KR200416956Y1 - 가요성 인쇄회로기판을 이용하는 프로브 카드 - Google Patents

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Abstract

가요성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board)을 이용하는 프로브 카드가 개시된다. 니들 고정기판에 형성된 개구부를 통해 가요성 인쇄회로기판은 니들에 전기적으로 연결된다. 테스트가 수행되는 반도체의 종류나 패드의 위치가 변경되는 경우, 가요성 인쇄회로기판의 교체 또는 수정을 통해 반도체의 종류의 변경에 따른 테스트를 용이하게 수행할 수 있다.

Description

가요성 인쇄회로기판을 이용하는 프로브 카드{Probe Card of using Flexible Printed Circuit Board}
도 1은 종래 기술에 따른 듀얼 타입의 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
200, 300 : 니들 고정기판 210, 310 : 제1 니들 지지부
220, 320 : 제2 니들 지지부 230, 330 : 제3 니들 지지부
240, 340 : 제4 니들 지지부 260, 360 : 제1 가요성 인쇄회로기판
262, 365 : 제2 가요성 인쇄회로기판
본 고안은 프로브 카드(Probe Card)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가요성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board)를 이용하는 프로브 카드에 관한 것이다.
프로브 카드는 반도체 소자의 정상 동작 유무를 확인하는 테스트 공정에 사 용된다. 최근의 반도체 소자에 대한 패키지 형태는 다양한 양상을 나타내므로 프로브 카드 또한 테스트되는 반도체 소자의 패키지 형태에 따라 다양한 양상을 가진다. 또한, 하나의 프로브 카드가 하나의 반도체 소자를 테스트하지 아니하고, 하나의 프로브 카드가 다수의 반도체 소자를 테스트하는 멀티 타입의 프로브 카드가 사용되고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 듀얼 타입의 프로브 카드를 도시한 단면도이다. 상기 도 1에 개시되는 프로브 카드는 대한민국 등록실용신안 제20-0292039호에 기재되어 있다.
도 1을 참조하면, 니들(Needle) 고정기판(100) 상에 4개의 그룹들로 구성된 니들(130a,130b,130c,130d)이 실장된다. 실장된 니들(130a,130b,130c,130d)은 절연성 테이프(160)에 패키징된 반도체 소자를 테스트하는데 사용된다.
먼저, 니들 고정기판(100)에는 3개의 개구부들(101,102,103)이 형성된다. 3개의 개구부들(101,102,103) 사이의 니들 고정기판(100) 상에는 각각의 니들 그룹들(130a,130b,130c,130d)이 실장된다. 또한, 각 그룹을 구성하는 니들들은 에폭시 수지(120a,120b,120c,120d)에 의해 고정되며, 상기 에폭시 수지(120a,120b,120c,120d)와 니들 고정기판(100) 사이에는 세라믹 링(110a,110b,110c,110d)이 구비된다.
또한, 제1 개구부(101) 및 제3 개구부(103)에는 센서(105a,105b)가 관통하여 배치된다. 상기 센서(105a,105b)는 니들이 테이프(160) 상에 형성된 패드(170)에 접촉되는 지의 여부 및 정위치에 니들이 배치되었는지를 확인하는데 사용된다. 상 기 제1 개구부(101)를 통해서는 제2 니들 그룹(130b)의 니들들이 관통하며, 제3 개구부(103)를 통해서는 제3 니들 그룹(130c)의 니들들이 관통한다. 또한, 제1 개구부(101) 및 제3 개구부(103)를 가로질러 세라믹 링들(110b,110c)이 가로질러 배치된다. 상기 세라믹 링들(110b,110c)이 개구부들(101,103)을 가로질러 형성되는 경우, 세라믹 링(110b,110c)에 인가되는 인장력에 의해 프로브 카드의 수명이 단축되는 문제가 있다.
또한, 각각의 니들 그룹(130a,130b,130c,130d)마다 니들의 길이는 서로 다른 값을 가지게 된다. 즉, 니들 고정기판(100)을 관통하여야 하는 제1 니들 그룹(130a)과 제4 니들 그룹(130d)의 니들의 길이와 제1 개구부(101) 및 제3 개구부(103)를 관통하는 제2 니들 그룹(130b) 및 제3 니들 그룹(130b)의 니들의 길이는 서로 다른 값을 가지게 된다.
테이프(160) 상에 형성된 패드에 전기적으로 접촉되는 니들의 길이가 서로 상이한 경우, 신호의 지연이 발생한다. 또한, 상기 제2 니들 그룹(130b)과 제3 니들 그룹(130c)이 제1 개구부(101) 및 제3 개구부(103)를 관통하도록 구성된 것은 센서들(105a,105b)이 제1 개구부(101) 및 제3 개구부(103)를 관통하기 때문인데, 최근의 테스트 장치는 센서(170)가 테이프(160)에 근접하여 배치되지 않고, 카메라를 이용하는 추세에 있다.
즉, 카메라가 니들 고정기판 하부에 배치되고, 배치된 카메라는 전후좌우의 수평 이동을 통해 프로브 카드가 정위치에 안착되었는지를 확인한다. 카메라가 패드와 니들 사이의 정위치 안착 여부의 확인은 니들 고정기판 상에 형성된 개구부를 통해 이루어진다.
또한, 니들 고정기판 상부 또는 하부에는 다수의 배선들이 형성된다. 상기 배선들은 인쇄회로의 형태를 가진다. 만일 니들의 핀 배치가 변경되는 경우, 고정기판에 인쇄된 형태의 배선들을 변경하여야 하나, 배선들의 변경이 용이하지 않다. 즉, 인쇄된 배선들을 변경하고자 한다면, 고정 기판의 배선을 제거하고 새로운 배선을 형성하여야 하나 고정기판 상에 형성된 배선들의 특성으로 인해 배선을 변경할 수 없는 문제가 발생한다. 따라서, 니들 고정기판을 변경하는 대신 새로운 니들 고정기판이 구비되며, 니들도 새롭게 실장되어야 한다. 따라서, 니들의 배치가 변경되는 경우, 새로운 프로브 카드로 대체되어야 하는 문제가 발생한다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은, 가용성 인쇄회로기판을 이용하여 배선의 변경을 용이하게 수행하는 프로브 카드를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 테이프 상에 탑재된 다수의 반도체 소자들을 동시에 테스트할 수 있는 프로브 카드에 있어서, 상기 프로브 카드는, 다수의 개구부들을 가지는 니들 고정기판; 상기 개구부들에 인접한 니들 고정기판 상에 형성된 적어도 4개의 니들 지지부들; 상기 개구부들를 관통하는 가요성 인쇄회로기판들; 및 상기 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되고, 각각의 니들 지지부를 관통하는 니들 그룹들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 제공한다.
또한, 본 고안의 상기 목적은, 테이프 상에 탑재된 다수의 반도체 소자들을 동시에 테스트할 수 있는 프로브 카드에 있어서, 상기 프로브 카드는, 다수의 개구부들을 가지는 니들 고정기판; 상기 개구부들에 인접한 니들 고정기판 상에 형성된 적어도 4개의 니들 지지부들; 상기 개구부들를 관통하는 가요성 인쇄회로기판들; 및 상기 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되고, 각각의 니들 지지부를 관통하는 니들 그룹들을 포함하고, 상기 니들 그룹들은, 제1 니들 지지부를 관통하는 제1 니들 그룹; 상기 제1 니들 지지부 및 상기 제1 니들 지지부에 인접한 제2 니들 지지부를 관통하는 제2 니들 그룹; 상기 제2 니들 지지부에 인접한 제3 니들 지지부 및 상기 제3 니들 지지부에 인접한 제4 니들 지지부를 관통하는 제3 니들 그룹; 및 상기 제4 니들 지지부를 관통하는 제4 니들 그룹을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 제공을 통해서도 달성될 수 있다.
이하, 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
제1 실시예
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 프로브 카드는 니들 고정기판(200), 상기 니들 고정기판(200) 상에 형성된 다수의 니들 지지부들(210,220,230,240), 상기 니들 지지부(210,220,230,240)를 관통하여 형성된 다수의 니들 그룹들(250,252,254,256) 및 상기 니들 고정기판(200)을 관통하는 가요성 인쇄회로기판 (260,262,264,266)을 가진다.
니들 고정기판(200)에는 다수의 개구부들(201,202,203,204,205,206,207)이 형성된다. 상기 도 2에서 도시되는 개구부의 수는 7개이다. 즉, 제1 개구부(201), 제3 개구부(203), 제5 개구부(205) 및 제7 개구부(207)는 가요성 인쇄회로기판(260,262,264,266)이 관통하는 개구부들(201,203,205,207)이며, 제2 개구부(202), 제4 개구부(204) 및 제6 개구부(206)는 카메라를 통해 니들의 얼라인을 확인할 수 있도록 구비된 개구부들(202,204,206)이다.
상기 니들 고정기판(200) 상에는 다수의 니들 지지부들(210,220,230,240)이 형성된다. 상기 도 2에서는 4개의 니들 지지부들(210,220,230,240)이 형성된다. 즉, 제1 니들 지지부(210), 제2 니들 지지부(220), 제3 니들 지지부(230) 및 제4 니들 지지부(240)가 구비된다. 각각의 니들 지지부(210,220,230,240)는 세라믹 링(213,223,233,243) 및 니들 고정부(211,221,231,241)를 가진다. 각각의 세라믹 링(213,223,233,243)은 상기 니들 고정기판(200)에 고정된다. 또한, 상기 세라믹 링(213,223,233,243) 상부에는 니들 고정부(211,221,231,241)가 구비된다. 상기 니들 고정부(211,221,231,241)는 에폭시 재질임이 바람직하다. 다수의 니들들은 상기 니들 고정부(211,221,231,241)를 관통한다.
또한, 각각의 니들 고정부(211,221,231,241)를 관통하는 각각의 니들 그룹들(250,252,254,256)은 가요성 인쇄회로기판(260,262,264,266)에 전기적으로 연결된다. 즉, 제1 니들 고정부(211)를 관통하는 제1 니들 그룹(250)은 제1 가요성 인쇄회로기판(260)에 연결되며, 제2 니들 고정부(221)를 관통하는 제2 니들 그룹(252) 은 제2 가요성 인쇄회로기판(262)에 연결된다. 또한, 제3 니들 고정부(231)를 관통하는 제3 니들 그룹(254)은 제3 가요성 인쇄회로기판(264)에 연결되고, 제4 니들 고정부(241)를 관통하는 제4 니들 그룹(256)은 제4 가요성 인쇄회로기판(266)에 연결된다.
각각의 니들 그룹(250,252,254,256)과 전기적으로 연결된 가요성 인쇄회로기판(260,262,264,266)은 니들 고정기판(200)에 구비된 개구부들(201,203,205,207)을 관통한다. 즉, 제1 가요성 인쇄회로기판(260)은 제1 개구부(201)를 관통하고, 제2 가요성 인쇄회로기판(262)은 제3 개구부(203)를 관통한다. 또한, 제3 가요성 인쇄회로기판(264)은 제5 개구부(205)를 관통하며, 제4 가요성 인쇄회로기판(266)은 제7 개구부(207)를 관통한다. 각각의 개구부(201,203,205,207)를 관통하는 가요성 인쇄회로기판(260,262,264,266)은 니들 고정기판(200)의 배면에 전기적으로 연결된다.
또한, 니들 고정기판(200)을 관통하는 제2 개구부(202), 제4 개구부(204) 및 제6 개구부(206)를 통해 카메라(270)는 니들과 필름(280)과의 얼라인 상태를 확인할 수 있다.
상기 도 2에서 제1 니들 그룹(250)은 제1 니들 고정부(211)를 관통하며, 제1 니들 그룹(250)의 말단부는 제2 개구부(202) 상에 구비된다. 또한, 제1 니들 그룹(250)의 다른 말단부는 상기 니들 고정기판(200)의 제1 개구부(201)을 관통하는 제1 가요성 인쇄회로기판(260)에 전기적으로 연결된다.
제2 니들 그룹(252)은 제2 니들 고정부(221)를 관통하며, 제2 니들 그룹 (252)의 말단부는 제4 개구부(204) 상에 구비된다. 또한, 제2 니들 그룹(252)의 다른 말단부는 상기 니들 고정기판(200)의 제3 개구부(203)를 관통하는 제2 가요성 인쇄회로기판(262)에 전기적으로 연결된다.
또한, 제3 니들 그룹(254) 및 제4 니들 그룹(256)은 제3 니들 고정부(231) 및 제4 니들 고정부(241)를 각각 관통하며, 각각의 말단부들은 제4 개구부(204) 및 제6 개구부(206) 상에 구비된다. 제3 니들 그룹(254) 및 제4 니들 그룹(256)의 다른 말단부들은 상기 니들 고정기판(200)의 제5 개구부(205)를 관통하는 제3 가요성 인쇄회로기판(264) 및 제7 개구부(207)를 관통하는 제4 가요성 인쇄회로기판(266)에 각각 전기적으로 연결된다.
본 실시예에 따를 경우, 가요성 인쇄회로기판(260,262,264,266)은 니들 고정기판(200)을 관통하도록 구비된다. 따라서, 니들 고정기판(200) 상부에 배선을 형성하고, 각각의 배선마다 다수의 홀을 형성하여야하는 복잡한 제조 공정을 회피할 수 있다. 즉, 하나의 개구부를 형성하여 개구부를 통해 하나의 가요성 인쇄회로기판을 사용하는 경우, 다수의 홀을 형성하는 번거러움을 피할 수 있다.
제2 실시예
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
도 3를 참조하면, 본 실시예에 따른 프로브 카드는 니들 고정기판(300), 상기 니들 고정기판(300) 상에 형성된 다수의 니들 지지부들(310,320,330,340), 상기 니들 지지부(310,320,330,340)를 관통하는 다수의 니들 그룹들(350,352,354,356) 및 상기 니들 고정기판(300)을 관통하는 가요성 인쇄회로기판(360,365)을 가진다. 상기 도 3에서 2개 이상의 니들 그룹들은 하나의 니들 지지부를 관통한다.
니들 고정기판(300)에는 다수의 개구부들(301,302,303,304,305)이 형성된다. 상기 도 3에서 도시되는 개구부의 수는 5개이다. 즉, 제1 개구부(301) 및 제5 개구부(305)는 가요성 인쇄회로기판(360,365)이 관통하는 개구부들이며, 제2 개구부(302), 제3 개구부(303) 및 제4 개구부(304)는 카메라(370)를 통해 니들의 얼라인을 확인할 수 있도록 구비된 개구부들(302,303,304)이다.
상기 니들 고정기판(300) 상에는 다수의 니들 지지부들(310,320,330,340)이 형성된다. 각각의 니들 지지부(310,320,330,340)는 세라믹 링(313,323,333,343) 및 니들 고정부(311,321,331,341)를 가진다. 각각의 세라믹 링(313,323,333,343)은 상기 니들 고정기판(300)에 고정된다. 또한, 상기 세라믹 링(313,323,333,343) 상부에는 니들 고정부(311,321,331,341)가 구비된다. 상기 니들 고정부(311,321,331,341)는 에폭시 재질임이 바람직하다. 다수의 니들들(350,352,354,356)은 상기 니들 고정부(311,321,331,341)를 관통한다.
또한, 각각의 니들 고정부(311,321,331,341)를 관통하는 각각의 니들 그룹들(350,352,354,356)은 가요성 인쇄회로기판(360,365)에 전기적으로 연결된다. 즉, 제1 니들 고정부(311)를 관통하는 제1 니들 그룹(350)은 제1 가요성 인쇄회로기판(360)에 연결되며, 제1 및 제2 니들 고정부(311,321)를 관통하는 제2 니들 그룹(352)은 상기 제1 가요성 인쇄회로기판(360)에 연결된다. 즉, 제1 니들 그룹(350)과 제2 니들 그룹(352)은 동일한 가요성 인쇄회로기판(360)에 전기적으로 연결된 다. 또한, 실시의 형태에 따라, 제2 니들 그룹(352)은 제1 가요성 인쇄회로기판(360)과는 별도의 다른 가요성 인쇄회로기판과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제3 니들 고정부(331) 및 제4 니들 고정부(341)를 관통하는 제3 니들 그룹(354)은 제2 가요성 인쇄회로기판(365)에 연결되고, 제4 니들 고정부(341)를 관통하는 제4 니들 그룹(356)은 제2 가요성 인쇄회로기판(365)에 연결된다. 즉, 제3 니들 그룹(354) 및 제4 니들 그룹(356)은 동일한 가요성 인쇄회로기판(365)에 전기적으로 연결된다. 또한, 실시의 형태에 따라 제3 니들 그룹(354) 및 제4 니들 그룹(356)은 서로 다른 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결될 수 있다.
각각의 니들 그룹(350,352,354,356)과 전기적으로 연결된 가요성 인쇄회로기판(360,365)은 니들 고정기판(300)에 구비된 개구부들(301,305)을 관통한다. 즉, 제1 가요성 인쇄회로기판(360)은 제1 개구부(301)를 관통하고, 제2 가요성 인쇄회로기판(365)은 제5 개구부(305)를 관통한다. 각각의 개구부(301,305)를 관통하는 가요성 인쇄회로기판(360,365)은 니들 고정기판(300)의 배면에 전기적으로 연결된다.
또한, 니들 고정기판(300)을 관통하는 제2 개구부(302), 제3 개구부(303) 및 제4 개구부(304)를 통해 카메라(370)는 니들과 필름(380)과의 얼라인 상태를 확인할 수 있다.
상기 도 3에서 제1 니들 그룹(350)은 제1 니들 고정부(311)를 관통하며, 제1 니들 그룹(350)의 말단부는 제2 개구부(302) 상에 구비된다. 또한, 제1 니들 그룹(350)의 다른 말단부는 상기 니들 고정기판(300)의 제1 개구부(301)을 관통하는 제 1 가요성 인쇄회로기판(360)에 전기적으로 연결된다.
제2 니들 그룹(352)은 제1 니들 고정부(311) 및 제2 니들 고정부(321)를 관통하며, 제2 니들 그룹(352)의 말단부는 제3 개구부(303) 상에 구비된다. 또한, 제2 니들 그룹(352)의 다른 말단부는 상기 니들 고정기판(300)의 제1 개구부(301)를 관통하는 제1 가요성 인쇄회로기판(360)에 전기적으로 연결된다.
또한, 제3 니들 그룹(354)은 제3 니들 고정부(331) 및 제4 니들 고정부(341)를 관통하고, 제4 니들 그룹(356)은 제4 니들 고정부(341)를 관통한다. 또한, 제3 니들 그룹(354)의 말단부는 제3 개구부(303) 상에 구비되며, 제3 니들 그룹(354)의 다른 말단부는 제2 가요성 인쇄회로기판(365)에 전기적으로 연결된다. 또한, 제4 니들 그룹(356)의 말단부는 제4 개구부(304) 상에 구비되며, 제4 니들 그룹(356)의 다른 말단부는 제2 가요성 인쇄회로기판(365)에 전기적으로 연결된다. 따라서, 제3 니들 그룹(354) 및 제4 니들 그룹(356)에 전기적으로 연결된 제2 가요성 인쇄회로기판(365)은 제5 개구부(305)를 관통한다.
본 실시예에 따를 경우, 가요성 인쇄회로기판(360,365)은 니들 고정기판을 관통하도록 구비된다. 따라서, 니들 고정기판(300) 상부에 배선을 형성하고, 각각의 배선마다 다수의 홀을 형성하여야하는 복잡한 제조 공정을 회피할 수 있다. 즉, 하나의 개구부를 형성하여 개구부를 통해 하나의 가요성 인쇄회로기판을 사용하는 경우, 다수의 홀을 형성하는 번거러움을 피할 수 있다.
상기와 같은 본 고안에 따르면, 가요성 인쇄회로기판은 니들 고정기판에 형 성된 개구부를 관통한다. 따라서, 각각의 니들마다 홀을 형성하는 공정이 요구되지 않으며, 니들의 배치가 변경되는 경우, 가요성 인쇄회로기판의 변경을 통해 니들의 배치의 변화에 용이하게 적응할 수 있다. 또한, 니들 고정기판에서 배선들의 피치가 변경되는 경우에도 가요성 인쇄회로기판을 적용하여 이를 용이하게 해결할 수 있다. 즉, 배선들 사이의 피치가 좁아지거나 넓어지는 경우, 가요성 인쇄회로기판을 이용하여 피치의 변경에 대응할 수 있다. 또한, 배선들 사이의 전기적 연결을 위해 케이블이 사용되어야 하나, 가요성 인쇄회로기판을 사용하는 경우, 케이블의 사용없이 배선들 사이의 전기적 연결을 달성할 수 있다.
상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (6)

  1. 테이프 상에 탑재된 다수의 반도체 소자들을 동시에 테스트할 수 있는 프로브 카드에 있어서, 상기 프로브 카드는,
    다수의 개구부들을 가지는 니들 고정기판;
    상기 개구부들에 인접한 니들 고정기판 상에 형성된 적어도 4개의 니들 지지부들;
    상기 개구부들를 관통하는 가요성 인쇄회로기판들; 및
    상기 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되고, 각각의 니들 지지부를 관통하는 니들 그룹들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 니들 그룹들은,
    제1 니들 지지부를 관통하고, 제1 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 제1 니들 그룹;
    상기 제1 니들 지지부에 인접한 제2 니들 지지부를 관통하고, 제2 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결된 제2 니들 그룹;
    상기 제2 니들 그룹에 대향하고, 제3 니들 지지부를 관통하며, 제3 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결된 제3 니들 그룹; 및
    상기 제3 니들 지지부에 인접한 제4 니들 지지부를 관통하고, 제4 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결된 제4 니들 그룹을 포함하는 것을 특징으로 하는 프 로브 카드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 가요성 인쇄회로기판은 상기 니들 고정기판의 제1 개구부를 관통하고,
    상기 제2 가요성 인쇄회로기판은 상기 니들 고정기판의 제3 개구부를 관통하며,
    상기 제3 가요성 인쇄회로기판은 상기 니들 고정기판의 제5 개구부를 관통하며,
    상기 제4 가요성 인쇄회로기판은 상기 니들 고정기판의 제7 개구부를 관통하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  4. 테이프 상에 탑재된 다수의 반도체 소자들을 동시에 테스트할 수 있는 프로브 카드에 있어서, 상기 프로브 카드는,
    다수의 개구부들을 가지는 니들 고정기판;
    상기 개구부들에 인접한 니들 고정기판 상에 형성된 적어도 4개의 니들 지지부들;
    상기 개구부들를 관통하는 가요성 인쇄회로기판들; 및
    상기 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되고, 각각의 니들 지지부를 관통하는 니들 그룹들을 포함하고,
    상기 니들 그룹들은,
    제1 니들 지지부를 관통하는 제1 니들 그룹;
    상기 제1 니들 지지부 및 상기 제1 니들 지지부에 인접한 제2 니들 지지부를 관통하는 제2 니들 그룹;
    상기 제2 니들 지지부에 인접한 제3 니들 지지부 및 상기 제3 니들 지지부에 인접한 제4 니들 지지부를 관통하는 제3 니들 그룹; 및
    상기 제4 니들 지지부를 관통하는 제4 니들 그룹을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  5. 제4항에 있어서, 상기 니들 고정기판은,
    제1 가요성 인쇄회로기판이 관통하는 제1 개구부;
    상기 제1 니들 그룹의 말단이 구비되는 제2 개구부;
    상기 제2 니들 그룹의 말단 및 상기 제3 니들 그룹의 말단이 구비되는 제3 개구부;
    상기 제4 니들 그룹의 말단이 구비되는 제4 개구부; 및
    제2 가요성 인쇄회로기판이 관통하는 제5 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 니들 그룹 및 제2 니들 그룹은 제1 개구부를 관통하는 상기 제1 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되고,
    상기 제3 니들 그룹 및 제4 니들 그룹은 상기 제5 개구부를 관통하는 상기 제2 가요성 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
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