JPH09236639A - 計測器用高速応答電源 - Google Patents
計測器用高速応答電源Info
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- JPH09236639A JPH09236639A JP8067327A JP6732796A JPH09236639A JP H09236639 A JPH09236639 A JP H09236639A JP 8067327 A JP8067327 A JP 8067327A JP 6732796 A JP6732796 A JP 6732796A JP H09236639 A JPH09236639 A JP H09236639A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 テストヘッドに実装した高速応答電源の負荷
電流変動による発熱を最小にする計測器用高速応答電源
を提供すること。 【解決手段】 被試験装置２２を着脱自在に装着するテ
ストヘッド２１内に高速応答電源２３を実装し、テスト
ヘッド２１から所定距離Ｌを隔てたテスタ本体架２４の
リモート・センシング電源２５で高速応答電源２３に供
給電源電圧Ｖ２２を給電して、高速応答電源２３から被
試験装置２２に供給電圧Ｖ２１を給電し、供給電圧Ｖ２
１と供給電源電圧Ｖ２２との電位差を高速応答電源２３
が正常に動作する範囲内で最小値となるように、リモー
ト・センシング電源２５で供給電源電圧Ｖ２２を制御
し、かつ供給電圧Ｖ２１が設定値となるようにテスタ本
体架２４のリモート・センシング電源２６から高速応答
電源２３に基準電圧を印加する。
電流変動による発熱を最小にする計測器用高速応答電源
を提供すること。 【解決手段】 被試験装置２２を着脱自在に装着するテ
ストヘッド２１内に高速応答電源２３を実装し、テスト
ヘッド２１から所定距離Ｌを隔てたテスタ本体架２４の
リモート・センシング電源２５で高速応答電源２３に供
給電源電圧Ｖ２２を給電して、高速応答電源２３から被
試験装置２２に供給電圧Ｖ２１を給電し、供給電圧Ｖ２
１と供給電源電圧Ｖ２２との電位差を高速応答電源２３
が正常に動作する範囲内で最小値となるように、リモー
ト・センシング電源２５で供給電源電圧Ｖ２２を制御
し、かつ供給電圧Ｖ２１が設定値となるようにテスタ本
体架２４のリモート・センシング電源２６から高速応答
電源２３に基準電圧を印加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、ＩＣ
（集積回路）テスタのような計測器において、制御部と
電源部とを含むテスタ本体架から、所定の距離をもって
配置された、測定部となるテストヘッドに高速応答電源
部を設けて、この高速応答電源部に入出力電圧間の電位
差を最小にするようにした計測器用高速応答電源に関す
る。
（集積回路）テスタのような計測器において、制御部と
電源部とを含むテスタ本体架から、所定の距離をもって
配置された、測定部となるテストヘッドに高速応答電源
部を設けて、この高速応答電源部に入出力電圧間の電位
差を最小にするようにした計測器用高速応答電源に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】計測器として、例えば、ＩＣテスタは、
通常制御部と電源部とを含むテスタ本体架からテストヘ
ッドを１０ｍ程度の所定の距離を隔てて使用される。図
６は、従来のＩＣテスタ用電源の概略構成を示すブロッ
ク図である。この図６において、ＩＣテスタ本体架１内
には、トランス２を設け、このトランス２にＡＣ電源３
の電圧を変圧してリモート・センシング電源４に所定の
電圧を印加するようにしている。
通常制御部と電源部とを含むテスタ本体架からテストヘ
ッドを１０ｍ程度の所定の距離を隔てて使用される。図
６は、従来のＩＣテスタ用電源の概略構成を示すブロッ
ク図である。この図６において、ＩＣテスタ本体架１内
には、トランス２を設け、このトランス２にＡＣ電源３
の電圧を変圧してリモート・センシング電源４に所定の
電圧を印加するようにしている。
【０００３】リモート・センシング電源４の出力端は、
電圧検出線６と給電線７を介して１０ｍ程度の距離Ｌを
隔てて配置されたテストヘッド８に接続されている。給
電線７により、リモート・センシング電源４の出力電圧
がテストヘッド８に給電され、このテストヘッド８に給
電された電圧を電圧検出線６を介してリモート・センシ
ング電源４で検出するようになっている。
電圧検出線６と給電線７を介して１０ｍ程度の距離Ｌを
隔てて配置されたテストヘッド８に接続されている。給
電線７により、リモート・センシング電源４の出力電圧
がテストヘッド８に給電され、このテストヘッド８に給
電された電圧を電圧検出線６を介してリモート・センシ
ング電源４で検出するようになっている。
【０００４】テストヘッド８に給電された電圧（以下、
電源電圧Ｖ１という。）は、給電線１１を介して被試験
装置（以下、ＤＵＴという。）９に印加するようにして
いる。なお、テストヘッド８内のコンデンサ１０は、Ｄ
ＵＴ９の電源バイパスコンデンサであり、テストヘッド
８内の電源の交流インピーダンスを下げるためのもので
ある。
電源電圧Ｖ１という。）は、給電線１１を介して被試験
装置（以下、ＤＵＴという。）９に印加するようにして
いる。なお、テストヘッド８内のコンデンサ１０は、Ｄ
ＵＴ９の電源バイパスコンデンサであり、テストヘッド
８内の電源の交流インピーダンスを下げるためのもので
ある。
【０００５】次に、図６の動作について説明する。ＡＣ
電源３からテスト本体架１内のトランス２に給電し、ト
ランス２によりＡＣ電圧を所定の電圧に変圧した後に、
リモート・センシング電源４に給電し、リモート・セン
シング電源４から整流し、かつ安定化した電圧を給電線
７を通してテストヘッド８に給電する。
電源３からテスト本体架１内のトランス２に給電し、ト
ランス２によりＡＣ電圧を所定の電圧に変圧した後に、
リモート・センシング電源４に給電し、リモート・セン
シング電源４から整流し、かつ安定化した電圧を給電線
７を通してテストヘッド８に給電する。
【０００６】これにより、テストヘッド８に装着された
ＤＵＴ９に給電線１１を介して電源電圧Ｖ１が印加さ
れ、これに伴い、ＤＵＴ９に電源電流Ｉ１が流れる。こ
の場合、ＤＵＴ９によっては、１〜３Ａ程度の電流が流
れ、そのためにテストヘッド８にリモート・センシング
電源４から給電される電圧が変動する。
ＤＵＴ９に給電線１１を介して電源電圧Ｖ１が印加さ
れ、これに伴い、ＤＵＴ９に電源電流Ｉ１が流れる。こ
の場合、ＤＵＴ９によっては、１〜３Ａ程度の電流が流
れ、そのためにテストヘッド８にリモート・センシング
電源４から給電される電圧が変動する。
【０００７】この変動をなくするように、電圧検出線６
を通してリモート・センシング電源４でテストヘッド８
に給電されている電圧を検出し、リモート・センシング
電源４で精密に電圧制御された電圧をテストヘッド８に
給電する。この結果、ＤＵＴ９の給電線１１には、誤差
１０ｍＶ以内の電源電圧を給電することができる。
を通してリモート・センシング電源４でテストヘッド８
に給電されている電圧を検出し、リモート・センシング
電源４で精密に電圧制御された電圧をテストヘッド８に
給電する。この結果、ＤＵＴ９の給電線１１には、誤差
１０ｍＶ以内の電源電圧を給電することができる。
【０００８】
【発明が解決しょうとする課題】しかし、このような電
圧制御機能を有するリモート・センシング電源４を備え
たＩＣテスタ用電源においても、ＤＵＴ９に流れる電流
が１〜３Ａ程度に瞬時に変化した場合には、給電線１１
に印加される電源電圧Ｖ１が変動する現象を回避できな
い。
圧制御機能を有するリモート・センシング電源４を備え
たＩＣテスタ用電源においても、ＤＵＴ９に流れる電流
が１〜３Ａ程度に瞬時に変化した場合には、給電線１１
に印加される電源電圧Ｖ１が変動する現象を回避できな
い。
【０００９】図７は、ＤＵＴ９に印加される電源電圧Ｖ
１とＤＵＴ９に流れる電源電流Ｉ１の波形を示すもので
あり、横軸に時間（μｓ）をとり、縦軸に電源電圧Ｖ１
と電源電流Ｉ１をとった過渡特性の波形図である。
１とＤＵＴ９に流れる電源電流Ｉ１の波形を示すもので
あり、横軸に時間（μｓ）をとり、縦軸に電源電圧Ｖ１
と電源電流Ｉ１をとった過渡特性の波形図である。
【００１０】図７から明らかなように、ＤＵＴ９の電源
電流Ｉ１が１Ａから３Ａに瞬時に変化したような場合、
電源電圧Ｖ１が周期数１０μｓで２Ｖ程度変化するとい
う状態が生じる。
電流Ｉ１が１Ａから３Ａに瞬時に変化したような場合、
電源電圧Ｖ１が周期数１０μｓで２Ｖ程度変化するとい
う状態が生じる。
【００１１】この電源電流Ｉ１の変化に伴う電源電圧Ｖ
１の変化は、テストヘッド８の電源部のコンデンサ１０
の定数の調整とリモート・センシング電源４の動作条件
の調整により、ある程度低減することが可能であるが、
例えば、電源電圧Ｖ１を５Ｖに設定した条件で、常に１
〜３Ｖ程度の電圧振動で、周期数μｓから数ｍｓで変動
することが避けられなかった。
１の変化は、テストヘッド８の電源部のコンデンサ１０
の定数の調整とリモート・センシング電源４の動作条件
の調整により、ある程度低減することが可能であるが、
例えば、電源電圧Ｖ１を５Ｖに設定した条件で、常に１
〜３Ｖ程度の電圧振動で、周期数μｓから数ｍｓで変動
することが避けられなかった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、この発明は、計測器のテストヘッド２１に着脱自在
に装着される被試験装置２２と、テストヘッド２１に実
装され、被試験装置２２に給電する高速応答電源２３
と、テストヘッド２１と所定の距離をもって配置された
テスタ本体架２４内に配設され、高速応答電源２３に給
電するリモート・センシング電源２５と、テスタ本体架
２４内に配設され、高速応答電源２３に基準電圧を給電
する基準電圧供給手段２６を備えたものである。
に、この発明は、計測器のテストヘッド２１に着脱自在
に装着される被試験装置２２と、テストヘッド２１に実
装され、被試験装置２２に給電する高速応答電源２３
と、テストヘッド２１と所定の距離をもって配置された
テスタ本体架２４内に配設され、高速応答電源２３に給
電するリモート・センシング電源２５と、テスタ本体架
２４内に配設され、高速応答電源２３に基準電圧を給電
する基準電圧供給手段２６を備えたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】この発明によれば、高速応答電源
２３からＤＵＴ２２への供給電圧Ｖ２１とリモート・セ
ンシング電源２５から高速応答電源２３への供給電源電
圧Ｖ２２との間の電位差が高速応答電源２３が正常に動
作する最小電圧となるように、リモート・センシング電
源２５が供給電源電圧Ｖ２２を制御し、高速応答電源２
３からＤＵＴ２２に給電する供給電圧Ｖ２１が設定電圧
となるように、基準電圧供給手段２６が高速応答電源２
３に印加する基準電圧を制御する。
２３からＤＵＴ２２への供給電圧Ｖ２１とリモート・セ
ンシング電源２５から高速応答電源２３への供給電源電
圧Ｖ２２との間の電位差が高速応答電源２３が正常に動
作する最小電圧となるように、リモート・センシング電
源２５が供給電源電圧Ｖ２２を制御し、高速応答電源２
３からＤＵＴ２２に給電する供給電圧Ｖ２１が設定電圧
となるように、基準電圧供給手段２６が高速応答電源２
３に印加する基準電圧を制御する。
【００１４】次に、この発明の計測器用高速応答電源の
第１の実施の形態について図面に基づき説明する。図１
は、この第１の実施の形態の構成を示すブロック図であ
り、計測器として、例えば、ＩＣテスタに適用した場合
を例示している。
第１の実施の形態について図面に基づき説明する。図１
は、この第１の実施の形態の構成を示すブロック図であ
り、計測器として、例えば、ＩＣテスタに適用した場合
を例示している。
【００１５】図１で、テストヘッド２１にはＤＵＴ２２
が着脱自在に装着されている。テストヘッド２１内に
は、高速応答電源２３が実装されており、高速応答電源
２３の出力電圧、すなわち、ＤＵＴ２２への供給電圧Ｖ
２１が高速応答電源２３とＤＵＴ２２間を最短距離で接
続した給電線２７を介して供給されるようになってい
る。
が着脱自在に装着されている。テストヘッド２１内に
は、高速応答電源２３が実装されており、高速応答電源
２３の出力電圧、すなわち、ＤＵＴ２２への供給電圧Ｖ
２１が高速応答電源２３とＤＵＴ２２間を最短距離で接
続した給電線２７を介して供給されるようになってい
る。
【００１６】テストヘッド２１に対して、１０ｍ程度の
距離Ｌをもって、ＩＣテスタ本体架等のテスタ本体架２
４が設置されている。テスタ本体架２４内には、リモー
ト・センシング電源２５と基準電圧供給手段としてのリ
モート・センシング電源２６が設けられている。
距離Ｌをもって、ＩＣテスタ本体架等のテスタ本体架２
４が設置されている。テスタ本体架２４内には、リモー
ト・センシング電源２５と基準電圧供給手段としてのリ
モート・センシング電源２６が設けられている。
【００１７】さらに、テスタ本体架２４内にはトランス
２８も配設されている。トランス２８には、ＡＣ電源２
９が接続されており、このＡＣ電源２９からのＡＣ電圧
をトランス２８で変圧してリモート・センシング電源２
５とリモート・センシング電源２６に所定電圧を印加す
るようになっている。
２８も配設されている。トランス２８には、ＡＣ電源２
９が接続されており、このＡＣ電源２９からのＡＣ電圧
をトランス２８で変圧してリモート・センシング電源２
５とリモート・センシング電源２６に所定電圧を印加す
るようになっている。
【００１８】リモート・センシング電源２５はトランス
２８から給電されると、ＡＣ電圧を整流し、所定の供給
電源電圧Ｖ２２を発生させて、給電線３０を介してテス
トヘッド２１内の高速応答電源２３に給電するようにな
っている。
２８から給電されると、ＡＣ電圧を整流し、所定の供給
電源電圧Ｖ２２を発生させて、給電線３０を介してテス
トヘッド２１内の高速応答電源２３に給電するようにな
っている。
【００１９】この供給電源電圧Ｖ２２の電圧は、電圧検
出線３１を通してリモート・センシング電源２５で検出
され、高速応答電源２３からＤＵＴ２２に給電する供給
電圧Ｖ１とリモート・センシング電源２５から高速応答
電源２３に給電する供給電源電圧Ｖ２２との電位差（Ｖ
２１−Ｖ２２）が、高速応答電源２３が正常に動作する
最小電圧となるように、リモート・センシング電源２５
により、供給電源電圧Ｖ２２の制御を行うようになって
いる。
出線３１を通してリモート・センシング電源２５で検出
され、高速応答電源２３からＤＵＴ２２に給電する供給
電圧Ｖ１とリモート・センシング電源２５から高速応答
電源２３に給電する供給電源電圧Ｖ２２との電位差（Ｖ
２１−Ｖ２２）が、高速応答電源２３が正常に動作する
最小電圧となるように、リモート・センシング電源２５
により、供給電源電圧Ｖ２２の制御を行うようになって
いる。
【００２０】同様に、リモート・センシング電源２６か
ら給電線３２を介して基準電圧を高速応答電源２３に給
電するようになっている。この基準電圧は、電圧検出線
３３を通してリモート・センシング電源２６で検出さ
れ、供給電圧Ｖ２１が設定値となるようにリモート・セ
ンシング電源２６により制御されるようになっている。
ら給電線３２を介して基準電圧を高速応答電源２３に給
電するようになっている。この基準電圧は、電圧検出線
３３を通してリモート・センシング電源２６で検出さ
れ、供給電圧Ｖ２１が設定値となるようにリモート・セ
ンシング電源２６により制御されるようになっている。
【００２１】また、テスタヘッド２１内において、高速
応答電源２３の入力端間、すなわち、供給電源電圧Ｖ２
２に並列に高速応答電源２３の電源バイパス・コンデン
サ３４が接続されているとともに、基準電圧に並列に高
速応答電源２３の基準電圧の電源バイパス・コンデンサ
３５が接続されている。
応答電源２３の入力端間、すなわち、供給電源電圧Ｖ２
２に並列に高速応答電源２３の電源バイパス・コンデン
サ３４が接続されているとともに、基準電圧に並列に高
速応答電源２３の基準電圧の電源バイパス・コンデンサ
３５が接続されている。
【００２２】次に、第１の実施の形態の動作について図
２を参照して説明する。図２は、横軸に時間（μｓ）を
とり、縦軸に供給電源電圧Ｖ２２と電源電流Ｉ２１をと
って示す高速応答電源２３の過度応答特性図である。
２を参照して説明する。図２は、横軸に時間（μｓ）を
とり、縦軸に供給電源電圧Ｖ２２と電源電流Ｉ２１をと
って示す高速応答電源２３の過度応答特性図である。
【００２３】ＡＣ電源２９からＡＣ電圧がテスタ本体架
２４内のトランス２８に印加され、このトランス２８に
より所定の電圧に変圧した後に、ＡＣ電圧がリモート・
センシング電源２５とリモート・センシング電源２６に
印加される。
２４内のトランス２８に印加され、このトランス２８に
より所定の電圧に変圧した後に、ＡＣ電圧がリモート・
センシング電源２５とリモート・センシング電源２６に
印加される。
【００２４】リモート・センシング電源２５は、トラン
ス２８の出力電圧が印加されると、この出力電圧を整流
し、所定の安定化電圧を得て給電線３０を介してテスト
ヘッド２１内の高速応答電源２３に供給電源電圧Ｖ２２
を給電する。
ス２８の出力電圧が印加されると、この出力電圧を整流
し、所定の安定化電圧を得て給電線３０を介してテスト
ヘッド２１内の高速応答電源２３に供給電源電圧Ｖ２２
を給電する。
【００２５】同様にして、リモート・センシング電源２
６にトランス２８の出力電圧が印加されると、この出力
電圧を整流し、所定の基準電圧を給電線３２を通してテ
ストヘッド２１内の高速応答電源２３に印加する。
６にトランス２８の出力電圧が印加されると、この出力
電圧を整流し、所定の基準電圧を給電線３２を通してテ
ストヘッド２１内の高速応答電源２３に印加する。
【００２６】高速応答電源２３に供給電源電圧Ｖ２２を
給電することにより、高速応答電源２３から給電線２７
を介してＤＵＴ２２に供給電圧Ｖ２１を印加する。これ
により、高速応答電源２３から給電線２７を通してＤＵ
Ｔ２２に電源電流Ｉ２１が流れる。
給電することにより、高速応答電源２３から給電線２７
を介してＤＵＴ２２に供給電圧Ｖ２１を印加する。これ
により、高速応答電源２３から給電線２７を通してＤＵ
Ｔ２２に電源電流Ｉ２１が流れる。
【００２７】このときの供給電源電圧Ｖ２２の電圧は、
電圧検出線３１を介してリモート・センシング電源２５
で検出し、また、基準電圧の電圧は電圧検出線３３を介
して第２リモート・センシング電源２６で検出してい
る。
電圧検出線３１を介してリモート・センシング電源２５
で検出し、また、基準電圧の電圧は電圧検出線３３を介
して第２リモート・センシング電源２６で検出してい
る。
【００２８】供給電源電圧Ｖ２２の検出電圧に基づき、
高速応答電源２３の発熱が最小となるようにし、かつ、
高速応答電源２３が安定に動作する範囲で、供給電圧Ｖ
１と供給電源電圧Ｖ２２との電位差、すなわち、（Ｖ２
１−Ｖ２２）が最小の電位差となるように、リモート・
センシング電源２５が供給電源電圧Ｖ２２を制御する。
高速応答電源２３の発熱が最小となるようにし、かつ、
高速応答電源２３が安定に動作する範囲で、供給電圧Ｖ
１と供給電源電圧Ｖ２２との電位差、すなわち、（Ｖ２
１−Ｖ２２）が最小の電位差となるように、リモート・
センシング電源２５が供給電源電圧Ｖ２２を制御する。
【００２９】同様に、基準電圧の検出電圧値に基づき、
高速応答電源２３からＤＵＴ２２に給電される供給電圧
Ｖ１が設定値となるように、リモート・センシング電源
２６が基準電圧を制御する。
高速応答電源２３からＤＵＴ２２に給電される供給電圧
Ｖ１が設定値となるように、リモート・センシング電源
２６が基準電圧を制御する。
【００３０】このようにすることにより、図２に示すよ
うに、ＤＵＴ２２に大きな電流が流れて、例えば、１Ａ
から３Ａの電源電流Ｉ２１が高速応答電源２３から給電
線２７を通して流れても、ＤＵＴ２２に給電される供給
電圧Ｖ２１はほとんど変化しなくなる。
うに、ＤＵＴ２２に大きな電流が流れて、例えば、１Ａ
から３Ａの電源電流Ｉ２１が高速応答電源２３から給電
線２７を通して流れても、ＤＵＴ２２に給電される供給
電圧Ｖ２１はほとんど変化しなくなる。
【００３１】高速応答電源２３をこのようにすることに
より、例えば、高速応答電源２３の動作範囲を、 設定電圧：３Ｖから３０Ｖ 電源電流：５Ａ とした場合、供給電圧Ｖ１と供給電源電圧Ｖ２２との電
位差を例えば、常に２Ｖとなるように設定することによ
り、高速応答電源２３の最大発熱量を常に、 ５Ａ×（Ｖ２２−Ｖ２１）＝５Ａ×２Ｖ＝１０ワット とすることができる。また、このとき高速応答電源２３
は、スイッチング電源のように、雑音を発生することは
ない。
より、例えば、高速応答電源２３の動作範囲を、 設定電圧：３Ｖから３０Ｖ 電源電流：５Ａ とした場合、供給電圧Ｖ１と供給電源電圧Ｖ２２との電
位差を例えば、常に２Ｖとなるように設定することによ
り、高速応答電源２３の最大発熱量を常に、 ５Ａ×（Ｖ２２−Ｖ２１）＝５Ａ×２Ｖ＝１０ワット とすることができる。また、このとき高速応答電源２３
は、スイッチング電源のように、雑音を発生することは
ない。
【００３２】次に、この発明の第２の実施の形態を図３
のブロック図を参照して説明する。図３で、図１と同一
部分には、同一符号を付して説明する。図３のテスタ本
体架２４内のリモート・センシング電源２５と、基準電
圧供給手段としてのリモート・センシング電源２６は、
データ線３６を介してコンピュータ３７により、任意の
電圧を発生するように制御されている。
のブロック図を参照して説明する。図３で、図１と同一
部分には、同一符号を付して説明する。図３のテスタ本
体架２４内のリモート・センシング電源２５と、基準電
圧供給手段としてのリモート・センシング電源２６は、
データ線３６を介してコンピュータ３７により、任意の
電圧を発生するように制御されている。
【００３３】また、テストヘッド２１内の高速応答電源
２３は、オペレーショナル・アンプ（以下、オペアンプ
という。）３８とトランジスタ３９を主体にして構成さ
れている場合を示している。オペアンプ３８の非反転入
力端には、リモート・センシング電源２６から給電線３
２を通して基準電圧が印加され、オペアンプ３８の反転
入力端はトランジスタ３９のエミッタに接続されてい
る。
２３は、オペレーショナル・アンプ（以下、オペアンプ
という。）３８とトランジスタ３９を主体にして構成さ
れている場合を示している。オペアンプ３８の非反転入
力端には、リモート・センシング電源２６から給電線３
２を通して基準電圧が印加され、オペアンプ３８の反転
入力端はトランジスタ３９のエミッタに接続されてい
る。
【００３４】この基準電圧は、図１の場合と同様に、電
圧検出線３３を介してリモート・センシング電源２６で
検出されるようになっており、またオペアンプ３８の非
反転入力端とアース間、すなわち、基準電圧の印加点と
アース間には、基準電圧のバイパス・コンデンサ３５が
接続され、ノイズなどの吸収を行うようになっている。
圧検出線３３を介してリモート・センシング電源２６で
検出されるようになっており、またオペアンプ３８の非
反転入力端とアース間、すなわち、基準電圧の印加点と
アース間には、基準電圧のバイパス・コンデンサ３５が
接続され、ノイズなどの吸収を行うようになっている。
【００３５】リモート・センシング電源２５から給電線
３０を経て供給電源電圧Ｖ２２が、高速応答電源２３内
のオペアンプ３８とトランジスタ３９のコレクタに印加
するようにしている。供給電源電圧Ｖ２２は、電圧検出
線３１を介してリモート・センシング電源２５により検
出するようになっている。さらに、供給電源電圧Ｖ２２
の給電点とアース間には、電源バイパス・コンデンサ３
４が接続され、ノイズなどの吸収を行うようになってい
る。
３０を経て供給電源電圧Ｖ２２が、高速応答電源２３内
のオペアンプ３８とトランジスタ３９のコレクタに印加
するようにしている。供給電源電圧Ｖ２２は、電圧検出
線３１を介してリモート・センシング電源２５により検
出するようになっている。さらに、供給電源電圧Ｖ２２
の給電点とアース間には、電源バイパス・コンデンサ３
４が接続され、ノイズなどの吸収を行うようになってい
る。
【００３６】オペアンプ３８の出力端は、トランジスタ
３９のベースに接続されており、トランジスタ３９のエ
ミッタとアース間には、給電線２７を経てＤＵＴ２２に
供給電圧Ｖ２１を印加するようになっている。ＤＵＴ２
２に並列にＤＵＴ２２の電源バイパス・コンデンサ４０
が接続されている。なお、４１はアース線である。
３９のベースに接続されており、トランジスタ３９のエ
ミッタとアース間には、給電線２７を経てＤＵＴ２２に
供給電圧Ｖ２１を印加するようになっている。ＤＵＴ２
２に並列にＤＵＴ２２の電源バイパス・コンデンサ４０
が接続されている。なお、４１はアース線である。
【００３７】このように構成することにより、高速応答
電源２３のトランジスタ３９のエミッタからＤＵＴ２２
に印加する供給電圧Ｖ２１と、リモート・センシング電
源２５から給電線３０を通して高速応答電源２３のオペ
アンプ３８とトランジスタ３９のコレクタに印加する供
給電源電圧Ｖ２２との電位差を、高速応答電源２３が常
に正常に動作する最小の電位差になるように、コンピュ
ータ３７により、リモート・センシング電源２５を制御
する。これにより、高速応答電源２３の発熱を最小に抑
制することができる。
電源２３のトランジスタ３９のエミッタからＤＵＴ２２
に印加する供給電圧Ｖ２１と、リモート・センシング電
源２５から給電線３０を通して高速応答電源２３のオペ
アンプ３８とトランジスタ３９のコレクタに印加する供
給電源電圧Ｖ２２との電位差を、高速応答電源２３が常
に正常に動作する最小の電位差になるように、コンピュ
ータ３７により、リモート・センシング電源２５を制御
する。これにより、高速応答電源２３の発熱を最小に抑
制することができる。
【００３８】また、コンピュータ３７によりリモート・
センシング電源２６を制御して、リモート・センシング
電源２６から給電線３２を経て高速応答電源２３に印加
される基準電圧を制御し、高速応答電源２３からＤＵＴ
２２の給電される供給電圧Ｖ２１を設定値に維持する。
これにより、供給電圧Ｖ２１と供給電源電圧Ｖ２２との
電位差を最小値にすることができる。
センシング電源２６を制御して、リモート・センシング
電源２６から給電線３２を経て高速応答電源２３に印加
される基準電圧を制御し、高速応答電源２３からＤＵＴ
２２の給電される供給電圧Ｖ２１を設定値に維持する。
これにより、供給電圧Ｖ２１と供給電源電圧Ｖ２２との
電位差を最小値にすることができる。
【００３９】この結果、図４の時間（μｓ）対供給電源
電圧Ｖ２２、供給電圧Ｖ２１、電源電流Ｉ２１の関係を
示す過度特性図から明らかなように、高速応答電源２３
のトランシスタ３９のエミッタからＤＵＴ２２に給電線
２７を経て流れる電源電流Ｉ２１が１Ａから３Ａへ瞬時
に増加したような場合において、リモート・センシング
電源２５によって得られる供給電源電圧Ｖ２２は、数１
０ミリ周期で変動を受けるが、高速応答電源２３の出力
電圧、すなわち供給電圧Ｖ２１の変動は、小さく抑制さ
れることができる。
電圧Ｖ２２、供給電圧Ｖ２１、電源電流Ｉ２１の関係を
示す過度特性図から明らかなように、高速応答電源２３
のトランシスタ３９のエミッタからＤＵＴ２２に給電線
２７を経て流れる電源電流Ｉ２１が１Ａから３Ａへ瞬時
に増加したような場合において、リモート・センシング
電源２５によって得られる供給電源電圧Ｖ２２は、数１
０ミリ周期で変動を受けるが、高速応答電源２３の出力
電圧、すなわち供給電圧Ｖ２１の変動は、小さく抑制さ
れることができる。
【００４０】次に、図５により、この発明の第３の実施
の形態について説明する。図５で、構成の説明は、図３
との重複説明を避けるために、図３と同一部分には、同
一符号を付し、図３とは異なる部分を主体に説明する。
の形態について説明する。図５で、構成の説明は、図３
との重複説明を避けるために、図３と同一部分には、同
一符号を付し、図３とは異なる部分を主体に説明する。
【００４１】図５を図３と比較して明らかなように、図
５では、テスタ本体架２４内のリモート・センシング電
源２６が省略されており、このリモート・センシング電
源２６に代えて、テスタヘッド２１に実装されている高
速応答電源２３に基準電圧供給手段として、ディジタル
／アナログ変換器４２（以下、ＤＡＣという。）が設け
られている。
５では、テスタ本体架２４内のリモート・センシング電
源２６が省略されており、このリモート・センシング電
源２６に代えて、テスタヘッド２１に実装されている高
速応答電源２３に基準電圧供給手段として、ディジタル
／アナログ変換器４２（以下、ＤＡＣという。）が設け
られている。
【００４２】ＤＡＣ４２は、テスタ架２４内のコンピュ
ータ３７からデータ線３６を経て転送される制御信号を
アナログに変換して、高速応答電源２３内のオペアンプ
３８に基準電圧を印加するようになっている。その他の
構成は図３と同様である。
ータ３７からデータ線３６を経て転送される制御信号を
アナログに変換して、高速応答電源２３内のオペアンプ
３８に基準電圧を印加するようになっている。その他の
構成は図３と同様である。
【００４３】次に、図５の動作について説明する。リモ
ート・センシング電源２５は給電線３０を通して供給電
源電圧Ｖ２２を高速応答電源２３内のオペアンプ３８と
トランジスタ３９のコレクタに供給しており、この供給
電源電圧Ｖ２２を電圧検出線３１を通して、リモート・
センシング電源２５で検出する。
ート・センシング電源２５は給電線３０を通して供給電
源電圧Ｖ２２を高速応答電源２３内のオペアンプ３８と
トランジスタ３９のコレクタに供給しており、この供給
電源電圧Ｖ２２を電圧検出線３１を通して、リモート・
センシング電源２５で検出する。
【００４４】この検出値に基づき、コンピュータ３７が
データ線３６を通してリモート・センシング電源２５を
制御することにより、高速応答電源２３内のトランジス
タ３９のエミッタからＤＵＴ２２に印加する供給電圧Ｖ
１と供給電源電圧２２との電位差を、高速応答電源２３
が正常に動作する最小の値になるように供給電源電圧Ｖ
２２を設定し、それにより高速応答電源２３の発熱を最
小に抑制することができる。
データ線３６を通してリモート・センシング電源２５を
制御することにより、高速応答電源２３内のトランジス
タ３９のエミッタからＤＵＴ２２に印加する供給電圧Ｖ
１と供給電源電圧２２との電位差を、高速応答電源２３
が正常に動作する最小の値になるように供給電源電圧Ｖ
２２を設定し、それにより高速応答電源２３の発熱を最
小に抑制することができる。
【００４５】また、高速応答電源２３からＤＵＴ２２に
給電される供給電圧Ｖ１が設定値となるように、コンピ
ュータ３７がデータ線３６を通してＤＡＣ４２を制御す
る。このようにすることにより、高速応答電源２３から
給電線２７を経てＤＵＴ２２に流れる電源電流Ｉ２１、
すなわち、負荷電流の変動時のＤＵＴ２２への供給電圧
Ｖ２１の変動を小さく抑制することができる。
給電される供給電圧Ｖ１が設定値となるように、コンピ
ュータ３７がデータ線３６を通してＤＡＣ４２を制御す
る。このようにすることにより、高速応答電源２３から
給電線２７を経てＤＵＴ２２に流れる電源電流Ｉ２１、
すなわち、負荷電流の変動時のＤＵＴ２２への供給電圧
Ｖ２１の変動を小さく抑制することができる。
【００４６】
【発明の効果】この発明の計測器用高速応答電源によれ
ば、テストヘッド内に高速応答電源を設け、テストヘッ
ドと所定距離隔てたテスタ本体架のリモート・センシン
グ電源から供給電源電圧を供給し、高速応答電源からＤ
ＵＴへ供給電圧を給電し、供給電圧と供給電源電圧との
電位差を高速応答電源が正常に動作する最小値となるよ
うにリモート・センシング電源で供給電源電圧を制御
し、基準電圧供給手段により高速応答電源に基準電圧を
供給し、ＤＵＴに給電する供給電圧を設定値になるよう
にしたので、ＤＵＴに流れる電源電流が急激に大きく変
動した場合でも、ＤＵＴに給電する供給電圧を設定値に
維持することができ、高速応答電源の発熱を最小に抑制
することができる。
ば、テストヘッド内に高速応答電源を設け、テストヘッ
ドと所定距離隔てたテスタ本体架のリモート・センシン
グ電源から供給電源電圧を供給し、高速応答電源からＤ
ＵＴへ供給電圧を給電し、供給電圧と供給電源電圧との
電位差を高速応答電源が正常に動作する最小値となるよ
うにリモート・センシング電源で供給電源電圧を制御
し、基準電圧供給手段により高速応答電源に基準電圧を
供給し、ＤＵＴに給電する供給電圧を設定値になるよう
にしたので、ＤＵＴに流れる電源電流が急激に大きく変
動した場合でも、ＤＵＴに給電する供給電圧を設定値に
維持することができ、高速応答電源の発熱を最小に抑制
することができる。
【図１】この発明の計測器用高速応答電源の第１の実施
の形態の構成を示すブロック図である。
の形態の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の動作を説明するための供給電圧Ｖ２１と
電源電流Ｉ２１の過度応答特性図である。
電源電流Ｉ２１の過度応答特性図である。
【図３】この発明の計測器用高速応答電源の第２の実施
の形態の構成を示すブロック図である。
の形態の構成を示すブロック図である。
【図４】図３の動作を説明するための供給電圧Ｖ２１
と、供給電源電圧Ｖ２２と、電源電流Ｉ２１との過度応
答特性図である。
と、供給電源電圧Ｖ２２と、電源電流Ｉ２１との過度応
答特性図である。
【図５】この発明の計測器用高速応答電源の第３の実施
の形態の構成を示すブロック図である。
の形態の構成を示すブロック図である。
【図６】従来のＩＣテスタ用電源の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図７】図６のＩＣテスタ用電源の動作を説明するため
の電源電圧Ｖ１と電源電流Ｉ１との過度特性図である。
の電源電圧Ｖ１と電源電流Ｉ１との過度特性図である。
２１ テストヘッド ２２ ＤＵＴ ２３ 高速応答電源 ２４ テスタ本体架 ２５・２６ リモート・センシング電源 ２７・３０・３２ 給電線 ３１・３３ 電圧検出線 ３７ コンピュータ ３８ オペアンプ ３９ トランジスタ ４２ ＤＡＣ
Claims (4)
- 【請求項１】 計測器のテストヘッド(21)に着脱自在に
装着される被試験装置(22)と、 前記テストヘッド(21)に実装され、前記被試験装置(22)
に給電する高速応答電源(23)と、 前記テストヘッド(21)と所定の距離をもって配置された
テスタ本体架(24)内に配設され、前記高速応答電源(23)
に給電するリモート・センシング電源(25)と、 前記テスタ本体架(24)内に設けられ、前記高速応答電源
(23)に基準電圧を給電する基準電圧供給手段(26)を備え
ることを特徴とする計測器用高速応答電源。 - 【請求項２】 前記リモート・センシング電源(25)が前
記高速応答電源(23)により前記被試験装置(22)に給電す
る供給電圧(V21) と、前記リモート・センシング電源(2
5)から前記高速応答電源(23)に給電する供給電源電圧(V
22) との間の電位差を、前記高速応答電源(23)が正常に
動作する最小電圧となるように、前記高速応答電源(23)
に給電する電圧を制御し、かつ前記基準電圧供給手段(2
6)が前記高速応答電源(23)に給電する基準電圧を制御す
ることを特徴とする請求項１に記載の計測器用高速応答
電源。 - 【請求項３】 前記リモート・センシング電源(25)は、
前記高速応答電源(23)により前記被試験装置(22)に給電
する供給電圧(V21) と前記リモート・センシング電源(2
5)から前記高速応答電源(23)に給電する供給電源電圧(V
22) との間の電位差を、前記高速応答電源(23)が正常に
動作する最小電圧となるようにコンピュータ(37)により
制御されることを特徴とする請求項１および請求項２に
記載の計測器用高速応答電源。 - 【請求項４】 前記コンピュータ(37)は、前記高速応答
電源(23)により前記被試験装置(22)に給電する供給電圧
(V21) と前記リモート・センシング電源(25)から前記高
速応答電源(23)に給電する供給電源電圧(V22) との間の
電位差を、前記高速応答電源(23)が正常に動作する最小
電圧となるように前記リモート・センシング電源(25)を
制御するとともに、前記高速応答電源(23)に基準電圧を
供給するディジタル／アナログ変換器(42)を制御するこ
とを特徴とする請求項３に記載の計測器用高速応答電
源。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067327A JPH09236639A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 計測器用高速応答電源 |
| US08/801,166 US5917318A (en) | 1996-02-28 | 1997-02-18 | High-speed responsive power supply for measuring equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067327A JPH09236639A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 計測器用高速応答電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236639A true JPH09236639A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=13341827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8067327A Pending JPH09236639A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 計測器用高速応答電源 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5917318A (ja) |
| JP (1) | JPH09236639A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002040098A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Advantest Corp | 試験装置 |
| JP2007315829A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Yokogawa Electric Corp | 電源装置およびこれを用いた半導体試験システム |
| JP2009243937A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Yokogawa Electric Corp | 電圧供給装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6556034B1 (en) | 2000-11-22 | 2003-04-29 | Teradyne, Inc. | High speed and high accuracy DUT power supply with active boost circuitry |
| US6542385B1 (en) | 2000-11-22 | 2003-04-01 | Teradyne, Inc. | DUT power supply having improved switching DC-DC converter |
| US6448748B1 (en) | 2001-03-01 | 2002-09-10 | Teradyne, Inc. | High current and high accuracy linear amplifier |
| WO2006043915A1 (en) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Semiconductor Components Industries, L.L.C. | Method of testing a power supply controller and structure therefor |
| US8717051B2 (en) * | 2009-10-22 | 2014-05-06 | Intersil Americas Inc. | Method and apparatus for accurately measuring currents using on chip sense resistors |
| CN105824385B (zh) * | 2015-01-04 | 2020-02-21 | 台达电子工业股份有限公司 | 测试方法及系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5424629A (en) * | 1991-04-11 | 1995-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power circuit for a semiconductor apparatus |
| JPH06308197A (ja) * | 1993-04-27 | 1994-11-04 | Fujitsu Ltd | Ｉｃ素子試験装置 |
| KR960000894B1 (ko) * | 1993-07-02 | 1996-01-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치의 전원전압 감지회로 |
| US5731700A (en) * | 1994-03-14 | 1998-03-24 | Lsi Logic Corporation | Quiescent power supply current test method and apparatus for integrated circuits |
-
1996
- 1996-02-28 JP JP8067327A patent/JPH09236639A/ja active Pending
-
1997
- 1997-02-18 US US08/801,166 patent/US5917318A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002040098A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Advantest Corp | 試験装置 |
| JP2007315829A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Yokogawa Electric Corp | 電源装置およびこれを用いた半導体試験システム |
| JP4735976B2 (ja) * | 2006-05-24 | 2011-07-27 | 横河電機株式会社 | 電源装置およびこれを用いた半導体試験システム |
| JP2009243937A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Yokogawa Electric Corp | 電圧供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5917318A (en) | 1999-06-29 |
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