KR20030080121A - 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패키지된 디바이스가 테스트되는 시간에 디바이스 공급 및 배출시켜 디바이스의 공급시간과 대기시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법에 관한 것이다.
본 발명은 칩이 실장된 디바이스가 각각 공급되고 상기 디바이스를 자유낙하시키는 제 1 및 제 2 로딩트랙과, 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 전기적 불량여부를 소정의 검사위치에서 검사함과 동시에 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 검사를 위하여 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치에 인접한 대기위치 상에 정지시키는 테스트모듈과, 상기 테스트모듈에 의해 검사완료된 상기 디바이스를 배출하기 위한 언로딩트랙을 구비한다.
이러한 구성에 의하여, 본 발명은 2개의 로딩트랙을 인접하게 배치하고, 상하 이송캠과 좌우 이송캠을 이용하여 디바이스를 테스트 하기 위한 테스트 사이트트랙을 상하 좌우로 이송시킴으로써, 디바이스를 테스트하는 동안에 다른 디바이스를 공급하여 디바이스의 대기시간을 최소화시켜 장치의 성능 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

Description

수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법{TEST HANDLER OF VERTICAL TYPE AND METHOD OF TESTING USING THE SAME}
본 발명은 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법에 관한 것으로, 특히 패키지된 디바이스가 테스트되는 시간에 디바이스 공급 및 배출시켜 디바이스의 공급시간과 대기시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법에 관한 것이다.
수직식 테스트 핸들러는 중력에 의하여 디바이스를 이송시키는 방식을 말하며, 디바이스가 흘러가기 위한 트랙이 구성된다. 이러한, 디바이스를 테스트하기 위한 일반적인 콘택 방법은 테스트 장소인 테스트 사이트에 디바이스가 공급되면 물리적인 힘을 가함으로써 디바이스의 리드 부위와 테스트 사이트의 소켓이 접촉된다. 테스트 사이트의 소켓으로부터 디바이스와 리드 부위에 전기적인 신호가 인가하여 디바이스를 테스트하게 된다.
도 1을 참조하면, 종래의 수직식 테스트 핸들러는 패키지된 디바이스(2)를 공급하는 로딩트랙(10)과, 로딩트랙(10)으로부터 로딩되는 디바이스(2)를 테스트하기 위한 테스트 사이트(30)와, 테스트 사이트(30)로부터 테스트 완료된 디바이스(2)를 언로딩시키는 언로딩트랙(20)을 구비한다.
로딩트랙(10)에는 디바이스(2)를 중력에 의해 하방으로 흘려보내기 위한 트랙이 마련된다. 이러한 트랙에는 도시하지 않은 외부의 로딩장치에 의해 다수의 디바이스(2)가 공급된다. 또한, 로딩트랙(10)의 하방 끝단에는 중력에 의해 하방으로 흘려지는 디바이스(2)를 정지시키기 위한 로딩트랙 스토퍼(12)가 설치된다. 로딩트랙 스토퍼(12)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 로딩트랙(10)의 트랙에서 흘려지는 디바이스(2)를 하나씩 테스트 사이트(30)에 로딩시킨다. 즉, 로딩트랙 스토퍼(12)는 테스트 사이트(30)에 디바이스(2)를 로딩시키거나 대기시킨다.
테스트 사이트(30)는 로딩트랙 스토퍼(12)에 의해 디바이스(2)가 로딩되는 테스트 사이트트랙(34)과, 테스트 사이트트랙(34)의 하방 끝단에 설치되어 로딩되는 디바이스(2)를 테스트 위치에 정지시키기 위한 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)와, 디바이스(2)의 리드와 접촉되어 전기적인 신호를 인가하는 도시하지 않은 소켓을 추가로 구비한다.
테스트 사이트트랙(34)에는 로딩트랙 스토퍼(12)의 구동에 의해 흘려지는 디바이스(2)가 로딩된다. 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)는 테스트 사이트트랙(34)에 로딩되는 디바이스(2)를 정지시키거나 테스트 완료 후 배출되도록 한다. 즉, 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)는 테스트 사이트(30)에 로딩된 디바이스(2)를 테스트하는 동안 지지하고, 테스트 완료된 디바이스(2)를 언로딩트랙(20)으로 언로딩시킨다. 소켓은 디바이스(2)의 리드부위와 콘택되어 디바이스(2)에 전기적인 신호를 공급한다.
이러한 테스트 사이트(30)는 디바이스(2)가 로딩되면 도시하지 않은 구동장치에 의해 테스트 사이트(30)가 좌우 또는 수평방향으로 구동됨으로써 소켓은 디바이스(2)의 리드부위와 콘택된다. 소켓이 디바이스(2)의 리드부위와 콘택되면 도시하지 않은 구동회로로부터 전기적인 신호가 공급하여 디바이스(2)에 공급되어 디바이스(2)의 전기적 특성 불량여부를 테스하게 된다.
언로딩트랙(20)은 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)의 구동에 의해 테스트 사이트(30)에서 테스트 완료된 디바이스(2)를 공급받아 디바이스(2)를 언로딩시키게 된다.
이와 같은 종래의 수직식 테스트 핸들러를 도 2와 결부하여 종래의 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법을 설명하면 다음과 같다.
수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법은 우선 외부로부터 로딩트랙(10)에 디바이스(2)가 공급된다. (2S1 단계) 그런 다음, 로딩트랙(10)에 공급되어 하방으로 흘려지는 디바이스(2)는 로딩트랙 스토퍼(12)의 구동에 의해 정지됨과 아울러 테스트 사이트(30)로의 로딩을 대기한다. (2S2 단계)
로딩트랙 스토퍼(12)에 의해 로딩 대기하는 디바이스(2)는 로딩트랙 스토퍼(12)의 구동에 의해 테스트 사이트(30)로 흘려져 로딩된다. (2S3 단계) 테스트 사이트(30)로 흘려지는 디바이스(2)는 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)의 구동에 의해 정지되어 지지된다. (2S4 단계) 이 때, 로딩트랙(10)에 공급되는 디바이스(2)는 로딩트랙 스토퍼(12)의 구동에 의해 테스트 사이트(30)로의 로딩을 대기하게 된다.
테스트 사이트(30)에 로딩된 디바이스(2)는 테스트 사이트(30)가 좌우 또는 수평으로 구동됨으로써 소켓과 콘택됨과 아울러 소켓으로부터 전기적인 신호가 인가되어 테스트된다. (2S5 단계)
테스트 완료된 디바이스(2)는 테스트 사이트트랙 스토퍼(32)의 구동에 의해 언로딩트랙(20)으로 흘려져 언로딩된다. (2S6 단계)
이와 같은, 종래의 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법은 디바이스(2) 하나를 테스트한 후, 대기하던 다음 디바이스(2)를 테스트하기 위해 테스트 완료된 디바이스(2)를 배출한 후 다음 디바이스(2)를 테스트 사이트(30)에 공급하여 테스트한다. 즉, 종래의 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법은 디바이스(2) 공급, 디바이스(2) 테스트, 디바이스(2) 배출 및 디바이스(2) 공급이하는 사이클을 순차적으로 반복하여 디바이스(2)를 테스트함으로써디바이스(2) 대기시간으로 인한 공정시간이 많이 소요된다. 실제로, 종래의 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법에 따른 디바이스의 대기시간은 대략 0.7 ~ 0.8초 정도가 되기 때문에 장치의 성능 및 생산성이 향상시키는데 어려움이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 패키지된 디바이스가 테스트되는 시간에 디바이스 공급 및 배출시켜 디바이스의 공급시간과 대기시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법을 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 수직식 테스트 핸들러를 개략적으로 나타내는 블럭도.
도 2는 종래의 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법을 나타내는 순서도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 나타내는 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 개략적으로 나타내는 측면도.
도 5는 도 3에 도시된 테스트 사이트를 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러의 측면사시도.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 나타내는 평면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러에서 실린더를 사용한 구동부를 나타내는 평면도.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 개략적으로 나타내는 블럭도.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법을 단계적으로 나타내는 순서도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2, 42 : 디바이스10, 50, 60 : 로딩트랙
12, 52, 62 : 로딩트랙 스토퍼20, 90, 100 : 언로딩트랙
30, 70 : 테스트 사이트32,72,82 : 테스트 사이트트랙 스토퍼
34, 74, 64 : 테스트 사이트트랙69 : 소켓
80 : 이송블럭110 : 타이밍벨트
120 : 구동부124 : 푸셔
130 : 상하 이송캠131, 132, 192 : 렉기어
134 : 피니언140 : 좌우 이송캠
190 : 실린더
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러는 칩이 실장된 디바이스가 각각 공급되고 상기 디바이스를 자유낙하시키는 제 1 및 제 2 로딩트랙과, 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 전기적 불량여부를 소정의 검사위치에서 검사함과 동시에 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 검사를 위하여 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치에 인접한 대기위치 상에 정지시키는 테스트모듈과, 상기 테스트모듈에 의해 검사완료된 상기 디바이스를 배출하기 위한 언로딩트랙을 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러에서 상기 테스트모듈은 상기 제 1 로딩트랙에 공급되는 상기 디바이스를 검사하기 전에 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받은 후 상기 디바이스를 상기 검사위치로 이송시키는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러의 제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에는 상기 디바이스의 자유낙하를 구속하기 위한 스토퍼들을 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러에서 상기 테스트 모듈은 상기 제 1 로딩트랙으로부터 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받는 제 1 테스트트랙과, 상기 제 2 로딩트랙으로부터 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받는 제 2 테스트트랙과, 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙이 인접하게 설치되는 이송블럭과, 상기 검사위치에 위치하는 상기 디바이스에 콘택되어 전기적인 신호를 콘택된 상기 디바이스에 공급하는 소켓을 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러의 제 1 및 제 2 테스트트랙 각각에는 상기 디바이스의 자유낙하를 구속하기 위한 스토퍼들을 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러는 상기 이송블럭을 좌측 및 우측 중 어느 한쪽으로 이송시켜 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙 중 어느 하나는 상기 검사위치에 위치되도록 하고, 나머지 하나는 상기 모듈 다바이스를 공급받기 위한 위치로 상기 이송블럭을 이송시키는 수평 구동부와, 상기 이송블럭을 상승 및 하강시켜 상기 검사위치에 상기 디바이스와 상기 소켓을 콘택시키는 수직 구동부와, 상기 수평 구동부 및 수직 구동부을 구동시키기 위한 구동원을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러에서 상기 수평 구동부는 상기 이송블럭에 설치되는 제1 가이더와, 상기 제 1 가이더의 일측에 설치되는 제 1 렉기어와, 상기 테스트모듈에 설치되는 제 2 렉기어와, 상기 제 1 렉기어와 제 2 렉기어 사이에 치합되는 피니언과, 상기 구동원의 회전에 연동되어 상기 피니언을 회전시키는 제 1 캠을 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러에서 상기 수직 구동부는 소정의 경사면의 캠홈을 가지는 푸셔와, 상기 구동원의 회전에 연동하는 제 2 캠과, 상기 제 2 캠의 회전에 연동되어 상기 캠홈을 따라 직선운동됨으로써 상기 푸셔를 수직운동시키는 제 2 구동바와, 상기 푸셔가 설치되고 상기 푸셔의 수직운동에 연동되는 제 1 플레이트와, 상기 제 1 플레이트의 배면에 설치되고 상기 제 1 플레이트의 수직운동에 연동되어 상기 이송블럭을 수직운동시키는 다수의 제 1 압력핀들과, 상기 이송블럭과 상기 제 1 플레이트 사이에 설치되어 상기 다수의 압력핀들이 관통됨과 아울러 상기 제 1 플레이트를 지지하는 제 2 플레이트와, 상기 제 2 플레이트의 배면에 설치되어 상기 다수의 압력핀들이 설치되는 푸싱블럭과, 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙에 설치되고 상기 푸싱블럭의 가압에 연동되어 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙을 하강시키는 다수의 제 2 압력핀들과, 상기 제 2 압력핀들에 삽입되어 탄성력에 의해 가압된 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙을 상승시키는 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러의 상기 언로딩트랙은 상기 테스트모듈을 사이에 두고 상기 제 1 및 제 2 로딩트랙과 나란하게 배치되는 제 1 및 제 2 언로딩트랙을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법은 칩이 실장된 디바이스를 제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에 공급하여 자유낙하시키는 단계와, 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스를 정지시킴과 아울러 상기 디바이스의 전기적 불량여부를 검사하기 위하여 소정의 검사위치로 상기 디바이스를 이송시키는 단계와, 상기 검사위치로 이송된 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스에 대하여 전기적 불량여부를 검사함과 기간에 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 검사를 위하여 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치에 인접한 대기위치 상에 정지시키는 단계와, 상기 검사위치에 인접한 대기위치에서 대기 중인 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치로 이송시키는 단계와, 상기 검사위치로 이송된 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스에 대하여 전기적 불량여부를 검사하는 기간에 상기 전기적 불량여부의 검사완료된 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스를 배출함과 아울러 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 다른 디바이스를 정지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법은 상기 제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에 공급되어 자유낙하되는 상기 디바이스를 정지시킴과 아울러 정지된 상기 디바이스에 대하여 전기적인 불량여부를 검사하기 위하여 상기 디바이스를 하나씩 자유낙하시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 3 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러는 유압 또는 공기압에 의해 회전되는 구동부(120)와, 세로로 나란하게 배치되어 칩이 실장되어 패키지된 디바이스(42)가 공급되는 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60)과, 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60)으로부터 로딩되는 각각의 디바이스(42)를 교번적으로 테스트하기 위한 테스트 사이트(70)와, 테스트 사이트(70)로부터 테스트 완료된 디바이스(42)를 언로딩시키는 제 1 및 제 2 언로딩트랙(90, 100)과, 구동부(120)로부터 회전력을 전달받아 회전하는 상하 이송캠(130) 및 좌우 이송캠(140)을 구비한다.
구동부(120)는 지지프레임(112)에 상에 설치되어 유압 또는 공기압에 의해 주기적으로 정회전 및 역회전을 반복하는 모터 또는 실린더가 될 수 있다.
좌우 이송캠(140) 및 상하 이송캠(130)은 하나의 구동축에 설치되며 서로 다른 원주를 갖는다. 상하 이송캠(130)은 도 4에 도시된 바와 같이 수직프레임(150)에 설치된 상측 브라켓(152) 및 하측 브라켓(154) 사이에 설치되고, 좌우 이송캠(140)은 하측 브라켓(154)과 상하 이송캠(130) 사이에 설치된다. 또한, 구동축에 끝단에는 풀리(142)가 설치되어 타이밍 벨트(110)를 통해 구동부(120)의 회전력이 전달받는다.
제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60) 각각에는 디바이스(42)를 중력에 의해 하방으로 흘려보내기 위한 트랙이 마련된다. 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60) 각각의일측부에는 중력에 의한 디바이스(42)의 자유낙하시 트랙에서 디바이스(42)가 트랙에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 평판(51, 61 91, 93)이 설치된다. 이러한 트랙에는 도시하지 않은 외부의 로딩장치에 의해 다수의 디바이스(42)가 공급된다. 또한, 제 1 및 제 2 로딩트랙(50) 각각의 하방 끝단에는 중력에 의해 하방으로 흘려지는 디바이스(42)를 정지시키기 위한 제 1 및 제 2 로딩트랙 스토퍼(52, 62)가 각각 설치된다. 제 1 및 제 2 로딩트랙 스토퍼(52, 62)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60)에서 각각 흘려지는 디바이스(42)를 하나씩 테스트 사이트(70)에 로딩시킨다. 즉, 제 1 및 제 2 로딩트랙 스토퍼(52, 62)는 테스트 사이트(70)에 디바이스(42)를 로딩시키거나 대기시킨다.
테스트 사이트(70)는 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60)으로부터 로딩되는 디바이스(42)를 번갈아 가면서 테스트한다. 이를 위해, 테스트 사이트(70)는 도 5에 도시된 바와 같이 좌우로 이송하는 이송블럭(80)과, 이송블럭(80)에 각각 설치되는 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64)과, 이송블럭(80)을 관통하여 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 각각에 설치되어 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64)을 각각 상하로 이송시키기 위한 다수의 제 1 압력핀(88)들을 구비한다.
제 1 테스트 사이트트랙(74)은 이송블럭(80)의 좌측에 설치되어 제 1 로딩트랙(50)으로부터 로딩되는 다바이스(42)를 정지시킴과 아울러 지지하기 위한 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)를 구비한다. 이에 따라, 제 1 테스트 사이트트랙(74)은 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)의 구동에 의해 제 1 로딩트랙(50)으로부터 디바이스(42)를 로딩받는다.
제 2 테스트 사이트트랙(64)은 이송블럭(80)의 우측에 설치되어 제 2 로딩트랙(60)으로부터 로딩되는 다바이스(42)를 정지시킴과 아울러 지지하기 위한 제 2 테스트 사이트트랙 스토퍼(82)를 구비한다. 이에 따라, 제 2 테스트 사이트트랙(64)은 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)의 구동에 의해 제 2 로딩트랙(60)으로부터 디바이스(42)를 로딩받는다.
다수의 제 1 압력핀(88) 각각은 이송블럭(80)을 관통하여 설치된다. 이송블럭(80)을 관통한 다수의 제 1 압력핀(88) 각각에는 스프링(89)이 삽입된다. 이 스프링(89)은 다수의 제 1 압력핀(88)들이 하강되었을 때 탄성력에 의해 원 위치를 복귀시키는 역할을 한다.
이러한, 이송블럭(80)은 테스트 사이트(70)에 마련된 제 1 LM가이더(92)에 설치되어 제 1 LM가이더(92)에 의해 테스트 사이트(70) 내에서 좌우로 이송된다. 제 1 LM가이더(92)는 테스트 사이트(70)의 상부 케이스에 마련된 가이드레일과 이송블럭(80)과 결합된 슬라이드 블럭으로 구성된다.
이송블럭(80)의 일측에는 이송블럭(80)을 좌우로 직선 왕복운동시키기 위한 제 1 렉기어(Reck Gear; 132)가 설치된다. 제 1 렉기어(132)는 피니언(134)의 회전에 의해 직선 왕복운동한다. 피니언(134)은 도 6에 도시된 바와 같이 좌우 이송캠(140)의 회전시 좌우 이송캠(140)에 형성된 궤적을 따라 회전하게 된다.
제 1 렉기어(132)의 직선 왕복운동을 크게 하기 위하여, 도 7에 도시된 바와 같이 테스트 사이트(70)의 일측에는 제 2 렉기어(131)가 설치된다. 제 2렉기어(131)에는 고정볼트(137)에 의해 테스트 사이트(70)에 설치되어 고정된다.
이러한, 제 1 및 제 2 렉기어(132, 131) 사이에는 피니언(134)이 치합되어 설치된다.
또한, 테스트 사이트(70) 상에는 제 1 플레이트(128)가 설치되고, 제 1 플레이트(128)를 관통하여 이송블럭(80)을 상하로 이송시키는 다수의 제 2 압력핀(101)과, 제 1 플레이트(128)의 배면에 배치되어 다수의 제 2 압력핀(101)과 공통으로 결합되는 푸쉬블럭(125)과, 다수의 제 2 압력핀(101)이 배면에 설치되는 제 2 플레이트(127)와, 제 2 플레이트(127) 상에 설치됨과 아울러 소정기울기를 가지는 푸셔(124)를 구비한다.
제 1 플레이트(128)는 테스트 사이트(70)의 상부 케이스에 장착되고, 다수의 제 2 압력핀(101)들이 관통되는 다수의 홀들을 구비한다. 제 2 플레이트(127)의 배면에는 제 2 압력핀(101)들이 설치된다. 제 1 및 제 2 플레이트(128, 127) 사이에는 상하로 이송되는 제 2 플레이트(127)의 충격을 완충하기 위한 완충핀(103)이 설치되고, 이 완충핀(103)에는 스프링이 삽입된다. 제 2 플레이트(127)를 관통한 다수의 제 2 압력핀(101)들은 푸쉬블럭(125)와 결합된다.
푸쉬블럭(125)은 제 2 압력핀(101)의 하강에 연동되어 이송블럭(80)에 설치된 다수의 제 1 압력핀(88)들을 가압하여 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 중 어느 하나를 하강시키게 된다. 즉, 푸쉬블럭(125)은 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64)들을 상승 및 하강시키는 역할을 한다.
푸셔(124)에는 소정 기울기를 가지는 캠홈이 형성되고, 이 캠홈에는 제 2 롤러(126)가 삽입된다. 제 2 롤러(126)는 상하 이송캠(130)의 회전에 따라 직선운동하는 구동바(122)에 설치된다. 즉, 구동바(122)의 일측 끝단에 형성된 핀홀에 삽입되는 핀과 결합된다. 구동바(122)의 일측 반대쪽 끝단에는 제 3 롤러(151)가 설치된다. 제 3 롤러(151)는 구동바(122)의 일측 반대쪽 끝단에 형성된 핀홀에 삽입되는 핀과 결합된다. 이러한, 구동바(122)는 배면에는 제 2 LM가이더(153)가 설치된다. 이러한, 제 2 LM가이더(153)는 제 1 플레이트(128)에 마련된 가이드레일과 구동바(122)의 배면에 형성된 슬라이드 블럭으로 구성된다.
이러한, 푸셔(124)는 제 2 LM가이더(153)를 따라 직선운동하는 구동바(122)에 의해 상하로 이송된다. 즉, 구동바(122)의 직선운동에 의해 구동바(122)에 설치된 제 2 롤러(126)가 푸셔(124)의 경사면을 따라 푸셔(124)를 누름으로써 이송블럭(80)은 상하로 이송된다.
이와 같은, 이송블럭(80)의 좌우이송을 상세히 설명하면, 먼저 구동부(120)가 회전할 경우 좌우 이송캠(140)이 회전된다. 좌우 이송캠(140)이 회전함에 따라 피니언(134)은 좌우 이송캠(140)에 형성된 궤적으로 따라 회전된다. 이로 인해, 피니언(134)은 제 1 렉기어(132)를 따라 좌측으로 이송됨과 아울러 제 2 렉기어(131)를 좌측으로 이송시키게 된다. 이 때, 제 1 렉기어(132)의 이송거리는 제 2 렉기어(131)의 이송거리가 더해지게 된다. 이송블럭(80)은 제 1 렉기어(132)의 좌측이송에 연동되어 제 1 LM가이더(92)를 따라 의해 좌로 이송된다.
또한, 이송블럭(80)은 좌우 이송캠(140)이 1회전함에 따라 우측으로 이송된다. 즉, 좌우 이송캠(140)이 1회전함에 따라 피니언(134)이 좌우 이송캠(140)에형성된 궤적에 의해 우측으로 이송되어 제 1 렉기어(132)를 우측으로 이송시킴으로써 이송블럭(80)은 우측으로 이송된다. 결과적으로, 좌우 이송캠(140)이 1회전하게 되면, 이송블럭(80)은 좌측으로 이송된 후 다시 우측으로 이송되어 원위치로 복귀한다.
한편, 구동부(120)가 회전함에 따라 상하 이송캠(130)이 회전된다. 상하 이송캠(130)이 회전함에 따라 제 3 롤러(151)가 회전함과 동시에 구동바(122)를 좌측으로 이송시킨다. 구동바(122)가 제 2 LM가이더(153)를 따라 좌측으로 이송함에 따라 제 2 롤러(126)가 푸셔(124)의 경사면을 누루게 된다. 이로 인해, 제 2 플레이트(127)가 하강되어 제 2 압력핀(101)이 하강됨으로써 푸싱블럭(125)을 하강시켜 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 중 어느 하나를 하강시키게 된다.
또한, 구동부(120)가 1회전함에 따라 상하 이송캠(130)이 회전하여 구동바(122)는 상하 이송캠(130)의 원주면을 따라 우측으로 이송된다. 구동바(122)가 우측으로 이송됨에 따라 제 2 롤러(126)가 푸셔(124)의 경사면을 따라 하강되어 제 2 플레이트(127)가 상승되어 다수의 압력핀(101)들이 상승된다. 이에 따라, 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64)은 스프링의 탄성력에 의해 상승된다.
이와 같이, 이송블럭(80)이 좌측으로 이송됨과 아울러 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 중 어느 하나를 하강시킴으로써, 하강된 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 중 어느 하나는 소켓(69)과 콘택되고, 제 1 및 제 2 테스트 사이트트랙(74, 64) 중 나머지 하나는 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60) 중 어느 하나에 대면된다.
제 1 및 제 2 언로딩트랙(90, 100) 각각은 테스트 사이트(70)에서 테스트 완료된 디바이스(42)를 외부로 흘려보내 언로딩시킨다. 즉, 제 1 언로딩트랙(90)은 제 1 로딩트랙(50)으로부터 테스트 사이트(70)에 공급되어 테스트 완료된 디바이스(42)를 언로딩시키고, 제 2 언로딩트랙(100)은 제 2 로딩트랙(60)으로부터 테스트 사이트(70)에 공급되어 테스트 완료된 디바이스(42)를 언로딩시킨다.
한편, 도 8을 참조하면, 상하 이송캠(130) 및 좌우 이송캠(140)을 회전시키기 위한 구동부는 유압 또는 공기압에 의해 구동되는 실린더(190)로 구성된다.
실린더(190)는 유압 또는 공기압에 의해 직선운동을 하게 된다. 직선운동을 하는 실린더(190)의 구동축에는 렉기어(192)가 설치된다. 이러한, 렉기어(192)의 직선운동은 상하 이송캠(130) 및 좌우 이송캠(140)이 설치된 구동축(194)에 전달된다. 이를 위해, 구동축(194)에는 렉기어(192)와 치합되는 도시하지 않은 피니언이 설치된다. 피니언은 렉기어(192)의 직선운동에 의해 회전하게 된다.
따라서, 실린더(190)의 구동축이 유압 또는 공기압에 의해 앞으로 전진할 경우에는 렉기어(192)가 전진되어 피니언을 정회전시킴으로써 상하 이송캠(130) 및 좌우 이송캠(140)을 정회전시키게 된다. 또한, 실린더(190)의 구동축이 유압 또는 공기압에 의해 뒤쪽으로 후진할 경우에는 렉기어(192)가 후진되어 피니언을 역회전시킴으로써 상하 이송캠(130) 및 좌우 이송캠(140)을 역회전시키게 된다.
이와 같은 본 발명에 따른 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법을 도 9 및 도 10과 결부하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60) 각각에 도시하지 않은 디바이스 로딩장치에 의해 다수의 디바이스(42)가 공급된다. (10S1단계)
제 1 및 제 2 로딩트랙(50, 60) 각각에 공급된 디바이스(42)들은 제 1 및 제 2 로딩트랙 스토퍼(52, 62)에 정지되어 테스트 사이트(70)로의 공급을 대기한다. 즉, 제 1 로딩트랙(50)에 공급되는 디바이스(42)는 자유낙하 중 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)에 의해 정지된다. 제 2 로딩트랙(60)에 공급되는 디바이스(42)는 자유낙하 중 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)에 의해 정지된다. (10S2단계)
그런 다음, 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)가 구동되어 제 1 로딩트랙(50)에서 대기하고 있는 디바이스(42)가 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된다. 즉, 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)가 구동됨으로써, 제 1 로딩트랙(50)에 대기하고 있는 디바이스(42)는 이송블럭(80) 상의 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 자유낙하된다. (10S3단계) 자유낙하에 의해 디바이스(42)는 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)에 의해 정지되어 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된다. (10S4단계)
제 1 테스트 사이트트랙(74)에 디바이스(42)가 로딩되면 도 3에 도시된 구동부(120)가 구동되어 좌우 이송캠(140)을 회전시킴으로써 이송블럭(80)은 우측으로 이송되고, 우측으로 이송된 이송블럭(80)의 제 1 테스트 사이트트랙(74)은 상하 이송캠(130)의 구동에 의해 하강된다. (10S5단계) 이에 따라, 이송블럭(80)의 제 2 테스트 사이트트랙(64)은 제 2 로딩트랙(60)과 대면됨과 아울러 이송블럭(80)의 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)는 도 4에 도시된 소켓(69)과 콘택된다.
소켓(69)과 콘택된 제 1 테스트 사이트트랙(74)의 디바이스(42)에는 도시하지 않은 구동회로로부터 전기적인 신호가 인가된다. 이에 따라, 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)에 대한 전기적인 불량여부를 검사하게 된다. (10S6-1단계)
제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)가 테스트되는 동안에 이송블럭(80)의 제 2 테스트 사이트트랙(64)에는 디바이스(42)가 로딩된다. (10S6-2단계) 즉, 제 2 로딩트랙(60)에 로딩된 디바이스(42)의 자유낙하를 구속하고 있는 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)가 구동된다. (ST1단계) 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)가 구동됨으로써 제 2 로딩트랙(60)에서 대기하고 있는 디바이스(42)는 제 2 테스트 사이트트랙(64)으로 낙하되고, 낙하되는 디바이스(42)는 제 2 테스트 사이트트랙 스토퍼(82)에 의해 정지됨으로써 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된다. 즉, 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)를 테스트하는 동안에 제 2 테스트 사이트트랙(64)에는 대기하고 있는 다른 디바이스(42)가 로딩된다. (ST2단계)
제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)에 대한 테스트가 완료됨과 아울러 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 다른 디바이스(42)의 로딩이 완료되면 도 3에 도시된 구동부(120)가 구동되어 좌우 이송캠(140)을 회전시킴으로써 이송블럭(80)은 좌측으로 이송되고, 이송블럭(80)이 좌측으로 이송되면 이송블럭(80)의 제 2 테스트 사이트트랙(64)은 상하 이송캠(130)의 구동에 의해 하강된다. (10S7단계) 이에 따라, 이송블럭(80)의 제 1 테스트 사이트트랙(74)은 제 1 로딩트랙(50)과 대면됨과 아울러 이송블럭(80)의 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 디바이스(42)는 도 4에 도시된 소켓(69)과 콘택된다.
소켓(69)과 콘택된 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 디바이스(42)에는 도시하지 않은 구동회로로부터 전기적인 신호가 인가된다. 이에 따라, 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 디바이스(42)에 대한 전기적인 불량여부를 테스트하게 된다. (10S8-2단계)
제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 다른 디바이스(42)가 테스트되는 동안에 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)는 언로딩됨과 아울러 제 1 테스트 사이트트랙(74)에는 다른 디바이스(42)가 로딩된다. (10S8-1단계) 즉, 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)의 자유낙하를 구속하고 있는 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)가 구동된다. (ST3단계) 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)가 구동됨으로써 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)는 제 1 언로딩트랙(90)으로 낙하되어 언로딩된다. (ST4단계) 그런 다음, 제 1 로딩트랙(50)에 공급되어 대기 중인 다른 디바이스(42)의 자유낙하를 구속하고 있는 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)가 구동된다. (ST5단계) 제 1 로딩트랙 스토퍼(52)가 구동됨으로써 제 1 로딩트랙(50)에 공급된 또 다른 디바이스(42)는 제 1 테스트 사이트 트랙(74)으로 낙하되고, 제 1 테스트 사이트트랙(74)으로 낙하된 또 다른 디바이스(42)는 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)에 의해 정지되어 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된다. 즉, 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 디바이스(42)를 테스트하는 동안에 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)는 언로딩됨과 아울러 제 1 테스트 사이트트랙(74)에는 제 1 로딩트랙(50)으로부터 또 다른 디바이스(42)가 로딩된다. (ST6단계)
이어서, 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩된 다른 디바이스(42)에 대한 테스트가 완료됨과 아울러 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)의 언로딩 및 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 또 다른 디바이스(42)의 로딩이 완료되면 도 3에 도시된 구동부(120)가 구동되어 좌우 이송캠(140)을 회전시킴으로써 이송블럭(80)은 우측으로 이송되고, 이송블럭(80)이 우측으로 이송되면 제 1 테스트 사이트트랙(74)은 상하 이송캠(130)의 구동에 의해 하강된다. (10S9단계) 이에 따라, 이송블럭(80)의 제 2 테스트 사이트트랙(64)은 제 2 로딩트랙(60)과 대면됨과 아울러 이송블럭(80)의 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 또 다른 디바이스(42)는 도 4에 도시된 소켓(69)과 콘택된다.
소켓(69)과 콘택된 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 또 다른 디바이스(42)에는 도시하지 않은 구동회로로부터 전기적인 신호가 인가된다. 이에 따라, 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 디바이스(42)에 대한 전기적인 불량여부를 테스트하게 된다. (10S10-1단계)
제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 또 다른 디바이스(42)가 테스트되는 동안에 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩되어 테스트 완료된 다른 디바이스(42)는 언로딩됨과 아울러 제 2 테스트 사이트트랙(64)에는 또 다른 디바이스(42)가 로딩된다. (10S10-2단계) 즉, 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)의 자유낙하를 구속하고 있는 제 2 테스트 사이트트랙 스토퍼(82)가 구동된다. (ST7단계) 제 2 테스트 사이트트랙 스토퍼(82)가 구동됨으로써 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩되어 테스트 완료된 디바이스(42)는 제 2 언로딩트랙(100)으로 낙하되어 언로딩된다. (ST8단계) 그런 다음, 제 2 로딩트랙(60)에 공급되어 대기 중인 또 다른 디바이스(42)의 자유낙하를 구속하고 있는 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)가 구동된다. (ST9단계) 제 2 로딩트랙 스토퍼(62)가 구동됨으로써 제 2 로딩트랙(60)에 공급된 또 다른 디바이스(42)는 제 2 테스트 사이트 트랙(64)으로 낙하되고, 제 2 테스트 사이트트랙(64)으로 낙하된 또 다른 디바이스(42)는 제 1 테스트 사이트트랙 스토퍼(72)에 의해 정지되어 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된다. (ST10 단계)
이와 같이, 제 1 테스트 사이트트랙(74)에 로딩된 또 다른 디바이스(42)를 테스트하는 동안에 제 2 테스트 사이트트랙(64)에 로딩되어 테스트 완료된 다른 디바이스(42)는 언로딩됨과 아울러 제 2 테스트 사이트트랙(64)에는 제 2 로딩트랙(60)으로부터 또 다른 디바이스(42)가 로딩된다.
그런 다음, 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법은 상술한 10S7 단계, 10S8 단계, 10S9 단계 및 10S10단계를 반복함으로써 디바이스(42)를 테스트하게 된다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법은 하나의 디바이스(42)를 테스트하는 동안에 다른 디바이스(42)를 공급 및 배출시킴으로써 디바이스(42)의 대기시간을 최소화 할 수 있다. 실제로, 본 발명의 실시 예에 따른 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법에서의 디바이스의 대기시간은 대략 0.3 ~ 0.4초 정도가 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법은 2개의 로딩트랙을 인접하게 배치하고, 상하 이송캠과 좌우 이송캠을 이용하여 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 사이트트랙을 상하 좌우로 이송시킴으로써, 디바이스를 테스트하는 동안에 다른 디바이스를 공급하여 디바이스의 대기시간을 최소화시켜 장치의 성능 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (11)

  1. 칩이 실장된 디바이스가 각각 공급되고 상기 디바이스를 자유낙하시키는 제 1 및 제 2 로딩트랙과,
    상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 전기적 불량여부를 소정의 검사위치에서 검사함과 동시에 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 검사를 위하여 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치에 인접한 대기위치 상에 정지시키는 테스트모듈과,
    상기 테스트모듈에 의해 검사완료된 상기 디바이스를 배출하기 위한 언로딩트랙을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트모듈은 상기 제 1 로딩트랙에 공급되는 상기 디바이스를 검사하기 전에 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받은 후 상기 디바이스를 상기 검사위치로 이송시키는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  3. 제 1 항에 있어서,
    제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에는 상기 디바이스의 자유낙하를 구속하기 위한 스토퍼들을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 모듈은,
    상기 제 1 로딩트랙으로부터 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받는 제 1 테스트트랙과,
    상기 제 2 로딩트랙으로부터 자유낙하되는 상기 디바이스를 공급받는 제 2 테스트트랙과,
    상기 제 1 및 제 2 테스트트랙이 인접하게 설치되는 이송블럭과,
    상기 검사위치에 위치하는 상기 디바이스에 콘택되어 전기적인 신호를 콘택된 상기 디바이스에 공급하는 소켓을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  5. 제 4 항에 있어서,
    제 1 및 제 2 테스트트랙 각각에는 상기 디바이스의 자유낙하를 구속하기 위한 스토퍼들을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 이송블럭을 좌측 및 우측 중 어느 한쪽으로 이송시켜 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙 중 어느 하나는 상기 검사위치에 위치되도록 하고, 나머지 하나는 상기 모듈 다바이스를 공급받기 위한 위치로 상기 이송블럭을 이송시키는 수평 구동부와,
    상기 이송블럭을 상승 및 하강시켜 상기 검사위치에 상기 디바이스와 상기 소켓을 콘택시키는 수직 구동부와,
    상기 수평 구동부 및 수직 구동부을 구동시키기 위한 구동원을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 수평 구동부는,
    상기 이송블럭에 설치되는 제 1 가이더와,
    상기 제 1 가이더의 일측에 설치되는 제 1 렉기어와,
    상기 테스트모듈에 설치되는 제 2 렉기어와,
    상기 제 1 렉기어와 제 2 렉기어 사이에 치합되는 피니언과,
    상기 구동원의 회전에 연동되어 상기 피니언을 회전시키는 제 1 캠을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 수직 구동부는,
    소정의 경사면의 캠홈을 가지는 푸셔와,
    상기 구동원의 회전에 연동하는 제 2 캠과,
    상기 제 2 캠의 회전에 연동되어 상기 캠홈을 따라 직선운동됨으로써 상기푸셔를 수직운동시키는 제 2 구동바와,
    상기 푸셔가 설치되고 상기 푸셔의 수직운동에 연동되는 제 1 플레이트와,
    상기 제 1 플레이트의 배면에 설치되고 상기 제 1 플레이트의 수직운동에 연동되어 상기 이송블럭을 수직운동시키는 다수의 제 1 압력핀들과,
    상기 이송블럭과 상기 제 1 플레이트 사이에 설치되어 상기 다수의 압력핀들이 관통됨과 아울러 상기 제 1 플레이트를 지지하는 제 2 플레이트와,
    상기 제 2 플레이트의 배면에 설치되어 상기 다수의 압력핀들이 설치되는 푸싱블럭과,
    상기 제 1 및 제 2 테스트트랙에 설치되고 상기 푸싱블럭의 가압에 연동되어 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙을 하강시키는 다수의 제 2 압력핀들과,
    상기 제 2 압력핀들에 삽입되어 탄성력에 의해 가압된 상기 제 1 및 제 2 테스트트랙을 상승시키는 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 언로딩트랙은,
    상기 테스트모듈을 사이에 두고 상기 제 1 및 제 2 로딩트랙과 나란하게 배치되는 제 1 및 제 2 언로딩트랙을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러.
  10. 칩이 실장된 디바이스를 제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에 공급하여 자유낙하시키는 단계와,
    상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스를 정지시킴과 아울러 상기 디바이스의 전기적 불량여부를 검사하기 위하여 소정의 검사위치로 상기 디바이스를 이송시키는 단계와,
    상기 검사위치로 이송된 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스에 대하여 전기적 불량여부를 검사함과 기간에 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 디바이스의 검사를 위하여 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치에 인접한 대기위치 상에 정지시키는 단계와,
    상기 검사위치에 인접한 대기위치에서 대기 중인 상기 제 2 로딩트랙으로부터의 상기 디바이스를 상기 검사위치로 이송시키는 단계와,
    상기 검사위치로 이송된 상기 제 2 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스에 대하여 전기적 불량여부를 검사하는 기간에 상기 전기적 불량여부의 검사완료된 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하된 상기 디바이스를 배출함과 아울러 상기 제 1 로딩트랙을 따라 자유낙하되는 상기 다른 디바이스를 정지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 로딩트랙 각각에 공급되어 자유낙하되는 상기 디바이스를 정지시킴과 아울러 정지된 상기 디바이스에 대하여 전기적인 불량여부를 검사하기위하여 상기 디바이스를 하나씩 자유낙하시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직식 테스트 핸들러를 이용한 테스트방법.
KR10-2002-0018151A 2002-04-03 2002-04-03 수직식 테스트 핸들러와 이를 이용한 테스트방법 KR100445034B1 (ko)

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KR101328659B1 (ko) * 2013-07-25 2013-11-14 주식회사제이엠큐앤테크 차량용 연료분배관의 연결캡 검사장치
CN104154937A (zh) * 2014-08-26 2014-11-19 昆山迈致治具科技有限公司 一种气缸动力型pct治具

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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