KR20040111486A - Ecr 플라즈마 소스 및 ecr 플라즈마 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 마이크로파에 의한 전자 사이클로트론(cyclotron) 공명(ECR)을 이용하여 플라즈마를 생성하고 개구부로부터 플라즈마 흐름을 취출하기 위한 플라즈마 생성실과,당해 플라즈마 생성실 내에 정자계를 발생하게 하기 위한 자기 코일이 권선된 적어도 하나의 자계 발생 수단과,마이크로파 발신 수단으로부터 전송된 마이크로파를 상기 플라즈마 생성실 내에 도입하기 위한 마이크로파 도입 수단을 구비하고,상기 플라즈마 생성실 및 당해 플라즈마 생성실의 개구부는, 상기 플라즈마 생성실 내에서 생성하는 플라즈마 흐름의 방향에 수직한 단면 형상이 대략 구형을 가지고,상기 자계 발생 수단의 자기 코일은, 상기 플라즈마 흐름의 방향에 수직한 면내에서 대략 구형 형상으로 권선되어 있고,상기 마이크로파 도입 수단은, 당해 마이크로파 도입 수단의 내부에 마이크로파의 정재파를 형성하는 중공의 도파관을 구성하도록 단부가 종단되고, 당해 도파관의 내부에는, 적어도 하나의 개구부를 가지는 복수의 개구 영역이 마이크로파의 정재파의 관내 파장 λg에 상당하는 간격으로 설치되고, 당해 개구부를 통해 동상의 마이크로파를 상기 플라즈마 생성실 내에 도입시키도록 한 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 소스.
- 마이크로파에 의한 전자 사이클로트론(cyclotron) 공명(ECR)을 이용하여 플라즈마를 생성하고 개구부로부터 플라즈마 흐름을 취출하기 위한 플라즈마 생성실과,당해 플라즈마 생성실 내에 정자계를 발생하게 하기 위한 자기 코일이 권선된 적어도 하나의 자계 발생 수단과,마이크로파 발신 수단으로부터 전송된 마이크로파를 상기 플라즈마 생성실 내에 도입하기 위한 마이크로파 도입 수단을 구비하고,상기 플라즈마 생성실 및 당해 플라즈마 생성실의 개구부는, 상기 플라즈마 생성실 내에서 생성하는 플라즈마 흐름의 방향에 수직한 단면 형상이 대략 구형을 가지고,상기 자계 발생 수단의 자기 코일은, 상기 플라즈마 흐름의 방향에 수직한 면내에서 대략 구형 형상으로 권선되어 있고,상기 마이크로파 도입 수단은, 개구부를 가지지 않는 종단부와 당해 종단부로부터 n·(λg/2)(n : 3 이상의 정수)의 거리에 설치된 제1의 개구부를 가지는 단부와의 사이에 마이크로파 공동 공진기를 구성하고 있고, 당해 마이크로파 공동 공진기의 내부에는, 적어도 하나의 제2의 개구부를 가지는 복수의 개구 영역이 마이크로파의 정재파의 관내 파장 λg에 상당하는 간격으로 설치되고, 당해 제 2의 개구부를 통해 동상의 마이크로파를 상기 플라즈마 실내에 도입시키도록 한 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 소스.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 마이크로파 도입 수단은, 상기 마이크로파 발신 수단으로부터 전송된 마이크로파를 분기 결합하기 위한 마이크로파 분기 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 소스.
- 제 1항에 있어서,ECR 플라즈마 소스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 장치.
- 제 4항에 있어서,시료 이동 수단을 구비하고, 당해 시료 이동 수단에 의해 시료를 이동시키면서 당해 시료 표면의 대략 구형 영역에 플라즈마 조사하는 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 장치.
- 제 2항에 있어서,ECR 플라즈마 소스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 장치.
- 제 6항에 있어서,시료 이동 수단을 구비하고, 당해 시료 이동 수단에 의해 시료를 이동시키면서 당해 시료 표면의 대략 구형 영역에 플라즈마 조사하는 것을 특징으로 하는 ECR플라즈마 장치.
- 제 3항에 있어서,ECR 플라즈마 소스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 ECR 플라즈마 장치.
- 제 8항에 있어서,시료 이동 수단을 구비하고, 당해 시료 이동 수단에 의해 시료를 이동함양이라든지 당해 시료 표면의 대략 구형 영역에 플라즈마 조사하는 것을 특징으로 ECR 플라즈마 장치.
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