KR100512849B1 - 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 장착된 웨이퍼 카세트 캐리어를 고정시키는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

본 발명의 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치에 있어서, 웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 장착시키는 장착부(1); 상기 장착부(1) 상에 구비되며 웨이퍼 카세트 캐리어(5)의 장착 유무를 감지하는 감지 센서(8); 및 상기 장착부(1) 상에 카세트 캐리어(5)가 움직이지 않도록 고정시킬 수 있는 고정장치(9)를 포함하는 장착 장치를 이용하여 로봇 암(7)에 의해 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계; 상기의 카세트 캐리어(5)가 장착부(1)에 장착되면 감지 센서(8)가 고정장치(9)로 신호를 보내는 제 2단계; 및 상기 고정장치(9)에 신호가 도달하면 고정장치(9)가 전후 또는 좌우로 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키는 제 3단계를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.

따라서, 본 발명의 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 카세트 캐리어를 고정장치(9)로 고정하여 장비의 오동작이나 작동의 부주의로 인한 웨이퍼 카세트 캐리어의 위치 이탈이나 주변 장치와의 충돌을 방지하고, 따라서 카세트 캐리어에 적재된 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

Description

고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법{A device for positioning of wafer cassette carrier with safety lock and method thereof}

본 발명은 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 웨이퍼가 적재되어 있는 카세트 캐리어를 이송시킨 후 장비의 오동작이나 작동의 부주의로 인하여 웨이퍼 카세트 캐리어의 위치가 이탈되는 것을 방지하기 위하여 장착된 웨이퍼 카세트 캐리어를 고정장치(9)로 고정하여 카세트 캐리어에 적재된 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 것이다.

반도체 제조 공정은 여러 가지 단계를 거치게 되고, 각 공정에 웨이퍼를 투입하기 위해서는 필수적으로 웨이퍼 이송 장치를 사용하여야 하는데, 이 때 다수의 웨이퍼를 탑재한 웨이퍼 카세트 캐리어가 사용된다. 또 반도체 각 공정상 발생할 수 있는 결함을 분석하기 위한 표면 분석 시에도 상기의 카세트 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이송하게 된다. 이와 같이 카세트 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이송한 후 후속하는 공정은 표면 결함 분석시 사용하는 장비인 KLA-Tencor사의 Surfscan-AIT을 예로 들어 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 웨이퍼 표면 분석 장비인 KLA-Tencor사의 Surfscan-AIT의 로봇 콘솔부를 나타낸 개략도이다. 로봇 암(7)에 의하여 다수의 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되어 카세트 캐리어 장착부(1)로 장착된다. 그 다음 핸들러(2)가 장착된 카세트 캐리어(5)에 적재되어 있는 웨이퍼(6)를 꺼내어 프리얼라이너(prealigner)(3) 위로 이동을 시키게 되고, 프리얼라인(prealign)이 완료된 웨이퍼(6)를 다시 핸들러(2)가 검사부인 스테이지 도어(4)로 이동시켜 레이저 빔을 조사하여 산란된 빛으로 파티클(particle)을 포함하는 결함(defect)을 검출하게 된다.

그러나, 상기와 같이 핸들러(2)가 웨이퍼 카세트 캐리어(5)에서 웨이퍼(6)를 하나씩 꺼내는 과정에서 장비가 오작동 하거나 작동상의 부주의로 인하여 로봇 암(7), 핸들러(2) 또는 카세트 캐리어(5)가 서로 충돌하여 주변 장치를 손상시키게 되고 또한 카세트 캐리어(5)가 위치를 이탈하게 되어 내부에 적재된 웨이퍼(6)에 균열과 파티클(particle)과 같은 치명적인 결함을 유발시키게 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로,

카세트 캐리어(5)가 장착되면 감지 센서(8)가 이를 감지한 후 고정장치(9)가 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키도록 하여 장비의 오동작이나 작동의 부주의로 인한 웨이퍼 카세트 캐리어의 위치 이탈과 충돌을 방지하고, 카세트 캐리어(5)에 적재된 웨이퍼(6)의 손상을 방지하도록 하는 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.

본 발명의 상기 목적은 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치에 있어서, 웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 장착시키는 장착부(1); 상기 장착부(1) 상에 구비되며 로봇 암(7)에 의해 이송되는 웨이퍼 카세트 캐리어(5)의 장착 유무를 감지하는 감지 센서(8); 및 상기 로봇 암(7)과 대향된 방향에서 상기 장착부(1) 상에 직각 판형으로 형성되고, 상기 카세트 캐리어(5)가 상기 감지 센서(8)에 의해 감지되면 전후 좌우로 움직여 상기 카세트 캐리어(5)를 고정시키는 고정 장치(9)를 포함하는 장착 장치를 이용하여 로봇 암(7)에 의해 웨이퍼(6)가 적재된 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계; 상기 카세트 캐리어(5)가 장착부(1)에 장착되면 감지 센서(8)가 이를 감지하여 고정장치(9)로 신호를 보내는 제 2단계; 및 상기 고정장치(9)에 신호가 도달하면 상기 로봇 암(7)과 대향된 방향에서 상기 장착부(1) 상에 직각 판형으로 형성된 고정장치(9)가 전후 좌우로 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키는 제 3단계를 포함하여 이루어진 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법에 의해 달성된다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.

먼저, 도 2는 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치를 나타낸 것이다.

웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 장착시키는 장착부(1)가 있고, 상기 장착부(1) 상에 구비되며 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 유무를 감지하는 감지 센서(8); 및 상기 장착부(1) 상에 카세트 캐리어(5)가 움직이지 않도록 고정시킬 수 있는 고정장치(9)로 이루어져 있다. 여기에서 상기 감지 센서(8)는 카세트 캐리어(5)가 장착되어 있는지의 유무를 감지하여 고정장치(9)로 정보를 보내게 되고, 고정장치(9)는 장착부(1)에서 전후 좌우로 움직이면서 카세트 캐리어(5)를 고정시키게 된다. 또한 상기 고정장치(9)는 카세트 캐리어(5)를 고정시킬 수 있도록 카세트 캐리어(5)의 형상에 따라 가변적으로 설계될 수 있다.

다음, 도 3은 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치의 정면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치의 측면도를 나타낸 것이다.

감지 센서(8)가 카세트 캐리어(5)의 장착 유무를 감지함에 따라 화살표로 나타낸 것과 같이 고정장치(9)가 움직이게 된다. 여기에서는 직각의 판형을 가지는 고정장치(9)를 예로 들어 설계하였다.

도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 방법을 나타낸 플로우 차트로서, 상기와 같은 웨이퍼 카세트 캐리어(5)의 장착 장치를 이용하여 다음과 같이 웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 장착할 수 있다.

로봇 암(7)에 의해 웨이퍼(6)가 적재된 카세트 캐리어(5)가 이송되고, 상기의 카세트 캐리어(5)가 장착부(1)에 장착되면 감지 센서(8)가 이를 감지한 다음 고정장치(9)로 신호를 보낸다. 상기 고정장치(9)에 감지 센서(8)에서 보내진 신호가 도달하면 고정장치(9)가 전후 또는 좌우로 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키게 된다.

따라서, 본 발명의 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치 및 그 방법은 카세트 캐리어(5)가 장착되면 감지 센서(8)가 이를 감지한 후 고정장치(9)가 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키도록 함으로써 장비의 오동작이나 작동의 부주의로 인한 웨이퍼 카세트 캐리어의 위치 이탈과 충돌을 방지하여 카세트 캐리어(5)를 통해 웨이퍼가 이송될 때 나타날 수 있는 웨이퍼의 균열이나 파티클(particle) 발생을 억제함으로써 반도체 제조 공정의 신뢰도와 수율 향상에 기여할 수 있다.

도 1은 웨이퍼 표면 분석 장비의 로봇 콘솔부를 나타낸 개략도.

도 2는 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치의 개략도.

도 3은 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치의 정면도.

도 4는 본 발명에 의한 고정 장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어 장착 장치의 측면도.

도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 방법을 나타낸 플로우 차트.

((도면의 주요부분에 대한 부호의 설명))

1 : 장착부 2 : 핸들러

5 : 카세트 캐리어 6 : 웨이퍼

8 : 감지 센서 9 : 고정 장치

Claims (4)

1. 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치에 있어서,

   웨이퍼 카세트 캐리어(5)를 장착시키는 장착부(1);

   상기 장착부(1) 상에 구비되며 로봇 암(7)에 의해 이송되는 웨이퍼 카세트 캐리어(5)의 장착 유무를 감지하는 감지 센서(8); 및

   상기 로봇 암(7)과 대향된 방향에서 상기 장착부(1) 상에 직각 판형으로 형성되고, 상기 카세트 캐리어(5)가 상기 감지 센서(8)에 의해 감지되면 전후 좌우로 움직여 상기 카세트 캐리어(5)를 고정시키는 고정 장치(9)

   를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 로봇 암(7)에 의해 웨이퍼(6)가 적재된 캐리어(5)가 이송되는 제 1단계;

   상기 카세트 캐리어(5)가 장착부(1)에 장착되면 감지 센서(8)가 이를 감지하여 고정장치(9)로 신호를 보내는 제 2단계; 및

   상기 고정장치(9)에 신호가 도달하면 상기 로봇 암(7)과 대향된 방향에서 상기 장착부(1) 상에 직각 판형으로 형성된 고정장치(9)가 전후 좌우로 움직여 카세트 캐리어(5)를 고정시키는 제 3단계

   를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고정장치가 구비된 웨이퍼 카세트 캐리어의 장착 방법.