KR0110049Y1 - Metal tray transferring apparatus of semiconductor device inspector - Google Patents
Metal tray transferring apparatus of semiconductor device inspectorInfo
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Abstract
본 고안은 반도체 소자검사기의 테스트 싸이트(site)에서 인출되는 금속트레이를 재사용하기 위해 소자공급부로 순차 이송시키는 금속트레이 이송장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 테스트 싸이트에서 인출되는 고온의 금속트레이를 냉각시킨 상태에서 공급레일상으로 로딩함에 따라 이를 소자공급부로 이송시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a metal tray feeder which sequentially transfers a metal tray drawn out from a test site of a semiconductor device inspector to a device supply unit, and more specifically, a high temperature metal tray drawn out from a test site. As it is loaded onto the supply rail in the cooled state, it can be transferred to the device supply unit.
이를 위해, 본 고안은 테스트 싸이트(1)에서 인출된 금속트레이(5)를 소자공급부로 이송시키도록 된 것에 있어서, 테스트 싸이트(1)의 측벽에 가이드레일(2)을 설치하여 상기 가이드레일에 제1실린더(3)의 구동에 따라 이송되는 제1슬라이더(4)를 끼움과 동시에 상기 제1슬라이더의 상면에는 시계방향으로만 회동되어 금속트레이(5)의 측면을 홀딩하는 제1래치(6)를 스프링(7)으로 탄력 설치하고 히팅챔버(8)측에 설치되는 엘리베이터의 직상부에는 수평실린더(9)의 구동에 따라 이동되는 제2슬라이더(10)를 설치함과 동시에 상기 제2슬라이더의 상면에는 금속트레이(5)의 하부를 홀딩하는 제2래치(11)를 스프링(12)으로 탄력 설치하여서 된 것이다.To this end, the present invention is to transfer the metal tray (5) drawn from the test site (1) to the element supply unit, by installing a guide rail (2) on the side wall of the test site (1) to the guide rail The first latch 6 for holding the side of the metal tray 5 by inserting the first slider 4 conveyed according to the driving of the first cylinder 3 and rotating only in the clockwise direction on the upper surface of the first slider 6. ) Is installed elastically with a spring (7) and the second slider (10) which is moved in accordance with the driving of the horizontal cylinder (9) is installed on the upper part of the elevator installed on the heating chamber (8) and the second slider The upper surface of the second latch 11 for holding the lower portion of the metal tray (5) is to be elastically installed by the spring (12).
Description
제1도는 본 고안 장치의 제1이송부를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a first conveying part of the device.
제2도는 제1슬라이더의 제1래치구조를 나타낸 평면도.2 is a plan view showing a first latch structure of the first slider.
제3도는 제1이송부의 작동상태를 설명하기 위한 평면도로써3 is a plan view for explaining the operating state of the first transfer unit;
(a)는 테스트 사이트의 출구를 통해 금속트레이가 인출된 상태도.(a) is a state in which the metal tray is drawn out through the exit of the test site.
(b)는 제1슬라이더의 제1래치가 금속트레이를 홀딩한 상태도.(b) is a state in which the first latch of the first slider holds the metal tray.
제4도는 제2이송부의 작동상태를 설명하기 위한 평면도로써, (a)는 제1슬라이더에 의해 금속트레이가 1차 이송된 상태도, (b)는 제2슬라이더의 제2래치가 1차 이송된 금속트레이를 홀딩한 상태도.4 is a plan view for explaining the operating state of the second transfer unit, (a) is a state in which the metal tray is first conveyed by the first slider, (b) is a second latch of the second slider is first conveyed Figure of holding a metal tray.
제5도는 제2슬라이더의 제2래치가 금속트레이를 홀딩하는 상태도로써, (a)는 홀딩하기 직전의 상태도, (b)는 제2래치가 금속트레이의 하부를 홀딩한 상태도.5 is a state diagram in which the second latch of the second slider holds the metal tray, (a) is a state immediately before holding, and (b) is a state in which the second latch is holding the lower portion of the metal tray.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 테스트 싸이트 2 : 가이드레일1: test site 2: guide rail
3 : 제1실린더 4 : 제1슬라이더3: first cylinder 4: first slider
5 : 금속트레이 6 : 제1래치5: metal tray 6: first latch
8 : 히팅챔버 9 : 수평실린더8: heating chamber 9: horizontal cylinder
10 : 제2슬라이더 11 : 제2래치10: second slider 11: second latch
13 : 스토퍼13: stopper
본 고안은 반도체 소자검사기의 테스트 싸이트(site)에서 인출되는 금속트레이를 재사용하기 위해 소자공급부로 순차 이송시키는 금속트레이 이송장치에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 테스트 싸이트에서 인출되는 고온의 금속트레이를 냉각시킨 상태에서 공급레일상으로 로딩함에 따라 이를 소자공급부로 이송시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a metal tray feeder which sequentially transfers a metal tray drawn out from a test site of a semiconductor device inspector to a device supply unit, and more specifically, a hot metal tray drawn out from a test site. As it is loaded onto the supply rail in a cooled state, it can be transferred to the device supply unit.
일반적으로 SOP, QFP타입의 소자를 생산 완료하여 성능을 검사하는 검사기에서는 소자가 담긴 금속트레이를 히팅챔버내에서 테스트조건에 알맞은 온도로 히팅한 상태에서 테스트 싸이트내로 이송하여 상기 테스트 싸이트내에서 각각의 소자를 성능 검사를 하게 된다.In general, the inspector that produces the SOP and QFP type devices and checks the performance, transfers the metal tray containing the devices to the test site in the heating chamber at the temperature suitable for the test conditions and transfers them to the test site. The device is tested for performance.
이와 같이 테스트 싸이트에서 소자의 성능 검사를 완료하고 난 다음에는 소자가 담겨진 금속트레이를 테스트 싸이트의 외부로 인출시켜 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 합성수지제의 트레이에 담는다.After completing the performance test of the device in the test site as described above, the metal tray containing the device is taken out of the test site, and the device is classified according to the test result and placed in a tray made of resin.
이러한 검사기에서는 고온의 테스트 싸이트에서 인출된 금속트레이를 냉각시켜야만 검사전의 소자를 금속 트레이내에 로딩하여 재사용하게 된다.In such an inspector, the metal tray drawn out from the hot test site must be cooled before the device can be loaded into the metal tray and reused.
그러나 종래의 검사기는 테스트 싸이트에서 인출되는 금속 트레이를 냉각시키기 위한 시간이 지연되었으므로 테스트 싸이트에서 인출된 금속 트레이를 재사용하지 않고 별도의 적재편에 언로딩하여 냉각시켰고, 테스트 사이트에서 인출되지 않은 금속트레이(가열되지 않은 금속트레이)를 또 다른 적재편에 적재하여 놓고 상기 적재편에 적재된 금속트레이를 차례로 분리하여 테스트하기 위한 소자를 로딩시켰다.However, the conventional inspection machine delayed the time for cooling the metal tray withdrawn from the test site, so the metal tray withdrawn from the test site was unloaded and cooled on a separate stack without reuse, and the metal tray was not withdrawn from the test site. (Unheated metal tray) was loaded on another stack, and the device for testing by separating and testing the metal tray loaded on the stack was sequentially loaded.
이에 따라 금속트레이를 소자공급부로 이송시키기 위한 구조가 복잡하였을 뿐만 아니라 적재편에 적재된 금속트레이를 전부 사용하고 난 다음에는 작업자가 적재편내에 금속트레이를 다시 적재시켜 주어야만 되었으므로 작업능률이 저하되는 문제점이 있었다.As a result, not only the structure for transferring the metal tray to the element supply part is complicated, but also the worker has to reload the metal tray in the loading piece after using all the metal trays loaded on the loading piece. There was this.
본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 테스트 싸이트에서 인출되는 금속트레이를 일정장소에서 냉각시킨 다음 공급레일상으로 공급함에 따라 소자공급부로 이송시켜 재사용할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 테스트 싸이트에서 인출된 금속트레이를 소자공급부로 이송시키도록 된 것에 있어서, 테스트 싸이트의 측벽에 가이드레일을 설치하여 상기 가이드레일에 제1실린더의 구동에 따라 이송되는 제1슬라이더를 끼움과 동시에 상기 제1슬라이더의 상면에는 시계방향으로만 회동되어 금속트레이의 측면을 홀딩하는 제1래치를 스프링으로 탄력 설치하고 히팅챔버측에 설치되는 엘리베이터의 직상부에는 수평실린더의 구동에 따라 이동되는 제2슬라이더를 설치함과 동시에 상기 제2슬라이더의 상면에는 금속트레이의 하부를 홀딩하는 제2래치를 스프링으로 탄력 설치하여서 된 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치가 제공된다.The present invention was devised to solve such a problem in the related art, and the metal tray drawn out from the test site is cooled at a predetermined place and then supplied to the supply rail to be reused by being transferred to the element supply unit. There is this. According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in order to transfer the metal tray drawn from the test site to the element supply unit, by installing a guide rail on the side wall of the test site to drive the first cylinder to the guide rail At the same time as inserting the first slider transported in accordance with the first slider is rotated only in the clockwise direction to hold the side of the metal tray elastically installed with a spring and the upper part of the elevator installed on the heating chamber side The metal tray feeder of the semiconductor device inspector is provided with a second slider which is moved according to the driving of the horizontal cylinder and elastically installed with a spring on the upper surface of the second slider to hold the lower part of the metal tray. Is provided.
이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 내지 제5도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 5 of the accompanying drawings showing an embodiment as follows.
첨부도면 제1도는 본 고안장치의 제1이송부를 나타낸 사시도이고 제3도는 제1이송부의 작동상태를 설명하기 위한 평면도이고 제4도는 제2이송부의 작동상태를 설명하기 위한 평면도로써, 본 고안은 금속트레이(5)를 1차 이송시키는 제1차 이송부와 2차 이송시키는 제2차 이송부로 구성된다.1 is a perspective view showing a first conveying part of the device, and FIG. 3 is a plan view for explaining an operating state of the first conveying part, and FIG. 4 is a plan view for explaining an operating state of the second conveying part. It consists of a 1st conveyance part which conveys the metal tray 5 primaryly, and a 2nd conveyance part which conveys secondaryly.
테스트 싸이트(1)의 측벽에 가이드레일(2)이 설치되어 있고 상기 가이드레일에는 제1실린더(3)의 구동에 따라 이송되는 제1슬라이더(4)가 끼워져 있으며 상기 제1슬라이더의 상면에는 제1슬라이더의 이송시 금속트레이(5)의 측면에 걸리므로 인해 시계방향으로 회동하여 금속트레이의 측면을 홀딩하는 제1래치(6)가 스프링(7)으로 탄력설치되어 있다.The guide rail 2 is installed on the sidewall of the test site 1, and the guide rail is fitted with a first slider 4, which is conveyed according to the driving of the first cylinder 3, and is formed on the upper surface of the first slider. Since the first slide 6 is rotated in the clockwise direction to hold the side of the metal tray because of being caught by the side of the metal tray 5 during the transfer of one slider, the spring 7 is elastically installed.
그리고 히팅챔버(8)측에 설치되는 엘리베이터의 직상부에는 수평실린더(9)의 구동에 따라 이동되는 제2슬라이더(10)가 설치되어 있고 상기 제2슬라이더의 상면에는 금속트레이(5)의 하부를 홀딩하는 제2래치(11)가 스프링(12)으로 탄력 설치되어 있는데, 상기 제2래치(11)는 금속트레이(5)의 하부면을 홀딩한 상태에서는 일측면이 스토퍼(13)에 걸쳐 회동되지 않도록 되어 있다.In addition, a second slider 10 which is moved in accordance with the driving of the horizontal cylinder 9 is installed at an upper portion of the elevator installed on the heating chamber 8 side, and a lower portion of the metal tray 5 is disposed on the upper surface of the second slider. The second latch 11 for holding the spring is elastically installed by the spring 12, the second latch 11 in the state holding the lower surface of the metal tray 5, one side across the stopper 13 It is not to be rotated.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation, effects of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 테스트 싸이트(1)에서 인출된 금속트레이(5)가 냉각된 상태로 이송수단에 의해 공급레일(14)의 상부로 공급되면 제3도의 (a)에 도시한 바와 같이 도면상 좌측에 위치되어 있던 제1슬라이더(4)가 제1실린더(3)의 구동으로 가이드레일(2)에 안내되어 도면상 우측으로 이송된다.First, when the metal tray 5 drawn out from the test site 1 is supplied to the upper part of the supply rail 14 by the conveying means in a cooled state, it is located on the left side of the drawing as shown in FIG. The first slider 4, which has been guided, is guided to the guide rails 2 by the driving of the first cylinder 3 and is transferred to the right side in the drawing.
상기한 바와 같이 제1슬라이더(4)가 도면상 우측으로 이송되면 상기 제1슬라이드(4)의 상면에 설치된 제1래치(6)가 금속트레이(5)의 측면에 부딪혀 간섭을 일으키게 되지만, 상기 제1래치(6)는 제2도에 도시한 바와 같이 일단에 스프링(7)이 연결되어 있고 다른 일단은 스토퍼(15)에 지지되어 있으므로 상기 제1래치(6)가 스프링(7)을 인장시키면서 이점쇄선과 같이 시계방향으로 회동되므로 제1슬라이더(4)가 금속트레이(5)와의 간섭을 일으키지 않고 도면상 우측으로 이송 가능하게 된다.As described above, when the first slider 4 is moved to the right side in the drawing, the first latch 6 installed on the upper surface of the first slide 4 hits the side of the metal tray 5 to cause interference. As the first latch 6 has a spring 7 connected to one end and the other end supported by the stopper 15 as shown in FIG. 2, the first latch 6 tensions the spring 7. While being rotated in the clockwise direction like the two-dot chain line, the first slider 4 can be transported to the right side of the drawing without causing interference with the metal tray 5.
이와 같이 제1슬라이더(4)가 도면상 우측으로 이송되어 제1래치(6)가 금속트레이(5)의 측면에 형성된 요입홈(5a)내에 도달하면 스프링(7)을 인장시키면서 회동되었던 제1래치(6)가 스프링(7)의 복원력에 의해 초기 상태인 제2도의 실선과 같은 상대로 환원되어 요입홈(5a)내에 끼워져 금속트레이를 홀딩하게 된다.As such, when the first slider 4 is transferred to the right side in the drawing and the first latch 6 reaches the recessed groove 5a formed on the side of the metal tray 5, the first slider 4 is rotated while tensioning the spring 7. The latch 6 is reduced by a restoring force of the spring 7 to a counterpart as shown in the solid line of FIG. 2, which is initially in an initial state, and is fitted into the recess 5a to hold the metal tray.
즉, 제3도의 (b)와 같은 상태로 된다.That is, it will be in the state like FIG.3 (b).
상기 테스트 싸이트(1)에서 인출되어 공급레일(14)에 얹혀진 금속트레이(5)를 제1슬라이더(4)의 제1래치(6)가 홀딩하고 나면 제1실린더(3)가 구동하여 공급레일(14)에 얹혀진 금속트레이(5)가 히팅챔버(8)측으로 이송시킨 다음 구동을 중단하게 된다.After the first latch 6 of the first slider 4 holds the metal tray 5 drawn out from the test site 1 and placed on the supply rail 14, the first cylinder 3 is driven to supply the rail. The metal tray 5 mounted on the 14 is transferred to the heating chamber 8 side, and then the driving is stopped.
상기 제1실린더(3)의 이송범위내에서 제1슬라이더(4)가 이송된 제4도의 (a)와 같은 상태에서 수평실린더(9)의 좌측에 위치되어 있던 제2슬라이더(10)가 수평실린더의 구동으로 도면상 우측으로 이송되어 오면 제5도의 (a)와 같이 스프링(12)의 탄성력에 의해 시계방향으로 당김력을 받고 있던 제2래치(11)가 금속트레이(5)의 일면에 접속되어 스프링(12)을 일장시키면서 이점쇄선과 같이 회동되므로 제2래치(11)가 금속트레이(5)와 간섭을 일으키지 않게 된다.The second slider 10 located on the left side of the horizontal cylinder 9 is horizontal in the same state as in FIG. 4A in which the first slider 4 is transferred within the conveying range of the first cylinder 3. When the cylinder is transferred to the right side in the drawing, the second latch 11, which has been pulled in the clockwise direction by the elastic force of the spring 12 as shown in (a) of FIG. 5, is formed on one surface of the metal tray 5. The second latch 11 is not caused to interfere with the metal tray 5 because the spring 12 is connected and rotated like a double-dot chain line.
상기 제2래치(11)가 스프링(12)을 인장시키면서 회동된 다음 금속트레이의 하부를 통과되어 공간부내에 위치되면 제2래치(11)가 스프링(12)의 복원력에 의해 제5(b)와 같이 초기 상태로 환원되어 금속트레이의 하부에서 일측면을 홀딩하게 된다.When the second latch 11 is rotated while tensioning the spring 12 and then passed through the lower portion of the metal tray and positioned in the space part, the second latch 11 is moved to the fifth (b) by the restoring force of the spring 12. As it is reduced to the initial state as to hold one side at the bottom of the metal tray.
즉, 제4도의 (a)의 이점쇄선과 같은 상태가 된다.That is, it is in the same state as the dashed-dotted line shown in Fig. 4A.
이러한 상태에서 수평실린더(9)가 작동하여 제2슬라이더(10)를 도면상 좌측으로 이동시키면 제2래치(11)에 의해 일측 하부가 홀딩된 금속트레이(5)는 히팅챔버(8)의 하부에 설치된 엘리베이터의 직상부로 이송되는데, 상기한 바와 같은 동작시 제2래치(11)는 제2슬라이더(10)에 형성된 스토퍼(13)에 지지되어 시계방향으로 회동되지 않으므로 금속트레이(5)의 이송이 가능해 지게 되는 것이다.In this state, when the horizontal cylinder 9 is operated to move the second slider 10 to the left in the drawing, the metal tray 5 having one side lowered by the second latch 11 is lowered in the heating chamber 8. The second latch 11 is supported by the stopper 13 formed in the second slider 10 and is not rotated clockwise in the above operation. The transfer will be possible.
이상에서와 같이 본 고안은 히팅챔버와 테스트 싸이트의 일측으로 제1실린더와 수평실린더에 의해 수평이동하는 제1, 2슬라이더를 설치하고 상기 각 슬라이더에는 금속트레이를 홀딩하는 래치를 일방향으로만 회동되게 설치하여 테스트 싸이트를 통해 인출된 금속트레이를 히팅챔버의 일측으로 설치된 엘리베이터의 직상부로 이송시키게 되므로 별도의 금속 트레이를 엘리베이터의 상부에 로딩시킬 필요가 없게 되고, 이에 따라 검사기의 구조가 간단해지게 됨은 물론 생산성을 향상시키게 되는 효과를 얻게 된다.As described above, the present invention installs the first and second sliders horizontally moved by the first cylinder and the horizontal cylinder to one side of the heating chamber and the test site, and the latches holding the metal tray are rotated only in one direction on each slider. Since the metal tray drawn out through the test site is transferred to the upper part of the elevator installed to one side of the heating chamber, it is not necessary to load a separate metal tray on the upper part of the elevator, thereby simplifying the structure of the tester. In addition, the productivity will be improved.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940036207U KR0110049Y1 (en) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | Metal tray transferring apparatus of semiconductor device inspector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940036207U KR0110049Y1 (en) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | Metal tray transferring apparatus of semiconductor device inspector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024302U KR960024302U (en) | 1996-07-22 |
| KR0110049Y1 true KR0110049Y1 (en) | 1998-10-01 |
Family
ID=19403073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019940036207U KR0110049Y1 (en) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | Metal tray transferring apparatus of semiconductor device inspector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0110049Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100839320B1 (en) * | 2007-03-15 | 2008-06-17 | 대구광역시 | Nozzle for waterspout |
-
1994
- 1994-12-27 KR KR2019940036207U patent/KR0110049Y1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100839320B1 (en) * | 2007-03-15 | 2008-06-17 | 대구광역시 | Nozzle for waterspout |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960024302U (en) | 1996-07-22 |
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