KR20020079775A - 연삭 숫돌 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 양호한 연마 특성을 나타내는 반면, 비용이 싼 숫돌차에 관한 것으로서, 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역(14A, 14B), 상기 영역중 하나는 연마용 입자층(14)의 중앙에 근접하게 놓이고 상기 영역 중 다른 영역은 상기 층의 외부 주변을 따라 놓이는 영역, 을 포함하는 적어도 하나의 연마 입자층(14)을 포함하는 적층된 층(12, 13, 14, 15)으로 구성된다. 적층물의 상기 층(14)을 형성하기 위한 방법은 제 1 타입의 연마용 입자로 이루어진 블랭크(blank)로서 및 제 2 타입의 연마용 입자로 이루어진 링을 만드는 단계로서, 상기 블랭크의 내부 및 외부 윤곽이 기하학적으로 유사한 단계; 삽입위치에 상기 링 및 블랭크를 위치시키는 단계 및 그 후 상기 숫돌을 제조하기 위한 다음 단계로서 층으로 된 적층물을 압착하는 단계로 이루어진다. 본 발명은 절단분리(cutting-off) 및 표면 처리 숫돌차에 유용한 것이다.

Description

연삭 숫돌 및 그의 제조방법{ABRASIVE GRINDSTONE AND METHOD FOR MAKING SAME}

이러한 숫돌차는 일반적으로 금속 중앙 링 주위에, 보호용 페이퍼 디스크, 일반적으로 메쉬되거나(meshed), 구멍이 나거나 다공성인 재료로 된 직물 또는 그와 유사한 것으로 만들어진 보강용 시트(reinforcing sheet), 연마용 입자층, 일반적으로 직물 또는 그와 같은 것으로 만들어진 다른 보강층 및 가능하다면 다른 보호용 페이퍼 디스크를 적층함으로써 제조된다: 그런 다음, 상기 적층물은 일반적으로 가열되고 압착되며, 따라서 연마용 입자층 및 메쉬되거나, 구멍이 나거나 다공성의 보강용 층은 일반적으로 메쉬, 구멍 또는 셀을 관통하는 연마용 입자 때문에 적어도 부분적으로 서로 겹쳐지게 된다.

이러한 숫돌차는 일반적으로 오프셋 허브(offset hub)를 가지는데, 즉 중앙 링에 근접한 숫돌차의 부분은 이를 둘러싸는 부분과 동일한 평면에 놓이지 않고, 상기 숫돌차는 링으로부터 가장 멀리 떨어진 부분이 연삭기의 가장 밖으로 돌출한부분이 되도록 연삭기 상에 장착된다. 그러므로 숫돌차(wheel)는 연삭기의 반대측에 놓인 부분의 표면상에서 일반적으로 표면 연삭만을 위해 사용된다. 부수기(parting-off) 위하여, 그 동일한 부분의 둘레가 자연적으로 가장 강하게 응력을 받는다. 그러므로 이 부분이 고성능 연마용 입자를 가지는 것은 필수적이고, 종래의 숫돌차의 경우에서와 같이 링에 근접한 부분을 값비싸게 동일한 연마용 입자를 가지는 것은 불필요하다.

또한, 숫돌차가 회전할 때 둘레에 가까운 연마용 입자의 주변속도는 링에 보다 근접한 입자의 주변속도보다 훨씬 더 빠르고, 그럼으로써 두 영역을 위한 최적 연마제는 반드시 동일한 것은 아니다.

본 발명은 압착에 의해 덩어리로 된 요소의 적층된 다수의 층을 포함하는, 박판 숫돌차 타입(thin wheel type)의 연삭 숫돌차(abrasive wheel)에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 숫돌차(wheel)에 대한 제 1 실시예의 간략한 횡단면도이다.

도 2는 도 1에서의 숫돌차에 대한 대안적인 타입을 보여 주는 간략한 횡단면도이다.

도 3은 도 1의 숫돌차의 하나의 요소를 금형에서 제조할 때의 단계를 횡단면으로 보여 주는 도면이다.

도 4는 도 1의 숫돌차의 하나의 요소를 금형에서 제조할 때의 다른 단계를 횡단면으로 보여 주는 도면이다.

도 5는 도 1의 숫돌차의 다른 요소를 금형에서 제조할 때의 단계를 횡단면으로 보여 주는 도면이다.

도 6은 도 1의 숫돌차의 다른 요소를 금형에서 제조할 때의 다른 단계를 횡단면으로 보여 주는 도면이다.

도 7은 본 발명에 따른 연삭 숫돌차를 제조하는 방법을 수행하기 위한 압착기가 관련된 조립체 라인을 위에서 바라본 개략도이다.

본 발명의 목적은 알려진 숫돌차의 이러한 단점들을 극복하기 위한 것이고, 그러므로 본 발명은 적층물로 된 요소의 여러 층을 포함하는 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차로서, 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역(juxtaposed region)을 포함하는 연마용 입자의 적어도 하나의 층을 포함하고, 이들 영역 중 하나는 층의 중앙에 근접하여 놓이는 반면, 이들 영역 중 다른 것은 층의 외부 둘레를 따라 놓이는 것을 특징으로 하는 연삭 숫돌차에 관한 것이다.

이러한 구조 덕분에, 본 발명에 따른 숫돌차는, 심지어 숫돌차가 다른 기능을 가지는 영역으로 구성된다 할지라도, 연마용 입자가 수행할 기능에 완전히 적합하게 된 연마용 입자를 구성할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 숫돌차는 하나 이상의 다음의 특징을 가질 수 있다.

- 층의 둘레를 따라 놓이는 영역과 중앙 근처에 놓이는 영역을 포함하는 연마용 입자층에서, 이 영역은 서로 다른 연마용 입자로 구성되고, 이들 두 개의 영역은 병렬로 되어있고,;

- 서로 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역을 포함한 연마용 입자층에서, 이들 영역 중 적어도 두 개는 원형상을 가지는 결합라인을 따라 병렬로 되어 있으며,;

- 서로 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역을 포함한 연마용 입자층에서, 이들 영역 중 적어도 두 개는 비원형상을 가지는 폐쇄 결합라인을 따라 병렬로 되어 있고,;

- 숫돌차는 적어도 두 개의 연마용 입자층을 포함하고, 그 중 적어도 하나의 연마용 입자층은 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역을 포함하고, 이들 영역 중 하나는 층의 중앙근처에 놓이는 반면 이들 영역 중 다른 영역은 층의 둘레를 따라 놓이며,

- 숫돌차는 구멍을 갖는다.

또한 본 발명은 상기에서 정의된 연삭 숫돌차를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 적어도 하나의 연마용 입자층을 제조하기 위해서는, 한편으로 제 1 타입의 연마용 입자로 구성되고 가능한 한 중앙 홀을 가진 웨이퍼(roundel)가 제조되고, 다른 한편으로 제 2 타입의 연마용 입자로 구성된 적어도 하나의 고리가 제조되고, 고리의 내부 윤곽 및 웨이퍼의 외부윤곽은 기하학적으로 유사하고, 상기 숫돌차를 제조하기 위해, 고리 및 웨이퍼는 가능한 한 보강층 상에 삽입 관계로 위치되고,다른 보강층이 상기 삽입관계에서 상기 웨이퍼 및 고리상에 겹쳐질 수 있으며, 상기 제조방법의 다음 단계에서, 구성요소의 스택층이 압착되는 것을 특징으로 한다.

이러한 방법 덕택에, 권고된 작업속도로 숫돌차를 해체시킬 수 있는 불균형이 없이, 그럼으로써 넓은 안전 범위를 가지도록, 동심으로 배열된 서로 다른 연마용 입자로 구성된 영역을 포함하는 적어도 하나의 연마용 입자층을 포함하는 숫돌차를 제조하는 것이 가능하다.

본 방법은 또한 하나 이상의 다음 특징을 가질 수 있다.

- 구성요소의 스택층이 압착되기 전에 가열된다.;

- 링 주위에서 보강층이 이미 미끄러진 상태에서 링 주위에서 중앙 홀이 미끄러질 때, 중앙 홀을 가진 웨이퍼가 보강층 상에 위치하고, 그 후 고리가 웨이퍼주위에 배열되어 고리와 웨이퍼가 보강층 상에서 삽입관계에 있게 된다.

- 적어도 하나의 보강층, 하나의 연마용 입자층, 하나의 보강층, 하나의 연마용 입자층 및 하나의 보강층이 연속적으로 겹쳐져 있고, 적어도 하나의 연마용 입자층을 제조하기 위하여, 한편으로 웨이퍼, 다른 한편으로 적어도 하나의 고리가 제조되고, 웨이퍼 및 고리 각각은 기하학적으로 유사한 외부 윤곽과 내부 윤곽을 가지고 삽입관계로 위치되는 웨이퍼 및 고리가 제조된다.

본 발명의 다른 목적은 연삭 숫돌차를 제조하는 설비로서,

제 1타입의 연마용 입자로부터, 가능한 한 중앙 홀을 가진, 웨이퍼를 제조하기 위한 기계와,

제 2 타입의 연마용 입자로부터, 기하학적으로 유사한 고리의 내부 윤곽과웨이퍼의 외부 윤곽으로 된, 고리들을 제조하기 위한 기계와,

고리들과 웨이퍼를 삽입관계로 위치시키기 위한 스테이션을 포함하는 조립체 라인과,

압착기를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭 숫돌차를 제조하는 설비에 있다.

본 발명의 다른 특징과 장점은, 다음의 본 발명의 여러 실시예 및 이들 실시예에 대한 여러 제조방법에 대한 상세한 설명으로부터 분명해질 것이고, 이들은 한정되지 않는 예를 통해 주어졌고, 첨부된 도면에 의해 설명되어진다.

도 1에 도시된 본 발명에 따른 박판 숫돌차 타입의 숫돌차는 중앙 금속 링(11) 주위에서 미끄러지듯 움직이는 요소의 적층된 층(stacked layer)을 포함하고, 더욱 상세하게는, 일반적으로 "페이퍼"로 알려진 페이퍼 시트 또는 그와 같은 것으로 구성된 보호용 디스크(12), "직물"로 알려지고 실제적으로 직물로 만들어지거나 바람하게는 메쉬되거나(meshed), 구멍이 나거나 다공성인 재료로 만들어질 수 있는 보강층(13), 연마용 입자층(14), 일반적으로 제 1의 보강층과 동일한 다른 보강층(15) 및 가능하다면 "페이퍼"로 알려진 다른 보호용 디스크를 포함한다.

그러한 숫돌차의 제조는 압착단계를 포함하기 때문에, 연마용 입자층(14) 및 메쉬되거나, 구멍이 나거나 다공성인 보강층(13, 15)은 연마용 입자층(14)의 연마용 입자가 메쉬, 구멍 또는 셀을 통과함으로써, 일반적으로 적어도 부분적으로 서로 겹쳐진다.

게다가, 연마용 입자층(14)은 병렬 영역을 포함하는데, 이 경우에 두 개의 동심의 영역(14A, 14B)은 서로 다른 특성의 연마용 입자로 만들어지고, 이들 영역 중 하나의 영역은 중앙 링(11)에 근접하게 위치되는 반면, 다른 영역은 제 1영역을 둘러싸고 연마용 입자층의 외부 둘레를 따라 놓이게 된다.

다른 연마재로 구성된 영역(14A, 14B)사이의 결합 라인은 폐쇄 라인이고, 여기서 폐쇄 라인은 중앙 링(11)의 축상에 중심을 가진 원주로 작용한다.

도 2에 도시된 숫돌차는 중앙 링(11)에 근접한 숫돌차의 부분이 중앙 링(11)을 둘러쌀 때, 동일 평면에 놓이지 않는다는 점을 제외하고는 도 1에 도시된 숫돌차와 동일하고, 도 1에 대한 설명은 또한 도 2에 적용되며, 도 2의 숫돌차의 요소는 도 1에서의 상응하는 요소와 동일한 참조번호를 가진다. 여기서, 중앙 링 근처의 영역(14A)은 오프셋 프로파일을 가지고 이것을 둘러싸는 영역(14B)은 평평하지만, 대안적으로 영역(14A)은 더 작은 표면 영역을 가질 수 있고 평평할 수 있으며, 그 경우에 영역(14B)은 오프셋 프로파일을 가질 수 있다.

본 발명에 따른 숫돌차는 또한, 매번 두 개의 연마용 입자층 사이의 "직물" 보강층을 삽입하여 연속적으로 적층된, 연마용 입자층(14)과 같은 연마용 입자로 구성된 여러 층을 포함할 수 있다.

종래의 방법을 사용하여 본 발명에 따른 숫돌차의 제조를 고안하는 것이 가능한데, 상기 종래의 방법은, 제조 플레이트 상에 놓인 금형에서 중앙 링(11)을 배열하는 단계로서, 중앙 링 주위에는 보호용 디스크(12), 보강 시트(14) 및 여러 분말제품, 즉 서로 다른 연마재로 구성된 두 개의 영역에 주어진 구조에 따라 금형에서 분배된 결합제 코팅을 가진 다른 타입의 연마용 입자로 형성된 여러 가지의 분말 제품이 연속적으로 위치한 중앙 링(11)을 배열하는 단계와,

분말화된 제품의 층(14) 두께를 원하는 값으로 줄이기 위하여 분말화된 제품의 층을 긁어내는 단계와,

제 2 보강층(15)을 분말화된 제품의 층에 겹쳐 놓는 단계와,

가능하다면, 분말화된 제품의 층을 위치시키고, 제조하고자 하는 숫돌차의 형태가 필요로 하는 만큼 보강층을 겹쳐 놓으며, 제 2 보호용 시트를 겹쳐 놓는 단계, 및

프레스에서 얻어지는 적층물을 압착하는 단계로 구성된다.

그러나, 이러한 방법을 수행하기 위한 알려진 설비가 일반적으로 부피가 크고 비싸며, 비교적 느린 속도로 작동하고, 전체 기계에서 연마용 입자의 필연적 존재로 인해 잦은 고장이 일어나며, 적용하기 매우 어렵다는 사실 이외에, 연마 제품을 배열하는 동안 이 방법으로 완전한 제어를 할 가능성이 없다는 것과 이로 인해 용인할 수 없는 수준의 불균형을 보이는 숫돌차가 제조될 수 있는 위험이 있다.

이것은 본 발명에 따른 숫돌차가, 유리하게도 코팅으로 연마용 입자로 형성된 분말화된 제품의 증착을 대체시키고, 후술하는 바와 같이 두 개의 동심의 영역을 통해 연마 층 또는 층들을 위해, 그리고 그러한 연마용 입자로부터 자체적으로 제조된 연마 웨이퍼의 증착, 긁어내는 단계를 없애고 같은 방법으로 제조되고 삽입관계로 위치된 연마 고리와 연마 웨이퍼의 증착, 및 삽입관계에서 웨이퍼와 고리상에 보강층을 겹쳐놓음으로써 상기 방법을 계속하여 제조되는 이유이다.

연마용 입자의 여러 층을 가진 숫돌차의 경우에, 이러한 방법으로 이들 층의 하나, 여럿 또는 전부를 제조하는 것이 가능하다.

연마 웨이퍼 및 연마 고리는 본 출원인 회사의 프랑스 특허공보 FR99 07 282에 상세하게 기재된 것과 같은 방법 및 기계에 의해 제조될수 있는데, 이는 상술한 단점이 없이 웨이퍼 빛 고리를 제조할 수 있게 해주고, 특히 균형이 현저하게 잘맞는다.

결국, 웨이퍼를 제조하기 위한 기계는 예를 들어, 금형으로 장착된 4개의 섹터 및 이들을 통과시킬 때 금형의 내용물 상에 여러 가지의 제조 작업 또는 동작 각각을 수행하기 위한 전문적인 고정된 웍스테이션(workstation)을 포함하는 전체 원형 형태의 스텝핑 로타리 제조 테이블을 포함한다. 따라서, 여러 웨이퍼는 동시에 테이블상에서 제조과정에 있을 수 있다. 또한 그 기계는 로타리 일시 저장 테이블을 포함하는데, 제조테이블 상에서 제조된 웨이퍼는 그 테이블 상에서 배열되고 및/또는 조립체 라인으로 전달되기 위해 잡히기 전에 적층된다.

기계에 장착된 스테이션은 결합제 코팅을 가진 연마용 입자로 구성된 연마 제품을 배출하기 위한 스테이션, 긁어냄으로써 평평하게 하기 위한 스테이션, 압착 스테이션, 웨이퍼를 방출하기 위한 스테이션, 및 테이블을 정돈하기 위한 스테이션이다.

원통 모양의 전체 형상의 금형(도 3 및 도 4)은 측벽(16)을 포함하는데, 측벽 내부에 수직 방향으로 슬라이드되도록 고안되고 중앙 삽입부(18)로 끼워 맞춰진 슬라이딩 하부(17)가 장착된다.

연마 제품을 배출하기 위한 스테이션은 그 상부가 연마제품의 저장고로 장착되고, 그 하부에서 배출 스테이션은 슬롯을 가지는데, 이 슬롯은 닫혀질 수 있게 되어 금형이 슬롯의 하부에 위치될 때 제품이 금형으로 배출될 수 있도록 하고, 금형의 하부는 웨이퍼의 원하는 두께를 넘는 깊이에서 측벽내로 위치된다.

연마 제품이 약간 과량으로 배출될 때, 평평하게 하는 스크래퍼(19)는 금형의 측벽(16)을 통해 제품을 평평하게 긁어낸다.

압착 스테이션은 수 톤(또는 수만 뉴톤)의 크기의 힘을 사용하여 제품을 압착하고, 그럼으로써 후에 설명될 조립체 라인으로 도입되도록 의도된 웨이퍼를 형성한다.

방출 스테이션은 웨이퍼를 제조 테이블에서 저장 테이블로 이동시킨다.

정돈 스테이션은 방출 스테이션의 하부로 정돈 스테이션을 통과하는 테이블의 섹터를 정돈한다.

따라서, 테이블의 4개의 섹터 각각이 단지 하나의 금형으로 장착되는 이러한 경우에, 동시에 또는 대체로 채워지는 공정에서 하나의 금형, 긁어내는 공정에서 하나의 금형, 압착되는 공정에서 하나의 웨이퍼 및 제조 테이블로부터 방출되는 공정에서 하나의 웨이퍼가 있게 된다.

고리 제조 기계는 금형의 형태와 크기는 약간 차이가 있다고 하더라도(도 5 및 도 6 참조) 웨이퍼 제조 기계와 동일할 수 있다. 그러므로, 전체적으로 원통형으로 된 금형은 측벽(16')을 포함하는데, 측벽 내에는 수직방향으로 슬라이드되도록 고안되고 중간 삽입부(18')로 끼워 맞춰진 슬라이딩 하부(17')가 장착된다. 이브닝(evening) 스크레퍼(19')는 금형의 측벽(16')을 통해 과도한 연마제품을 평평하게 긁어낸다. 그러므로 제조 기계의 설명과 이것의 작동에 대한 설명은 재차 반복되지 않는다.

조립체 라인으로 도입되도록 준비된 웨이퍼 및 고리가 제조된다는 사실 덕분에, 다른 크기의 숫돌차를 제조하고 "단일 층"의 숫돌차에서 "멀티 층"의 숫돌차로변경하는 것이 또한 더욱 더 용이하게 된다.

스테이션에 있는 공구가 그렇게 복잡하지는 않기 때문에 고장 또는 제조의 변경의 경우에 공구는 매우 빨리 변경될 수 있고, 게다가 유리하게도, 숫돌차의 크기가 선택가능하여 주어진 크기의 웨이퍼가 상대적으로 작은 지름을 가진 단일 타입의 연마용 입자를 가진 숫돌차를 제조하는데 사용될 수 있고, 두 가지 타입의 연마용 입자를 가진 더 큰 지름의 숫돌차에서 중앙 웨이퍼로서 기능할 수 있다. 예로써, 75mm 웨이퍼가 두 가지 타입의 연마용 입자를 가진 125mm 숫돌차의 중앙 영역을 형성하기 위해 사용될 수 있다는 것이 발생할 수 있다.

게다가, 회전 테이블은 상대적으로 작은 크기(지름은 1m보다 작은 값으로 줄일 수 있음)이고, 단지 웨이퍼 및 고리를 제조하는데 사용되는 금형은 중량이 작다(15 kg 미만).

차례로 웨이퍼 및 고리를 형성하기 위해 연마 제품에 가해질 압착력(pressing force)은 그리 높지 않고, 약 1초 동안 약 수 톤(또는 수만 뉴톤)정도 이다.

이러한 결과, 4개의 금형 회전 테이블을 통하여 시간당 1000개의 웨이퍼 또는 1000개의 고리를 생산하는 것이 용이하게 가능하다.

게다가, 연마제품이 더 이상 분말의 형태가 아니고 웨이퍼 및 고리의 형태만으로 조립체 라인에 있을 때, 요소의 층들이 적층될 조립체 라인상의 마모는 상당히 감소된다.

도 7의 그림에 의해 도시된 조립체 라인은 연마입자의 단지 하나의 층만을가진 숫돌차를 제조하기 위해 고안된 것이고, 따라서 여기서는 하나의 웨이퍼와 하나의 고리를 포함한다.

조립체 라인은 폐회로를 따라 이동하는 컨베이어(20)를 포함하고, 이 폐회로를 따라 전문적인 고정된 웍스테이션은 실제적인 숫돌차의 제조에 관련된 여러 가지 각각의 조작을 수행하기 위해 분배된다. 이러한 컨베이어는 컨베이어에 고정되고, 분리가능 플레이트(201)를 수용하기 위해 고안된 플레이트를 운반하고 분리가능 플레이트 상에서 컨베이어가 이동할 때, 여러 요소 및 특히, 연삭 숫돌차의 여러 요소의 층은 점점 적층되어진다.

더욱 상세하게는, 조립체 라인은 컨베이어(20)의 이동 방향으로 중앙 링의 배치를 위한 스테이션(21), 베이스 "페이퍼"의 배치를 위한 스테이션(22), 하부 보강층의 배치를 위한 스테이션(23), 웨이퍼의 배치를 위한 스테이션(24), 고리의 배치를 위한 스테이션(25), 상부 보강층의 배치를 위한 스테이션(26), 가능하다면 상부 "페이퍼"의 배치를 위한 스테이션(미도시됨), 이 경우에는 가열 스테이션(27) 및 방출 및 재충전 스테이션(28)을 연속적으로 포함한다.

요소의 층을 겹치도록 의도된 각 웍스테이션은 분리가능 플레이트(201)에 의해 운반되는 각각의 적층물의 스탁(stock)을 가지고, 이에 의해 웍스테이션 하부흐름이 그들의 스탁에서 작동하고 웍스테이션의 상부흐름이 그들의 스탁을 증가시키도록 지시될 수 있을 때, 이들 스테이션들 중 하나의 작동 중에 짧은 방해, 예를 들어 고장에 기인한 방해는 숫돌차의 제조를 완전히 방해하는 것은 아니다. 따라서, 여기서는 제조 동작 중에 비동시성을 유리하게 얻을 수 있다.

여기서 제공된 가열 스테이션(27)은 적층물(P)을 가열하는데, 이러한 적층물은 약 50℃ 내지 80℃의 온도에서 가열 스테이션(27)을 통하여 이동하고, 이것은 웨이퍼를 구성하는 연마제품이 보강층에 있는 홀, 예를 들어 순수한 직물의 경우에 메쉬 또는 그와 같은 것으로 약간 이동되는 것을 보다 용이하게 할 수 있다.

각 스테이션이 하나의 단일의 포갬 조작을 수행할 때, 조립체 라인은 어떠한 모듈방식을 가지고, 증가된 층의 수는 적절한 스테이션의 수를 부가함으로써 단순히 달성될 수 있다. 예를 들어, 두 개의 연마용 입자층을 가진 숫돌차를 제조하기 위해서 요구되는 모든 것은 조립체 라인으로의 부가이고, 조립체 라인은 상술한 웨이퍼의 배치를 위한 하나의 스테이션, 고리의 배치를 위한 하나의 스테이션 및 보강층의 배치를 위한 하나의 스테이션을 포함한다.

보강층, 즉 "직물"이 "페이퍼" 층으로 코팅될 때, 즉각 서로 따르는 두 개의 스테이션, 즉 "페이퍼"의 배치를 위한 스테이션 및 "직물"의 배치를 위한 스테이션(또는 역으로)은 단일의 스테이션에 의해 대치된다.

배치 스테이션은 자동화되거나 수동으로 작동될 수 있다는 것을 알 수 있다.

조립체 라인 뒤에, 설비는 압착기(29)를 포함하고, 내용물을 가진 분리가능 플레이트는, 가열 스테이션(27)을 떠나 방출 및 재충전 스테이션(28)에 의해 압착기(29)로 전달된다. 대안적으로, 이러한 압착기(29)는 조립체 라인의 일부를 형성할 수 있다.

압착기(29)는 본 출원인 회사에 의한 프랑스 특허 FR 99 07 282에 있는 것과 유사한 것이다. 연마제품이 이미 웨이퍼 및 고리의 형태일 때, 압착 단계의 지속기간은 상대적으로 짧고, 각 압착이 단지 하나의 적층물에 작용할 때 압착력은 상대적으로 그리 크지 않은 상태(약 20톤, 즉 2×10⁵N)로 남아 있을 수 있다.

그런 다음, 압착기(29)로부터 방출된 숫돌차는, 알려진 방법으로, 숫돌차가 전달을 예상하여 저장되기 전에 구워지는 다른 로(furnace)로 전달된다.

물론 본 발명은 상기에서 기술되고 묘사된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위로부터 벗어남이 없이 다른 실시예가 고안될 수 있을 것이다; 예컨대, 두 개(또는 그 이상의) 타입의 연마용 입자를 가진 숫돌차의 제조 및 예를 들어 몰딩동안 제조된 구멍을 가진 하나 이상의 병렬 영역을 가진 숫돌차를 제조하는 것 그것이다.

본 발명에 따른 숫돌차는, 심지어 숫돌차가 다른 기능을 가지는 영역으로 구성된다 할지라도, 연마용 입자가 수행할 기능에 완전히 적합하게 된 연마용 입자를 구성할 수 있다. 또한 권고된 작업속도에서 숫돌차를 해체시킬 수 있는 불균형이 없이, 그럼으로써 넓은 안전 범위를 가지도록, 동심으로 배열된 다른 연마용 입자로 구성된 영역을 포함하는 적어도 하나의 연마용 입자층을 포함하는 숫돌차를 제조하는 것이 가능하다.

Claims (18)

1. 적층물로 된 요소의 다수의 층(12, 13, 14, 15)을 포함하는 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차(abrasive wheel)로서,

   다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역(14A, 14B)을 포함하는 적어도 하나의 연마용 입자층(14)을 포함하고, 상기 영역 중 하나는 상기 연마용 입자층(14)의 중앙에 근접하게 놓이는 반면, 상기 영역 중 다른 영역은 상기 층의 외부 주변을 따라 놓이는 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 중앙에 근접하게 놓이는 영역(14A) 및 상기 층의 주변을 따라 놓이는 영역(14B)을 포함하는 상기 연마용 입자층(14)에서, 상기 영역은 다른 연마용 입자로 구성되고, 이들 두 영역은 병렬로 배열된 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   서로 다른 연마용 입자를 구성하는 병렬 영역(14A, 14B)을 포함하는 상기 연마용 입자층(14)에서, 상기 영역 중 적어도 두 개의 영역은 원형상의 형태를 가지는 결합 라인(join line)을 따라 병렬로 배열된 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   서로 다른 연마용 입자를 구성하는 병렬 영역(14A, 14B)을 포함하는 상기 연마용 입자층(14)에서, 상기 영역 중 적어도 두 개의 영역은 원형상이 아닌 형태를 가지는 폐쇄 결합 라인(closed join line)을 따라 병렬로 배열된 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 연삭 숫돌차는 적어도 두 개의 연마용 입자층을 포함하고 이들 중 적어도 하나의 연마용 입자층(14)은 다른 연마용 입자로 구성된 병렬 영역(14A, 14B)을 포함하며, 상기 영역 중 하나는 상기 연마용 입자층(14)의 중앙에 근접하게 놓이는 반면, 상기 영역 중 다른 영역은 상기 층의 주변을 따라 놓이는 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 연삭 숫돌차는 구멍(perforation)을 가지는 것을 특징으로 하는, 박판 숫돌차 타입의 연삭 숫돌차.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 기재된 연삭 숫돌차를 제조하는 방법으로서,

   적어도 하나의 연마용 입자층을 제조하는 단계로서, 한편으로 제 1 타입의 연마용 입자로 구성된 가능한 한 중앙 홀을 가진 웨이퍼(roundel)가 제조되고, 다른 한편으로 제 2 타입의 연마용 입자로 구성된 적어도 하나의 고리(annulus)가 제조되며, 상기 고리의 내부 윤곽 및 상기 웨이퍼의 외부 윤곽이 기하학적으로 유사하게 되는 단계와,

   상기 숫돌차를 제조하는 단계로서, 상기 고리 및 상기 웨이퍼는 보강층(13) 상에 가능한 한 삽입 관계로 위치하고, 다른 보강층(15)은 상기 삽입 관계에서 상기 웨이퍼 및 고리상에 겹쳐지는 단계, 및

   상기 제조방법의 다음 단계로서, 구성요소의 스택층이 압착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 방법.
8. 제 7항에 있어서,

   구성요소의 스택층이 압착되는 단계 전에 가열되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 방법.
9. 제 7항 또는 제 8항에 있어서,

   링(11) 주위에서 상기 보강층이 이미 미끄러진 상태에서 상기 링(11) 주위에서 중앙 홀이 미끄러질 때, 상기 중앙 홀을 가진 웨이퍼가 보강층(13) 상에 위치하고, 그 후 상기 고리가 상기 웨이퍼 주위에 배열되어 상기 고리와 상기 웨이퍼가 상기 보강층 상에서 삽입 관계에 있게 되는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 방법.
10. 제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,

    적어도 하나의 보강층(13), 하나의 연마용 입자층, 하나의 보강층, 하나의 연마용 입자층 및 하나의 보강층이 연속적으로 겹쳐져 있고, 적어도 하나의 연마용 입자층(14)을 제조하기 위하여, 한편으로 웨이퍼, 다른 한편으로 적어도 하나의 고리가 제조되고, 웨이퍼 및 고리 각각은 기하학적으로 유사한 외부 윤곽과 내부 윤곽을 가지고 삽입관계로 위치되는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 방법.
11. 제 1 내지 제 6항 중 어느 한 항에 기재된 연삭 숫돌차를 제조하는 설비로서,

    제 1타입의 연마용 입자로부터, 가능한 한 중앙 홀을 가진, 웨이퍼를 제조하기 위한 기계와,

    제 2 타입의 연마용 입자로부터 고리의 내부 윤곽과 웨이퍼의 외부 윤곽이 기하학적으로 유사한 고리들을 제조하기 위한 기계와,

    상기 고리들과 상기 웨이퍼를 삽입관계로 위치시키기 위한 스테이션(25)을 포함하는 조립체 라인(20)과,

    압착기(29)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
12. 제 11항에 있어서,

    웨이퍼를 제조하기 위한 상기 기계 및/또는 고리들을 제조하기 위한 상기 기계는 연마 제품을 배출하기 위한 스테이션, 긁어냄으로써 평평하게 하기 위한 스테이션, 압착 스테이션, 상기 웨이퍼를 방출하기 위한 스테이션, 및 테이블을 정돈하기 위한 스테이션을 포함하는 스텝핑 로타리 제조 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
13. 제 12항에 있어서,

    웨이퍼를 제조하기 위한 상기 기계 및/또는 고리들을 제조하기 위한 상기 기계는 또한 그들이 조립체 라인으로 전달되기 전에 상기 웨이퍼 및/또는 상기 고리를 일시적으로 저장하기 위한 스테이션을 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
14. 제 13항에 있어서,

    고리들을 제조하기 위한 상기 기계는 측벽(16')을 포함하는 적어도 하나의 금형을 포함하고, 상기 측벽내부에 수직방향으로 슬라이드되도록 고안되고 중앙삽입부(18')로 끼워 맞춰진 슬라이딩 하부(17')가 장착되는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
15. 제 11항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 조립체 라인은 삽입관계를 이루기 위한 스테이션(25)의 상부흐름 보강층(23)을 배치하기 위한 스테이션을 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
16. 제 11항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,

    중앙 홀을 가진 웨이퍼를 제조하기 위한 기계를 포함하고, 상기 조립체 라인(20)은 보강층의 배치를 위한 스테이션(23)의 상부흐름 중앙 링의 배치를 위한 스테이션(21)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
17. 제 11항 내지 제 16항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 조립체 라인(20)은 상기 압착스테이션(29) 앞에 가열을 위한 스테이션(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.
18. 제 11항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 조립체 라인은 적어도 하나의 스테이션을 포함하고, 상기 스테이션에서 연속적으로 적어도 하나의 보강층(13), 하나의 연마용 입자층, 하나의 보강층, 하나의 연마용 입자층 및 하나의 보강층이 겹쳐지는 것을 특징으로 하는, 연삭 숫돌차를 제조하는 설비.