KR20160138700A - Air knife module for drying substrate and Device for drying substrate comprising the same - Google Patents

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Abstract

The present invention provides an air knife module for drying a substrate, allowing an interval of a slit injecting gas for drying a substrate to be simply adjusted in consideration of a pattern film on a substrate, thereby improving performance to dry the substrate, and a substrate drying device including the same. To achieve this, the air knife module for drying a substrate comprises: a body injecting gas for drying a substrate toward the substrate; and a plurality of slits formed on the body in a line to be spaced from each other in a direction where the substrate is transferred and injecting the gas. The body comprises at least three plates, which can be assembled and disassembled, and an assembly. Each slit is formed between the plates. An interval of a slit of the plurality of slits, which is positioned on a front side of the direction where the substrate is transferred, is adjusted while corresponding to displacement of the plate positioned on the front side in the direction where the substrate is transferred.

Description

기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치{Air knife module for drying substrate and Device for drying substrate comprising the same}Technical Field [0001] The present invention relates to an air knife module for drying a substrate,

본 발명은 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판건조용 기체를 분사하는 슬릿의 간격을 기판 위의 패턴막의 특성을 고려하여 간편하게 조정할 수 있도록 함으로써 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있는 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air knife module for drying a substrate and a substrate drying apparatus including the same. More particularly, the present invention relates to an air knife module for drying a substrate, To an air knife module for drying a substrate which can improve the drying performance of the substrate.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판 등은 다양한 제조공정을 거쳐 제조되는데, 이처럼 다양한 제조공정을 거치다 보면 기판 표면이 제조공정 중에 발생되는 파티클 및 오염물질에 의해 오염되므로 기판 표면의 파티클 및 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로는 세정공정이 수행된다.In general, a semiconductor wafer or a flat panel display (FPD) substrate is manufactured through various manufacturing processes. If the substrate surface is contaminated by particles and contaminants generated during the manufacturing process, A cleaning process is performed before / after some manufacturing processes to remove particles and contaminants on the surface.

즉, 세정공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로서, 일례로 약액처리공정과 린스공정 및 건조공정으로 이루어지고, 특히 건조공정은 약액처리공정과 린스공정을 거쳐 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위한 공정이다.That is, the cleaning process is a process for cleaning the surface of the substrate, for example, a chemical liquid process, a rinsing process, and a drying process. Particularly, in the drying process, the cleaning liquid remaining on the substrate surface is removed through a chemical liquid process and a rinsing process .

일반적으로, 건조공정에서는 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위하여 기판 표면에 건조공기(CDA; Clean Dry Air)를 가압분사하여 세정액을 건조시킨다.In general, in order to remove the cleaning liquid remaining on the surface of the substrate in the drying process, the cleaning liquid is dried by pressurizing and spraying dry air (CDA) on the surface of the substrate.

구체적으로, 건조공기를 공급받아 단부에 형성된 슬릿(slit)으로 가압분사하는 기판건조용 에어나이프 모듈(이하,‘에어나이프’라 약칭함)을 포함하는 기판건조장치가 제시된 바 있다.Specifically, a substrate drying apparatus including an air knife module for drying a substrate (hereinafter abbreviated as an air knife) for supplying dry air and pressurizing the substrate with a slit formed at an end thereof has been proposed.

상기 에어나이프는 약액처리공정과 린스공정을 마치고 이송되는 기판의 상측과 하측에 기판의 너비방향으로 각각 설치되고 단부에 형성된 슬릿(slit)에서 기판의 상면 및 하면에 건조공기를 가압분사함으로써 기판 표면에 잔류된 세정액을 건조한다.The air knife is provided in the width direction of the substrate on the upper and lower sides of the substrate to be transferred after the chemical liquid treatment process and the rinsing process and the dry air is sprayed on the upper and lower surfaces of the substrate by a slit formed at the end, The remaining cleaning liquid is dried.

한편, 종래 기판건조장치는 원 슬릿 타입(one slit type)의 에어나이프가 설치되므로 건조공기의 분사속도, 분사량, 기판의 이송속도 등의 조건에 따라 기판 표면을 완전 건조시키지 못하는 경우가 발생되었고, 이처럼 기판 표면이 완전 건조되지 못한 상태에서 자연 건조되면, 기판 표면에 워터마크(water mark, 물 얼룩) 등의 건조불량이 발생되어 기판을 사용하는 제품의 수율이 저하되는 문제점이 있었다.Meanwhile, since the conventional substrate drying apparatus is provided with a one slit type air knife, the substrate surface may not be completely dried depending on the conditions such as the spraying speed of the dry air, the amount of spraying, the transfer speed of the substrate, If the substrate is naturally dried in a state where the surface of the substrate is not completely dried, a drying defect such as a water mark (water mark) on the surface of the substrate is generated and the yield of products using the substrate is lowered.

이를 해결하기 위하여 기판의 이송방향을 따라 복수개의 에어나이프를 설치하는 경우에는, 각 에어나이프의 설치공간을 확보해야 하므로 장비가 커질 뿐 아니라 복잡해지고 제작비용도 상승하게 된다.In order to solve this problem, when a plurality of air knives are installed along the transport direction of the substrate, the installation space of each air knife must be secured.

또한, 각 에어나이프의 설치간격에 따라 분사간격도 상당히 이격되므로 기판이 앞서 설치된 에어나이프를 거쳐 다음 에어나이프로 이송되는 도중에 자연건조되므로 상기한 바와 같은 워터마크 발생 현상을 방지하지 못한다는 문제점이 있었다.Further, since the jetting intervals are considerably spaced according to the installation intervals of the air knives, the substrate is naturally dried while being transferred to the next air knife through the air knife provided before, so that the above-mentioned occurrence of the watermark can not be prevented .

상기 에어나이프와 관련된 선행기술로, 등록특허 제10-0791726호에 개시된 PDP 제조용 에어나이프는, 상판과 하판으로 이루어져 내부에 공간부가 형성되는 몸체와, 상기 상판 또는 하판 중 어느 일측에 형성되는 공기 주입구와, 상기 상판과 하판 사이의 일단에 미세한 갭이 길이방향으로 형성되는 노즐과, 상기 상판 또는 하판 중 어느 하나에 노즐이 형성된 부분을 제외한 공간부 둘레에 형성되는 오목홈에 결합되는 패킹부재와, 상기 상판 및 하판을 체결하기 위해 몸체의 가장자리 둘레를 따라 일정한 간격으로 체결되는 체결부재와, 상기 노즐의 갭을 미세하게 조절하기 위해 몸체의 일단에 체결되는 조절부재를 포함하여 구성된다. In the prior art related to the air knife, the air knife for manufacturing a PDP disclosed in the Japanese Patent No. 10-0791726 includes a body formed of an upper plate and a lower plate and having a space formed therein, and an air inlet formed at one side of the upper plate or the lower plate, A packing member coupled to the concave groove formed around the space except for a portion where the nozzle is formed in any one of the upper plate and the lower plate; A fastening member fastened at predetermined intervals along the periphery of the body to fasten the upper and lower plates, and an adjusting member fastened to one end of the body to finely adjust the gap of the nozzle.

상기 에어나이프와 관련된 다른 선행기술로, 등록특허 제10-0527789호에 개시된 엘씨디 패널 건조장치의 에어나이프는, 압축공기를 내부로 유입시키도록 공기유입파이프를 양단에 설치하고, 유입된 공기를 유출시키도록 유출공이 하부면에 다수개 형성되고 내부에 공간을 갖는 공기유입블록과, 상기 공기유입블록과 일측단이 결합되고 타측단에는 분사공이 형성된 공기분사블럭을 포함하고, 상기 공기분사블럭에 공기유입블럭의 유출공과 연결되는 공기유도로를 다수개 형성하고, 공기유도로로부터 연장되면서 폭의 변화를 가지며 다단으로 굴곡져서, 다수의 에지부가 형성된 오리피스 경로를 형성하되, 오리피스 경로의 단부에 분사공이 형성된 것으로 구성된다.In another prior art related to the air knife, the air knife of the LCD panel drying apparatus disclosed in Japanese Patent No. 10-0527789 has an air inlet pipe installed at both ends to introduce compressed air into the inside, An air inlet block having a plurality of outflow holes formed on a lower surface thereof and having a space therein, and an air injection block having one end connected to the air inlet block and the injection hole formed at the other end, A plurality of air induction passages connected to the outflow holes of the inflow block are formed, the orifice passage having a plurality of edge portions formed by a plurality of steps with a width change while being extended from the air induction passage, .

상기 등록특허 제10-0791726호와 등록특허 제10-0527789호에 개시된 에어나이프는, 몸체의 내부에 단일의 공기분사구(노즐)가 형성된 구조로 이루어져 기판의 건조성능이 떨어지는 단점이 있다.The air knife disclosed in the above-mentioned Japanese Patent No. 10-0791726 and Japanese Patent No. 10-0527789 has a structure in which a single air nozzle (nozzle) is formed in the inside of the body, which lowers the drying performance of the substrate.

한편, 에어나이프와 관련된 또 다른 선행기술로, 공개특허 제10-2010-0055806호에 개시된 기체 분사 유닛은, 기판 표면과 평행한 방향으로 연장된 몸체에 기판을 향해 기체를 분사하는 슬릿 형태의 제1 및 제2분사구를 포함하여, 상기 제1 및 제2분사구를 통하여 기체를 기판에 다중으로 분사하여 기판의 건조 효과를 향상시킬 수 있도록 구성되어 있다. On the other hand, as another prior art related to the air knife, the gas injection unit disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-2010-0055806 includes a slit-shaped member for spraying gas toward a substrate in a body extending in a direction parallel to the substrate surface 1 and the second jetting port, the gas is multiply sprayed onto the substrate through the first and second jetting ports to improve the drying effect of the substrate.

그러나, 상기 공개특허 제10-2010-0055806호에 개시된 제1 및 제2분사구는 그 간격이 일정하게 고정된 구조로 이루어져 있어, 기판 위에 형성된 패턴막의 두께나 간격 등의 특성을 고려하여 기체의 분사량과 분사속도를 적정하게 조정할 수 없는 단점이 있으며, 이로 인해 분사되는 유량/유속이 최적의 분사량과 분사속도 보다 적은 경우에는 기판의 건조성능이 저하되고, 이와 반대로 분사되는 유량/유속이 최적의 분사량과 분사속도 보다 많은 경우에는 기체의 불필요한 낭비가 초래되는 문제가 있다.However, the first and second injection openings disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2010-0055806 are structured such that their intervals are fixed to each other, so that the injection amount of the gas in consideration of the thickness, The flow rate / flow velocity of the substrate is lower than the optimal injection amount and the injection velocity, the drying performance of the substrate is lowered. On the other hand, when the flow rate / There is a problem that unnecessary waste of the gas is caused.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판건조용 기체를 분사하는 슬릿의 간격을 기판 위의 패턴막의 특성을 고려하여 간편하게 조정할 수 있도록 함으로써 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있는 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치를 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate, which can improve the drying performance of the substrate by making it possible to easily adjust the interval of the slits, And an object thereof is to provide an air knife module for drying and a substrate drying apparatus including the same.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈은, 기판을 향해 기판건조용 기체를 분사하는 몸체와, 상기 몸체에 기판의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 상기 기체를 분사하는 복수의 슬릿을 포함하되, 상기 몸체는 분해 및 조립이 가능한 3개 이상의 플레이트의 조립체로 이루어지고, 상기 슬릿은 상기 각 플레이트 사이에 형성되며, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 변위량에 대응하여, 상기 복수의 슬릿 중 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 슬릿의 간격이 조정되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an air knife module for drying a substrate, comprising: a body for spraying a substrate drying gas toward a substrate; The slit being formed between the plates, the plate being disposed in front of the substrate in the conveying direction, the plate being disposed in front of the substrate in the conveying direction, The interval of the slits positioned in front of the substrate in the conveying direction among the plurality of slits is adjusted corresponding to the amount of displacement of the substrate.

상기 슬릿은 각각 기판의 진입방향을 향하도록 기판의 표면과 경사 또는 수직으로 형성되고, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 상하 변위량에 대응하여, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 슬릿의 간격이 조정되도록 구성될 수 있다.Wherein the slits are formed in an oblique or vertical direction with respect to a surface of the substrate so as to face the entering direction of the substrate and corresponding to a vertical displacement amount of the plate positioned forward in the transfer direction of the substrate, And the interval of the slits may be adjusted.

상기 몸체는 기판의 이송방향을 따라 순차로 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 및 제3플레이트의 조립체로 이루어지고, 상기 슬릿은, 상기 제1플레이트와 제2플레이트 사이에 형성된 제1슬릿과, 상기 제2플레이트와 제3플레이트 사이에 형성된 제2슬릿을 포함하며, 상기 제1플레이트의 변위량에 대응하여 상기 제1슬릿의 간격이 조정되도록 구성될 수 있다.The body includes an assembly of a first plate, a second plate and a third plate sequentially disposed along a conveyance direction of the substrate, the slit includes a first slit formed between the first plate and the second plate, And a second slit formed between the second plate and the third plate, wherein the gap between the first slits is adjusted corresponding to the amount of displacement of the first plate.

상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 변위된 위치를 고정하기 위한 위치고정수단을 더 포함할 수 있다.And a position fixing means for fixing the displaced position of the plate positioned in front of the transfer direction of the substrate.

상기 위치고정수단은, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트를 관통하여 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 후미에 인접하게 위치하는 플레이트에 체결되며, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 측면에 머리부가 밀착 고정되는 체결부재와, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트에 형성되어 상기 체결부재의 몸체부가 내측에서 변위 가능하도록 안내하는 장공과, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 후미에 인접하게 위치하는 플레이트에 형성되어 상기 체결부재의 몸체부의 단부가 나사결합되는 체결홈으로 구성될 수 있다.The position fixing means is fastened to a plate positioned adjacent to the rear of the plate positioned in front of the substrate in the conveying direction through a plate positioned in front of the substrate in the conveying direction, A long hole formed in a plate positioned in front of the substrate in a conveying direction and guiding the body of the fastening member so as to be displaceable from the inside, And a fastening groove formed on the plate adjacent to the rear of the plate positioned in front of the fastening member and screwed to an end of the body of the fastening member.

상기 슬릿의 간격은 0.05mm~0.2mm의 범위에서 조정 가능하도록 구성될 수 있다.The interval of the slits may be configured to be adjustable in a range of 0.05 mm to 0.2 mm.

본 발명의 기판건조장치는, 기판을 이송하는 이송부와, 이송되는 기판의 상측 또는 하측 또는 상하 양측에 설치되는 상기 에어나이프 모듈, 및 상기 에어나이프 모듈에 기판건조용 기체를 공급하는 기체공급부를 포함하여 구성된다.The substrate drying apparatus of the present invention includes a transfer section for transferring a substrate, the air knife module provided on the upper side or the lower side, the upper and lower sides of the substrate to be transferred, and the gas supply section for supplying the substrate drying gas to the air knife module .

본 발명에 따른 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치에 의하면, 제1플레이트의 변위량을 조정함으로써 제1슬릿의 간격을 기판 위의 패턴막의 특성을 고려하여 간편하게 조정할 수 있다.According to the air knife module for drying a substrate and the apparatus for drying a substrate including the substrate according to the present invention, the gap of the first slit can be easily adjusted considering the characteristics of the pattern film on the substrate by adjusting the amount of displacement of the first plate.

또한 제1슬릿의 간격을 기판 위의 패턴막의 특성에 맞추어 조정함으로써 기판건조용 기체의 불필요한 낭비를 방지함과 아울러 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있다.In addition, by adjusting the interval of the first slits according to the characteristics of the patterned film on the substrate, unnecessary waste of the substrate for drying can be prevented and the drying performance of the substrate can be improved.

도 1은 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈의 분해 사시도,
도 2는 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈을 포함하는 기판건조장치의 단면도,
도 3은 제1플레이트의 상하 이동에 의해 제1슬릿의 간격이 조정된 모습을 보여주는 단면도.1 is an exploded perspective view of an air knife module for drying a substrate of the present invention,
2 is a cross-sectional view of a substrate drying apparatus including an air knife module for drying a substrate of the present invention,
3 is a cross-sectional view showing a state in which the interval of the first slits is adjusted by the upward and downward movement of the first plate;

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈(100)의 분해 사시도, 도 2는 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈(100)을 포함하는 기판건조장치(200)의 단면도, 도 3은 제1플레이트(10)의 상하 이동에 의해 제1슬릿(S1)의 간격(G1)이 조정된 모습을 보여주는 단면도이다. 도 2와 도 3에 도시된 화살표는 기판건조용 기체의 유동방향을 나타낸 것이다.2 is a cross-sectional view of a substrate drying apparatus 200 including an air knife module 100 for drying a substrate according to the present invention. Fig. 3 is a cross- 1 is a cross-sectional view showing a state in which the interval G1 of the first slits S1 is adjusted by the upward and downward movement of the one plate 10; The arrows shown in Figs. 2 and 3 show the flow direction of the substrate drying gas.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판건조용 에어나이프 모듈(100)은, 기판(S)을 향해 기판건조용 기체를 분사하는 몸체(40)와, 상기 몸체(40)에 기판(S)의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 기체를 분사하는 복수의 슬릿(S1,S2)을 포함하고, 상기 슬릿(S1,S2)을 통하여 고압의 건조공기를 이송되는 기판(S)의 표면에 다중으로 분사하도록 구성되어 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, an air knife module 100 for drying a substrate according to an embodiment of the present invention includes a body 40 for spraying a substrate drying gas toward a substrate S, And a plurality of slits S 1 and S 2 that are spaced apart from each other in the direction of conveyance of the substrate S in a direction parallel to the direction of conveyance of the substrate S, And is configured to multiply spray onto the surface of the substrate (S).

본 발명의 일실시예에 따른 기판건조장치(200)는, 기판(S)을 지지하며 이송하는 이송부(60)와, 상기 이송부(60)에 의해 이송되는 기판(S)의 상측 또는 하측 또는 상하 양측에 설치되는 상기 에어나이프 모듈(100)과, 상기 에어나이프 모듈(100)에 고압의 기판건조용 기체를 공급하는 기체공급부(70)를 포함한다.A substrate drying apparatus 200 according to an embodiment of the present invention includes a transfer unit 60 for supporting and transferring a substrate S and a transfer unit 60 for transferring the substrate S on the upper or lower side, And an air knife module 100 installed on both sides of the air knife module 100 and a gas supply unit 70 for supplying a substrate drying gas of high pressure to the air knife module 100.

상기 에어나이프 모듈(100)의 몸체(40)는 기판(S)의 이송방향을 따라 순차적으로 설치되는 적어도 3개 이상의 분해 및 조립이 가능한 플레이트(10,20,30)를 포함한다. 일실시예로, 상기 몸체(40)는 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20) 및 제3플레이트(30)의 조립체로 이루어진다. The body 40 of the air knife module 100 includes at least three disassemblable and assemblable plates 10, 20 and 30 that are sequentially installed along the conveying direction of the substrate S. In one embodiment, the body 40 comprises an assembly of a first plate 10, a second plate 20, and a third plate 30.

상기 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20) 및 제3플레이트(30)는 체결부재(50)에 의해 상호 결합되고, 제2플레이트(20)와 대면하는 제1플레이트(10)와 제3플레이트(30)의 측면에는 각각 그 상부가 돌출되도록 단차가 형성되어, 상기 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20) 사이에는 제1슬릿(S1)이 형성되고, 상기 제2플레이트(20)와 제3플레이트(30) 사이에는 제2슬릿(S2)이 형성된다.The first plate 10, the second plate 20 and the third plate 30 are coupled to each other by a fastening member 50, and a first plate 10 facing the second plate 20, The first plate 10 and the second plate 20 are formed with a first slit S1 and a second slit S1 formed between the first plate 10 and the second plate 20, 20 and the third plate 30, the second slit S2 is formed.

그리고, 상기 제2플레이트(20)의 양측면에는 외측으로 소정길이 돌출된 간격유지돌기(21)가 형성되고, 상기 간격유지돌기(21)의 돌출된 단부가 제1플레이트(10)와 제3플레이트(30)의 측면에 각각 맞닿아 틈새가 유지된다.The spacing protrusions 21 protrude outwardly from both sides of the second plate 20 and protrude from the first plate 10 and the third plate 20, Respectively, to thereby maintain the gap.

상기 제1플레이트(10)의 일측과 제3플레이트(30)의 타측에는, 기체공급부(70)와 연결되어 기판건조용 기체, 예컨대 건조공기(CDA; Clean Dry Air)를 공급받도록 제1기체공급구(11)와 제2기체공급구(31)가 형성된다. The first plate 10 and the third plate 30 are connected to a gas supply unit 70 to supply a substrate drying gas such as dry air (CDA) A sphere 11 and a second gas supply port 31 are formed.

상기 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20) 사이에는, 상기 제1기체공급구(11)와 상부가 연결되는 제1기체배출로(12)가 형성되고, 상기 제1기체배출로(12)의 하부에는 제1슬릿(S1)이 연결된다.A first gas discharge passage 12 is formed between the first plate 10 and the second plate 20 and connected to the upper portion of the first gas supply port 11, 12 are connected to the first slit S1.

상기 제2플레이트(20)와 제3플레이트(30) 사이에는, 상기 제2기체공급구(31)와 상부가 연결되는 제2기체배출로(32)가 형성되고, 상기 제2기체배출로(32)의 하부에는 제2슬릿(S2)이 연결된다.A second gas discharge passage 32 is formed between the second plate 20 and the third plate 30 and connected to the upper portion of the second gas supply port 31. The second gas discharge passage 32, 32 are connected to the second slit S2.

따라서, 제1플레이트(10)의 제1기체공급구(11)를 통하여 몸체(40)의 내부로 유입된 기체는 제1기체배출로(12)를 통과하여 제1슬릿(S1)을 통해 분사되고, 제3플레이트(30)의 제2기체공급구(31)를 통하여 몸체(40)의 내부로 유입된 기체는 제2기체배출로(32)를 통과하여 제2슬릿(S2)을 통해 분사된다.The gas introduced into the body 40 through the first gas supply port 11 of the first plate 10 passes through the first gas discharge passage 12 and is injected through the first slit S1, And the gas introduced into the body 40 through the second gas supply port 31 of the third plate 30 passes through the second gas discharge path 32 and is injected through the second slit S2, do.

본 실시예에서, 상기 제1슬릿(S1)의 간격(G1)은 제1플레이트(10)의 승강되는 변위량에 대응하여 조정 가능하도록 구성되어 있다.In the present embodiment, the gap G1 between the first slits S1 is configured to be adjustable in accordance with the amount of displacement of the first plate 10 in the vertical direction.

이를 위한 구성으로, 상기 제1슬릿(S1)은 기판(S)의 진입방향을 향하도록 경사 또는 수직으로 형성되고, 상기 제1플레이트(10)의 변위된 위치를 고정하기 위한 위치고정수단이 구비된다.The first slit S1 is inclined or perpendicular to the direction in which the substrate S is introduced and has a position fixing means for fixing the displaced position of the first plate 10 do.

상기 위치고정수단은, 제1플레이트(10)를 관통하여 제2플레이트(20)에 체결되며 제1플레이트(10)의 전방측면에 머리부(50b)가 밀착고정되는 체결부재(50)와, 상기 제1플레이트(10)에 형성되어 체결부재(50)의 몸체부(50a)가 내측에서 승강 가능하도록 안내하는 장공(13)과, 상기 제2플레이트(20)에 형성되어 체결부재(50)의 몸체부(50a)의 단부가 나사결합되는 체결홈(22)으로 구성될 수 있다. 상기 체결부재(50)의 몸체부(50a)의 외주면과 체결홈(22)의 내주면에는 상호 나사결합이 가능하도록 대응되는 형태의 나사산과 나사탭이 형성되어 있다.The position fixing means includes a fastening member 50 fastened to the second plate 20 through the first plate 10 and fastened to the front side of the first plate 10 by a head 50b, A long hole 13 formed in the first plate 10 and guiding the body portion 50a of the fastening member 50 so as to be elevated from the inside and a fastening member 50 formed on the second plate 20, And a fastening groove 22 for fastening the end of the body portion 50a. The outer circumferential surface of the body portion 50a of the fastening member 50 and the inner circumferential surface of the fastening groove 22 are formed with threads and screw tabs corresponding to each other so that they can be screwed together.

상기 제1슬릿(S1)의 간격을 조정하는 경우, 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20)가 분리되도록 체결부재(50)를 회전시켜 느슨하게 풀어준 상태에서 제1플레이트(10)를 원하는 위치로 승강 이동시켜 제1슬릿(S1)의 간격(G1)을 조정한 후, 체결부재(50)를 조임되는 방향으로 회전시켜 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20)의 위치를 고정하게 된다. When the interval between the first slits S1 is adjusted, the first plate 10 and the second plate 20 are loosely rotated by rotating the fastening member 50 so that the first plate 10 and the second plate 20 are separated from each other. The position of the first plate 10 and the second plate 20 is adjusted by rotating the fastening member 50 in the fastening direction after adjusting the gap G1 between the first slits S1 Respectively.

한편, 도 2에서는 제1슬릿(S1)으로 공급되는 기체와 제2슬릿(S2)으로 공급되는 기체가 서로 분리된 기체공급부(70)로부터 공급되는 것으로 도시되어 있으나, 상기 제1슬릿(S1)으로 공급되는 기체와 제2슬릿(S2)으로 공급되는 기체는 동일한 기체공급부(70)로부터 공급되는 것으로 구성할 수 있다. 이 경우 제1슬릿(S1)의 간격(G1)을 제2슬릿(S2)의 간격(G2)에 대비하여 가변적으로 조정할 수 있어, 제1슬릿(S1)에서 분사되는 기체의 유량과 제2슬릿(S2)에서 분사되는 기체의 유량을 상호 기류의 간섭이 발생하지 않는 범위에서 적정하게 조정할 수 있다. 2, the gas supplied to the first slit S1 and the gas supplied to the second slit S2 are shown as being supplied from the gas supply unit 70 which is separated from the first slit S1, And the gas supplied to the second slit S2 may be supplied from the same gas supply unit 70. In this case, In this case, the gap G1 of the first slits S1 can be variably adjusted with respect to the gap G2 of the second slits S2, so that the flow rate of the gas injected from the first slits S1, The flow rate of the gas injected in the step S2 can be appropriately adjusted within a range in which the mutual airflow interference does not occur.

일실시예로, 상기 슬릿의 간격은 0.05mm~0.2mm의 범위에서 조정 가능하도록 구성될 수 있다.In one embodiment, the spacing of the slits may be configured to be adjustable in the range of 0.05 mm to 0.2 mm.

이와 같은 구성에 의해, 상기 제1슬릿(S1)에서 토출되는 기체는 이송되는 기판(S)의 표면을 향하여 1차로 분사되어 기판(S)의 표면에 잔류하는 물기를 건조시켜 제거하게 되고, 2차로 제2슬릿(S2)에서 분사되는 기체는 기판(S)의 미세패턴 사이에 잔류하는 물기를 건조시켜 제거하게 된다.With this configuration, the gas ejected from the first slit S1 is primarily ejected toward the surface of the substrate S to be transferred, and the water remaining on the surface of the substrate S is dried and removed. The gas ejected from the second slit S2 by the car dries and removes water remaining between the fine patterns on the substrate S. [

한편, 상기 제1슬릿(S1) 뿐만 아니라 상기 제2슬릿(S2) 또한 기판(S)의 진입방향을 향하도록 기판(S)의 표면과 경사지게 형성되어 기판(S)의 진입방향을 향하여 기체를 경사지게 분사하는 것이 바람직하다.The second slit S2 is inclined with respect to the surface of the substrate S so as to face the entering direction of the substrate S so as to face the entering direction of the substrate S, It is preferable to spray it in an inclined manner.

이 경우 상기 제1슬릿(S1)과 제2슬릿(S2)은 동일각도로 경사지게 형성하여도 무방하나, 기판(S)에 분사되는 기체가 상호 간섭되지 않도록 서로 다른 분사각도를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다. In this case, the first slit S1 and the second slit S2 may be inclined at the same angle, but it is preferable to form the first slit S1 and the second slit S2 so as to have different spray angles so that gases injected to the substrate S do not interfere with each other Do.

이를 위해서, 제1슬릿(S1)과 제2슬릿(S2)이 기판(S)의 표면과 이루는 분사각도는 기판(S)의 진입방향에서 부터 순차적으로 증가되도록 구성할 수 있다. 즉, 도 2에 도시된 바와같이 제2슬릿(S2)의 분사각도는 제1슬릿(S1)의 분사각도보다 크게 형성될 수 있다. 따라서, 상기 각 슬릿(S1,S2)에서 분사되는 기체는 기류 간에 상호 간섭되지 않고 다중으로 원활하게 분사될 수 있다.The injection angle formed by the first slit S1 and the second slit S2 with the surface of the substrate S may be sequentially increased from the entering direction of the substrate S. [ That is, as shown in FIG. 2, the spray angle of the second slit S2 may be larger than the spray angle of the first slit S1. Therefore, the gas injected from each of the slits S1 and S2 can be smoothly injected into multiple streams without interfering with each other.

이와 같이 본 발명에 따른 기판건조용 에어나이프 모듈(100)의 구성에 의하면, 우선 제1슬릿(S1)에서 분사되는 기체에 의해 기판(S) 상면의 세정액을 기판(S) 이송방향의 역방향으로 밀어내는 동시에 기판(S)을 1차 건조하고, 후속하여 제2슬릿(S2)에서 분사되는 기체에 의해 기판(S)의 미세패턴 사이에 잔류하는 세정액을 2차 건조하여 완전건조시키므로 건조성능을 월등히 향상시킬 수 있다.As described above, according to the configuration of the air knife module 100 for drying a substrate according to the present invention, first, the cleaning liquid on the upper surface of the substrate S is moved in the direction opposite to the conveying direction of the substrate S by the gas ejected from the first slit S1 The substrate S is firstly dried at the same time as the substrate S is pushed out and subsequently the cleaning liquid remaining between the fine patterns of the substrate S is secondarily dried by the gas ejected from the second slit S2 to be completely dried, Can greatly improve.

또한, 제1슬릿(S1)과 제2슬릿(S2)에서 토출되는 기체는 기판(S) 표면의 인접하는 부위에 다중으로 분사되는 동시에 상호 기류의 간섭 없이 기판(S) 이송방향의 역방향으로 경사지게 분사되므로 기판(S)의 표면이 완전건조될 수 있게 된다.The gas discharged from the first slit S1 and the second slit S2 is jetted in multiple to the adjacent portion of the surface of the substrate S and is inclined in the reverse direction of the transport direction of the substrate S without interfering with each other So that the surface of the substrate S can be completely dried.

한편, 도 2에서는 에어나이프 모듈(100)은 기판(S)의 상측에 설치되어 기판(S)의 상면에 기체를 분사하는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 에어나이프 모듈(100)이 기판(S)의 하측 또는 상하 양측에 설치되어 기판(S) 하면 또는 상하 양면에 기체를 동시에 분사하도록 구성될 수 있음은 물론이다.2, the air knife module 100 is installed on the upper side of the substrate S and injects gas onto the upper surface of the substrate S. However, the present invention is not limited to this, 100 may be provided on the lower side or both upper and lower sides of the substrate S so as to simultaneously inject gas on the lower surface or the upper and lower surfaces of the substrate S. [

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 일실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기 일실시예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made.

10 : 제1플레이트 11 : 제1기체공급구
12 : 제1기체배출로 13 : 장공
20 : 제2플레이트 21 : 간격유지돌기
22 : 체결홈 30 : 제3플레이트
31 : 제2기체공급구 32 : 제2기체배출로
40 : 몸체 50 : 체결부재
50a : 체결부재의 몸체부 50b : 체결부재의 머리부
60 : 이송부 70 : 기체공급부
100 : 에어나이프 모듈 200 : 기판건조장치
S : 기판 S1 : 제1슬릿
S2 : 제2슬릿 G1 : 제1슬릿의 간격
G2 : 제2슬릿의 간격10: first plate 11: first gas supply port
12: first gas discharge passage 13: long hole
20: second plate 21: gap retaining projection
22: fastening groove 30: third plate
31: second gas inlet port 32: second gas outlet port
40: body 50: fastening member
50a: the body portion of the fastening member 50b: the head portion of the fastening member
60: transfer part 70: gas supply part
100: air knife module 200: substrate drying device
S: Substrate S1: First slit
S2: second slit G1: interval of the first slit
G2: interval of the second slit

Claims (7)

기판을 향해 기판건조용 기체를 분사하는 몸체와,
상기 몸체에 기판의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 상기 기체를 분사하는 복수의 슬릿을 포함하되,
상기 몸체는 분해 및 조립이 가능한 3개 이상의 플레이트의 조립체로 이루어지고, 상기 슬릿은 상기 각 플레이트 사이에 형성되며,
상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 변위량에 대응하여, 상기 복수의 슬릿 중 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 슬릿의 간격이 조정되는 것을 특징으로 하는 기판건조용 에어나이프 모듈.
A body for spraying a substrate drying gas toward the substrate,
And a plurality of slits spaced apart from each other along the transport direction of the substrate to spray the gas,
Wherein the body comprises an assembly of three or more plates capable of disassembly and assembly, the slits being formed between the plates,
Wherein an interval of the slits located in front of the substrate in the conveyance direction among the plurality of slits is adjusted corresponding to a displacement amount of the plate located in front of the substrate in the conveyance direction.
제1항에 있어서,
상기 슬릿은 각각 기판의 진입방향을 향하도록 기판의 표면과 경사 또는 수직으로 형성되고, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 상하 변위량에 대응하여, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 슬릿의 간격이 조정되는 것을 특징으로 하는 기판건조용 에어나이프 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein the slits are formed in an oblique or vertical direction with respect to a surface of the substrate so as to face the entering direction of the substrate and corresponding to a vertical displacement amount of the plate positioned forward in the transfer direction of the substrate, Wherein an interval between the slits is adjusted.
제1항에 있어서,
상기 몸체는 기판의 이송방향을 따라 순차로 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 및 제3플레이트의 조립체로 이루어지고,
상기 슬릿은, 상기 제1플레이트와 제2플레이트 사이에 형성된 제1슬릿과, 상기 제2플레이트와 제3플레이트 사이에 형성된 제2슬릿을 포함하며,
상기 제1플레이트의 변위량에 대응하여 상기 제1슬릿의 간격이 조정되는 것을 특징으로 하는 기판건조용 에어나이프 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein the body comprises an assembly of a first plate, a second plate and a third plate sequentially disposed along a transport direction of the substrate,
Wherein the slit includes a first slit formed between the first plate and the second plate and a second slit formed between the second plate and the third plate,
Wherein an interval of the first slits is adjusted corresponding to a displacement amount of the first plate.
제1항에 있어서,
상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 변위된 위치를 고정하기 위한 위치고정수단을 더 포함하는 기판건조용 에어나이프 모듈.
The method according to claim 1,
Further comprising position fixing means for fixing a displaced position of the plate located in front of the substrate in the conveying direction.
제4항에 있어서,
상기 위치고정수단은,
상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트를 관통하여 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 후미에 인접하게 위치하는 플레이트에 체결되며, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 측면에 머리부가 밀착 고정되는 체결부재와,
상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트에 형성되어 상기 체결부재의 몸체부가 내측에서 변위 가능하도록 안내하는 장공과,
상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 후미에 인접하게 위치하는 플레이트에 형성되어 상기 체결부재의 몸체부의 단부가 나사결합되는 체결홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판건조용 에어나이프 모듈.
5. The method of claim 4,
The position fixing means,
A plate disposed on a front side in a conveying direction of the substrate and connected to a plate positioned adjacent to a rear side of a plate positioned in front of the substrate in a conveying direction, A fastening member to which the head portion is tightly fixed,
A slot formed on a plate positioned in front of a transfer direction of the substrate and guiding the body of the fastening member to be displaceable from the inside,
And a fastening groove formed on a plate positioned adjacent to a rear end of the plate located forward of the substrate in a conveying direction and screwed together with an end of the body of the fastening member.
제1항에 있어서,
상기 슬릿의 간격은 0.05mm~0.2mm의 범위에서 조정 가능하도록 구성된 기판건조용 에어나이프 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein an interval between the slits is adjustable in a range of 0.05 mm to 0.2 mm.
기판을 이송하는 이송부;
이송되는 기판의 상측 또는 하측 또는 상하 양측에 설치되는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 에어나이프 모듈; 및
상기 에어나이프 모듈에 기판건조용 기체를 공급하는 기체공급부;
를 포함하는 기판건조장치.A transfer unit for transferring the substrate;
The air knife module according to any one of claims 1 to 6, wherein the air knife module is installed on an upper side or a lower side or both upper and lower sides of a substrate to be transferred; And
A gas supply unit for supplying a substrate drying gas to the air knife module;
And the substrate drying apparatus.
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KR20230023239A (en) * 2021-08-10 2023-02-17 주식회사 레드애로우 Dual slit air knife

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