KR20040029078A - 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 및 유기 ｅｌ 장치 - Google Patents

유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 및 유기 ｅｌ 장치 Download PDF

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Abstract

기판(40)에 적색, 녹색, 청색에 대응하는 홈(3R), (3G), (3B)을 형성하고, 각각의 홈(3R), (3G), (3B)의 선단구를 기판(40)의 변으로부터 순서대로 멀어지도록 형성한다. 홈(3R), (3G), (3B)의 선단구를 각각 대응하는 색의 유기 EL 용액(8R), (8G), (8B)에 침지하고, 모세관 현상을 이용하여 각각 대응하는 색의 유기 EL 용액(8R), (8G), (8B)을 홈(3R), (3G), (3B) 내에 충전하여, 풀컬러의 유기 EL 표시 장치를 제조한다.

Description

유기 ＥＬ 장치의 제조 방법 및 유기 ＥＬ 장치{METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DEVICE AND ORGANIC EL DEVICE}
유기 EL(Electroluminescence) 표시 장치는 박형화가 용이하며, 응답 속도가 빠르고, 백 라이트가 불필요하기 때문에 소비 전력이 적다는 장점이 있어서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display)나 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체할 수 있는 표시 장치로서 기대되고 있다.
모노크롬(monochrome)의 유기 EL 표시 장치는 유기 EL층(발광층)을 1개의 막으로 구성할 수 있지만, 풀컬러(full-color)의 유기 EL 표시 장치의 경우에는 적(R), 녹(G), 및 청(G)의 3원색에 대응하는 유기 EL층을 각 픽셀 내에 형성할 필요가 있다. 예를 들면, 170ppi(pixel per inch)의 유기 EL 표시 장치에서는 1 픽셀 사이즈는 150㎛×150㎛이고, 1 픽셀을 구성하는 3개의 서브 픽셀, 즉 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀 및 청색 서브 픽셀 사이즈는 각각 50㎛×150㎛로 된다. 따라서, 적색 발광의 유기 EL층, 녹색 발광의 유기 EL층, 및 청색 발광의 유기 EL층을 각각 50㎛의 폭으로 형성할 필요가 있다.
최근, 200ppi(픽셀 사이즈가 127㎛, 서브 픽셀의 폭이 42.3㎛) 내지 500ppi(픽셀 사이즈가 50.8㎛, 서브 픽셀의 폭이 17㎛)의 고해상도의 표시 장치가 요구되고 있다. 또한, 화면 사이즈도, 2인치 정도의 소형인 것부터 30인치 정도의 대형인 것까지의 여러가지 사이즈가 요구되고 있다.
유기 EL 표시 장치는 마더 글래스(mother glass)라 부르는 기판 위에 TFT(Thin Film Transistor), 절연막, 전극 및 유기 EL층을 형성해 감으로써 제조된다. 화면 사이즈가 작은 유기 EL 표시 장치인 경우라도, 제조 비용을 저감하기 위해 사이즈가 400㎜×500㎜ 내지 730㎜×920㎜ 정도의 대형 기판을 사용하여, 1개의 기판 위에 복수의 유기 EL 표시 장치를 동시에 제조해 간다. 금후, 제조 비용이 보다 더 저감됨과 함께 화면 사이즈의 대형화의 요구에 부응하여, 지금까지보다 더 큰 대형 기판이 이용될 것으로 예상된다.
저분자계의 유기 EL 재료인 경우는 샤도우 마스크를 이용하여 적색 발광, 녹색 발광, 및 청색 발광의 유기 EL 재료를 각각 기판 위에 증착함으로써, 각 픽셀 영역 내에 3색의 유기 EL층을 형성하고 있다. 그러나, 고분자계의 유기 EL 재료는 열에 의해 고분자가 분해하기 때문에, 증착법에 의해서는 유기 EL막을 형성할 수 없다. 이 때문에, 일반적으로는 잉크제트 방식의 도포 장치를 사용하여, 기판에 유기 EL 재료로 이루어지는 잉크를 점(도트) 형상으로 각 서브 픽셀마다 분무함으로써 유기 EL층을 형성하고 있다.
잉크제트 방식의 도포 장치에서는, 1개의 서브 픽셀 영역 내에 복수의 잉크도트를 분무할 필요가 있다. 이 때, 도트가 중첩되거나, 도트와 도트 간에 간극이 생겨, 서브 픽셀 영역 전체에 유기 EL층을 균일하게 형성하는 것이 곤란하다. 이 때문에, 잉크제트 방식의 도포 장치는 서브 픽셀 사이즈가 50㎛×150㎛ 정도의 표시 장치에는 적용할 수 있지만, 보다 고해상도의 표시 장치의 제조에는 적용할 수 없ㅇ르 것으로 생각된다.
또한, 기판의 사이즈가 커지면, 기판의 열팽창에 의한 영향에 의해, 도트의 위치가 소정의 위치에서 어긋날 것으로다.
또한, 잉크제트 방식의 도포 장치에서는, 모든 서브 픽셀마다 유기 EL 재료를 분무하여 가기 때문에, 서브 픽셀 수에 비례하여 시간이 걸려, 제조 비용이 비싸진다는 결점도 있다.
<발명의 개시>
본 발명의 목적은 종래 방법에 비해 제조가 용이하고 제조 비용을 저감할 수 있어서, 고해상도의 표시 장치에도 적용할 수 있는 유기 EL 장치의 제조 방법 및 유기 EL 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 기판 위의 절연막에 홈(groove)을 형성하여, 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 유기 EL 소자 재료를 용해한 용액을 충전한다.
예를 들면, 유기 EL층을 형성할 때에, 유기 EL 재료를 용해한 용액을 준비한다. 그리고, 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 용액을 충전한 후, 용액을 건조시켜 홈 내에 유기 EL층을 형성한다. 이와 같이 하여, 균일한 두께의 유기 EL층을 용이하게 형성할 수 있다.
유기 EL 소자의 발광 효율을 높이기 위해, 전극과 유기 EL층과의 사이에 버퍼층(정공 수송층 및 전자 수송층 등)을 형성하는 경우가 있다. 이들 버퍼층의 재료를 용해시킨 용액을 선택함으로써, 유기 EL층과 마찬가지로 모세관 현상을 이용하여 버퍼층을 형성할 수도 있다.
또한, 유기 전극을 이용할 경우에는, 전극 재료를 용해시킨 용액을 선택함으로써, 유기 EL층과 마찬가지로 모세관 현상을 이용하여 전극층을 형성할 수 있다.
풀컬러의 유기 EL 표시 장치를 형성하는 경우, 적색 발광의 유기 EL층, 녹색 발광의 유기 EL층, 및 청색 발광의 유기 EL층을 개별적으로 형성하는 것이 필요하다. 본 발명에서는 풀컬러의 유기 EL 표시 장치를 형성할 경우, 1 픽셀당 3조의 홈을 형성하고, 모세관 현상을 이용하여, 각 조의 홈에 적색 발광의 유기 EL층, 녹색 발광의 유기 EL층, 및 청색 발광의 유기 EL층 중 어느 하나를 형성한다. 이것에 의해, 각 발광색의 유기 EL층을 용이하며 또한 균일한 두께로 형성할 수 있어서, 표시 품질이 우수한 풀컬러의 유기 EL 표시 장치를 저비용으로 제조할 수 있다.
적색 발광의 유기 EL층, 녹색 발광의 유기 EL층, 및 청색 발광의 유기 EL층의 발광 효율이 동일하지 않은 경우, 각 조의 홈의 갯수 또는 굵기를 조정함으로써, 외관상의 발광 강도를 동일하게 할 수 있다.
또한, 1 픽셀 내의 동일한 조(동일 발광색)의 유기 EL층의 발광을 개별적으로 제어할 수 있도록 하면, 계조 표시(중간 계조 표시)가 용이해진다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 방법 및 유기 EL 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모세관 현상을 이용하여 유기 EL 소자를 형성하는 유기 EL 장치의 제조 방법 및 유기 EL 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 유기 EL 장치의 일례를 도시하는 회로도.
도 2는 본 발명의 유기 EL 장치의 구조의 일례를 도시하는 모식 단면도.
도 3은 본 발명의 원리를 나타내는 모식도.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제1 모식도.
도 5는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제2 모식도.
도 6은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제3 모식도.
도 7은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제4 모식도.
도 8은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제5 모식도.
도 9는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제6 모식도.
도 10은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제7 모식도.
도 11은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제8 모식도.
도 12는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는제9 모식도.
도 13은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제10 모식도.
도 14는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제11 모식도.
도 15는 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제12 모식도.
도 16은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제13 모식도.
도 17은 본 발명의 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제14 모식도.
도 18은 각 발광색마다 다수의 홈이 형성된 기판을 도시하는 모식도.
도 19는 기판을 수직으로 하여 용액에 침지한 상태를 나타내는 모식도.
도 20은 기판을 비스듬히 하여 용액에 침지한 상태를 나타내는 모식도.
도 21은 전극과 유기 EL층과의 사이에 버퍼층이 형성된 유기 EL 장치의 구조의 일례를 도시하는 모식 단면도.
도 22는 본 발명의 제2 실시 형태의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 모식도.
도 23은 청색 서브 픽셀용 홈의 갯수를, 적색 및 녹색 서브 픽셀용 홈의 갯수보다도 많게 한 유기 EL 표시 장치의 예를 나타내는 모식도.
도 24는 청색 서브 픽셀용 홈의 폭을 적색 및 녹색 서브 픽셀용 홈의 폭보다도 굵게 한 유기 EL 표시 장치의 예를 나타내는 모식도.
도 25는 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제1 도면.
도 26은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제2 도면.
도 27은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제3 도면.
도 28은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제4 도면.
도 29는 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제5 도면.
도 30은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제6 도면.
도 31은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제7 도면.
도 32는 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제8 도면.
도 33은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제9 도면.
도 34는 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제10 도면.
도 35는 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제11 도면.
도 36은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 제12 도면.
<발명의 실시를 하기 위한 최량의 형태>
이하에 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1은 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치의 일례를 도시하는 회로도이다.
유리 기판(40) 위에는 수직 방향으로 연장되는 복수개의 데이터 라인(41) 및 전원 공급 라인(42)과, 수평 방향으로 연장되는 복수개의 주사 라인(43)이 형성되어 있다. 데이터 라인(41), 전원 공급 라인(42), 및 주사 라인(43)으로 둘러싸인 영역이 각각 서브 픽셀 영역으로 된다. 본 실시 형태에서는 수평 방향으로 적색 발광, 녹색 발광, 및 청색 발광의 서브 픽셀이 교대로 배열되어 있으며, 수직 방향으로는 동일 색의 서브 픽셀이 배열된다.
각 서브 픽셀 영역에는 각각 스위칭용 TFT(44)와, 구동용 TFT(45)와, 컨덴서(46)와, 유기 EL 소자(발광 소자)(47)가 형성되어 있다.
스위칭용 TFT(44)의 게이트는 주사 라인(43)에 접속되며, 소스는 구동용 TFT(45)의 게이트에 접속되고, 드레인은 데이터 라인(41)에 접속되어 있다. 또한,구동용 TFT(45)는 전원 공급 라인(42)과 유기 EL 소자(47)의 양극 사이에 접속되어 있다. 또한, 컨덴서(46)는 구동용 TFT(45)의 게이트와 전원 공급 라인(42)과의 사이에 접속되어 있다.
이와 같이 구성된 유기 EL 표시 장치에서, 각 데이터 라인(41)에 소정의 전압을 공급하고, 1행째의 주사 라인(43)에만 주사 신호를 공급하면, 1행째의 주사 라인(43)에 접속된 스위칭용 TFT(44)가 도통하여 컨덴서(46)에 데이터 라인(41)의 전압이 축적된다.
이 전압에 따른 전류가 전원 공급 라인(42)으로부터 구동용 TFT(45)를 통해 유기 EL 소자(47)에 공급되어, 1행째의 각 유기 EL 소자(47)가 발광한다. 그 후, 각 데이터 라인(41)에 소정의 전압을 공급하고, 2행째의 주사 라인(43)에만 주사 신호를 공급하면, 2행째의 각 유기 EL 소자(47)가 발광한다.
이와 같이 하여, 각 행의 유기 EL 소자(47)를 순차적으로 구동함으로써, 원하는 문자 또는 화상을 표시할 수 있다.
도 2는 상술한 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치의 구조를 도시하는 모식 단면도이다. 도 2에서는 도 1에 도시하는 스위칭용 TFT의 도시가 생략되어 있다.
유리 기판(40) 상에는 SiO2또는 그 밖의 절연물로 이루어지는 기초 절연막(51)이 형성되어 있으며, 상기 기초 절연막(51) 위에는 TFT의 동작층인 폴리실리콘막(52)이 선택적으로 형성되어 있다. 폴리실리콘막(52)에는 TFT의 소스/드레인인 한쌍의 고농도 불순물 영역(52a)이 채널 영역을 협지하여 형성되어 있다.
폴리실리콘막(52) 및 기초 절연막(51) 위에는 SiO2또는 그 밖의 절연막으로 이루어지는 게이트 절연막(53)이 형성되어 있다. 또한, 폴리실리콘막(52)의 채널 영역의 상측 부분의 게이트 절연막(53) 상에는, TFT의 게이트 전극(54)이 형성되어 있다. 그리고, 게이트 전극(54) 및 게이트 절연막(53) 위에는 SiO2또는 그 밖의 절연 재료로 이루어지는 층간 절연막(55)이 형성되어 있다.
층간 절연막(55) 위에는 소정의 패턴으로 배선(56)이 형성되어 있다. 이들 배선(56) 중 소정의 배선은 컨택트홀을 통해 구동용 TFT의 고농도 불순물 영역(52a)에 전기적으로 접속되어 있다.
배선(56)은 SiO2또는 그 밖의 절연 재료로 이루어지는 층간 절연막(57)으로 덮여져 있다. 이 층간 절연막(57) 위에는 ITO(Indium-Tin Oxide)로 이루어지는 양극(58)이 소정의 패턴으로 형성되어 있다. 상기 양극(58)은 컨택트홀 및 배선(56)을 통해 구동용 TFT의 한쪽 고농도 불순물 영역(52a)(소스)에 전기적으로 접속되어 있다.
양극(58) 및 층간 절연막(57) 위에는 SiO2또는 그 밖의 절연 재료로 이루어지는 절연막(60)과 폴리이미드로 이루어지는 절연막(61)이 적층되어 있다. 이들 절연막(60, 61)에는 도 2의 지면(紙面)의 수직 방향으로 연장되는 홈(62)이 형성되어 있다.
홈(62)의 바닥부의 양극(58) 위에는 유기 EL층(발광층)(59)이 형성되어 있다. 양극(58)은 각 서브 픽셀 영역마다 개별적으로 형성되어 있지만, 유기 EL층(59)은 홈(62)의 길이 방향으로 배열되는 복수의 서브 픽셀 영역에 걸쳐 형성되어 있다.
절연막(61) 위 및 홈(62) 내의 유기 EL층(59) 상에는 예를 들면, Al(알루미늄)/Li(리튬) 합금으로 이루어지는 음극(63)이 형성되어 있다. 양극(58), 유기 EL층(59) 및 음극(63)에 의해 도 1에 도시하는 유기 EL 소자(47)가 구성된다.
유기 EL층(59)의 발광 효율을 향상시키기 위해, 양극(58)과 음극(63)과의 사이에, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 컨택트층(컨택트성 개선을 위한 층) 중 하나 또는 2개 이상을 배치할 수도 있다. 이하, 이들 전자 수송층, 정공 수송층, 및 컨택트층을 모두 버퍼층이라 한다.
이와 같이 구성된 유기 EL 표시 장치에서, 양극(58)과 음극(63) 간에 전압을 인가하면, 유기 EL층(59)이 그 재료에 따른 색(적색, 녹색, 또는 청색)으로 발광하여, 광이 기판(40)측으로 출사된다.
이하, 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법의 원리에 대하여 설명한다. 본 발명은 기판 위에 형성된 홈의 선단을 유기 EL 재료를 용해한 용액에 침지하여, 용액을 모세관 현상에 의해 홈 내로 충전하여 유기 EL층을 형성한다.
홈을 형성한 기판의 끝을 기판 재료를 젖게 하는 특성이 있는 액체에 침지하여 세우면, 모세관 현상에 의해 액체는 홈 내로 상승한다. 본원 발명자들은 일찌기, 홈을 형성한 SiO2기판과 지글러-나타(Ziegler-Natta) 촉매를 이용하여 폴리아세틸렌의 세선을 제조하는 연구를 행한 적이 있다. 그 때, 본원 발명자들은 모세관 현상에 의해 톨루엔 용액이 홈 내로 상승하는 것을 실험적으로 확인하였으며, 그 결과를 이하의 논문에 나타내고 있다.
Nobuo Sasaki, Yoshihiro Takao, and Nagisa Ohsako, "Selective Growth of Polyacetylene Narrow Wires Utilizing Capillary Action of Catalyst Solution in Grooves, "Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 31, pp. L741-L743(1992).
도 3에 도시한 바와 같이, 기판(11)에 홈(12)을 형성하고, 홈(12)의 선단을 기판(11)을 젖게 하는 특성을 갖는 액체(13)에 침지하면, 액체(13)는 모세관 현상에 의해 홈(12) 내로 상승한다.
도 3에서, 기판(11)을 액면(liquid surface)에 대하여 수직으로 세운 경우, 홈(12) 내로의 액체(13)의 진입 거리(상승하는 높이)를 h, 액체(13)의 밀도를 ρ, 액체(13)의 표면 장력을 γ, 중력 가속도를 g, 홈(12)의 폭을 w, 홈(12)의 깊이를 d, 액체(13)의 기판(11)에 대한 침지 각도를 θ라고 하면, 이들 사이에는 하기 수학식 1로 나타내는 관계가 있다.
예를 들면, 홈(12)의 폭 w가 0.5㎛, 깊이 d가 0.5㎛일 때에는 액체(13)의 진입 거리(높이) h는 17m로 된다. 또한, 홈(12)의 폭 w가 3㎛, 깊이 d가 1㎛일 때에는 액체(13)의 진입 거리(높이) h는 4.8m로 된다.
단, 이것은 기판(11)이 SiO2이며, 액체(13)가 톨루엔이고, 액체(13)의 밀도 ρ를 0.8669g/cm3, 액체(13)의 표면 장력 γ를 28.52dyn/cm, 액체(13)의 기판(11)에 대한 침지 각도 θ를 30°로 했을 때의 계산값이다.
기판(11)을 수직 상태로부터 각도 α만큼 기울여 액체(13) 내에 침지한 경우에는, 다음 수학식 2로 나타내는 관계가 성립한다.
수학식 2로부터 분명한 바와 같이, 기판(11)을 기울임으로써 거리 h를 크게 할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법 및 유기 EL 장치의 구체적인 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
(제1 실시 형태)
풀컬러의 유기 EL 표시 장치에는 적색 발광 유기 EL 재료, 녹색 발광 유기 EL 재료, 및 청색 발광 유기 EL 재료가 이용된다. 예를 들면, 적색 발광 유기 EL 재료로는 copoly(2,5-didodecyloxy-1,4-phenylenebutadiynylene)(3-dodecyloxycarbonylthienylenebutadiynylene)가 있다. 또한, 녹색 발광 유기 EL 재료로는 copoly(2,5-dialkoxy-p-phenylenebutadiynylene)(2-alkoxy-m-phenylenebutadiynylene)가 있다. 청색 발광 유기 EL 재료로는 copoly(4,4'-biphenylylenelbutadiynylene)(4-dodecyloxy-m-phenylenebutadiynylene)가 있다.
본 발명의 실시 형태에서는, 이들 유기 EL 재료를 톨루엔에 용해한 용액을 이용하여, 모세관 현상을 이용하여 띠 형상의 유기 EL층을 형성한다. 용액 내의 유기 EL 재료의 농도는 예를 들면, 2 중량%이다.
이하, 제1 실시 형태의 유기 EL 장치(표시 장치)의 제조 방법에 대하여, 도 2에 도시하는 단면도 및 도 4∼도 17에 도시하는 모식도를 참조하여 설명한다. 또, 이하의 설명에서는 공지된 성막법 및 포토리소그래피법에 의해, 기판(40) 상에 TFT, 배선(56), 층간 절연막(55, 57), 및 양극(58) 등이 형성되어 있는 것으로 한다(도 2 참조).
층간 절연막(57) 상에 ITO에 의해 양극(58)을 형성한 후, 기판(40)의 상측 전면에 SiO2를 퇴적시켜 절연막(60)을 형성하고, 상기 절연막(60)에 의해 양극(58)을 덮는다. 그 후, 상기 절연막(60)에, 도 4에 도시한 바와 같이, 적색 서브 픽셀용 홈(3R), 녹색 서브 픽셀용 홈(3G), 및 청색 서브 픽셀용 홈(3B)을 형성한다.
이들 3개의 홈(3R, 3G, 3B)을. 기판(40)의 한쪽 변(도 4에서는 하측의 변)으로부터의 거리가 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 선단이 가장 멀고, 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 선단, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)의 선단의 순으로 가깝게 되도록 형성한다. 도 4에서는 설명을 간단히 하기 위해, 홈(3R, 3G, 3B)을 각각 1개밖에 나타내고 있지 않지만, 실제로는 도 18에 도시한 바와 같이, 기판(40)에는 다수의 홈(3R, 3G, 3B)을 형성한다.
그 후, 도 5에 도시한 바와 같이, 적색 서브 픽셀용 홈(3R) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 도중에, 홈(3R, 3G) 내에 유기 EL 용액이 진입하는 것을 저지하기 위한 스토퍼(5a, 5b)를 형성한다. 스토퍼(5a)는 스토퍼(5b)보다도 기판(40)의 한쪽 변으로부터 먼 위치에 배치한다. 이들 스토퍼(5a, 5b)는 포토레지스트를 사용하여, 선택 노광 및 현상 공정을 거쳐 형성한다. 스토퍼(5a, 5b)는 어느 것이나 표시 영역(서브 픽셀이 배치되는 영역)보다도 외측의 기판(40) 상에 형성한다.
다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 청색 발광층으로 되는 고분자계 유기 EL 용액(이하, 청색 용액이라 함)(8B)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여, 홈(3B)의 선단을 청색 용액(8B)에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해, 청색 용액(8B)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3B) 내로 진입하여, 홈(3B) 전체가 청색 용액(8B)으로 채워진다.
이 때, 홈(3R, 3B) 내에도 청색 용액(8B)이 진입되지만, 스토퍼(5a, 5b)에 의해, 스토퍼(5a, 5b)보다도 위로의 청색 용액(8B)의 진입이 저지된다.
다음으로, 기판(40)을 청색 용액(8B) 내에서부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 청색 용액(8B)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 7에 도시한 바와 같이, 홈(3B) 내에 청색 발광의 유기 EL층(6B)이 형성된다.
다음으로, 도 8에 도시한 바와 같이, 레지스트 박리액(4)을 넣은 용기를 준비하여, 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 스토퍼(5b)가 잠기는 위치까지 기판(40)을 레지스트 박리액(4) 내에 넣는다. 그리고, 스토퍼(5b)가 박리된 후에 기판(40)을 꺼낸다. 이것에 의해, 도 9에 도시한 바와 같이, 박리액(4)의 액면보다도 아래 부분의 유기 EL층(6B)이 제거된다.
다음으로, 도 10에 도시한 바와 같이, 녹색 발광층으로 되는 고분자계 유기 EL 용액(이하, 녹색 용액이라 함)(8G)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여, 홈(3G)의 선단을 녹색 용액(8G)에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해, 녹색 용액(8G)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3G) 내로 진입하여, 홈(3G) 전체가 녹색 용액(8G)으로 채워진다.
이 때, 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 선단은 녹색 용액(8G)의 액면으로부터 떨어져 있기 때문에, 홈(3B)에는 녹색 용액(8G)이 진입하지 않는다. 또한, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)에는 스토퍼(5a)가 형성되어 있기 때문에, 홈(3R)에는 스토퍼(5a) 위치까지만 녹색 용액(8G)이 진입하게 된다.
다음으로, 기판(40)을 녹색 용액(8G)으로부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 녹색 용액(8G)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 11에 도시한 바와 같이, 홈(3G) 내에 녹색 발광의 유기 EL층(6G)이 형성된다.
다음으로, 도 12에 도시한 바와 같이, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)의 스토퍼(5a)가 잠기는 위치까지 기판(40)을 레지스트 박리액(4) 내에 수직으로 침지하여, 스토퍼(5a)를 제거한다. 이것에 의해, 도 13에 도시한 바와 같이, 액면보다도 아래 부분의 녹색 발광층(6G)이 제거된다.
다음으로, 도 14에 도시한 바와 같이, 적색 발광층으로 되는 고분자계 유기 EL 용액(이하, 적색 용액이라 함)(8R)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여, 홈(3R)의 선단을 적색 용액(8R) 내에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해 적색 용액(8R)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3R) 내로 진입하여,홈(3R) 전체가 적색 용액(8R)으로 채워진다.
이 때, 청색 서브 픽셀용 홈(3B) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 선단은 적색 용액(8R)의 액면으로부터 떨어져 있기 때문에, 홈(3B, 3G)에는 적색 용액(8R)이 진입하지 않는다.
다음으로, 기판(40)을 용기 내의 적색 용액(8R)으로부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 적색 용액(8R)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 15에 도시한 바와 같이, 홈(3R) 내에 적색 발광층(6R)을 형성한다.
그리고, 도 16에 도시한 바와 같이, 홈(3R)의 선단을 레지스트 박리액(4) 내에 침지하여, 선단 부분의 적색 발광층(6R)을 제거한다.
이와 같이 하여, 도 17에 도시한 바와 같이, 홈(3R, 3G, 3B)에 각각 적색 발광층(6R), 녹색 발광층(6G) 및 청색 발광층(6B)이 형성된다.
그 후, 전체면에 폴리이미드를 도포하여 절연막(62)을 형성하고, 상기 절연막(62)에 유기 EL층(59)(6R, 6G, 6B)이 노출되는 홈을 형성한다(도 2 참조). 그리고, 전면에 예를 들면, 스퍼터법에 의해 Al/Li 합금을 퇴적시켜, 음극(63)을 형성한다. 이와 같이 하여, 유기 EL 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 실시 형태에 따르면, 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 유기 EL 재료를 용해한 용액을 진입시켜 유기 EL층을 형성하기 때문에, 유기 EL층의 형성이 매우 용이하여, 제조 비용을 줄일 수 있음과 함께, 두께가 균일한 유기 EL층을 형성할 수 있다. 또한, 홈(3R, 3G, 3B)의 폭을 조정함으로써, 고해상도의 유기 EL 표시 장치에도 적용할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 유기 EL층의 재료로서 고분자계 유기 EL 재료를 이용한 예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 고분자계 유기 EL 재료에 한하지 않으며, 용매에 가용이면 저분자계 유기 EL 재료를 사용할 수도 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는 도 19에 도시한 바와 같이, 기판(40)을 유기 EL 용액(8)(8R, 8G, 8B)의 액면에 대하여 수직으로 하여 홈(3R, 3G, 3B)의 선단부를 용액(8)에 침지하였지만, 도 20에 도시한 바와 같이, 기판(40)을 비스듬히 하여 용액(8)에 침지하여도 된다. 이 경우, 기판(40)을 용액(8)에 수직으로 침지한 경우에 비해, 용액(8)이 모세관 현상에 의해 홈 내로 상승하는 거리가 커진다.
더욱이, 상술한 바와 같이, 양극(58)과 음극(63)과의 사이에는 정공 수송층, 전자 수송층, 컨택트층 등의 버퍼층을 배치하는 경우도 있다.
도 21은 양극(58)과 유기 EL층(59)과의 사이에, PEDT/PSS로 이루어지는 버퍼층(정공 수송층)(64)이 형성된 유기 EL 표시 장치를 도시하는 도면이다. 이 층은 상술한 유기 EL층의 형성 방법과 마찬가지로, PEDT/PSS를 이소프로필 알콜로 용해하고, 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 충전함으로써 형성할 수 있다.
또한, 버퍼층이 고저항인 경우에는 유기 EL 소자 사이의 전류의 흐름을 무시할 수 있기 때문에, 버퍼층을 각 유기 EL 소자마다 형성하지 않고 각 유기 EL 소자에 공통으로 형성해도 된다. 이 경우에는, 층간 절연막(57) 상에 양극(58)을 형성하고, 또한 버퍼층(64) 및 절연막(60)을 기판(40)의 상측 전면에 형성한 후, 상술한 바와 같이 절연막(60)에 홈을 형성하고, 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 유기 EL층을 형성한다.
도 21에 나타내는 예에서는, 양극(58)을 ITO에 의해 형성하고 있지만, ITO 대신 도전성 고분자 재료로 형성해도 된다. 이 경우, 상술한 유기 EL층의 형성 방법과 마찬가지로, 도전성 고분자 재료 용액을 모세관 현상을 이용하여 홈 내에 충전함으로써도 형성할 수 있다. 전극 재료로서는 도전성이 높은 것이 필요하며, 예를 들면, 폴리아닐린(polyaniline)을 이용하면, 30∼200S/cm의 전기 전도도를 용이하게 얻을 수 있다. 폴리아닐린의 모세관 현상에 의한 홈 내 충전을 위해서는, 0.5 중량%의 N-메틸피롤리돈(N-methyl-2-pyrrolidone) 용액을 이용할 수 있다.
또한, 상기 제1 실시 형태에서는 홈(62)을 직선 형상으로 형성하였지만, 홈(62)을 굴곡 또는 만곡한 형상으로 형성해도 된다.
(제2 실시 형태)
도 22는 본 발명의 제2 실시 형태의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 모식도이다. 본 실시 형태에서도, 도 2의 단면도를 참조하여 설명한다.
본 실시 형태에서는 제1 실시 형태와 마찬가지로 하여, 양극(58) 및 층간 절연막(60)을 형성한 후, 하나의 양극(58)에 대하여 각각 복수(도 22에서는 4개씩)의 홈을 형성한다. 단, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)의 선단이 기판(40)의 한쪽 변(도 22에서는 하측의 변)으로부터 가장 가깝고, 녹색 서브 픽셀용 홈(3G), 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 순으로 기판(40)의 한쪽 변으로부터 멀리되도록 각 홈(3R, 3G, 3B)을 형성한다.
그리고, 제1 실시 형태와 마찬가지로 모세관 현상을 이용하여, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)에 적색 용액을 충전하고, 녹색 서브 픽셀용 홈(3C)에 녹색 용액을 충전하고, 청색 서브 픽셀용 홈(3B)에 녹색 용액을 충전하여, 적색 발광의 유기 EL층(6R), 녹색 발광의 유기 EL층(6G), 및 청색 발광의 유기 EL층(6B)을 형성한다.
그 후, 제1 실시 형태와 마찬가지로 절연막(61)을 형성하고, 이 절연막(61)에 홈을 형성하여 유기 EL층(6R, 6G, 6B)을 노출한 후, Al/Li 합금에 의해 음극(63)을 형성한다.
본 실시 형태에서도, 제1 실시 형태와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 이하에 나타나는 효과를 얻을 수 있다.
발광색에 따라 유기 EL층의 발광 효율이 상이한 경우에, 각 색의 홈의 갯수를 조정함으로써, 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀, 및 청색 서브 픽셀의 발광 강도를 균일하게 할 수 있다. 일반적으로, 청색 유기 EL층의 발광 효율은 적색 유기 EL층 및 녹색 유기 EL층에 비해 낮기 때문에, 예를 들면 도 23에 도시한 바와 같이, 적색 서브 픽셀용 홈(3R) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 갯수를 1 서브 픽셀당 3개로 하고, 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 갯수를 1 서브 픽셀당 5개로 하여, 각 서브 픽셀의 발광 강도를 균일화할 수 있다.
도 24에 도시한 바와 같이, 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 폭을 적색 서브 픽셀용 홈(3R) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)보다도 굵게 해도 된다. 이와 같이 하여도, 각 색의 서브 픽셀의 발광 강도를 균일화할 수 있다.
(변형예)
도 22에 도시한 바와 같이, 1개의 서브 픽셀 영역 내에 복수의 유기 EL층을 형성하는 경우, 각 유기 EL층을 개별적으로 발광시키도록 1 서브 픽셀당 복수의 구동용 TFT를 형성해도 된다. 이와 같이, 1개의 서브 픽셀 내의 복수의 유기 EL층을 개별적으로 발광시킴으로써, 중간 계조의 표시가 용이해진다.
즉, 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치에서는 통상, 구동용 TFT를 흐르는 전류량을 제어함으로써 중간 계조를 표시한다. 그러나, 구동용 TFT를 흐르는 전류량을 제어하여 중간 계조를 표시할 경우에는 TFT의 특성의 변동에 의해 표시 불균질(unevenness)이 발생하는 경우가 있다. 상기한 바와 같이 1 서브 픽셀당 복수의 구동용 TFT를 형성하고, 각 유기 EL층의 발광을 개별적으로 제어함으로써 계조 표시를 하는 경우에는, TFT의 특성의 변동에 기인하는 표시 불균질의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 1개의 서브 픽셀 내의 복수의 홈을 서로 상이한 굵기로 형성해도 된다.
또한, 상기한 바와 같이 1 서브 픽셀당 복수의 구동용 TFT를 형성하고, 각 유기 EL층의 발광을 개별적으로 제어함으로써 용장성을 부여할 수가 있어서, 단선 등에 의한 제조 수율의 저하를 회피할 수 있다.
(제3 실시 형태)
도 25∼도 36은 본 발명의 제3 실시 형태의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 모식도이다. 본 실시 형태에서도, 도 2의 단면도를 참조하여 설명한다.
본 실시 형태에서는 제1 실시 형태와 마찬가지로 하여, 기판(40) 상에 양극(58) 및 층간 절연막(60)을 형성한 후, 도 25에 도시한 바와 같이, 적색 서브 픽셀용 홈(3R), 녹색 서브 픽셀용 홈(3G), 및 청색 서브 픽셀용 홈(3B)을 형성한다. 도 25에서는 설명을 간단히 하기 위해, 홈(3R, 3G, 3B)을 각각 1개밖에 나타내고 있지 않지만, 실제로는 기판(40)에는 다수의 홈(3R, 3G, 3B)을 형성한다.
이 때, 홈(3R, 3G, 3B)의 선단을, 기판(40)의 한쪽 변(도 25에서는 하측의 변)으로부터의 거리가, 청색 서브 픽셀용 홈(3B)의 선단이 가장 멀고, 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 선단, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)의 선단의 순으로 가깝게 되도록 한다. 또한, 홈(3B)의 타단을, 기판(40)의 다른쪽 변(도 25에서는 상측의 변)으로부터의 거리가 홈(3R, 3G)의 타단보다도 가깝게 되도록 한다.
그 후, 도 26에 도시한 바와 같이, 포토레지스트에 의해 적색 서브 픽셀용 홈(3R) 내로 유기 EL 용액이 진입하는 것을 저지하기 위한 스토퍼(5a)를 형성한다.
다음으로, 도 27에 도시한 바와 같이, 녹색 발광층으로 되는 고분자계 유기 EL 용액(청색 용액)(8G)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여 홈(3G)의 선단을 녹색 용액(8G)에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해 녹색 용액(8G)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3G) 내로 진입하여, 홈(3G) 전체에 녹색 용액(8G)이 충전된다.
이 때, 홈(3B)의 선단은 녹색 용액(8G)으로부터 떨어져 있기 때문에, 홈(3B)에는 녹색 용액(8G)은 진입하지 않는다. 또, 홈(3R)에는 스토퍼(5a) 위치까지 녹색 용액(8G)이 진입한다.
다음으로, 기판(40)을 녹색 용액(8G)으로부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 녹색 용액(8G)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 28에 도시한 바와 같이, 홈(3G) 내에 녹색 발광의 유기 EL층(6G)이 형성된다.
다음으로, 도 29에 도시한 바와 같이, 레지스트 박리액(4)을 넣은 용기를 준비하여, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)의 스토퍼(5a)가 잠기는 위치까지 기판(40)을 레지스트 박리액(4) 내에 넣는다. 그리고, 스토퍼(5a)가 박리된 후에 기판(40)을 꺼낸다. 이것에 의해, 도 30에 도시한 바와 같이, 박리액(4)의 액면보다도 아래 부분의 유기 EL층(6G)이 제거된다.
다음으로, 도 31에 도시한 바와 같이, 적색 발광층으로 되는 고분자계 유기 EL 용액(적색 용액)(8R)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여, 홈(3R)의 선단을 적색 용액(8R) 내에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해 적색 용액(8R)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3R) 내로 진입하여, 홈(3R) 전체에 적색 용액(8R)이 충전된다.
이 때, 청색 서브 픽셀용 홈(3B) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 선단은 적색 용액(8R)의 액면으로부터 떨어져 있기 때문에, 홈(3B, 3G)에는 적색 용액(8R)이 진입하지 않는다.
다음으로, 기판(40)을 용기 내에서부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 적색 용액(8R)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 32에 도시한 바와 같이, 홈(3R) 내에 적색 발광층(6R)이 형성된다.
그 후, 도 33에 도시한 바와 같이, 홈(3R)의 선단을 레지스트 박리액(4) 내에 침지하여, 선단 부분의 적색 발광층(6R)을 제거한다. 홈(3R) 내의 적색 발광층(6R)의 선단 부분을 제거한 상태를 도 34에 나타낸다.
다음으로, 도 35에 도시한 바와 같이, 청색 발광층으로 되는 고분자계 유기EL 용액(청색 용액)(8B)을 넣은 용기를 준비한다. 그리고, 기판(40)을 수직으로 하여, 홈(3B)의 타단측의 단부를 청색 용액(8B)에 넣는다. 그렇게 하면, 모세관 현상에 의해 청색 용액(8B)이 액면보다도 윗 부분의 홈(3B) 내로 진입하여, 홈(3B) 전체에 청색 용액(8B)이 충전된다.
이 때, 적색 서브 픽셀용 홈(3R) 및 녹색 서브 픽셀용 홈(3G)의 타단측의 단부는 청색 용액(8B)의 액면으로부터 떨어져 있기 때문에, 홈(3R, 3G)에는 청색 용액(8B)이 진입하지 않는다.
다음으로, 기판(40)을 청색 용액으로부터 꺼내 건조시켜, 홈 내의 청색 용액(8B)으로부터 톨루엔을 증발시킨다. 이것에 의해, 도 36에 도시한 바와 같이, 홈(3B) 내에 녹색 발광의 유기 EL층(6B)이 형성된다.
그 후, 제1 실시 형태와 마찬가지로 절연막(61)을 형성하고, 상기 절연막(61)에 홈을 형성하여 유기 EL층(6R, 6G, 6B)을 노출시킨 후, Al/Li 합금에 의해 음극(63)을 형성한다.
본 실시 형태에서도, 제1 실시 형태와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 또한, 본 실시 형태에서는, 적색 서브 픽셀용 홈(3R)에만 스토퍼(5a)를 형성하면 되므로, 스토퍼를 박리하는 공정을 1회로 끝낼 수 있다는 이점이 있다.

Claims (18)

  1. 기판 위의 절연막에 홈을 형성하는 공정과,
    상기 홈 내에 유기 EL 소자 재료를 용해한 용액을 충전하는 공정과,
    상기 용액을 건조시키는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  2. 기판 위의 절연막에 제1 및 제2 홈을, 이들의 한쪽 단부의 위치를 서로 어긋나게 하여 형성하는 공정과,
    상기 제1 홈으로의 용액의 진입을 저지하는 스토퍼를 형성하는 공정과,
    제1 유기 재료를 용해한 제1 용액에 상기 제1 및 제2 홈의 상기 한쪽 단부를 침지하여, 상기 제1 홈 내로의 상기 제1 용액의 진입을 상기 스토퍼에 의해 저지하면서, 상기 제2 홈 내에 상기 제1 용액을 충전하는 공정과,
    상기 스토퍼를 제거하는 공정과,
    제2 유기 재료를 용해한 제2 용액으로부터 상기 제2 홈을 분리한 상태에서, 상기 제1 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제2 용액에 침지하여, 상기 제1 홈 내에 상기 제2 용액을 충전하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  3. 기판 위의 절연막에 제1 및 제2 홈을, 이들의 한쪽 단부의 위치 및 다른쪽단부의 위치를 서로 어긋나게 하여 형성하는 공정과,
    제1 유기 재료를 용해한 제1 용액으로부터 상기 제1 홈을 분리한 상태에서, 상기 제2 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제1 용액에 침지하여, 상기 제2 홈에 상기 제1 용액을 충전하는 공정과,
    제2 유기 재료를 용해한 제2 용액으로부터 상기 제2 홈을 분리한 상태에서, 상기 제1 홈의 상기 다른쪽 단부를 상기 제2 용액에 침지하여, 상기 제1 홈에 상기 제2 용액을 충전하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  4. 기판 위의 절연막에 제1, 제2, 및 제3 홈을, 이들의 한쪽 단부의 위치를 서로 어긋나게 하여 형성하는 공정과,
    상기 제1 및 제2 홈으로의 용액의 진입을 저지하는 제1 및 제2 스토퍼를 형성하는 공정과,
    제1 발광색의 유기 재료를 용해한 제1 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제1, 제2, 및 제3 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제1 용액에 침지하여, 상기 제1 및 제2 홈 내로의 상기 제1 용액의 진입을 상기 제1 및 제2 스토퍼에 의해 저지하면서, 상기 제3 홈 내에 상기 제1 용액을 충전하는 공정과,
    상기 제2 스토퍼를 제거하는 공정과,
    제2 발광색의 유기 재료를 용해한 제2 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제3 홈을 상기 제2 용액으로부터 분리한 상태에서, 상기 제1 및 제2 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제2 용액에 침지하여, 상기 제1 홈으로의 상기 제2 용액의 진입을 상기 제1 스토퍼에 의해 저지하면서, 상기 제2 홈 내에 상기 제2 용액을 충전하는 공정과,
    제3 발광색의 유기 EL 재료를 용해한 제3 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제2 및 제3 홈을 상기 제3 용액으로부터 분리한 상태에서, 상기 제1 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제3 용액에 침지하여, 상기 제3 홈 내에 상기 제3 용액을 충전하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    하나의 픽셀에 대하여, 상기 제1, 제2, 및 제3 홈을 복수개씩 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 하나의 픽셀에 대하여, 상기 제1, 제2, 및 제3 홈 중 적어도 하나의 홈을 다른 홈의 갯수와 상이한 갯수로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 및 제3 홈 중 적어도 하나의 홈을 다른 홈과 상이한 굵기로형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  8. 기판 위의 절연막에 제1, 제2, 및 제3 홈을, 이들의 한쪽 단부의 위치를 서로 어긋나게 하며, 또한 제3 홈의 다른쪽 단부의 위치를 상기 제1 및 제2 홈의 단부와 어긋나게 하여 형성하는 공정과,
    상기 제1 홈으로의 용액의 진입을 저지하는 스토퍼를 형성하는 공정과, 제1 발광색의 유기 재료를 용해한 제1 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제3 홈을 상기 제1 용액으로부터 분리한 상태에서, 상기 제1 및 제2 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제1 용액에 침지하여, 상기 제1 홈 내로의 상기 제1 용액의 진입을 상기 스토퍼에 의해 저지하면서, 상기 제2 홈 내에 상기 제1 용액을 충전하는 공정과,
    상기 스토퍼를 제거하는 공정과,
    제2 발광색의 유기 재료를 용해한 제2 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제2 및 제3 홈을 상기 제2 용액으로부터 분리한 상태에서 상기 제1 홈의 상기 한쪽 단부를 상기 제2 용액에 침지하여, 상기 제1 홈 내에 상기 제2 용액을 충전하는 공정과,
    제3 발광색의 유기 EL 재료를 용해한 제3 용액을 준비하는 공정과,
    상기 제1 및 제2 홈을 상기 제3 용액으로부터 분리한 상태에서, 상기 제3 홈의 상기 다른쪽 단부를 상기 제3 용액에 침지하여, 상기 제3 홈 내에 상기 제3 용액을 충전하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    하나의 픽셀에 대하여, 상기 제1, 제2, 및 제3 홈을 복수개씩 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 하나의 픽셀에 대하여, 상기 제1, 제2, 및 제3 홈 중 적어도 하나의 홈을 다른 홈의 갯수와 상이한 갯수로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 및 제3 홈 중 적어도 하나의 홈을 다른 홈과 상이한 굵기로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  12. 기판과,
    상기 기판 위에 형성된 제1 절연막과,
    상기 제1 절연막 위에 형성된 제1 전극과,
    상기 제1 절연막 위에 형성되며 상기 제1 전극에 대응하는 위치에 홈이 형성된 제2 절연막과,
    상기 홈 내에 형성되며, 한쪽 면이 상기 제1 전극과 전기적으로 접속된 유기 EL층과,
    상기 유기 EL층의 다른쪽 면에 전기적으로 접속된 제2 전극
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    하나의 픽셀 영역 내에 복수 조의 상기 홈이 형성되며, 각 조의 홈 내에 형성된 유기 EL층의 발광색이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    각 조의 홈 중, 적어도 하나의 조의 홈의 갯수가 다른 조의 홈의 갯수보다도 많은 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    각 조의 홈 중, 적어도 하나의 조의 홈의 폭이 다른 조의 홈의 폭보다도 굵은 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 제1 전극과 상기 유기 EL층과의 사이 및 상기 유기 EL층과 상기 제2 전극과의 사이 중 적어도 한쪽에, 버퍼층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기EL 장치.
  17. 기판 위의 절연막에 홈을 형성하는 공정과,
    상기 홈 내에, 유기 EL층과 전극과의 사이의 버퍼층으로 되는 재료를 용해한 용액을 충전하는 공정과,
    상기 용액을 건조시키는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  18. 기판 위의 절연막에 홈을 형성하는 공정과,
    상기 홈 내에, 전극으로 되는 재료를 용해한 용액을 충전하는 공정과,
    상기 용액을 건조시키는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
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