅의 보호 특성을 도시하기 위하여, 정적 공기에서의 온도의 함수로서 중량 변화(wt-%)의 그래프가 도4에 제공되어 있다.
실시예 2
신규한 경사 기능 코팅된 다이아몬드 입자들의 적용성을 입증하기 위하여, 유리질 소재들이 코팅되지 않고 SiCXOW 코팅된 다이아몬드 결정들 및 붕규산염 유리를 사용하여 제조된다. 코팅되지 않고 SiC 코팅된 다이아몬드 결정들 및 유리는 흑연 몰드에 배치되고 정적 공기에서 표준 실험실 머플로(box furnace)를 사용하여 가열된다. 이 노의 온도는 2시간 주기에 걸쳐서 실온에서 850℃로 램프된다. 도3에 도시된 바와 같이, 산탄화물 외부층은 가열 단계 동안 SiC로 초기에 코팅된 다이아몬드 입자들의 표면상에 형성된다. 이 노는 1시간 동안 850℃로 유지되고 나서, 대략 4시간 동안 냉각된다. 그 후, 온도가 50℃ 미만이 되면, 이 샘플들은 상기 노로부터 제거된다.
이 열 처리 이후, 다이아몬드-유리 인터페이스는 유리질 소재들을 파쇄(fracture)하고 주사 전자 현미경(SEM)을 사용하여 상기 파쇄 표면들을 검사함으로써 분석된다. 도5 및 도6은, 유리 매트릭스가 코팅되지 않은 결정들을 습윤화하지 않는다는 것을 보여준다. 게다가, 다이아몬드 결정 표면은 완만하고, 유리 잔여물이 없게된다. 대조적으로, SiCXOW 코팅된 다이아몬드 결정들은 도7 및 도8에 도시된 바와 같이 유리 매트릭스에 의해 습윤화된다. 연속적인 인터페이스는 SiCXOW 코팅된 다이아몬드 결정들 및 유리 매트릭스 사이에 제공된다.

Claims (31)

  1. 유리질 접합 매트릭스에 사용하기 위한 코팅된 연마제 입자들에 있어서,
    1 및 약 50개의 코팅층들 사이의 코팅층으로 코팅된 연마제 입자를 포함하며, 각 코팅층의 두께 범위는 약 0.1 및 50 미크론 사이이며, 각 층은 조성물, 즉 MCxNYBZOW를 가지며, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이 이며, 최외곽 코팅층은 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 코팅된 연마제 입자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 최외곽 코팅층은 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 5팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 코팅된 연마제 입자.
  3. 제1항에 있어서, w는 상기 연마제 입자와 접촉하는 코팅층에 대해 0인 코팅된 연마제 입자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 연마제 입자는 다이아몬드, 입방 질화 붕소(CBN) 또는 탄화 규소 중 한 가지 이상인 코팅된 연마제 입자.
  5. 제4항에 있어서, 상기 연마제 입자 크기 범위는 약 1 미크론 및 10mm 사이인 코팅된 연마제 입자.
  6. 제5항에 있어서, 상기 연마제 입자는 약 37 및 425미크론 사이의 범위에 있는 다이아몬드인 코팅된 연마제 입자.
  7. 복합 유리질 소재에 있어서,
    연마제 입자들이 분산되어 있는 유리질 매트릭스를 포함며, 상기 연마제 입자들은 1 및 약 50개의 코팅층들 사이의 코팅층으로 코팅되며, 각 코팅층 두께 범위는 약 0.1 및 50 미크론 사이이며, 각 층은 조성물, 즉 MCxNYBZOW 를 가지며, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이며, 최외곽 코팅층은 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 복합 유리질소재.
  8. 제7항에 있어서, 상기 연마제 입자들상의 상기 최외곽 코팅층은 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층보다 적어도 약 5팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 복합 유리질 소재.
  9. 제7항에 있어서, w는 상기 연마제 입자와 접촉하는 코팅층에 대해 0인 복합 유리질 소재.
  10. 제7항에 있어서, 상기 연마제 입자는 다이아몬드, 입방 질화 붕소(CBN) 또는 탄화 규소 중 한 가지 이상인 복합 유리질 소재.
  11. 제10항에 있어서, 상기 연마제 입자 크기 범위는 약 1 미크론 및 10mm 사이인 복합 유리질 소재.
  12. 제11항에 있어서, 상기 연마제 입자는 약 37 및 425미크론 사이의 범위에 있는 다이아몬드인 복합 유리질 소재.
  13. 제7항에 있어서, 상기 유리질 매트릭스는 SiO2, B2O3, Na2O, CaO, MgO 중 한 가지 이상을 포함하는 유리 형성 재료인 복합 유리질 소재.
  14. 제7항에 있어서, 상기 연마제 입자들의 농도 범위는 약 25 내지 200인 복합 유리질 소재.
  15. 제7항에 있어서, 상기 복합 유리질 소재는 연삭 소재인 복합 유리질 소재.
  16. 유리질 접합 매트릭스에 사용하기 위한 코팅된 연마제 입자를 제조하는 방법에 있어서,
    (가) MCxNYBZOW의 층을 연마제 입자상으로 침착시키는 단계로서, 여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이인, 침착 단계와,
    (나) 최외곽 코팅층이 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층 보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖도록, 상기 최외곽 코팅층을 산화시키는 단계를 포함하는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 단계(가)에서의 코팅은 탄소처리, 질소처리 및 붕소처리 보다 앞서 실행되는 화학 증착법(CVD), 팩 시멘트접합법, 금속 침착법 중 한 가지 이상의 방법에 의해 형성되는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서, 화학적으로 접합된 산화물 코팅은 공기, 산소 또는 산소-함유 가스에서의 고온 어닐링, 유리질 매트릭스에서의 소결, CVD 처리, 솔-겔 기술, 산소-함유 용융 염에서의 용융 처리 중 한 가지 이상의 처리에 의한 탄화물/질화물/붕소화물 코팅된 연마제 입자들과의 산소 반응에 의해 상기 단계(나)에서 형성되는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 유리질 매트릭스는 SiO2, B2O3, Na2O, CaO, MgO 중 한 가지 이상을 포함하는 유리 형성 재료인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  20. 제16항에 있어서, 상기 최외곽 코팅층은 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층보다 적어도 약 5 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  21. 제16항에 있어서, w는 상기 연마제 입자와 접촉하는 코팅층에 대해 0인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  22. 제16항에 있어서, 상기 연마제 입자는 다이아몬드, 입방 질화 붕소(CBN) 또는 탄화 규소 중 한 가지 이상인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 연마제 입자 크기 범위는 약 1 미크론 및 10mm 사이인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 연마제 입자는 약 37 및 425미크론 사이의 범위에 있는 다이아몬드인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  25. 유리질 접합 매트릭스에 사용하기 위한 코팅된 연마제 입자 제조 방법에 있어서,
    MCxNYBZOW의 적어도 2개의 층을 연마제 입자상으로 침착시키는 단계를 포함하며,
    여기서 M은 Ti, Si, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Re 또는 희토류 금속들 중 한 가지 이상을 나타내고, w, x, y 및 z 각각의 범위는 0 및 3 사이이며,
    최외곽 코팅층이 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층보다 적어도 약 2 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  26. 제25항에 있어서, 상기 층들은 화학 증착법(CVD) 또는 팩 시멘트접합법 중 한 가지 이상의 방법에 의해 형성되며, 산소 농도는 상기 최외곽 층의 형성동안 증가되는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  27. 제25항에 있어서, 상기 최외곽 코팅층은 상기 연마제 입자와 직접 접촉하는 층보다 적어도 약 5 팩터 만큼 높은 산소 농도를 갖는 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  28. 제25항에 있어서, w는 상기 연마제 입자와 접촉하는 코팅층에 대해 0인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  29. 제25항에 있어서, 상기 연마제 입자는 다이아몬드, 입방 질화 붕소(CBN) 또는 탄화 규소 중 한 가지 이상인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 연마제 입자 크기 범위는 약 1 미크론 및 10mm 사이인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
  31. 제29항에 있어서, 상기 연마제 입자는 약 37 및 425미크론 사이의 범위에 있는 다이아몬드인 코팅된 연마제 입자 제조 방법.
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