KR20030095955A - 유기 전자발광 디바이스 및 그 제조 방법 - Google Patents

유기 전자발광 디바이스 및 그 제조 방법 Download PDF

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빠울루스 세 뒤네페르드
이포 헤이.예이 캄프스
코엔 떼. 하. 에프 리덴바움
엘리아프 이. 하스깔
마리아 하. 베. 아. 반도이르첸
요헴 빼. 엠. 데코닝
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

전자발광 디바이스(1)는 디바이스(1)의 전극층(11)을 패터닝시키기 위한 돌출부(13)을 포함하는 경감 패턴(17)을 구비한다. 기능층(7,9)이 획득가능한, 상기 돌출부(13)에 의해 형성된 모세관 채널(23)을 따르는 유동체의 흡수 및 전송을 방지하기 위해, 경감 패턴(17)은 상기 돌출부(13)에서 떨어지고 상기 부분(13)과 상기 기능층(7 및 9)을 포함하는 전자발광 영역(21)사이에 배치된 동반 부분(15)을 포함한다. 상기 EL 디바이스(1)을 제조하는 방법은 잉크젯 프린팅 같은 습식 증착법에 의해 기능층 또는 기능층들(7, 9)을 증착하는 단계를 포함한다.

Description

유기 전자발광 디바이스 및 그 제조 방법{ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND A METHOD OF MANUFACTURING THEREOF}
일반적으로, 전자 발광(EL) 디바이스는 전극에 의해 공급되는 전류가 그 사이를 통과하여 흐를 때 광을 발산할 수 있는 EL 물질을 포함하는 디바이스이다. 만약 전극들사이 또는 전극층사이에 배치된 만약 있다면 EL 디바이스 또는 다른 임의의 이러한 기능의 물질이 유기체 또는 중합체 성질(polymeric nature)로 이루어 진다면, 이러한 디바이스는 각각 유기 또는 중합(체) EL 디바이스로 언급된다. 본 발명의 문맥에서, 유기라는 용어는 중합체를 포함한다.
다이오드유형의 EL 디바이스인 발광 다이오드는 우선적으로 한 방향으로 전류를 통과시키고, 일반적으로 정공-주입 전극{또한 애노드(anode)로도 언급됨}과 전자-주입 전극{캐소드(cathod)로도 언급됨}사이에 배치된 EL 물질을 포함한다. 적절한 전압의 인가시, 정공 및 전자가 각각 애노드와 캐소드에 의해 EL 물질로 주입된다. 이러한 EL 물질내에서 정공과 전자의 방사적 재결합(radiative recombination)에 의해 광이 생성된다. 상이한 유기 EL 물질을 사용하면 방출되는 이러한 광의 색이 변할 수 있다.
EL 디바이스는 광원으로 사용될 수 있고, 특히 유기형의 EL 디바이스는 디스플레이를 위한 배경광 같은 큰 영역의 조명 용용예에 적절하다. 복수의 전자 발광 소자(본 명세서에서 픽셀로도 언급됨)를 포함하는 (유기) EL 디바이스는 단색 또는 다중-컬러 디스플레이 디바이스, 정지 화상 디스플레이, 분리된(segmented) 디스플레이 디바이스, 또는 수동 또는 능동형 메트릭스 디스플레이같은 디스플레이 목적에 적절하다. 유기 및 특히 중합체 EL 디바이스는 유연성을 가지도록 제조될 수도 있고, 강체 및/또는 평면 디스플레이로는 실현 불가능한 디스플레이 응용을 가능하게 하는 형상으로 제조될 수도 있다.
미국특허 제 5,701,055호에, 복수의 방출 부분을 가지는 전자발광 디스플레이 디바이스가 개시되어 있다. 패널은 제 1 전극층을 포함하고 그 위에 유기체 기능층이 형성되어 있으며 그위에 다시 제 2 전극층이 형성된다. 패널은 상기 기판으로부터 투사하는 전기 절연 램파트(rampart)를 더 포함한다. 이러한 램파트는 상기 기판에 평행한 방향으로 투사하는 돌출부(overhanhing section)를 가진다. 제 2 전극층을 증착시키는데 사용되는 플럭스(flux) 또는 금속성 증기(metal vapor)에 음영 영역(shadow region)을 제공함으로써, 이러한 램파트는 패터닝된 제 2 전극층을 제공하는 기능을 한다.
공지된 EL 디스플레이 패널의 단점은 유기체 기능층의 증착이 진공 증착법을 사용하여 수행된다는 것이다. 진공-기준 증착법은 과도한 비용의 장비를 필요로 하고, 상대적으로 시간이 많이 소비되며, 특히 디스플레이 같은 큰 표면 디바이스의 대량 생산에는 적절하지 않다. 이러한 점들에 비해, 스핀-코팅(spin-coating) 또는잉크-젯 프린팅 같은 습식 증착법의 사용은 공정을 단순화시키고, 생산율을 증가시키고 공정의 효율성을 개선시킨다.
본 발명은 전자발광 디바이스 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
도 1 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 1 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도,
도 2 는 도 1에 도시된 EL 디바이스의 제조 단계를 개략적으로 나타낸 단면도,
도 3 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 2 실시예를 개략적으로 나타낸 평면도,
도 4 는 도 3 의 I-I 방향에 따른 개략적 단면도,
도 5 는 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 3 실시예를 개략적으로 나타낸 단면도,
도 6 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 4 실시예를 개략적으로 나타낸 평면도,
도 7 은 도 6 의 Ⅱ-Ⅱ 방향에 따른 개략적 단면도,
도 8 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 5 실시예를 개략적으로 나타낸 단면도,
도 9 는 도 8 의 Ⅲ-Ⅲ 방향에 따른 개략적 단면도,
도 10 은 도 8 의 Ⅳ-Ⅳ 방향에 따른 개략적 단면도,
도 11 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 6 실시예를 개략적으로 나타낸 단면도,
도 12 는 도 11 의 Ⅴ-Ⅴ 방향에 따른 개략적 단면도이다.
본 발명의 목적은, 특히, 큰 표면 디바이스의 대량 생산에 적절하며 간단하고도 경제적인 방법을 사용하는, 신뢰성있는 제조 방법에 적응된 전자 발광 디바이스를 제공하는 것이고, 상기 방법은 습식 증착법을 사용하여 기능체(functional) 또는 기능층을 제공하는 단계 및 공지된 돌출부(overhanging section)에 의해 패터닝된 전극층을 제공하는 단계를 포함한다.
더 상세하게는, 본 발명의 목적은, 습식 증착법의 사용이 상기 돌출부에 의하여 전극층 패터닝 공정의 수율에 역효과 또는 적어도 심각한 영향을 미치지 않는 , 방법을 사용하여 제조될 수 있도록 적응된 EL 디바이스를 제공하는 것이다. 다중-컬러 EL 디바이스의 경우, 색 분리는 만족할 정도이어야 한다. 게다가, 독립적으로 주조지정가능한 픽셀을 가지는 EL 디바이스의 경우에는, 또한 특히 다중-픽셀 디바이스는 습식-증착된 전하 전송층을 포함한다면, 누설 전류 및 그러한 픽셀 사이의 크로스-토크(cross talk)가 적어야 한다.
이러한 목적은, 제 1 및 제 2 전극층; 상기 제1 및 제 2 전극층사이에 배치되어 적어도 하나의 전자발광 영역을 형성하는 하나이상의 기능층; 및 적어도 하나의 돌출부 및 상기 돌출부와 거리를 두고 직립되고 상기 돌출부 및 상기 전자발광 영역사이에 배치되고 한쪽 그 측면 또는 측면들을 따라 연장하는 동반 양-경사부를 포함하는 경감 패턴을 포함하는 전자발광 디바이스에 의해 달성된다.
본 발명은 상기 경감 패턴의 돌출부 및 그러한 돌출부를 지지하는 표면이 함께 모세관 채널을 형성하고 이러한 모세관 채널이 유동체를 흡수하여(taking up) 전송하는데 아주 효율적이다는 관념에 기초한다. 좀더 상세하게는, 이러한 채널이 전자발광층 같은 기능체의 습식 증착에 사용되는 유동체를 흡수하여 전송할 수 있다.
그러한 기능 물질이 획득가능한 유동체를 흡수하는 것은, 채널내의 기능 물질의 증착으로 유도되고 따라서 전극층을 패터닝하는데 필요한, 돌출부에 의해 생성되는 음영 영역의 크기를 감소시키고, 이에 따라 그 효율성을 감소시킨다. 따라서, 패터닝된 전극층 형성의 전극사이에서는 단락 회로가 발생할 확률이 더 커지고 따라서 EL 디바이스 제조 공정의 수율이 감소된다. 전하 전송 물질이 획득가능한 유동체의 경우에는, 유동체의 흡수가 독립적으로 주소지정가능한 것으로 여겨지는 제 1 전극층의 전극사이에 전기적 연결을 생성하고 이에 따라 상당한 누설 전류 및/또는 크로스-토크를 일으킨다.
모세관 채널을 따라 유동체를 전송하는 것은 원하지 않는 장소에 기능 물질이 증착되게 한다. 예를 들면, 다중-컬러 EL 디바이스의 경우에, 전자발광 물질이 상기 제 1 색의 광을 방출하도록 배치된 영역으로부터 제 2 색의 광을 방출하도록 배치된 영역으로 제 1 색의 광을 방출할 수 있는 유동체를 전송하는 것은 바람직하지 않은 색 혼합 즉 색 블리딩(color bleeding)으로도 언급되는 과정을 발생시킨다. 전송된 유동체의 재증착이 광을 방출하리라 여겨지는 영역에 광 방출을 일으킨다는 것도 가능하다.
어떠한 경우이든, 모세관 채널에 의한 유동체의 흡수 또는 전송 또는 적어도 재증착은 피해야 한다.
이러한 모세관 채널을 따라 발생하는 유동체의 흡수 및 전송 및/또는, 만약 유동체가 이러한 채널에 의해 흡수되고/되거나 전송된다면 원하지 않는 영역으로의 유동체의 재증착을 방지하거나 적어도 저지하기 위해, 경감 패턴은 상기 돌출부로부터 일정거리 떨어져서 세워지고(set up) 상기 돌출부와 동반하는 양-경사진 부분를 포함한다.
이러한 동반 양-경사진 부분은 유동체를 정지시킬 수 있다. 명확하게, 그것을 지지하는 기판에 모세관을 형성하지 않기 위해, 상기 부분은 적어도 양-경사진 부분이 유동체를 저지시키는 측면으로 양-경사져야한다. 일반적으로, 돌출부에 도달할 수 있는 유동체는 원칙적으로 광 방출 영역의 기능층 부분의 증착에 사용되는 유동체이므로, 상기 광 방출 영역에 접하고(facing) 상기 돌출부로부터 떨어진(facing away) 동반 양-경사 부분은 양-경사진다.
동반 양-경사진 부분의 존재에도 불구하고, 어떤 유동체가 모세관 채널에 도달할 수 있고 다른 위치에 전송되는 경우에는, 그 위치에 직립된 동반 양-경사 부분은 전송된 유동체가 원하지 않는 영역으로 누설되거나(release) 재유도(reintroduction)되는 것을 방지하거나 저지하는 기능을 한다. 이를 위해 모세관을 접하는 동반 양-경사 부분의 측면은 양-경사질 수 있지만 이것이 필수적인 것은 아니다. 제조의 편의를 위해 양 측면을 모두 양-경사되도록 하는 것이 선호된다.
동반 양-경사 부분을 사용함으로써 이전과 호환되지 않는 그러나 그 고유의 매력적인 2개의 방법들은 서로 연결되어 사용될 수 있고, 그럼으로써 특히 간단하고 비용-효율적인 방식으로 제조될 수 있는 EL 디바이스에 도달할 수 있다. 상기 2가지 방법중 첫 번째는 상기 경감 패턴의 돌출부를 사용하여 제 2 전극층을 패턴-방식(pattern-wise)으로 증착하는 것이다. 두 번째 방법은 잉크젯 프린팅 같은 습식 증착법을 사용하여 기능층 또는 기능층들을 증착하는 것이다.
양-경사 부분은 음영 영역을 가지지 않는 부분을 의미하도록 이해되고 수직인 측벽을 가지는 부분을 포함할 수 있다. 돌출부는, 주어진 환경하에 따라 수직인 측벽을 가지는 부분을 포함할 수 있는 음영 영역을 생성시키는 부분을 의미하도록 이해된다. 그러나, 상기 부분들중 하나가 수직 측벽을 가지고 다른 하나는 가지지 않는다면, 돌출부 및 동반 양-경사 부분의 목적은 이러한 차이점 때문이다.
유동체와 제조시 기판의 전송동안 발생할 수 있는, 돌출부의 접촉을 방지하기 위해, 이러한 동반 양-경사 부분은 상기 돌출부로부터 일정거리 떨어진 거리에서 직립된다. 유효한 광-방출 영역의 손실을 최소화하기 위해, 이러한 거리는 최소로 유지되어야 한다. 이 거리는 너무 작아서 동반 부분의 밑부분(base)이 상기 돌출부의 음영 영역까지 연장되어서는 안된다. 최소 거리는 기본적으로 상기 경감 패턴 부분을 제공하는데 사용되는 패터닝 방법에 의해 결정된다. 적절한 거리는 0.1 내지 50 마이크로미터 또는 0.5 내지 20 마이크로미터 또는 1.0 내지 10 마이크로미터이다. 양-경사 부분에 의해 정지된 유동체가 상기 부분이 연장된 측면을 따라 상기 전자발광 영역에 걸쳐 균일한 두께인 기능층으로 변환되도록 양-경사 부분의특정 형상, 폭 및 크기가 적응된다. 균일한 두께의 기능층에 도달하기 위한 상기 부분의 높이, 형상 및 폭에 관한 상세한 설명을 위해서, 미공개된 국제 특허 출원 제 EP00/11706 호를 참조한다.
유럽 특허 제0 938 248 A2 호에는, 돌출부 및 이러한 돌출부와 동반하는 부분을 포함하는 경감 패턴을 포함하는 EL 디바이스가 개시되어 있다. 그러나 돌출부를 동반하는 부분은 그 자체가 돌출부이고 양-경사지지 않는다. 양 부분 모두 동일한 목적을 위해 기능 즉 본 발명의 양-경사진 부분의 목적과 완전이 상이한 목적인 전극층을 패터닝하는 목적으로 기능한다. 기능층을 증착시키기 위해 습식 증착법을 사용하는 것은 제안되지 않는다.
EL 디바이스는 하나이상의 기능층을 포함한다. 그러한 기능층의 예는 전자발광, 전하 전송 및 전하 주입층이다. 본 발명의 이점을 완전히 이용하기 위해, 습식 증착법을 이용하여 하나이상의 기능층이 제공되는 것이 바람직하다.
하나 또는 만약 하나이상이 있다면 적어도 하나의 기능층은 전자발광층이다. EL 층은 실질적으로 유기체, 전자발광 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 본 발명의 문맥에서, 사용되는 EL 물질의 유형은 중요하지 않고 당업계에 공지된 임의의 EL 물질이 사용될 수 있다. 그러나 습식 증착법을 사용하여 증착될 수 있는 유동체로부터 획득가능한 것이 바람직하다. 적절한 유기체 EL 물질은 적은 분자량의 유기체 광- 또는 전자 발광, 형광 및 인광 화합물을 포함한다. 적절한 적은 분자량의 화합물은 당업계에 널리 알려져 있고 트리-8-알루미늄 퀴놀린 화합물 및 쿠머린을 포함한다. 그러한 화합물은 진공-증착법을 사용하여 적용될 수 있다. 대안적으로,적은 분자량의 화합물은 예를 들면 폴리비닐카르바졸(polyvinylcarbazole) 같이 주-체인 또는 부-체인에 함유됨으로써 중합체 메트릭스에 내재되거나 중합체에 화학적으로 결합될 수 있다.
바람직한 고분자량 물질은 폴리티오핀, 폴리페닐린, 폴리티오핀비닐 또는 더 바람직하게 폴리-피-페닐린비닐 같은 실질적으로 공액의(conjugated) 백본(주 체인)을 가지는 EL 중합체를 함유한다. 특히(청색-방출) 폴리(알킬)플루오린 및 적색, 황색 또는 녹색광을 방출하는 폴리-피-페닐린비닐이 특히 바람직하고 2- 또는 2,5- 치환된 폴리-피-페닐린비닐, 특히 C1C20이중 바람직하게 C4- C10인 알킬 또는 알콕시 계열(group) 같은 2- 및/또는 2, 5 위치의 용해도-개선 사이드 그룹(side group)을 갖는다. 바람직한 사이드 그룹은 메틸(methyl), 메톡시(methoxy), 3,7-디메틸록티록시(3,7-dimethyloctyloxy), 및 2-메틸프로폭시(2-methylpropoxy) 이다. 더 상세하게는, 2-아릴-1, 4-페닐린비닐 반복 유닛(repeating unit)을 포함하는 중합체가 바람직하며, 여기서 아릴 계열은 전술한 유형, 특히 메틸, 메톡시, 3,7 디메틸록티록시 또는 더 낫게는 2-메틸프로폭시의 알킬 및/또는 알콕시 계열과 선택적으로 치환된다. 이러한 유기 물질은 그러한 하나이상의 화합물을 포함할 수 있다. 이러한 EL 중합체는 습식 증착 기술에 의해 적절하게 적용된다.
본 발명의 문맥에 따라, 유기체라는 용어는 중합체를 포함하는데, 반면에 중합체라는 용어와 그로부터 유도되는 접두어는 올리고머(oligomer) 뿐아니라 동종중합체(homopolymer), 공중합체(copolymer), 3량체(terpolymer), 및 더 높은 동족체(higher homologue)를 포함한다.
선택적으로, 유기 EL 물질은 그 성질상 유기 또는 무기의 물질을 더 포함하는데, 이것은 분자 규모로 균일하게 분포될 수도 있고, 입자 분포의 형태로 존재할 수도 있다. 상세하게는 전자 및/또는 정공의 전하 주입 및/또는 전하 전송 능력을 개선하는 화합물, 발산되는 광의 색 또는 세기를 개선 및/또는 변경하는 화합물, 안정제(stabilizer), 및 그와 유사한 것이 제공될 수 있다.
이러한 유기 EL 층은 50 내지 200 nm의 평균 두께 특히 60 내지 150nm 또는 특히 70 내지 100 nm 의 평균 두께를 가지는 것이 바람직하다.
선택적으로, 이러한 EL 디바이스는 상기 전극사이에 배치된 유기, 기능층을 더 포함하는 것이 바람직하다. 그러한 추가된 층은 정공-주입 및/또는 전송(HTL) 층 및 전자-주입 및 전송(ETL)층이 될 수 있다. 하나이상의 기능층을 포함하는 그러한 EL 디바이스의 예는 애노드/HTL층/EL 층/캐소드, 애노드/EL 층/ETL 층/캐소드, 또는 애노드/HTL층/EL 층/ETL층/캐소드의 적층물(laminate)이다.
정공-주입 및 정공-전송 층(HTL)에 대해 적절한 물질은 방향성 제 3 아민, 특히 다이아민 또는 그 이상의 동족체인 폴리비닐카르바졸, 퀴나크리돈(quinacridone),포르피린(porphyrins), 프탈로시아닌(phthalocyanines), 폴리-아닐린 및 폴리-3,4-에틸렌다이옥시티오핀을 포함한다.
전자-주입 및/또는 전자-전송층(ETL)에 대해 적절한 물질은 옥사다이아졸-기반 화합물 및 알루미늄퀴놀린 화합물이다.
만약 ITO 가 애노드로 사용되면, EL 디바이스는 50 내지 300 nm의 두께층인 정공-주입/전송층 물질 폴리-3,4-에틸렌다이옥시티오핀 또는 50 내지 200nm 두께층의 폴리아닐린을 포함하는 것이 바람직하다.
일반적으로, EL 디바이스는 기판을 포함한다. 바람직하게, 이러한 기판은 방출될 광에 대해 투명하다. 적절한 기판 물질은 유연하거나 유연하지 않는 투명한 합성 수지, 석영, 세라믹 및 유리를 포함한다. 기판은 이러한 경감 패턴을 위한 지지면을 제공한다.
최광의 의미에서 본 발명은 단일한 전자발광 영역을 가지는 EL 디바이스에 응용가능하다 하더라도, 본 발명은 복수의 광 방출 영역을 포함하는 전자발광 디바이스에 대해 특히 유익하다. 상기 동반 부분은 기능층 물질이 잘못된 광 방출 영역 및/또는 광 방출이 일어나서는 안될 영역에 증착되는 것을 방지하는 기능을 가진다.
디스플레이를 위해서는, 분리된 광 방출 영역은 EL 소자 또는 픽셀로 언급되고 일반적으로 독립적으로 주소지정가능하다. 각 EL 소자는 하나의 광 방출 가능한 영역을 가진다. 광 방출 영역은 EL 층의 부분이다. 광 방출 영역은 제 1 전극, 제 2 전극 및 유기 EL 층의 겹침에 의해 형성된다. 이러한 EL 디바이스는 분할될 수 있고 혹은 수동 또는 능동형의 매트릭스 디스플레이 디바이스일 수 있다.
제 1 전극층은 전자-주입층이고 제 2 전극층은 정공-주입층이다. 대안적으로, 제 1 전극층은 정공 주입층이고 제 2 전극층은 전자 주입층이다.
전자-주입 전극은 Yb, Ca, Mg:AgLi:Al, Ba 같은 낮은 일함수를 가지는 금속(합금)으로 만들어지는 것이 적절하고, Ba/Al 또는 Ba/Ag 전극 같은 상이한 층들의 적층부이다.
정공 주입 전극은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag)처럼 높은 일함수를 갖는 금속(함금)으로 만들어지는 것이 적절하다. 바람직하게는, 인듐틴옥사이드(ITO)같은 더 투명한 정공 주입 전극물질이 사용된다. 폴리아닐린(polyaniline, PANI)과 폴리-3,4-에틸렌디옥시티오핀(poly-3,4-ethylenedioxythiophene, PEDOT)같은 전도성 중합체 또한 적절한 투명 정공 주입 전극 물질이다. 바람직하게는, PANI층은 50내지 200nm의 두께를 가지며 PEDOT 층은 100내지 300nm의 두께를 가진다. 만약 ITO 정공 주입 전극이 사용되면 제1 전극은 바람직하게는 정공 주입 전극이다.
돌출부는, 증기 진공 증착에 의해 제 2 전극층을 증착할 때 전극 물질이 증착되지 않은 음영 영역을 제공함으로써, 제 2 전극층을 패터닝하는 기능을 한다. 바람직하게는, 전자-주입 전극은 이러한 돌출부를 사용하여 증착되고, 전술한 낮은 일함수 물질은 이러한 방식으로 증착될 수 있다.
본 발명에 따른 EL 디바이스의 특정 실시예는,
절연층이 음-경사진 그리고 동반 양-경사진 부분사이에 제공되어 상기 절연층이 제 1 전극층을 제 2 전극층으로부터 전기적으로 절연시킨다.
이러한 동반 양-경사진 부분을 상기 음-경사진 부분으로부터 일정 거리 떨어져서 직립되게 하는 것은, 일반적으로 상기 음-경사진 부분과 상기 동반 양-경사진 부분사이의 공간이 노광된 제 1 전극을 남기는 임의의 기능층 물질이 결여되게 한다.
만약 그러한 경우에는, 진공 증착에 의해 증착될 때 돌출부의 음영 영역에 에 의해 덮히지 않거나 음영 영역에 존재하는 모든 영역에 증착된 제 2 전극 물질이 상기 제 1 전극층 상부에 직접 증착되고 이것은 제 1 및 제 2 전극층에 전압이 인가될 때 단락 회로를 일으킨다. 상기 음-경사진 부분과 동반 양-경사진 부분사이에 전기 절연층을 제공함으로써 단락 회로가 방지된다.
일반적으로 이러한 층은 음-경사진 부분 및 동반 양-경사진 부분사이에만 제공되어야 하고, 따라서 패터닝된 층이 될 것이다. 이러한 동반 양-경사진 부분의 효과를 유지하기 위해서, 절연층의 두께는 상기 동반 양-경사진 부분의 높이보다 더 작아선 안된다. 이러한 조건은 예를 들면 상기 절연층의 상단에 동반 양-경사진 부분을 위치시킴으로써 편리하게 만족될 수 있다.
절연층 및 절연층을 제공하는 방법을 선택하는 것은 중요하지 않다. 임의의 종래의 절연층 및 그 제공 방법이 사용될 수 있다. 이러한 층은 세라믹 물질 또는 유리 또는 실리콘디옥사이드, 졸 겔 층 같은 다른 산화 물질 같은 무기체이거나, 폴리이미드 같은 중합체 물질 같은 유기체 원으로 이루어질 수 있다. 바람직하게는, 절연층은 종래의 포토레지스트로 이루어진다.
편의상, 그러나 필수적인 것은 아닌, 전기 절연층은 상기 경감 패턴 전체 및/또는 부분과 동일한 물질로 이루어진다. 만약 절연층이 만들어지거나 포토레지스트 같은 경감 패턴 물질 및 그 두께가 상기 동반 양-경사 부분의 높이보다 적으면, 일반적으로 추가적인 포토리소그래픽 단계가 상기 절연층의 증착을 위해 필요하다.
대안적으로, 동반 부분 및 그 부분을 지지하는 절연층은 통합되어서 경감 패턴의 통합된 부분을 형성할 수 있다. 그러한 통합된 부분은 예를 들면 적절한 그레이 레벨 마스크 또는 상이한 2개의 마스크를 사용한 이중 노광을 사용하는 단일한 포토리소그래픽 단계로 형성되는 것이 유익하다.
본 발명에 따른 전자발광 디바이스의 추가적인 특정 실시예는 상기 경감 패턴이 동반 양-경사진 부분이 연장하는 측면 또는 측면들와 별개인 전자발광 영역의 측면 또는 측면들을 따라 연장하는 적어도 하나의 구획 부분(partitioning section)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구획하는 경감 패턴 부분을 사용함으로써, 하나이상의 기능층이 획득되거나 획득될 유동체의 증착에 대한 추가적인 제어가 달성된다.
바람직하게, 가능하게 EL 디바이스의 디스플레이 영역의 주변 부분을 형성하는 전자 발광 영역의 측면을 제외한 전자발광 영역의 모든 측면에는, 상기 경감 패턴 부분이 제공되어, 기능층이 획득되어야 할 유동체가 원하지 않는 영역으로 확산하는 것을 방지하고, 증착될 유동체에 비해 상기 부분의 프로파일 및 높이를 적절히 선택함으로써 전자발광 영역내의 균일한 층 두께를 획득할 수 있다. 동반 양-경사 부분 및/또는 이러한 추가적인 부분은, 유동체가 전자발광 영역과 호환되는 형태로 증착되는, 인클로저인 구덩이(well)를 한정하는 기능을 한다. EL 디바이스의 유형 및 유동체를 증착하는 방법에 따라, 이러한 부분은 폐쇄된 원주형의 구덩이의 가장자리를 형성하고, 여기서 원주형이라는 용어는 보통 직사각형, 6각형 및 기타형상을 포함하고, 상기 구덩이는 하나이상의 측면상으로 그 말단이 개방되어 있어채널 또는 도랑(gutter)을 형성한다.
바람직한 실시예에서 구획 부분은 동반 부분 또는 돌출부를 향하는 임의의 방향에 있는 부분을 넘어서 연장하지 않는다.
예를 들면 수분-기반의 PEDOT 과 종래의 포토레지스트의 결합 같은, 기능층이 획득가능한 유동체의 습윤성이 경감 패턴 물질에 비해 빈약하다면, 동반 부분과 음-경사진 부분사이의 공간에 유동체가 흘러넘치는 것을 방지하기 위해서, 상기 동반 부분 및/또는 구획하는 부분의 형상 및 배치도는 그다지 중요하지 않다.
그러나, 경감 패턴 부분에 대한 유동체의 습윤성이 우수하다면 즉, 예를 들면 이러한 경감 패턴이 종래의 레지스트로 만들어지고 기능층은 유기 용매를 포함하는 유동체, 예를 들면 크실렌 또는 아니졸에 용해된 폴리-페닐린비닐 중합체 같은 유동체를 사용하여 증착된다면, 이러한 설계는 더 중요하다. 특히, 동반 및 구획 부분에 의해 형성된 구덩이의 가장자리부분, 즉 구획 부분과 동반 부분이 만나는 장소에서, 유동체가 넘쳐서 이렇게 넘친 유동체가 돌출부에 의해 그 후 흡수될 수 있는 위험이 있다. 구획 부분 및 부분들이 돌출부를 넘어서 연장하지 않도록 배치함으로써, 유동체가 넘칠 위험은 더욱 감소된다.
본 발명에 따른 EL 디바이스의 또다른 바람직한 실시예에서, 구획 부분과 동반 부분이 만나는 곳에서 형성된 모든 굽힘부(bend) 또는 그러한 부분내에 형성된 모든 굽힘부는 만곡진다(round). 만곡된 굽힘부를 사용함으로써, 유동체가 경감 패턴 부분을 기어올라가는 것이 더욱 힘들어지게 된다.
대안적으로 또는 추가적으로, 유동체가 넘칠 위험은 이러한 경감 패턴 표면에 내-습기 처리(anti-wetting treatment)를 하여 유동체와 상기 표면사이의 접촉각을 증가시킴으로써 감소될 수 있다. 내-습기 처리 및 그러한 처리에 사용되는 작용제(agent)는 당업계에 널리 알려져 있고, 플라즈마 처리, 코로나 방전, 계면 활성제(surfactant) 등을 포함한다. 포토레지스트 경감 패턴의 경우, 이러한 내-습기 처리는 포토레지스트 표면을 플루오르화된 탄화수소에 노출시키는 단계를 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 그러한 유동체는 수정되어 계면 활성제등을 첨가함으로써 습윤성을 감소시킬 수도 있다. 그러한 방법은 당업계에 널리 알려져 있다.
EL 디바이스의 바람직한 실시예에서는, 구획 부분이 이러한 구획 부분이 연장하는 전자발광 영역의 측면 또는 측면들에 실질적으로 평행한 방향 또는 방향들을 따라 하나이상의 상호 분리된 하위 부분(subsection)으로 서브분할된다.
만약, 그리고 다중-픽셀 디바이스에서 이것은 일반적인 경우인데, 구획 부분이 그 양측면상에서 유동체를 정지시키고 고정시키는(pin) 기능을 가진다면, 그위의 다른 쪽 면에 증착된 유동체 층은 의도하지 않게 융합되어 단일 유동체 층을 형성하는 위험이 존재한다. 특히 이것은 유동체가 이러한 구획 부분 구덩이를 적시는 경우이다. 이러한 유동체 층으로부터 획득된 기능층의 두께 및 두께의 균일도는 유동체가 구획 부분에 어떻게 배치되는가에 즉 의도하지 않은 유동체의 융합에 밀접하게 의존하기 때문에, 관련 기능층의 두께 및 그 두께의 균일도는 악영향을 받을 것이다. 게다가, 다중-컬러 디바이스의 경우에, 이러한 의도하지 않은 융합은 색혼합(color mixing)을 일으킬 것이다. 융합의 위험을 감소시키는 한가지 방법은 구획부분의 양면을 동시에 프린팅하지 않는 것이지만, 그러나 이것은 기능층 변환 단계에 대한 유동체의 수를 증가시킨다. 또한, 인접한 픽셀 영역에 유동체가 넘쳐서 이에 따라 상기 인접한 픽셀 영역에 균일하지 않은 층 두께와 색 혼합을 야기시킬 위험은 여전히 존재한다. 상기 바람직한 실시예에 따라 구획 부분을 서브분할함으로써, 의도하지 않은 융합은 매우 감소되고 이것은 인접한 구덩이에서의 동시 프린팅을 가능하게 한다. 게다가 이러한 하위부분사이의 비활성(inactive) 영역에서의 모든 유체(liquid) 넘침도 종료할 것이다. 이러한 융합 위험의 감소의 결과는 주어진 구획 부분이 좀더 많은 유동체를 수용할 수 있다는 것이다. 증착된 유동체의 양이 균일한 두께를 가지는 기능체(functional)를 획득하는데 중요한 파라미터이므로, 프린팅될 수 있는 유동체의 범위는 넓어진다.
이러한 서브분할은, 돌출부 앞에서 동반 부분을 사용하는 것과는 독립적으로, 본 발명 그 자체이다. 좀 더 상세한 설명을 위해, 상기 서브분할 구획 부분과 관련하여 본 출원인에 의해 동시에 출원된 출원인 관리번호 NL010237 인 유럽 특허 출원 "전자발광 디바이스 및 그 제조 방법" 을 참고한다.
전자발광 디바이스의 바람직한 실시에서는, 상기 제 1 전극층은 하나이상의 버스 전극 및 하나이상의 픽셀 전극을 포함하고, 이러한 버스 전극 또는 전극들은 상기 경감 패턴의 부분 또는 부분들에 의해 매립되어 이러한 버스 전극 또는 전극들을 제 2 전극층으로부터 전기적으로 절연시킨다.
만약 경감 패턴 부분에 의해 매립된 버스 전극이 사용된다면, 경감 패턴 부분이 이러한 목적을 수행하기 때문에 제 1 및 제 2 전극을 절연시키는데 별도의 절연층이 필요하지 않다. 구획 부분이 버스 전극을 매립하는데 편리하게 사용될 수 있다. 이 부분은 동반 양-경사 부분과 동시에 제공되므로, 절연층을 증착하는데 관련한 추가적인 단계를 피할 수 있다. 버스 전극은 픽셀 및 버스 전극이 제공될 수 있다는 장점을 가지는 픽셀 전극과 동일한 물질로 이루어진다. 대안적으로, 버스 및 픽셀 전극은 상이한 물질로 이루어질 수 있고, 이것은 각 전극 물질 부분이 특정 목적을 위해 최적화될 수 있게 한다. 예를 들면, 버스 전극은 구리 같은 고전도성 금속으로 만들어질 수 있고, 이것은 버스 전극의 폭이 좁아질 수 있게 하고 따라서 유용한 방출 영역이 최소화 될 수 있게 즉 필 인자(fill factor)가 개선되게 한다.
본 명세서에서 전술한 임의의 특정 실시예는 다른 임의의 특정 실시예와 조합되어 더 개선된 EL 디바이스를 획득할 수 있다는 것을 당업자는 인식할 것이다.
최광의로, 본 발명은 단색 또는 다중컬러 디스플레이 디바이스, 정지 화상 디스플레이, 분리된 디스플레이 디바이스 또는 수동형 또는 능동형 메트릭스 디스플레이 같은 임의의 EL 디바이스에 적용가능하다.
특정 디스플레이 유형에 따라, 제 1 및/또는 제 2 전극층은 하나이상의 공통 전극을 포함할 수 있다. 공통 전극은 하나이상의 EL 소자의 제 2 전극으로 기능한다.
일반적으로, (다중컬러) 분리된 디스플레이 디바이스에서, 적어도 제 1 또는 제 2 전극 층은 공통 전극을 포함한다.
능동형 메트릭스 디바이스에서, EL 소자는 박막 트랜지스터(TFT) 같은 능동스위칭 소자에 의해 구동된다. 일반적으로, 능동 메트릭스 디바이스는 단일 제 2(제 1) 전극을 포함하고, (제 2) 제 1 전극은 독립적으로 주소지정가능하다.
특정 실시예에서 본 발명은, 제 1 전극층으로 행 전극, 제 2 전극층으로 열 전극 및 상기 행전극과 열전극의 교차점에 형성된 독립적으로 주소지정가능한 전자발광 영역을 포함하는 수동형 메트릭스 디바이스이고, 스트립의 형태로 상기 열전극사이에 그리고 열전극을 따라서 연장하는 돌출부 및 상기 돌출부를 따라 연장하고 상기 돌출부로부터 일정거리 떨어져서 설치된 동반 양-경사 늑골 부분(rib section)을 포함하는, 전자발광 디바이스와 관련된다.
수동형 메트릭스 디바이스의 특정 실시예에서, 돌출부는 스트립의 형태로 제공된 제 2 전극의 열 전극을 패터닝시키는데 사용된다. 따라서, 상기 돌출부는 전체 디스플레이 영역에 걸쳐서 연장하고 상기 모세관은 먼 거리에 걸쳐 유동체를 효율적으로 흡수하여 전송하고, 동반 부분의 제공은 이 실시예에서 특히 유익하다.
본 발명에 따른 EL 디바이스는 디스플레이 목적의 브라이트니스를 제공하는데 낮은 전압만이 필요하고/하거나 작은 량의 전력을 소비하므로, 본 EL 디바이스는, 선택적으로 인터넷 접속 또는 (비디오) 화상의 표시를 필요로 하는 다른 서비스가 제공되는 랩탑 컴퓨터, 팜탑 컴퓨터, 개인용 조작기, 이동 전화 같은, 건전지 동작 및/또는 이동용, 특히 휴대용 전자 장비의 디스플레이에 적절하다. 본 EL 디바이스는 인터넷 데이터 및 화상 데이터가 비디오 속도로 디스플레이될 수 있게 한다.
또다른 양상에서, 따라서 본 발명은 본 발명에 따른 EL 디바이스가 제공된,이동 전화 같은 건전지-동작 및/또는 휴대용 전자 디바이스와 관련된다.
또다른 양상에서, 본 발명은 EL 디바이스를 제조하는 방법에 관련된다. 이러한 방법은 습식 증착법을 사용하여 기능층 또는 상기 기능층중 적어도 하나를 증착하는 단계를 포함한다.
돌출부의 존재는 본 발명에 따른 방법으로하여금, 습식 증착법을 사용한 기능층 또는 기능층들을 제공하는 단계와 결합된, 상기 돌출부에 의해 제 2 전극층을 패터닝하는 단계를 포함하게 한다. 본 명세서에서 전술한 바와 같이, 본 방법 단계의 상기 조합은 전술한 유형의 동반 부분을 가지는 디바이스를 제공함으로써 가능해진다.
전형적인 실시예에서, 본 발명에 따른 방법은,
- 기판을 제공하는 단계;
- 제 1 전극을 제공하는 단계;
- 제 2 전극층을 패터닝하기 위한 적어도 하나의 돌출부 및 상기 돌출부에서 떨어져 직립된, 상기 돌출부를 따라 연장하는 동반 양-경사진 부분을 포함하는 경감 패턴을 제공하는 단계;
- 습식 증착법에 의해 하나이상의 기능층들을 제공하는 단계로서, 기능층이 획득가능한 유동체는 적어도 전자발광 영역이 형성되어져야 할 영역에 증착되고 이에 따라 증착된 유동체가 기능층으로 변환되고, 특정 단계에서 유동체가 상기 동반 부분에 의해 정지되도록 유동체가 증착되는, 하나이상의 기능층들을 제공하는 단계; 및
상기 경감 패턴의 돌출부에 의해 패터닝된 제 2 전극층을 제공하는 단계를 포함한다.
적절한 제 1 및 제 2 전극층, 기능층 및 경감 패턴의 예는 이미 위에서 전술되었다.
개별적으로, EL 디바이스를 제조하는데 필요한 방법의 단계들 각각은 종래 기술이며 당업자에게 널리 알려져 있다. 예를 들면, 만약 요구된다면, 경감 패턴은 포토리소그래피를 사용하여, 만약 필요하다면 연속적으로 다양한 포토리소그래픽 단계를 수행함으로써 편리하게 제조될 수 있다. 전술한 본 발명에 따른 EL 디바이스의 다양한 실시예들을 제조하는 방법에 관하여는 당업자에게 충분히 자명할 것이다.
습식 증착 기술의 사용은 기능적 물질 또는 그 위의 선행(precursor) 물질을 함유하는 유동체를 선택적으로 또는 비선택적으로 증착하고, 상기 유동체를 기능층 물질로 변환하는 단계를 포함한다. 본 발명의 문맥에서, 유동체는 압력하에서 흐를수 있는 임의의 변형가능한 덩어리를 의미하고, 현탁액(suspension), 용액, 디스펄전(dispersion), 페이스트(paste), 잉크, 라커, 유제(emulsion), 졸 등을 포함한다.
유동층이 증착된 이후, 그것은 기능층으로 변환된다. 이러한 변환은, 만약 필요하다면 비활성 대기중에서, 상기 유동체를 증가되거나 감소된 온도, 증가되거나 감소된 압력, 및/또는 방사에 노출시키는 단계를 포함할 수 있다. 바람직하게, 이러한 변환은 증가된 온도에서 수행된다.
만약 기능층 물질이 그러한 유동체 층에서와 같이 존재한다면, 용매 및/또는 다른 휘발성 요소를 증발시키기에 충분하다. 만약 유동체 층이 기능적 물질의 선행 물질을 함유한다면, 이러한 변환은 또한 화학적 반응을 포함한다. 화학분야의 당업자에게 알려진 화학 반응은 풍부하여 적절한 선행 물질이 도출될 수 있다. 바람직한 선행 물질은 상기 변환중에 제거된 잔여 계열(leaving group)을 포함한다.
유동체 층은 추가적인 물질을 포함할 수 있다. 이러한 물질은 예를 들면, 점성도, (점)탄성도, 접촉각 및/또는 습윤성 같은 그것의 유동학적 특성을 조절하는 물질이다. 습기 작용제 또는 내-습기 작용제, 레벨링(leveling) 작용제, 계면 활성제, 두께 강화(thicking) 작용제, 희석액 등이 첨가될 수 있다.
적절한 습식 증착법은 스핀-코팅, 망-코팅(web-coating), 닥터 블레이드(doctor blade), 스프레이-코팅, 롤러-코팅, 커튼-코팅, 딥(dip)-코팅, 페인팅 또는 캐스팅을 포함한다. 선택적 습식 증착 기술은 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 오프셋 프린팅, 플렉소(flexo)-프린팅, 리소그래피 및 탐폰(tampon) 프린팅 같은 프린팅 방법을 포함한다.
본 발명에 따른 바람직한 방법에서, 잉크젯 프린팅은 습식 증착법으로 사용된다.
본 명세서에서 잉크젯 프린팅이라는 용어는 잉크 방울로 구성된 분사 또는 연속적 분사{분배(dispensing)라고도 언급됨)를 사용하는 잉크젯 프린팅을 포함한다. 생산량 및/또는 상대적인 정렬의 정확도를 증가시키기 위해, 다중-노즐 잉크젯 프린팅 헤드를 사용하는 것이 바람직하다.
잉크젯 프린팅의 바람직한 방법에서, 잉크젯 프린팅은 일정한 주파수로 수행되고, 잉크젯 프린팅 헤드는 일정한 속도로 기판에 대해 이동되어 그 결과 기판상에 동일한 간격으로 일련의 잉크 방울들이 증착되며, 경감 패턴 부분을 교차할 때 프린팅은 중단되지 않는다. 이러한 잉크 방울의 간격은 증착 직후에 잉크 방울이 합쳐져서 중단되지 않는 유동체 라인을 형성하도록 정해진다. 이러한 바람직한 방법은, 정렬에 대한 정확도는 오직 한가지 방향 즉 잉크젯이 이동되는 방향에 직각 방향으로만 달성될 필요가 있다는 이점을 가진다. 잉크젯 헤드 방향에서 본 방법은 자기-정렬된다. 또한, 라인에서 연속적인 프린팅은 잉크젯 헤드의 출발 및 정지의 횟수를 최소화시키고 이에 따라 프린팅 공정의 생산 시간 및 신뢰도를 증가시킨다.
잉크젯 프린팅의 대안적인 바람직한 방법은 잉크 방울을 요구하는대로 이동시키는 단계를 포함한다. 상세하게, 잉크젯 프린팅은 경감 패턴 부분을 교차할 때 중단된다. 이 실시예는 2개의 독립적인 방향의 정렬이 요구된다는 단점을 가지지만, 더 복잡한 패턴이 프린팅될 수 있다는 이점을 가지고, 이것은 완전-컬러 디바이스 같은 다중-컬러 디바이스에 특히 유용하다.
전극층을 패터닝시키기 위한 돌출부를 가지는 경감 패턴을 포함하는 EL 디바이스의 대안적인 실시예에서, 모세관 작용의 문제는 돌출부보다 넓은 받침 부분상에 돌출부를 제공함으로써 그리고 EL 디바이스의 층이 획득되어야 할 유동체를 고정시킬 수 있는 뾰족한 에지를 구비한 상기 받침 부분(pedestal section)을 제공함으로써 해결될 수 있고, 여기서 상기 뾰족한 에지는 돌출부를 지지하는 받침 부분의 상부 표면 및 돌출부에 의해 형성되는 모세관 채널로부터 떨어져서 그리고 평행하게 진행한다. 만약 유동체가 이러한 받침 부분에 인접하여 증착된다면, 이 유동체는 퍼져서 상기 받침 부분을 기어올라간다. 특정 양의 액체가 공급된 후에, 이러한 유동체는 뾰족한 에지에 도달할 것이다. 만약 좀더 많은 액체가 인가된다면, 앞의 액체(liquid front)는 상기 받침 부분의 뾰족한 에지상에 고정되어 남아있을 것이고, 즉 앞의 액체가 상기 뾰족한 에지를 넘어서 진행하여 모세관 채널에 도달하지 않을 것이다. 따라서, 모세관 채널을 따라서는 어떤 유동체의 전송도 발생하지 않는다. 만약 뾰적한 에지의 하부 영역이 상기 받침 부분의 측 표면으로 언급되고 상부 영역이 상단 표면으로 언급된다면, 액체 표면이 상단 표면과 이루는 각도가 받침 부분의 표면과 이루는 액체의 정적 습기 접촉각(static wetting contact angle)보다 작을때마다 이러한 뾰족한 에지는 고정되게 된다. 뾰족한 에지 고정의 관련 파라미터는, 받침 부분의 표면을 이루는 물질의 습윤 특성, 액체 높이 및 받침 높이이다. 모세관 유동체 전송을 방지하기 위해 뾰족 에지를 가진 받침 부분을 사용하는 것은 본 발명의 임의의 다른 양상과 결합하거나 독립적으로 적용될 수 있는 조치이다.
본 발명의 또다른 양상, 좀더 상세하게 본 발명의 다른 양상과 독립적으로 적용될 수 있는 양상은, EL 디바이스의 전극층 특히 캐소드 층을 패터닝하기위한 돌출부을 가지는 경감 패턴을 포함하는 (다중-컬러) EL 디바이스에 관한 것이다. EL 디바이스는 돌출 경감 패턴 부분을 따라 그리고 그사이에 잉크젯 프린팅된 EL 물질을 가진다. 이러한 EL 디바이스는 돌출부의 다른쪽 면에 상이한 EL 물질을 가짐으로써 다중-컬러 또는 완전-컬러로 된다. 돌출부을 따라 및 그사이에 EL 물질을증착함으로써, 돌출부는 잉크젯된 유동체를 함유하는 기능을 한다. 일반적으로, 잉크젯된 유동체에서의 EL 물질의 낮은 농도 때문에, 돌출부사이에 잉크젯된 유동체의 층두께는 돌출부의 높이보다 훨씬 크다. 만약 돌출부의 상단 표면이 유동체에 비해 우수한 습윤 특성을 가진다면, 유동체는 상기 상단 표면상에 퍼질 것이다. 실험과 계산에 따르면, 이것은 상단 표면에 대한 유동체의 접촉각이 상단 표면에 대한 유동체의 앞서는(advancing) 접촉각보다 더 클 때마다 발생한다. 이러한 퍼짐이 돌출부의 어느 한 쪽 면에 증착된 유동체에 의해 발생한다면, 색 혼합이 발생하고 균일한 층 형성이 방해 받을 것이다. 비균일 층 형성 때문에, 이러한 문제는 EL 층에 한정되는 것이 아니라 모든 습식-증착된 층의 형성에도 해당된다. 상단 표면의 가습에 의해 발생하는 색 혼합 및 비균일 층 형성의 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따라서, 돌출부의 어느 한 쪽 측면에 증착되어질 유동체는 동시에 증착되는 것이 아니라 순차적으로 증착되어져서, 다른 쪽 유동체가 건조된 후에만 한 쪽 유동체가 증착된다. 대안적인 실시예에서, 돌출부의 상단 표면에는 오목 영역에 의해 분리된 2개의 상승된 영역을 가지는 경감 구조가 제공되는데, 이 중 첫 번째 상승된 영역은 돌출부의 제 1 측면상에 증착된 액체를 고정시키도록 적응되고, 두 번째 상승된 영역은 돌출부의 상기 제 2 측면- 상기 제 1 측면의 반대 면에 증착되는 액체를 고정시키도록 적응된다. 상승된 영역은 오목 영역에 의해 분리되므로, 유동체의 합쳐짐이 더 이상 발생하지 않거나 적어도 이러한 합쳐짐이 발생하기 전에 더 많은 양이 증착될 수 있다.
경감 구조된 상단 표면을 가지는 돌출 경감 패턴의 실시예는 이러한 상단 표면의 경계를 따라 봉우리-형상의 융기부가 제공되는 상단 표면을 가지는 돌출부을 포함한다. 이러한 봉우리는 돌출부와 분리된 구조이거나 이와 통합된 부분일 수 있다.
본 발명의 이러한 및 다른 양상은 이하 설명하는 실시예를 참조하여 더욱 명백해지고 분명해질 것이다.
도 1 은 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 1 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2 는 도 1에 도시된 EL 디바이스의 제조 단계를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
제 1 실시예의 도 1 및 도 2를 참조하면, EL 디바이스(1)인 수동형 매트릭스 디바이스는 기판(3), 행전극의 제 1전극층(5) 및 열전극을 포함하는 제 2 전극층(11)을 포함한다. 기능층은 전극층(5 및11)사이에 배치되는데, 제 1 기능층은 패터닝된 전하 전송/주입 층(7)의 형태로, 제 2 기능층은 부분(9R 및 9G)을 포함하는 패터닝된 전자발광층의 형태로 배치된다.
독립적으로 주소지정가능한 전자발광 영역(21)이 행전극(5)와 열전극(11)의교차점에 형성되고, 상기 영역은 전극층(5 및 11)의 겹침 영역 즉 전하 전송층(7) 및 전자발광 부분(9R 및 9G)에 의해 한정된다.
경감 패턴(17)은 스트립의 형태로 전극층(11)의 열전극사이 및 그를 따라 연장하는 돌출부(13), 및 상기 돌출부(13)과 일정한 거리를 두고 세워지고 그를 따라 연장하는 동반 양-경사 늑골 부분(15)를 포함한다. 돌출부(13)는 제 2 전극층(11)을 패터닝하는 기능을 하여 그 구성 열 전극들이 상호 전기적으로 절연되게 한다. 도 2를 참조하면, 돌출부(13)의 에지(13a)는 돌출부(13)를 지지하는 표면(19a)과 상호동작하여 V자형의 채널(23)을 형성한다. 채널(23)의 V자 형상 때문에, 채널(23)은 유동체를 효율적으로 흡수하여 전송할 수 있는 모세관으로 기능한다.
모세관 채널(23)을 따라 유동체가 흡수 및 전송되는 것, 및/또는 유동체가 증착되야할 영역에 인접한 전자발광 영역(21) 같은 원하지 않는 영역으로 유동체가 재증착되어 흡수 및/또는 전송되는 것을 방지하거나 적어도 저지하기 위하여, 경감 패턴(17)은 돌출부(13)에 떨어져서 직립된 동반 부분(15)을 포함한다. 동반 부분(15)은 돌출부(13) 및 EL 영역(21)의 측면을 따라 연장한다.
도 2를 참조하면, 동반 부분(15)은 EL 영역(21)의 반대 측면상에 위치한 동반 부분(15)에 의해 경계지워진(outlined) 구덩이내에 유동체가 증착되는 것을 막을 수 있다. 현재 실시예에서, 유동체(25)는 EL 디바이스(1)의 기능층(7)으로 변환 가능하다. 유동체(25) 및/또는 EL 층 (9R 및 9G) 같은 기능층이 획득되는 다른 임의의 유동층을 정지시킴으로써, 동반 부분(15)은 EL 영역(21)을 패터닝하는 기능을 하거나 이를 적어도 보조한다. 그 에지를 따라 유효한 모세관 채널의 형성을 방지하기 위해서, 동반 부분(15)은 양-경사진다.
제 1 전극층(5)과 제 2 전극층(11) 사이가 단락-회로가 되는 것을 방지하기 위해, 전기 절연층(19)가 제공된다.
EL 디바이스(1)의 예시적인 실시예는 유리 같은 방출되는 광에 투명한 물질로 이루어진 기판(3) 및 그와 유사한 ITO 전극층 같은 투명한 제 1 전극층을 포함한다. 만약 ITO가 제 1 전극층(5)에 사용되고 EL 디바이스가 발광 다이오드 형이라면, 층(5)는 정공을 주입하는 기능을 하는 애노드 층이고, 층(7)은 PEDOT 같은 정공 전송/주입 층 일 것이다. 제 2 전극층(11) 즉 캐소드 층은 Ba/Al 이중층 같은 낮은 일함수 층이다. 경감 패턴(17) 및 절연층(19)은 포토레지스트로 이루어 진다.
예로서, 100*300 ㎛의 규격의 R, G 및 B 픽셀로 분할되는 300*300 ㎛의 RGB 픽셀을 가지는 전-컬러 EL 디바이스(1)의 예시적인 실시예가 이하와 같이 제조될 수 있다:
먼저 투명-석회 유리 기판(3)에 종래의 방식으로 패터닝된 제 1의 ITO 전극층(5)이 제공된다. 특히, 15Ω/스퀘어 150nm 두께의 ITO 층으로 코팅된 1.1 mm 두께의 탄산-석회 유리{공급자 발저스(Balzers)}로 이루어진 기판(3)이 제공되고, 이러한 ITO 층은 종래의 방식으로 290 ㎛ 폭의 라인과 10 ㎛ 폭 공간 패턴으로 패턴되어, 애노드로 기능하는 행 전극의 형태로 제 1 전극을 포함하는 제 1 전극층(5)을 획득한다.
제 1 포토리소그래픽 단계에서, 상기 기판상에 포토레지스트를 스피닝(spin)하고, 마스크를 사용하여 스피닝된(spun-on) 레지스트를 노광시키고, 이러한 노광된 레지스트를 표준 현상제(developer)에서 현상시킴으로써, 60㎛의 폭과 0.5㎛의 두께를 가진 절연 스트립(19)이 생성된다. 층(19)이 추가적인 포토리소그래픽 단계에 저항성을 갖추게하기 위해 포토레지스트 층(19)은 강하게 구워진다(hard-baked).
그 후 경감 패턴(17)이 두 개의 별도의 포토리소그래픽 단계에서 제공된다.첫 번째 단계에서, 양-경사 부분(15)이 종래의 포토레지스트를 사용하여 제공되고, 그 후 이 부분은 강하게 구워져서 부분(15)가 부분(13)을 제공하는 공정에 대해 저항성을 갖추게 된다. 부분(15)은 10㎛의 폭과 3㎛의 두께의 스트립으로 형성된다. 또한, 부분(15)이 만곡된 횡단면(transverse profile)을 가질 것이 필요하다면, 부분(15)은 레지스트로하여금 유동성을 가지게 할 정도의 온도와 기간으로 강하게 구워져서 물방울 형상의 단면을 형성한다. 경감 패턴 영역(15)은 만곡되어 제 2 전극이 부분(15)와 교차할 때 의도하지 않게 전기적으로 절연되는 위험을 감소시킨다.
경감 패턴(17)을 제공하는 제 2 포토리소그래픽 단계에서, 돌출 경감 부분(13)이 형성된다. 그러한 돌출부를 제조하는 방법은 종래에 많이 존재한다. 하나는화상 역전 포토레지스트 AZ5218-e(공급자 AZ Hoechst)의 층을 1000rpm으로 스핀-코팅(spin -coat)하는 것이다. 이 포토레지스트는 32 mJ/㎠ 의 투여량(dose) 부근(40㎛ 갭)의 마스크를 사용하여 패턴-방식으로 노광되고, 400mJ/㎠의 투여량으로 투광(flood) 노광되고, 45도의 음-경사를 획득하는데 충분한 시간동안 1:1 의 AZ 현상제:중성화된-수성(deionized-water) 현상제를 사용하여 현상되고, 15분동안 섭씨 100도에서 사후-구워진다. 그 결과 역전된 사다리꼴형상을 가지고 그 두께가 3㎛인 돌출부(13)가 형성된다.
전하 전송 층(7)은 폴리-3,4-에틸렌디옥시티오핀, PEDOT, (Baytron P, 공급자 Bayer AG)의 3% 질량의 수성 용액을 직선으로, 그리고 경감 패턴의 부분(13 및 17)에 대해 직각 방향으로 증착시킴으로써 잉크젯 프린팅된다. PEDOT 층이 획득되는 유동체에 대한 전극층(5)의 습윤성은 전술한 바대로 잉크젯된 유동체의 이웃하는 라인들이 합쳐지지 않도록 선택된다. 대안적으로, 습윤성이 이웃하는 라인이 합쳐지지 않도록 선택된다면, 사용된 PEDOT의 고유 저항은 이웃하는 애노드(5)사이의 누설 전류를 감소시키기 위해 가능한 한 높게 선택된다.
잉크젯 프린팅은 본질적으로 2개의 상이한 방식으로 수행될 수 있다. 이점과 관련하여, 일반적으로 유동체(25)의 (최대)두께는 경감 패턴(17)의 높이 보다 훨씬 크다는 것을 유의하여야 한다는 것은 흥미로운 사실이다.
잉크젯 프린팅의 제 1 실시예에서, 잉크 방울의 분배는 경감 패턴(17) 부분을 교차할 때 중단되고, 잉크 방울은 동일한 전자발광 영역(21)에 접경하는 동반 부분(15)에 의해 한정되는 구덩이에만 증착된다. 이것은 돌출부(13)과 동반 부분(15)사이의 영역에는 어떠한 유동체도 증착되지 않고, 모세관 채널(23)의 효과는 유효하게 억제된다는 이점을 가진다. 잉크젯 헤드가 2개의 독립적인 방향 즉, 분사기(jet)가 움직이는 방향 및 이에 수직인 방향으로 정확하게 정렬된다는 것이 불리한 점(down side)이다. 움직이는 방향으로, 동일한 전체 개수의 잉크 방울이 각각의 모든 구덩이에 증착되어야 한다.
잉크젯 프린팅의 제 2 실시예에서, 잉크 방울의 분배(dispensing)는 경감 패턴(17) 부분을 교차할 때 중단되지 않는다. 잉크 방울은 충분히 가깝게 프린팅되어 잉크 방울이 합쳐져서, 적어도 합쳐진 후에 즉시, 중단되지 않은 부분(13 및 15)을 교차하는, 연속적인 유동체 라인을 형성한다. 따라서 정렬의 정확성은 잉크젯 헤드가 움직이는 방향에 직각 방향으로만 요구된다. 그러나, 경감 패턴을 교차할 때 중단되지 않음으로써, 유동체는 돌출부(13)과 동반 부분(15) 각각 사이에 있는 영역에 가능하게 증착될 수 있다.
어떤 경우에, PEDOT를 함유하는 유동체가 증착되고 난 후에 어떤 지점에서, 증착된 유동체(25)는 동반 부분(15)에 의해 정지된다. 부분(15)상에 고정된 채로 남아 있는 동안, 유동체는 PEDOT 층으로 변환되고, 균질의 그리고 균일한 두께의 PEDOT 층이 획득된다.
전자발광층은 별도의 부분(9R,9G)을 포함한다. 부분(9R)은 PEDOT에 대해 전술한 잉크젯 방법의 실시예 중 하나에 따라 제조된다. 특히, 일정 주파수의 노즐 릴리싱으로, 캠브리지 디스플레이 기술 회사에 의해 공급된 적색-방출 플루오린-기반 중합체인, 전자발광층 물질과 용매를 함유하는 유동체의 150 pl 방울의 분사는 돌출부(13)를 형성하는 스트립에 직각 방향으로 일정한 속도로 움직인다. 증착되는 기판에 대한 유동체의 습윤성은 유동체가 층(9G)가 증착되어야 하는 영역에 퍼지지 않도록 선택된다. 그러한 퍼짐(spreading)은 마이크로-접촉 프린팅에 의해 증착된 내-습기 스트립(anti-wet strip)을 제공함으로써 억제된다.
동반 부분(15)은 영역(9R)에 증착되고자 하는 유동체로 하여금 모세관 채널(23)에 도달하는 것을 방지하거나, 만약 이 유동체의 일부가 거기에 도달하였다면{예를 들면 잉크 분사가 경감 패턴(17)을 교차할 때 중단되지 않기 때문에}, 유동체가 층(9G)에 대응하는 영역 같은 이웃하는 광 방출 영역(21)에 풀어지는(release) 것을 방지한다. 부분(15)에 의해 고정된 유동체 층은 최대 약 10㎛의 두께를 가지고 변환 후에는 70nm 층(9R)을 생성한다.
유사하게, 녹색( 및 청색, 미도시) 방출 전자발광층(9G)이 잉크-분사된다.
전형적으로, EL 물질을 함유하는 잉크젯 용매는 질량으로 0.2 - 1.5% 크실렌 중합체를 함유하고, 약 5 mPa의 점성도를 가진다.
이미생성된 쉐도우 마스크로서 돌출부(13)를 사용하는 동안, 3nm 두께의 Ba 및 200nm 두께의 Al 층 이 연속적으로 EL 층(9R,9G)층 상단에 증착된다. 이에 따라획득된 패터닝된 Ba/Al 층은 복수의 열 전극(캐소드)를 포함하는 제 2 전극층(11)을 구성한다.
조금 변형된 실시예에서, 부분(9R)(및 9G)의 배열은 돌출부에 직각으로 연장하는 배열로 위치하지 않지만 그에 평행하게 연장한다. 이것은 잉크젯 헤드가 유동체를 분배할 때 돌출부를 교차하지 않기 때문에 잉크젯 프린팅 공정이 훨씬 더 단순해지게 한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제 2 실시예인 수동형 매트릭스 EL 디바이스(41)는 기판(3)을 가지고 그 기판(3) 위에는 행 전극의 형태인 제 1 전극층(5)이 제공된다. 디바이스(41)는 열전극의 형태인 제 2 전극층(11)을 포함한다. 전하 전송/주입층(7) 및 EL 층(9)이 전극층(5 및 11)사이에 배치된다. 전극층(5 및11)의 교차점에서, 좀더 상세하게는 전극층(5 및 11)과 층(7 및 9R 및 9G)가 각각 겹치는 영역에서, EL 영역(21)은 독립적으로 주소지정가능한 EL 소자의 형태로 형성된다.
EL 디바이스(41)는 경감 패턴(17a)을 더 포함한다. 경감 패턴(17a)은 패터닝하는 제 2 전극층(11)에 대한 돌출부(13)를 별도의 열이 되게 한다. 동반 부분(15)은 부분(13)에 일정거리 떨어져 그리고 EL 영역(21)의 측면을 따라 직립되어 위치하여, 기능층(7 및/또는 9)의 증착에 사용되는 유동체로하여금 돌출부(13)에 의해형성된 모세관 채널(23)에 도달하는 것을 방지하는 기능을 한다. 돌출부(13)는 받침 부분(15a)(pedestal section)에 의해 지지된다. 일반적으로, 받침 부분상에 돌출부를 위치시키는 것은 모세관 채널에 의한 유동체의 흡수 및/또는 전송을 방지하지 못하고 따라서 동반 부분(15)의 사용이 필수적이다. 전극층(3 및 11)사이가 단락회로가 되는 것을 방지하기 위해, 전기절연층(19)이 제공되고, 이 전기 절연층은 반드시 필수적이지는 않지만 경감 패턴(17a)의 추가적 부분으로 간주된다.
구획하는 양-경사진 경감 패턴 부분(15b)은 EL 영역(21)의 측면을 따라 배치되고 동반 부분(15)가 연장하는 측면을 따라서 배치되지 않는다. 구획 부분(15b) 및 동반 부분(15)는 함께 층(7 및 9) 같은 기능층들이 획득될 수 있는 유동체를 함유하기 위한 구덩이를 형성한다. 구획 부분(15b)은 이러한 구덩이에 증착된 유동체를 정지시키거나 고정시키는 기능을 하고, 돌출부(13)의 경도 방향으로 유동체가 퍼지는 것을 방지하거나 적어도 저지한다.
EL 영역(21)에서, 구획 부분(15b) 및 동반 부분(15)이 만난다. 이 만나는 지점에서 유동체가 경감 패턴을 기어올라가는 경향을 감소시키기 위하여, 이 만나는 지점에 의해 한정된 모서리는 만곡된다.
편리하게, 기능층(7 또는9)이 획득될 수 있는 임의의 유동체는 잉크젯 프린팅에 의해 증착된다. 명확하게, 만약 기판에 평행한 평면에서 자유롭게 이동가능한 잉크젯 헤드가 사용된다면, 기능층은 어떠한 패턴으로도 증착될 수 있고, 상기 패턴의 어떠한 분리된 영역도 임의의 순서로 프린팅될 수 있다. 그러나 만약 잉크젯 프린팅이 돌출부(13)에 평행한 방향으로 직선으로 기판에 대해 잉크젯 헤드를 이동시킴으로써 수행된다면, 정렬은 더욱 단순해지고 더욱 견고해지며(robust) 처리 시간은 더욱 증가된다. 대안적으로, 하나의 라인에서의 프린팅은 상기 부분(13)에 직각일 수 있다. 하나의 라인에 프린팅할 때, 잉크 방울의 분배는 잉크젯 헤드가 경감 패턴 부분을 교차할 때 중단되거나 중단되지 않을 수 있다.
만약 프린팅이 중단되면, 잉크는 EL 영역(21)을 윤곽지우는 구덩이에만 떨어질 것이고, 이것은 연속적인 라인 프린팅에 의해 억세스가능한 복잡한 패턴을 프린팅하는데 유익하다. 예를 들면 체커 보드(checker boarder) 또는 하니콤(honeycomb) 패턴 같은 그러한 복잡한 패턴은, 상이한 색을 방출하는 프린팅 EL 영역이 예를 들면 RGB 픽셀로부터 프린팅되어질 필요가 있을 때 다중-컬러 디스플레이에 특히 사용된다.
만약 프린팅이 중단되지 않으면, 잉크 방울은 기판상에서 충분히 서로 가깝게 위치되어 잉크 방울이 서로 합쳐져서, 경감 패턴(17a) 부분에 의해, 적어도 증착된 직후, 중단되지 않은 연속적인 유동체 라인을 형성한다. 이것은 잉크젯 헤드가 이동하는 방향에 직각 방향으로만 정렬이 필요하다는 이점을 가진다. 만약 프린팅이 부분(15)에 대해 직각이라면, 동반 부분(15)와 돌출부(13)사이의 공간에는 또한 유동체가 제공되고, 기능체 물질로 변환되었을 때는 이것은 바람직하거나 바람직하지 않다. 이 경우, 동반 부분(15)는 특히, 이 공간에 증착되고 모세관 채널(23)에 의해 이웃하는 영역(21)으로 전송된 유동체가 상기 이웃하는 EL 영역(21)으로 진입하는 것을 정지시키는 기능을 한다.
당업자는 잉크젯 프린팅이 수행될 수 있는 전술한 방식이, 본 발명의 동반부분을 사용하는 것과는 독립적으로, 그 고유의 권리로서 본 발명을 구성한다는 것을 이해하여야 한다.
경감 패턴(17a)은 먼저 동반 부분(15), 구획 부분(15b) 및 받침 부분(15a)를 증착하고, 그 후 절연 영역(19)를 증착하고 마지막으로 돌출부(13)을 증착함으로써 형성된다.
도 5 는 본 발명에 따른 EL 디바이스의 제 3 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 제 3 실시예인 EL 디바이스(61)는 경감 패턴이 형성되는 방식에 있어서만 EL 디바이스(41)와 차이가 있다. EL 디바이스(61)에서는, 동반 부분, 구획 부분, 받침 부분 및 절연 영역이 통합되어서 통합 부분(16)을 형성한다. 통합 부분은 단일한 (포토리소그래픽) 증착 단계로 증착될 수 있다. 만약 포토리소그래피를 사용하여 증착된다면, 각각의 마스크가 상호 상이한 패턴을 가지는 2개의 중첩된 반투명한 마스크 또는 적절한 그레이 레벨 마스크가 적절히 사용될 수 있다. 따라서, 돌출부(13)가 제공되고 그 결과 경감 패턴(17b)을 완성한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제 4 실시예인 EL 디바이스(81)는, 구획 부분(15c)이 동반 부분(15)을 넘어서 연장하지 않고 동반 부분(15)에서 종료된다는 점에서, EL 디바이스(41)에 비해 조금만 수정되어진다. 한쪽으로는 받침 부분(15a)을 다른 한쪽으로는 동반 부분(15) 및 구획 부분(15b)을 연결하는(bridging) 부분을 포함하지 않는 경감 패턴(17c)을 구비함으로써, EL 디바이스(41)에 비해, 유동체가 돌출부(13)의 모세관 채널(23)에 도달하는 것이 더욱더 어렵다.
도 8,9 및 10을 참조하면, 제 5 실시예인 EL 디바이스(101)는 EL디바이스(41)와 유사하지만 제 1 전극층은 상이하다. 도 8을 참조하면(제 2 전극은 미도시됨), 제 1 전극층(105)는 버스 전극(5a) 및 픽셀 전극(5b)를 구비한다. 도 10을 참조하면, 버스 전극(5a)은 경감 패턴(17a)의 구획 부분(15b)에 의해 매립되고, 그 결과 제 1 전극층(105)을 제 2 전극층(11)로부터 전기적으로 절연시킨다. 도 9를 참조하면, 버스 전극(5a)의 사용은 음-경사 부분(13)과 동반 양-경사 부분(15)사이의 영역에 전기 절연층을 제공할 필요가 제거된다.
EL 영역(21)을 따라 위치되는 것 대신에, 또한 (금속) 분로(shunt)로도 언급되는 버스 전극(5a)은 EL 영역(21)사이에 또한 위치하여 예를 들면 도 8 에서의 라인 Ⅲ-Ⅲ에서와 같이 동일한 행의 EL 영역(21)을 연결한다. 명확하게, 버스 전극과 제 2 전극층(11)사이가 단락회로가 되는 것을 방지하기 위해, 그러한 버스 전극은 경감 패턴 물질로 덮혀 있다. 바람직하게, 버스 전극은 능동 EL 영역(21)을 연결하기만하고 교차하지 않는다. 버스 전극을 EL 영역(21)사이에 배치하는 것은 EL 영역(21)의 표면 영역을 증가시키는데, 이는 도 8에서의 배치에서의 버스 전극을 매립시킬 필요가 제거되고 그 결과 이러한 목적에 사용되는 경감 패턴 부분이 그 후 좁아질 수 있기 때문이다. 그렇게 획득된 더 큰 EL 영역(21)은 잉크젯 프린팅 공정에서의 잉크 방울 위치의 정확도와 관련한 요구를 또한 감소시킨다.
도 11 을 참조하면, 경감 패턴의 배치만이 도시되는데, 제 6 실시예인 EL 디바이스(121)는 상호 별도의 하위 부분(125a 및 125b)으로 분할된 구획 부분(125)을 가진다. 하위 부분(125a 및 125b)은 동반 부분(15)과 함께 구덩이를 형성하고, 이 구덩이 내부로 층(7 및 9) 같은 기능층이 획득가능한 유동체가 증착될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 전자발광 디바이스 및 그 제조 방법에 이용가능하다.

Claims (9)

  1. 전자발광 디바이스로서,
    제 1 및 제 2 전극층,
    상기 제 1 및 제 2 전극층 사이에 배치되어 적어도 하나의 전자발광 영역을 형성하는 기능층,
    적어도 하나의 돌출부 및, 상기 돌출부에서 떨어져서 직립된, 상기 돌출부와 상기 전자발광 영역사이에 배치되고 그 측면 또는 측면들을 따라 연장하는 동반 양-경사진 부분(accompanying positive-sloped section)을 포함하는 경감 패턴(relief pattern)을 포함하는, 전자발광 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서, 절연층이 음-경사진 부분과 상기 동반 양-경사진 부분사이에 제공되고, 상기 절연층은 상기 제 1 전극층을 상기 제 2 전극층으로부터 전기적으로 절연시키는, 전자발광 디바이스.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 경감 패턴은, 상기 동반 양-경사진 부분이 연장하는 측면 또는 측면들과 다른 전자발광 영역의 측면 또는 측면들을 따라 연장하는 적어도 하나의 구획 부분(partitioning section)을 포함하는, 전자발광 디바이스.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 구획 부분은, 상기 구획 부분이 연장하는 상기 전자발광 영역의 측면 또는 측면들에 실질적으로 평행한 방향 또는 방향들을 따라, 하나이상의 상호 분리된 하위 부분을 포함하는, 전자발광 디바이스.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 전극층은 하나이상의 버스 전극 및 하나이상의 픽셀 전극을 포함하고, 상기 버스 전극 또는 전극들은 상기 경감 패턴의 부분 또는 부분들에 의해 매립되어, 상기 버스 전극 또는 전극들을 상기 제 2 전극으로부터 전기적으로 절연시키는, 전자발광 디바이스.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전자발광 디바이스는, 제 1 전극층으로서 행전극, 제 2 전극층으로서 열전극, 상기 행전극과 열전극의 교차점에 형성된 독립적으로 주소지정가능한 전자발광 영역을 포함하는 수동형 매트릭스 디스플레이 디바이스이고,
    상기 경감 패턴은, 상기 열 전극사이 및 그를 따라 연장하는 스트립 형태의 돌출부 및 상기 돌출부에 떨어져서 세워지고(set up) 그를 따라 연장하는 동반 양-경사진 늑골 부분(rib section)을 포함하는, 전자발광 디바이스.
  7. 이동 전화 같은, 건전지로 동작되고/되거나 휴대용인 전자 디바이스로서, 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 전자발광 디바이스가 제공되는, 전자 디바이스.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 전자발광 디바이스를 제조하는 방법으로서, 습식 증착법을 사용하여 기능층 또는 상기 기능층 중 적어도 하나를 증착하는 단계를 포함하는, 전자발광 디바이스 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 습식 증착법으로서 잉크젯 프린팅이 사용되는, 전자발광 디바이스 제조 방법.
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