JP3636000B2 - Test board posture changing device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICデバイス(集積回路素子)の電気的特性についての試験・測定を行うためのICデバイスの試験装置等に設置されて、ICデバイスを多数載置したテストボードの姿勢を変換するためのテストボードの姿勢変更装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ICデバイスの電気的特性の試験・測定を行う装置としては、ICテスタとICハンドラとから構成されるものであり、ICハンドラはローダ部,試験・測定部及びアンローダ部を備えている。ローダ部にはトレー等のデバイス収納治具に多数のICデバイスが設置されており、適宜のハンドリング手段で試験・測定を行うのに適したテストボードに所定数のICデバイスが移載され、このテストボードは試験・測定部に搬送される。試験・測定部にはテストボードを位置決めすると共に、このテストボードをICテスタのテストヘッドに接離する接離手段が設けられている。従って、ICデバイスは、試験・測定部にまで搬送されたテストボードに載置したままでテストヘッドのソケットに接続されて、その間に通電することによって、電気的特性の試験・測定が行われる。ICデバイスに対する試験が終了した後には、テストボードをアンローダ部に搬送して、試験結果に基づいてICデバイスを分類分けしてトレー等に収納させる。
【0003】
ICデバイスの試験を効率的に行うためには、テストボードに多数のICデバイスを載置したままで、各ICデバイスを同時にICテスタに接続するが、このための装置構成としては、水平搬送路を設けて、この水平搬送路にローダ部,試験・測定部及びアンローダ部を配置するのが一般的である。つまり、ローダ部で試験すべきICデバイスをテストボードに移載した後に、このテストボードを水平搬送することによって、試験・測定部に送り込んで、このテストボードを所定の位置に位置決めして、ICテスタのテストヘッドに接続するようになし、また試験が終了した後にはそのまま水平搬送路に沿ってアンローダ部にまで移行して、アンロード作業が行われる。従って、ICテスタは、テストボードを搬送する水平搬送路の上部位置または下部位置に配置し、テストボードを押し上げるか、引き下げるかによって、このテストボードに載置した各ICデバイスをテストヘッドにおけるソケットに接続するようになっている。
【0004】
しかしながら、ICテスタと、ICハンドラにおける水平搬送路のテストボードの搬送面とを上下に配置すると、装置全体の高さ寸法が大きくなってしまう。近年においては、ICデバイスのパッケージ方式及びサイズとしては様々なものが用いられるようになってきており、ICデバイスの試験装置としては、いくつかの種類乃至サイズのICデバイスを試験できるように構成するのが一般的である。従って、異なるICデバイスを試験する際には、装置を構成する一部の部材を段取り替えしなければならない。ICテスタについては、テストヘッドにおけるインタフェースボード等一部の部材を交換するが、ICテスタが高所に配置されていると、このテストヘッドの段取り替えを行う作業が困難になる。特に、交換部材はかなりの重量物であることから、ICテスタの位置が高ければ高いほど段取り替え作業が困難になる。また、テストボードの搬送面をICテスタの上部に配置すると、テストボードの下部側をICテスタのテストヘッドに接続しなければならない。このために、ICデバイスのリードに直接コンタクトすることができず、従ってテストボードにテストヘッドのコンタクト部に接続するための電極を設けなければならない等、テストボードの構成が複雑化する。また、テストボードを反転させて、テストヘッドに接続することも考えられるが、そうすると、ロード,アンロード作業、つまりローダ部に試験すべきICデバイスを載置したトレーをセットし、アンローダ部では試験済のICデバイスが収納されたトレーを取り出す作業が面倒になる等といった問題点がある。
【0005】
以上の点を考慮して、特開平9−152466号公報にテストボードを垂直状態にして試験・測定部に搬送し、また試験・測定部からのテストボードの搬出も垂直状態にして行うように構成したものが示されている。従って、ICテスタのテストヘッドへのテストボードの接離は、このテストボードを垂直状態にしたままで行えることになる。このように構成すれば、ICテスタとテストボードの搬送面とを実質的に同じ高さ位置に配置できるようになる。ここで、この従来技術による試験装置では、ICデバイスを所定の温度条件下で試験する関係から、試験・測定部の前段にはテストボードに載置した各ICデバイスを設定温度となるように加熱または冷却するプリヒート部が、また試験・測定部の後段にはICデバイス及びテストボードを外気温度に近い状態にまで温度を戻すデフロスタ部が設けられる。
【0006】
このように構成することにより、つまりICテスタをICハンドラと実質的に同じ高さ位置に配置することによって、異なる種類のICデバイスを試験する場合における段取り替え作業や、トレーのセット及び取り出し作業、さらには装置全体のメンテナンス作業が容易に行えることになる。
【0007】
ここで、ローダ部においては、トレー等からテストボードに試験が行われるICデバイスを移載し、またアンローダ部では試験済のICデバイスをテストボードからトレー等に移し替えなければならない。この作業は、通常、ICデバイスのパッケージ部を真空吸着するハンドリング手段により行われることから、テストボードは水平状態にする必要がある。このために、前述した公知の試験装置においては、テストボードの垂直搬送路の上方位置にローダ部及びアンローダ部を配置し、ローダ部からプリヒート部にテストボードを搬入する前の段階でこのテストボードを水平状態から垂直状態に回動させることにより姿勢を反転させ、またデフロスタ部からテストボードを搬出した後に、垂直状態から水平状態に戻すようにしている。このテストボードの姿勢を変更する手段としては、テストボードの端部をチャックするチャック手段を備え、このチャック手段に反転軸を連結して設け、この反転軸をロータリシリンダにより90°往復回転させる構成としている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、テストボードは、できるだけ多数のICデバイスを載置する関係から、テストボードの大半の部分がICデバイスの載置部として用いられ、周辺のマージンの幅はできるだけ小さくする。チャック手段は、当然、マージンの部分をチャックし、ICデバイスの載置部にチャック手段が当接しないようにする必要があり、従ってチャック手段のテストボードに対する当接部の面積は極めて小さいものとなる。その結果、チャック手段によるテストボードのチャックが不安定になり、反転動作中にテストボードを取り落とす可能性がある。特に、テストボードにおけるICデバイスの載置数を多くするために大型のテストボードを用い、しかもこのテストボードに載置した状態でICデバイスを加熱状態や冷却状態で試験・測定を行うに当って、熱損を抑制するために、テストボードをできるだけ薄肉化した場合には、テストボードは変形し易いものとなる。従って、チャック手段でテストボードを片持ち状態にして反転させる場合には、そのバランスが極めて悪くなり、さらに安定性が低下する。また、テストボードを安定させるために、一対のチャック手段を用いて、テストボードを左右から挟み込むようにすることも可能であるが、このようにテストボードに外力を加えると、薄肉のテストボードが変形する可能性がある。
【0009】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、テストボードに格別の外力を作用させることなく、安定した状態で円滑かつ確実にその姿勢を変更させることができるようにすることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明は、所定数のICデバイスが設置されるテストボードを水平状態と垂直状態との間に姿勢を変更させるための装置であって、左右一対の支持部材の相対向する面に複数のガイドローラを回転自在に装着することによって、一方側が前記テストボードが搬入される入口部で、他方側がこのテストボードを搬出する出口部となり、前記テストボードの両側部をガイドして挿通させるボード通路を形成すると共に、前記ガイドローラに対してほぼテストボードの厚み分だけ離間した位置に配置され、前記テストボードの倒れ防止ローラを設けた反転ユニットと、前記支持部材に連結されて、この反転ユニットのボード通路を水平になる位置と、垂直になる位置とに反転駆動する反転駆動部材と、前記ボード通路の前記ボード通路の入口部及び出口部の少なくとも一方を開閉するシャッタ部材とを備える構成としたことをその特徴とする。
【0011】
ここで、前述した反転ユニットによって、テストボードを水平状態から垂直状態に姿勢を変更させる場合と、垂直状態から水平状態に姿勢を変更させる場合とがある。水平状態から垂直状態に姿勢を変更する場合には、シャッタ部材をボード通路の入口部側に設け、また倒れ防止ローラはボード通路の出口部近傍に配置する。シャッタ部材には、それがボード通路の入口部を閉鎖した時に、テストボードのガイドローラへの当接部とは反対側の面に対面するように曲折させる構成となし、また反転ユニットが垂直状態となった時における下方位置に、ボード通路内に位置するテストボードを押し上げるリフタを設ける。さらに、反転ユニットが水平状態にある時のボード通路の出口部の延長線位置にテストボードを弾性的に当接させるストッパを設け、このテストボードがボード通路内に送り込まれた時に、前記入口部を通過した位置で、このストッパに当接するように構成するのが望ましく、さらにストッパはエアシリンダで構成するのがより望ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。以下に示す実施の形態においては、図1に示したICデバイスの試験装置に設けられ、多数のICデバイスを載置したテストボードを水平状態から垂直状態に、また垂直状態から水平状態に姿勢を変更させるものを例示するが、本発明のテストボードの姿勢変更装置はこれ以外の装置にも適用できることは言うまでもない。
【0013】
まず、ICデバイスの試験装置について説明する前に、ICデバイスを搬送するテストボードの一例を図2及び図3に示す。而して、図2において、1はテストボードを示し、このテストボード1には多数(図2に示した例では4×16=64)のソケット2が装着されるソケット設置用開口1aが4列にわたって形成されている。また、このテストボード1の周囲には外周枠部1bとして所定幅のマージンが形成される。この外周枠部1bには上下2箇所の各位置に位置決め孔3,3が板厚方向に貫通するように穿設されている。ソケット2は、図3に示したように、テストボード1のソケット設置用開口1aに設けた支軸4,4に支持されており、この支軸4にはストッパ部4aが連設されており、ソケット2はテストボード1の表面に当接する位置とストッパ部4aに当接する位置との間において、テストボード1の板厚方向に僅かな距離だけ移動可能となっている。
【0014】
ソケット2には、図示は省略するが、ICデバイス5(以下、単にデバイス5という)を位置決めする位置決め壁が設けられると共に、そのパッケージ部をクランプするクランプ爪6が2箇所設けられており、このクランプ爪6は軸7を中心として回動可能となっている。クランプ爪6にはデバイス5のパッケージ部を押えるデバイス押え部6aと、このデバイス押え部6aをデバイス5から離間する方向に押動する解除用押動部6bとを備えており、このクランプ爪6において、これらデバイス押え部6aと解除用押動部6bとの間の位置が軸7に上下方向に揺動可能に支持されている。そして、クランプ爪6にはばね8が作用しており、このばね8によってデバイス押え部6aはデバイス5をクランプする方向に付勢される。従って、デバイス5はクランプ爪6によりクランプされると、テストボード1を垂直にしても、また表裏を反転させても、デバイス5が位置ずれすることなく、所定の位置に安定的に保持される。
【0015】
ここで、テストボード1は、デバイス5の電気的特性の試験を行う際に、試験装置内において、多数のデバイス5を所定の位置に位置決めした状態で搬送し、またICテスタのテストヘッドにデバイス5を接離するための機能を発揮するデバイスキャリア手段を構成するものである。一方、この装置の外では、デバイス5は所定の治具に整列した状態にして設置される。この治具としては、通常平板状の部材に縦横に短いピッチ間隔をもってデバイス5を収容する凹部を形成したトレーが用いられる。ここで、トレーは単にデバイス5を整列状態にしてできるだけ多数収容するものであり、その凹部内ではデバイス5を格別位置決めしない点で、前述したクランプ爪6によりデバイス5を正確に位置決めした状態に保持するように構成したテストボード1とは異なる部材である。
【0016】
以上の構成を有するテストボード1に載置したデバイス5の電気的特性の試験・測定を行うICデバイスの試験装置を図1に基づいて説明する。同図において、10はローダ部,11はプリヒート部,12は試験・測定部,13はデフロスタ部,14はアンローダ部である。ローダ部10には試験すべきデバイス5を多数設置したトレー15が複数列段積み状態にして設置されており、これらトレー15からデバイス5を取り出して、テストボード1における各ソケット2に載置される。また、アンローダ部14では試験が終了したデバイス5がテストボード1から取り出されて、試験結果に基づいて分類分けした状態にしてトレー16に移載される。ここで、ローダ部10に設置されるトレー15と、アンローダ部14に設置されるトレー16とは、トレーそのものの構造が異なるものであっても、また同じ構造的のもので構成しても良い。要するに、ローダ部10ではデバイス5が予め収容されたトレーが、またアンローダ部14では空のトレーがセットされる。
【0017】
前述したICデバイスの試験装置においてはデバイス5を所定の温度状態にして、その電気的特性の試験・測定を行うようにしている。このために、プリヒート部11及び試験・測定部12はテストヘッド17が臨んでおり、このテストヘッド17にはテストボード1を2段で接離させるコンタクト機構18が配置されている。また、試験・測定部12は恒温槽19内に設けられ、この恒温槽19は、デバイス5を例えば100℃乃至それ以上にまで加熱したり、また−50℃乃至それ以下にまで冷却した状態で試験することができるようになっている。なお、この範囲内における中温域であっても、恒温槽により温度管理を行えば、全てのデバイス5を実質的に同じ温度条件で試験される。また、デフロスタ部13は、試験温度と外気温度との中間の温度状態に保持したチャンバである。
【0018】
テストボード1は、この試験装置において、デバイス5を搬送するための手段であって、テストボード1は、図1に矢印で示したように、ローダ部10からプリヒート部11,試験・測定部12及びデフロスタ部13を経てアンローダ部14に移行し、さらにアンローダ部14でのアンロード作業が終了した後には、ローダ部10に帰還する。従って、テストボード1は装置内を循環する。また、テストボード1の姿勢は、ローダ部10及びアンローダ部14では水平状態となり、またプリヒート部11から試験・測定部12を経てデフロスタ部13に至るまでの間は垂直状態にして搬送される。ロード作業、つまりデバイス5をトレー15からテストボード1に移載する作業を行うローダ部10と、アンロード作業、つまり試験終了後のデバイス5を分類分けしてトレー16に収容させる作業を行うアンローダ部14では、テストボード1がトレー15,16と概略同じ高さ位置に配置される。
【0019】
ロード作業及びアンロード作業を行う時にテストボード1が位置する水平面をHとした時に、プリヒート部11はこの水平面Hより上部に位置し、またデフロスタ部13はこの水平面Hより下部に位置している。また、試験・測定部12では、2枚のテストボード1が同時にテストヘッド17のコンタクト機構18と接離されるようになっており、この2枚のテストボード1,1は水平面Hを挟んで上下に配置されることになる。
【0020】
以上のことから、テストボード1の移動軌跡としては、ローダ部10では水平面Hの高さ位置で水平状態に保持され、プリヒート部11に移行する際に、垂直状態に姿勢変更がなされた上で、水平面Hより高い位置にまで上昇する。2枚のテストボード1,1を同時に試験・測定を行うことから、試験・測定部12に移行した後には、水平面Hの上部位置から下部位置に下降し、さらに水平面Hより下部位置に保持してデフロスタ部13に移行し、このデフロスタ部13からアンローダ部14に移行する際に、垂直状態から水平状態に姿勢変更がなされると共に、概略水平面Hの高さ位置に戻されることになる。
【0021】
テストボードの姿勢変更装置は、ローダ部10からプリヒート部11への移行部と、デフロスタ部13からアンローダ部14への移行部に設けられる。そこで、図4乃至図7にローダ部10からプリヒート部11への移行部に設けられるテストボードの姿勢変更装置について説明する。
【0022】
まず、図4において、20はテストボード1を水平状態から垂直状態に90°反転させるためのボード反転ユニットであり、また21はリフタである。さらに、22は水平搬送ベルト、23は押し込みシリンダである。水平搬送ベルト22はローダ部10からテストボード1を搬出するための搬送手段であり、この水平搬送ベルト22により搬送されたテストボード1は、さらに押し込みシリンダ23によりボード反転ユニット20に収納させるようにしている。
【0023】
ボード反転ユニット20は、図4に加えて、図5及び図6にも示したように、支持部材として、左右の支持板体24,24を有し、これら両支持板24,24は、架橋部材24aによりその間隔が一定になるように保持されている。両支持板体24には相対向するようにして複数のガイドローラ25が回転自在に装着されており、これら各ガイドローラ25は水平搬送ベルト22による搬送面と概略同じ平面に列設されており、ガイドローラ25によりテストボード1が走行する図6に矢印で示したボード通路26が形成される。このボード通路26において、搬送ベルト22に対面する側がテストボード1が搬入される入口部26aであり、その反対側の端部がテストボード1を搬出する出口部26bである。
【0024】
ガイドローラ25に対して、テストボード1の厚み寸法より僅かに広い間隔だけ離れた上方位置には、倒れ防止ローラ27が回転自在に設けられている。押し込みシリンダ23によりテストボード1がボード反転ユニット20内に送り込まれると、このテストボード1は、その外周枠部1bの左右の側面部がガイドローラ25により受承される。また、ボード反転ユニット20におけるテストボード1の送り方向の前方位置、つまり出口部26bから所定の距離だけ離れた位置には、オーバーランを防止するためのストッパ用シリンダ28が対向配設されて、テストボード1がボード反転ユニット20から飛び出さないように保持される。ストッパ用シリンダ28はエアシリンダからなり、テストボード1を弾性的に当接させるストッパを構成するものであって、このストッパ用シリンダ28のロッドにはストッパ本体28aが取り付けられている。このストッパ本体28aは、好ましくは弾性部材からなり、最伸長位置ではボード反転ユニット20におけるボード通路26の入口部26aからテストボード1の長さ寸法より所定の寸法だけ離れた位置に配置される。
【0025】
ボード反転ユニット20における左右の支持板体24には張り出し部24bが連設されており、これら両張り出し部24b,24bには反転軸29が連結して設けられている。そして、反転軸29には作動板30が取り付けられており、この作動板30には長孔30aが穿設されており、押動軸31の先端に設けた駆動ピン31aが長孔30aに係合しており、この押動軸31を図4の矢印方向に回動変位させると、ボード反転ユニット20は、図7に示したように、鉛直状態となるように反転する。この結果、ボード反転ユニット20内に受け入れたテストボード1が水平状態から垂直状態に姿勢変更がなされる。従って、反転軸29,作動板30,押動軸31等で反転駆動部材が構成される。
【0026】
ここで、ボード反転ユニット20は、テストボード1を受け入れる際には、ボード通路26の入口部26aが開放されていなければならない。一方、反転時には入口部26aが下方に向くようになるので、開放状態に保たれていると、反転時にテストボード1が脱落してしまう。このために、ボード反転ユニット20のボード通路26における入口部26aには開閉可能なシャッタ板32を備えている。シャッタ板32の先端は概略90°曲折した曲折部32aとなっており、このシャッタ板32は板状のレバー33に連結されている。レバー33の中間位置は一方の支持板体24に軸支部34におり揺動可能に支持されており、他端には駆動用シリンダ35が連結されている。従って、駆動用シリンダ35を作動させることによって、シャッタ板32は、ボード反転ユニット20の受入側を開放して、テストボード1を受け入れる状態(図4に示した状態)と、この受入側を閉鎖して、反転時に受け入れたテストボード1が脱落しないように保持する作動状態(図7の状態)とに変位できるようになっている。これによって、ボード反転ユニット20内のテストボード1は、その一側側面がガイドローラ25により、また他側側面はこのガイドローラ25に対してテストボード1の厚み寸法より僅かに広い間隔だけ離れた位置に設けた倒れ防止ローラ27と、シャッタ板32及びこのシャッタ板32の曲折部32aが倒れ防止ローラ27への当接面側に回り込むことから、テストボード1は確実に垂直状態に保持される。
【0027】
しかも、テストボード1を受け入れた後に、シャッタ板32を作動状態に変位させる際に、受け入れたテストボード1と干渉しないようにするために、ストッパ用シリンダ28に当接して、テストボード1が停止する位置は、シャッタ板32の移動軌跡より前方位置とする。また、ボード反転ユニット20が反転する際には、ストッパ用シリンダ28が縮小することによって、この反転動作を支障なく行うことができる。
【0028】
ボード反転ユニット20によりテストボード1が反転して垂直状態になった時には、水平面Hの下方に位置するようになる。一方、恒温槽19内におけるプリヒート部11は水平面Hより上方に位置している。そこで、テストボード1をこのプリヒート部11の位置まで押し上げることになる。この作業はリフタ21により行われる。リフタ21は押し上げシリンダ36のロッド36aに連結されており、この押し上げシリンダ36のロッド36aを伸長させると、テストボード1がボード反転ユニット20から取り出されて、プリヒート部11に移行する。なお、リフタ21はテストボード1に対して、シャッタ板32が当接している位置とは異なる位置に当接することになる。プリヒート部11は恒温槽19に設けられており、リフタ21により押し上げられたテストボード1をプリヒート部11に送り込むために、例えばピッチ送り手段等が設けられる。
【0029】
次に、テストボード1の反転動作について説明する。まず、ボード反転ユニット20におけるボード通路26を水平状態とする。また、ストッパ用シリンダ28におけるストッパ本体28aを突出させる。さらに、シャッタ板32はボード通路26の入口部26aを開放する状態に保持しておく。テストボード1が水平搬送ベルト22によって所定の位置まで搬送されると、ボード反転ユニット20におけるボード通路26は水平搬送ベルト22の搬送経路の延長線上に位置する。そこで、押し込みシリンダ23を作動させて、テストボード1を水平搬送ベルト22からボード反転ユニット20に移行させる。このボード反転ユニット20にはガイドローラ25が設けられており、テストボード1がボード通路26を走行する際には、テストボード1の外周枠部1bがガイドローラ25にガイドされ、テストボード1の進行に応じてガイドローラ25が転動するから、テストボード1はボード通路26内に円滑に移行することになる。しかも、ガイドローラ25のテストボード1への接触位置は、その外周枠部1bであり、ソケット2が設置される部位とは非接触状態に保持される。
【0030】
ボード通路26における入口部26aから進行したテストボード1は、その先端部が出口部26bを通過して、ストッパ本体28aに当接する位置にまで移動する。これによって、テストボード1の基端部は入口部26aより奥の位置に配置される。ストッパ本体28aはエアシリンダからなるストッパ用シリンダ28に連結されているので、テストボード1がストッパ本体28aに押し付けられたとしても、エアのクッション作用によりテストボード1に荷重が作用するのを防止できる。また、ストッパ本体28aをゴム等の弾性体から構成すれば、さらにテストボード1の保護が図られる。
【0031】
テストボード1がボード通路26内で所定距離だけオーバーランした位置にまで移動した状態で、押し込みシリンダ23を戻し、かつストッパ用シリンダ28を縮小させる。この状態で、駆動用シリンダ35を作動させることによって、シャッタ板32をボード通路26の入口部26aを閉鎖する位置に変位させる。この時に、テストボード1はボード通路26内でオーバーラン状態となっているので、シャッタ板32が変位した時に、テストボード1と衝突することはない。従って、ボード通路26内でのテストボード1の停止位置は、シャッタ板32の作動時に、その基端部と干渉しない位置とするが、このオーバーラン量をあまり大きくしないようにする。
【0032】
シャッタ板32でボード通路26の入口部26aが閉鎖されると、押動軸31を押動することによって、作動板30を回動させる。これによって、反転軸29が反転するから、水平状態となっていたボード反転ユニット20は90°下方に回動することになる結果、テストボード1が垂直状態に姿勢が変換される。この時には、ボード通路26内でオーバーラン状態にあるテストボード1はシャッタ板32と当接する位置まで下降することになる。テストボード1は、複数のガイドローラ25と倒れ防止ローラ27との間に位置し、またシャッタ板32の曲折部32aが倒れ防止ローラ27側に回り込むようになるので、その間の間隔をテストボード1の厚みより僅かに大きい寸法としておくことによって、テストボード1はほぼ鉛直状態で安定的に保持される。
【0033】
そこで、押し上げシリンダ36を作動させて、リフタ21を上昇させることによって、図7に仮想線で示したように、テストボード1をボード反転ユニット20から離脱させて、ピッチ送り手段等を備えたプリヒート部11への搬送経路に移行させることができる。これによって、ローダ部10側の水平搬送経路からプリヒート部11側における垂直搬送経路への移行を、テストボード1に格別の荷重等の外力を作用させる必要がなく、安定した状態で円滑かつ確実に行わせることができる。
【0034】
以上の構成を有するボード反転ユニット20は、テストボード1を垂直状態から水平状態に姿勢を変更するためにも用いることができる。この場合には、図7に示したように、ボード反転ユニット20が鉛直状態になった時に、テストボード1を受け入れ、図4に示されている状態でテストボード1が90°反転した状態で送り出される。ここで、テストボード1を水平状態から垂直状態にする場合の出口部26bがこの場合の入口部となる。また、テストボード1の出口部は、入口部26aとすることもでき、この場合にはシャッタ板32を装着する。そして、垂直状態でのテストボード1の入口側から取り出すようにすることもできる。この場合には、シャッタ板は必ずしも開閉可能とする必要はない。また、垂直状態での入口側には、テストボード1を正確にボード反転ユニット20のボード通路26内に入り込ませるための呼び込み部を設けるのが望ましい。また、リフタ21に相当する部材がボード反転ユニット20へのテストボード1の搬入手段となり、また押し込みシリンダ23に相当する部材がテストボード1の搬出手段として機能することになる。
【0035】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したので、テストボードに格別の外力を作用させることなく、安定した状態で円滑かつ確実にその姿勢を変更させることができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のテストボードの姿勢変更装置が設けられるICデバイスの試験装置を示す全体構成図である。
【図2】テストボードの平面図である。
【図3】図2のX−X断面図である。
【図4】テストボードの姿勢変更装置の構成説明図である。
【図5】図4の平面図である。
【図6】テストボードの姿勢変更装置の外観斜視図である。
【図7】図4とは異なる作動状態を示すテストボードの姿勢変更装置の作動説明図である。
【符号の説明】
1 テストボード 1a ソケット設置用開口
1b 外周枠部 2 ソケット
5 ICデバイス 20 ボード反転ユニット
21 リフタ 22 水平搬送ベルト
23 押し込みシリンダ 24 支持板体
25 ガイドローラ 26 ボード通路
26a 入口部 26b 出口部
27 倒れ防止ローラ 28 ストッパ用シリンダ
28a ストッパ本体 29 反転軸
30 作動板 31 押動軸
32 シャッタ板 32a 曲折部
33 レバー 34 軸支部
35 駆動用シリンダ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is installed in an IC device test apparatus for testing / measuring the electrical characteristics of an IC device (integrated circuit element), and converts the posture of a test board on which many IC devices are mounted. It is related with the attitude | position change apparatus of a test board.
[0002]
[Prior art]
An apparatus for testing / measuring the electrical characteristics of an IC device includes an IC tester and an IC handler, and the IC handler includes a loader unit, a test / measurement unit, and an unloader unit. In the loader section, a large number of IC devices are installed in a device storage jig such as a tray, and a predetermined number of IC devices are transferred to a test board suitable for testing and measuring with appropriate handling means. The test board is transported to the test / measurement unit. The test / measurement unit is provided with contact / separation means for positioning the test board and contacting / separating the test board with the test head of the IC tester. Accordingly, the IC device is connected to the socket of the test head while being placed on the test board transported to the test / measurement unit, and the electrical characteristics are tested / measured by energizing the IC device. After the test on the IC device is completed, the test board is transported to the unloader unit, and the IC devices are classified and stored in a tray or the like based on the test result.
[0003]
In order to efficiently test an IC device, each IC device is connected to the IC tester at the same time while a large number of IC devices are placed on the test board. In general, a loader unit, a test / measurement unit, and an unloader unit are arranged on the horizontal conveyance path. In other words, after the IC device to be tested by the loader unit is transferred to the test board, the test board is transported horizontally to be sent to the test / measurement unit, and the test board is positioned at a predetermined position. The tester is connected to the test head, and after the test is completed, the process moves to the unloader section along the horizontal conveyance path and the unloading work is performed. Therefore, the IC tester is arranged at the upper or lower position of the horizontal conveyance path for conveying the test board, and each IC device placed on the test board is placed in the socket of the test head depending on whether the test board is pushed up or lowered. It comes to connect.
[0004]
However, if the IC tester and the transfer surface of the test board on the horizontal transfer path in the IC handler are arranged above and below, the overall height of the apparatus becomes large. In recent years, various IC device packaging methods and sizes have been used, and the IC device test apparatus is configured to test several types or sizes of IC devices. It is common. Therefore, when testing different IC devices, some members constituting the apparatus must be replaced. As for the IC tester, some members such as an interface board in the test head are exchanged. However, if the IC tester is arranged at a high place, it is difficult to change the test head. In particular, since the replacement member is quite heavy, the higher the position of the IC tester, the more difficult the setup change operation. Further, when the transport surface of the test board is disposed on the upper part of the IC tester, the lower side of the test board must be connected to the test head of the IC tester. For this reason, it is impossible to directly contact the leads of the IC device. Therefore, the test board has a complicated structure such that an electrode for connecting to the contact portion of the test head must be provided on the test board. In addition, it is conceivable to invert the test board and connect it to the test head, but in that case, loading and unloading operations, that is, setting the tray on which the IC device to be tested is placed in the loader unit, the unloader unit performs the test. There is a problem in that it is troublesome to take out the tray in which the finished IC device is stored.
[0005]
In consideration of the above points, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-152466, the test board is transported to the test / measurement unit in a vertical state, and the test board is unloaded from the test / measurement unit. The composition is shown. Accordingly, the test board can be brought into and out of contact with the test head of the IC tester while the test board is kept in a vertical state. If comprised in this way, an IC tester and the conveyance surface of a test board can be arrange | positioned in the substantially same height position. Here, in this test apparatus according to the prior art, each IC device mounted on the test board is heated to the set temperature in the front stage of the test / measurement unit because of the relationship of testing the IC device under a predetermined temperature condition. Alternatively, a preheating portion for cooling is provided, and a defroster portion for returning the temperature of the IC device and the test board to a state close to the outside air temperature is provided after the test / measurement portion.
[0006]
By configuring in this way, that is, by placing the IC tester at substantially the same height as the IC handler, a setup change operation when testing different types of IC devices, a tray setting and removal operation, Furthermore, maintenance work for the entire apparatus can be easily performed.
[0007]
Here, in the loader unit, an IC device to be tested is transferred from the tray or the like to the test board, and in the unloader unit, the tested IC device must be transferred from the test board to the tray or the like. Since this operation is normally performed by handling means for vacuum-sucking the package portion of the IC device, the test board needs to be in a horizontal state. For this reason, in the above-described known test apparatus, the loader unit and the unloader unit are arranged above the vertical conveyance path of the test board, and the test board is loaded before the test board is loaded from the loader unit to the preheat unit. Is rotated from the horizontal state to the vertical state to reverse the posture, and after the test board is carried out from the defroster unit, the vertical state is returned to the horizontal state. As means for changing the posture of the test board, there is provided a chuck means for chucking the end of the test board, a reversing shaft is connected to the chuck means, and the reversing shaft is reciprocally rotated 90 ° by a rotary cylinder. It is said.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, since the test board has as many IC devices as possible mounted thereon, most part of the test board is used as the IC device mounting portion, and the width of the peripheral margin is made as small as possible. Of course, the chuck means needs to chuck the margin portion so that the chuck means does not come into contact with the IC device mounting portion. Therefore, the area of the contact portion of the chuck means with respect to the test board is extremely small. Become. As a result, the chuck of the test board by the chuck means becomes unstable, and the test board may be removed during the reversing operation. In particular, a large test board is used to increase the number of IC devices placed on the test board, and the IC devices are tested and measured in a heated or cooled state while placed on the test board. In order to suppress heat loss, when the test board is made as thin as possible, the test board is easily deformed. Accordingly, when the test board is cantilevered by the chuck means and reversed, the balance becomes extremely poor and the stability is further lowered. In addition, in order to stabilize the test board, it is possible to sandwich the test board from the left and right using a pair of chuck means, but when an external force is applied to the test board in this way, a thin test board is formed. There is a possibility of deformation.
[0009]
The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to change the posture smoothly and surely in a stable state without applying a special external force to the test board. There is to be able to do it.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, the present invention is an apparatus for changing a posture of a test board on which a predetermined number of IC devices are installed between a horizontal state and a vertical state, and a pair of left and right support members By mounting a plurality of guide rollers rotatably on the opposite surfaces of the test board, one side is an entrance part for carrying in the test board, and the other side is an exit part for carrying out the test board. A reversing unit that forms a board passage through which the test board is inserted, is disposed at a position spaced apart from the guide roller by substantially the thickness of the test board, and includes a fall prevention roller for the test board, and the support member And a reversing drive member for reversing and driving the board path of the reversing unit between a horizontal position and a vertical position. Inlet of the board path and that it has a structure comprising a shutter member for opening and closing at least one of the outlet and its features.
[0011]
Here, there are a case where the posture of the test board is changed from the horizontal state to the vertical state and a case where the posture is changed from the vertical state to the horizontal state by the reversing unit described above. When the posture is changed from the horizontal state to the vertical state, the shutter member is provided on the entrance side of the board passage, and the fall prevention roller is disposed in the vicinity of the exit portion of the board passage. The shutter member is configured to bend so as to face the surface of the test board opposite to the contact portion with the guide roller when the board passage entrance is closed, and the reversing unit is in a vertical state. A lifter that pushes up the test board located in the board passage is provided at a lower position at that time. Further, a stopper is provided for elastically contacting the test board at an extended line position of the exit portion of the board passage when the reversing unit is in a horizontal state, and when the test board is fed into the board passage, the entrance portion It is desirable to make contact with this stopper at a position passing through the stopper, and it is more desirable that the stopper be made of an air cylinder.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the embodiment described below, the IC device test apparatus shown in FIG. 1 is provided, and the test board on which a large number of IC devices are mounted is changed from the horizontal state to the vertical state and from the vertical state to the horizontal state. Although what is changed is illustrated, it is needless to say that the posture changing device of the test board of the present invention can be applied to other devices.
[0013]
First, before describing an IC device test apparatus, an example of a test board for transporting an IC device is shown in FIGS. Thus, in FIG. 2,
[0014]
Although not shown, the
[0015]
Here, when testing the electrical characteristics of the
[0016]
An IC device test apparatus for testing and measuring the electrical characteristics of the
[0017]
In the IC device test apparatus described above, the
[0018]
The
[0019]
When the horizontal plane on which the
[0020]
From the above, as the movement trajectory of the
[0021]
The test board posture changing device is provided in a transition part from the
[0022]
First, in FIG. 4, 20 is a board reversing unit for reversing the
[0023]
As shown in FIG. 5 and FIG. 6 in addition to FIG. 4, the
[0024]
A
[0025]
The left and right
[0026]
Here, when the
[0027]
In addition, after the
[0028]
When the
[0029]
Next, the inversion operation of the
[0030]
The
[0031]
In a state where the
[0032]
When the
[0033]
Therefore, by operating the push-up
[0034]
The
[0035]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, there is an effect that the posture can be changed smoothly and surely in a stable state without applying a special external force to the test board.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an IC device test apparatus provided with a posture changing apparatus for a test board according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a test board.
3 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a configuration of a test board attitude changing device;
FIG. 5 is a plan view of FIG. 4;
FIG. 6 is an external perspective view of a posture changing device for a test board.
7 is an operation explanatory diagram of a test board posture changing device showing an operation state different from that in FIG. 4; FIG.
[Explanation of symbols]
1
5
21
23
25
27 Roll-over
30
32
33
35 Cylinder for driving
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