KR20030020942A - 시험장치 - Google Patents

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KR20030020942A
KR20030020942A KR10-2003-7001059A KR20037001059A KR20030020942A KR 20030020942 A KR20030020942 A KR 20030020942A KR 20037001059 A KR20037001059 A KR 20037001059A KR 20030020942 A KR20030020942 A KR 20030020942A
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Abstract

제1의 전류를 전자 장치에 공급할 수 있는 제1 공급부와, 제1의 전류보다 작은 제2의 전류를 전자 장치에 공급할 수 있는 제2 공급부와, 전자 장치에 인가된 전압을 제1 공급부에 피드백하는 제1 피드백 회로를 포함하는 시험장치에 있어서, 전자 장치와 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제1 스위치를 구비하고, 제2 공급부를 전자 장치에 대하여 제1 스위치를 사이에 두고 설치함으로써, 전자 장치로부터 시험장치를 분리하기 위한 스위치의 수를 줄이고, 스위치의 오프용량을 저감한다.

Description

시험장치{TEST INSTRUMENT}
도 1은 종래의 시험장치 100을 나타낸다. 시험장치 100은, 대전류용의 직류시험장치 10, 소전류용의 직류시험장치 20, 스위치 12, 스위치 14, 스위치 16, 스위치 18, 감지선(SENSE) 22, 측정선(MEASURE) 24, 강제선(FORCE) 26을 구비한다. 직류시험장치 10은 직류시험장치 20보다 큰 전류를 공급할 수 있는 장치이다. 시험되어야 하는 전자 장치 30은, 복수의 전극을 가지며, 시험장치 100은, 전자 장치 30의 전극마다, 직류시험장치 20, 스위치 12, 스위치 14, 스위치 16, 스위치 18, 감지선(SENSE) 22, 측정선(MEASURE) 24, 강제선(FORCE) 26을 가진다.
시험장치 100은, 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가하고, 전자 장치 30에 공급되는 전류를 측정하는 전압인가 전류시험, 또는 전자 장치 30에 소정의 전류를 공급하고 전자 장치 30에 인가되는 전압을 측정하는 전류인가 전압시험을 수행한다.
이하, 전압인가 전류시험을 예로 하여 시험장치 100을 설명한다. 전자 장치 30에 큰 전류를 공급할 필요가 있을 때는, 직류시험장치 10이 강제선(FORCE) 26을 통하여 전자 장치 30에 전압을 인가한다. 전자 장치 30에 인가되는 전압은 감지선(SENSE) 22를 통하여 직류시험장치 10에 피드백된다. 직류시험장치 10은, 피드백된 전압에 근거하여, 전자 장치 30에 인가하는 전압을 소정의 전압으로 조정한다. 또한, 직류시험장치 10은, 소정의 전압을 전자 장치 30에 인가하였을 때, 전자 장치 30에 공급되는 전류를 검출한다. 시험장치 100은 검출된 전류에 근거하여 전자 장치 30의 양부를 판정한다.
전자 장치 30에, 작은 전류를 공급할 필요가 있을 때에는, 직류시험장치 20이 전자 장치 30에 전압을 인가한다. 전자 장치 30에 인가된 전압은, 직류시험장치 20에 피드백 된다. 직류시험장치 20은, 피드백된 전압에 근거하여, 전자 장치 30에 인가하는 전압을 소정의 전압에 조정한다. 또한, 직류시험장치 20은, 소정의 전압을 전자 장치 30에 인가하였을 때, 전자 장치 30에 공급되는 전류를 검출한다. 시험장치 100은, 검출한 전류에 근거하여 전자 장치 30의 양부를 판정한다.
직류시험장치 10으로부터 전압을 인가하여 시험을 수행하는 경우에는, 스위치 12 및 스위치 18을 닫고, 스위치 14 및 스위치 16을 개방한다. 직류시험장치 20으로부터 전압을 인가하여 시험을 수행하는 경우에는, 스위치 14 및 스위치 16을 닫고, 스위치 12 및 스위치 18을 개방한다.
전자 장치 30은, 시험되어야 하는 전극을 복수 개 가지고 있으며, 시험장치 100은, 복수의 전극마다, 직류시험장치 20을 가지며, 복수의 전극마다 설치된 스위치(12-1~12-n), 스위치(14-1~14-n), 스위치(16-1~16-n), 스위치(18-1~18-n)에 의하여, 임의의 전극을 선택하고 시험을 수행한다. 또한 전자 장치 30의 복수의 전극에는, 다른 시험을 수행하는 시험장치도 동시에 접속된다.
상술한 시험장치 100에서는, 전자 장치 30과, 시험장치 100을 분리할 때, 스위치 12, 스위치 14, 스위치 16, 스위치 18을 개방한다. 그러나 스위치(12, 14, 16, 18)를 개방하였을 때, 각각의 스위치가 가지고 있는 부유용량인 오프용량이 크기 때문에, 다른 시험을 수행하는 시험장치가 측정하는 측정치에 영향을 미치게 되어, 좋은 정밀도로 시험을 수행하는 것이 곤란하였다. 이로 인하여, 시험장치 100과 전자 장치 30을 분리하는 스위치의 오프용량을 저감하는 것이 요구되고 있었다.
그리하여 본 발명은, 상기의 과제를 해결할 수 있는 시험장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은, 특허청구의 범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의하여 달성된다. 또 종속항은 본 발명의 새로운 유리한 구체적인 예를 규정한다.
본 발명은, 전자 장치를 시험하는 시험장치에 관한 것이다. 특히 대전류 시험용의 장치와 소전류 시험용의 장치를 포함하는 시험장치에 관한 것이다. 또한 본 출원은, 하기와 같은 일본 특허 출원에 관련된다. 문헌의 참조에 의한 편입이 인정되는 지정국에 관하여는, 하기의 출원에 기재된 내용을 참조하여 본 출원에 편입시켜 본 출원의 기재의 일부로 한다.
일본특허출원 제2000-222926호 출원일 2000년 7월 24일
도 1은 종래의 시험장치 100의 구성을 나타낸다.
도 2는 본 발명에 있어서의 시험장치 200의 구성의 일례를 나타낸다.
도 3은 도 2에 나타낸 시험장치 200의 회로구성의 일례를 나타낸다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제1의 형태에 있어서는, 전자 장치를 시행하는 시험장치로서, 제1의 전류를 전자 장치에 공급할 수 있는 제1 공급부와, 전자 장치에 인가된 전압을, 제1 공급부에 피드백하는 제1 피드백 회로와, 전자 장치와 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체(切替)하는 제1 스위치와, 전자 장치에 대하여, 제1 스위치를 사이에 두고 설치되어, 제2의 전류를 공급할 수 있는 제2 공급부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시험장치를 제공한다.
제1의 형태에 있어서, 제1 공급부는, 제1 피드백 회로가 피드백한 전압에 근거하여, 전자 장치에 공급하는 전압 또는 전류를 조정하여도 좋다. 또한, 제1 공급부와, 전자 장치를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제2 스위치를 더 구비하여도 좋다. 제1 피드백 회로를 제1 공급부에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제3 스위치와, 제1 스위치를 사이에 두고, 제2 공급부를 전자 장치에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제4 스위치를 더 구비하여도 좋다. 제2의 전류는, 제1의 전류보다 작은 것이 바람직하다.
제1 피드백 회로는, 입력 임피던스(Impedance)가 출력 임피던스보다 높고, 또한, 입력된 전압과 거의 같은 전압을 출력하는 전압 팔로어(follower) 회로를 가져도 좋다. 제2 공급부는, 전자 장치에 제2의 전류를 공급할 수 있는 공급원과, 전자 장치에 인가되는 전압을 공급원에 피드백하는 피드백경로를 가지며, 공급원은 피드백경로에 의해 피드백된 전압에 근거하여, 전자 장치로 출력되는 전압 또는 전류를 조정하여도 좋다.
제1 공급부는, 전자 장치가 가지는 복수의 전극 각각에 제1의 전류를 공급하고, 복수의 전극에 인가된 전압을, 제1 공급부에 각각 피드백하는 복수의 제1 피드백 회로와, 복수의 전극과 복수의 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 각각 절체하는 복수의 상기 제1 스위치와, 복수의 전극에 대하여 복수의 제1 스위치를 사이에 두고 설치되어, 제1 공급부가 공급할 수 있는 전류보다 작은 제2의 전류를 복수의 전극에 각각 공급할 수 있는 복수의 제2 공급부를 더욱 구비하여도 좋다. 제1 공급부 또는 복수의 제2 공급부의 어느 한 쪽이, 전자 장치에 공급하는 전압 또는 전류를 검출하고, 검출된 전압 또는 전류에 근거하여 전자 장치의 양부를 판정하는 판정부를 더 갖추어도 좋다.
본 발명의 제2의 형태에 있어서는, 전자 장치를 시험하는 시험장치로서, 제1의 전류를 전자 장치에 공급할 수 있는 제1 공급부와, 제1의 전류가 통과하고 전자 장치와 제1 공급부를 전기적으로 접속하는 공급선과, 전자 장치에 인가된 전압을 제1 공급부로 피드백하는 제1 피드백 회로와, 공급선상에 배치되어 전자 장치와 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제2 스위치와, 전자 장치에 대하여 제2 스위치를 사이에 두고 설치되어 제2의 전류를 공급할 수 있는 제2 공급부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시험장치를 제공한다.
제2 스위치를 사이에 두고, 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제5 스위치와, 제2 스위치를 사이에 두고, 제2 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제6 스위치를 더 구비하여도 좋다. 제2의 전류는, 제1의 전류보다 작아도 좋다. 제1 공급부는, 전자 장치가 가지는 복수의 전극 각각에 제1의 전류를 공급하고 제1의 전류가 통과하며 전자 장치와 제1 공급부를 전기적으로 접속하는 공급선과, 복수의 전극에 인가된 전압을 제1 공급부에 각각 피드백하는 복수의 제1 피드백 회로와, 공급선상에 배치되어, 복수의 전극과 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 각각 절체하는 복수의 제2 스위치와, 복수의 전극에 대하여 복수의 제2 스위치를 사이에 두고 설치되어 제1 공급부가 공급할 수 있는 전류보다 작은 제2의 전류를 복수의 전극에 각각 공급할 수 있는 복수의 제2 공급부를 더 구비하여도 좋다.
또한, 상기의 발명의 개요는 본 발명에 필요한 특징의 모두를 열거한 것은 아니며, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 역시 발명이 될 수 있다.
이하, 발명의 실시의 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 기재된 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수적인 것이라고는 할 수는 없다.
도 2는 본 발명에 있어서의 시험장치 200의 구성의 일례를 나타낸다. 시험장치 200은, 제1 공급부 40, 제2 공급부 50, 제1 피드백 회로 42, 스위치 44, 스위치 46, 스위치 92 및 공급선 98을 구비한다. 제1 공급부 40은 제1의 전류를 전자 장치 30에 공급할 수 있고, 제2 공급부 50은 제1의 전류보다 작은 제2의 전류를 공급할 수 있다. 제1 피드백 회로 42는, 전자 장치 30에 인가된 전압을 제1 공급부 40로 피드백한다. 스위치 44는, 전자 장치 30과, 제1 피드백 회로 42를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체한다. 또한, 제2 공급부 50은, 전자 장치 30과의 사이에 제1 스위치 44가 배치되도록 설치된다. 스위치 46은, 제1 공급부 40이 공급하는 제1의 전류가 통과하고, 전자 장치 30과 제1 공급부 40을 전기적으로 접속하는 공급선 98상에 배치되어, 제1 공급부 40과 전자 장치 30을 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체한다. 스위치 92는, 제1 공급부 40과 제1 피드백 회로 42를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체한다.
또한, 본 예에 있어서는, 제2 공급부 50은, 스위치 44를 사이에 두고 전자 장치 30에 접속되어 있었으나, 다른 예에서는, 도 2b에 나타낸 것과 같이, 스위치 46를 사이에 두고 전자 장치 30에 접속되어 있어도 좋다.
도 2b는, 시험장치 200의 다른 실시예를 나타낸다. 시험장치 200은, 제1 공급부 40, 공급선 94, 제1 피드백 회로 42, 스위치 44, 스위치 46, 제2 공급부 50을 구비한다. 도 2b에 있어서, 도 2a와 동일의 부호를 붙인 것은, 도 2a에 관련하여 설명하였던 것과 동일 또는 같은 기능 및 구성을 가지는 것이 바람직하다. 제2 공급부 50은, 전자 장치 30과의 사이에 스위치 46이 배치되도록 설치된다. 스위치 104는, 스위치 46을 사이에 두고, 제1 공급부 40과 전자 장치 30을 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택한다. 스위치 106은, 스위치 46을 사이에 두고, 제2 공급부 50과 전자 장치 30을 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택한다.
도 3은, 도 2에 나타낸 시험장치 200의 회로구성의 일례를 나타낸다. 시험장치 200은, 제1 공급부 40, 제2 공급부 50, 제1 피드백 회로 42, 스위치 44, 스위치 46, 공급선 98, 스위치 68 및 스위치 92를 구비한다. 도 3에 있어서 도2와 동일한 부호를 붙인 것은, 도 2에 관련하여 설명하였던 것과 동일 또는 같은 기능 및 구성을 가져도 좋다. 시험장치 200은, 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가하고 그 때 전자 장치 30에 공급되는 전류를 검출하는 전압인가 전류시험과, 전자 장치 30에 소정의 전류를 공급하고 그 때 전자 장치 30에 인가되는 전압을 검출하는 전류인가 전압시험을 수행하지만, 이하, 전압인가 전류시험을 행하는 경우를 예로 하여 시험장치 200을 설명한다.
제1 공급부 40은, 전압을 발생하는 전압 발생부 58, 전압을 조정하는 전압 조정부 48, 저항기 52, 저항기 54, 스위치 56 및 제1 검출부 108을 가진다. 제1 공급부 40은, 스위치 46을 사이에 두고 전자 장치 30과 접속되어 전자 장치 30에 전압을 인가한다. 전자 장치 30에 인가된 전압은, 제1 피드백 회로 42를 통과하여 제1 공급부 40에 피드백된다. 제1 공급부 40은 피드백된 전압에 근거하여 전자 장치 30에 인가하는 전압을 소정의 전압으로 조정한다. 또한, 전류인가 전압시험을 수행하는 경우, 제1 공급부는 전자 장치 30에 공급하는 전류를 소정의 전류로 조정한다.
전압 발생부 58은, 소정의 전압치가 디지털 신호로 주어지고, 주어진 디지털 신호를 아날로그 신호로 변환하는 디지털 아날로그 컨버터(DAC)이어도 좋다. 전압 발생부 58은, 주어진 전압치에 근거한 전압을, 전압 조정부 48, 저항기 52, 스위치 46을 개입시켜 전자 장치 30에 인가한다. 전압 조정부 48은, 제1 피드백 회로 42에 의하여 피드백된 전압에 근거한 전압을, 저항기 52, 제2 스위치 46을 통하여 전자 장치 30에 인가한다. 즉, 전압 발생부 58이 발생시킨 전압과, 전자 장치 30에 인가된 전압이 같아지도록 저항기 52에 전압을 인가한다. 전압 조정부 48은, 예를 들면 증폭기이어도 좋다.
제1 검출부 108은, 검출기 74, 변환기 76, 스위치 78, 스위치 82 및 스위치 84를 포함한다. 제1 검출부 108은, 제1 공급부 40이 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가하였을 때, 전자 장치 30에 공급되는 전류를 검출한다.
검출기 74는, 제1 공급부가 전자 장치 30에 공급하는 전류치를 검출한다. 검출기 74는, 제1 공급부 40의 저항기 52에 흐르는 전류치를 검출한다. 즉, 조정기 48의 입력전압과 출력전압의 차분을 검출함으로써, 저항기 52에 있어서의 전압 강하량을 검출한다. 저항기 52의 저항치는 이미 알고 있으므로, 전압 강하량으로부터 전류치를 산출한다. 검출기 74는, 검출한 전압 강하량을 스위치 78을 통하여 변환기 76에 공급한다. 변환기 76은 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 아날로그 디지털 컨버터(ADC)이어도 좋다. 변환기 76은, 주어진 전압 강하량을 디지털 데이터로 변환한다. 시험장치 200은, 변환기 76에 의하여 변환된 디지털 데이터에 근거하여, 전자 장치의 양부를 판정하는 판정부를 가져도 좋다. 본 예에 있어서는 제1 검출기 108은, 전자 장치 30에 공급되는 전류치를 검출하였지만, 전류인가 전압시험을 수행하는 경우는, 제1 검출기 108은, 전자 장치 30에 인가되는 전압치를 검출하여도 좋다.
제1 피드백 회로 42는, 입력 임피던스가 출력 임피던스보다 높고, 입력전압과 거의 같은 전압을 출력하는 전압 팔로어(voltage follower) 회로 70을 가져도 좋다. 전압 팔로어 회로 70은, 예를 들면 증폭기를 가져도 좋다. 전압 팔로어 회로 70은, 입력 임피던스가 거의 무한대 또는, 주위 회로의 임피던스보다 충분히 높고, 출력 임피던스가 거의 영이고, 이득이 충분히 큰 증폭기를 가지는 것이 바람직하다.
스위치 92는 , 제1 피드백 회로 42를 제1 공급부 40에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택한다. 스위치 68은, 스위치 44를 사이에 두고, 제2 공급부 50을 전자 장치 30에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택한다.
제2 공급부는, 전자 장치 30에 제2의 전류를 공급할 수 있는 공급원과, 전자 장치 30에 인가되는 전압을 공급원에 피드백하는 피드백 경로 94, 저항기 66 및 제2 검출부 112를 포함한다. 제2 공급부 50은, 제1 스위치 44를 사이에 두고 전자 장치 30에 접속되어, 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가한다.
상기 공급원은, 전압을 발생하는 전압 발생부 62와, 전압을 조정하는 전압 조정부 64를 포함한다. 전압 발생부 62는, 소정의 전압치가 디지털 신호로 주어지고, 주어진 디지털 신호를 아날로그 신호로 변환하는 디지털 아날로그 컨버터이어도 좋다. 전압 발생부 62는, 주어진 전압치에 근거한 전압을, 전압 조정부 64, 저항기 66, 스위치 68, 제1 스위치 44를 통하여 전자 장치 30에 인가한다. 전압 조정부 64는, 피드백 회로 94에 의하여 피드백된 전압에 근거한 전압을, 저항기 66, 스위치 68, 제1 스위치 44를 통하여 전자 장치 30에 인가한다. 즉, 전압 발생부 62가 발생시킨 전압과, 전자 장치 30에 인가되는 전압이 같아지도록 저항기 66에 전압을 인가한다. 전압 조정부 64는, 예를 들면 증폭기이어도 좋다.
상기 공급원은, 피드백 경로 94에 의하여 피드백된 전압에 근거하여, 전자 장치 30에 공급하는 전압 또는 전류를 변화시켜도 좋다. 전압인가 전류시험의 경우, 상기 공급원은 피드백된 전압에 근거하여 전자 장치 30에 공급하는 전압을 소정의 전압으로 조정한다. 또한, 전류인가 전압시험을 수행하는 경우, 상기 공급원은 전자 장치 30에 공급하는 전류를 소정의 전류로 조정한다.
제2 검출부 112는, 검출기 88 및 스위치 86을 가진다. 검출기 88은, 제2 공급부 50이, 전자 장치 30에 공급하는 전류치를 검출한다. 즉, 조정기 64의 입력전압과 출력전압의 차분을 검출함으로써, 저항기 66에 있어서의 전압 강하량을 검출한다. 저항기 66의 저항치는 이미 알고 있으므로, 전압 강하량으로부터 전류치를 산출한다. 검출기 88은, 검출한 전압 강하량을 스위치 86 및 스위치 84를 통하여 제1 검출부의 변환기 7에게 공급한다.
전자 장치 30에 큰 전류를 공급하는 경우에는, 스위치 46, 스위치 44, 스위치 92, 스위치 56를 단락시키고, 제1 공급부 40으로부터 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가한다. 전자 장치 30에 작은 전류를 공급하는 경우에는, 스위치 68 및 스위치 44를 단락시키고, 제2 공급부 50으로부터 전자 장치 30에 소정의 전압을 인가한다.
전자 장치 30이 시험되어야 하는 복수의 전극을 가지는 경우, 시험장치 200은 당해 복수의 전극 각각에 대응하는 복수의 시험부(60-1부터 60-n)를 가져도 좋다(n은 자연수). 복수의 시험부 60은, 각각 동일한 구성 및 기능을 가져도 좋다. 일례로서, 도 3에 나타낸 것과 같이, 시험부 60-1은, 제2 공급부 50, 제1 피드백 회로 42, 스위치 44, 스위치 46, 스위치 92 및 스위치 68을 가진다. 시험부 60-1이 가지는 각각의 요소는, 도 3에 관련하여 설명하였던 구성 및 기능을 가진다. 다른 시험부 60은, 시험부 60-1과 동일 또는 같은 구성 및 기능을 가져도 좋다. 제1 공급부 40은 전자 장치 30이 가지는 복수의 전극 각각에 제1의 전류를 공급한다. 시험부 60의 제1 피드백 회로 42의 각각은, 복수의 전극에 인가된 전압을 제1 공급부에 각각 피드백한다. 시험부 60의 스위치 44의 각각은, 복수의 전극과 복수의 제1 피드백 회로 42를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체한다. 시험부 60의 제2 공급부 50의 각각은, 복수의 전극과의 사이에 복수의 스위치 44가 배치되도록 설치되며, 제1 공급부 40이 공급할 수 있는 전류보다 작은 전류를 복수의 전극에 각각 공급한다. 복수의 제2 공급부 50이 공급하는 제2의 전류는 각각 다른 수치를 취하여도 좋다.
또한, 제1 검출부 108의 검출기 76은, 제1 공급부 40 또는 복수의 제2 공급부 50 중의 어느 하나에 포함되는 제1 검출부 108 또는 제2 검출부 112가 검출한 전류치에 근거하여, 디지털데이타를 생성하는 것이 바람직하다. 어느 검출부가 검출한 전류치를 디지털 데이타로 변환할 것인가는, 스위치 78, 스위치 84 및 복수의 시험부 60에 포함되는 복수의 스위치 86에 의하여 선택된다.
도 3에 있어서는, 제2 공급부 50이 전자 장치 30에 대하여, 스위치 44를 사이에 두고 전기적으로 접속되어 있는 예에 대하여 설명하였으나, 다른 예에 있어서는, 도 2b에서 설명한 바와 같이, 전자 장치 30에 대하여, 스위치 46을 사이에 두고 전기적으로 접속되어 있어도 좋다.
또한, 본 예에 있어서는, 제2 공급부 50은, 제1 공급부 40이 공급할 수 있는 전류보다 작은 전류를 공급하였지만, 다른 예에 있어서는, 제2 공급부 50은, 제1 공급부 40이 공급할 수 있는 전류보다 큰 전류를 공급하여도 좋다.
이상 설명한 본 발명에 의한 시험장치 200에 의하면, 시험장치 200을 전자 장치 30으로부터 분리하기 위한 스위치의 수를 종래의 시험장치와 비교하여 적게 할 수 있다. 그로 인하여, 스위치의 오프용량을 저감할 수 있으며, 보다 정밀도가 좋은 시험을 수행하는 것이 가능해진다.
이상, 본 발명을 그 실시의 형태를 이용해 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에 다양한 변경 또는 개량을 더할 수 있다는 것이 당업자에게 분명한다. 그러한 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 특허 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.
상기 설명으로부터 분명해진 것과 같이, 본 발명에 의하면, 시험장치 200을 분리하기 위한 스위치의 오프용량을 저감하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에 전자 장치 30을 보다 좋은 정밀도로 시험하는 것이 가능하게 된다.

Claims (13)

  1. 전자 장치를 시험하는 시험장치에 있어서,
    제1의 전류를 상기 전자 장치에 공급할 수 있는 제1 공급부와,
    상기 전자 장치에 인가된 전압을, 상기 제1 공급부에 피드백하는 제1 피드백 회로와,
    상기 전자 장치와 상기 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제1 스위치와,
    상기 전자 장치에 대하여, 상기 제1 스위치를 사이에 두고 설치되어, 제2의 전류를 공급할 수 있는 제2 공급부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 공급부는, 상기 제1 피드백 회로가 피드백한 상기 전압에 근거하여, 상기 전자 장치에 공급하는 전압 또는 전류를 조정하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 공급부와, 상기 전자 장치를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제2 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  4. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 피드백 회로를 상기 제1 공급부에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제3 스위치와,
    상기 제1 스위치를 사이에 두고 상기 제2 공급부를 상기 전자 장치에 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제4 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  5. 제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2의 전류는 상기 제1의 전류보다 작은 것을 특징으로 하는 시험장치.
  6. 제1항 내지 제5항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 피드백 회로는, 입력 임피던스가 출력 임피던스보다 높고, 또한, 입력된 전압과 거의 같은 전압을 출력하는 전압 팔로어(follower) 회로를 가지는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  7. 제1항 내지 6항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 공급부는, 상기 전자 장치에 상기 제2의 전류를 공급할 수 있는 공급원과, 상기 전자 장치에 인가되는 전압을 상기 공급원에 피드백하는 피드백 경로를 가지되,
    상기 공급원은, 피드백 경로에 의하여 피드백된 전압에 근거하여, 상기 전자 장치에 출력하는 전압 또는 전류를 조정하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  8. 제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 공급부는, 상기 전자 장치가 가지는 복수의 전극의 각각에 상기 제1의 전류를 공급하고,
    상기 복수의 전극에 인가된 전압을, 상기 제1 공급부에 각각 피드백하는 복수의 상기 제1 피드백 회로와,
    상기 복수의 전극과, 상기 복수의 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 각각 절체하는 복수의 상기 제1 스위치와,
    상기 복수의 전극과, 상기 복수의 제1 피드백 회로를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 각각 절체하는 복수의 상기 제1 스위치와,
    상기 복수의 전극에 대하여, 상기 복수의 제1 스위치를 사이에 두고 설치되어, 상기 제1 공급부가 공급할 수 있는 전류보다 작은 제2의 전류를 상기 복수의 전극에 각각 공급할 수 있는 복수의 제2 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 공급부 또는 복수의 상기 제2공급부의 어느 하나가, 상기 전자 장치에 공급하는 전압 또는 전류를 검출하고, 검출한 상기 전압 또는 상기 전류에 근거하여, 상기 전자 장치의 양부를 판정하는 판정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  10. 전자 장치를 시험하는 시험장치에 있어서,
    제1의 전류를 상기 전자 장치에 공급할 수 있는 제1 공급부와,
    상기 제1의 전류가 통과하고, 상기 전자 장치와 상기 제1 공급부를 전기적으로 접속하는 공급선과,
    상기 전자 장치에 인가된 전압을 상기 제1 공급부에 피드백하는 제1 피드백 회로와,
    상기 공급선 상에 배치되어, 상기 전자 장치와 상기 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 절체하는 제2 스위치와,
    상기 전자 장치에 대하여 상기 제2 스위치를 사이에 두고 설치되며, 제2의 전류를 공급할 수 있는 제2 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 스위치를 사이에 두고, 상기 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제5 스위치와,
    상기 제2 스위치를 사이에 두고, 상기 제2 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 선택하는 제6 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 제2의 전류는, 상기 제1의 전류보다 작은 것을 특징으로 하는 시험장치.
  13. 제10항 내지 제12항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 공급부는, 상기 전자 장치가 가지는 복수의 전극의 각각에 상기 제1의 전류를 공급하고,
    상기 제1의 전류가 통과하며, 상기 전자 장치와 상기 제1 공급부를 전기적으로 접속하는 공급선과,
    상기 복수의 전극에 인가된 전압을 상기 제1 공급부에 각각 피드백하는 복수의 상기 제1 피드백 회로와,
    상기 공급선상에 배치되며, 상기 복수의 전극과 상기 제1 공급부를 전기적으로 접속할 것인지 아닌지를 각각 절체하는 복수의 상기 제2 스위치와,
    상기 복수의 전극에 대하여 상기 복수의 제2 스위치를 사이에 두고 설치되어, 상기 제1 공급부가 공급할 수 있는 전류보다 작은 제2의 전류를 상기 복수의 전극에 각각 공급할 수 있는 복수의 제2 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
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