KR20020066488A - Stopper assembly for stopping tray in handler - Google Patents
Stopper assembly for stopping tray in handler Download PDFInfo
- Publication number
- KR20020066488A KR20020066488A KR1020010006705A KR20010006705A KR20020066488A KR 20020066488 A KR20020066488 A KR 20020066488A KR 1020010006705 A KR1020010006705 A KR 1020010006705A KR 20010006705 A KR20010006705 A KR 20010006705A KR 20020066488 A KR20020066488 A KR 20020066488A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- tray
- supporting
- handler
- support member
- stopper
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 핸들러에서 트레이의 진행을 중지시키는 역할을 수행하는 스톱장치에 관한 것으로, 특히 핸들러의 테스트 사이트(test site)에서 일측에서 타측으로 이송되는 트레이의 양측단부를 소정의 위치에서 지지하여 트레이를 정위치시키는 핸들러의 트레이 스톱장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stop device that serves to stop the progress of the tray in the handler, and in particular, the tray is supported by supporting both ends of the tray from one side to the other side at a predetermined position at the test site of the handler. It relates to a tray stop device of a handler for positioning.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.In general, devices such as a memory or non-memory semiconductor device, and modules that are appropriately configured on a single substrate, are shipped after undergoing various test procedures after production. Refers to the device being used to automatically test the same device and module.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 테스트 사이트의 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.Typically, many of these handlers not only perform general performance tests at room temperature, but also create extreme conditions of high and low temperatures through electrothermal heaters and liquefied nitrogen injection systems in a closed chamber at a test site, thereby creating the device and the module It is also possible to carry out high and low temperature tests to test whether the lamp can perform its normal function under such extreme temperature conditions.
도 1은 상기와 같이 디바이스의 고온 및 저온 테스트를 수행할 수 있는 핸들러의 일례를 나타낸 것으로, 로딩부(10)의 사용자 트레이에 수납된 테스트할 디바이스들은 X-Y축으로 선형운동하는 제 1피커로봇(31)에 의해 파지되어 버퍼부(40)에 일시적으로 장착된 다음, 다시 제 2피커로봇(32)에 의해 교환부(50)로 이송되어 테스트용 트레이(T)에 재장착된다.1 illustrates an example of a handler capable of performing a high temperature and a low temperature test of a device as described above, wherein the devices to be tested contained in the user tray of the loading unit 10 have a first picker robot that linearly moves on an XY axis. 31 is temporarily held in the buffer unit 40, and then transferred to the exchange unit 50 by the second picker robot 32 and remounted in the test tray T.
이렇게 테스트할 디바이스들이 재장착된 테스트용 트레이(T)는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 테스트 사이트(70)로 이송된 후, 이 테스트 사이트(70)에서 고온 또는 저온 테스트를 수행받게 된다.The test tray T in which the devices to be tested are remounted is transferred to a test site 70 located behind the handler by a separate transfer means (not shown), and then hot or cold at the test site 70. You will be tested.
여기서, 상기 테스트 사이트(70)는 그 내부에 고온 또는 저온의 환경을 조성하여 테스트용 트레이(T)들을 순차적으로 이송시키면서 디바이스들을 소정의 온도상태 하에서 테스트하도록 3개의 밀폐된 챔버들이 측방향으로 연접하게 배치되어 구성되는바, 이들 챔버들은 디바이스들을 고온 또는 저온으로 예열하는 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)를 통과한 디바이스들을 별도의 테스트장비와 결합된 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 고온 또는 저온 상태에서 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)를 통해 테스트 완료된 디바이스들을냉각시키거나 혹은 가열에 의해 성에를 제거하여 원래의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(73)로 구성된다.Here, the test site 70 has three sealed chambers laterally connected to test the devices under a predetermined temperature while sequentially transporting the test trays T by creating a hot or cold environment therein. These chambers are configured to include a preheating chamber 71 for preheating the devices to a high temperature or a low temperature, and the devices passed through the preheating chamber 71 to a test socket (not shown) combined with a separate test equipment. And a test chamber 72 for performing tests in a high or low temperature state, and defrosting to cool the devices tested through the test chamber 72 or to remove frost by heating to return to the original room temperature state. It consists of a chamber 73.
한편, 상기 테스트 사이트(70)의 디프로스팅챔버(73)를 거친 테스트 트레이(T)는 다시 교환부(50)로 이송되고, 이어서 테스트 완료된 디바이스들은 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 후, 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.Meanwhile, the test tray T passing through the defrosting chamber 73 of the test site 70 is transferred to the exchange unit 50 again, and the tested devices are then buffered by the second picker robot 32. After temporarily mounting on the 40, the first picker robot 31 is classified and mounted on the predetermined tray of the unloading unit 20 according to the test result.
상기와 같은 핸들러에서는 상기 테스트 사이트(70)의 테스트챔버(72)에서 디바이스의 테스트가 완료되면, 트레이 트랜스퍼(75)에 의해 테스트챔버(72)의 트레이(T)는 디프로스팅챔버(73)로, 그리고 예열챔버(71)의 트레이(T)들은 테스트를 위해 테스트챔버(72)로 동시에 슬라이딩하여 이송되는 바, 상기 테스트챔버(72)의 후면부에는 상기 예열챔버(71)로부터 이송되는 트레이(T)를 테스트챔버(72)의 정확한 위치에서 정지시키기 위한 스토퍼(80)들이 구비되며, 이들 스토퍼(80)들은 트레이 트랜스퍼(75)에 의한 트레이의 이송작동시에는 트레이(T)가 측방의 다른 챔버로 이동할 수 있도록 트레이 지지상태가 해제되도록 되어 있다.In the handler as described above, when the device is tested in the test chamber 72 of the test site 70, the tray T of the test chamber 72 is transferred to the defrosting chamber 73 by the tray transfer 75. In addition, the trays T of the preheating chamber 71 are simultaneously slid to the test chamber 72 for the test, and the trays T are transferred from the preheating chamber 71 to the rear portion of the test chamber 72. Stopper 80 is provided to stop the test chamber 72 at the correct position of the test chamber 72. The stopper 80 has a tray T at the side of the chamber during the transfer operation of the tray by the tray transfer 75. The tray support is released to allow movement.
그런데, 상기와 같은 트레이 스토퍼(80)들은 전술한 것과 같이 트레이 이송 작동시 트레이의 원활한 이송을 보장하면서 타측으로부터 이송된 트레이가 정위치에 위치했을 때 정확히 그 위치에서 트레이(T)를 구속시킬 수 있도록 제어되어야 하지만, 전술한 종래의 핸들러에서는 상기 트레이 트랜스퍼(75)에 의한 트레이 이송작동이 매우 고속으로 이루어짐과 더불어 이송되는 트레이들 간의 간격이 매우좁음에 따라 이러한 트레이 스토퍼들의 정확한 동작 제어가 매우 어려워 오동작이 빈발할 우려가 있었다.However, the tray stoppers 80 as described above may restrict the tray T at the exact position when the tray transferred from the other side is positioned at the right position while ensuring the smooth transfer of the tray during the tray transfer operation as described above. However, in the above-described conventional handler, the tray transfer operation by the tray transfer 75 is made very fast, and the gap between the trays to be conveyed is very narrow, making it difficult to precisely control the operation of these tray stoppers. There was a risk of frequent malfunctions.
이에 따라 종래의 핸들러에서는 스톱장치의 정확한 동작을 위해 트레이의 이송속도를 고속으로 할 수 없는 문제점이 있었고, 이로 인해 핸들러의 전체 인덱스타임을 줄이는데 한계로 작용하여 테스트 효율을 저하시키는 원인이 되었다.Accordingly, in the conventional handler, there was a problem in that the feed speed of the tray could not be made high for accurate operation of the stop device, and this caused a limit in reducing the overall index time of the handler, causing a decrease in test efficiency.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 핸들러의 트레이 트랜스퍼에 의한 트레이의 이송작동시 트레이의 원활한 이송을 보장하면서 타측으로부터 이송된 트레이가 챔버의 정위치에 위치함과 동시에 정확히 그 위치에서 트레이를 구속시킬 수 있도록 한 핸들러의 트레이 스톱장치를 제공함에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, while ensuring the smooth transfer of the tray during the transfer operation of the tray by the tray transfer of the handler while the tray transferred from the other side is located at the exact position of the chamber and exactly It is an object of the present invention to provide a tray stop device for a handler that can restrain the tray at that position.
도 1은 종래의 일반적인 핸들러 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 평면 구성도1 is a plan view schematically showing an example of a conventional general handler configuration
도 2는 본 발명에 따른 트레이 스톱장치가 핸들러의 테스트 사이트에 설치된 상태를 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing a state in which the tray stop device according to the present invention is installed at the test site of the handler
도 3은 도 2의 트레이 스톱장치중 스토퍼를 나타낸 도 2의 X부분의 확대 사시도3 is an enlarged perspective view of part X of FIG. 2 showing a stopper of the tray stop device of FIG.
도 4는 도 3의 스토퍼를 다른 각도에서 바라본 사시도4 is a perspective view of the stopper of FIG. 3 viewed from another angle;
도 5는 도 3의 스토퍼의 A부분에서 바라본 도면FIG. 5 is a view from the portion A of the stopper of FIG. 3; FIG.
도 6은 도 2의 트레이 스톱장치중 클램프를 나타낸 도 2의 Y부분의 확대 사시도6 is an enlarged perspective view of a portion Y of FIG. 2 showing a clamp of the tray stop device of FIG.
도 7은 도 6의 클램프의 평면도7 is a plan view of the clamp of FIG.
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Major Parts of Drawings
721a, 721b - 프레임 810 - 스토퍼721a, 721b-frame 810-stopper
811 - 고정브라켓 812 - 지지블록811-Fixed Bracket 812-Support Block
813 - 고정체 814 - 작동축813-Fixture 814-Shaft
815 - 지지바아 816 - 로울러815-Support Bar 816-Roller
817 - 작동편 819 - 인장스프링817-Working Part 819-Tension Spring
820 - 압축스프링 830 - 공압실린더820-Compression Springs 830-Pneumatic Cylinders
850 - 클램프 851 - 브라켓850-Clamp 851-Bracket
852 - 지지부재 853 - 제한부재852-Supporting Members 853-Restricting Members
854 - 인장스프링 855 - 로울러854-Tension Spring 855-Roller
856 - 센서 857 - 센싱브라켓856-Sensor 857-Sensing Bracket
T - 트레이T-tray
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 핸들러의 테스트 사이트에서 측방 이송되는 트레이를 소정의 위치에 정렬시키기 위하여 트레이 양측부를 해제가능하게 지지하여 주는 트레이 스톱장치에 있어서, 테스트 사이트의 일측 프레임에 고정되는 고정브라켓과, 이 고정브라켓에 고정되게 설치된 고정체와, 상기 고정체에 자체 축방향으로 직선 운동가능하도록 설치된 작동축과, 이 작동축의 일단에 선회가능하게 설치되어 트레이를 지지하게 되는 지지부재와, 일단이 상기 작동축에 결합되고 중간부분이 상기 고정브라켓에 힌지축을 매개로 선회가능하게 결합되어 외부의 작동수단에 의해 선회작동하며 상기 작동축을 직선 운동시키는 작동편과, 상기 고정브라켓에 설치되어 트레이에 의한 지지부재의 선회시 지지부재를 지지하는 지지블록과, 상기 지지부재를 원위치로 복귀시키는 복원력을 제공하는 인장스프링 및, 상기 작동축을 원위치로 복귀시키는 복원력을 제공하는 압축스프링으로 구성되어, 트레이의 진행방향 전방부를 지지하는 스토퍼와; 상기 스토퍼가 설치된 테스트 사이트 프레임의 반대편 프레임에 고정되게 설치되는 브라켓과, 이 브라켓에 선회가능하게 설치되어 트레이 진행방향 후방부를 지지하도록 된 지지부재와, 일단이 상기 지지부재에 결합되고 타단이 상기 프레임에 접촉하여 지지되어 상기 지지부재의 선회범위를 제한하는 제한부재 및, 상기 지지부재를 원위치로 복귀시키는 복원력을 제공하는 인장스프링으로 구성되어, 트레이의 진행방향 후방부를 지지하는 클램프를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러의 트레이 스톱장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a tray stop device for releasably supporting both sides of the tray in order to align the tray transported laterally at the test site of the handler to a predetermined position, in one frame of the test site A fixed bracket to be fixed, a fixed body fixed to the fixed bracket, an actuating shaft installed on the fixed body so as to be linearly movable in its own axial direction, and a support pivotally installed on one end of the actuating shaft to support the tray A member, an operating piece having one end coupled to the actuating shaft and an intermediate portion pivotably coupled to the fixed bracket via a hinge shaft to pivot by an external actuating means to linearly move the actuating shaft; Support block is installed to support the support member when the support member swings by the tray , And a stopper for supporting the compression spring is configured to provide a restoring force for returning to a tension spring and, in place the operating shaft to provide a restoring force for returning to its original position the support member, the front portion of the tray progress direction; A bracket fixedly mounted to the frame opposite to the test site frame on which the stopper is installed, a support member pivotally mounted on the bracket to support the rear portion of the tray traveling direction, one end coupled to the support member, and the other end to the frame. Consists of a limiting member that is supported in contact with the limiting the turning range of the support member, and a tension spring for providing a restoring force for returning the support member to its original position, and a clamp for supporting the rear portion of the tray in the traveling direction A tray stop device for a handler is provided.
본 발명의 한 형태에 의하면, 상기 스토퍼의 지지부재 끝단부와 상기 클램프의 지지부재 끝단부 각각에는 트레이의 이송작동시 트레이의 면에 구름접촉하는 로울러가 설치된다.According to one aspect of the present invention, rollers in rolling contact with the surface of the tray during the transfer operation of the tray are provided at each end of the support member of the stopper and the support member of the clamp.
또한, 상기 지지부재는 상기 작동축과 동축을 이룰 때 그의 끝단부 일측단이 작동축 상단에 접하여 지지되도록 되어 그 이상 회전하는 것이 방지되도록 되어 있다.In addition, when the support member is coaxial with the working shaft, one end of the end thereof is supported in contact with the upper end of the working shaft, thereby preventing further rotation.
그리고, 상기 클램프는 이 클램프가 원래의 초기 위치로 복귀하였는지를 감지하기 위하여, 상기 프레임에 고정되는 센서와, 상기 지지부재의 일측면에 설치되어 상기 센서에 의해 감지되는 센싱브라켓을 더 포함하여 구성된다.The clamp further includes a sensor fixed to the frame and a sensing bracket installed on one side of the support member to detect whether the clamp returns to its original initial position. .
이하, 본 발명에 따른 핸들러의 트레이 스톱장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a tray stop apparatus of a handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 트레이 스톱장치가 핸들러의 테스트 사이트(70; 도 1참조)에 설치된 상태를 나타낸 사시도로, 도면에서 참조부호 721a와 721b는 테스트 사이트(70)의 테스트챔버(72; 도 1참조) 후면부에 설치된 프레임을 나타내고, 참조부호 722는 트레이(T)의 상단 및 하단부가 이동가능하게 지지되는 가이드레일을 나타낸다.FIG. 2 is a perspective view showing a tray stop apparatus according to the present invention installed at a test site 70 (see FIG. 1) of a handler. In the drawings, reference numerals 721a and 721b denote test chambers 72 of the test site 70. 1) shows a frame installed in the rear portion, and reference numeral 722 denotes a guide rail in which the upper and lower ends of the tray T are movably supported.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 트레이 스톱장치는 일측 프레임(721a)의 중간부분에 설치되어 예열챔버(71; 도 1참조)로부터 이송되어 온 트레이(T)의 진행방향(화살표) 전방부를 해제가능하게 지지하여 정지시키는 스토퍼(810)와, 타측 프레임(721b)의 중간부분에 설치되어 트레이의 진행방향 후방부를 지지하여 주는 클램프(850)로 구성된다.As shown in FIG. 2, the tray stop device of the present invention is installed in the middle of one side frame 721a and is moved forward (arrow) of the tray T transferred from the preheating chamber 71 (see FIG. 1). A stopper 810 for releasably supporting and stopping the portion, and a clamp 850 is installed in the middle of the other frame (721b) to support the rear portion of the tray in the traveling direction.
도 3 내지 도 5는 상기와 같은 스토퍼(810)의 구성을 나타낸 것으로, 스토퍼(810)는 프레임(721a)에 고정되는 고정브라켓(811)과, 이 고정브라켓(811)에 고정되게 설치된 직방체 형태의 고정체(813)와, 상기 고정체(813)에 자체의 축방향으로 직선 운동 가능하게 설치된 작동축(814)과, 상기 작동축(814)의 끝단부에 선회가능하게 설치되어 트레이(T)의 모서리부분과 접촉하게 되는 지지바아(815)와, 일단부가 상기 작동축(814)에 결합되고 중간부분이 고정브라켓(811)에 힌지축(818)을 매개로 선회가능하게 결합되어 스토퍼(810) 인근에 설치된 공압실린더(830)의작동에 의해 상기 작동축(814)을 운동시키는 작동편(817)을 구비한다.3 to 5 show the configuration of the stopper 810 as described above, the stopper 810 is a fixed bracket 811 fixed to the frame 721a, and a rectangular parallelepiped form fixed to the fixed bracket 811. Of the fixed body 813, the working shaft 814 provided to the fixed body 813 in a linear axial direction thereof, and the end of the working shaft 814 so as to be pivotable. The support bar 815 which is in contact with the corner portion of the) and one end is coupled to the operating shaft 814 and the middle portion is pivotally coupled to the fixing bracket 811 via the hinge shaft 818 to the stopper ( 810 is provided with a working piece 817 to move the working shaft 814 by the operation of the pneumatic cylinder 830 installed in the vicinity.
상기 지지바아(815)의 끝단부에는 트레이의 이송 작동시 트레이(T)의 외면에 구름접촉하게 되는 로울러(816)가 설치되어 있다.An end portion of the support bar 815 is provided with a roller 816 which comes into contact with the outer surface of the tray T during the transfer operation of the tray.
그리고, 상기 고정브라켓(811)에는 트레이(T)에 의해 지지바아(815)가 선회할 때 이 지지바아(815)를 소정 위치에서 지지하여 주는 지지블록(812)이 고정되고, 상기 지지바아(815)와 작동축(814) 끝단부에는 인장스프링(819)이 결합되어 지지바아(815)가 선회하였다가 다시 원위치로 복귀하는 탄성력을 제공한다.The support bracket 812 is fixed to the fixing bracket 811 to support the support bar 815 at a predetermined position when the support bar 815 is turned by the tray T. The tension spring 819 is coupled to the end of the 815 and the working shaft 814 to provide an elastic force that the support bar 815 pivots and returns to its original position.
또한, 상기 작동축(814)에는 일단이 고정체(813)에 대해 지지되고 타단이 작동축(814) 끝단에 대해 지지되어 작동축(814)을 고정체(813)에 대해 탄발지지하는 압축스프링(820)이 결합되어 있다.In addition, one end of the working shaft 814 is supported by the fixed body 813 and the other end is supported by the end of the working shaft 814 compression spring for supporting the operating shaft 814 against the fixed body 813 820 is combined.
상기 고정체(813)에는 상기 작동축(814) 끝단에 형성된 결합돌기(814a)가 결합되는 장공형의 안내홈(813a)이 설치되어 작동축(814)의 축방향 이동시 작동축(814)의 이동을 안내하도록 되어 있다.The fixed body 813 is provided with a guide groove 813a of the long hole type is coupled to the engaging projection 814a formed at the end of the operating shaft 814 of the operating shaft 814 in the axial movement of the operating shaft 814 It is intended to guide the movement.
그리고, 도 5에 도시된 것과 같이 상기 지지바아(815)는 작동축(814)과 동축을 이루었을 때 트레이 진행방향 반대방향으로 선회하는 것을 방지하기 위하여 작동축(814)과 결합되는 끝단부 일측이 작동축(814)에 접촉 지지되어 그 이상 회전할 수 없도록 되어 있다.And, as shown in FIG. 5, the support bar 815 is coupled to the operating shaft 814 to prevent the support bar 815 from turning in the opposite direction of the tray travel direction when the support shaft 814 is coaxial with the operating shaft 814. The working shaft 814 is in contact with and is prevented from rotating further.
한편, 도 6과 도 7은 본 발명의 트레이 스톱장치중 클램프(850)의 구성을 나타낸 것으로, 클램프(850)는 프레임(721b)에 고정되는 브라켓(851)과, 상기 브라켓(851)에 선회가능하게 설치되어 트레이(T)를 지지하게 되는 대략 L자형의 지지부재(852)와, 일단이 상기 지지부재(852)에 결합되고 타단이 상기 브라켓(851)에 결합되어 지지부재(852)를 원위치로 복귀시키는 탄성력을 부여하도록 된 인장스프링(854) 및, 일단이 상기 지지부재(852)에 나사결합되고 타단이 프레임(721b)에 접촉하도록 되어 지지부재(852)가 인장스프링(854)에 의해 더 이상 회동하는 것을 방지하는 제한부재(853)로 구성된다.6 and 7 show the configuration of the clamp 850 of the tray stop device of the present invention, the clamp 850 is pivoted to the bracket (851) and the bracket (851) fixed to the frame 721b. A substantially L-shaped support member 852 which is installed to support the tray T, and one end thereof is coupled to the support member 852, and the other end is coupled to the bracket 851, thereby supporting the support member 852. The tension spring 854 to impart an elastic force to return to its original position, and one end is screwed to the support member 852 and the other end is in contact with the frame 721b so that the support member 852 is connected to the tension spring 854. It consists of a limiting member 853 which prevents further rotation.
상기 지지부재(852)의 끝단부에는 트레이의 이송 작동시 트레이의 외면과 구름접촉하게 되는 로울러(855)가 설치된다.At the end of the support member 852, a roller 855 is provided that comes into contact with the outer surface of the tray during the transfer operation of the tray.
한편, 상기 클램프(850)는 트레이의 이송 작동중 어떠한 원인에 의해 클램프(850)가 트레이(T)에 걸려 원래의 위치로 복귀하지 않게 되는 경우가 발생할 수도 있는데, 이러한 클램프(850)의 미복귀를 감지하여 작업자가 적절히 조저할 수 있도록 하기 위하여 상기 클램프(850)가 설치되는 프레임(721b)에는 클램프 자세 감지용의 센서(856)가 부착되고, 클램프(850)의 지지부재(852) 일측에는 상기 센서(856)에 의해 감지되는 센싱브라켓(857)이 부착된다.On the other hand, the clamp 850 may occur when the clamp 850 is caught by the tray (T) due to any cause during the transfer operation of the tray does not return to the original position, the return of the clamp 850 The sensor 856 for detecting the clamp posture is attached to the frame 721b in which the clamp 850 is installed so as to allow the operator to make a proper adjustment. The support member 852 of the clamp 850 is located at one side of the clamp 850. A sensing bracket 857 sensed by the sensor 856 is attached.
따라서, 클램프(850)가 초기의 위치로 복귀하지 않게 되면 센서(856)와 센싱브라켓(857)의 위치로 일치하지 않게 되고, 이를 센서(856)가 감지하여 핸들러의 작동을 제어하는 제어유닛(미도시)에 전달하게 되는 것이다.Therefore, when the clamp 850 does not return to the initial position, the sensor 856 and the sensing bracket 857 do not coincide with each other, and the sensor unit 856 detects this to control the operation of the handler ( (Not shown).
상기와 같이 구성된 본 발명의 트레이 스톱장치는 다음과 같이 작동한다.The tray stop device of the present invention configured as described above operates as follows.
핸들러의 테스트 사이트(70; 도 1참조)에서 트레이 트랜스퍼(75; 도 1참조)의 작동에 의해 트레이(T)가 가이드레일(722)을 따라 슬라이딩 이동하게 되면, 예열챔버(71; 도 1참조) 에 위치하던 트레이(T)는 클램프(850)의 지지부재(852)를 밀면서 이동하게 되고, 이에 따라 클램프(850)의 지지부재(852)는 트레이에 의해 선회하게 된다.When the tray T is slid along the guide rail 722 by the operation of the tray transfer 75 (see FIG. 1) at the test site 70 (see FIG. 1) of the handler, the preheat chamber 71 (see FIG. 1). The tray (T), which is located at), moves while pushing the support member 852 of the clamp 850, whereby the support member 852 of the clamp 850 is pivoted by the tray.
이 때, 상기 지지부재(852)는 인장스프링(855)에 의해 원위치로 복귀하려는 힘을 받게 되므로 지지부재(852) 끝단의 로울러(855)가 진행중인 트레이(T)의 외면과 구름접촉하게 된다.At this time, since the support member 852 receives a force to return to its original position by the tension spring 855, the roller 855 at the end of the support member 852 comes into contact with the outer surface of the tray T in progress.
상기 트레이(T)가 클램프(850)를 완전히 지나 테스트챔버(72)에 정위치하게 되면, 상기 클램프(850)는 초기의 위치로 복귀하게 되고, 트레이는 상기 클램프(850)의 지지부재(852)의 회전이 제한되어 있음에 따라 그의 진행방향 후방부가 지지부재(852)에 의해 지지된다.When the tray T is fully positioned past the clamp 850 and in the test chamber 72, the clamp 850 returns to the initial position, and the tray supports the support member 852 of the clamp 850. As the rotation of the < Desc / Clms Page number 5 > is limited, its rearward direction is supported by the support member 852.
한편, 상기 스토퍼(810)는 다음과 같이 작동하게 되는데, 트레이의 이송 작동이 시작되면 스토퍼(810) 인근에 설치된 공압실린더(830)가 작동하여 작동편(817) 끝단부를 밀게 되고, 이에 따라 작동편(817)이 그의 힌지축(818)을 중심으로 선회하여 작동축(814)을 고정체(813) 쪽으로 당기게 되고, 이로써 지지바아(815)에 의한 트레이(T)의 지지 상태가 해제되어 트레이(T)가 이동할 수 있게 된다.On the other hand, the stopper 810 is operated as follows, when the transfer operation of the tray is started, the pneumatic cylinder 830 installed near the stopper 810 is operated to push the end of the operating piece 817, and thus actuated The piece 817 pivots about its hinge axis 818 and pulls the operating shaft 814 toward the stationary body 813, thereby releasing the support state of the tray T by the support bar 815 to release the tray. (T) can move.
이어, 트레이(T)의 이동이 진행되어 트레이의 진행방향 전방부가 스토퍼 위치를 통과함과 동시에, 다시 공압실린더(830)가 작동하여 작동편(817)과의 접촉이 해제되고, 이에 따라 수축되어 있던 압축스프링(820)의 탄성력에 의해 작동축(814)이 원위치로 복귀하려는 힘을 받게 되어 지지바아(815) 끝단의 로울러(816)가 진행중인 트레이(T)의 외면과 구름접촉하게 된다. 이 때, 상기 지지바아(815)는 트레이진행과 순응하여 선회할 수 있도록 되어 있으므로 트레이 진행이 원활히 이루어질 수 있게 된다.Subsequently, the movement of the tray T progresses and the forward direction of the tray passes through the stopper position, and at the same time, the pneumatic cylinder 830 is operated again to release the contact with the working piece 817, thereby contracting. The working shaft 814 receives a force to return to its original position by the elastic force of the compression spring 820, and the roller 816 at the end of the support bar 815 comes into contact with the outer surface of the tray T in progress. At this time, the support bar 815 is able to turn in compliance with the progress of the tray, so that the progress of the tray can be made smoothly.
따라서, 상기 트레이(T)가 스토퍼 위치를 완전히 벗어남과 동시에 스토퍼(810)의 지지바아(815)가 초기상태로 완전히 복귀하여 예열챔버(71; 도 1참조)로부터 이송되어 온 트레이(T)의 모서리부분과 접촉하게 된다.Therefore, while the tray T is completely out of the stopper position, the support bar 815 of the stopper 810 is completely returned to the initial state, and the tray T is conveyed from the preheating chamber 71 (see FIG. 1). It comes in contact with the edge.
이 때, 상기 예열챔버(71)로부터 이송되어 온 트레이(T)는 지지바아(815)를 밀고 나가면서 선회시키게 되는데, 이렇게 선회하던 지지바아(815)는 지지블록(812)에 의해 선회가 제한되므로 트레이(T)는 더 이상 진행하지 못하고 그 위치에서 정지한 후 다시 인장스프링(819)이 지지바아(815)를 복원시키는 탄성력에 의해 테스트챔버(72)의 정위치에서 정렬된다.At this time, the tray (T) has been transferred from the preheating chamber 71 is to turn while pushing the support bar 815, the turning support bar 815 is limited by the support block 812 is turning. Therefore, the tray T cannot proceed any more and stops at that position, and then the tension spring 819 is aligned at the correct position of the test chamber 72 by the elastic force to restore the support bar 815.
이상에서와 같이 본 발명의 트레이 스톱장치에 따르면, 핸들러의 테스트 사이트에서 트레이의 이송시 트레이의 원활한 이송을 보장하면서 타측으로부터 이송된 트레이가 챔버의 정위치에 도달함과 동시에 정확히 그 위치에서 트레이를 구속시킬 수 있게 되므로, 테스트도중 잼(jam)이 발생할 확률이 현저히 줄어들게 되어 테스트가 원활히 진행될 수 있게 됨은 물론 트레이의 이송속도를 고속으로 할 수 있게 되어 테스트 시간이 줄어들게 된다.As described above, according to the tray stop device of the present invention, while the tray is transported at the test site of the handler, the tray transferred from the other side reaches the correct position of the chamber while ensuring the smooth transfer of the tray. Since it can be restrained, the probability of jam occurring during the test is significantly reduced, so that the test can be smoothly progressed and the feeding speed of the tray can be increased, thereby reducing the test time.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006705A KR100367995B1 (en) | 2001-02-12 | 2001-02-12 | Stopper assembly for stopping tray in handler |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006705A KR100367995B1 (en) | 2001-02-12 | 2001-02-12 | Stopper assembly for stopping tray in handler |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020066488A true KR20020066488A (en) | 2002-08-19 |
KR100367995B1 KR100367995B1 (en) | 2003-01-14 |
Family
ID=27694012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006705A KR100367995B1 (en) | 2001-02-12 | 2001-02-12 | Stopper assembly for stopping tray in handler |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100367995B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180077559A (en) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 세메스 주식회사 | Apparatus for transferring trays |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950002576Y1 (en) * | 1992-08-18 | 1995-04-12 | 정문술 | Device for positioning tray |
KR0124848Y1 (en) * | 1995-10-17 | 1998-12-15 | 김광호 | Tray fixing pallet apparatus |
KR200168969Y1 (en) * | 1997-01-31 | 2000-02-01 | 윤종용 | Position fixing apparatus for tray |
KR200172738Y1 (en) * | 1997-03-22 | 2000-03-02 | 윤종용 | Test handler for semiconductor device |
KR200215101Y1 (en) * | 1998-02-26 | 2001-04-02 | 유홍준 | Tray fixing device of IC automatic sorter |
-
2001
- 2001-02-12 KR KR10-2001-0006705A patent/KR100367995B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180077559A (en) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 세메스 주식회사 | Apparatus for transferring trays |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100367995B1 (en) | 2003-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108177849B (en) | Tray for transporting electric connector | |
US4660280A (en) | Apparatus for conveying and positioning circuit substrates of printed-wiring boards | |
US4961257A (en) | Door assembling apparatus for use in automobile assembly | |
JP2001021613A (en) | Device for testing ic device | |
EP3199295B1 (en) | Transfer apparatus, transfer system, and transfer method | |
US7383746B2 (en) | Compliance module, particularly for a manipulator for positioning a test head, and one such manipulator | |
KR100367995B1 (en) | Stopper assembly for stopping tray in handler | |
US9896277B2 (en) | Component supply device | |
US9788470B2 (en) | Component supply device | |
US6259881B1 (en) | Paper guiding system | |
US6471462B1 (en) | Carrier handling apparatus of an IC module handler | |
KR100439899B1 (en) | Clamp for test tray in handler for testing semiconductor | |
CN111755369B (en) | Load port | |
EP2914078A1 (en) | Component supply apparatus | |
KR100428035B1 (en) | Limit sensor assembly for tray transfer of handler for testing semiconductor devices | |
JP3636000B2 (en) | Test board posture changing device | |
KR100367994B1 (en) | Apparatus for carrying tray for handler | |
KR100528707B1 (en) | Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler | |
KR100428033B1 (en) | Tray Transfer for Device Test Handler | |
JPH03104788A (en) | Automobile door assembling apparatus | |
KR100395370B1 (en) | Tray transfer in handler for testing semiconductor devices | |
KR20070000139A (en) | Radiation test robot system | |
US6712004B2 (en) | Plate inserting apparatus | |
JP7144582B2 (en) | Transfer hand set and transfer robot | |
JPH0726030Y2 (en) | Automatic unclamping device for charging device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121106 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131203 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141203 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151203 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |