KR20030071623A - 와이어 본더의 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기위한 방법 및 장치 - Google Patents

와이어 본더의 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

측정이 모세관에 의한 광빔(6)의 차광에 기초를 두며, 그리고 상기 광빔의 강도는 수광자(14)에 의해 측정되는, 초음파가 초음파 변환기(2)로부터 가해질 수 있는 호온(3)에 고정되는 모세관(1)의 팁 진동의 진폭의 성분 Ay의 측정시에, 상기 모세관은 그것이 광빔을 차광함없이 광빔의 일측에 위치되며 초음파가 그것에 가해진다. 상기 모세관은 그 다음에 단계들 내에서 광빔을 통과하여 이동되는데, 여기서, i = 1 내지 n 단계들의 각각에 대하여, 좌표 yi뿐만 아니라 수광자의 출력 신호의 직류 전압부 UDC(yi) 및 교류 전압부 UAC(yi)가 결정되고, 여기서 좌표 yi는 광빔에 수직으로 연장되는 좌표축 y에 대한 모세관의 위치를 나타내다. 진폭 Ay는 그 다음에 상기 측정값들로부터 산출된다.

Description

와이어 본더의 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE AMPLITUDE OF A FREELY OSCILLATING CAPILLARY OF A WIRE BONDER}
본 발명은 청구항 1의 전제부에 명명된 형태의 와이어 본더의 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
와아어 본더는 기판 상으로의 설치 후에 반도체 칩들을 결선시키는 기계이다. 상기 와이어 본더는 호온(horn)의 팁(tip)에 고정되는 모세관(capillary)을 구비한다. 상기 모세관은 와이어를 반도체 칩 상의 접속점으로, 그리고 기판 상의 접속점으로 고정시키는 역할을 할 뿐만 아니라, 상기 2개의 접속점들 사이에서 와이어를 안내하는 역할을 한다. 반도체 칩 상의 접속점 및 기판 상의 접속점 사이에 와이어 접속을 형성할 때, 모세관으로부터 돌출되는 와이어의 단부는 볼(ball)로 우선 용융된다. 그 후에, 상기 와이어 볼은 압력 또는 초음파에 의해 반도체 칩 상의 접속점에 고정된다. 이렇게 함에 있어서, 초음파는 초음파 변환기(ultrasonic transducer)로부터 상기 호온에 가해진다. 이러한 공정은 볼 본딩으로 불리어진다. 상기 와이어는 그 다음에 요구되는 길이로 잡아 당겨지며, 와이어 루프로 성형되고, 그리고 기판 상의 접속점에 용접된다. 상기 공정의 이러한 마지막 부분은 웨지 본딩(wedge bonding)으로 불리어진다. 와이어를 기판 상의 접속점에 고정한 후에, 상기 와이어는 잡아 떼어지며, 그 다음 본딩 싸이클이 시작될 수 있다.
자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치는 유럽 특허 EP 498 936 B1으로부터 공지된다. 측정값은 초음파 변환기를 보정하기 위해 사용된다. 모세관의 진동의 진폭의 측정은 광 베리어(light barrier)에 의해 행해진다.
레이저 빔이 광 베리어를 위해 사용되는, 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치는 일본 특허 10-209 199로부터 공지된다.
상기 공지 기술을 사용하는 측정은 자유 진동하는 모세관의 팁의 진폭이 측정되어야 하는 경우에 재생적인(reproducible) 결과를 제공하지 못한다는 것이 실험들에서 입증되었다.
본 발명의 목적은 자유 진동하는 모세관의 팁의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치를 개발하는 것이다.
본 발명은 청구항 1에 주어진 특징들을 포함한다. 유리한 실시예들은 종속항으로부터 유래한다.
본 발명에 따른 방법은 모세관에 의한 광빔(light beam)의 차광(shading)을 기초로 하는데, 여기서 모세관의 진동은 통과하는(let-through) 광빔의 강도를 조절한다. 통과하는 광빔의 강도는 수광자(opto-receiver)에 의해 측정된다. 일반적으로, 평면에서의 모세관의 진동 방향은 알려지지 않는다. 그러나 주로 모세관의 진동이 호온의 길이 방향 축의 방향으로 일어나는 경우가 일반적이다. 광빔의 차광의 측정 원리로는, 단지 광빔의 방향에 수직으로 일어나는 모세관 진동의 진폭 성분이 측정될 수 있다.
불행하게도 예를 들어 모세관의 오염, 모세관 상에서의 회절, 모세관의 점차적인 표면 변동, 광빔의 비대칭 등과 같은 수많은 바람직하지 않은 효과들이 있는데, 이것은 특수한 수단이 강구되지 않는 경우에 재생적인 측정을 방해한다. 본 발명은 다수의 측정을 수행하는 것과 획득된 측정값을 평균하는 것으로 이루어진다. 최초 단계에서, 모세관은 광빔에 관하여 조정된다. 그 후에, 광빔의 방향에 수직으로 일어나는 모세관의 진동의 성분 Ay가 다음의 단계에 따라 결정된다:
a) 그것이 광빔을 차광함없이 광빔의 일측에 모세관을 위치시키고 호온에 초음파를 가함;
b) 광빔 내로, 또는 광빔의 타측에 위치될 때까지 광빔을 완전히 지나가도록 미리 정해진 방향 w를 따라 n 단계의 주어진 수에서 모세관을 이동시키고, 여기서,i = 1 내지 n 단계들의 각각에 대하여, 좌표 yi뿐만 아니라 수광자의 출력 신호 UP(yi)의 직류 전압부 UDC(yi) 및 교류 전압부 UAC(yi)가 결정되며, 여기서 좌표 yi는 광빔에 수직으로 연장되는 좌표축 y에 대한 모세관의 위치를 나타내고, 여기서 측정되어야 할 성분 Ay는 좌표축 y의 방향으로 연장됨;
c)와 같이 좌표축 y에 대한 직류 전압부 UDC(yi)의 미분으로 감도값 Si(yi)를 산출;
d) 적어도 4개의 측정점을 선택하고, 이러한 적어도 4개의 측정점들에 대하여와 같이 값 Ay,i를 산출;
e) 값들 Ay,i의 평균으로 성분 Ay를 산출;
유리하게도, 상기 성분 Ay의 산출은 통계학적 방법의 사용에 의해 행해진다. 예를 들어, 이웃하는 측정점들에 대해 평균함으로써, 단계 c에서 산출된 감도값들 Si(yi)를 평활화하는 것이 특히 유리하다. 상기 측정값들 UDC(yi) 및 UAC(yi)를 평활화하는 것이 또한 유리하다. 4개의 측정점이 아니라 가능한 한 많은 측정점들을 고려하는 것이 또한 유리하다. 상기 측정의 선택을 위해 가능한 표준은 예를 들어, 감도 Si가 미리 정해진 최소값을 초과하는 것이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 광빔의 차광을 기초로 하는, 자유 진동하는 모세관의 팁의 진폭을 측정하기 위한 측정 장치의 도면,
도 2 내지 도 6은 광빔에 대한 모세관의 팁의 상이한 위치들의 도면,
도 7 내지 도 11은 상이한 다이아그램의 도면, 및
도 12, 도 13은 또 다른 측정 장치의 도면이다.
도 1은 초음파 변환기(2)로부터 그것으로 초음파가 가해질 수 있는 호온(3) 상으로 고정되는 모세관(1) 및 상기 모세관(1)의 팁 진동의 진폭을 측정하기 위한 장치의 평면도를 도시한다. 카테시안 좌표계의 좌표들은 x, y 및 z로 표시되며, 여기서 z 좌표는 도면의 평면에 수직으로 연장된다. 상기 호온(3)은 와이어 본더의 본드헤드(4)에 고정된다. 상기 본드헤드(4)는 3개의 모든 좌표 방향으로 모세관(1)의 이동을 가능하게 한다. 상기 측정 장치는 장치의 작업 영역 내에서 적절히 한정되는 직경을 갖는 광빔(6)의 생성을 위한 광원(5)을 포함한다. 상기 광원은 레이저 다이오드(7) 및 상기 레이저 다이오드(7)에 의해 방출되는 광(9)의 원뿔을 광빔(6) 내로 변환시키는 제 1 광학 조립체(8)로 구성된다. 예를 들어, 상기 제 1 광학 조립체(8)는 레이저 다이오드(7)에 의해 방출되는 광(9)의 원뿔을 평행광(11)의 빔 내로 모으는 제 1 렌즈(10), 및 상기 광을 다시 촛점을 맞추는 제 2 렌즈(12)로 구성되며, 따라서 광빔(6)의 직경은 제 2 렌즈(12)의 촛점면(13)에서 최소가 된다. 동시에, 상기 촛점면(13)은 모세관(1) 진동의 진폭의 측정을 위한 측정 평면이다. 또한, 상기 장치는 수광자(14) 및 상기 수광자(14) 상으로 광빔(6)을 비추기 위한 제 2 광학 조립체(15)를 포함한다. 상기 제 2 광학 조립체(15)는 측정 평면 뒤에 평행광(17)의 빔 내로 다시 발산하는 광빔(6)을 한 점에 모으는 제 1 렌즈(16), 및 상기 평행광(17)의 빔을 수광자(14) 상으로 촛점을 맞추는 제 2 렌즈(18)로 구성된다. 상기 모세관(1)의 팁의 직경은 약 50 ㎛ 내지 150 ㎛에 달한다. 상기 측정 평면 내에서의 광빔(6)의 유효 직경은 측정될 지점에서 모세관(1)의 직경보다 더 작다. 상기 실시예에서, 상기 광빔(6)의 직경은 약 21 ㎛에 달한다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 상기 광빔(6)은 x 방향으로 연장된다. 상기 호온(3)의 길이 방향 축(19)은 y 방향으로 연장된다. 상기 모세관(1)의 팁 진동의 진폭을 측정하기 위하여, 모세관(1)의 팁은 그것이 광빔(6)의 일부를 차광시키는 그러한 방법으로 상기 렌즈(12)의 촛점면(13) 내에 위치된다. 초음파 변환기(2)의 스위치가 켜지는 경우에, 상기 모세관(1)의 팁은 xy 평면에서 진동한다. 이러한 진동의 x성분 Ax가 차광을 변화시키지 않는 동안에, 상기 진동의 y성분 Ay는 수광자(14)에 의해 검출되는 광빔(6)의 차광에 있어서의 변화를 야기시킨다.
상기 측정 장치는 2개의 특수한 특징에 의해 구별된다. 한편으로, 상기 수광자(14)는 광빔(6)에 관하여 미리 정해진 각 φ만큼 기울어지며, 따라서 수광자(14)의 표면에서 반사되는 광빔(6)의 부분은 모세관 상으로, 또는 비록 상기 레이저 다이오드(7) 상으로라도 다시 반사되지 않고, "간섭없이" 상기 측정 장치를 "벗어난다". 상기 각 φ의 1° 내지 2°경사로도 이미 충분하다. 상기 광빔(6)은 따라서 90°와는 다른 각도에서 수광자(14) 상으로 충돌한다. 다른 한편으로, 2개의 광학 조립체(8 및 15) 각각은 빗나가는 광을 차단하기 위하여 시일드(shield; 20 또는 21)를 포함한다.
도 2는 모세관(1)의 팁 및 광빔(6)을 도시한다. 상기 광빔(6)의 직경 DL은 상기 모세관(1)의 팁의 직경 DC보다 더 작다.
모세관(1)의 팁 진동의 진폭을 신뢰성있게 측정하기 위하여, 상기 방법의 첫번째 부분에서, 모세관(1)의 z 높이는 광빔(6)에 관하여 조정되어야 한다.
이것은 다음의 단계들을 따라 행해진다:
1. 모세관(1)은 그것이 광빔을 가리지 않도록 광빔의 일측에 위치된다. 또한 이것은 z 방향으로 충분히 하강되며, 따라서 다음 단계에서, 이것은 완전히 광빔을 덮게 될 것이다.
2. 상기 모세관(1)은 그것이 광빔의 타측에 위치될 때까지 y 방향으로 점차적으로 광빔을 통과하여 이동된다. 그 후에, 위치 y0가 수광자에 의해 전달되는 신호로부터 결정되며, 여기에 광빔은 모세관의 중앙에 대략적으로 충돌한다. 상기 위치 y0는 도 3에 도시된다.
3. 상기 모세관(1)은 위치 y0로 가져와지며, 그 다음에 수광자로부터의 출력 신호가 모세관이 광빔을 가리지 않는 경우의 신호의 약 5 %를 통상적으로 만드는 미리 정해진 값에 도달할 때까지 z 방향으로 상승된다. 이하에서 z0로 표시되는 상기 위치는 도 4에 도시된다.
상기 방법의 두번째 부분에서, 모세관(1)의 팁 진동의 진폭 A의 y성분 Ay가 이하의 단계들을 따라 이제 결정된다:
a) 상기 모세관(1)이 위치 z0로 가져와지고 그것이 광빔(6)을 가리지 않도록 광빔의 일측에 y 방향으로 놓여진다. 초음파가 초음파 변환기(2)에 의해 호온(3)에가해진다.
b) 상기 모세관(1)은 광빔(6)의 타측에 위치될 때까지 y 방향으로 상기 광빔(6)을 통과하여 다수의 n 단계 내에서 이동된다. 수광자(14)의 출력 신호 UP는 직류 전압부 UDC및 교류 전압부 UAC를 포함한다:
UP= UDC+ UAC(1)
상기 직류 전압부 UDC는 모세관(1)에 의해 덮혀지지 않은 광빔(6)의 부분으로부터 발생한다. 상기 교류 전압부 UAC는 그것의 진동의 결과로서 모세관(1)의 팁에 의해 조절되는 광빔(6)의 부분으로부터 발생한다. i = 1 내지 n 단계들의 각각에서, 상응하는 y 좌표 yi뿐만 아니라, 상기 수광자(14)의 출력 신호 UP(yi)의 부분들 UDC(yi) 및 UAC(yi)이 결정되고 구해진다.
2개의 인접하는 좌표 yi및 yi+1사이의 거리는 통상적으로 1 ㎛에 달한다.
상기 교류 전압부 UAC는 다음과 같이 모세관(1)의 팁 진동의 y 성분 Ay에 관련된다:
, (2)
여기서, 감도 S(y)는 좌표 y에 대한 직류 전압부 UDC의 미분에 의해 주어진다.
c) 이제, 각각의 측정 단계 i에 있어서, 상기 미분는 측정값들 UDC(yi)로부터 산출되고, 감도 Si(yi)로서 구해진다:
(3).
상기 방정식 (3)에 따르면, 진폭 Ay,i가 이제
(4)
와 같이 각각의 측정점 i에 대해서 산출될 수 있다.
(d) 평균 구하기에 의해서, 상기 모세관(1)의 팁 진동의 진폭 A의 y 성분 Ay에 대한 평균이 상기 방정식 (4)에 따라 상기 값들 Ay,i로부터 산출된다.
상기 방법 단계들 c 및 d에 따른 y 성분 Ay의 평균값의 산출에 있어서, 모든 측정점들이 아닌, 감도 S가 최소값을 초과하는 그러한 측정점들만 고려하는 것이 바람직하다. 이것은 모세관(1)이 광빔(6) 내로 이동하는 경우, 및 이것이 다시 빠져나오는 경우, 따라서 도 5 및 도 6에 도시되는 바와 같이, 모세관(1)이 광빔(6)을 단지 부분적으로 덮는 경우이다. 따라서 단지 이러한 측정점들만 선택되는데, 이것은 물리적인 관점으로부터, 사용 가능한 측정값을 실제로 제공한다. 상기 모세관(1)이 광빔(6)을 거의 전체적으로 덮는 영역에서, 이것의 진동은 측정 신호에 아무런 영향을 미치지 않는다. 또한, 통계학에서 사용되는 통상적인 방법들을 적용하는 것이 유리하다. 산출된 감도 Si(yi)를 평활화하는 것이 특히 유리하다. 평균은 또한 예를 들어 표본을 위한 3개의 인접하는 측정값들에 대해서 형성되거나, 또는 미리 정해진 함수에 적합시킴에 의해서 형성된다는 점에서 평활화가 행해질 수 있다. 측정값들 UDC(yi) 및 UAC(yi)을 평활화하는 것, 그리고 방정식 (3) 및/또는 방정식 (4)에 상응하는 평활된 값들을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 어떠한 변칙값들(freak values)이라도 빼는 것이 바람직하다.
도 7 내지 도 11은 직류 전압부 UDC(yi), 이로부터 산출되는 감도 Si(yi) 및 상기 감도 Si(yi)에 대한 평활값들 Sg(yi), 교류 전압부 UAC(yi) 및 상기 교류 전압부 UAC(yi)로부터 산출되는 진폭들 Ay,i및 y 좌표 yi의 함수로서의 평활된 감도 Sg(yi)를 도시한다. 도 7에는, 광빔(6)에 관한 모세관(1)의 위치가 또한 개략적으로 도시되는데, 여기서 화살표는 모세관(1)의 이동 방향을 지시한다. 도 11에는, 단지 진폭들 Ay,i가 산출되어 도시되는데, 여기서 상응하는 감도 Si(yi)는 미리 정해진 최소값을 초과한다. 이러한 진폭들 Ay,i의 평균은 모세관(1)의 팁 진동의 진폭 A의 성분 Ay에 대한 단일값을 얻기 위하여 단계 d에서 결정된다. 상기 실시예에서, 성분 Ay에 대하여 값 Ay,in= 1.331 ㎛ ±0.033 ㎛가 모세관(1)이 광빔(6) 내로 이동되는 경우에 측정점들로부터 발생되며, 값 Ay,out= 1.334 ㎛ ±0.040 ㎛가 모세관(1)이 광빔(6) 밖으로 이동되는 경우에 측정점들로부터 발생된다. 상기 값들 Ay,in및 Ay,out은 따라서 거의 동일하며, 대략적으로 성분 Ay에 대해 값 Ay= 1.332 ㎛ ±0.037 ㎛을 얻는다.
상기 모세관(1)을 광빔(6)을 완전히 통과하도록 이동시키는 것, 그리고 이렇게 함으로써, 정확도가 모든 측정점에 대해 증가되도록 가능한 한 많은 측정점들을 기록하는 것은 실제 의미가 있다. 그러나, 또한 상기 모세관(1)을 광빔(6) 내로 단지 부분적으로만 이동시키는 것도 가능하다.
도 12는 서로에 대해 미리 정해진 각도 θ로 연장되며 광원들(5 및 5')에 의해 생성되고 이들의 강도가 수광자(14 및 14')에 의해 측정되는, 2개의 광빔(22 및 23)을 구비하는 측정 장치를 도시한다. 이러한 측정 장치로, 모세관(1) 진동의 진폭 A의 2개의 성분 A1및 A2가 측정될 수 있다. 상기 성분 A1은 xy 평면에서 연장되고 제 1 광빔(22)의 방향에 수직인 진폭 A의 성분을 나타내며, 상기 성분 A2는 xy 평면에서 연장되고 제 2 광빔(23)의 방향에 수직인 진폭 A의 성분을 나타낸다. 상기 성분들 A1및 A2각각은 상술한 방법에 따라 결정될 수 있으며, 상기 진폭 A는 는 그 다음에 실제적인 기하학적 형상(geometry)의 통합에 대한 종래의 수학적 계산으로 산출될 수 있다. 도 1에 기초하여 설명된 실시예에 있어서, 모세관(1)의 이동축은 광빔(6)의 방향에 수직으로 연장된다. 도 12에 따른 실시예에 있어서, 모세관(1)의 이동은 상기 성분들 A1및 A2의 측정을 위해 각각의 광빔(22 또는 23)의 방향에 수직으로 선택될 수 있다. 모세관(1)의 이동은 그러나 또한 미리 정해진 방향w를 따라 일어날 수 있다. 이러한 경우에서, 좌표 yi는 각각의 광빔(22 또는 23)의 방향에 수직인 이동의 성분을 나타낸다. 각각의 경우에서, 따라서 상기 좌표 yi는 상응하는 광빔(22 또는 23)의 방향에 수직으로 연장되는 방향에 대한 모세관(1)의 위치를 나타낸다. 상기 방향 y는 양 광빔(22 및 23)에 대해 주어진다.
도 1 및 도 12에 따른 측정 장치는 와이어 본더 상에 영구적으로 장치될 수 있으며, 따라서 모세관 진동의 진폭은 언제라도 측정될 수 있다.
도 13은 다른 와이어 본더 상에서의 사용을 위한 휴대용 유닛으로서 적절한 측정 장치를 도시한다. 상기 측정 장치는 플랫폼(platform; 24)을 포함하는데, 이것 상에 2개의 소위 스냅 방식의 촛점기(snap-on focusers; 25 및 26)가 고정적으로 설치된다. 제 1 섬유(fibre; 27)는 광원(5)을 스냅 방식의 촛점기(25)와 연결시키며, 제 2 섬유(28)은 제 2 스냅 방식의 촛점기(26)를 수광자(14)와 연결시킨다. 상기 제 1 스냅 방식의 촛점기(25)는 제 1 섬유(27)를 통과하여 안내되는 광을 광빔(6)으로 변환시키는 역할을 한다. 상기 제 2 스냅 방식의 촛점기(26)는 모세관(1)에 의해 통과되는 광빔(6)의 광을 제 2 섬유(28) 내로 주사하는 역할을 한다.
와이어 본더의 초음파 변환기(2; 도 1, 도 12 및 도 13)는 파라미터 P에 의해 제어된다. 상기 파라미터 P는 예를 들어, 초음파 변환기를 통해 흐르는 전류 또는 초음파 변환기에 인가되는 전압이다. 일반적으로, 파라미터 P와 진폭 A 사이의 관계는 선형적이다:
A = γ * P (5)
모세관(1)의 팁 진동의 진폭 A의 성분 Ay의 측정, 또는 진폭 A의 측정은 따라서 상수 γ를 결정하는 것을 가능하게 한다. 와이어 본더의 생산 공정에서, 상기 상수 γ는 따라서 측정에 의해 각각의 모세관 교체 후에 다시 결정될 수 있으며, 생산을 위해 고려될 수 있다.
따라서, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 와이어 본더의 자유 진동하는 모세관의 진폭을 측정하기 위한 방법 및 장치는 자유 진동하는 모세관의 팁의 진폭이 측정되어야 하는 경우에 재생적인 결과를 제공하는 탁월한 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 측정이 모세관(1)에 의한 광빔(6)의 차광에 기초를 두며, 그리고 상기 광빔(6)의 강도는 수광자(14)에 의해 측정되는, 초음파가 초음파 변환기(2)로부터 가해질 수 있는 호온(3)에 고정되는 모세관(1)의 팁 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 방법에 있어서,
    다음의 단계들:
    a) 상기 모세관(1)이 광빔(6)을 차광함없이 광빔(6)의 일측에 모세관(1)을 위치시키고 상기 호온(3)에 초음파를 가하는 단계;
    b) 미리 정해진 방향을 따라 광빔(6) 내로 또는 광빔(6)을 완전히 통과하도록 n 단계의 미리 정해진 수에서 모세관을 이동시키는 단계로, 여기서, i = 1 내지 n 단계들의 각각에서, 좌표 yi뿐만 아니라 수광자(14)의 출력 신호의 직류 전압부 UDC(yi) 및 교류 전압부 UAC(yi)가 결정되며, 여기서 좌표 yi는 광빔(6)에 수직으로 연장되는 좌표축 y에 관한 모세관(1)의 위치를 나타내고, 여기서 측정되어야 할 성분 Ay는 좌표축 y의 방향으로 연장됨;
    c)와 같이 상기 좌표축 y에 대한 직류 전압부 UDC(yi)의 미분으로 감도값 Si(yi)를 산출하는 단계; 그리고
    d) 적어도 4개의 측정점을 선택하고, 이러한 적어도 4개의 측정점들의 각각에 대하여,와 같이 값 Ay,i를 산출하는 단계; 그리고
    e) 상기 값들 Ay,i로부터의 평균으로 상기 성분 Ay를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관의 팁 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감도값들 Si(yi)는 단계 c 이후에 평활화되는 것을 특징으로 하는, 모세관의 팁 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 모세관(1) 진동의 진폭의 2개의 상이한 성분들이 결정되는 것을 특징으로 하는, 모세관의 팁 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 방법.
  4. 측정이 모세관(1)에 의한 광빔(6)의 차광에 기초를 두며, 그리고 상기 광빔(6)의 강도는 수광자(14)에 의해 측정되는, 초음파가 초음파 변환기(2)로부터 가해질 수 있는 호온(3)에 고정되는 모세관(1)의 팁에서의 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 장치에 있어서,
    상기 광빔(6)은 90°와는 다른 각도에서 수광자(14) 상으로 충돌하는 것을 특징으로 하는, 모세관의 팁에서의 진동의 진폭의 성분 Ay를 측정하기 위한 장치.
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