KR101941028B1 - Apparatus for jetting mixed fluid with nozzle of slit type - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 유체의 이동방향에 따라 유체의 단면적이 좁아지는 영역을 구비하는 블록부, 적어도 2이상의 서로 다른 유체를 혼합하여 제 1 혼합 유체를 생성하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 제 1 혼합부, 상기 제 1 혼합 유체와 적어도 1이상의 유체를 혼합하여 제 2 혼합 유체를 생성하고 상기 블록부 내부에 구비되는 제 2 혼합부, 슬릿(slit) 형태의 분사구를 구비하여, 상기 제 2 혼합 유체를 가상의 평면 형태로 외부에 분사하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 토출부를 포함한다.A mixed fluid injector having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention includes a block portion having a region where a cross-sectional area of a fluid is narrowed according to a moving direction of a fluid, at least two different fluids are mixed, A first mixing unit provided in the block unit, a second mixing unit provided in the block unit to mix the first mixed fluid with at least one fluid to generate a second mixed fluid, and a discharge unit provided in the block unit for spraying the second mixed fluid out in a virtual plane form.

Description

슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치{APPARATUS FOR JETTING MIXED FLUID WITH NOZZLE OF SLIT TYPE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection orifice,

본 발명은 혼합된 유체를 균일하게 분사하되, 가공이 용이한 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mixed fluid injector having a slit-type injection hole that uniformly injects a mixed fluid and is easy to process.

일반적으로 반도체 소자는 박막 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정, 세정 공정 및 연마 공정 등과 같은 다양한 단위 공정들이 반복적으로 수행되어 제조된다. In general, a semiconductor device is manufactured by repeatedly carrying out various unit processes such as a thin film deposition process, a photolithography process, an etching process, a cleaning process, and a polishing process.

특히, 세정 공정은 이들 단위 공정들을 수행할 때 반도체 기판의 표면에 잔류하는 작은 파티클(small particles) 이나 오염물(contaminants) 및 불필요한 막을 제거한다. 최근, 반도체 기판에 형성되는 패턴이 미세화됨에 따라 세정 공정의 중요도는 더욱 커지고 있다.In particular, the cleaning process removes small particles, contaminants and unnecessary film remaining on the surface of the semiconductor substrate when performing these unit processes. In recent years, as the pattern formed on the semiconductor substrate has become finer, the importance of the cleaning process has increased.

이러한 세정 공정은, 반도체 기판 상의 오염물질을 화학적 반응에 의해 식각 또는 박리시키는 화학 용액 처리 공정, 화학 용액 처리 공정에 의해 약액 처리된 반도체 웨이퍼를 순수(deionizewater; DIW)로 세척하는 린스 공정, 및 린스 처리된 반도체 웨이퍼를 건조하는 건조 공정으로 이루어진다.Such a cleaning process includes a chemical solution treatment process for etching or removing contaminants on a semiconductor substrate by a chemical reaction, a rinsing process for cleaning a semiconductor wafer treated with a chemical solution by a chemical solution treatment process with deionizewater (DIW) And a drying step of drying the processed semiconductor wafer.

일반적으로, 화학 용액 처리 공정은 약액을 공급하는 노즐을 반도체 기판의 상부에 배치시키고, 노즐은 반도체 기판의 상면에 약액을 분사하여 반도체 기판을 세척한다. 이러한 화학 용액 처리 공정은 사용된 약액에 따라 환경 오염을 유발할 수 있고, 환경 오염을 방지하기 위한 공정 등이 요구되어 세정 비용이 고가인 경우가 많다.Generally, in the chemical solution treatment process, a nozzle for supplying a chemical liquid is disposed on an upper portion of a semiconductor substrate, and a nozzle cleans the semiconductor substrate by spraying a chemical solution on an upper surface of the semiconductor substrate. Such a chemical solution treatment process can cause environmental pollution in accordance with the used chemical solution, and a process for preventing environmental pollution is required, so that the cleaning cost is often high.

한편, 이러한 화학 용액을 사용하지 않고 반도체 기판을 세정하는 기술이 개발되고 있는데, 일 예로, 순수와 스팀이 반도체 기판으로 분사되어, 세정면을 세정하는 기술이 개발되고 있다.On the other hand, a technique for cleaning a semiconductor substrate without using such a chemical solution has been developed. For example, pure water and steam are injected into a semiconductor substrate to clean a washing surface.

현재, 순수와 스팀으로 세정을 수행하는 기술은 유체를 분사하는 노즐의 구조가 복잡하여 가공이 어려운 단점이 있고, 노즐의 분사구멍의 형상에 따라 세정면이 균일하게 세정되지 않는 문제가 발생한다.At present, the technique of cleaning with pure water and steam has a disadvantage in that the structure of the nozzle for injecting the fluid is complicated and difficult to be processed, and the problem is that the washing face is not uniformly cleaned depending on the shape of the injection hole of the nozzle.

특히, 하나의 분사 장치에 복수의 분사구멍이 구비되는 경우, 해당 복수의 분사구멍이 서로 겹친 영역과 겹쳐지지 않은 영역의 세정 성능이 서로 상이할 수 있다. 그리고, 복수의 분사구멍을 구비하는 분사 장치는 내부 구조가 복잡하여 용접으로 제조되는 경우가 일반적인데, 이러한 경우 분사 장치 내부, 특히 노즐 내부에 오염이 발생된 경우, 해당 오염을 제거하기가 매우 어려운 단점이 있다.Particularly, when a plurality of injection holes are provided in one injection device, the cleaning performance of the areas where the plurality of injection holes are overlapped with each other and the areas where the plurality of injection holes are not overlapped can be different from each other. In this case, it is very difficult to remove the contamination when the inside of the injecting apparatus, especially the inside of the nozzle, is contaminated. There are disadvantages.

또한, 분사 장치는 다수의 구조체를 조립형태로 제조되는 경우, 고온 및 고압의 스팀에 의한 갭이 발생하여 조립된 구조체의 강성이 저하되고, 이로 인한 압력이 감소하여 세정효율이 감소되는 단점이 있다.In addition, when a large number of structures are manufactured in an assembled form, gaps due to high-temperature and high-pressure steam are generated, and the rigidity of the assembled structure is lowered, and the pressure due to the assembled structure is reduced, .

한편, 분사 장치를 구성하는 다수의 구조체가 조립형태로 제조되는 경우, 분사장치의 내부 세정을 위한 조립 및 해체가 어렵고, 각각 구조체의 가공비용이 상승되는 문제점이 있다. On the other hand, when a large number of structures constituting the spraying apparatus are manufactured in an assembled form, it is difficult to assemble and disassemble the spraying apparatus for internal cleaning, and the processing cost of the structure increases.

본 발명의 목적은 순수(DIW) 및 스팀(steam) 등을 포함하는 혼합 유체를 세정면에 분사하는 경우, 혼합 유체를 세정면에 균일하게 분사하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a mixed fluid jetting apparatus having a slit-type jetting port uniformly jetting a mixed fluid onto a cleaning surface when jetting a mixed fluid including pure water (DIW), steam, I have to.

본 발명의 다른 목적은 일반적인 용접식이 아닌 조립 공정으로 제작 또는 가공되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a mixed fluid ejection apparatus having a slit-type ejection orifice which is manufactured or processed by an assembly process other than a general welding process.

본 발명의 또 다른 목적은 용접으로 인한 오염이 감소되고, 내부 세정이 용이한 슬릿 형태의 분사구를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide a mixed fluid ejection apparatus having a slit-type ejection orifice including a slit-shaped ejection port with reduced contamination due to welding and easy internal cleaning.

본 발명의 또 다른 목적은 금형을 통한 대량생산과 강성유지에 적합한 조립식 구조를 가지고, 그에 따라 제조비용이 감소되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a mixed fluid ejection apparatus having a slit-type ejection orifice having a prefabricated structure suitable for mass production and rigidity maintenance through a mold, thereby reducing manufacturing costs.

본 발명의 또 다른 목적은 대면적 적용시 적어도 약 25mm 내지 3500mm까지 하나의 분사구로 세정이 가능한 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection orifice which can be cleaned with at least one ejection port of at least about 25 mm to 3500 mm when a large area is applied.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 유체의 이동방향에 따라 유체의 단면적이 좁아지는 영역을 구비하는 블록부, 적어도 2이상의 서로 다른 유체를 혼합하여 제 1 혼합 유체를 생성하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 제 1 혼합부, 상기 제 1 혼합 유체와 적어도 1이상의 유체를 혼합하여 제 2 혼합 유체를 생성하고 상기 블록부 내부에 구비되는 제 2 혼합부, 슬릿(slit) 형태의 분사구를 구비하여, 상기 제 2 혼합 유체를 가상의 평면 형태로 외부에 분사하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 토출부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a mixed fluid ejection apparatus having a slit-type ejection orifice according to an embodiment of the present invention includes a block having a region where a sectional area of a fluid is narrowed according to a moving direction of a fluid, The first mixed fluid, the first mixed fluid, and the at least one fluid are mixed to form a second mixed fluid, and the first mixed fluid, the second mixed fluid, And a discharging portion provided in the block portion, the discharging portion having a slit-shaped jetting port for spraying the second mixed fluid to the outside in a virtual plane shape.

실시 예에 있어서, 상기 블록부는 적어도 2이상의 블록을 구비하며, 상기 유체의 이동방향을 기준으로 서로 마주보는 제 1 내면과 제 2 내면으로 형성되고, 길이방향의 단면이 비대칭 형상인 혼합공간을 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the block may include at least two or more blocks and may include a mixing space having a first inner surface and a second inner surface facing each other with respect to a moving direction of the fluid, the asymmetric cross- can do.

실시 예에 있어서, 상기 제 1 내면은 상기 유체의 이동방향에 따라 판면형상을 포함할 수 있다.In an embodiment, the first inner surface may include a plate surface shape depending on a direction of movement of the fluid.

실시 예에 있어서, 상기 제 2 내면은 상기 유체의 이동방향에 따라 상기 제 1 내면으로 접근하는 경사형상을 포함할 수 있다.In an embodiment, the second inner surface may include an inclined shape that approaches the first inner surface in accordance with the direction of movement of the fluid.

실시 예에 있어서, 상기 제 1 혼합부는 상기 적어도 2 이상의 서로 다른 유체가 상기 제 2 혼합부에 도달하는 시간, 도달 경로 및 상기 제 2 혼합부에 도달하는 순간의 도달 속도 중 적어도 하나 이상을 감소시키는 적어도 하나 이상의 분산부를 포함할 수 있다.In an embodiment, the first mixing portion may reduce at least one of a time at which the at least two or more different fluids reach the second mixing portion, a reaching path, and an arrival speed at the moment of reaching the second mixing portion And may include at least one dispersing portion.

실시 예에 있어서, 상기 분산부는 상기 제 2 내면에서 이격되는 형태 또는 상기 제 2 내면과 일체로 형성되는 형태 중 적어도 하나 이상의 형태로 형성될 수 있다.In an embodiment, the dispersing portion may be formed in at least one of a shape apart from the second inner surface or a shape formed integrally with the second inner surface.

실시 예에 있어서, 상기 제 1 혼합부는 상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체를 공급하는 적어도 2이상의 유체 공급부를 포함할 수 있다.In an embodiment, the first mixing portion may include at least two fluid supplying portions for supplying the at least two or more different fluids.

실시 예에 있어서, 상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체는 압축건조공기(compressed dry air; CDA) 및 스팀을 포함하고, 상기 제1혼합 유체는 상기 압축건조공기(CDA) 및 상기 스팀이 혼합된 2류 혼상 유체를 포함할 수 있다.In an embodiment, the at least two or more different fluids include compressed dry air (CDA) and steam, and the first mixed fluid is selected from the group consisting of two streams of mixed dry air (CDA) Mixed phase fluid.

실시 예에 있어서, 상기 제2혼합부는 상기 적어도 1이상의 유체를 공급하는 적어도 1이상의 다른 유체 공급부를 포함할 수 있다.In an embodiment, the second mixing portion may include at least one or more other fluid supplying portions for supplying the at least one fluid.

실시 예에 있어서, 상기 적어도 1이상의 서로 다른 유체는 순수(deionizewater; DIW)를 포함하고, 상기 제2혼합 유체는 압축건조공기(CDA), 스팀 및 상기 순수(DIW)가 혼합된 3류 혼상 유체를 포함할 수 있다.In an embodiment, the at least one or more different fluids include deionizewater (DIW), and the second mixed fluid is a tertiary mixed fluid (CDW) mixed with compressed dry air (CDA), steam and DIW . ≪ / RTI >

실시 예에 있어서, 상기 토출부는 상기 분사구 방향으로 확관 구조를 가지는 가속유로를 포함할 수 있다.In an embodiment, the discharge portion may include an acceleration flow passage having an expanding structure in the direction of the injection port.

실시 예에 있어서, 상기 제 1 혼합부, 상기 제 2 혼합부 및 상기 토출부는 적어도 2이상의 블록에 대한 조립 공정을 통하여 동시에 형성될 수 있다.In an embodiment, the first mixing portion, the second mixing portion, and the discharging portion may be simultaneously formed through an assembling process for at least two blocks.

실시 예에 있어서, 상기 적어도 2이상의 블록은 금형을 통한 대량생산으로 제작될 수 있다.In an embodiment, the at least two blocks may be manufactured by mass production through a mold.

실시 예에 있어서, 상기 블록부는 상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체, 상기 제1혼합 유체 및 상기 적어도 1이상의 유체 중 적어도 하나 이상이 외부로 누출되지 않도록 하는 적어도 하나 이상의 차폐구성을 포함할 수 있다.In an embodiment, the block may include at least one shielding structure that prevents at least one of the at least two or more different fluids, the first mixed fluid, and the at least one fluid from leaking out.

실시 예에 있어서, 상기 슬릿의 폭은 분사 대상의 면적에 대응하여 25mm 내지 3500mm의 범위에 포함될 수 있다.In an embodiment, the width of the slit may be included in the range of 25 mm to 3500 mm corresponding to the area of the object to be ejected.

실시 예에 있어서, 상기 슬릿의 간격에 대응하여 외부로 분사되는 상기 제2혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a controller for controlling at least one of a flow rate and a flow rate of the second mixed fluid injected to the outside in correspondence to the interval of the slits.

실시 예에 있어서, 상기 제어부는 시계방향 또는 시계 반대방향으로 회전하고, 상기 슬릿의 간격은 상기 제어부의 회전에 대응하여, 증가되거나 또는 감소될 수 있다.In an embodiment, the control unit rotates clockwise or counterclockwise, and the interval of the slits may be increased or decreased corresponding to the rotation of the control unit.

실시 예에 있어서, 상기 슬릿의 간격에 대응하여, 외부로 분사되는 상기 제2혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 일정하게 유지하는 적어도 하나 이상의 유지부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, at least one or more holding portions may be provided to maintain at least one of a flow velocity and a flow rate of the second mixed fluid ejected to the outside in correspondence with the intervals of the slits.

실시 예에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 유지부는 상기 토출부를 관통하여 형성되거나 또는 상기 토출부에 삽입된 형태로 형성되며, 상기 슬릿의 간격은 상기 적어도 하나 이상의 유지부의 가로 길이에 대응하여, 일정하게 유지될 수 있다.In an exemplary embodiment, the at least one holding portion may be formed to penetrate through the discharging portion or may be inserted into the discharging portion, and the interval of the slits may be maintained to be constant in correspondence with the transverse length of the at least one holding portion .

실시 예에 있어서, 상기 블록부 외부에 구비되며, 상기 적어도 1이상의 유체를 상기 제 2 혼합부에 공급하는 블록을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a block provided outside the block and supplying the at least one fluid to the second mixer.

실시 예에 있어서, 상기 분사구 외부에 구비되며, 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부 및 적어도 하나 이상의 석션부 중 적어도 하나 이상을 더 포함하고, 상기 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부는 상기 제 2 혼합 유체 및 상기 제 2 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상이 비산되는 것을 방지하는 액체커튼을 상기 분사구 주변에 형성하고 상기 적어도 하나 이상의 석션부는 상기 제 2 혼합 유체 및 상기 제 2 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상을 흡입하여 외부로 배기하는 석션영역을 형성할 수 있다.In the embodiment, at least one of the at least one liquid curtain-forming portion and at least one suction portion, which is provided outside the jetting port, includes at least one liquid curtain-forming portion and at least one suction portion, 2 mixed fluid is sprayed to the outside to prevent at least one of the generated contaminants from being scattered, the at least one suction portion being formed at the periphery of the injection opening, A suction region for sucking at least one of the generated contaminants and discharging the contaminants to the outside can be formed.

실시 예에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부 및 상기 적어도 하나 이상의 석션부는 상기 분사구의 전단 및 후단 중 적어도 하나 이상에 위치할 수 있다.In an embodiment, the at least one liquid curtain-forming portion and the at least one suction portion may be located at least one of a front end and a rear end of the injection port.

실시 예에 있어서, 상기 석션영역과 상기 분사구의 이격된 거리는 상기 액체커튼과 상기 분사구의 이격된 거리보다 클 수 있다.In an embodiment, the distance between the suction area and the jetting port may be greater than the distance between the liquid curtain and the jetting port.

본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.The effect of the mixed fluid ejecting apparatus having the slit-type ejection orifice according to the present invention will be described as follows.

본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 순수(DIW) 및 스팀(steam) 등을 포함하는 혼합 유체를 세정면에 분사하는 경우, 혼합 유체를 세정면에 균일하게 분사할 수 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, when a mixed fluid including pure water (DIW) and steam is sprayed onto the washing surface, the mixed fluid can be uniformly sprayed onto the washing surface.

또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 일반적인 용접식이 아닌 조립 공정으로 제작 또는 가공될 수 있다.Also, according to at least one of the embodiments of the present invention, it is possible to fabricate or process the assembly process rather than a general welding process.

또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 용접으로 인한 오염이 감소되고, 내부 세정이 용이한 슬릿 형태의 분사구를 포함할 수 있다.Further, according to at least one of the embodiments of the present invention, contamination due to welding can be reduced, and a slit-shaped injection hole that facilitates internal cleaning can be included.

또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 금형을 통한 대량생산 및 강성유지에 적합한 조립식 구조를 가지고, 그에 따라 제조비용이 감소될 수 있다.Also, according to at least one of the embodiments of the present invention, it is possible to have a prefabricated structure suitable for mass production and rigidity maintenance through a mold, thereby reducing manufacturing costs.

또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 대면적 적용시 적어도 약 25mm 내지 3500mm까지 하나의 분사구로 세정이 가능할 수 있다.Also, according to at least one of the embodiments of the present invention, when large area is applied, it can be cleaned by at least one jet opening from about 25 mm to 3500 mm.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 일면을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 다른 일면에서 바라본 단면을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 분해한 사시도를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 사시도에서 혼합 유체가 분사되는 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 단면에서 혼합 유체가 형성되는 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에서, 혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 제어하는 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에서 혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 일정하게 유지하는 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7의 예에서, 혼합 유체의 흐름(stream)을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에서 액체커튼형성부 및 석션부를 포함하는 예를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing one embodiment of a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of another embodiment of a mixed fluid ejection apparatus having a slit-type ejection orifice according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view of a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
4 is a view showing an example in which a mixed fluid is injected in a perspective view of a mixed fluid injector having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing an example in which a mixed fluid is formed in a cross section of a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a view showing an example of controlling at least one of a flow velocity and a flow rate of a mixed fluid in a mixed fluid injection device having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view showing an example in which at least one of a flow rate and a flow rate of a mixed fluid is constantly maintained in a mixed fluid injection device having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a view showing a stream of mixed fluid in the example of Fig. 7; Fig.
9 is a view showing an example in which a liquid curtain forming unit and a suction unit are included in a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals are used to designate identical or similar elements, and redundant description thereof will be omitted. The suffix "module" and " part "for the components used in the following description are given or mixed in consideration of ease of specification, and do not have their own meaning or role. In the following description of the embodiments of the present invention, a detailed description of related arts will be omitted when it is determined that the gist of the embodiments disclosed herein may be blurred. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. , ≪ / RTI > equivalents, and alternatives.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinals, such as first, second, etc., may be used to describe various elements, but the elements are not limited to these terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

다만, 이하의 도 1 내지 도 9를 통하여 설명되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는, 본 발명에 따른 특징적인 기능을 소개함에 있어서, 필요한 구성요소만이 도시된 것으로서, 그 외 다양한 구성요소가 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에 포함될 수 있음은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 자명하다.However, the mixed fluid injector having the slit-type injection port described with reference to FIGS. 1 to 9 will be described with respect to only the necessary components in introducing the characteristic functions according to the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that the element may be included in a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection opening.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 일면을 나타내는 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 다른 일면에서 바라본 단면을 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing one embodiment of a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view of another embodiment of a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection orifice according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 블록부(110)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 블록부(110)는 혼합부(120), 토출부(130)를 포함할수 있으며, 혼합부(120)는 제 1 혼합부(121) 및 제 2 혼합부(122)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening may include a block 110. The block unit 110 may include a mixing unit 120 and a discharging unit 130. The mixing unit 120 may include a first mixing unit 121 and a second mixing unit 122. [ have.

먼저, 블록부(110)는 유체의 이동방향에 따라 유체의 단면적이 좁아지는 영역을 구비할 수 있다. 이를 위해서, 적어도 2이상의 블록을 구비하며, 유체의 이동방향을 기준으로 서로 마주보는 제 1 내면(111)과 제 2 내면(112)이 형성 될 수 있다. 이때, 길이방향의 단면이 비대칭 형상인 혼합공간을 형성할 수 있다. 여기서, 유체의 단면적은 혼합공간일 수 있으며, 혼합공간은 제 1 혼합부(121) 및 제 2 혼합부(122)일수 있다.First, the block 110 may have a region where the cross-sectional area of the fluid is narrowed according to the moving direction of the fluid. For this purpose, a first inner surface 111 and a second inner surface 112, which have at least two blocks and are opposed to each other with respect to the moving direction of the fluid, may be formed. At this time, a mixed space having an asymmetrical cross section in the longitudinal direction can be formed. Here, the cross-sectional area of the fluid may be a mixing space, and the mixing space may be a first mixing portion 121 and a second mixing portion 122.

이때, 제 1 내면(111)은 유체의 이동방향에 따라 판면형상을 포함할 수 있으며, 제 2 내면(112)은 유체의 이동 방향에 따라 제 1 내면(111)으로 접근하는 경사형상을 포함할 수 있다.At this time, the first inner surface 111 may include a plate shape according to the moving direction of the fluid, and the second inner surface 112 may include an inclined shape approaching the first inner surface 111 according to the moving direction of the fluid .

블록부(110) 내부에 형성된 혼합공간은 서로 다른 유체를 혼합할 수 있다. The mixing space formed inside the block 110 may mix different fluids.

이를 위해서, 제1 혼합부(121)는 서로 다른 유체를 공급받을 수 있는 제 1 유체공급부(150) 및 제 2 유체공급부(160)를 포함할 수 있다.For this purpose, the first mixing unit 121 may include a first fluid supply unit 150 and a second fluid supply unit 160 that can receive different fluids.

그 결과, 제 1 유체공급부(150) 및 제 2 유체공급부(160)로부터 공급되는 서로 다른 2개의 유체는 혼합공간에서 서로 혼합될 수 있게 된다.As a result, the two different fluids supplied from the first fluid supply part 150 and the second fluid supply part 160 can be mixed with each other in the mixing space.

특히, 본 발명에 따르면 제 1 유체공급부(150) 및 제 2 유체공급부(160)로부터 공급되는 서로 다른 2 개의 유체는 압축건조공기(compressed dry air; CDA) 및 스팀을 포함할 수 있다. 이러한 경우 혼합공간(113)에는 압축건조공기(CDA)와 스팀이 혼합된 제 1 혼합유체(2 류 혼상 유체 : CDA + steam)가 수용되게 된다.Particularly, according to the present invention, two different fluids supplied from the first fluid supply part 150 and the second fluid supply part 160 may include compressed dry air (CDA) and steam. In this case, the first mixed fluid (second-phase mixed fluid: CDA + steam) mixed with compressed dry air (CDA) and steam is accommodated in the mixing space 113.

그리고, 본 발명에 따른 제 1 혼합부(121)는 혼합공간 내부에 분산부(115)를 포함할 수 있다. 여기서, 분산부(115)는 제 2 내면(112)에서 이격되는 형태 또는 제 2 내면(112)과 일체로 형성되는 형태 중 적어도 하나 이상의 형태로 형성될 수 있다.The first mixing unit 121 according to the present invention may include a dispersion unit 115 in the mixing space. Here, the dispersion part 115 may be formed in at least one of a shape separated from the second inner surface 112 or a shape formed integrally with the second inner surface 112.

다시 말해, 분산부(115)는 혼합공간에서 제 1 혼합부(121)의 임의의 위치에 형성될 수 있다.In other words, the dispersion portion 115 may be formed at any position of the first mixing portion 121 in the mixing space.

그 결과, 혼합공간 상부에서 공급되어 혼합되는 혼합 유체(2 류 혼상 유체)가 혼합공간의 하부에 위치한 제 2 혼합부(122) 에 균일하게(일정하게) 공급될 수 있도록 한다. 또한, 분산부(115)는 적어도 2이상의 서로 다른 유체가 제 2 혼합부(122)에 도달하는 시간, 도달 경로 및 제 2 혼합부(122)에 도달하는 순간의 도달 속도 중 적어도 하나 이상을 감소시킬 수 있다.As a result, the mixed fluid (second-phase mixed fluid) supplied and mixed at the upper portion of the mixing space can be uniformly (uniformly) supplied to the second mixing portion 122 located at the lower portion of the mixing space. The dispersion unit 115 also reduces at least one of the time at which at least two or more different fluids reach the second mixing unit 122, the arrival path, and the arrival velocity at the moment when the second fluid reaches the second mixing unit 122 .

제 2 혼합부(122)는 적어도 2이상의 서로 다른 유체를 혼합할 수 있다. 구체적으로, 제 2 혼합부(122)는 블록부(110)에 의해 제 1 혼합부(121)에서 혼합된 제 1 혼합유체(2류 혼상 유체)를 공급받을 수 있다. 그리고, 제 2 혼합부(122)는 공급된 제 1 혼합유체(2류 혼상 유체)와 혼합되는 또 다른 유체를 공급받을 수 있는 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)를 포함할 수 있다. The second mixing portion 122 may mix at least two or more different fluids. Specifically, the second mixing unit 122 may receive the first mixed fluid (the second mixed fluid) mixed in the first mixing unit 121 by the block unit 110. The second mixing portion 122 may include a third fluid supply portion 170 and an introduction portion 140 that can receive another fluid to be mixed with the supplied first mixing fluid .

여기서, 제 2 혼합부(122)에 또 다른 하나의 유체를 공급하는 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)가 포함된 예를 나타내고 있다. 그러나, 이는 설명의 편의를 위한 하나의 일 예일 뿐이며, 본 발명에 따른 제 2 혼합부(122)가 1개의 제 3 유체공급부(170) 및 1개의 도입부(140)만을 포함하는 것으로 한정되지 않음은 당업자에게 자명할 것이다.Here, the third mixing unit 122 includes the third fluid supply unit 170 and the introduction unit 140 for supplying another fluid. However, this is only one example for convenience of explanation, and the second mixing portion 122 according to the present invention is not limited to including only one third fluid supply portion 170 and one introduction portion 140, Will be apparent to those skilled in the art.

그 결과, 제 1 혼합부(121)로부터 공급되는 제 1 혼합 유체(2류 혼상 유체)와 제 3 유체 공급부(170) 및 도입부(140)를 통하여 공급되는 또 다른 유체는 제 2 혼합부(122)에서 서로 혼합되어 체류할 수 있게 된다.As a result, the first mixed fluid (second-phase mixed fluid) supplied from the first mixing portion 121 and another fluid supplied through the third fluid supply portion 170 and the introduction portion 140 are supplied to the second mixing portion 122 So that they can mix and stay together.

특히, 본 발명에 따르면 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)를 통하여 공급되는 또 다른 유체는 순수(DIW)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제 2 혼합부(122)에는 압축건조공기(CDA), 스팀 및 순수(DIW)가 혼합된 제 2 혼합유체(3류 혼상 유체 : CDA + steam + DIW)가 수용되게 된다.In particular, according to the present invention, another fluid supplied through the third fluid supply part 170 and the introduction part 140 may include pure water DIW. In this case, a second mixed fluid (third-class mixed fluid: CDA + steam + DIW) in which compressed dry air (CDA), steam, and DIW are mixed is received in the second mixed portion 122.

토출부(130)는 블록부(110)에 의해 제 2 혼합부(122)와 물리적으로 연결되어, 제 2 혼합부(122)에 수용 또는 체류된 제 2 혼합유체(3류 혼상 유체)가 슬릿 타입의 분사구를 통하여 외부로 분사되도록 한다. 또한, 토출부(130)는 분사구 방향으로 확관 구조를 가지는 가속 유로를 포함할 수 있으며, 이와 개별적으로 연결되는 복수의 분사 구멍을 포함할 수 있다. The discharge portion 130 is physically connected to the second mixing portion 122 by the block portion 110 so that the second mixed fluid (third-class mixed fluid) accommodated or held in the second mixing portion 122 flows into the slit Type injection port. In addition, the discharge portion 130 may include an acceleration passage having an expanding structure in the direction of the injection port, and may include a plurality of injection holes individually connected to the acceleration passage.

이하 설명에서는 제 1 유체공급부가 압축건조공기를 포함하며, 제 2 유체공급부가 스팀을 포함하고, 제 3 유체공급부가 순수를 포함하는 예를 구체적으로 설명한다. 또한, 제 1 혼합유체는 2류 혼상 유체를 포함하고, 제 2 혼합유체는 3류 혼상 유체를 포함한다. 그러나 이는 설명의 편의를 위한 하나의 일 예일 뿐이며, 본 발명에 따른 액체와 기체가 순수 및 스팀으로 한정되지 않음은 당업자에게 자명할 것이다.In the following description, examples in which the first fluid supply section includes compressed dry air, the second fluid supply section includes steam, and the third fluid supply section includes pure water will be described in detail. Further, the first mixed fluid includes a second-phase mixed fluid and the second mixed fluid includes a third-order mixed fluid. However, this is only one example for convenience of explanation, and it will be apparent to those skilled in the art that the liquid and gas according to the present invention are not limited to pure water and steam.

도 2 에 도시된 바와 같이, 블록부(110)는 외부의 공급부(미도시) 및 공급라인(미도시)과 연결되어 제 1 유체공급부(150) 및 제 2 유체공급부(160)로부터 압축건조공기 및 스팀을 제 1 혼합부(121)로 제공받게 된다. 그리고, 제 1 혼합부(121)에서 압축건조공기와 스팀이 혼합되어 2류 혼상 유체가 생성된다.2, the block 110 is connected to an external supply unit (not shown) and a supply line (not shown) to supply compressed dry air (not shown) from the first fluid supply unit 150 and the second fluid supply unit 160, And steam are supplied to the first mixer 121. Then, the compressed dry air and steam are mixed in the first mixer 121 to produce a second-phase mixed fluid.

이때, 제 1 유체공급부(150) 및 제 2 유체공급부(160)에서 공급되는 유체가 분산부(115)에 도달한 경우, 서로 다른 2 개의 유체의 입장에서 해당 분산부(115)는 진행 방향에 존재하는 장애물이 되고, 해당 장애물로 인해서 서로 다른 2 개의 유체가 제 2 혼합부(122)로 도달하는 시간 및 도달하는 경로는 증가하게 된다.At this time, when the fluid supplied from the first fluid supply part 150 and the second fluid supply part 160 reaches the dispersion part 115, the dispersion part 115 is moved in the advancing direction Becomes an existing obstacle, and due to the obstacle, the time at which two different fluids reach the second mixing portion 122 and the route to reach are increased.

그리고, 서로 다른 2 개의 유체가 제 2 혼합부(122)에 도달하는 순간의 속도도 감소하게 된다. The speed at which the two different fluids reach the second mixing portion 122 also decreases.

즉, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 분산부(113)로 인해 제 1 혼합부(121)에서 혼합된 2 류 혼상 유체가 제 2 혼합부(122)에 균일하게 공급되는 효과를 얻을 수 있게 된다.That is, in the mixed fluid injection device having the slit-type injection nozzle according to the present invention, the mixed fluid injected from the first mixing portion 121 is uniformly supplied to the second mixing portion 122 due to the dispersion portion 113 The effect can be obtained.

이때, 2류 혼상 유체는 제 2 혼합부로 공급되어, 블록부(110) 외부와 연결된 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)를 통해 제 2 혼합부(122)에 순수를 공급 받게 된다.At this time, the second-phase mixed fluid is supplied to the second mixing portion, and pure water is supplied to the second mixing portion 122 through the third fluid supply portion 170 and the introduction portion 140 connected to the outside of the block portion 110.

그 결과, 제 2 혼합부에서는 2류 혼상 유체와 순수가 혼합되어 3류 혼상 유체가 생성된다.As a result, in the second mixing section, the second-type mixed fluid and the pure water are mixed to produce a third-type mixed fluid.

그리고, 3류 혼상 유체는 토출부로 공급되어 슬릿타입의 분사구를 통해 외부로 분사된다.Then, the tertiary mixed fluid is supplied to the discharge portion and is injected to the outside through the slit-type injection port.

일 예로, 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치는 3류 혼상 유체가 외부로 분사될 때의 유속 증가를 위해서, 토출부의 길이가 약 100mm 내지 300mm에 해당하도록 제작될 수 있다. 이와 같이 토출부의 길이가 길어지는 경우, 토출부 또는 분사구멍의 가공이 쉽지 않게 된다. 구체적으로, 분사구멍은 일반 가공이 아닌 와이어방전 가공으로 형성될 수 있는데, 이러한 가공으로 소요되는 제조 비용은 결코 적지 않다.For example, a mixed fluid injector having a plurality of injection holes may be manufactured so that the length of the discharge portion corresponds to about 100 mm to 300 mm in order to increase the flow rate when the tertiary mixed fluid is injected to the outside. As described above, when the length of the discharge portion is long, it is difficult to process the discharge portion or the injection hole. Specifically, the injection hole can be formed by wire discharge machining instead of ordinary machining, and the manufacturing cost required for such machining is never small.

그러나, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 금형을 통한 대량생산에 적합한 조립식 구조로 제작되어 와이어방전 가공이 아닌 일반 가공 및 조립을 위한 체결구조를 통하여 토출부 또는 슬릿 타입의 분사구를 형성할 수 있다.However, the mixed fluid injection device having a slit-type injection nozzle according to the present invention is manufactured in a prefabricated structure suitable for mass production through a mold, and is not a wire discharging process, but a discharge or slit type So that the jetting port can be formed.

이와 관련된 구체적인 설명은 도 3을 통하여 계속한다.A detailed description thereof will be continued through FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 분해한 사시도를 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a perspective view of a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

도 3를 참조하면, 앞서 도 1 및 도 2를 통하여 설명된 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 개별 구성들을 보다 구체적으로 확인할 수 있다.Referring to FIG. 3, the individual configurations of the mixed fluid ejecting apparatus having the slit-type ejection orifice according to the present invention described above with reference to FIGS. 1 and 2 can be more specifically confirmed.

먼저, 제 1 혼합부(121), 제 2 혼합부(122) 및 토출부(130)는 도 3에 도시된 바와 같이 복수의 구성요소(311, 312, 313)가 조립되어 형성될 수 있다. 이때, 복수의 구성요소는 블록일 수 있으며, 블록 간의 차폐를 위한 구성요소일 수 도 있다.3, the first mixing unit 121, the second mixing unit 122, and the discharging unit 130 may be formed by assembling a plurality of components 311, 312, and 313. At this time, the plurality of components may be a block, and may be a component for shielding between blocks.

구체적으로, 블록부(110)의 상면부와 측면부 모두를 형성하는 제 1 블럭(311)은 차폐구성(312)을 통하여 제 2 블럭(313)와 물리적으로 연결되어, 그 내부에 제 1 혼합부(121), 제 2 혼합부(122) 및 토출부(130)를 구비할 수 있게 된다. 그리고, 제 1 혼합부(121)는 제 2 혼합부(122)의 상부에 형성되며, 내부에 분산부(115)를 포함할 수 있다. 여기서, 분산부(315)는 제 1 블럭(311)의 내측 상면과 물리적으로 연결되어 고정될 수 있다. Specifically, the first block 311 forming both the top and side portions of the block 110 is physically connected to the second block 313 through the shielding structure 312, The first mixing unit 121, the second mixing unit 122, and the discharging unit 130. The first mixing unit 121 may be formed on the second mixing unit 122 and may include a dispersion unit 115 therein. Here, the dispersing unit 315 may be physically connected to and fixed to the inner upper surface of the first block 311.

그리고, 제 1 유체공급부(320) 및 제 2 유체공급부(330)는 다른 차폐구성(321, 331)을 통하여 제 1 블록(311)의 상면부와 물리적으로 연결되어, 앞서 설명한 압축건조공기(CDA)와 스팀을 제 1 혼합부(111)에 공급할 수 있다.The first fluid supply part 320 and the second fluid supply part 330 are physically connected to the upper surface part of the first block 311 through the other shielding structures 321 and 331 so that the compressed dry air CDA And steam can be supplied to the first mixing portion 111. [

또한, 제 2 혼합부(122)는 앞서 설명한 복수의 구성요소(311, 312, 313)가 조립되어 토출부(130)의 상단에 형성될 수 있다. 그리고, 제 2 혼합부(122)가 제 1 혼합부(121)에서 생성된 2류 혼상 유체를 공급받을 수 있음은 앞서 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 같다.The second mixing portion 122 may be formed at the upper end of the discharge portion 130 by assembling the plurality of components 311, 312, and 313 described above. The second mixing unit 122 can be supplied with the second-phase mixed fluid generated in the first mixing unit 121 as described above with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

이와 함께, 제 2 혼합부(122)는 제 3 유체공급부(317) 및 도입부(316)를 통하여, 또 다른 유체를 공급받을 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 도입부(316)는 차폐구성(314)을 통하여 제 2 블록(313)의 측면과 연결되어 또 다른 유체를 제 2 혼합부(122)에 공급하게 된다.In addition, the second mixing portion 122 can receive another fluid through the third fluid supply portion 317 and the introduction portion 316. 3, the introduction part 316 is connected to the side surface of the second block 313 through the shielding structure 314 to supply another fluid to the second mixing part 122.

즉, 본 발명에 따르면 제 2 혼합부(122)는 압축건조공기(CDA), 스팀 및 순수(DIW)가 혼합된 3류 혼상 유체(CDA + steam + DIW)를 수용할 수 있게 된다.That is, according to the present invention, the second mixing portion 122 can accommodate a tertiary mixed fluid (CDA + steam + DIW) mixed with compressed dry air (CDA), steam, and DIW.

그리고, 토출부(130) 역시 앞서 설명한 복수의 구성요소(311, 312, 313)가 조립되어 제 2 혼합부(122)의 하단에 형성될 수 있다. 그리고 토출부(130)는 제 2 혼합부(122)에 수용된 3류 혼상 유체가 외부로 분사될 수 있도록 한다.The discharging unit 130 may also be formed at the lower end of the second mixing unit 122 by assembling the plurality of components 311, 312, and 313 described above. The discharging unit 130 allows the third-type mixed fluid contained in the second mixing unit 122 to be ejected to the outside.

구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이 토출부(130)는 복수의 구성요소(311, 312, 313)의 조립으로 내부에 넓은 평면 형상을 가지는 하나의 가속유로를 포함할 수 있다. 여기서, 넓은 평면 형상을 가지는 하나의 가속유로는 제 2 혼합부(122)와 슬릿 타입의 분사구를 연통시킬 수 있고, 그 결과, 3류 혼상 유체는 증가된 유속으로 슬릿 타입의 분사구를 통하여 외부로 분사될 수 있다.3, the discharge unit 130 may include one acceleration passage having a wide planar shape inside the assembly of the plurality of components 311, 312, and 313. Here, one accelerating passage having a wide planar shape can make the second mixing portion 122 and the slit-type injection orifice communicate with each other. As a result, the three-way mixed fluid can flow to the outside through the slit- Can be sprayed.

결국, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 토출부(130)는 슬릿 타입의 분사구를 통하여, 3류 혼상 유체를 외부로 분사하기 때문에, 타겟이 되는 세정면에 3류 혼상 유체가 균일하게 분사될 수 있다.As a result, the discharge portion 130 of the mixed fluid injection device having the slit-type injection hole according to the present invention injects the tertiary mixed fluid out through the slit-type injection hole, The fluid can be uniformly injected.

또한, 앞서 설명한 바와 같이 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치는 확관 구조를 가지는 가속유로의 가공이 쉽지 않다. 구체적으로, 지름이 1mm에서 3mm로 증가하는 확관 구조의 경우, 길이가 1500mm(5G glass)인 세정면에 적용될 경우 약 160개의 분사구멍이 필요하게 되다. 여기서, 약 160개의 분사구멍 및 그에 대응되는 160개의 가속유로는 와이어방전으로 형성하게 되는데 소요되는 비용은 고가이다. Further, as described above, it is not easy to process an acceleration flow path having an expanded structure in the mixed fluid injection device having a plurality of injection holes. Specifically, in the case of an enlarged structure having a diameter increasing from 1 mm to 3 mm, about 160 injection holes are required when applied to a front face having a length of 1500 mm (5 G glass). Here, about 160 injection holes and corresponding 160 acceleration paths are formed by wire discharge, which is expensive.

이에 반해, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 도 3에 도시된 복수의 구성요소(311, 312, 313, 314, 315, 316, 317, 320, 321, 330, 331)의 조립을 통하여 형성될 수 있다. 특히, 토출부(130)에 포함되는 가속유로는 2개의 구성요소(311, 313)의 조립으로 형성될 수 있다. In contrast, the mixed fluid ejecting apparatus having the slit type ejection orifice according to the present invention has a plurality of components 311, 312, 313, 314, 315, 316, 317, 320, 321, 330, As shown in Fig. In particular, the acceleration flow path included in the discharge portion 130 can be formed by assembling the two components 311 and 313.

그리고, 이러한 조립을 위한 복수의 구성요소(311, 312, 313, 314, 315, 316, 317, 320, 321, 330, 331)는 금형을 통한 대량생산으로 제작될 수 있어, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 기존의 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치에 비해 제조에 소요되는 비용의 감소를 가능하게 한다. 이러한 조립식 구조는 생산량 증가에도 지대한 영향을 미치게 된다.The plurality of components 311, 312, 313, 314, 315, 316, 317, 320, 321, 330, 331 for the assembly can be manufactured by mass production through a mold, Type injection nozzle allows a reduction in the manufacturing cost compared to the conventional mixed fluid injection device having a plurality of injection holes. This prefabricated structure has a great influence on the increase of production.

또한, 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치가 대면적을 가지는 세정면에 적용되는 경우, 분사구멍이 연속적으로 배열되어야 하고, 이를 위해서 여러 개의 혼합 유체 분사 장치가 대면적을 가지는 세정면에 적용되어야 하고, 여러 개의 혼합 유체 분사 장치의 연결을 위한 브라켓 등의 부가적인 구성요소가 필요하다.In addition, when the mixed fluid ejection apparatus having a plurality of ejection holes is applied to a washing face having a large area, the injection holes must be continuously arranged. To this end, several mixed fluid ejection apparatuses are applied to the washing face having a large area And additional components such as a bracket for connection of a plurality of mixed fluid ejection devices are required.

이에 반해, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 조립 공정으로 제작 또는 가공되기 때문에, 대면적 적용시 길이가 약 3500mm 인 세정면에 적용될 경우에도 하나의 분사구로 세정을 수행할 수 있다. On the other hand, since the mixed fluid injection device having the slit-type injection hole according to the present invention is fabricated or processed in the assembling process, even when applied to a front surface having a length of about 3500 mm when applying a large area, .

결국, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 기존의 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치에 비해 여러 개의 혼합 유체 분사 장치의 연결을 위한 브라켓 등의 부가적인 구성요소의 간소화가 가능하고, 그에 따라 경량화 역시 가능하게 된다. As a result, the mixed fluid injector having the slit-type injection hole according to the present invention is advantageous in that it is possible to simplify additional components such as a bracket for connection of a plurality of mixed fluid injectors as compared with a mixed fluid injector having a plurality of conventional injection holes And it is possible to reduce the weight accordingly.

이와 더불어, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 조립 공정으로 제작 또는 가공되기 때문에, 용접으로 인한 오염의 최소화 또는 오염 발생의 감소가 가능하다. 그리고, 오염이 발생된 경우에도 조립의 역순으로 분해할 수 있기 때문에 내부 세정이 용이하게 된다.In addition, since the mixed fluid injection device having the slit-type injection hole according to the present invention is manufactured or processed in the assembling process, it is possible to minimize the contamination caused by welding or to reduce the occurrence of contamination. Even in the case of contamination, it is possible to disassemble in the reverse order of assembly, so that internal cleaning is facilitated.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 사시도에서 혼합 유체가 분사되는 예를 나타내는 도면이다.4 is a view showing an example in which a mixed fluid is injected in a perspective view of a mixed fluid injector having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 제 1 혼합부(121), 제 2 혼합부(122), 토출부(130), 도입부(140), 제 1 유체공급부(150), 제 2 유체공급부(160) 및 제 3 유체공급부(170)를 포함할 수 있다. 이러한 구성들은 앞서 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 같으므로, 중복되는 설명은 생략한다.4, the mixed fluid injection device having a slit-type injection port includes a first mixing part 121, a second mixing part 122, a discharge part 130, an introduction part 140, a first fluid supply part 150 ), A second fluid supply unit 160, and a third fluid supply unit 170. These configurations are the same as those described above with reference to FIG. 1 to FIG. 3, so duplicate descriptions are omitted.

도 4에 도시된 토출부(130)를 살펴보면, 토출부(130)의 하단으로 혼합 유체가 분사(131)되는 것을 확인할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 토출부(130)의 하면에 구비되는 분사구의 형상이 슬릿 형상이기 때문에, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 압축건조공기(CDA), 스팀 및 순수(DIW)가 혼합된 3류 혼상 유체(CDA + steam + DIW)를 넓은 평면 형상으로 외부로 분사할 수 있게 된다.Referring to FIG. 4, it can be seen that the mixed fluid 131 is injected to the lower end of the discharging unit 130. As described above, since the shape of the ejection orifice provided on the lower surface of the ejection portion 130 is slit-shaped, the mixed fluid ejection apparatus having the slit type ejection opening according to the present invention is capable of ejecting compressed air (CDA) (CDA + steam + DIW) mixed with DIW can be jetted out in a wide plane shape.

도 5 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 단면에서 혼합 유체가 형성되는 예를 나타내는 도면이다.5 is a view showing an example in which a mixed fluid is formed in a cross section of a mixed fluid ejecting apparatus having a slit type ejection opening according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 도 4에서 도시된 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치를 가운데를 기준으로 세로 방향으로 자른 단면을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 5, the cross-section of the mixed fluid injector having the slit-type injection port shown in FIG.

한편, 도 5에 도시된 구성 중 제 1 혼합부(121) 및 제 2 혼합부(122), 토출부(130), 도입부(140), 제 1 유체공급부(150), 제 2 유체공급부(160), 제 3 유체공급부(170) 및 분산부(115)는 앞서 도 1 내지 도 4에서 설명한 바와 같으므로, 중복되는 설명은 생략한다.5, the first mixing portion 121 and the second mixing portion 122, the discharging portion 130, the introducing portion 140, the first fluid supplying portion 150, the second fluid supplying portion 160 ), The third fluid supply unit 170, and the dispersion unit 115 are the same as those described with reference to FIGS. 1 to 4, and thus a duplicate description will be omitted.

도 5에 도시된 구성 중 제 2 혼합부(122) 및 제 2 혼합부(122) 하단에 형성되는 슬릿 간격(180)이 포함되는 영역(A)을 구체적으로 살펴보면, 제 1 혼합부(121)에 혼합되어 체류하는 2류 혼상 유체(151, 161)는 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)를 통하여 공급되는 또 다른 유체와 서로 혼합될 수 있다. 5, a region A including the slit interval 180 formed at the lower ends of the second mixing portion 122 and the second mixing portion 122 may be more specifically a first mixing portion 121, The mixed fluid 151 and 161 may be mixed with another fluid supplied through the third fluid supply part 170 and the introduction part 140. [

구체적인 예로, 2류 혼상 유체가 압축건조공기(CDA)와 스팀이 혼합된 2류 혼상 유체(CDA + steam)이고, 제 3 유체공급부(170) 및 도입부(140)를 통하여 공급되는 또 다른 유체가 순수(DIW)인 경우, 이들이 모두 혼합되는 3류 혼상 유체(CDA + steam + DIW)는 압축건조공기(CDA), 스팀 및 순수(DIW)를 포함할 수 있게 된다.As a concrete example, it is assumed that the second-type mixed fluid is a binary mixed fluid (CDA + steam) in which compressed dry air (CDA) and steam are mixed, and another fluid supplied through the third fluid supplying portion 170 and the introducing portion 140 In the case of pure water (DIW), a tertiary mixed fluid (CDA + steam + DIW) in which they are all mixed can contain compressed dry air (CDA), steam and pure water (DIW).

그리고, 이렇게 혼합된 3류 혼상 유체는 제 2 혼합부(122) 하단에 형성되는 슬릿 간격(180)을 통하여 유속 및 유량이 제어되어, 토출부(130) 하단에 구비되는 슬릿 타입의 분사구를 통하여 세정면으로 분사되게 된다.The mixed fluid of the third-class mixed fluid is controlled in flow rate and flow rate through the slit interval 180 formed at the lower end of the second mixing section 122, and flows through a slit-type injection port provided at the lower end of the discharge section 130 And sprayed to the front face.

한편, 혼합 유체의 유속 및 유량을 제어하는 슬릿 간격(180)은 미리 결정되거나 또는 필요에 따라 변화될 수 있다. 이에 대한 구체적인 설명은 도 6 내지 8을 통하여 계속한다.On the other hand, the slit interval 180 for controlling the flow rate and the flow rate of the mixed fluid may be predetermined or may be changed as required. A detailed description thereof will be continued through FIGS.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에서, 혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 제어하는 예를 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a view showing an example of controlling at least one of a flow velocity and a flow rate of a mixed fluid in a mixed fluid injection device having a slit-type injection hole according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 6을 참조하면, 세정면에 분사되는 혼합 유체의 유속 및 유속 중 적어도 하나 이상이 가변되는 예를 확인할 수 있다. 이를 위해서, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 슬릿 간격(180)을 제어하는 제어부(410)를 포함할 수 있다.First, referring to FIG. 6, it can be seen that at least one of the flow velocity and the flow velocity of the mixed fluid sprayed on the clean surface is variable. To this end, the mixed fluid ejection apparatus having the slit-type ejection orifice according to the present invention may include a control unit 410 for controlling the slit interval 180.

구체적으로, 도 6에 도시된 바와 같이 제어부(410)는 기계적인 구성으로 구현될 수 있는데, 도 6은 설명의 편의를 위한 일 예를 나타내는 것으로, 본 발명에 포함되는 제어부(410)가 도 6의 구성으로 한정되는 것은 아니다.6, the controller 410 may be implemented by a mechanical structure. FIG. 6 illustrates an example for convenience of explanation. The controller 410 included in the present invention is shown in FIG. 6 The present invention is not limited thereto.

제어부(410)는 앞서 도 3을 통하여 설명된 복수의 구성요소 중 토출부(130)를 형성하는 제 1 블록(311)과 제 2 블록(313)을 관통하여 형성될 수 있다. 구체적으로, 제어부(410)는 시계방향 또는 시계 반대방향으로 회전(420)할 수 있으며, 제어부(410)의 회전(420)에 대응하여 슬릿 간격(180)은 증가(430)되거나 또는 감소(440)될 수 있다.The control unit 410 may be formed through the first block 311 and the second block 313 forming the discharge unit 130 among the plurality of components described above with reference to FIG. The controller 410 may rotate clockwise or counterclockwise 420 and the slit interval 180 may increase 430 or decrease 440 according to the rotation 420 of the controller 410. [ ).

결국, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 확관 구조를 가지는 가속유로의 시작영역이 되는 슬릿 간격(180)을 제어함으로써, 세정면에 분사되는 혼합 유체의 유속 또는 유속을 필요에 따라 제어할 수 있게 된다. 이러한 제어부 및 그에 따른 효과는 기존의 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치에서는 얻을 수 없음은 자명하다.As a result, the mixed fluid injector having the slit-type injection nozzle according to the present invention controls the slit interval 180, which is the start region of the acceleration flow passage having the enlarged structure, so that the flow velocity or the flow velocity of the mixed fluid sprayed onto the slit- As shown in FIG. It is obvious that such a control unit and its effect can not be obtained by a conventional mixed fluid injection apparatus having a plurality of injection holes.

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치에서, 혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 일정하게 유지하는 예를 나타내는 도면이다.7 is a view showing an example in which at least one of a flow rate and a flow rate of a mixed fluid is kept constant in a mixed fluid injection device having a slit type injection hole according to an embodiment of the present invention.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 대면적을 가지는 세정면에 적용될 수 있는데, 세정되어야 하는 대상인 기판 등의 크기가 증가하면, 그에 따라 슬릿의 폭 또한 증가되어야 한다. 구체적으로, 길이가 약 3500mm 인 세정면에 적용될 경우 혼합 유체가 분사되는 유속 및 유량을 결정하는 슬릿 간격(180)은 길이 방향으로 일정하게 유지될 필요가 있다.As described above, the mixed fluid ejecting apparatus having the slit-type ejection orifice according to the present invention can be applied to a washing surface having a large area. When the size of a substrate or the like to be cleaned is increased, . Specifically, when applied to a clean surface having a length of about 3500 mm, the slit interval 180, which determines the flow rate and flow rate through which the mixed fluid is injected, needs to be kept constant in the longitudinal direction.

먼저, 도 7을 참조하면, 세정면에 분사되는 혼합 유체의 유속 및 유속이 일정하게 유지되는 예를 확인할 수 있다. 이를 위해서, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 슬릿 간격(180)을 일정하게 유지하는 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520) 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.First, referring to FIG. 7, it can be seen that the flow velocity and the flow velocity of the mixed fluid sprayed on the clean surface are kept constant. To this end, the mixed fluid ejection apparatus having the slit-type ejection orifice according to the present invention includes at least one of a first retaining portion 510 and a second retaining portion 520 that maintains the slit interval 180 constant .

구체적으로, 도 7에 도시된 바와 같이 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520)는 기계적인 구성으로 구현될 수 있는데, 도 7은 설명의 편의를 위한 일 예를 나타내는 것으로, 본 발명에 포함되는 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520)가 도 7의 구성으로 한정되는 것은 아니다.7, the first holding part 510 and the second holding part 520 may be realized by a mechanical structure. FIG. 7 shows an example for convenience of explanation. The first holding portion 510 and the second holding portion 520 included in the invention are not limited to the configuration of FIG.

제 1 유지부(510)는 앞서 도 3을 통하여 설명된 복수의 구성요소 중 토출부(130)를 형성하는 제 1 블록(311)과 제 2 블록(313)을 관통하여 형성될 수 있다. 구체적으로, 제 1 유지부(510)는 토출부(130)를 형성하는 제 1 블록(311) 및 제 2 블록(313)에 고정될 수 있으며, 제 1 유지부(510)의 가로 길이에 대응하여 슬릿 간격(180)은 일정하게 유지될 수 있다.The first holding part 510 may be formed through the first block 311 and the second block 313 forming the discharging part 130 among the plurality of constituent elements described above with reference to FIG. Specifically, the first holding part 510 may be fixed to the first block 311 and the second block 313 forming the discharge part 130, and may correspond to the lateral length of the first holding part 510 So that the slit interval 180 can be kept constant.

제 2 유지부(520)는 앞서 도 3을 통하여 설명된 복수의 구성요소 중 토출부(130)를 형성하는 제 1 블록(311) 및 제 2 블록(313) 사이에 삽입된 형태로 형성될 수 있다. 일정하게 유지되는 슬릿 간격(180)은 앞서 설명한 제 1 유지부(510)와 마찬가지로, 제 2 유지부(520)의 가로 길이에 대응되게 된다.The second holding part 520 may be formed to be inserted between the first block 311 and the second block 313 forming the discharging part 130 among the plurality of constituent elements described above with reference to FIG. have. The slit interval 180 maintained constant is made to correspond to the transverse length of the second holding portion 520, similarly to the first holding portion 510 described above.

결국, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 확관 구조를 가지는 가속유로의 시작영역이 되는 슬릭 간격(780)을 일정하게 유지함으로써, 세정면에 분사되는 혼합 유체의 유속 및 유속을 일정하게 유지할 수 있게 된다. 대면적을 가지는 세정면에 적용되는 이러한 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520) 및 그에 따른 효과는 기존의 복수의 분사구멍을 가지는 혼합 유체 분사 장치에서는 얻을 수 없음은 자명하다.As a result, the mixed fluid injector having the slit-type injection hole according to the present invention maintains the slick spacing 780, which is the starting region of the acceleration flow passage having an enlarged structure, so that the flow velocity and the flow velocity Can be kept constant. It is obvious that the first holding portion 510 and the second holding portion 520 and the effect thereof applied to the cleaning face having a large area can not be obtained in the mixed fluid ejection apparatus having a plurality of conventional ejection holes.

도 8은 도 7의 예에서, 혼합 유체의 흐름(stream)을 나타내는 도면이다.Fig. 8 is a view showing a stream of mixed fluid in the example of Fig. 7; Fig.

도 8을 참조하면, 가속유로의 일 영역에 형성되는 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520) 및 그에 따른 3류 혼상 유체의 흐름(B)을 확인할 수 있다. 구체적으로, 3류 혼상 유체의 입장에서 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520)는 장애물이 될 수 있지만, 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520)의 외형이 완만한 원형 또는 정확한 원형에 구비되는 호(arc)인 경우, 제 1 유지부(510) 및 제 2 유지부(520)는 3류 혼상 유체의 흐름(B)에 큰 영향을 미치지 않는다.Referring to FIG. 8, the first holding part 510 and the second holding part 520 formed in one region of the acceleration passage and the flow (B) of the tertiary mixed fluid according to the first holding part 510 and the second holding part 520 can be confirmed. Specifically, the first holding part 510 and the second holding part 520 may be obstacles in the presence of the tertiary mixed fluid, but the outer shape of the first holding part 510 and the second holding part 520 may be The first holding portion 510 and the second holding portion 520 do not greatly affect the flow B of the tertiary mixed fluid in the case of an arc having a gentle circular shape or an accurate circular shape.

이러한 원리는 도 6의 예에도 유사하게 적용될 수 있음은 자명하다.It is apparent that this principle can be similarly applied to the example of FIG.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 액체커튼부 및 석션부를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치의 단면을 나타내는 도면이다.9 is a cross-sectional view of a mixed fluid ejection apparatus having a slit type ejection orifice including a liquid curtain portion and a suction portion according to another embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치(100)는 분사구(131) 외부에 구비되는 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부(600) 및 적어도 하나 이상의 석션부(700)를 포함할 수 있다.9, a mixed fluid injection device 100 having a slit-type injection hole according to the present invention includes at least one liquid curtain forming part 600 provided outside the injection hole 131, (700).

구체적으로, 적어도 하나 이상의 액체커튼부(600) 및 적어도 하나 이상의 석션부(700)는 분사구(131)의 진행방향으로, 분사구(131)의 전단 및 후단 중 적어도 하나 이상에 위치할 수 있다. The at least one liquid curtain portion 600 and the at least one suction portion 700 may be located at least one of the front end and the rear end of the injection port 131 in the traveling direction of the injection port 131. [

이때, 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부(600)는 3류 혼합 유체 및 3류 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상이 비산되는 것을 방지하는 액체커튼을 분사구(131) 주변에 형성할 수 있다. 이는 세정공정 수행 시 3류 혼합 유체가 외부로 분사될 경우, 세정을 위한 기판에 고압으로 분사되어 오염물이 압력에 의해 비산하는 것을 방지하게 된다.At least one liquid curtain forming part 600 forms a liquid curtain around the jetting port 131 to prevent scattering of at least one of the contaminants generated by the jetting of the third-type mixed fluid and the third- can do. This is because when the mixed fluid of the third flow is ejected to the outside during the cleaning process, it is sprayed to the substrate for cleaning at a high pressure to prevent the contaminants from scattering due to the pressure.

그리고, 적어도 하나 이상의 석션부(700)는 3류 혼합 유체 및 3류 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상을 흡입하여 외부로 배기하는 석션영역을 형성할 수 있다.At least one suction part 700 may form a suction area for sucking at least one of the pollutants generated by spraying the third-type mixed fluid and the third-type mixed fluid to the outside and exhausting the pollutants to the outside.

이때, 석션영역과 분사구의 거리는 액체커튼과 분사구의 이격된 거리보다 클 수 있다.At this time, the distance between the suction area and the ejection opening may be larger than the distance between the liquid curtain and the ejection opening.

도 9를 참조하면, 적어도 하나 이상의 석션부(700)는 석션후드(710) 및 배기관(720)을 더 포함할 수 있다. 또한, 석션부(700)는 석션후드(710) 내부에서 석션영역이 형성될 수 있으며, 석션후드(710)는 외부에 연통된 배기관(720)을 더 포함함으로써, 석션후드(610)로 하여금 지속적으로, 3류 혼합유체 및 세정하고자 하는 대상으로부터 분리된 오염물 중 적어도 하나 이상을 흡입하여 배기하도록 할 수 있다.Referring to FIG. 9, at least one suction unit 700 may further include a suction hood 710 and an exhaust pipe 720. The suction section 700 may have a suction area inside the suction hood 710 and the suction hood 710 may include an exhaust pipe 720 communicated with the outside so that the suction hood 610 can be continuously And at least one of the third-type mixed fluid and the contaminants separated from the object to be cleaned can be sucked and exhausted.

결국, 본 발명에 의한 스릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치는 순수(DIW) 및 스팀(steam) 등을 포함하는 혼합 유체를 세정면에 분사하는 경우, 혼합 유체를 세정면에 균일하게 분사할 수 있다.As a result, the mixed fluid ejecting apparatus having the sliver-type ejection orifice according to the present invention ejects the mixed fluid uniformly onto the washing surface when the mixed fluid including pure water (DIW) and steam is ejected onto the washing surface .

또한, 일반적인 용접식이 아닌 조립 공정으로 제작 또는 가공될 수 있기때문에, 용접으로 인한 오염이 감소되고, 내부 세정이 용이한 슬릿 형태의 분사구를 포함할 수 있다.In addition, since it can be manufactured or processed by an assembling process other than a general welding process, contamination due to welding can be reduced, and a slit-shaped injection hole can be easily included for easy internal cleaning.

또한, 금형을 통한 대량생산 및 강성유지에 적합하도록 적은 피스(peace) 조립식 구조를 가지고, 그에 따라 제조비용이 감소뿐 만 아니라 대면적 적용시 적어도 약 25mm 내지 3500mm까지 하나의 분사구로 세정이 가능할 수 있다.In addition, it has a small assembled structure so as to be suitable for mass production and stiffness maintenance through a mold, thereby reducing the manufacturing cost, and can be cleaned by at least one injection hole of at least about 25 mm to 3500 mm have.

이상에서 설명된 본 발명의 실시 예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and equivalent arrangements may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Therefore, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims. It is also to be understood that the invention is to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims

따라서, 이상의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.Accordingly, the foregoing detailed description should not be construed in any way as limiting and should be considered illustrative. The scope of the present invention should be determined by rational interpretation of the appended claims, and all changes within the scope of equivalents of the present invention are included in the scope of the present invention.

Claims (23)

유체의 이동방향에 따라 유체의 단면적이 좁아지는 영역을 구비하는 블록부;
적어도 2이상의 서로 다른 유체를 혼합하여 제 1 혼합 유체를 생성하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 제 1 혼합부;
상기 제 1 혼합 유체와 적어도 1이상의 유체를 혼합하여 제 2 혼합 유체를 생성하고 상기 블록부 내부에 구비되는 제 2 혼합부;
슬릿(slit) 형태의 분사구를 구비하여, 상기 제 2 혼합 유체를 가상의 평면 형태로 외부에 분사하고, 상기 블록부 내부에 구비되는 토출부를 포함하고,
상기 제 1 혼합부는 상기 적어도 2 이상의 서로 다른 유체를 분산시켜서 유체가 상기 제 2 혼합부에 도달하는 시간 또는 도달 경로를 증가시키거나 상기 제 2 혼합부에 도달하는 순간의 도달 속도를 감소시키는 적어도 하나 이상의 분산부를 포함하고,
상기 슬릿의 간격에 대응하여, 외부로 분사되는 상기 제 2 혼합 유체와 접촉하여, 상기 제 2 혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 일정하게 유지하는 적어도 하나 이상의 유지부를 더 포함하고,
상기 유지부는,
설정된 길이의 반지름을 갖는 원형의 제 1 유지부 및 상기 제 1 유지부의 지름보다 더 큰 설정된 길이의 반지름을 갖는 제 2 유지부가 상기 제 1 유지부보다 설정된 간격만큼 상단에 이격되어 위치하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.A block having a region where a sectional area of the fluid is narrowed in accordance with a moving direction of the fluid;
At least two different fluids are mixed to produce a first mixed fluid, and a first mixing part provided inside the block part;
A second mixer which mixes the first mixed fluid and at least one fluid to generate a second mixed fluid and is provided inside the block;
And a discharging portion provided in the block portion, the discharging portion having a slit-shaped jetting port for jetting the second mixed fluid out in a virtual plane form,
Wherein the first mixing portion disperses the at least two or more different fluids to increase the time or reach of the fluid to reach the second mixing portion or to decrease the arrival velocity of the instant at which the fluid reaches the second mixing portion, Or more,
Further comprising at least one holding part for holding at least one of a flow rate and a flow rate of the second mixed fluid constantly in contact with the second mixed fluid sprayed to the outside in correspondence with the interval of the slits,
The holding unit includes:
A first holding portion having a circular shape having a predetermined radius and a second holding portion having a radius larger than a diameter of the first holding portion and having a predetermined length, And a jetting port. 제 1 항에 있어서,
상기 블록부는,
적어도 2이상의 블록을 구비하며, 상기 유체의 이동방향을 기준으로 서로 마주보는 제 1 내면과 제 2 내면으로 형성되고, 길이방향의 단면이 비대칭 형상인 혼합공간을 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The block unit includes:
A mixer having a slit-type injection port including at least two blocks and including a mixing space having a first inner surface and a second inner surface opposed to each other with respect to a moving direction of the fluid and having an asymmetric cross- Fluid ejection device. 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 내면은,
상기 유체의 이동방향에 따라 판면형상을 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first inner surface
And a slit-type injection port including a plate shape according to a moving direction of the fluid. 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 내면은,
상기 유체의 이동방향에 따라 상기 제 1 내면으로 접근하는 경사형상을 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.3. The method of claim 2,
The second inner surface
And a slit-type injection port including an inclined shape approaching the first inner surface in accordance with a moving direction of the fluid. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 블록부는 상기 유체의 이동방향을 기준으로 서로 마주보는 제 1 내면과 제 2 내면으로 형성되고,
상기 분산부는,
상기 제 2 내면에서 이격되는 형태 또는 상기 제 2 내면과 일체로 형성되는 형태 중 적어도 하나 이상의 형태로 형성되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사장치.The method according to claim 1,
Wherein the block portion is formed of a first inner surface and a second inner surface facing each other with respect to a moving direction of the fluid,
Wherein the dispersing unit comprises:
And a slit-type injection hole formed in at least one of a shape separated from the second inner surface or a shape formed integrally with the second inner surface. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 혼합부는,
상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체를 공급하는 적어도 2이상의 유체 공급부를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first mixing portion comprises:
And a slit-type injection port including at least two or more fluid supply units for supplying the at least two or more different fluids. 제1항에 있어서,
상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체는,
압축건조공기(compressed dry air; CDA) 및 스팀을 포함하고,
상기 제1혼합 유체는,
상기 압축건조공기(CDA) 및 상기 스팀이 혼합된 2류 혼상 유체를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the at least two or more different fluids comprise:
Compressed dry air (CDA) and steam,
Wherein the first mixed fluid comprises a first mixed fluid,
And a slit-type injection port including a second-type mixed fluid in which the compressed dry air (CDA) and the steam are mixed. 제 1 항에 있어서,
상기 제2혼합부는,
상기 적어도 1이상의 유체를 공급하는 적어도 1이상의 다른 유체 공급부를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The second mixing portion
And a slit-type injection port including at least one or more other fluid supply units for supplying the at least one fluid. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 1이상의 서로 다른 유체는,
순수(deionizewater; DIW)를 포함하고,
상기 제2혼합 유체는,
압축건조공기(CDA), 스팀 및 상기 순수(DIW)가 혼합된 3류 혼상 유체를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the at least one or more different fluids comprise:
It contains deionizewater (DIW)
The second mixed fluid may be a mixed fluid,
And a slit-type injection port including a tertiary mixed fluid in which compressed dry air (CDA), steam, and DIW are mixed. 제1항에 있어서,
상기 토출부는,
상기 분사구 방향으로 확관 구조를 가지는 가속유로를 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The discharge unit
And a slit-type injection port including an acceleration passage having an enlarged structure in the injection port direction. 제1항에 있어서,
상기 제 1 혼합부, 상기 제 2 혼합부 및 상기 토출부는,
적어도 2이상의 블록에 대한 조립 공정을 통하여 동시에 형성되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The first mixing portion, the second mixing portion, and the discharging portion,
And a slit-type injection hole formed at the same time through an assembling process for at least two blocks. 제12항에 있어서,
상기 적어도 2이상의 블록은,
금형을 통한 대량생산으로 제작되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.13. The method of claim 12,
Wherein the at least two blocks comprise:
A mixed fluid injector having a slit-type injection hole manufactured by mass production through a mold. 제1항에 있어서,
상기 블록부는,
상기 적어도 2이상의 서로 다른 유체, 상기 제1혼합 유체 및 상기 적어도 1이상의 유체 중 적어도 하나 이상이 외부로 누출되지 않도록 하는 적어도 하나 이상의 차폐구성을 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The block unit includes:
And a slit-type injection hole including at least one shielding structure for preventing at least one of at least two or more different fluids, the first mixed fluid, and the at least one fluid from leaking to the outside. 제1항에 있어서,
상기 슬릿의 폭은,
분사 대상의 면적에 대응하여 25mm 내지 3500mm의 범위에 포함되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
The width of the slit
And a slit-type injection hole included in the range of 25 mm to 3500 mm corresponding to the area of the object to be injected. 제1항에 있어서,
상기 슬릿의 간격에 대응하여, 외부로 분사되는 상기 제2혼합 유체의 유속 및 유량 중 적어도 하나 이상을 제어하는 제어부를 더 포함하는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
And a control unit for controlling at least one of a flow rate and a flow rate of the second mixed fluid injected to the outside in correspondence to the interval of the slits. 제16항에 있어서,
상기 제어부는,
시계방향 또는 시계 반대방향으로 회전하고,
상기 슬릿의 간격은,
상기 제어부의 회전에 대응하여, 증가되거나 또는 감소되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.17. The method of claim 16,
Wherein,
Clockwise or counterclockwise,
The gap of the slit
And a slit-type injection port that is increased or decreased corresponding to rotation of the control unit. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 유지부는,
상기 토출부를 관통하여 형성되거나 또는 상기 토출부에 삽입된 형태로 형성되며,
상기 슬릿의 간격은,
상기 적어도 하나 이상의 유지부의 가로 길이에 대응하여, 일정하게 유지되는 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the at least one holding portion comprises:
A discharge port formed in the discharge port,
The gap of the slit
And a slit-type injection port which is maintained constant in correspondence with a lateral length of the at least one holding portion.
제1항에 있어서,
상기 블록부 외부에 구비되며, 상기 적어도 1이상의 유체를 상기 제 2 혼합부에 공급하는 블록을 더 포함하는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
And a block provided outside the block portion and supplying the at least one fluid to the second mixing portion. 제 1 항에 있어서,
상기 분사구 외부에 구비되며, 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부 및 적어도 하나 이상의 석션부 중 적어도 하나 이상을 더 포함하고,
상기 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부는,
상기 제 2 혼합 유체 및 상기 제 2 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상이 비산되는 것을 방지하는 액체커튼을 상기 분사구 주변에 형성하고,
상기 적어도 하나 이상의 석션부는,
상기 제 2 혼합 유체 및 상기 제 2 혼합 유체가 외부로 분사되어 생성된 오염물 중 적어도 하나 이상을 흡입하여 외부로 배기하는 석션영역을 형성하는 혼합 유체 분사 장치.The method according to claim 1,
Further comprising at least one of at least one liquid curtain forming portion and at least one suction portion provided outside the jetting port,
Wherein the at least one liquid curtain-
A liquid curtain is formed around the injection port to prevent at least one of the second mixed fluid and the second mixed fluid from being scattered,
Wherein the at least one suction portion comprises:
Wherein the second mixed fluid and the second mixed fluid form a suction region for sucking at least one of the pollutants generated by spraying the second mixed fluid to the outside and exhausting the pollutant to the outside. 제 21 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 액체커튼형성부 및 상기 적어도 하나 이상의 석션부는,
상기 분사구의 전단 및 후단 중 적어도 하나 이상에 위치하는 혼합 유체 분사 장치.22. The method of claim 21,
Wherein the at least one liquid curtain forming portion and the at least one suction portion comprise:
Wherein the injection port is located at least one of a front end and a rear end of the injection port. 제 22 항에 있어서,
상기 석션영역과 상기 분사구의 이격된 거리는,
상기 액체커튼과 상기 분사구의 이격된 거리보다 큰 혼합 유체 분사 장치.23. The method of claim 22,
Wherein the distance between the suction area and the jetting port
Wherein the distance between the liquid curtain and the jetting port is larger than the distance between the liquid curtain and the jetting port.
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KR102128861B1 (en) * 2018-10-31 2020-07-01 주식회사 뉴파워 프라즈마 Spray apparatus and method
KR102177641B1 (en) * 2018-10-31 2020-11-12 주식회사 뉴파워 프라즈마 Spray apparatus and method
CN112206668B (en) * 2019-07-12 2023-01-06 欧特捷实业股份有限公司 Fluid mixing mechanism
WO2022025053A1 (en) * 2020-07-27 2022-02-03 株式会社ニコン Film forming device, mist film forming device, and method for manufacturing electroconductive film
KR102176672B1 (en) * 2020-08-04 2020-11-09 주식회사 뉴파워 프라즈마 Spray apparatus and method

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4560486B2 (en) * 2003-12-19 2010-10-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 Substrate deposit removal method and substrate drying method, and substrate deposit removal apparatus and substrate drying apparatus using these methods
KR101164062B1 (en) * 2005-12-23 2012-07-12 주식회사 케이씨텍 Two-fluid jet module for cleaning substrate and cleaning device using thereof
KR101274083B1 (en) * 2006-10-20 2013-06-12 주식회사 케이씨텍 Chemical application nozzle and chemical application device using thereof
KR101381634B1 (en) * 2012-09-21 2014-04-04 청진테크 주식회사 Apparatus for injecting multi-phase fluid
KR200482218Y1 (en) * 2012-11-30 2016-12-30 주식회사 케이씨텍 Knife capable of adjusting nozzle gap

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