KR20040069789A - 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 - Google Patents
웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20040069789A KR20040069789A KR1020030006330A KR20030006330A KR20040069789A KR 20040069789 A KR20040069789 A KR 20040069789A KR 1020030006330 A KR1020030006330 A KR 1020030006330A KR 20030006330 A KR20030006330 A KR 20030006330A KR 20040069789 A KR20040069789 A KR 20040069789A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cassette carrier
- wafer
- slip guide
- slip
- guide
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼 카세트 캐리어를 장착시키고자 한 정확한 위치로 이동시키는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명의 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 카세트 캐리어(5)가 장착될 모서리부에 슬립에 의해 카세트 캐리어(5)를 정확한 위치로 안내하도록 일정한 경사면을 가진 적어도 두 개 이상의 슬립 가이드(8)가 장착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치를 이용하여, 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계; 상기의 카세트 캐리어(5)가 소정의 위치에 놓여지면서 일정한 경사면을 가지는 슬립 가이드(8)와 만나는 제 2단계; 및 상기의 카세트 캐리어(5)가 슬립 가이드(8)의 경사면을 따라 미끄러지면서 장착되는 제 3단계를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 웨이퍼가 적재되어 있는 카세트 캐리어가 정확한 위치로 장착될 수 있도록 함으로써 외부 충격에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하여 웨이퍼의 제조 또는 분석의 신뢰도 및 수율을 높일 수 있다.
Description
본 발명은 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 웨이퍼가 적재되어 있는 카세트 캐리어가 정확한 위치로 장착될 수있도록 슬립 가이드를 이용함으로써 외부 충격에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 것이다.
반도체 제조 공정은 여러 가지 단계를 거치게 되고, 각 공정에 웨이퍼를 투입하기 위해서는 필수적으로 웨이퍼 이송 장치를 사용하여야 하는데, 이 때 다수의 웨이퍼를 탑재한 웨이퍼 카세트 캐리어가 사용된다. 또 반도체 각 공정상 발생할 수 있는 결함을 분석하기 위한 표면 분석 시에도 상기의 카세트 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이송하게 된다. 이와 같이 카세트 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이송한 후 후속하는 공정은 표면 결함 분석시 사용하는 장비인 KLA-Tencor사의 Surfscan-AIT을 예로 들어 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 웨이퍼 표면 분석 장비인 KLA-Tencor사의 Surfscan-AIT의 로봇 콘솔부를 나타낸 개략도이다. 로봇 암(7)에 의하여 다수의 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되어 카세트 캐리어 장착부(1)로 장착된다. 그 다음 핸들러(2)가 장착된 카세트 캐리어(5)에 적재되어 있는 웨이퍼(6)를 하나씩 꺼내어 프리얼라이너(prealigner)(3) 위로 이동을 시키게 되고, 프리얼라인(prealign)이 완료된 웨이퍼(6)를 다시 핸들러(2)가 검사부인 스테이지 도어(4)로 이동시켜 레이저 빔을 조사하여 산란된 빛으로 파티클(particle)을 포함하는 결함(defect)을 검출하게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 이송하는 장치는 카세트 캐리어(5)를 장착시키는 과정에서 정확한 위치에서부터 이탈하는 경우가 많이 발생하여 장치에 손상을 줄 뿐만 아니라 카세트 캐리어(5)에 적재된 웨이퍼(6)에영향을 주어, 웨이퍼(6)의 균열과 파티클(particle)을 유발시키게 되는 직접적인 원인이 되고 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 카세트 캐리어(5)를 이송시켜 장착시킬 때 상기 카세트 캐리어(5)를 안전하게 정확한 위치로 장착시킬 수 있는 슬립 가이드(8)를 구비하여 웨이퍼(6)의 손상을 방지함으로써 반도체 제조 공정 및 분석의 신뢰도 및 수율을 높일 수 있도록 하는 카세트 캐리어 장착 장치 및 그 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
도 1은 웨이퍼 표면 분석 장비의 로봇 콘솔부를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치.
도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치에 구비된 슬립 가이드의 상세도.
((도면의 주요부분에 대한 부호의 설명))
1 : 카세트 캐리어 장착 장치 5 : 카세트 캐리어
6 : 웨이퍼 8 : 슬립 가이드
본 발명의 상기 목적은 카세트 캐리어(5)가 장착될 모서리부에 슬립에 의해 카세트 캐리어(5)를 정확한 위치로 안내하도록 일정한 경사면을 가진 적어도 두 개 이상의 슬립 가이드(8)가 장착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치를 이용하여, 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계; 상기의 카세트 캐리어(5)가 정해진 위치에서 놓여지면서 일정한 경사면을 가지는 슬립 가이드(8)와 만나는 제 2단계; 및 상기의 카세트 캐리어(5)가 슬립 가이드(8)의 경사면을 따라 미끄러지면서 정해진 위치로 장착되는 제 3단계를 포함하여 이루어진 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법에 의해 달성된다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치를 나타낸 것으로서, 카세트 캐리어(5)가 장착될 모서리부에 적어도 두 개 이상의 슬립 가이드(8)가 장착되어 있다. 이 슬립 가이드(8)는 카세트 캐리어(5)가 이송될 때 슬립에 의해 정확한 위치로 안내하도록 45∼80°의 경사면을 가지고 있는데, 이 경사면은 캐리어의 구조에 따라 설계되므로 캐리어의 구조에 따라 달라지게 된다. 또한 슬립 가이드(8)는 정전기 발생을 방지하기 위하여 석영(quartz)을 포함하는 세라믹 재질로 이루어져 있다.
다음, 도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치에 구비된 슬립 가이드(8)의 상세도로서, 상기의 슬립 가이드(8)가 일정한 경사면을 가지는 슬립 가이드부(8a)와 상기 슬립 가이드(8)를 고정시켜주는 고정 나사부(8b)로 이루어져 있음을 알 수 있다. 이 때 고정 나사부(8b)는 카세트 캐리어(5)의 움직임에 방해되지 않는 범위에서 고정할 수 있는 장치물에 모두 사용될 수 있다.
상기 본 발명의 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치는 다음과 같은 방법에 의해 웨이퍼 카세트 캐리어를 안정하게 정확한 위치로 이송할 수 있다.
즉, 로봇 암(7)에 의해 웨이퍼가 적재된 카세트 캐리어가 이송되는 제 1단계; 상기의 카세트 캐리어(5)가 소정의 위치에 놓여지면서 일정한 경사면을 가지는 슬립 가이드(8)와 만나는 제 2단계; 상기의 카세트 캐리어가 슬립 가이드의 경사면을 따라 미끄러지면서 정해진 위치로 장착되는 제 3단계로 이루어 진다.
따라서, 본 발명의 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 카세트 캐리어(5)를 이송시킬 때 상기 카세트 캐리어(5)를 안전하게 정확한 위치로 장착시킬 수 있는 슬립 가이드(8)를 구비함으로써 웨이퍼 카세트 캐리어(5)의 이송시 이탈에 의한 장치의 손상 및 웨이퍼(6) 결함의 원인이 되는 균열과 파티클(particle) 생성을 방지하여 웨이퍼의 신뢰도 및 수율을 높일 수 있다.
Claims (6)
- 웨이퍼 카세트 캐리어가 장착되는 장치에 있어서,상기 카세트 캐리어(5)가 장착될 모서리부에 슬립에 의해 카세트 캐리어(5)를 정확한 위치로 안내하도록 일정한 경사면을 가진 적어도 두 개 이상의 슬립 가이드(8)가 장착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 슬립 가이드(8)는 45∼80°의 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 슬립 가이드(8)의 경사면은 카세트 캐리어의 구조에 따라 변경될 수 있도록 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 슬립 가이드(8)는 세라믹 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 슬립 가이드(8)는 카세트 캐리어를 정확한 위치로 안내해 주는 슬립 가이드부(8a)와 상기 슬립 가이드(8)를 고정시켜주는 고정 나사부(8b)로 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
- 상기 제 1항의 장치를 이용한 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 방법에 있어서,로봇 암에 의해 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계;상기의 카세트 캐리어(5)가 소정의 위치에 놓여지면서 일정한 경사면을 가지는 슬립 가이드(8)와 만나는 제 2단계;상기의 카세트 캐리어(5)가 슬립 가이드(8)의 경사면을 따라 미끄러지면서 장착되는 제 3단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030006330A KR20040069789A (ko) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030006330A KR20040069789A (ko) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040069789A true KR20040069789A (ko) | 2004-08-06 |
Family
ID=37358472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020030006330A KR20040069789A (ko) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20040069789A (ko) |
-
2003
- 2003-01-30 KR KR1020030006330A patent/KR20040069789A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4589853B2 (ja) | 基板搬送システム及び基板搬送方法 | |
| US9851643B2 (en) | Apparatus and methods for reticle handling in an EUV reticle inspection tool | |
| KR101897638B1 (ko) | 반도체 소자의 전기적 특성 자동 측정용 고정밀 테스트 장치 | |
| JP7282461B2 (ja) | 検査装置、及び加工装置 | |
| JP2003224177A (ja) | センタリング装置及び半導体製造装置 | |
| JP2007311611A (ja) | 異物分布パターンの照合方法及びその装置 | |
| KR20040069789A (ko) | 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법 | |
| JP5149207B2 (ja) | 基板搭載装置 | |
| JPH11220004A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP4578383B2 (ja) | パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム | |
| JP2011077549A (ja) | 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 | |
| KR102614591B1 (ko) | 수직 배열 구조를 갖는 기판 처리 시스템 | |
| JP2006066747A (ja) | 基板の位置決め装置及び位置決め方法 | |
| KR100512849B1 (ko) | 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및그 방법 | |
| KR20110062541A (ko) | 기판 처리 장치의 로봇 정렬을 위한 티칭 지그 | |
| KR20060130970A (ko) | 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크 | |
| KR100567869B1 (ko) | 웨이퍼 결함 검사장비의 웨이퍼 스테이지 | |
| TW202217464A (zh) | 檢查裝置及基板搬送方法 | |
| KR20220039367A (ko) | 티칭 장치 및 이를 이용하는 이송 차량의 티칭 방법 | |
| KR20060100116A (ko) | 반도체 제조장비에서의 웨이퍼 전면 및 후면 검사용 웨이퍼척 구조 | |
| JP2005134241A (ja) | プローバチャック及びプローバ | |
| KR20060005895A (ko) | 반도체 제조장치 | |
| KR20110062540A (ko) | 기판 처리 장치의 로봇 정렬을 위한 티칭 지그 및 티칭 방법 | |
| KR20040100110A (ko) | 노광 장비에서 레티클 로딩 장치 | |
| JP2008078444A (ja) | 基板搬送用ハンド、半導体製造装置、および搬送により基板にキズが発生した半導体製造装置を特定する方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |