KR20020077646A - 펄스 지능형 ｒｆ 변조 제어기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 발생기 출력을 제어하는 방법에 관한 것이다. 출력은 정정시간을 갖는 출력 신호를 임피던스를 갖는 부하에 제공한다. 출력 신호의 정정시간이 결정된다. 출력 신호는 변조 파형으로 변조된 진폭이다. 감지 신호는 변조된 출력 신호를 나타내는 것으로 생성된다. 감지 신호는 출력 신호의 정정시간에 기초하여 샘플링 시간에서 샘플링된다. 샘플링 감지 신호의 디지털 표현이 생성된다. 출력의 진폭 변조는 샘플링 감지 신호의 디지털 표현에 기초하여 제어된다.

Description

펄스 지능형 ＲＦ 변조 제어기{PULSING INTELLIGENT RF MODULATION CONTROLLER}

본 발명은 전력 출력을 제공하는 발생기에 관한 것으로, 특히, 변조 출력 파형을 제공하는 전력 발생기에 관한 것이다.

변조 출력을 제공하는 발생기는 여러 특징으로 출력을 제어하는데 사용되는 파형 감지/제어 기술에 의해 제한된다. 통상적으로, 종래 발생기는 출력 파형을 나타내는 감지 신호의 양의(positive-going) 경사를 추적하는 제어 방법을 사용한다. 감지 신호의 상승 에지는 전하-덤프-고정 회로(charge-dump-hold circuit)(CDH 회로)에 의해 추적된다. CDH 회로는, 플랜트 정정시간(settling time)을 보상하도록 사전결정된 시간 이후, 감지 신호값이 측정될 때까지 파형을 계속해서 추적한다. 변조 파라미터와 무관한 유효 연속 DC 출력이 제공되는, 고정 회로는 출력 변조의 불능과 동시에 활성화된다. 전달 전력과 같은 출력 특성은 측정된 파라미터를 펄스 출력 듀티 싸이클에 곱함으로써 계산된다. 예컨대, 1000와트의 피크 전력 측정값을 갖는, 50퍼센트 효율 싸이클에 대하여, 계산된 전달 출력 전력은 500와트가 된다.

상기 설명한 감지/제어 기술은 플랜트 정정시간의 사전-측정이 필요하다는 한계를 가지며, CDH 회로 응답은 시스템 대역폭을 제한하며, 이러한 기술은 출력 파형의 포지티브 및 네거티브 에지를 추정할 수 없으며, 임의의 진폭 출력 파형은 제어될 수 없다. 정정시간은 통상적으로 연구소 실험에 기초하여 얻어지고, 시스템 동작동안 사용되기 위해 저장된다. 플랜트의 정정시간은 구동되는 부하 임피던스에 기초하여 다수의 시스템에 대하여 변화한다. 단일 부하 임피던스에 기초한 정정시간을 사용함으로써, 계산된 출력 파라미터의 정확도는 부하 임피던스에 따라서 변화하며, 제어 기술의 사용을 정합 시스템 또는 출력 특성의 계산에서 높은 정도의 부정확성을 견딜 수 있는 시스템으로 제한한다.

CDH 회로 응답 시간에 의해 부여된 시스템 대역폭 상의 제한은 출력 파형의 최소 펄스 폭을 결정하는 제한 요소가 될 수 있다. 발생기 시스템의 속도를 제한하는 측정 시스템(CDH)을 구비하는 것은 일반 공학 분야와 반대된다. 포지티브 및 네거티브 에지를 추정할 수 없다는 것은 제어 기술을 변조 파형의 낮은 싸이클동안 펄스가 0으로 귀환되는 출력 파형으로 제어하는 것으로 제한한다. 일반적으로, 두 개의 에지를 추정하지 못하면서 임의의 진폭 변조 파형의 제어는 일반적으로 이루어질 수 없다. 따라서, 발생기 시스템은 출력 특성의 부정확한 발생 및 측정을 허용할 수 없다면, 종래 발생기 제어 기술은 통상적으로 펄스 출력 파형을 제어하는 것에 제한된다.

종래 발생기 제어 기술은 제한된 동작 조건하에서 변조 출력 파형을 제공하는데 사용될 수 있지만, 이러한 기술은 센서/측정 회로에 의해 제한되지 않는 발생기를 제공할 수 없는 것으로 판명되었다.

본 발명의 목적은 정정시간을 갖는 출력 신호를 공급하여 발생기 출력을 제어하는 방법 및 플라즈마 발생기를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하는 블록도이다.

도 2는 본 발명에 따라 펄스 제어기에 연결되는 출력 검출기를 도시하는 블록도이다.

도 3A는 본 발명에 따라 발생기 전력 출력을 제어하는 공정을 도시하는 흐름도이다.

도 3B는 전력 출력의 타이밍 관계를 도시하는 파형이다.

도 4는 본 발명에 따라 지연 시간을 결정하기 위한 공정을 도시하는 흐름도이다.

도 5A는 본 발명에 따른 증속구동(overdrive) 증폭기 회로의 실시예이다.

도 5B는 본 발명에 따른 선형 RF 증폭기 회로의 실시예이다.

도 6은 플라즈마 생성기 출력 포락선을 도시하는 여러 파형이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 플라즈마 발생기 18 : 구동기

20 : 변조기 28 : 펄스 제어기

본 발명은 발생기의 출력을 제어하는 방법 및 시스템에 관한 것이다. 출력은 정정시간을 갖는 출력 신호를 임피던스를 갖는 부하에 제공한다. 출력 신호의 정정시간이 결정된다. 출력 신호는 변조 파형을 갖는 변조된 진폭이다. 생성된 감지 신호는 변조 출력 신호를 나타낸다. 감지 신호는 출력 신호의 정정시간에 기초하여 샘플링 시간에서 샘플링된다. 샘플링된 감지 신호의 디지털 표현이 생성된다. 출력의 진폭 변조는 샘플링된 감지 신호의 디지털 표현에 기초하여 제어된다.

본 발명의 추가의 응용 분야는 하기 제공된 상세한 설명에서 분명하게 나타난다. 상세한 설명과 본 발명의 바람직한 실시예를 나타내는 특정 실시예는 오로지 예시적인 목적이며 본 발명의 범위를 제한하지 않는다.

본 발명은 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 더욱 완전하게 이해될 수 있다.

바람직한 실시예의 다음 설명은 본래 예시적이며 본 발명, 본 발명의 응용, 또는 사용을 제한하지 않는다. 도 1을 참조하면, 전력 출력(12)을 플라즈마 공정 시스템(도시 안됨)에 제공하기 위한 플라즈마 발생기(10)가 도시되어 있다. 본 발명의 범위는 제어된 특성이 출력 전압, 출력 전류, 출력 순방향 전력, 출력 역방향 전력, 그리고 출력 에너지가 될 수 있는 전력 출력(12)을 제공하는 것을 포함한다. 플라즈마 발생기(10)는 제어 신호를 생성하고 모니터링과 오류 신호를 처리하기 위한 시스템 제어기(14)를 포함한다. 외부 인터페이스(16)는 외부 장치 또는 사용자와 정보를 통신하기 위해 인터페이스 버스를 통해 시스템 제어기(14)에 연결된다. 시스템 제어기(14)에 연결된 구동기(18)는 제어 신호에 해당하는 버퍼 구동 신호를생성한다. 구동 신호는 정류된 선형 전력을 필터링되지 않은 출력으로 변환하는 변조기(20)를 구동한다. 필터링되지 않은 출력은 출력 필터(24)와 검출기(26)를 포함하는 출력 어셈블리(22)에 연결된다. 필터링되지 않은 출력은 전력 출력(12)을 생성하도록 출력 필터(24)에 의해 필터링된다. 검출기(26)는 적어도 하나의 출력 전압(12) 신호 특성에 해당하는 감지 신호를 생성한다. 바람직하게, V/I 프로브는 검출기(26)로서 사용되지만, 본 발명의 범위에 믹서 및 방향성 커플러와 같은 다른 검출기를 포함한다. 펄스 제어기(28)는 감지 신호를 디지털 감지 신호로 변환하고 출력 전압 신호 특성을 처리한다. 펄스 제어기(28)는 변조 신호(30)와 진폭 제어 신호(32)를 생성한다. 변조 신호(30)는 구동 출력의 진폭 및 주파수를 제어하기 위해 구동기(18)에 연결된 단일 선 신호이다. 디지털 피드백 신호(32)는 디지털 버스(34)를 통해 시스템 제어기(14)에 연결된 디지털 신호이다. 시스템 제어기(14)는 전력 출력(12)의 진폭을 제어하기 위해 디지털 피드백 신호(32)가 제공하는 정보를 사용된다. 펄스 제어기(28)는 플라즈마 발생기내에 장착되기에 적합하지만, 변조 출력을 제공하는 다양한 발생기에 사용될 수 있다.

도 2를 참조하면, 펄스 제어기(28)의 바람직한 실시예가 상세한 블록도로 도시되어 있다. 펄스 제어기(28)는 출력 검출기(26)에 연결된 샘플러(30)를 포함한다. 샘플러(30)는 출력 검출기(26)로부터의 감지 신호를 샘플링하고 디지털 감지 신호로 변환한다. 바람직하게, 샘플러는 저속 아날로그 디지털 변환기이다. 프로세서(32)는 샘플러(30)를 제어하고 디지털 감지 신호를 처리한다. 프로세서(32)는 바람직하게는 마이크로콘트롤러이지만, 본 발명의 범위 내에서는 마이크로프로세서, 디지털 신호 프로세서, 현장 프로그램가능 게이트 어레이(FPGA), 그리고 프로그램가능 로직 장치(PLD)와 같은 다른 처리기도 포함된다. 바람직한 실시예에서, 개별 프로세서는 펄스 제어기(28)가 검출기(26)에 인접하여 위치할 수 있도록 펄스 제어기(28)와 시스템 제어기(14)에 사용된다. 메모리(34)에는 프로세서(32)용 데이터 저장 함수가 제공된다.

도 3A 및 3B를 참조하면, 플라즈마 발생기(10)의 출력을 제어하는 과정과 발생기 출력의 출력 파형(42)이 각각 도시되어 있다. 단계(40)에서 발생기 출력의 변화가 포인트(44)에서 명령되는 때로부터 개시하여 출력 파형(42)이 출력 정정시간 후에 안정화 레벨인 포인트(46)와 같은 사전결정된 레벨에 도달할 때까지의 지연 시간이 결정된다. 지연 시간을 결정하는 방법은 검색표를 사용하고, 외부 입력을 수신하며, 명세서의 하기에서 상세하게 설명되는 반복 과정을 실행함으로써 동작의 지연 시간을 결정하는 것을 포함한다. 검색표는 정정시간, 개시 출력 전압 레벨, 최종 출력 전압 레벨, 그리고 온도와 같은 여러 동작 파라미터의 함수가 될 수 있는 지연 시간을 포함한다. 동작 파라미터에 해당하는 지연 시간은 바람직하게 발생기(10)의 실제 동작 상태에 해당하는 정정시간을 측정함으로써 결정된다. 그러나, 지연 시간의 계산, 컴퓨터 시뮬레이션 실행, 그리고 기선(baseline) 발생기와 관련하는 지연 시간의 측정에 의한 검색표 지연 시간을 결정하는 것도 본 발명의 범위내에 포함된다. 단계(48)에서 출력 전압 변조는 포인트(44)에서 가능하게 된다. 단계(50)에서 펄스 제어기(28)는 발생기 출력을 측정하기 전에 지연되는 사전 결정된 시간을 대기한다. 단계(52)에서 펄스 제어기(28)는 발생기 출력(포인트(46))을 샘플링한다. 단계(54)에서 샘플링된 발생기 출력은 디지털 신호로 변환된다. 시간 지연을 산정함으로써, 오로지 상태 변화 후에 출력의 단일 샘플만이 발생기 출력 레벨을 결정하도록 디지털화되는 것이 필요하다. 따라서, 상대적으로 느린 아날로그 디지털 변환기는 바람직하게 샘플링된 출력을 디지털 신호로 변환하는데 사용된다. 게다가, 샘플링된 신호의 디지털 신호 변환은 바람직하게 샘플링된 신호에 포함되는 잡음을 최소화하도록 검출기(26)에 물리적으로 매우 근접하여 이루어진다. 대조적으로, 종래 발생기는 출력 변조가 가능한 때로부터 출력이 안정화될 때까지 연장하는 기간 내내 연속으로 발생기 출력을 샘플링하고 변환하는 고속 샘플러 및 디지털 변환기의 조합체를 사용한다. 고속 샘플러 및 디지털 변환기 조합체는 매우 비싸고 고속 동작으로 인한 샘플러의 스위칭 잡음과 오차에 기인한 출력 측정에 오차가 발생한다. 단계(56)에서 변조 레벨은 발생기 출력과 기준 전압 사이의 임의의 오차를 감소시키도록 디지털 신호에 응답하여 조정된다.

도 4를 참조하면, 변조 개시부터 발생기 출력이 안정화될 때까지 연장되는 시간 길이를 결정하기 위한 과정이 도시되어 있다. 단계(60)에서 발생기 출력에 대한 파형 특성이 선택된다. 선택가능한 파형 특성은 개시 전압 레벨, 최종 전압 레벨, 주파수, 상승 시간, 강하 시간, 그리고 펄스 시간 기간을 포함한다. 단계(62)에서, 출력 변조가 개시된다. 변조 파형은 바람직하게 단일 펄스로 구성되지만, 폭 넓게 배치된 펄스의 버스트(burst)와 폭넓게 배치된 연속 스트링과 같은 다른 파형도 본 발명의 범위내에 포함된다. 단계(64)에서 산정된 지연 시간은 2진 탐색 또는 순차 탐색와 같은 탐색 기준에 기초하여 선택된다. 산정된 지연 시간은 변조 개시로부터 발생기 출력이 안정화될 때까지의 변조 개시로부터 경과가 예견되는 산정 시간을 나타낸다. 단계(66)에서 샘플은 산정된 지연 시간이 경과할 때 출력에서 얻어진다. 바람직하게, 저속, 저비용 D/A가 사용되도록 출력 변화 단위당 단일 샘플만이 얻어진다. 단계(68)에서 샘플링된 출력은 디지털 신호로 변환된다. 단계(70)에서 디지털 신호는 만약 출력이 변화과정을 겪고 안정화되었는지를 결정하기 위해 산정된다. 만약 출력이 안정화되지 않았다면, 다음으로 제어는 단계(62)로 귀환하고 또 다른 변조 펄스가 전달된다. 만약 출력이 안정화되었다면, 다음으로 단계(72)에서 지연 시간 및 파형 파라미터가 이후의 참조를 위해 검색표내에 저장된다.

도 5A 및 5B를 참조하면, 플라즈마 발생기 출력을 변조하는 진폭에 대한 두 개의 방법이 도시되어 있다. 진폭 변조된 출력은 플라즈마 발생기가 사용되는 공정을 더욱 정교하게 제어하는데 사용된다. DC를 포함하는 임의의 주파수에서 동작하는 플라즈마 공정 시스템 발생기의 출력은 임의의 출력 포락선(envelope)을 생성하도록 임의의 파형 또는 주파수의 제 2 파형과 함께 변조된 진폭이다. 발생기 출력의 주파수 스펙트럼은 원래의 입력에 존재하지 않는 추가의 주파수를 생성하도록 제어될 수 있다. 더욱이, 진폭, 입력 주파수, 그리고 입력 도함수는 변조 신호의 진폭 및 DC 오프셋의 함수로써 변화한다.

도 5A에서, 증속구동 증폭기(82)의 공급 전압(80)은 인가 전압 포락선의 제곱인 전력 포락선을 생성하도록 변조된다. 고정된 구동기(84)에는 증폭기(82)를 증속구동하기 위한 신호가 제공된다. 공급 전압(80)은 선형 전력 공급기와스위칭-모드 전력 공급기와 같은 변조기(86)에 의해 생성된다. 변조기(86)는 주기적인 또는 비주기적인 파형을 갖는 입력 신호(88)에 의해 구동된다. 100 kHz 이상의 대역폭이 증속구동 증폭기(82)를 통해 얻어질 수 있다. 파형의 복제가 공급 전압(80)을 변화시키는 변조기에 의해 발생기 출력의 포락선내에서 생성된다.

도 5B를 참조하면, 본 발명의 원리에 따른 또 다른 진폭 변조 실시예가 도시되어 있다. 고정된 구동기(90)는 선형 RF 증폭기(96)의 변조된 입력 신호(94)를 생성하도록 입력 신호(92)와 함께 곱해진다. 선형 RF 증폭기(96)는 플라즈마 발생기 출력을 변조하기 위한 신호를 생성하도록 변조된 입력 신호(94)를 증폭한다. 도 5B의 선형 증폭기 실시예는 넓은 변조 대역폭을 갖는 도 5A의 공급 전압 변조와 동일한 진폭-변조 출력을 생성한다. 비록, 플라즈마 발생기 출력을 진폭-변조하기 위한 두 개의 기술만이 도시되었지만, 본 발명의 범위에는 플라즈마 발생기 출력을 진폭-변조하기 위한 다른 방법의 사용이 포함된다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 원리에 따라서 진폭 변조된 출력을 갖는 플라즈마 발생기 파형의 여러 실시예가 도시되어 있다. 제 1 파형(100)은 구형파의 에지가 사전선택된 주파수의 사인파로 구형파를 변조함하여 제어된 방식으로 반올림(round)되는 발생기 출력을 도시한다. 더 낮은 주파수를 갖는 사인파를 선택함으로써, 더 크게 반올림되는 펄스 에지를 얻을 수 있다.

파형(102)는 매우 복잡한 형상이 복제되는 진폭 변조 발생기 출력에 대한 실시예의 출력 신호 예를 도시한다.

파형(104, 106)은 진폭 및 오프셋이 발생기의 동작 범위내의 임의의 위치에서 변화하는 진폭 변조 발생기 출력에 대한 실시예의 출력 신호를 도시한다.

파형(108)은 여러 주파수가 생성되는 진폭 변조 발생기에 대한 실시예의 출력 신호를 도시한다. 출력 신호의 다른 주파수 성분을 각각 생성하는 다수의 발생기 대신에, 오로지 단일 진폭 변조 발생기만이 출력 신호를 생성하기 위해 필요하다.

본 발명의 설명은 본래 단순히 예시적일 뿐이며, 따라서 본 발명의 요지에서 벗어나지 않는 변화가 본 발명의 범위내에서 이루어질 수 있다. 이러한 변화는 본 발명의 사상과 범위에서 벗어나지 않는다.

본 발명의 실시에 의해 정정시간을 갖는 출력 신호를 공급하여 발생기 출력을 제어하는 방법 및 플라즈마 발생기를 제공된다.

Claims (21)

1. 정정시간을 갖는 출력 신호를 임피던스를 갖는 부하에 제공하는 발생기 출력을 제어하는 방법으로서,

   출력 신호의 정정시간을 결정하는 단계;

   변조 파형으로 출력 신호를 진폭 변조하는 단계;

   상기 변조 출력 신호를 나타내는 감지 신호를 생성하는 단계;

   상기 출력 신호의 정정시간에 기초하여 샘플링 시간에 상기 감지 신호를 샘플링하는 단계;

   상기 샘플링된 감지 신호의 디지털 표현(digital representation)을 생성하는 단계; 및

   상기 샘플링된 감지 신호의 디지털 표현에 기초하여 출력의 진폭 변조를 제어하는 단계를 포함하는 발생기 출력 제어 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 출력 신호는 출력 전압, 출력 전류, 출력 순방향 전력, 출력 역방향 전력, 그리고 출력 에너지로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 정정시간은 상기 부하 임피던스에 의존하고; 및

   상기 결정 단계는 상기 부하 임피던스에 해당하는 정정시간의 결정을 포함하는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 정정시간을 결정하는 단계는:

   상기 출력을 구동하기 위한 진폭으로 시험용 변조 신호를 생성하는 단계;

   상기 감지 신호를 샘플링하기 전에 시간 주기 동안 지연하는 단계; 및

   상기 출력이 상기 시험용 변조 신호에 해당하는 레벨에서 안정화되었는지를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 시험용 변조 신호는 펄스 신호인 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
6. 제 4 항에 있어서, 탐색 알고리즘이 상기 감지 신호를 샘플링하기 전에 지연될 상기 시간 주기를 결정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 탐색 알고리즘은 2진 탐색 알고리즘인 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 정정시간을 결정하는 단계는 검색표로부터 상기 정정시간을 선택하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
9. 제 8 항에 있어서, 발생기 동작 파라미터에 해당하는 출력 신호의 정정시간을 갖는 검색표를 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발생기 출력을 제어하는 방법.
10. 변조 신호를 생성하기 위한 진폭-변조 증폭기;

    구동 신호를 제공하기 위해 상기 진폭-변조 증폭기에 연결된 고정 구동기;

    상기 구동 신호와 파형을 갖는 입력 신호를 조합하여, 상기 입력 신호에 해당하는 파형을 갖는 상기 변조 신호를 생성하는 상기 진폭-변조 증폭기; 및

    상기 진폭-변조 증폭기와 부하 사이에 연결되어 상기 진폭-변조 출력을 상기 부하에 제공하는 출력 필터를 포함하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 진폭-변조 출력을 나타내는 감지 신호를 생성하는 센서;

    상기 센서에 연결되어 상기 감지 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그 디지털 변환기; 및

    상기 진폭-변조 출력이 기준 파형을 추적하여 제어되도록 상기 아날로그 디지털 변환기에 연결되어 상기 디지털 신호에 기초하여 상기 변조 신호의 진폭을 제어하는 펄스 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
12. 제 10 항에 있어서, 상기 진폭-변조 증폭기는

    상기 입력 신호에 응답하여 동작가능하고, 상기 입력 신호 파형에 해당하는 파형을 갖는 공급 전압을 생성하는 변조기; 및

    상기 고정 구동기와 출력 필터 사이에 연결되고, 상기 공급 전압을 수신하기 위해 상기 변조기에 연결된 공급 입력을 갖는 증속구동 RF 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 변조기는 스위칭 모드 전력 공급기인 것을 특징으로 하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
14. 제 12 항에 있어서, 상기 변조기는 선형 전력 공급기인 것을 특징으로 하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
15. 제 10 항에 있어서, 상기 진폭-변조 증폭기는

    조합된 신호를 형성하기 위해 상기 구동 신호와 입력 신호를 조합하는 승산기; 및

    상기 승산기 및 출력 필터 사이에 연결되어 상기 조합 신호에 해당하는 상기 변조 신호를 생성하는 선형 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 부하에 인가될 진폭-변조 출력을 생성하는 플라즈마 발생기.
16. 정정시간을 갖는 출력 신호를 임피던스를 갖는 부하에 제공하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법으로서,

    a) 출력 신호의 정정시간을 결정하는 단계를 포함하는데,

    1) 상기 출력을 구동하기 위해 진폭으로 시험용 변조 신호를 생성하는 단계;

    2) 상기 감지 신호를 샘플링하기 전에 사전결정된 시간 주기동안 지연하는 단계; 및

    3) 상기 출력이 상기 시험용 변조 신호에 해당하는 레벨에서 안정화되었는지를 결정하는 단계를 구비하며;

    b) 변조 파형으로 상기 출력 신호를 진폭 변조하는 단계;

    c) 상기 변조 출력 신호를 나타내는 감지 신호를 생성하는 단계;

    d) 상기 출력 신호의 정정시간에 기초하여 샘플링 시간에서 상기 감지 신호를 샘플링하는 단계;

    e) 상기 샘플링 감지 신호의 디지털 표현을 생성하는 단계;

    f) 상기 샘플링 감지 신호의 디지털 표현에 기초하여 상기 출력의 진폭 변조를 제어하는 단계를 포함하는 플라즈마 발생기 출력 제어 방법.
17. 제 16 항에 있어서,

    검색표에 상기 정정시간을 저장하는 단계; 및

    상기 검색표내의 정정시간에 해당하는 상기 플라즈마 발생기의 동작 파라미터를 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법.
18. 제 17 항에 있어서, 상기 동작 파라미터는 개시 출력 신호 레벨, 최종 출력 신호 레벨, 출력 신호 주파수, 출력 신호 상승 시간, 그리고 출력 신호 강하 시간 으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법.
19. 제 16 항에 있어서, 상기 변조 파형에 대한 동작 파라미터를 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법.
20. 제 16 항에 있어서, V/I 프로브는 상기 출력을 감지하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법.
21. 제 16 항에 있어서, 상기 지연 단계는 상기 사전결정된 시간 주기를 선택하는 탐색 알고리즘을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생기 출력을 제어하는 방법.