JP2002311082A - 電源電流検出回路および電源電流検出装置 - Google Patents

電源電流検出回路および電源電流検出装置

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JP2002311082A
JP2002311082A JP2001121017A JP2001121017A JP2002311082A JP 2002311082 A JP2002311082 A JP 2002311082A JP 2001121017 A JP2001121017 A JP 2001121017A JP 2001121017 A JP2001121017 A JP 2001121017A JP 2002311082 A JP2002311082 A JP 2002311082A
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power supply
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supply current
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Yuji Tsurumi
裕二 鶴見
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電源装置からICへ供給される微少な電流の
検出を高速にできる電源電流検出回路および装置を提供
する。 【解決手段】 第1構成素子群100と並列に接続された
第2構成素子群200とを有し、第2構成素子群200は、負
極側入力端子が双方向ダイオード31の外部出力側の端子
と接続され、外部入力が第2の構成素子群切替スイッチ
SWBを介して正極側入力端子に接続されたオペアンプ21
と、負極側入力端子が双方向ダイオード31の外部出力側
の端子と接続され、オペアンプ21の出力端子が正極側入
力端子に接続され、負極側入力端子と正極側入力端子と
の間に、複数の第2の電流検出用抵抗がそれぞれ第2の
抵抗切替スイッチS1〜SNにより選択できるように並列接
続され、複数の第2の電流検出用抵抗のうち選択された
抵抗の両端に発生する電圧差に応じた第2検出信号を出
力する第2の差電圧検出回路22とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電源電流検出装置
に係り、集積回路を測定するICテスタにおいて、電源
装置からICへ供給される電流の大きさを検出する電源
電流検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】IC等の被測定デバイス(Device Under
Test:以下DUTと記す)の故障検出及び解析等に用
いられるICテスタにおいて、従来、電源電流検出装置
は、電源装置から供給される電流の大きさを検出し、そ
の検出結果により電源装置に接続されたDUTの良否判
定を行うものである。
【0003】電源電流検出装置は、一般に電源とDUT
との間に挿入された高抵抗の素子群からなり、この素子
群の電圧降下を測定することにより、DUTに供給され
る電流を検出していた。
【0004】このような、従来の電源電流検出装置の一
例を図を用いて説明する。図2は、従来の電源電流検出
装置の一例の構成を示す図である。従来の電源電流検出
装置30は、図2の(a)に示すように、コンピュータ
(制御装置)31,D/A変換器32,電圧誤差アンプ
33,出力アンプ34,電源電流検出回路35,DUT
36,電源電圧変動防止用コンデンサ37を有する構成
である。
【0005】コンピュータ31は、次へつながるD/A
変換器32が出力する電圧の大きさをデジタルデータと
して設定、出力するものである。D/A変換器32は、
コンピュータ31から送られてきたデジタル信号をアナ
ログ信号に変換し、次の電圧誤差アンプ33へ電圧とし
て出力するものである。電圧誤差アンプ33は、DUT
の電源電圧とD/A変換器32との電圧差を検出するも
のである。出力アンプ34は、電圧誤差アンプ33の電
圧差出力に応じて電力を供給するパワーアンプである。
【0006】電源電流検出回路35は、DUTに流れる
電流を検出するものであって、図2の(b)に示すよう
に、構成素子群300、双方向ダイオード39によって
構成される。構成素子群300は、差電圧検出回路3
8,電流検出用抵抗R1〜RN,スイッチSWA,スイ
ッチSW1〜SWNからなる。
【0007】電流検出用抵抗R1〜RNは、それぞれス
イッチSW1〜SWNにより選択できるように並列接続
されている。差電圧検出回路38は、電流検出用抵抗R
1〜RNのうち選択された抵抗の両端に発生する電圧差
に応じた検出信号を出力する。スイッチSWAは、差電
圧検出回路38の正極側入力端子と外部入力との間に挿
入される。双方向ダイオード39は、電源電流検出回路
35の外部入力と外部出力との間に挿入され、外部出力
側の端子が差電圧検出回路38の負極側入力端子に接続
される。
【0008】電源電流検出を検出する際は、構成素子群
切替スイッチSWAを閉じる。そして、出力アンプ34
からDUT36へ流れる電流の大きさにより、抵抗切替
スイッチSW1〜SWNを選択すると、その選択された
抵抗の両端にできる電圧を差電圧検出回路38で検出し
て出力する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】IC等の被測定デバイ
スの故障検出及び解析等に用いられるICテスタでは、
電源電流検出装置の電源印加時の立ち上がり速度は非常
に重要になる。その立ち上がり速度は、電源とDUTと
の間に挿入された電流検出用抵抗とDUTへ電源供給さ
れる入力端子のできるだけ近い場所に接続された電源電
圧変動防止用コンデンサの大きさで決まる速度となる。
【0010】また、ICテスタなどでは、DUTの動作
待機時の微少な消費電流などを高速に測定しなければな
らない場合がある。そのため、この抵抗値またはコンデ
ンサ容量をできるだけ小さくするのが望ましい。
【0011】しかしながら、電源電圧変動を防止する為
の最小限のコンデンサ容量以下にすることはできず、ま
た抵抗素子も検出精度を確保するための最小抵抗値より
も小さくすることができないと云う問題点があった。
【0012】このため、従来の電源電流検出装置は、こ
れらコンデンサの最小容量及び抵抗の最小値によって決
まる速度でしか動作させることができなかった。つま
り、抵抗とコンデンサが電源電流検出装置の高速動作を
妨げる要因となっていた。
【0013】本発明は、前述した問題点や事情に鑑みて
なされたものであり、その目的は、集積回路を測定する
ICテスタにおいて、電源装置からICへ供給される微
少な電流などの検出を高速にできる電源電流検出回路お
よび電源電流検出装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明に係る電源電流検出回路は、請求項1に
記載したように、それぞれ第1の抵抗切替スイッチによ
り選択できるように並列接続された複数の第1の電流検
出用抵抗と、前記複数の第1の電流検出用抵抗のうち選
択された抵抗の両端に発生する電圧差に応じた第1検出
信号を出力する差電圧検出回路と、前記差電圧検出回路
の正極側入力端子と外部入力との間に挿入された第1の
構成素子群切替スイッチと、からなる第1構成素子群
と、前記外部入力と外部出力との間に挿入され、前記外
部出力側の端子が前記差電圧検出回路の負極側入力端子
に接続された双方向ダイオードと、前記、第1構成素子
群と並列に接続された第2構成素子群とを有し、前記第
2構成素子群は、負極側入力端子が前記双方向ダイオー
ドの外部出力側の端子と接続され、外部入力が第2の構
成素子群切替スイッチを介して正極側入力端子に接続さ
れたオペアンプと、負極側入力端子が前記双方向ダイオ
ードの外部出力側の端子と接続され、前記オペアンプ2
1の出力端子が正極側入力端子に接続され、負極側入力
端子と正極側入力端子との間に、複数の第2の電流検出
用抵抗がそれぞれ第2の抵抗切替スイッチにより選択で
きるように並列接続され、前記複数の第2の電流検出用
抵抗のうち選択された抵抗の両端に発生する電圧差に応
じた第2検出信号を出力する第2の差電圧検出回路とか
らなることを特徴とする。
【0015】さらに、本発明に係る電源電流検出回路
は、請求項2に記載したように、前記第1のスイッチと
前記第2のスイッチとにより、前記第1構成素子群と前
記第2構成素子群とのうちどちらを使用するかを切り替
えられることを特徴とする。
【0016】さらに、本発明に係る電源電流検出回路
は、請求項3に記載したように、前記第2構成素子群を
使用するように選択された場合、前記第2構成素子群
は、見かけ上の検出抵抗が“0”となるように、かつ、
検出する電流の大きさに適するように、前記複数の第2
の電流検出用抵抗を第2の抵抗切替スイッチによって選
択し、選択された第2の電流検出用抵抗の電圧降下を検
出するように構成されたことを特徴とする。
【0017】さらに、本発明に係る電源電流検出回路
は、請求項4に記載したように、前記複数の第1の電流
検出用抵抗および複数の第2の電流検出用抵抗は、測定
する電流の範囲によって、それぞれ異なった抵抗値とな
るように構成されたことを特徴とする。
【0018】さらに、本発明に係る電源電流検出回路
は、請求項5に記載したように、電源電流に応じて前記
オペアンプが出力する電流値が、該オペアンプが流せる
許容電流値を超える場合には、前記第1構成素子群を使
用し、前記許容電流値以下の場合は前記第2構成素子群
を使用するように切り替えることを特徴とする。
【0019】また、本発明に係る電源電流検出装置は、
請求項6に記載したように、制御装置と、制御装置から
送られてきたデジタル信号をアナログ信号に変換し、出
力するD/A変換器と、前記D/A変換器の出力と被測
定デバイスの電源電圧との電圧差を検出する電圧誤差ア
ンプと、前記電圧誤差アンプの電圧差出力に応じて電力
を供給する出力アンプと、外部入力に前記出力アンプの
出力が接続され、外部出力に前記被測定デバイスが接続
された請求項1〜5のいずれかに記載の電源電流検出回
路と、を有することを特徴とする。
【0020】さらに、本発明に係る電源電流検出装置
は、請求項7に記載したように、前記電源電流検出回路
と被測定デバイスの間に、電源電圧変動防止用コンデン
サを有することを特徴とする。
【0021】以上述べた特徴を有することにより、集積
回路を測定するICテスタにおいて、電源装置からIC
へ供給される微少な電流などの検出を高速にできる電源
電流検出回路および電源電流検出装置を提供することが
でき、前述した目的を達成することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態を
図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明に係る
電源電流検出装置の一実施の形態の構成を示すブロック
図である。本実施の形態は、ICテスタの電源電流検出
装置であり、図1の(a)に示すように、電源電流検出
装置10は、コンピュータ(制御装置)11,D/A変
換器12,電圧誤差アンプ13,出力アンプ14,電源
電流検出回路15,DUT16,電源電圧変動防止用コ
ンデンサ17を有する構成である。
【0023】コンピュータ11は、次へつながるD/A
変換器12が出力する電圧の大きさをデジタルデータと
して設定、出力するものである。D/A変換器12は、
コンピュータ11から送られてきたデジタル信号をアナ
ログ信号に変換し、次の電圧誤差アンプ13へ電圧とし
て出力するものである。
【0024】電圧誤差アンプ13は、DUTの電源電圧
とD/A変換器12との電圧差を検出するものである。
出力アンプ14は、電圧誤差アンプ13の電圧差出力に
応じて電力を供給するパワーアンプである。
【0025】電源電流検出回路15は、DUTに流れる
電流を検出するものであって、図1の(b)に示すよう
に、第1構成素子群100、第2構成素子群200、双
方向ダイオード23によって構成される。第1構成素子
群100は、第1の差電圧検出回路20,第1の電流検
出用抵抗R1〜RN,スイッチSWA,スイッチSW1
〜SWNからなる。第2構成素子群200は、オペアン
プ21,第2の差電圧検出回路22,第2の電流検出用
抵抗RG1〜RGN,スイッチSWB,スイッチS1〜
SNからなる。
【0026】第1の電流検出用抵抗R1〜RNは、それ
ぞれスイッチ(SW1〜SWN)により選択できるよう
に並列接続されている。
【0027】差電圧検出回路20は、第1の電流検出用
抵抗R1〜RNのうち選択された抵抗の両端に発生する
電圧差に応じた第1の検出信号を出力する。
【0028】第1のスイッチSWAは、差電圧検出回路
20の正極側入力端子と外部入力との間に挿入される。
【0029】双方向ダイオード23は、電源電流検出回
路15の外部入力と外部出力との間に挿入され、外部出
力側の端子が第1の差電圧検出回路20の負極側入力端
子に接続される。
【0030】オペアンプ21は、負極側入力端子が前記
双方向ダイオード23の外部出力側の端子と接続され、
外部入力が第2のスイッチSWBを介して正極側入力端
子に接続される。
【0031】第2の差電圧検出回路22は、負極側入力
端子が双方向ダイオード23の(電源電流検出回路15
の)外部出力側の端子と接続され、オペアンプ21の出
力端子が正極側入力端子に接続され、負極側入力端子と
正極側入力端子との間に、第2の電流検出用抵抗RG1
〜RGNがそれぞれスイッチS1〜SNにより選択でき
るように並列接続され、第2の電流検出用抵抗RG1〜
RGNのうち選択された抵抗の両端に発生する電圧差に
応じた第2の検出信号を出力する。
【0032】電源電流検出回路15の外部入力には、出
力アンプ14の出力が接続され、外部出力には、DUT
16が接続される。
【0033】構成素子群100を使用する場合、第1の
構成素子群切替スイッチSWAを閉じ、第2の構成素子
群切替スイッチSWBを開く。出力アンプ14からDU
T16へ流れる電流の大きさにより、第1の抵抗切替ス
イッチSW1〜SWNを選択すると、その選択された抵
抗の両端にできる電圧を差電圧検出回路20で検出して
出力する。
【0034】構成素子群200を使用する場合、第1の
構成素子群切替スイッチSWAを開き、第2の構成素子
群切替スイッチSWBを閉じる。オペアンプ21の正極
側および負極側の入力端子はそれぞれ、出力アンプ14
とDUT16につながっていて、オペアンプの入力端子
間は同電位になるので、見かけ上の抵抗値は“0”とな
り、電流検出はDUT16側に接続された負極側入力端
子とオペアンプ21の出力端子間に接続された第2の電
流検出用抵抗RG1〜RGNを、検出する電流の大きさ
に適するように、第2の抵抗切替スイッチS1〜SNで
選択する。その選択された抵抗の電圧降下を差電圧検出
回路22を使用して検出して出力する(第2の検出信
号)。
【0035】構成素子群200は、構成素子群100の
役割も果たすことができるが、オペアンプの流せる許容
電流値が小さいため、許容値を超える場合には、構成素
子群100を使い、許容値以下の場合は構成素子群20
0を使用するように切り替える。
【0036】また、構成素子群100と構成素子群20
0とのそれぞれに、N個用意されている抵抗(電流検出
用抵抗R1〜RN、RG1〜RGN)は、測定する電流
の範囲によってそれぞれ異なった抵抗を必要分、用意す
る。そして、それらを抵抗切替スイッチ(SW1〜SW
N、S1〜SN)によって選択する。DUT16側には
電源電圧変動防止用コンデンサ17が接続されている。
【0037】なお、双方向ダイオード23は、この電源
電圧変動防止用コンデンサ17のバイパスダイオード
で、高速充電又は放電を行うものであり、高速立ち上が
りを実現するのに必要である。
【0038】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
集積回路を測定するICテスタにおいて、電源装置から
ICへ供給される電流の大きさを検出する電源電流検出
装置の電源電流検出回路に、電流検出用抵抗を見かけ上
小さくして、電源印加時の立ち上がりを高速にできる回
路を追加することにより、電流測定に加え、微少な電流
などの測定を高速にできる。これにより、電源装置から
ICへ供給される微少な電流などの検出を高速にできる
電源電流検出回路および電源電流検出装置を提供するこ
とができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電源電流検出装置の一実施の形態
の構成を示すブロック図である。
【図2】従来の電源電流検出装置の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
10 電源電流検出装置 11 コンピュータ 12 D/A変換器 13 電圧誤差アンプ 14 出力アンプ 15 電源電流検出回路 16 DUT 17 電源電圧変動防止用コンデンサ 20 (第1の)差電圧検出回路 21 オペアンプ 22 (第2の)差電圧検出回路 23 双方向ダイオード R1〜RN (第1の)電流検出用抵抗 RG1〜RGN (第2の)電流検出用抵抗 SWA (第1の)構成素子群切替スイッチ SWB (第2の)構成素子群切替スイッチ SW1〜SWN (第1の)抵抗切替スイッチ S1〜SN (第2の)抵抗切替スイッチ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/319 G01R 15/08 Z Fターム(参考) 2G003 AA07 AB02 AE01 AH04 2G025 BA00 BB00 2G035 AA13 AA17 AB02 AC01 AC02 AD04 AD10 AD14 AD20 AD28 AD54 AD65 2G132 AA00 AD01 AE08 AE14 AE27 AH00 AL09

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれ第1の抵抗切替スイッチにより
    選択できるように並列接続された複数の第1の電流検出
    用抵抗と、前記複数の第1の電流検出用抵抗のうち選択
    された抵抗の両端に発生する電圧差に応じた第1検出信
    号を出力する差電圧検出回路と、前記差電圧検出回路の
    正極側入力端子と外部入力との間に挿入された第1の構
    成素子群切替スイッチと、からなる第1構成素子群と、 前記外部入力と外部出力との間に挿入され、前記外部出
    力側の端子が前記差電圧検出回路の負極側入力端子に接
    続された双方向ダイオードと、 前記、第1構成素子群と並列に接続された第2構成素子
    群とを有し、 前記第2構成素子群は、 負極側入力端子が前記双方向ダイオードの外部出力側の
    端子と接続され、外部入力が第2の構成素子群切替スイ
    ッチを介して正極側入力端子に接続されたオペアンプ
    と、 負極側入力端子が前記双方向ダイオードの外部出力側の
    端子と接続され、前記オペアンプの出力端子が正極側入
    力端子に接続され、負極側入力端子と正極側入力端子と
    の間に、複数の第2の電流検出用抵抗がそれぞれ第2の
    抵抗切替スイッチにより選択できるように並列接続さ
    れ、前記複数の第2の電流検出用抵抗のうち選択された
    抵抗の両端に発生する電圧差に応じた第2検出信号を出
    力する第2の差電圧検出回路とからなることを特徴とす
    る電源電流検出回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の電源電流検出回路であ
    って、 前記第1のスイッチと前記第2のスイッチとにより、前
    記第1構成素子群と前記第2構成素子群とのうちどちら
    を使用するかを切り替えられることを特徴とする電源電
    流検出回路。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の電源電流検出回路であ
    って、 前記第2構成素子群を使用するように選択された場合、
    前記第2構成素子群は、見かけ上の検出抵抗が“0”と
    なるように、かつ、検出する電流の大きさに適するよう
    に、前記複数の第2の電流検出用抵抗を第2の抵抗切替
    スイッチによって選択し、選択された第2の電流検出用
    抵抗の電圧降下を検出するように構成されたことを特徴
    とする電源電流検出回路。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載の電源電
    流検出回路であって、 前記複数の第1の電流検出用抵抗および複数の第2の電
    流検出用抵抗は、測定する電流の範囲によって、それぞ
    れ異なった抵抗値となるように構成されたことを特徴と
    する電源電流検出回路。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の電源電
    流検出回路であって、 電源電流に応じて前記オペアンプが出力する電流値が、
    該オペアンプが流せる許容電流値を超える場合には、前
    記第1構成素子群を使用し、前記許容電流値以下の場合
    は前記第2構成素子群を使用するように切り替えること
    を特徴とする電源電流検出回路。
  6. 【請求項6】 制御装置と、 前記制御装置から送られてきたデジタル信号をアナログ
    信号に変換し、出力するD/A変換器と、 前記D/A変換器の出力とDUTの電源電圧との電圧差
    を検出する電圧誤差アンプと、 前記電圧誤差アンプの電圧差出力に応じて電力を供給す
    る出力アンプと、 外部入力に前記出力アンプの出力が接続され、外部出力
    に前記被測定デバイスが接続された請求項1〜5のいず
    れかに記載の電源電流検出回路と、 を有することを特徴とする電源電流検出装置。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の電源電流検出装置であ
    って、 前記電源電流検出回路と被測定デバイスの間に、電源電
    圧変動防止用コンデンサを有することを特徴とする電源
    電流検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN101915895A (zh) * 2010-07-13 2010-12-15 杭州电子科技大学 直流电机的动态电势检测电路
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