DE10309694A1

DE10309694A1 - Verfahren und Einrichtung für die Messung der Amplitude einer frei schwingenden Kapillare eines Wire Bonders

Info

Publication number: DE10309694A1
Application number: DE10309694A
Authority: DE
Inventors: Peter Hess; Alexander Greber; Markus Michler; Nicolino Onda
Original assignee: Esec Trading AG
Current assignee: Besi Switzerland AG
Priority date: 2002-02-28
Filing date: 2003-02-26
Publication date: 2003-09-18
Also published as: CN1440852A; KR100903458B1; TW584719B; TW200401103A; KR20030071623A; US20030159514A1; US6691574B2; CN1309526C

Abstract

Bei der Messung einer Komponente A¶y¶ der Amplitude der Schwingungen der Spitze einer Kapillare (1), die an einem von einem Ultraschallgeber (2) beaufschlagbaren Horn (3) eingespannt ist, wobei die Messung auf der Abschattung eines Lichtstrahls (6) durch die Kapillare basiert und wobei die Intensität des Lichtstrahls mittels eines Lichtempfängers (14) gemessen wird, wird die Kapillare auf der einen Seite des Lichtstrahls, ohne dass sie den Lichtstrahl abschattet, platziert und mit Ultraschall beaufschlagt. Dann wird die Kapillare schrittweise durch den Lichtstrahl hindurch bewegt, wobei bei jedem der i = 1 bis n Schritte der Gleichspannungsanteil U¶DC¶(y¶i¶) und der Wechselspannungsanteil U¶AC¶(y¶i¶) des Ausgangssignals des Lichtempfängers sowie eine Koordinate y¶i¶ ermittelt werden, wobei die Koordinate y¶i¶ die Position der Kapillare in Bezug auf eine senkrecht zum Lichtstrahl verlaufende Koordinatenachse y bezeichnet. Aus den gemessenen Werten wird dann die Amplitude A¶y¶ berechnet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung für die Messung der Amplitude einer frei schwingenden Kapillare eines Wire Bonders der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art und eine Einrichtung gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 4.

Ein Wire Bonder ist eine Maschine, mit der Halbleiterchips nach deren Montage auf einem Substrat verdrahtet werden. Der Wire Bonder weist eine Kapillare auf, die an der Spitze eines Horns eingespannt ist. Die Kapillare dient zum Befestigen des Drahtes auf einem Anschlusspunkt des Halbleiterchips und auf einem Anschlusspunkt des Substrates sowie zur Drahtführung zwischen den beiden Anschlusspunkten. Bei der Herstellung der Drahtverbindung zwischen dem Anschlusspunkt des Halbleiterchips und dem Anschlusspunkt des Substrates wird das aus der Kapillare ragende Drahtende zunächst zu einer Kugel geschmolzen. Anschliessend wird die Drahtkugel auf dem Anschlusspunkt des Halbleiterchips mittels Druck und Ultraschall befestigt. Dabei wird das Horn von einem Ultraschallgeber mit Ultraschall beaufschlagt. Diesen Prozess nennt man Ball-bonden. Dann wird der Draht auf die benötigte Drahtlänge durchgezogen, zu einer Drahtbrücke geformt und auf dem Anschlusspunkt des Substrates verschweisst. Diesen letzten Prozessteil nennt man Wedge-bonden. Nach dem Befestigen des Drahtes auf dem Anschlusspunkt des Substrats wird der Draht abgerissen und der nächste Bondzyklus kann beginnen.

Aus dem europäischen Patent EP 498 936 B1 sind ein Verfahren und eine Einrichtung bekannt, um die Amplitude der frei schwingenden Kapillare zu messen. Der Messwert wird benützt für die Kalibrierung des Ultraschallgebers. Die Messung der Schwingungsamplitude der Kapillare erfolgt mittels einer Lichtschranke.

Aus der japanischen Patentanmeldung 10-209 199 sind ein Verfahren und eine Einrichtung bekannt, um die Amplitude der frei schwingenden Kapillare zu messen, bei denen für die Lichtschranke ein Laserstrahl benutzt wird.

Versuche haben gezeigt, dass die Messung mit der bekannten Technik keine reproduzierbaren Resultate liefert, wenn die Amplitude der Spitze der frei schwingenden Kapillare gemessen werden soll.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Einrichtung für die Messung der Amplitude der Spitze einer frei schwingenden Kapillare zu entwickeln.

Die Erfindung besteht in den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Das erfindungsgemässe Verfahren basiert auf der Abschattung eines Lichtstrahles durch die Kapillare, wobei die Schwingungen der Kapillare die Intensität des durchgelassenen Lichtstrahls modulieren. Die Intensität des durchgelassenen Lichtstrahles wird mittels eines Lichtempfängers gemessen. Die Schwingungsrichtung der Kapillare in der Ebene ist in der Regel nicht bekannt. Es ist in der Regel aber so, dass die Schwingungen der Kapillare hauptsächlich in Richtung der Längsachse des Horns verlaufen. Mit dem Messprinzip der Abschattung eines Lichtstrahles kann nur die Komponente der Amplitude der Schwingungen der Kapillare gemessen werden, die senkrecht zur Richtung des Lichtstrahles verläuft.

Es gibt leider eine Vielzahl von unerwünschten Effekten wie z. B. Verschmutzungen der Kapillare, Beugung an der Kapillare, graduelle Oberflächenvariationen der Kapillare, Asymmetrien des Lichtstrahls, usw., die eine reproduzierbare Messung erschweren, wenn nicht besondere Massnahmen getroffen werden. Die Erfindung besteht nun darin, eine Vielzahl von Messungen durchzuführen und die erhaltenen Messwerte zu mitteln. In einem ersten Schritt wird die Kapillare bezüglich des Lichtstrahls justiert. Anschliessend wird die Komponente A_y der Schwingungen der Kapillare, die senkrecht zur Richtung des Lichtstrahls verläuft, gemäss den folgenden Schritten ermittelt:

a) Plazieren der Kapillare auf der einen Seite des Lichtstrahls, ohne dass sie den Lichtstrahl abschattet, und Beaufschlagen des Horns mit Ultraschall;
b) Bewegung der Kapillare in einer vorgegebenen Anzahl von n Schritten entlang einer vorbestimmten Richtung w in den Lichtstrahl hinein oder vollständig durch den Lichtstrahl hindurch, bis sie sich auf der anderen Seite des Lichtstrahls befindet, wobei bei jedem der i = 1 bis n Schritte der Gleichspannungsanteil U_DC(y_i) und der Wechselspannungsanteil U_AC(y_i) des Ausgangssignals UP(y_i) des Lichtempfängers sowie eine Koordinate y_i ermittelt werden, wobei die Koordinate y_i die Position der Kapillare in Bezug auf eine senkrecht zum Lichtstrahl verlaufende Koordinatenachse y bezeichnet und wobei die zu messende Komponente A_y in Richtung der Koordinatenachse y verläuft;
c) Berechnung von Empfindlichkeitswerten S_i(y_i) als Ableitung des Gleichspannungsanteils U_DC(y_i) nach der Koordinatenachse y zu
d) Auswahl von wenigstens vier Messungen und für jede dieser mindestens vier Messungen Berechnung eines Wertes A_y,i zu
e) Berechnung der Komponente A_y als Mittelwert aus den Werten A_y,i.

Vorteilhaft erfolgt die Berechnung der Komponente A_y unter Anwendung statistischer Methoden. Insbesondere ist es von Vorteil, die im Schritt c berechneten Empfindlichkeitswerte S_i(y_i) noch zu glätten, beispielsweise durch Mittelung mit benachbarten Messpunkten. Vorteilhaft ist es auch, die Messwerte U_DC(y_i) und U_AC(y_i) zu glätten. Vorteilhaft ist es weiter, nicht nur vier Messungen, sondern möglichst viele Messungen zu berücksichtigen. Ein mögliches Kriterium für die Auswahl der Messungen ist z. B., dass die Empfindlichkeit S_i einen vorbestimmten Minimalwert überschreitet.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen
Fig. 1 eine Messeinrichtung zur Messung der Amplitude der Spitze einer frei schwingenden Kapillare, basierend auf der Abschattung eines Lichtstrahls,
Fig. 2-6 verschiedene Positionen der Spitze der Kapillare bezüglich des Lichtstrahls,
Fig. 7-11 verschiedene Diagramme, und
Fig. 12, 13 weitere Messeinrichtungen.
Die Fig. 1 zeigt in Aufsicht eine Kapillare 1, die an der Spitze eines von einem Ultraschallgeber 2 mit Ultraschall beaufschlagbaren Horns 3 eingespannt ist, und eine Messeinrichtung zur Messung der Amplitude der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1. Mit x, y und z sind die Koordinaten eines kartesischen Koordinatensystems bezeichnet, wobei die z-Koordinate senkrecht zur Zeichenebene verläuft. Das Horn 3 ist an einem Bondkopf 4 eines Wire Bonders befestigt. Der Bondkopf 4 ermöglicht die Bewegung der Spitze der Kapillare 1 in allen drei Koordinatenrichtungen. Die Messeinrichtung umfasst eine Lichtquelle 5 zur Erzeugung eines Lichtstrahls 6 mit einem in einem Arbeitsbereich der Einrichtung gut definierten Durchmesser. Die Lichtquelle 5 besteht vorzugsweise aus einer Laserdiode 7 und einer ersten optischen Baugruppe 8, die den von der Laserdiode 7 ausgesandten Lichtkegel 9 in den Lichtstrahl 6 transformiert. Im Beispiel besteht die erste optische Baugruppe 8 aus einer ersten Linse 10, die den von der Laserdiode 7 ausgesandten Lichtkegel 9 in einen Strahl parallelen Lichts 11 bündelt, und einer zweiten Linse 12, die den Lichtstrahl 6 wieder fokussiert, so dass der Durchmesser des Lichtstrahls 6 in einer Brennebene 13 der zweiten Linse 12 minimal wird. Diese Brennebene 13 ist zugleich die Messebene für die Messung der Schwingungsamplitude der Kapillare 1. Die Einrichtung umfasst weiter einen Lichtempfänger 14 und eine zweite optische Baugruppe 15, um den Lichtstrahl 6 auf den Lichtempfänger 14 abzubilden. Die zweite optische Baugruppe 15 besteht aus einer ersten Linse 16, die den nach der Messebene wieder divergierenden Lichtstrahl 6 in einen Strahl parallelen Lichts 17 bündelt, und einer zweiten Linse 18, die den Strahl parallelen Lichts 17 auf den Lichtempfänger 14 fokussiert. Der Durchmesser der Spitze der Kapillare 10 beträgt etwa 50 µm bis 150 µm. Der wirksame Durchmesser des Lichtstrahls 6 in der Messebene ist kleiner als der Durchmesser der Kapillare 1 an der zu messenden Stelle. Im Beispiel beträgt der Durchmesser des Lichtstrahles 6 etwa 21 µm.
Wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, verläuft der Lichtstrahl 6 in x-Richtung. Die Längsachse 19 des Horns 3 verläuft in y-Richtung. Für die Messung der Amplitude der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 wird die Spitze der Kapillare 1 in der Brennebene 13 der Linse 12 so im Lichtstrahl 6 positioniert, dass sie einen Teil des Lichtstrahls 6 abschattet. Wenn der Ultraschallgeber 2 eingeschaltet ist, schwingt die Spitze der Kapillare 1 in der xy-Ebene. Die y-Komponente A_y dieser Schwingungen bewirkt eine Änderung der Abschattung des Lichtstrahls 6, welche vom Lichtempfänger 14 detektiert wird, während die x-Komponente A_x dieser Schwingungen die Abschattung nicht ändert.
Die Messeinrichtung zeichnet sich durch zwei besondere Merkmale auf. Zum einen ist der Lichtempfänger 14 gegenüber dem Lichtstrahl 6 um einen vorbestimmten Winkel φ geneigt, damit der an der Oberfläche des Lichtempfängers 14 reflektierte Anteil des Lichtstrahls 6 nicht auf die Kapillare 1 zurückreflektiert oder sogar bis auf die Laserdiode 7 zurückreflektiert wird, sondern die Messeinrichtung "ohne zu stören verlässt". Bereits 1-2° Neigung des Winkels φ sind ausreichend. Der Lichtstrahl 6 trifft also unter einem von 90° verschiedenen Winkel auf den Lichtempfänger 14 auf. Zum anderen umfassen die beiden optischen Baugruppen 8 und 15 vorzugsweise je eine Blende 20 bzw. 21, um Störlicht aufzufangen.
Die Fig. 2 zeigt die Spitze der Kapillare 1 und den Lichtstrahl 6. Der Durchmesser D_L des Lichtstrahls 6 ist kleiner als der Durchmesser D_C der Spitze der Kapillare 1.
Um die Amplitude der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 zuverlässig messen zu können, muss in einem ersten Teil des Verfahrens die z-Höhe der Kapillare 1 bezüglich des Lichtstrahls 6 justiert werden. Dies erfolgt gemäss den folgenden Schritten:

1. Die Kapillare 1 wird auf der einen Seite des Lichtstrahls plaziert, so dass sie den Lichtstrahl nicht abschattet. Zudem wird sie in z-Richtung soweit abgesenkt, dass sie im nächsten Schritt den Lichtstrahl vollständig abdecken wird.
2. Die Kapillare 1 wird schrittweise in y-Richtung durch den Lichtstrahl hindurch bewegt, bis sie sich auf der anderen Seite des Lichtstrahls befindet. Aus dem vom Lichtempfänger gelieferten Signal wird anschliessend eine Lage y₀ ermittelt, bei der der Lichtstrahl etwa in der Mitte auf die Kapillare auftrifft. Diese Lage y₀ ist in der Fig. 3 dargestellt.
3. Die Kapillare 1 wird in die Lage y₀ gebracht und dann in z-Richtung soweit angehoben, bis das Ausgangssignal des Lichtempfängers einen vorbestimmten Wert erreicht, der typischerweise etwa 5% des Signals erreicht, wenn die Kapillare den Lichtstrahl nicht abschattet. Diese im folgenden als 20 bezeichnete Lage ist in der Fig. 4 dargestellt.

In einem zweiten Teil des Verfahrens wird nun die y-Komponente A_y der Amplitude A der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 gemäss den folgenden Schritten ermittelt:

a) Die Kapillare 1 wird in die Lage z₀ gebracht und in y-Richtung auf der einen Seite des Lichtstrahls 6 plaziert, so dass sie den Lichtstrahl 6 nicht abschattet. Das Horn 3 wird vom Ultraschallgeber 2 mit Ultraschall beaufschlagt.
b) Die Kapillare 1 wird nun in einer Anzahl von n Schritten in y-Richtung durch den Lichtstrahl 6 hindurch bewegt, bis sie sich auf der anderen Seite des Lichtstrahls 6 befindet. Das Ausgangssignal U_P des Lichtempfängers 14 enthält einen Gleichspannungsanteil U_DC und einen Wechselspannungsanteil U_AC:

UP - U_DC + U_AC (I)

Der Gleichspannungsanteil U_DC stammt von dem Teil des Lichtstrahls 6, der von der Kapillare 1 nicht abgedeckt wird. Der Wechselspannungsanteil U_AC stammt von dem Teil des Lichtstrahls 6, der von der Spitze der Kapillare 1 aufgrund ihrer Schwingungen moduliert wird. Bei jedem der i = 1 bis n Schritte werden die Anteile U_DC(y_i) und U_AC(y_i) des Ausgangssignals U_P(y_i) des Lichtempfängers 14 sowie die zugehörige y-Koordinate y_i ermittelt und gespeichert.
Der Abstand zwischen zwei benachbarten Koordinaten y_i und y_i+1 beträgt typischerweise 1 µm.
Der Wechselspannungsanteil U_AC ist mit der y-Komponente A_y der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 wie folgt verknüpft:

wobei die Empfindlichkeit S(y) gegeben ist durch die Ableitung des Gleichspannungsanteils U_DC nach der Koordinate y.
c) Aus den Messwerten U_DC(y_i) wird nun für jeden Messschritt i die Ableitung

_i

_y,i

a) Durch eine Mittelwertbildung wird aus den Werten A_y,i gemäss Gleichung (4) ein Mittelwert für die y-Komponente A_y der Amplitude A der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 berechnet.

Für die Berechnung des Mittelwertes der y-Komponente A_y gemäss den obigen Verfahrensschritten 3 und 4 werden vorzugsweise nicht alle, sondern nur diejenigen Messpunkte berücksichtigt, bei denen die Empfindlichkeit S einen Minimalwert überschreitet. Dies ist der Fall, wenn die Kapillare 1 in den Lichtstrahl 6 hineinfährt und wenn sie wieder hinausfährt, wenn also die Kapillare 1 den Lichtstrahl 6, wie in den Fig. 5 und 6 dargestellt ist, nur teilweise abdeckt. Es werden also nur diejenigen Messpunkte ausgewählt, die aus physikalischer Sicht tatsächlich einen brauchbaren Messwert liefern. Im Bereich, wo die Kapillare 1 den Lichtstrahl 6 annähernd vollständig abschattet, tragen ihre Schwingungen zum Messsignal nämlich nichts bei. Zudem ist es von Vorteil, in der Statistik übliche Methoden anzuwenden. Insbesondere ist es vorteilhaft, die berechneten Empfindlichkeiten S_i(y_i) zu glätten. Die Glättung kann erfolgen, indem jeweils der Mittelwert über z. B. drei benachbarte Messwerte gebildet wird oder durch Anfitten einer vorbestimmten Funktion. Es ist auch von Vorteil, die gemessenen Werte U_DC(y_i) und U_AC(y_i) zu glätten und in den Gleichungen (3) und/oder (4) jeweils die geglätteten Werte einzusetzen. Auch ist es vorteilhaft, allfällige Ausreisser wegzulassen.
Die Fig. 7 bis 11 zeigen den Gleichspannungsanteil U_DC(y_i), die daraus berechnete Empfindlichkeit S_i(y_i) und geglättete Werte S_g(y_i) für die Empfindlichkeit S_i(y_i), den Wechselspannungsanteil U_AC(y_i) und die aus dem Wechselspannungsanteil U_AC(y_i) und der geglätteten Empfindlichkeit S_g(y_i) berechneten Amplituden A_y,i in Funktion der y-Koordinate y_i . In der Fig. 7 ist schematisch auch die Position der Kapillare 1 relativ zum Lichtstrahl 6 dargestellt, wobei ein Pfeil die Bewegungsrichtung der Kapillare 1 anzeigt. In der Fig. 11 sind nur diejenigen Amplituden A_y,i berechnet und dargestellt worden, wo die zugehörige Empfindlichkeit S_i(y_i) einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet. Diese Amplituden A_y,i wurden im Schritt 4 gemittelt, um einen einzigen Wert für die Komponente A_y der Amplitude A der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1 zu erhalten. Im Beispiel ergibt sich für die Komponente A_y der Wert A_y,in = 1.331 µm ± 0.033 µm aus den Messpunkten, wenn die Kapillare 1 in den Lichtstrahl 6 hineinfährt, und der Wert A_y,out = 1.334 µm ± 0.040 µm aus den Messpunkten, wenn die Kapillare 1 aus dem Lichtstrahl 6 herausfährt. Die Werte A_y,in und A_y,out sind also annähernd gleich und insgesamt erhält man für die Komponente A_y den Wert A_y = 1.332 µm ± 0.037 µm.
Es ist zwar sinnvoll, mit der Kapillare 1 vollständig durch den Lichtstrahl 6 hindurch zu fahren und so viele Messpunkte wie möglich aufzunehmen, da sich mit jedem Messpunkt die Genauigkeit erhöht. Es ist aber auch möglich, mit der Kapillare 1 nur teilweise in den Lichtstrahl 6 hineinzufahren.
Die Fig. 12 zeigt eine Messeinrichtung mit zwei, unter einem vorbestimmten Winkel θ zueinander verlaufenden Lichtstrahlen 22 und 23, die von Lichtquellen 5 und 5' erzeugt und deren Intensität mit Lichtempfängern 14 bzw. 14' gemessen wird. Mit dieser Messeinrichtung können zwei Komponenten A1 und A₂ der Amplitude A der Schwingungen der Kapillare 1 gemessen werden. Die Komponente A1 bezeichnet die Komponente der Amplitude A, die in der xy-Ebene und senkrecht zur Richtung des ersten Lichtstrahles 22 verläuft, die Komponente A₂ bezeichnet die Komponente der Amplitude A, die in der xy-Ebene und senkrecht zur Richtung des zweiten Lichtstrahles 23 verläuft. Jede der Komponenten A₁ und A₂ kann gemäss dem oben beschriebenen Verfahren bestimmt werden und die Amplitude A kann dann unter Einbezug der konkreten Geometrie mit herkömmlicher Mathematik berechnet werden. Bei dem anhand der Fig. 1 erläuterten Beispiel verläuft die Bewegungsachse der Kapillare 1 senkrecht zur Richtung des Lichtstrahles 6. Im Beispiel gemäss Fig. 12 kann die Bewegung der Kapillare 1 für die Messung der Komponenten A₁ und A₂ jeweils senkrecht zur Richtung des jeweiligen Lichtstrahles 22 bzw. 23 gewählt werden. Die Bewegung der Kapillare 1 kann aber auch entlang einer vorbestimmten Richtung w erfolgen. In diesem Fall bezeichnet die Koordinate y die Komponente der Bewegung senkrecht zur Richtung des jeweiligen Lichtstrahls 22 bzw. 23. Die Koordinate y_i bezeichnet also in jedem Fall die Position der Kapillare 1 in Bezug auf eine senkrecht zur Richtung des entsprechenden Lichtstrahls 22 bzw. 23 verlaufende Richtung. Die Richtungen y sind für beide Lichtstrahlen 22 bzw. 23 dargestellt.
Die Messeinrichtungen gemäss Fig. 1 und 12 können auf dem Wire Bonder fest installiert sein, so dass die Schwingungsamplitude der Kapillare jederzeit gemessen werden kann.
Die Fig. 13 zeigt eine Messeinrichtung, die sich als portables Gerät für den Einsatz auf verschiedenen Wire Bondern eignet. Die Messeinrichtung besteht aus einer Plattform 24, auf der zwei sogenannte Snapon Focuser 25 und 26 fest angeordnet sind. Eine erste Fiber 27 verbindet die Lichtquelle 5 mit dem ersten Snap-on Focuser 25, eine zweite Fiber 28 verbindet den zweiten Snap-on Focuser 26 mit dem Lichtempfänger 14. Der erste Snap-on Focuser 25 hat die Aufgabe, das durch die erste Fiber 27 geleitete Licht in einen Lichtstrahl 6 umzuwandeln, der in einer Messebene fokussiert ist. Der zweite Snap-on Focuser 26 hat die Aufgabe, das von der Kapillare 1 durchgelassene Licht des Lichtstrahls 6 in die zweite Fiber 28 einzukoppeln.
Der Ultraschallgeber 2 (Fig. 1, Fig. 12 und Fig. 13) des Wire Bonders wird von einem Parameter P gesteuert. Der Parameter P ist beispielsweise der Strom, der durch den Ultraschallgeber fliesst, oder die Spannung, die an den Ultraschallgeber angelegt wird. In der Regel ist die Beziehung zwischen dem Parameter P und der Amplitude A linear:

A = γ.P (5)
Die Messung der Komponente A_y der Amplitude A der Schwingungen der Spitze der Kapillare 1, bzw. die Messung der Amplitude A erlaubt es somit, die Konstante y zu bestimmen. Im Produktionsbetrieb des Wire Bonders kann dann die Konstante y nach jedem Kapillarenwechsel durch eine Messung neu bestimmt und für die Produktion berücksichtigt werden.

Claims

1. Verfahren für die Messung einer Komponente A_y der Amplitude der Schwingungen der Spitze einer Kapillare (1), die an einem von einem Ultraschallgeber (2) beaufschlagbaren Horn (3) eingespannt ist, wobei die Messung auf der Abschattung eines Lichtstrahls (6) durch die Kapillare (1) basiert und wobei die Intensität des Lichtstrahls (6) mittels eines Lichtempfängers (14) gemessen wird, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Plazieren der Kapillare (1) auf der einen Seite des Lichtstrahls (6), ohne dass sie den Lichtstrahl (6) abschattet, und Beaufschlagen des Horns (3) mit Ultraschall;

b) Bewegung der Kapillare (1) in einer vorgegebenen Anzahl von n Schritten entlang einer vorbestimmten Richtung in den Lichtstrahl (6) hinein oder vollständig durch den Lichtstrahl (6) hindurch, wobei bei jedem der i = 1 bis n Schritte der Gleichspannungsanteil U_DC(y_i) und der Wechselspannungsanteil U_AC(y_i) des Ausgangssignals des Lichtempfängers (14) sowie eine Koordinate y_i ermittelt werden, wobei die Koordinate y_i die Position der Kapillare (1) in Bezug auf eine senkrecht zum Lichtstrahl (6) verlaufende Koordinatenachse y bezeichnet und wobei die zu messende Komponente A_y in Richtung der Koordinatenachse y verläuft;

c) Berechnung von Empfindlichkeitswerten S_i(y_i) als Ableitung des Gleichspannungsanteils UDC(y_i) nach der Koordinatenachse y zu

d) Auswahl von wenigstens vier Messungen und für jede dieser mindestens vier Messungen Berechnung eines Wertes A_y,i zu

e) Berechnung der Komponente A_y als Mittelwert aus den Werten A_y,i.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfindlichkeitswerte S_i(y_i) geglättet werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei verschiedene Komponenten der Amplitude A der Schwingungen der Kapillare (1) bestimmt werden.

4. Einrichtung für die Messung einer Komponente A_y der Amplitude der Schwingungen der Spitze einer Kapillare (1), die an einem von einem Ultraschallgeber (2) beaufschlagbaren Horn (3) eingespannt ist, wobei die Messung auf der Abschattung eines Lichtstrahls (6) durch die Kapillare (1) basiert und wobei die Intensität des Lichtstrahls (6) mittels eines Lichtempfängers (14) gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtstrahl (6) unter einem von 90° verschiedenen Winkel auf den Lichtempfänger (14) auftrifft.