JPH02269790A - 被覆高硬質砥粒,その製造方法及びその砥粒を含有する砥石 - Google Patents
被覆高硬質砥粒,その製造方法及びその砥粒を含有する砥石Info
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- JPH02269790A JPH02269790A JP1089710A JP8971089A JPH02269790A JP H02269790 A JPH02269790 A JP H02269790A JP 1089710 A JP1089710 A JP 1089710A JP 8971089 A JP8971089 A JP 8971089A JP H02269790 A JPH02269790 A JP H02269790A
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- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 43
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 43
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 41
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 24
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- INZDTEICWPZYJM-UHFFFAOYSA-N 1-(chloromethyl)-4-[4-(chloromethyl)phenyl]benzene Chemical compound C1=CC(CCl)=CC=C1C1=CC=C(CCl)C=C1 INZDTEICWPZYJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N chromium carbide Chemical compound [Cr]#C[Cr]C#[Cr] UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910003470 tongbaite Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 6
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N azanylidynevanadium Chemical compound [V]#N SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021555 Chromium Chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021550 Vanadium Chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 2
- QSWDMMVNRMROPK-UHFFFAOYSA-K chromium(3+) trichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cr+3] QSWDMMVNRMROPK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- RPESBQCJGHJMTK-UHFFFAOYSA-I pentachlorovanadium Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[V+5] RPESBQCJGHJMTK-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000628 Ferrovanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 150000001728 carbonyl compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- PNXOJQQRXBVKEX-UHFFFAOYSA-N iron vanadium Chemical compound [V].[Fe] PNXOJQQRXBVKEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-N sodium;hydron;carbonate Chemical compound [Na+].OC(O)=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- -1 transition metal carbides Chemical class 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、被覆高硬質砥粒、特に拡散法によって遷移金
属炭化物、窒化物でmsされたダイヤモンド砥粒、硬質
BN砥粒、その製法、その砥粒を含有する砥石に関する
。
属炭化物、窒化物でmsされたダイヤモンド砥粒、硬質
BN砥粒、その製法、その砥粒を含有する砥石に関する
。
[従来の技術]
砥粒2例えばダイヤモンド砥粒、硬質BN砥粒は超硬質
砥粒と呼ばれ、砥石の原料としてまた研磨材として広く
使用されている。特に、天然または人造のダイヤモンド
の砥粒は1通常、金属や合成樹脂やガラス質無機物を結
合剤として用いて砥石となし、超硬工具の研削をはじめ
としセラミックス、フェライト、ガラスなどの硬質材の
研削や石材、コンクリートの切断など広い分野において
使用されている。特に、近年に至りセラミックス材料の
めざましい発達に伴い、その高精度研削。
砥粒と呼ばれ、砥石の原料としてまた研磨材として広く
使用されている。特に、天然または人造のダイヤモンド
の砥粒は1通常、金属や合成樹脂やガラス質無機物を結
合剤として用いて砥石となし、超硬工具の研削をはじめ
としセラミックス、フェライト、ガラスなどの硬質材の
研削や石材、コンクリートの切断など広い分野において
使用されている。特に、近年に至りセラミックス材料の
めざましい発達に伴い、その高精度研削。
切断加工を可能とするダイヤモンド砥石および硬質BN
砥石が多量に使用されている。
砥石が多量に使用されている。
[解決すべき課題]
しかし、今日使用されている砥石には次のような欠点が
みられる。
みられる。
例えば、ダイヤモンド砥粒を主成分とするレジンボンド
砥石あるいはメタルボンド砥石の場合。
砥石あるいはメタルボンド砥石の場合。
結合剤である樹脂あるいはメタルとの結合力を高めるた
めに、砥粒表面にニッケル(Ni)などの金属を被覆す
ることが行われている。かかる金属被覆は、砥石使用中
に砥粒先端で発生した熱により樹脂が劣化するのを防止
する作用があるといわれている。しかし、そのような金
属被覆層が砥石の目詰りを引起こすという問題が生ずる
。
めに、砥粒表面にニッケル(Ni)などの金属を被覆す
ることが行われている。かかる金属被覆は、砥石使用中
に砥粒先端で発生した熱により樹脂が劣化するのを防止
する作用があるといわれている。しかし、そのような金
属被覆層が砥石の目詰りを引起こすという問題が生ずる
。
一方、同じくダイヤモンド砥粒を主成分とするビトリフ
ァイドボンド砥石は、セラミック質を結合剤とするもの
であり、高温焼成により製造されるため、固相反応によ
る砥粒と結合剤との結合力は強い。しかし、かかる高温
焼成工程においてダイヤモンド砥粒の熱腐蝕が生じ、製
造が困難であるという問題を有する。
ァイドボンド砥石は、セラミック質を結合剤とするもの
であり、高温焼成により製造されるため、固相反応によ
る砥粒と結合剤との結合力は強い。しかし、かかる高温
焼成工程においてダイヤモンド砥粒の熱腐蝕が生じ、製
造が困難であるという問題を有する。
最近に至り、砥石製造時の砥粒の酸化防止、波膜密着性
改善そして研削加工時の目詰り防止のために、ダイヤモ
ンド砥粒表面を化学蒸着法によりTi (C,N、O)
で被覆することが特開昭55−182499号公報に開
示されている。しかし、この方法は、被膜の密着性とい
う点においては未だ十分でないといわれている。
改善そして研削加工時の目詰り防止のために、ダイヤモ
ンド砥粒表面を化学蒸着法によりTi (C,N、O)
で被覆することが特開昭55−182499号公報に開
示されている。しかし、この方法は、被膜の密着性とい
う点においては未だ十分でないといわれている。
このように、確かに、被覆砥粒及び該砥粒を含有してな
る砥石の有利性が認識されつつあり、その−層の改善を
図るべ〈従来よりいくつか提案されてきた。しかし、そ
れらはいずれもCVD法等気相蒸着法によるものであっ
てその性質上多量生産ができず、設備も大がかりとなり
高価な方法であった。
る砥石の有利性が認識されつつあり、その−層の改善を
図るべ〈従来よりいくつか提案されてきた。しかし、そ
れらはいずれもCVD法等気相蒸着法によるものであっ
てその性質上多量生産ができず、設備も大がかりとなり
高価な方法であった。
[課題の解決手段・作用]
本発明の被覆高硬質砥粒はダイヤモンド砥粒の表面に炭
化バナジウム、炭化クロムの少なくとも1種を含有する
金属炭化物拡散層を設けて成るか、又は硬質立方晶窒化
ホウ素砥粒の表面に窒化チタン、窒化バナジウムの少な
くとも1種を含有する金属窒化物拡散層を設けて成るこ
とを特徴とする。又2本発明の砥石は該被覆砥粒を用い
たことを特徴とする。
化バナジウム、炭化クロムの少なくとも1種を含有する
金属炭化物拡散層を設けて成るか、又は硬質立方晶窒化
ホウ素砥粒の表面に窒化チタン、窒化バナジウムの少な
くとも1種を含有する金属窒化物拡散層を設けて成るこ
とを特徴とする。又2本発明の砥石は該被覆砥粒を用い
たことを特徴とする。
又1本発明の該砥粒の製法は気相、液相、固相拡散法に
より、ダイヤモンド砥粒の表面にバナジウム、クロムの
少なくとも1種を拡散させて金属炭化物拡散層を設ける
か、又は硬質立方晶窒化ホウ素砥粒の表面にチタン、バ
ナジウムの少なくとも1種を拡散させて金属窒化物拡散
層を設けることを特徴とする。
より、ダイヤモンド砥粒の表面にバナジウム、クロムの
少なくとも1種を拡散させて金属炭化物拡散層を設ける
か、又は硬質立方晶窒化ホウ素砥粒の表面にチタン、バ
ナジウムの少なくとも1種を拡散させて金属窒化物拡散
層を設けることを特徴とする。
ここに、上記「拡散法」とは、拡散目的の金属元素を母
材の表面から内部へ拡散させ、その目的拡散元素と母材
中の炭素元素との反応又は母材中の金属元素と目的拡散
元素との置換により金属炭化物または金属窒化物を形成
させる方法であり。
材の表面から内部へ拡散させ、その目的拡散元素と母材
中の炭素元素との反応又は母材中の金属元素と目的拡散
元素との置換により金属炭化物または金属窒化物を形成
させる方法であり。
気相、液相、固相におけるものを包含する。又。
母材が外部へも拡散する相互拡散を含む。従って拡散を
生じないCVD法、PVD法などとは異なる。
生じないCVD法、PVD法などとは異なる。
又、拡散層が存在する限り、更にその外側に拡散してい
ない被覆層が存在していても差支えない。
ない被覆層が存在していても差支えない。
本発明の好適態様にあって、上記ダイヤモンド砥粒また
は硬iBN砥粒の形態などは特に限定されない。
は硬iBN砥粒の形態などは特に限定されない。
ダイヤモンド砥粒の場合、その構成要素である炭素と拡
散金属(バナジウム、クロム)とが反応して炭化物被膜
が形成される。また、硬質BN砥粒の場合、その構成元
素であるBと拡散金属との置換が起こり、窒化物被膜が
形成される。
散金属(バナジウム、クロム)とが反応して炭化物被膜
が形成される。また、硬質BN砥粒の場合、その構成元
素であるBと拡散金属との置換が起こり、窒化物被膜が
形成される。
金属成分の種類は砥石の性能を考慮した場合。
Cr、V、Tiが好ましい。
本発明において適用される拡散法としては1例えば次の
通りである。即ち、気相拡散法としては遷移金属元素の
ハロゲン化物又はカルボニル化合物を加熱(900〜1
100℃程度)して、その蒸気。
通りである。即ち、気相拡散法としては遷移金属元素の
ハロゲン化物又はカルボニル化合物を加熱(900〜1
100℃程度)して、その蒸気。
またはその分解産物の蒸気を発生せしめ、これを還元性
または不活性搬送気体とともに、遷移金属元素成分を拡
散させる方法がある。
または不活性搬送気体とともに、遷移金属元素成分を拡
散させる方法がある。
液相拡散法としては、遷移金属元素のハロゲン化物を含
む溶融液体中へ、母材を挿入することにより、遷移金属
元素成分を拡散させる方法がある。金属ハロゲン化物単
独よりも、金属酸化物を併用することが好ましい。反応
性の制御が容易であり、溶融液体としての安全性も高い
。酸化物は複合酸化物でもよい。溶融液体の温度は例え
ば900〜1100℃程度が適当である。
む溶融液体中へ、母材を挿入することにより、遷移金属
元素成分を拡散させる方法がある。金属ハロゲン化物単
独よりも、金属酸化物を併用することが好ましい。反応
性の制御が容易であり、溶融液体としての安全性も高い
。酸化物は複合酸化物でもよい。溶融液体の温度は例え
ば900〜1100℃程度が適当である。
同相拡散法としては、遷移金属元素の合金もしくは単体
金属の固体相と接触させ、加熱により遷移金属元素成分
を拡散させたり、11!移金属成分を含有する化合物の
スラリを母材表面ヘコートし。
金属の固体相と接触させ、加熱により遷移金属元素成分
を拡散させたり、11!移金属成分を含有する化合物の
スラリを母材表面ヘコートし。
その後加熱(900〜1ioo℃程度)により遷移金属
元素成分を拡散させる方法がある。又、CVD法によっ
て、CrC,VCC被膜固体金形成後、同様に加熱処理
する方法でもよい。
元素成分を拡散させる方法がある。又、CVD法によっ
て、CrC,VCC被膜固体金形成後、同様に加熱処理
する方法でもよい。
又1本発明において使用する超硬質砥粒は、好ましくは
、ダイヤモンド砥粒または硬iBN砥粒あるいはこれら
の混合物である。かかるダイヤモンド砥粒の種類は特に
制限されるものではなく。
、ダイヤモンド砥粒または硬iBN砥粒あるいはこれら
の混合物である。かかるダイヤモンド砥粒の種類は特に
制限されるものではなく。
天然1人工いずれのものであってもよい。適宜結合剤を
使用して砥石として使用するダイヤモンド砥粒または硬
質BN砥粒の粒径は、特に制限はないが、一般には40
0メツシユより粗粒であることが好ましい。
使用して砥石として使用するダイヤモンド砥粒または硬
質BN砥粒の粒径は、特に制限はないが、一般には40
0メツシユより粗粒であることが好ましい。
なお、拡散処理に先立ってダイヤモンド砥粒および硬質
BN砥粒には特に予備処理を施す必要はないが、好まし
くは、脱脂等の処理を行うことにより、被膜密着性など
を一層高めることができる。一方、拡散処理後は、必要
があれば、被覆砥粒を、水で清浄、サンドブラスト、酸
洗い等する。拡散せずに単に付着している金属成分を除
去して、極力、金属炭化物、金属窒化換金のみを存在さ
せることにより、耐熱性等の被覆砥粒の特性を高めるこ
とができる。
BN砥粒には特に予備処理を施す必要はないが、好まし
くは、脱脂等の処理を行うことにより、被膜密着性など
を一層高めることができる。一方、拡散処理後は、必要
があれば、被覆砥粒を、水で清浄、サンドブラスト、酸
洗い等する。拡散せずに単に付着している金属成分を除
去して、極力、金属炭化物、金属窒化換金のみを存在さ
せることにより、耐熱性等の被覆砥粒の特性を高めるこ
とができる。
又1本発明にかかる拡散法による被膜形成は。
これまで説明してきた本発明による金属化合物被覆砥粒
に対して行ってもよい。又、こうした被覆砥粒を用いて
なる本発明の砥石において、被膜組成としてはダイヤモ
ンド砥粒の場合炭化バナジウム、炭化クロムの少なくと
も1種、又CBN砥粒の場合、窒化チタン、窒化バナジ
ウムの少なくとも1種を倉荷するものとする。被膜組成
として炭化バナジウム、炭化クロムの含有量には、特i
こ限定はないが、好ましくは、炭化バナジウム、炭化ク
ロムの少なくとも1種の含有量が10vt%以上がよい
。残りの金属炭化物として、任意の遷移金属炭化物が選
ばれる。10wt%より少ないとダイヤモンド砥粒と被
膜との接合力が弱くなる。これらの被覆組成によれば、
砥粒表面が多数微小凹凸面となりアンカー作用を効率良
く発揮でき、被膜層との付着力が向上し、脱離を十分に
防止できる。
に対して行ってもよい。又、こうした被覆砥粒を用いて
なる本発明の砥石において、被膜組成としてはダイヤモ
ンド砥粒の場合炭化バナジウム、炭化クロムの少なくと
も1種、又CBN砥粒の場合、窒化チタン、窒化バナジ
ウムの少なくとも1種を倉荷するものとする。被膜組成
として炭化バナジウム、炭化クロムの含有量には、特i
こ限定はないが、好ましくは、炭化バナジウム、炭化ク
ロムの少なくとも1種の含有量が10vt%以上がよい
。残りの金属炭化物として、任意の遷移金属炭化物が選
ばれる。10wt%より少ないとダイヤモンド砥粒と被
膜との接合力が弱くなる。これらの被覆組成によれば、
砥粒表面が多数微小凹凸面となりアンカー作用を効率良
く発揮でき、被膜層との付着力が向上し、脱離を十分に
防止できる。
従って、砥粒の脱落が防止できるので、切れ味の劣化な
く、研削比を向上させることができる。なお、一般に、
被覆砥粒と結合剤との接合強度は十分に強く、被覆砥粒
の脱落は、被膜層と砥粒表面とから生じると考えられる
。又、砥粒表面状態(アンカー効果観察)は、被膜砥粒
を1昼夜、王水とフッ酸との混合酸中で処理することに
より。
く、研削比を向上させることができる。なお、一般に、
被覆砥粒と結合剤との接合強度は十分に強く、被覆砥粒
の脱落は、被膜層と砥粒表面とから生じると考えられる
。又、砥粒表面状態(アンカー効果観察)は、被膜砥粒
を1昼夜、王水とフッ酸との混合酸中で処理することに
より。
被膜組成物冬除去して観察する。
本発明の砥石は研削用、切断用として好ましく利用でき
る。又、被削材としては硬脆材料例えば、フェライトガ
ラス、結晶化ガラス、セラミックス例えばSi N
、SiC,Al2O3や超硬材料例えばWC,C−B
Nなど広範囲の材料に亘り、優れた研削、切断性能を発
揮する。
る。又、被削材としては硬脆材料例えば、フェライトガ
ラス、結晶化ガラス、セラミックス例えばSi N
、SiC,Al2O3や超硬材料例えばWC,C−B
Nなど広範囲の材料に亘り、優れた研削、切断性能を発
揮する。
砥石の製造にあたり、被覆砥粒と共に0通常の如く結合
剤及び必要に応じて添加剤(例えば充填剤、湿潤剤、吸
水剤等)を配合する。結合剤としてはレジン結合剤、メ
タル結合剤、ビトリファイド結合剤のいずれを使用した
ものであってもよい。もっとも、メタル結合剤、ビトリ
ファイド結合剤の場合、製造時の熱劣化が激しいので、
特に本発明砥粒は有用である。具体的組成としては2レ
ジン結合剤としてフェノール、ポリイミド樹脂、メタル
結合剤としてスチール、ブロンズ金属、ビトリファイド
結合剤としてホウケイ酸ソーダガラスなどが挙げられる
。
剤及び必要に応じて添加剤(例えば充填剤、湿潤剤、吸
水剤等)を配合する。結合剤としてはレジン結合剤、メ
タル結合剤、ビトリファイド結合剤のいずれを使用した
ものであってもよい。もっとも、メタル結合剤、ビトリ
ファイド結合剤の場合、製造時の熱劣化が激しいので、
特に本発明砥粒は有用である。具体的組成としては2レ
ジン結合剤としてフェノール、ポリイミド樹脂、メタル
結合剤としてスチール、ブロンズ金属、ビトリファイド
結合剤としてホウケイ酸ソーダガラスなどが挙げられる
。
又、製造条件についても特に限定はなく、メタル結合剤
の場合例えば成形圧100〜500kg / cj 。
の場合例えば成形圧100〜500kg / cj 。
酸化又は非酸化雰囲気中、焼成温度500〜1200℃
で行なうとよい。ビトリファイド結合剤の場合例えばコ
ールドプレスで成形圧50〜1000kg/cシ、酸化
又は非酸化雰囲気中、焼゛成温度700〜1000℃で
行なうとよい。又、砥石の集中度、気孔率についても特
に限定はないが9例えば重研削用砥石として用いる場合
、ビトリファイドの場合集中度25〜200、より好ま
しくはioo〜200.気孔率25〜55vo1%の範
囲に設定するとよい。
で行なうとよい。ビトリファイド結合剤の場合例えばコ
ールドプレスで成形圧50〜1000kg/cシ、酸化
又は非酸化雰囲気中、焼゛成温度700〜1000℃で
行なうとよい。又、砥石の集中度、気孔率についても特
に限定はないが9例えば重研削用砥石として用いる場合
、ビトリファイドの場合集中度25〜200、より好ま
しくはioo〜200.気孔率25〜55vo1%の範
囲に設定するとよい。
[実施例]
実施例1 (気相拡散法)
直径40m、長さ70c+nの石英管に水素(もしくは
アルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1000℃
以上に加熱できる様にした電気炉を設け1石英管の中央
より入口側に無水塩化第一クロムの結晶25gをおき、
中央より出口に近い側に#50〜60のダイヤモンド砥
粒1gをおいた。石英管全体を1000℃に熱し、
(1,5,j/mfr+でH2を通じつつ3時131保
った。次いで、このまま水素流にメタンガス(およそI
O容量%)を混ぜて、同じ< tooo℃1 l!i間
に保った。かくすることによって砥材に炭化クロムの被
膜が6μIコートされた。
アルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1000℃
以上に加熱できる様にした電気炉を設け1石英管の中央
より入口側に無水塩化第一クロムの結晶25gをおき、
中央より出口に近い側に#50〜60のダイヤモンド砥
粒1gをおいた。石英管全体を1000℃に熱し、
(1,5,j/mfr+でH2を通じつつ3時131保
った。次いで、このまま水素流にメタンガス(およそI
O容量%)を混ぜて、同じ< tooo℃1 l!i間
に保った。かくすることによって砥材に炭化クロムの被
膜が6μIコートされた。
このようにして得られた本発明の方法による被覆ダイヤ
モンド砥粒を原料砥粒として製造したメタルボンドのダ
イヤモンド砥石は被覆層を有しない従来のダイヤモンド
砥粒を用いて製造したメタルボンドダイヤモンド砥石と
比較して約2倍の使用寿命の延長を可能にすることが確
認された。
モンド砥粒を原料砥粒として製造したメタルボンドのダ
イヤモンド砥石は被覆層を有しない従来のダイヤモンド
砥粒を用いて製造したメタルボンドダイヤモンド砥石と
比較して約2倍の使用寿命の延長を可能にすることが確
認された。
メタルボンド砥石と同様に、結合剤としてガラス質無機
物を用い実施例1の炭化クロム被覆ダイヤモンド砥粒を
原料砥粒としたビトリファイド砥石を製造した。このビ
トリファイド砥石は、被覆層を有しない従来のダイヤモ
ンド砥粒を用いて製造したビトリファイド砥石と比較し
て約1.6倍の使用寿命の延長を可能にすることが確認
された。
物を用い実施例1の炭化クロム被覆ダイヤモンド砥粒を
原料砥粒としたビトリファイド砥石を製造した。このビ
トリファイド砥石は、被覆層を有しない従来のダイヤモ
ンド砥粒を用いて製造したビトリファイド砥石と比較し
て約1.6倍の使用寿命の延長を可能にすることが確認
された。
実施例2(気相拡散法)
直径4011.長さ70cmの石英管に水素(もしくは
アルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1ooo℃
以上に加熱できる様にした電気炉を設け9石英管の中央
より入口側に無水塩化バナジウムの結晶30gをおき、
中央より出口に近い側に#50〜BOのダイヤモンド砥
粒1gをおいた。石英管全体を1000℃に熱し、
0.51/ginでH2を通じつつ3時間保つた。次い
で、このまま水素流にメタンガス(およそ10容量%)
を混ぜて、同じ< 1000℃1時間に保った。かくす
ることによって砥材に炭化バナジウムの被膜が5Bコー
トされた。
アルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1ooo℃
以上に加熱できる様にした電気炉を設け9石英管の中央
より入口側に無水塩化バナジウムの結晶30gをおき、
中央より出口に近い側に#50〜BOのダイヤモンド砥
粒1gをおいた。石英管全体を1000℃に熱し、
0.51/ginでH2を通じつつ3時間保つた。次い
で、このまま水素流にメタンガス(およそ10容量%)
を混ぜて、同じ< 1000℃1時間に保った。かくす
ることによって砥材に炭化バナジウムの被膜が5Bコー
トされた。
このようにして得られた本発明の方法による被覆ダイヤ
モンド砥粒を原料砥粒として製造したメタルボンドのダ
イヤモンド砥石は被覆層をaしない従来のダイヤモンド
砥粒を用いて製造したメタルボンドダイヤモンド砥石と
比較して約2倍の使用寿命の延長を可能にすることが確
認された。
モンド砥粒を原料砥粒として製造したメタルボンドのダ
イヤモンド砥石は被覆層をaしない従来のダイヤモンド
砥粒を用いて製造したメタルボンドダイヤモンド砥石と
比較して約2倍の使用寿命の延長を可能にすることが確
認された。
実施例3(液相拡散法)
磁性ル”7ボl、:V2O5BD、0モh、VCj53
20.0モル加え、 1050℃にて溶融させる。その
溶融液体中へ、#50〜60のダイヤモンド砥粒1gを
挿入し、6hr保持した。砥材にV−Cの被覆層が。
20.0モル加え、 1050℃にて溶融させる。その
溶融液体中へ、#50〜60のダイヤモンド砥粒1gを
挿入し、6hr保持した。砥材にV−Cの被覆層が。
8、ロー生じた。
実施例4(固相拡散法)
直径4011.長さ70cmの石英管にアルゴンガスを
通じつつ、 1000℃以上に加熱できる様にした電気
炉を設け2石英管の中央にVCI。5モル、フェロ・バ
ナジウム粉末95モルの混合粉層をもうけ。
通じつつ、 1000℃以上に加熱できる様にした電気
炉を設け2石英管の中央にVCI。5モル、フェロ・バ
ナジウム粉末95モルの混合粉層をもうけ。
その中に、#50〜60のダイヤモンド砥粒1gを埋め
た。モして4hr保持した。母材にV−Cの被覆層が5
.21ta生じた。
た。モして4hr保持した。母材にV−Cの被覆層が5
.21ta生じた。
実施例5(固相拡散法)
#50〜60のダイヤモンド砥粒1gの表面に、スプレ
ーにて、塩化バナジウム(VC,e3)含有溶液を塗布
しその後、乾燥させた。その砥粒を。
ーにて、塩化バナジウム(VC,e3)含有溶液を塗布
しその後、乾燥させた。その砥粒を。
Arガスを通じた不活性雰囲気中にて、 1000℃。
30m1n焼成した。かくすることによって砥材に炭化
バナジウムの被膜が2μlコートされた。
バナジウムの被膜が2μlコートされた。
実施例6(固相拡散法)
CVD反応装置において、水素雰囲気中において、メタ
ンガスの存在下において塩化クロムを導入して、Cr
7Caを蒸着被覆させる反応室中へ#50〜60のダイ
ヤモンド砥粒1gを挿入し10m1n保持した後取り出
した。Cr−Cの蒸着被覆層3趨をす、ダイヤモンド砥
粒が得られた。その砥粒をArガスを通じた不活性雰囲
気中にて900℃230*in焼成した。かくすること
によってダイヤモンド砥粒へ、Cr7C3組成物からの
Cr元素の拡散が生じ、拡散によるCr−C相を存す、
Cr−C被覆ダイヤモンド砥材が得られた。
ンガスの存在下において塩化クロムを導入して、Cr
7Caを蒸着被覆させる反応室中へ#50〜60のダイ
ヤモンド砥粒1gを挿入し10m1n保持した後取り出
した。Cr−Cの蒸着被覆層3趨をす、ダイヤモンド砥
粒が得られた。その砥粒をArガスを通じた不活性雰囲
気中にて900℃230*in焼成した。かくすること
によってダイヤモンド砥粒へ、Cr7C3組成物からの
Cr元素の拡散が生じ、拡散によるCr−C相を存す、
Cr−C被覆ダイヤモンド砥材が得られた。
実施例7(気相拡散法)
直径4C1l、長さ701の石英管に水素(もしくはア
ルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1000’c
以上に加熱できる様にした電気炉を設け1石英管ノ中央
より入口側に四塩化チタンの結晶25gをおき、中央よ
り出口に近い側に#8o〜100のC−BN砥粒2gを
おいた。石英管全体を1050℃に熱し、 0.7j
!/sinでH2を通じつつ3時間保った。かくするこ
とによって砥材に窒化チタンの被膜が6nコートされた
。
ルゴンの如き不活性気体)を通じつつ、 1000’c
以上に加熱できる様にした電気炉を設け1石英管ノ中央
より入口側に四塩化チタンの結晶25gをおき、中央よ
り出口に近い側に#8o〜100のC−BN砥粒2gを
おいた。石英管全体を1050℃に熱し、 0.7j
!/sinでH2を通じつつ3時間保った。かくするこ
とによって砥材に窒化チタンの被膜が6nコートされた
。
このようにして得られた本発明の方法による被覆C−B
N砥粒を、原料砥粒とし、ガラス質無機質物をボンドと
したビトリファイドC−BN砥粒は、被覆層を有しない
従来のC−BN砥粒を用いて製造したビトリファイドC
−BN砥石と比較して約1.3倍の使用寿命の延長を可
能にすることが確認された。
N砥粒を、原料砥粒とし、ガラス質無機質物をボンドと
したビトリファイドC−BN砥粒は、被覆層を有しない
従来のC−BN砥粒を用いて製造したビトリファイドC
−BN砥石と比較して約1.3倍の使用寿命の延長を可
能にすることが確認された。
[発明の効果]
このように1本発明によれば、拡散法によって従来得ら
れなかったすぐれた密着性および耐酸化性を示す表面被
覆が得られる。そのためその砥粒はアンカー作用によっ
て被覆層との付着力が向上し、このため結合剤との付着
力が向上するので砥粒の脱離が十分に防止され、砥石の
研削比が高められるO従って・セラミックスや超硬材料
の研削用及び切断用として優れた機能を示す。
れなかったすぐれた密着性および耐酸化性を示す表面被
覆が得られる。そのためその砥粒はアンカー作用によっ
て被覆層との付着力が向上し、このため結合剤との付着
力が向上するので砥粒の脱離が十分に防止され、砥石の
研削比が高められるO従って・セラミックスや超硬材料
の研削用及び切断用として優れた機能を示す。
Claims (8)
- (1)ダイヤモンド砥粒の表面に炭化バナジウム,炭化
クロムの少なくとも1種を含有する金属炭化物拡散層を
設けて成ることを特徴とする被覆高硬質砥粒。 - (2)硬質立方晶窒化ホウ素砥粒の表面に窒化チタン,
窒化バナジウムの少なくとも1種を含有する金属窒化物
拡散層を設けて成ることを特徴とする被覆高硬質砥粒。 - (3)気相,液相,固相拡散法により,ダイヤモンド砥
粒の表面にバナジウム,クロムの少なくとも1種を拡散
させて金属炭化物拡散層を設けることを特徴とする被覆
高硬質砥粒の製造方法。 - (4)気相,液相,固相拡散法により,硬質立方晶窒化
ホウ素砥粒の表面にチタン,バナジウムの少なくとも1
種を拡散させて金属窒化物拡散層を設けることを特徴と
する被覆高硬質砥粒の製造方法。 - (5)ダイヤモンド砥粒の表面に炭化バナジウム,炭化
クロムの少なくとも1種を含有する金属炭化物拡散層を
設けて成る被覆高硬質砥粒と,結合剤と,添加剤とを含
有することを特徴とする砥石。 - (6)硬質立方晶窒化ホウ素砥粒の表面に窒化チタン,
窒化バナジウムの少なくとも1種を含有する金属窒化物
拡散層を設けて成る被覆高硬質砥粒と,結合剤と,添加
剤とを含有することを特徴とする砥石。 - (7)該結合剤が金属からなるものである請求項第5,
6項に記載の砥石。 - (8)該結合剤がガラス質無機物からなるものである請
求項第5,6項に記載の砥石。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1089710A JPH02269790A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 被覆高硬質砥粒,その製造方法及びその砥粒を含有する砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1089710A JPH02269790A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 被覆高硬質砥粒,その製造方法及びその砥粒を含有する砥石 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02269790A true JPH02269790A (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=13978328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1089710A Pending JPH02269790A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 被覆高硬質砥粒,その製造方法及びその砥粒を含有する砥石 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02269790A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5551959A (en) * | 1994-08-24 | 1996-09-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method for making same |
WO2004053013A2 (de) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Treibacher Schleifmittel Gmbh | Schleifmittel mit verbesserten schleifeigenschaften |
JP2006116683A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Read Co Ltd | ダイヤモンドまたはcBN工具及びその製造方法 |
JP2008073784A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Noritake Super Abrasive:Kk | cBNろう付け研削ホイール |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP1089710A patent/JPH02269790A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5551959A (en) * | 1994-08-24 | 1996-09-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method for making same |
US5707409A (en) * | 1994-08-24 | 1998-01-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method for making same |
WO2004053013A2 (de) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Treibacher Schleifmittel Gmbh | Schleifmittel mit verbesserten schleifeigenschaften |
WO2004053013A3 (de) * | 2002-12-10 | 2004-08-12 | Treibacher Schleifmittel Gmbh | Schleifmittel mit verbesserten schleifeigenschaften |
JP2006116683A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Read Co Ltd | ダイヤモンドまたはcBN工具及びその製造方法 |
JP4714453B2 (ja) * | 2004-10-25 | 2011-06-29 | 株式会社リード | ダイヤモンドまたはcBN工具及びその製造方法 |
JP2008073784A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Noritake Super Abrasive:Kk | cBNろう付け研削ホイール |
JP4562710B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2010-10-13 | 株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ | cBNろう付け研削ホイール |
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