KR200142275Y1 - Cassette transfer apparatus of module ic tester - Google Patents

Cassette transfer apparatus of module ic tester

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KR200142275Y1
KR200142275Y1 KR2019960008320U KR19960008320U KR200142275Y1 KR 200142275 Y1 KR200142275 Y1 KR 200142275Y1 KR 2019960008320 U KR2019960008320 U KR 2019960008320U KR 19960008320 U KR19960008320 U KR 19960008320U KR 200142275 Y1 KR200142275 Y1 KR 200142275Y1
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김두철
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정문술
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Abstract

본 고안은 모듈IC검사기의 카세트 수납, 인출장치에 관한 것으로써, 검사할 모듈IC가 담겨진 카세트 또는 검사완료된 모듈IC를 분류하여 담는 카세트를 모듈IC검사기의 로딩부 및 언로딩부에 차례로 공급할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a cassette storage and withdrawal device of a module IC inspector, so that a cassette containing a module IC to be inspected or a cassette containing classified module ICs to be inspected can be sequentially supplied to a loading part and an unloading part of a module IC inspector. It is.

이를 위해, 지지판(3)에 고정된 가이드봉(4)에 승강가능하게 결합되는 엘리베이터(5)와, 상기 엘리베이터를 단계별로 승,하강시키는 구동수단과, 상기 엘리베이터의 내부에 출몰가능하게 결합됨과 동시에 카세트(2)가 얹혀지는 복수개의 안착판(6)과, 상기 엘리베이터내에 수납된 안착판을 인출하거나, 수납하도록 지지판의 일측으로 위치된 설치판(14)에 진퇴가능하게 설치되는 슬라이더(15)와, 상기 안착판이 슬라이더에 록킹되도록 구비된 록킹수단과, 상기 구동수단의 동작으로 안착판이 슬라이더와 수평선상에 위치될 때 이를 검출하여 구동수단의 동작을 중단시키는 검출수단을 구비하여서 된 것이다.To this end, the elevator 5 is coupled to the guide rod (4) fixed to the support plate 3, the drive means for moving up and down the elevator step by step, and is coupled to the inside of the elevator At the same time, a plurality of seating plates 6 on which the cassettes 2 are placed, and a slider 15 removably mounted to the mounting plate 14 positioned to one side of the support plate to withdraw or receive the seating plates stored in the elevator. ), A locking means provided to lock the seating plate to the slider, and a detecting means for detecting when the seating plate is positioned on the slider and the horizontal line by the operation of the driving means to stop the operation of the driving means.

Description

모듈IC검사기의 카세트 수납, 인출장치Cassette storage and withdrawal device of module IC tester

제1도는 카세트내에 모듈IC가 수납되는 상태를 나타낸 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing a state in which the module IC is accommodated in the cassette.

제2도는 본 고안의 구성을 나타낸 정면도.2 is a front view showing the configuration of the present invention.

제3도는 제2도의 측면도.3 is a side view of FIG.

제4도는 제2도의 평면도.4 is a plan view of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

2 : 카세트 3 : 지지판2: cassette 3: support plate

4 : 가이드봉 5 : 엘리베이터4: guide rod 5: elevator

6 : 안착판 6a : 걸림돌기6: seating plate 6a: locking projection

10 : 리드스크류 14 : 설치판10: lead screw 14: mounting plate

15 : 슬라이더 16 : 가이드레일15: slider 16: guide rail

17 : 실린더 18 : 핑거17: cylinder 18: finger

19 : 검출편 20 : 센서19: detection piece 20: sensor

21 : 위치결정블럭21: Positioning Block

본 고안은 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치에 관한 것으로써, 검사할 모듈IC가 담겨진 카세트 또는 검사완료된 모듈IC를 분류하여 담는 카세트를 모듈IC검사기의 로딩부 및 언로딩부에 차례로 공급할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a cassette storage and withdrawal device of a module IC inspector, so that a cassette containing a module IC to be inspected or a cassette containing classified module ICs to be inspected can be sequentially supplied to a loading part and an unloading part of a module IC inspector. It is.

일반적으로 모듈IC란 기판의 일측면 또는 양측면에 복수개의 IC 및 부품을 납땜고정하여 독립적인 회로를 구성한 것으로써, 메인기판에 꽂아 기능을 확장시키는 역할 을 하는 것이다.In general, a module IC is composed of independent circuits by soldering and fixing a plurality of ICs and components on one side or both sides of a board, and serves to expand a function by being plugged into a main board.

이러한 모듈IC는 IC를 낱개로 판매하는 것보다 고부가 가치를 갖게되므로 IC생산업체에서 주력상품으로 개발하고 있다.Since these module ICs have higher added value than single ICs, IC makers are developing them as flagship products.

제조공정을 거쳐 생산된 모듈IC는 엄격한 품질검사를 실시한 다음 양품으로 분류된 제품만이 출하되고, 불량으로 판정된 모듈IC는 수정 또는 폐기처분된다.The module IC produced through the manufacturing process undergoes strict quality inspection, and only the products classified as good products are shipped, and the module IC determined to be defective is corrected or disposed of.

종래에는 생산완료된 모듈IC(1)를 소켓내에 자동으로 로딩하여 검사를 실시한 다음 카세트(2)내에 검사결과에 따라 언로딩하는 장비가 개발되지 않아 작업자가 검사를 하기 위한 모듈IC(1)를 카세트(2)에서 수작업에 의해 1개씩 분리하여 소켓내에 로딩한 다음 검사를 실시한 후 검사결과에 따라 언로딩 카세트내에 분류하여 모듈IC가 가득 채워지면 카세트를 적재시켜 놓아야 되었으므로 작업능률이 저하되었음은 물론 단순노동에 따를 지루함으로 인해 생산성의 저하를 초래하게 되었다.Conventionally, the module IC (1) for the production of the completed module IC (1) is automatically loaded into the socket for inspection and then unloaded in accordance with the test results in the cassette (2) has not been developed, the module IC (1) for the operator to inspect the cassette In (2), one by one was removed by hand and loaded into the socket, and then inspected. After sorting into the unloading cassette according to the test result, the cassette was loaded when the module IC was filled. Boredom led to a drop in productivity.

이에 본 출원인은 모듈IC를 테스터측으로 자동으로 로딩, 언로딩하는 검사기를 개발하기에 이르렀고, 이에 따라 모듈IC가 채워진 카세트와 빈카세트를 검사기의 로딩부 및 언로딩부에 자동으로 위치시킬 수 있는 장치를 부수적으로 구비하여야 장비의 완전자동화실현이 가능함을 깨달았다.Accordingly, the present applicant has developed a tester that automatically loads and unloads the module IC to the tester side. Accordingly, an apparatus capable of automatically placing a cassette and an empty cassette filled with the module IC can be automatically placed in the loading and unloading parts of the tester. We realized that full automation of the equipment is possible only with incidentals.

본 고안의 목적은 모듈IC를 자동으로 검사하는 검사기의 로딩부 및 언로딩부에 카세트를 자동으로 위치시킴과 동시에 모듈IC가 채워진 카세트내의 모듈IC를 검사기측으로 전부 로딩하고 나거나, 검사 완료된 모듈IC가 언로딩되고 나면 로딩부 및 언로딩부에 새로운 카세트를 계속적으로 위치시킬 수 있도록 하는데 있다.The purpose of the present invention is to automatically position the cassettes in the loading and unloading sections of the inspector that automatically inspects the module ICs, and at the same time load all the module ICs in the cassettes filled with the module ICs to the inspector side, Once unloaded, it is possible to continuously position new cassettes in the loading and unloading sections.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 지지판에 고정된 가이드봉에 승강가능하게 결합되는 엘리베이터와, 상기 엘리베이터를 단계별로 승,하강시키는 구동수단과, 상기 엘리베이터의 내부에 출몰가능하게 결합됨과 동시에 카세트가 얹혀지는 복수개의 안착판과, 상기 엘리베이터내에 수납된 안착판을 인출하거나, 수납하도록 지지판의 일측으로 고정된 설치판에 진퇴가능하게 설치되는 슬라이더와, 상기 안착판을 슬라이더가 록킹하도록 이들의 접속면에 구비된 록킹수단과, 상기 구동수단의 동작으로 안착판이 슬라이더와 수평선상에 위치될 때 이를 검출하여 구동수단의 동작을 중단시키는 검출수단으로 구성된 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, an elevator coupled to the guide rod fixed to the support plate, the drive means for moving up and down the elevator step by step, and coupled to the inside of the elevator And a plurality of seating plates on which the cassettes are placed, a slider installed to be retractable to a mounting plate fixed to one side of the support plate to withdraw or receive the seating plates stored in the elevator, and the slider to lock the seating plates. A cassette storing and withdrawing device of a module IC inspection device, comprising a locking means provided on the connection surface thereof, and a detecting means for detecting when the seating plate is positioned on the slider and the horizontal line by the operation of the driving means and stopping the operation of the driving means. Is provided.

이하, 본 고안을 일 실시예로 되한 첨부된 도면 제2도 내지 제4도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, FIGS. 2 to 4 as an embodiment.

첨부도면 제2도는 본 고안의 구성을 나타낸 정면도이고 제3도는 제2도의 측면도이며, 제4도는 제2도의 평면도로써, 본 고안은 지지판(3)의 모서리부분(4군데)에 수직으로 고정된 가이드봉(4)에 엘리베이터(5)가 승강가능하게 결합되어 있어 상기 엘리베이터를 구동수단에 의해 단계별로 승,하강시키도록 되어 있고 상기 엘리베이터(5)의 내부에는 카세트(2)가 얹혀지는 복수개의 안착판(6)이 공지의 레일(7)에 의해 출몰가능하게 결합되어 있다.(상기 레일의 구성은 일반적인 서랍 등의 구조와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다)2 is a front view showing the configuration of the present invention, and FIG. 3 is a side view of FIG. 2, and FIG. 4 is a plan view of FIG. 2, and the present invention is fixed perpendicularly to the corner portions (four locations) of the support plate 3. The elevator 5 is coupled to the guide rod 4 to be able to move up and down so that the elevator is moved up and down step by step by a driving means, and a plurality of cassettes 2 are placed inside the elevator 5. The seating plate 6 is coupled so that it can be projected by the well-known rail 7 (The structure of the said rail is the same as that of a general drawer, and detailed description is abbreviate | omitted).

상기 엘리베이터(5)를 단계별로 승강시키는 구동수단으로 본 고안의 일 실시예에서는 지지판(3)의 하부에 고정된 모터(8)와, 상기 지지판의 모서리부분에 고정된 가이드봉(4)의 사이에 수직으로 설치되어 엘리베이터(5)에 고정된 가이드블럭(9)과 나사끼우기로 결합되는 리드스크류(10)와, 상기 모터축(11)과 리드스크류의 하단에 각각 고정된 풀리(12a)(12b)와, 상기 풀리사이에 감겨져 모터(8)가 구동함에 따라 동력을 리드스크류(10)에 전달하는 타이밍벨트(13)로 구성되어 있다.In one embodiment of the present invention as a drive means for elevating the elevator (5) step by step between the motor (8) fixed to the lower portion of the support plate 3, and the guide rod (4) fixed to the corner of the support plate A guide screw 9 fixed to the elevator 5 and vertically mounted to the lead screw 10 coupled to the screwing thread, and a pulley 12a fixed to the lower end of the motor shaft 11 and the lead screw, respectively ( 12b) and a timing belt 13 wound between the pulleys and transmitting power to the lead screw 10 as the motor 8 drives.

그리고 지지판(3)의 일측(모듈IC의 로딩 및 언로딩측)으로 위치되게 고정된 설치판(14)에는 상기 엘리베이터(5)내에 수납된 안착판(6)을 인출하거나, 수납하도록 진퇴가능하게 슬라이더(15)가 가이드레일(16)에 끼워져 설치되어 있고 상기 안착판(6)과 슬라이더(15)의 접속면에는 이들을 록킹하는 록킹수단이 구비되어 있으며 상기 슬라이더(15)와 수평선상에 위치하는 지점에는 구동수단의 동작으로 안착판(6)이 슬라이더(15)와 수평선상에 위치될 때 이를 검출하여 구동수단의 동작을 중단하는 검출수단이 구비되어 있다.The mounting plate 14 fixed to one side of the support plate 3 (loading and unloading side of the module IC) is capable of withdrawing or retracting the seating plate 6 stored in the elevator 5. The slider 15 is fitted to the guide rail 16, and the connecting surface of the seating plate 6 and the slider 15 is provided with locking means for locking them and is located on the horizontal line with the slider 15. The point is provided with detection means for detecting when the mounting plate 6 is positioned on the slider 15 and the horizontal line by the operation of the drive means and stopping the operation of the drive means.

상기 록킹수단은 안착판(6)의 전면에 후크형상으로 돌출되게 형성된 걸림돌기(6a)와, 상기 슬라이더(15)에 고정된 실린더(17)의 구동에 따라 상호 내측으로 오므러들어 걸림돌기(6a)를 감싸는 핑거(18)로 구성되어 있고 검출수단은 각 안착판(6)의 전면 일측에 외부로 돌출되게 고정된 검출편(19)과, 상기 설치판(14)에 고정되어 안착판(6)에 고정된 검출편(19)을 검출하여 구동수단의 동작을 제어하는 센서(20)로 구성되어 있다.The locking means is retracted inward to each other in accordance with the driving of the locking projection (6a) formed to protrude in a hook shape on the front surface of the seating plate (6) and the cylinder (17) fixed to the slider (15). It consists of a finger 18 surrounding the 6a) and the detection means is fixed to the mounting plate 14, the detection piece 19 fixed to protrude outward on one side of the front surface of each mounting plate (6) It consists of a sensor 20 which detects the detection piece 19 fixed to 6) and controls the operation of a drive means.

또한, 상기 안착판(6)의 상면에 카세트(2)의 위치를 결정하는 위치결정블럭(21)이 고정되어 있고 안착판(6)의 측면과 접속되는 위치결정블럭(21)중 일측의 위치결정블럭에는 판스프링(22)이 고정되어 있다.In addition, the positioning block 21 for positioning the cassette 2 is fixed to the upper surface of the mounting plate 6, and the position of one side of the positioning blocks 21 connected to the side surface of the mounting plate 6 is fixed. The leaf spring 22 is fixed to the crystal block.

이는 판스프링(22)의 탄성력에 의해 안착판(6)상에 카세트(2)를 보다 정확히 위치시킬 수 있도록 하기 위함이다.This is to enable the cassette 2 to be more accurately positioned on the seating plate 6 by the elastic force of the leaf spring 22.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation, effects of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 모듈IC(1)가 가득 채워진 카세트(2)를 안착판(6)의 상면에 차례로 얹어 엘리베이터(5)의 내부에 수납한 상태에서 이들을 모듈IC의 로딩부측으로 차례로 인출하여 로딩한 다음 로딩완료후 카세트(2)가 비워지면 이를 다시 엘리베이터(5)내에 다시 수납함과 동시에 구동수단에 의해 엘리베이터(5)를 1스탭 상승시키는 동작만을 설명하기로 한다.First, the cassettes 2 filled with the module IC 1 are sequentially placed on the upper surface of the seating plate 6 and stored in the interior of the elevator 5. When the cassette 2 is empty after completion, only the operation of raising the elevator 5 one step by the drive means while storing it again in the elevator 5 will be described.

이는 모듈IC의 언로딩부에서는 검사가 완료된 모듈IC를 빈카세트내에 언로딩한 다음 카세트가 가득 채워지면 이를 다시 엘리베이터(5)내에 수납하고 1스탭 상승시키면 되기 때문이다.This is because the unloading part of the module IC unloads the completed module IC into the empty cassette, and once the cassette is full, it is stored in the elevator 5 again and lifted by one step.

슬라이더(15)가 가이드레일(16)을 따라 후퇴되고 실린더(17)의 오프동작으로 핑거(18)가 벌어진 상태에서 엘리베이터(5)의 내부에 수납된 안착판(6)이 설치판(14)에 수평이동가능하게 설치된 슬라이더(15)와 수평선상에 위치하면 상기 안착판(6)의 전면 일측에 고정된 검출편(19)을 설치판(14)에 고정된 센서(20)가 이를 감지하여 별도의 구동수단(예를 들어 로드레스실리더 등)에 의해 슬라이더(15)를 안착판(6)측으로 이동시키게 된다.The mounting plate 14 accommodates the seating plate 6 housed inside the elevator 5 with the slider 15 being retracted along the guide rail 16 and the finger 18 being opened by the off operation of the cylinder 17. The sensor 20 fixed to the mounting plate 14 detects the detection piece 19 fixed to one side of the front side of the seating plate 6 when it is positioned on the slider 15 and the horizontal line which is horizontally movable at The slider 15 is moved to the seating plate 6 side by another driving means (for example, a rodless cylinder).

이와 같이 슬라이더(15)가 이동하여 실린더(17)에 의해 동작하는 핑거(18)가 안착판(6)의 전면에 형성된 걸림돌기(6a)의 양측에 위치하면 실린더(17)가 구동하게 되므로 핑거(18)가 내측으로 오므러들면서 걸림돌기(6a)를 감싸 안착판(6)을 록킹시키게 된다.In this way, when the slider 15 moves and the fingers 18 operated by the cylinders 17 are located at both sides of the engaging projection 6a formed on the front surface of the seating plate 6, the cylinders 17 are driven, As the 18 is retracted inward, the locking projection 6a is wrapped to lock the seating plate 6.

이러한 상태에서 슬라이더(15)가 구동하여 초기상태로 환원되면 안착판(6)이 슬라이더(15)에 록킹수단으로 록킹되어 있으므로 상기 안착판은 레일(7)을 따라 엘리베이터(5)의 외부로 인출되어 설치판(14)의 상면에 위치하게 된다.In this state, when the slider 15 is driven and reduced to the initial state, the seating plate 6 is locked to the slider 15 by the locking means, and thus the seating plate is pulled out of the elevator 5 along the rail 7. It is located on the upper surface of the mounting plate (14).

이에 따라 검사기의 픽업수단(23)이 카세트(2)내에 꽂혀진 모듈IC(1)를 차례로 홀딩하여 검사기의 로딩부위로 로딩하게 된다.Accordingly, the pickup means 23 of the tester holds the module IC 1 inserted in the cassette 2 in order to load the loading part of the tester.

계속되는 작업으로 카세트(2)내에 담겨진 모듈IC(1)가 소진되고 나면 슬라이더(15)가 다시 전진하여 빈카세트를 엘리베이터(5)의 내부로 수납함과 동시에 실린더(17)를 동작하여 걸림돌기(6a)의 록킹상태를 해제하고 초기상태로 환원된다.After the module IC 1 contained in the cassette 2 is exhausted in a continuous operation, the slider 15 advances again to store the empty cassette into the elevator 5 and simultaneously operate the cylinder 17 to engage the projection 6a. ) Locking state is released and it is returned to the initial state.

상기한 바와 같은 동작으로 엘리베이터(5)의 최상부에 수납되어 있던 카세트(2)내의 모듈IC(1)를 전부로딩한 다음 빈카세트를 엘리베이터내에 수납하고 나면 구동수단인 모터(8)가 구동하여 풀리(12a)(12b)에 감겨진 타이밍벨트(13)를 통해 지지판(3)에 설치된 리드스크류(10)로 동력을 전달하게 되므로 상기 리드스크류와 가이드블럭(9)에 의해 나사끼우기로 결합된 엘리베이터(5)가 상승하기 시작한다.After the module IC 1 in the cassette 2 stored at the top of the elevator 5 is loaded in the above-described manner, and the empty cassette is stored in the elevator, the motor 8, which is a driving means, is driven to pulley. Since the power is transmitted to the lead screw 10 installed on the support plate 3 through the timing belt 13 wound around the 12a and 12b, the elevator coupled to the lead screw and the guide block 9 by screwing. (5) starts to rise.

상기 엘리베이터(5)의 상승량 제어는 최상부로 부터 2번째에 위치된 안착판(6)이 슬라이더(15)에 설치된 핑거(18)와 수평선상에 위치되는 지점의 설치판(14)에 고정된 센서(20)가 안착판의 전면에 고정된 검출편(19)을 검출하여 모터(8)의 구동을 중단시키므로써 가능해지게 된다.The control of the lift amount of the elevator 5 is a sensor fixed to the mounting plate 14 at the point where the seating plate 6 positioned second from the top is provided on the finger 18 provided on the slider 15 and on the horizontal line. It becomes possible by stopping the driving of the motor 8 by detecting the detection piece 19 fixed to the front surface of the mounting plate.

이에 따라 안착판(6)상에 얹혀진 카세트(2)를 설치판(14)의 상부로 인출하여 검사기의 로딩부측으로 검사를 위한 모듈IC(1)를 계속적으로 공급할 수 있게 되는 것이다.Accordingly, the cassette 2 mounted on the seating plate 6 may be taken out to the upper portion of the mounting plate 14 to continuously supply the module IC 1 for inspection to the loading side of the tester.

이상에서와 같이 본 고안은 엘리베이터(5)내에 수납된 안착판(6)의 상면에 모듈IC(1)가 담겨진 카세트(2)를 올려 놓고 상기 안착판을 모듈IC의 로딩부측으로 차례로 인출하도록 되어 있으므로 모듈IC 검사작업의 완전자동화실현이 가능해지게 되는 효과를 얻게 된다.As described above, the present invention is to put the cassette (2) containing the module IC (1) on the upper surface of the seating plate (6) accommodated in the elevator (5) to take out the seating plate to the loading side of the module IC in turn. Therefore, it becomes possible to realize full automation of module IC inspection work.

Claims (6)

지지판(3)에 고정된 가이드봉(4)에 승강가능하게 결합되는 엘리베이터(5)와, 상기 엘리베이터를 단계별로 승,하강시키는 구동수단과, 상기 엘리베이터의 내부에 출몰가능하게 결합됨과 동시에 카세트(2)가 얹혀지는 복수개의 안착판(6)과, 상기 엘리베이터내에 수납된 안착판을 인출하거나, 수납하도록 지지판의 일측으로 위치된 설치판(14)에 진퇴가능하게 설치되는 슬라이더(15)와, 상기 안착판이 슬라이더에 록킹되도록 구비된 록킹수단과, 상기 구동수단의 동작으로 안착판이 슬라이더와 수평선상에 위치될 때 이를 검출하여 구동수단의 동작을 중단시키는 검출수단을 구비함을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납,입출장치.An elevator 5 which is coupled to the guide rod 4 fixed to the support plate 3 to be lifted and lowered, drive means for lifting and lowering the elevator in stages, and a cassette and A plurality of seating plates 6 on which 2) is mounted, a slider 15 mounted on the mounting plate 14 positioned to one side of the support plate to withdraw or store the seating plates stored in the elevator; And a locking means provided so that the seating plate is locked to the slider, and a detecting means for detecting when the seating plate is positioned on the slider and the horizontal line by the operation of the driving means, and stopping the operation of the driving means. Cassette storage and entry / exit device of the inspector. 제1항에 있어서, 구동수단은 지지판(3)의 하부에 고정된 모터(8)와, 상기 지지판의 양측에 고정되어 엘리베이터(5)가 나사끼우기로 결합되는 리드스크류(10)와, 상기 모터축(11)과 리드스크류의 하단에 각각 고정된 풀리(12a)(12b)와, 상기 풀리사이에 감겨져 모터가 구동함에 따라 동력을 리드스크류에 전달하는 타이밍벨트(13)로 구성됨을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치.The driving means is a motor (8) fixed to the lower portion of the support plate 3, the lead screw 10 is fixed to both sides of the support plate and the elevator 5 is coupled by screwing, and the motor Pulleys 12a and 12b fixed to the lower end of the shaft 11 and the lead screw, respectively, and a timing belt 13 wound between the pulleys to transfer power to the lead screw as the motor is driven. Cassette storage and withdrawal device of module IC inspection machine. 제1항에 있어서, 록킹수단은 안착판(6)의 전면에 돌출되게 형성된 걸림돌기(6a)와, 상기 슬라이더(15)에 고정된 실린더(17)의 구동에 따라 상호 내측으로 오므러들어 걸림돌기를 감싸는 핑거(18)로 구성됨을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치.2. The locking means as set forth in claim 1, wherein the locking means is retracted inward to each other in accordance with the driving of the locking protrusion (6a) formed to protrude on the front surface of the seating plate (6) and the cylinder (17) fixed to the slider (15). Cassette storage, take-out device of the module IC tester, characterized in that consisting of a finger 18 surrounding the machine. 제1항에 있어서, 검출수단은 각 안착판(6)의 전면 일측에 외부로 돌출되게 고정된 검출편(19)과, 상기 설치판(14)에 고정되어 안착판에 고정된 검출편을 검출하는 센서(20)로 구성됨을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납, 인출장치.The detection means (19) according to claim 1, wherein the detection means detects a detection piece (19) fixed to protrude outwardly on one front side of each seating plate (6), and a detection piece fixed to the mounting plate (14) Cassette storage, withdrawal device of a modular IC inspection, characterized in that consisting of a sensor (20). 제1항에 있어서, 안착판(6)의 상면에 카세트(2)의 위치를 결정하는 위치결정블럭(21)을 고정함을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치.2. A cassette storage and withdrawal device according to claim 1, characterized in that a positioning block (21) for positioning the cassette (2) is fixed to an upper surface of the seating plate (6). 제5항에 있어서, 안착판(6)의 측면과 접속되는 위치결정블럭(21)에 판스프링(22)을 고정함을 특징으로 하는 모듈IC검사기의 카세트 수납,인출장치.6. A cassette storing and withdrawing device according to claim 5, characterized in that the leaf spring (22) is fixed to a positioning block (21) connected to the side of the seating plate (6).
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