KR200305052Y1 - Slit Type Device Nozzle for Jetting Fluid - Google Patents
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Abstract
본 고안은 몸체 내부에 길이 방향으로 형성된 버퍼 공간과 몸체의 하단에 길이 방향으로 형성된 슬릿과 버퍼 공간과 상기 슬릿을 연통시키는 연통로를 구비하며, 공급원과 통하는 입구를 통해 유입된 유체가 버퍼 공간에서 압력이 증가된 다음 슬릿을 통해 가속되어 세정 대상물의 표면으로 분사되는 유체 분사 장치에 관한 것이다. 본 고안에 따른 유체 분사 장치는 버퍼 공간으로부터 슬릿으로 안내되는 유체의 압력을 더 증가시키도록 연통로의 단면 폭보다 큰 단면 폭을 가지는 2차 버퍼 공간이 연통로의 도중에 몸체의 길이 방향으로 구비된다. 연통로의 단면 폭을 가로질러 형성되어 연통로를 통과하는 유체의 흐름 저항을 저하시키기 위한 다수의 리브가 몸체의 길이 방향을 따라 이격 설치된다. 또한, 버퍼 공간으로부터 연통로로 이동하는 유체의 흐름 저항을 저하시키기 위한 하나 이상의 격벽이 버퍼 공간에 몸체의 길이 방향을 따라 이격 설치되어 버퍼 공간을 둘 이상의 공간으로 구획하며, 입구는 구획된 각 버퍼 공간으로 동시에 유체를 공급하도록 둘 이상이 구비된다.The present invention has a buffer space formed in the longitudinal direction inside the body and a slit formed in the longitudinal direction at the bottom of the body and the buffer space and the communication path for communicating the slit, the fluid introduced through the inlet communicating with the source in the buffer space It is directed to a fluid ejection device in which pressure is increased and then accelerated through the slit to be sprayed onto the surface of the object to be cleaned. In the fluid ejection apparatus according to the present invention, a secondary buffer space having a cross-sectional width larger than the cross-sectional width of the communication path is further provided in the longitudinal direction of the body to further increase the pressure of the fluid guided from the buffer space to the slit. . A plurality of ribs, which are formed across the cross-sectional width of the communication path to reduce the flow resistance of the fluid passing through the communication path, are spaced apart along the length of the body. In addition, one or more partitions are provided in the buffer space spaced apart along the longitudinal direction of the body to reduce the flow resistance of the fluid moving from the buffer space to the communication path to partition the buffer space into two or more spaces, the inlet is divided into each buffer Two or more are provided to supply fluid to the space at the same time.
Description
본 고안은 액정표시장치(LCD), 평판디스플레이(FPD) 또는 반도체 웨이퍼 등의 기판을 세정하기 위한 장치에 관한 것이고, 구체적으로는 기판 전체에 고른 압력으로 유체를 분사할 수 있도록 노즐이 슬릿형으로 형성된 유체 분사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for cleaning a substrate, such as a liquid crystal display (LCD), a flat panel display (FPD), or a semiconductor wafer, and specifically, the nozzle is a slit type to spray the fluid at an even pressure over the entire substrate. It relates to a fluid injection device formed.
액정표시장치나 평판디스플레이 또는 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 제조하는 과정에서 기판의 표면에 기계적 또는 화학적인 처리를 가하는 공정들이 있으며, 여기에 더하여 처리된 기판의 표면을 깨끗하게 세정하는 공정이 수반된다.BACKGROUND OF THE INVENTION In the process of manufacturing a substrate such as a liquid crystal display, a flat panel display, or a semiconductor wafer, there are processes for applying a mechanical or chemical treatment to the surface of the substrate, and in addition, a process of cleanly cleaning the surface of the processed substrate is involved.
처리된 기판의 표면을 세정하는 공정은 통상적으로 순수(純水)와 같은 유체를 기판의 표면에 고압으로 분사하여 기판의 표면에 잔류하는 미세 입자나 화학 약품들을 제거하는 것에 의해 이루어진다.The process of cleaning the surface of the treated substrate is typically accomplished by spraying a fluid, such as pure water, onto the surface of the substrate at high pressure to remove fine particles or chemicals remaining on the surface of the substrate.
이와 같이 기판의 표면으로 유체를 분사하기 위한 유체 분사 장치의 대표적인 예들이 도 1 내지 도 3에 도시되어 있다. 도 1 내지 도 3에 도시된 예들은 모두 기판의 폭 전체를 한꺼번에 세정하기 위해 슬릿형으로 이루어진 유체 분사 장치들로서, 도면들에는 모두 전형적인 단면 구조가 도시되어 있다.As such, representative examples of a fluid ejection device for injecting a fluid onto the surface of the substrate are shown in FIGS. 1 to 3 are all fluid ejection devices that are slit to clean the entire width of the substrate all at once, all of which show a typical cross-sectional structure.
도 1의 예는 마름모꼴의 몸체(1) 중앙을 원통형 유체 공급관(3)이 통과하고 있는 구조를 가지고 있다. 원통형 유체 공급관(3)의 상면에 형성된 구멍들(4)을 통해 유체 공급관(3)의 유체가 몸체 내부로 공급되고, 이 유체는 원통관(3)의 양측을 거쳐 몸체(1)의 하측으로 이동되면서 가속된 다음 몸체(1)의 하단에 형성된 슬릿형 노즐(2)을 통해 기판을 향해 외부로 분사된다.The example of FIG. 1 has a structure in which a cylindrical fluid supply pipe 3 passes through the center of a lozenge body 1. Through the holes 4 formed in the upper surface of the cylindrical fluid supply pipe 3, the fluid of the fluid supply pipe 3 is supplied into the body, and the fluid passes through both sides of the cylindrical pipe 3 to the lower side of the body 1. It is accelerated as it is moved and then sprayed out toward the substrate through the slit nozzle 2 formed at the bottom of the body 1.
도 2의 예는 몸체(5)의 상부에 형성된 공급구로부터 몸체(5) 내부에 상하 방향으로 형성된 가속 공간(6)으로 유체가 공급되고, 가속 공간(6) 내에서 가속된 유체는 몸체(5)의 하단에 형성되고 가속 공간(6)과 통하는 노즐(7)을 통해 세정 대상물을 향해 외부로 분사되는 구조를 가지고 있다.In the example of FIG. 2, the fluid is supplied from the supply port formed in the upper part of the body 5 to the acceleration space 6 formed in the up and down direction inside the body 5, and the fluid accelerated in the acceleration space 6 is the body ( It is formed at the lower end of 5) and has a structure that is sprayed out toward the cleaning object through the nozzle (7) communicating with the acceleration space (6).
도 3의 예는 도 2의 예에서 나타나는 분사 유체의 압력 불균일을 해소하기 위하여 몸체(8) 내부의 공간을 통과하는 유체의 압력을 균일화하기 위한 다수의 구멍(9)을 가지는 예이다.The example of FIG. 3 is an example having a plurality of holes 9 for equalizing the pressure of the fluid passing through the space inside the body 8 to eliminate the pressure unevenness of the injection fluid shown in the example of FIG. 2.
그러나, 도 1의 예는 단면이 사각 형상으로서 크기가 크고 유체의 분사 압력이 장치 전체에서 균일하지 못한 단점이 있으며, 도 2의 예는 그 구조가 단순하기는 하지만 가속성 및 분사 압력이 낮은 단점이 있다. 그리고, 도 3의 예는 제작이 어렵고 단가가 높은 단점이 있다.However, the example of FIG. 1 has the disadvantage that the cross section is rectangular in size and the injection pressure of the fluid is not uniform throughout the apparatus. The example of FIG. 2 has the disadvantage that the acceleration and the injection pressure are low although the structure is simple. have. In addition, the example of FIG. 3 is difficult to manufacture and has a high unit cost.
상기와 같은 점을 감안하여 안출된 본 고안은 높고도 균일한 분사 압력을 얻을 수 있으면서도 비교적 구조가 간단한 슬릿형 유체 분사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention devised in view of the above point is to provide a slit fluid injector having a relatively simple structure while being able to obtain a high and uniform injection pressure.
도 1은 통상의 슬릿형 유체 분사 장치의 일예를 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view showing an example of a conventional slit fluid injection device.
도 2는 통상의 슬릿형 유체 분사 장치의 다른 예를 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view showing another example of a conventional slit fluid injector.
도 3은 통상의 슬릿형 유체 분사 장치의 또다른 예를 도시한 단면도.3 is a cross-sectional view showing yet another example of a conventional slit fluid injector.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬릿형 유체 분사 장치의 횡단면도.Figure 4 is a cross-sectional view of the slit fluid injection device according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬릿형 유체 분사 장치의 종단면도.Figure 5 is a longitudinal cross-sectional view of the slit-type fluid injector according to an embodiment of the present invention.
도 6은 도 5의 Ⅵ부분에서의 유체의 흐름을 상세하게 도시한 도면.FIG. 6 illustrates in detail the flow of fluid in section VI of FIG. 5; FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 몸체 12 : 버퍼 공간10: body 12: buffer space
13 : 입구 14 : 연통로13: entrance 14: communication path
15 : 격벽 16 : 슬릿15 bulkhead 16: slit
17 : 2차 버퍼 공간 18 : 리브17: secondary buffer space 18: rib
상기의 목적은, 몸체 내부에 길이 방향으로 형성된 버퍼 공간과 몸체의 하단에 길이 방향으로 형성된 슬릿과 버퍼 공간과 상기 슬릿을 연통시키는 연통로를 구비하며, 공급원과 통하는 입구를 통해 유입된 유체가 버퍼 공간에서 압력이 증가된 다음 슬릿을 통해 가속되어 세정 대상물의 표면으로 분사되는 유체 분사 장치에 있어서, 버퍼 공간으로부터 슬릿으로 안내되는 유체의 압력을 더 증가시키도록 연통로의 단면 폭보다 큰 단면 폭을 가지는 2차 버퍼 공간이 연통로의 도중에 몸체의 길이 방향으로 구비된 것을 특징으로 하는 본 고안에 따른 슬릿형 유체 분사 장치에 의해 달성된다.The above object has a buffer space formed in the longitudinal direction inside the body and a slit and buffer space formed in the longitudinal direction at the bottom of the body and a communication path for communicating the slit, the fluid introduced through the inlet communicating with the supply buffer In a fluid injector in which a pressure is increased in a space and then accelerated through a slit to be sprayed onto the surface of the object to be cleaned, a cross-sectional width larger than the cross-sectional width of the communication path is further increased to further increase the pressure of the fluid guided from the buffer space to the slit. Branch is achieved by the slit fluid injector according to the present invention, characterized in that the secondary buffer space is provided in the longitudinal direction of the body in the middle of the communication path.
바람직하게는, 연통로의 단면 폭을 가로질러 형성되어 연통로를 통과하는 유체의 흐름 저항을 저하시키기 위한 다수의 리브가 몸체의 길이 방향을 따라 이격 설치된다. 더 바라직하게는, 리브들은 유선형 단면을 가진다.Preferably, a plurality of ribs, which are formed across the cross-sectional width of the communication path to reduce the flow resistance of the fluid passing through the communication path, are spaced apart along the longitudinal direction of the body. More preferably, the ribs have a streamlined cross section.
또한, 버퍼 공간으로부터 연통로로 이동하는 유체의 흐름 저항을 저하시키기 위한 하나 이상의 격벽이 버퍼 공간에 몸체의 길이 방향을 따라 이격 설치되어 버퍼 공간을 둘 이상의 공간으로 구획하며, 입구는 구획된 각 버퍼 공간으로 동시에 유체를 공급하도록 둘 이상이 구비될 수도 있다. 바람직하게는, 격벽의 하단은 쐐기형으로 형성된다.In addition, one or more partitions are provided in the buffer space spaced apart along the longitudinal direction of the body to reduce the flow resistance of the fluid moving from the buffer space to the communication path to partition the buffer space into two or more spaces, the inlet is divided into each buffer Two or more may be provided to supply fluid to the space at the same time. Preferably, the lower end of the partition wall is formed in a wedge shape.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 물론, 이하의 실시예는 말 그대로 본 고안의 기술적 사상을 구현하는 하나의 예에 지나지 않으며, 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 실시예에 구애됨이 없이 첨부된 청구범위에 기재된 본 고안의 기술적 사상의 범위 내에서 얼마든지 다양하게 본 고안을 변경 실시할 수 있다는 것은 자명한 사실이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. Of course, the following embodiments are literally just one example of implementing the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be attached to the appended claims without regard to the following embodiments. It is obvious that the present invention can be modified in various ways within the scope of the technical idea of the present invention described in the scope.
도 4 및 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬릿형 유체 분사 장치를 도시한다. 본 고안의 일 실시예에 따른 슬릿형 유체 분사 장치는 세정 대상물이 이송되는 이송 경로의 상측에서 세정 대상물을 폭방향으로 가로지르도록 설치된다.4 and 5 show a slit fluid injection device according to an embodiment of the present invention. Slit-type fluid injection device according to an embodiment of the present invention is installed to cross the cleaning object in the width direction on the upper side of the transport path to which the cleaning object is transferred.
몸체(10)의 내부 상측에는 유체의 압력을 증가시키기 위한 버퍼 공간(12)이 몸체(10)의 길이 방향으로 길게 형성되어 있다. 이 버퍼 공간(12)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수의 격벽(15)에 의해 다수 개로 구획된다. 격벽들(15)은 몸체(10)의 길이 방향을 따라 버퍼 공간(12)을 구획하도록 버퍼 공간(12)의 상측벽으로부터 하방으로 연장하고 있다. 바람직하게, 격벽(15)의 하단은 하단이 뽀족하도록 쐐기 형상으로 이루어져 있다. 구획된 각각의 버퍼 공간(12)은 몸체(10)의 벽면에 형성된 다수의 입구들(13)을 통해 유체의 공급원과 연통된다. 여기서, 하나의 버퍼 공간(12)에 하나의 입구(13)가 연통하도록 구성되는 것이 바람직하다.The buffer space 12 for increasing the pressure of the fluid is formed long in the longitudinal direction of the body 10 on the inner upper side of the body 10. As shown in FIG. 5, the buffer space 12 is divided into a plurality of partition walls 15. The partitions 15 extend downward from the upper wall of the buffer space 12 to partition the buffer space 12 along the longitudinal direction of the body 10. Preferably, the lower end of the partition wall 15 is formed in a wedge shape so that the lower end is sharp. Each partitioned buffer space 12 communicates with a source of fluid through a plurality of inlets 13 formed in the wall of the body 10. Here, it is preferable that one inlet 13 communicates with one buffer space 12.
몸체(10)의 하단에는 좁은 슬릿(16)이 형성되며, 이 슬릿(16)은 연통로(14)를 통해 버퍼 공간(12)과 연통한다. 버퍼 공간(12)이 격벽들(15)에 의해 다수 개로 구획되어 있는데 비하여, 연통로(14)와 슬릿(16)은 별도로 구획되지는 않는다.A narrow slit 16 is formed at the bottom of the body 10, and the slit 16 communicates with the buffer space 12 through the communication path 14. While the buffer space 12 is partitioned into a plurality of partitions 15, the communication path 14 and the slit 16 are not partitioned separately.
연통로(14)의 도중에 2차 버퍼 공간(17)이 형성된다. 이 2차 버퍼 공간(17)은 도 2에 도시된 바와 같이, 연통로(14)의 단면 폭보다 큰 단면폭을 가지도록 형성되며, 도 3에 도시된 바와 같이 몸체(10)의 길이 방향으로 길게 형성된다.The secondary buffer space 17 is formed in the middle of the communication path 14. This secondary buffer space 17 is formed to have a cross-sectional width larger than the cross-sectional width of the communication path 14, as shown in FIG. 2, and is long in the longitudinal direction of the body 10, as shown in FIG. Is formed.
그리고, 연통로(14)의 2차 버퍼 공간(17) 상부를 따라 다수의 저항 감소용 리브(18)가 형성된다. 이 리브(18)는 각 버퍼 공간(12) 당 수 개씩 연통로(14)의 단면 폭을 가로지른다. 이 리브(18)는 버퍼 공간(12)으로부터 연통로(14)로 흐르는 유체의 흐름 저항을 감소시키기 위한 것으로서, 유선형, 바람직하게는 상하로 긴 타원형상의 단면을 가진다.A plurality of resistance reducing ribs 18 are formed along the upper portion of the secondary buffer space 17 of the communication path 14. This rib 18 traverses the cross-sectional width of the communication path 14 several by each buffer space 12. This rib 18 is for reducing the flow resistance of the fluid flowing from the buffer space 12 to the communication path 14, and has a streamlined shape, preferably an elliptical cross section that is vertically long.
바람직하게는 몸체(10)는 두 개의 판(10a, 10b)이 서로 맞대어져 볼트 또는리벳 체결되는 것에 의해 조립된다. 도면 부호 11이 두 판(10a, 10b)을 결합하기 위한 체결구다. 이 경우에 있어서, 더 바람직하게는 버퍼 공간들(12, 17)과 연통로(14) 및 슬릿(16)은 두 판(10a, 10b) 중 어느 하나의 판에만 형성된다. 이는 몸체(10)를 제조하는데 필요한 공정을 절감시킬 수 있다.Preferably, the body 10 is assembled by two plates 10a, 10b joined together to be bolted or riveted together. Reference numeral 11 is a fastener for joining the two plates (10a, 10b). In this case, more preferably the buffer spaces 12, 17 and the communication path 14 and the slit 16 are formed only in one of the two plates 10a, 10b. This can reduce the process required to manufacture the body 10.
상기와 같은 구성에 의해, 공급원으로부터 입구(13)를 통해 버퍼 공간(12)으로 공급되는 유체는 버퍼 공간에서 그 압력이 증가된 다음 연통로(14)를 통해 슬릿(16)으로 이동되고 좁은 슬릿(16)을 통과하면서 가속되어 높은 압력과 유속으로 외부, 구체적으로는 세정 대상물의 표면을 향해 분사된다. 유체는 연통로(14)를 통과하는 동안 연통로(14)의 도중에 설치된 2차 버퍼 공간(17)에서 압력이 더 증가된다.With such a configuration, the fluid supplied from the source to the buffer space 12 through the inlet 13 is increased in its pressure in the buffer space and then moved to the slit 16 through the communication path 14 and narrow slit. Accelerated while passing through (16), it is injected toward the outside, specifically, the surface of the object to be cleaned, at high pressure and flow rate. While the fluid passes through the communication path 14, the pressure is further increased in the secondary buffer space 17 installed in the middle of the communication path 14.
한편, 도 6은 도 5의 Ⅵ 부분에서의 유체의 흐름을 도시한다. 도시된 바와 같이, 격벽(15)의 양측을 따라 흐르는 유체는 격벽(15)의 하측에서 그 흐름 간격이 좁아지며, 리브(18)의 주변에서는 리브(18)의 형상을 따라 리브(18)를 우회해서 흐른다. 이러한 형태로 유체가 흐름으로써 유체의 흐름 저항이 매우 저하될 뿐만 아니라 전체적인 압력의 균일도가 높아진다.FIG. 6, on the other hand, shows the flow of fluid in part VI of FIG. As shown, the fluid flowing along both sides of the partition wall 15 has a narrow flow interval at the lower side of the partition wall 15, and the rib 18 is formed along the shape of the rib 18 around the rib 18. Bypass flows. The flow of fluid in this form not only lowers the flow resistance of the fluid very much, but also increases the uniformity of the overall pressure.
상기된 바와 같은 본 고안에 따른 슬릿형 유체 분사 장치에 의하면, 적은 양의 유체를 이용하면서도 높은 압력과 균일성으로 유체를 세정 대상물로 분사할 수 있어 세정 능력이 크게 향상된다. 뿐만 아니라 종래의 경우 평면 기판의 세정시세정 효과를 높이기 위해 기판의 폭 방향과 경사지게 분사 장치가 설치되는 것이 일반적인 바, 이러한 세정 능력의 향상으로 인해 본 고안에 다른 유체 분사 장치는 기판 폭 방향에 대한 경사각을 크게 줄일 수 있어 장치의 길이가 짧아지고 장치의 제조 비용이 절감될 수 있다.According to the slit-type fluid injector according to the present invention as described above, it is possible to inject the fluid to the cleaning object with a high pressure and uniformity while using a small amount of fluid, greatly improving the cleaning ability. In addition, in the conventional case, in order to increase the cleaning effect when cleaning a flat substrate, it is common to install an injector inclined to the width direction of the substrate. Due to the improvement of the cleaning ability, the other fluid injector according to the present invention is designed for the substrate width direction. The angle of inclination can be greatly reduced, resulting in a shorter device and lower manufacturing costs.
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- 2002-12-03 KR KR20-2002-0036074U patent/KR200305052Y1/en not_active IP Right Cessation
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