KR100367994B1 - Apparatus for carrying tray for handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러의 챔버 내에서 트레이들을 한 스텝씩 이송하여 주는 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것으로, 상기 챔버의 상단부와 하단부에 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 그의 외주부에는 길이방향을 따라 트레이 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 복수개의 걸림홈이 일정 간격으로 형성되어, 트레이의 상단부 및 하단부를 지지 및 해제하도록 된 복수개의 홀더축과; 상기 각 홀더축과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능함과 더불어 챔버의 전후방향으로 이동가능하게 설치되며, 그의 외주부에는 길이방향을 따라 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 복수개의 걸림홈이 일정간격으로 형성되어, 트레이의 상단 및 하단을 지지 및 해제하며 트레이를 한 스텝씩 이동시키는 복수개의 이송축과; 상기 축들과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치되며, 그의 말단부에는 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 1개의 걸림홈이 형성되어 챔버 끝단위치에서 트레이를 지지 및 해제하도록 된 복수개의 최종홀더축과; 상기 최종홀더축과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치됨과 더불어 챔버 전후방향으로 이동가능하게 설치되며, 말단부에는 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 1개의 걸림홈이 형성되어, 상기 최종홀더축의 트레이를 챔버 내측벽의 트레이 가이드레일로 이송하여 주는 최종이송축 및; 상기 홀더축과 이송축, 최종홀더축 및, 최종이송축을 각각 개별적으로 구동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The present invention relates to a tray conveying apparatus of a handler for transferring trays step by step in a chamber of a handler for testing a semiconductor device, the upper and lower portions of the chamber being rotatably installed about an axis thereof, A plurality of holder shafts which are coupled to the upper and lower ends of the tray to support the upper and lower ends of the tray at regular intervals, and support and release the upper and lower ends of the tray; The holders are arranged in parallel with each of the holder shafts, are rotatable about the shafts, and are installed to be movable in the front and rear directions of the chamber. A plurality of feed shafts having grooves formed at regular intervals to support and release the upper and lower ends of the tray and to move the tray by one step; Arranged side by side with the shaft, rotatably installed about the shaft, one end thereof is formed at its distal end to engage with the top and bottom of the tray to support and release the tray at the chamber end position. A plurality of final holder shafts; It is disposed in parallel with the final holder shaft, rotatably installed around the shaft and is installed to be movable in the front and rear direction of the chamber, the end portion is formed with one locking groove that is coupled to the upper and lower ends of the tray to support A final transfer shaft for transferring the tray of the final holder shaft to the tray guide rail of the inner wall of the chamber; And a driving means for individually driving the holder shaft, the feed shaft, the final holder shaft, and the final feed shaft.
Description
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 트레이를 이송하는 장치에 관한 것으로, 특히 트레이에 장착된 반도체 소자들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시켜주는 챔버 내에서 트레이들을 이송하여 주는 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for transporting a tray in a handler for testing a semiconductor device, and more particularly, to a tray transport apparatus for a tray for transporting trays in a chamber for heating or cooling semiconductor devices mounted on the tray to a predetermined temperature. It is about.
일반적으로, 반도체 소자들을 테스트하는 핸들러들중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 반도체 소자들이 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행하는지의 여부를 테스트하는 고온 테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.In general, many of the handlers for testing semiconductor devices not only perform general performance tests at room temperature, but also high and low temperature tests to test whether the semiconductor devices function normally under extreme temperatures, both high and low temperatures. It can be done.
이러한 고온 및 저온 테스트를 수행하는 핸들러들에서는 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하고, 반도체 소자들이 장착된 트레이들을 한 스텝(step)씩 진행시키면서 반도체 소자들이 소정의 온도 상태를 갖도록 한 후, 이를 테스터(tester)의 테스트소켓에 장착하여 테스트를 수행하게 된다.In the handlers performing the high temperature and low temperature tests, an environment of high temperature and low temperature is established through an electric heater and a liquefied nitrogen injection system in a sealed chamber, and the trays on which semiconductor devices are mounted are stepped. As the semiconductor device proceeds to have a predetermined temperature as it proceeds, it is mounted on a test socket of a tester to perform a test.
상기와 같이 챔버 내에서 트레이를 한 스텝씩 이송하여 주는 역할은 챔버 내부에 마련된 별도의 이송장치에 의해 수행되는데, 이러한 이송장치의 일례로 본 출원인에 의해 출원된 공개특허공보 제 2000-46257호(2000. 7. 25)에 가열챔버 내에서 테스트 트레이를 한 스텝씩 이송시키는 테스트 트레이 이송장치가 개시되어 있으며, 이 테스트 트레이 이송장치는 가열챔버 내에서 테스트 트레이 간의 간격이 많이 벌어져 있을 때 앞쪽의 테스트 트레이를 일시 대기시키고 뒤쪽의 테스트 트레이를 연속적으로 진행시켜 테스트 트레이가 테스트 사이트의 테스트챔버에 연속적으로 공급될 수 있도록 되어 있다.As described above, the step of transporting the tray step by step in the chamber is performed by a separate transfer device provided in the chamber. As an example of such a transfer device, JP-A-2000-46257 ( On July 25, 2000, a test tray feeder for transferring a test tray step by step in a heating chamber is disclosed. The test tray feeder is a front test when there is a large gap between test trays in the heating chamber. The tray is suspended and the test tray at the rear is continuously operated so that the test tray can be continuously supplied to the test chamber at the test site.
그러나, 상기한 테스트 트레이 이송장치는 트레이의 측면을 지지하여 이송하게 되므로 트레이를 아래쪽에서 지탱하여 주는 별도의 지지부재가 구비되어야 하므로 챔버 구조가 복잡해지는 결점과 함께, 트레이를 일시 정지 및 이송시키기 위한 축들이 중공축에 결합되고 트레이를 지지하는 걸림편들이 각 축마다 결합되어야 하는 등의 복잡한 구조로 되어 제작이 어렵고 유지 및 관리가 어려운 결점도 있었다.However, since the test tray transfer device supports and transports the side of the tray, a separate support member for supporting the tray from below should be provided, so that the tray structure can be temporarily stopped and transported with the drawback of complicated chamber structure. As the shafts are coupled to the hollow shafts and the engaging pieces supporting the trays must be coupled to each shaft, it is difficult to manufacture and maintains and manages a complex structure.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 챔버 내에서 트레이를 이송하는 이송장치가 트레이의 상단 및 하단을 지지하면서 트레이를 한 스텝씩 이송할 수 있도록 하여 별도의 트레이 지지부재가 필요없도록 구성하고, 구성이 간단한 핸들러의 트레이 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, a separate tray support member by the transfer device for transferring the tray in the chamber to transfer the tray by one step while supporting the top and bottom of the tray The object of the present invention is to provide a tray feeder of a handler which is configured to be unnecessary and has a simple configuration.
도 1은 본 발명의 트레이 이송장치가 적용되는 핸들러의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 평면 구성도1 is a plan view schematically showing an example of the configuration of a handler to which the tray feeder of the present invention is applied;
도 2는 본 발명에 따른 트레이 이송장치를 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing a tray transport apparatus according to the present invention
도 3은 도 1의 트레이 이송장치를 후방에서 바라본 후면 사시도3 is a rear perspective view of the tray feeder of FIG. 1 viewed from the rear;
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Major Parts of Drawings
70 - 테스트 사이트 71 - 예열챔버70-Test Site 71-Preheat Chamber
72 - 테스트챔버 73 - 디프로스팅챔버72-test chamber 73-defrosting chamber
75 - 트레이 트랜스퍼 110 - 홀더축75-Tray Transfer 110-Holder Shaft
120 - 이송축 130 - 최종홀더축120-Feed shaft 130-End holder shaft
140 - 최종이송축 111, 121, 131, 141 - 걸림홈140-Final feed shaft 111, 121, 131, 141-Hanging groove
123, 143 - 결합편 114, 124, 134, 144 - 링크바아123, 143-Combined piece 114, 124, 134, 144-Link bar
115, 125, 135, 145 - 공압실린더 150 - 푸싱판115, 125, 135, 145-Pneumatic cylinder 150-Pushing plate
155 - 전후진용 공압실린더155-Pneumatic Cylinders
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 트레이를 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서, 상기 챔버의 상단부와 하단부에 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 그의 외주부에는 길이방향을 따라 트레이 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 복수개의 걸림홈이 일정 간격으로 형성되어, 트레이의 상단부 및 하단부를 지지 및 해제하도록 된 복수개의 홀더축과; 상기 각 홀더축과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능함과 더불어 챔버의 전후방향으로 이동가능하게 설치되며, 그의 외주부에는 길이방향을 따라 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 복수개의 걸림홈이 일정간격으로 형성되어, 트레이의 상단 및 하단을 지지 및 해제하며 트레이를 한 스텝씩 이동시키는 복수개의 이송축과; 상기 축들과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치되며, 그의 말단부에는 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 1개의 걸림홈이 형성되어 챔버 끝단위치에서 트레이를 지지 및 해제하도록 된 복수개의 최종홀더축과; 상기 최종홀더축과 나란하게 배치되고, 그 축을 중심으로 회전가능하게 설치됨과 더불어 챔버 전후방향으로 이동가능하게 설치되며, 말단부에는 트레이의 상단 및 하단과 결합하여 지지하게 되는 1개의 걸림홈이 형성되어, 상기 최종홀더축의 트레이를 챔버 내측벽의 트레이 가이드레일로 이송하여 주는 최종이송축 및; 상기 홀더축과 이송축, 최종홀더축 및, 최종이송축을 각각 개별적으로 구동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, in the transfer device for transferring a tray equipped with a semiconductor element in the chamber of the handler step by step, the upper end and the lower end of the chamber rotatably installed about its axis And a plurality of holder shafts formed at regular intervals on the outer circumferential portion thereof, the plurality of engaging grooves being coupled to the upper and lower ends of the tray to support and release the upper and lower ends of the tray; The holders are arranged in parallel with each of the holder shafts, are rotatable about the shafts, and are installed to be movable in the front and rear directions of the chamber. A plurality of feed shafts having grooves formed at regular intervals to support and release the upper and lower ends of the tray and to move the tray by one step; Arranged side by side with the shaft, rotatably installed about the shaft, one end thereof is formed at its distal end to engage with the top and bottom of the tray to support and release the tray at the chamber end position. A plurality of final holder shafts; It is disposed in parallel with the final holder shaft, rotatably installed around the shaft and is installed to be movable in the front and rear direction of the chamber, the end portion is formed with one locking groove that is coupled to the upper and lower ends of the tray to support A final transfer shaft for transferring the tray of the final holder shaft to the tray guide rail of the inner wall of the chamber; It provides a tray feeder of the handler, characterized in that it comprises a drive means for driving the holder shaft and the feed shaft, the final holder shaft, and the final feed shaft individually.
여기서, 상기 홀더축과, 이송축과, 최종홀더축 및, 최종이송축 각각은 각 상부 및 하부의 것들이 쌍을 이루며 서로 링크되어 연동하도록 되어 있다.Here, each of the holder shaft, the feed shaft, the final holder shaft, and the final feed shaft are linked to each other in a pair with each of the upper and lower pairs.
그리고, 상기 구동수단은 챔버 외측에 설치되어 상기 이송축과 최종이송축들의 끝단들이 회동가능하게 결합되는 푸싱판과, 상기 푸싱판을 챔버의 전후 방향으로 왕복 이동시키는 전후진용 작동실린더와, 챔버 외벽 및 상기 푸싱판에 설치되어 상기 홀더축과, 이송축과, 최종홀더축 및, 최종이송축들의 각 끝단에 결합되어 이 축들을 소정 각도 범위 내에서 회전시키는 복수개의 회전용 작동실린더로 구성된다.The driving means includes a pushing plate which is installed outside the chamber so that the ends of the feed shaft and the final feed shafts are rotatably coupled to each other, a forward and backward operation cylinder for reciprocating the pushing plate in the front and rear directions of the chamber, and the chamber outer wall. And a plurality of rotational operation cylinders installed on the pushing plate and coupled to each end of the holder shaft, the feed shaft, the final holder shaft, and the final feed shaft to rotate the shafts within a predetermined angle range.
이하, 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a tray conveying apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명의 트레이 이송장치의 이해를 돕기 위해 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 트레이 이송장치가 적용되는 핸들러의 구성에 대해 간략하게 설명하면, 도 1에 도시된 바와 같이 핸들러의 전방부에는 테스트할 반도체 소자들이 다수개 수납되어 있는 고객용 트레이들이 적재되어 있는 로딩부(10)가 설치되고, 이 로딩부(10)의 일측부에는 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트결과에 따라 분류되어 고객용 트레이에 수납되는 언로딩부(20)가 설치되며, 핸들러의 후방부에는 다수개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤 피커로봇(31, 32) 등에 의해 상기 로딩부(10)로부터 이송되어 온 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이(T)들을 순차적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 테스트를 수행하는 챔버부(70)가 설치된다.First, the configuration of the handler to which the tray feeder according to the present invention is applied will be briefly described with reference to FIG. 1 to assist in understanding the tray feeder of the present invention. A loading unit 10 in which customer trays containing a plurality of semiconductor devices to be tested are loaded is installed, and at one side of the loading unit 10, the tested semiconductor devices are classified according to a test result, and the customer trays are loaded. An unloading part 20 accommodated therein is installed, and at the rear part of the handler, a high or low temperature environment is formed in a plurality of sealed chambers, and then the picker robots 31 and 32 are disposed from the loading part 10. A chamber 70 for sequentially transferring the test trays T on which the transferred semiconductor elements are mounted and performing a test under a predetermined temperature condition is installed.
상기 챔버부(70)는 테스트 트레이(T)를 전방에서부터 후방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키며 반도체 소자들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 된 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)의 일측에 연접하게 설치되어 예열챔버(71)를 통해 이송된 테스트용 트레이의 반도체 소자들을 외부의 테스트장비(도시 않음)와 결합된 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)의 일측에 설치되어 테스트챔버(72)를 통해 이송된 테스트용 트레이를 후방에서부터 전방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키면서 테스트완료된 반도체 소자를 초기의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(73; defrosting chamber)로 구성된다.The chamber part 70 transfers the test tray T step by step from front to back, and preheats the chamber 71 to heat or cool the semiconductor elements to a predetermined temperature, and the preheating. The test is performed by mounting the semiconductor elements of the test tray, which are installed to be connected to one side of the chamber 71 and transferred through the preheating chamber 71, to a test socket (not shown) coupled with an external test equipment (not shown). Tested semiconductor device 72 and the test device is installed on one side of the test chamber 72, the test tray transferred through the test chamber 72 step by step forward from the rear to the front (step) step by step (complete step) It is composed of a defrosting chamber (73) for returning to the initial room temperature state.
본 발명에 따른 트레이 이송장치는 상기한 핸들러에서 예열챔버(71) 및 디프로스팅챔버(73)에 각각 설치되어, 반도체 소자들이 장착된 트레이들을 챔버의 일측단에서 타측단으로 한 스텝(step)씩 순차적으로 이송하는 역할을 수행하게 된다.The tray conveying apparatus according to the present invention is installed in the preheating chamber 71 and the defrosting chamber 73 in the above-described handler, so that the trays on which the semiconductor elements are mounted are stepped from one end of the chamber to the other end of the chamber. It will serve to transport sequentially.
도 2와 도 3은 상기와 같은 본 발명의 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 것으로, 트레이 이송장치는, 챔버의 상단부 및 하단부에 전후방향으로 나란하도록 그의 일단이 챔버 벽체(미도시)에 회동가능하게 설치된 복수개의 홀더축(110)과; 상기 홀더축(110)들에 나란하도록 챔버 상단 및 하단부 각각에 배치되고, 그의 일단이 챔버 외측에 설치된 푸싱판(150)에 회동가능하게 결합된 복수개의 이송축(120)과; 상기 축(110, 120)들과 나란하도록 그의 일단이 챔버 벽체(미도시)에 회동가능하게 설치된 최종홀더축(130) 및; 역시 상기 축(110, 120, 130)들과 나란하도록 챔버 상단 및 하단부 각각에 배치되고, 그의 일단이 상기 푸싱판(150)에 회동가능하게 결합된 복수개의 최종이송축(140)을 구비한다.2 and 3 show the configuration of the tray conveying apparatus of the present invention as described above, the tray conveying apparatus, one end thereof is rotatable to the chamber wall (not shown) so as to be parallel to the front and rear portions of the chamber in the front-rear direction. A plurality of holder shafts 110 installed; A plurality of transfer shafts 120 disposed at each of the upper and lower ends of the chamber so as to be parallel to the holder shafts 110, and one end of which is rotatably coupled to the pushing plate 150 provided outside the chamber; A final holder shaft (130) rotatably installed at one end thereof on a chamber wall (not shown) so as to be parallel to the shafts (110, 120); It is also disposed on each of the upper and lower ends of the chamber parallel to the shaft (110, 120, 130), one end thereof has a plurality of final feed shaft 140 is rotatably coupled to the pushing plate (150).
상기 홀더축(110)과 이송축(120)들은 트레이의 상단 및 하단부를 지지 및 해제하기 위하여 그 외주부에 길이방향을 따라 일정간격으로 복수개의 걸림홈(111, 121)이 형성되어 있고, 이 홀더축(110)과 이송축(120)들은 모두 그 축을 중심으로 90°씩 시계 및 반시계방향으로 왕복 회전가능하도록 구성된다.The holder shaft 110 and the feed shaft 120 are formed with a plurality of engaging grooves (111, 121) at regular intervals along the longitudinal direction to support and release the upper and lower ends of the tray, the holder The shaft 110 and the feed shaft 120 are both configured to be reciprocally rotatable clockwise and counterclockwise by 90 ° about the axis.
여기서, 상기 홀더축(110)은 그 축을 중심으로 회전운동만 할 수 있도록 구성되어 트레이를 일정 위치에서 고정시키는 역할을 수행하는데 반하여, 상기 이송축(120)들은 회전운동 뿐만 아니라 상기 푸싱판(150)의 전후진 이동에 따라 챔버 내에서 전후진 이동할 수 있도록 구성되어 트레이를 밀어 이동시키는 역할을 수행하게 된다.Here, the holder shaft 110 is configured to only rotate the rotation axis around the axis to perform the role of fixing the tray at a predetermined position, the transfer shaft 120 is not only the rotational movement but also the pushing plate 150 In accordance with the forward and backward movement of the) is configured to move back and forth in the chamber serves to push the tray to move.
또한, 상기 최종홀더축(130)과 최종이송축(140) 각각은 그의 말단부에 트레이의 상단 및 하단부를 지지 및 해제하기 위한 1개의 걸림홈(131, 141)만이 구비되고, 이들 축(130, 140)들 역시 90°씩 시계, 반시계방향으로 왕복 회전가능하도록 구성되어 있다.In addition, each of the final holder shaft 130 and the final feed shaft 140 is provided with only one engaging groove 131, 141 for supporting and releasing the upper and lower ends of the tray at its distal end. 140 are also configured to reciprocate in 90 ° clockwise and counterclockwise directions.
그리고, 상기 홀더축(110) 및 이송축(120)과 마찬가지로, 상기 최종홀더축(130)은 회전운동만이 가능하도록 되어 챔버 최종위치에서 트레이를 지지하는 역할을 수행하는데 반하여, 상기 최종이송축(140)은 회전운동 및 푸싱판(150)의 전후진 이동에 따른 전후진 이동이 가능하도록 구성되어 트레이의 최종위치 바로 전 위치에서 트레이를 최종위치로 이송시키는 역할을 수행하게 된다.In addition, similar to the holder shaft 110 and the feed shaft 120, the final holder shaft 130 is capable of only a rotational movement to support the tray at the chamber final position, the final feed shaft 140 is configured to enable the forward and backward movement in accordance with the rotational movement and the forward and backward movement of the pushing plate 150 serves to transfer the tray to the final position from just before the final position of the tray.
앞의 설명에서 테스트 트레이(T)의 '최종위치'라 함은 트레이(T)가 트레이 트랜스퍼(75; 도 1참조)에 의해 측방에 위치하는 다른 챔버로 밀려 이송될 수 있는 위치를 의미한다.In the foregoing description, the term 'final position' of the test tray T refers to a position where the tray T can be pushed to another chamber located laterally by the tray transfer 75 (see FIG. 1).
상기 홀더축(110)의 걸림홈(111)은 트레이 최종위치 바로 전 위치까지만 형성되고, 그 수는 이송축(120)의 걸림홈(121) 수보다 1개 더 많도록 형성된다.The locking groove 111 of the holder shaft 110 is formed only to the position just before the tray final position, the number is formed to be one more than the number of the locking groove 121 of the feed shaft 120.
한편, 상기 각 홀더축(110)과, 이송축(120), 최종홀더축(130) 및, 최종이송축(140)들은 챔버 상부와 하부에 각각 2개씩 배치되되, 이들은 상부에 설치된 것과 하부에 설치된 것들이 쌍을 이루며 서로 링크되어 구동수단에 의해 연동하도록 구성되며, 그 구동방식은 종래의 기술에서 언급한 공개특허공보 제 2000-46257호의테스트 트레이 이송 장치의 구동방식과 유사하게 이루어진다.On the other hand, each of the holder shaft 110, the feed shaft 120, the final holder shaft 130, and the final feed shaft 140 are disposed in each of the upper and lower chambers, respectively, these are installed on the upper and lower The installed ones are paired and linked to each other so as to be interlocked by the driving means, and the driving method is similar to the driving method of the test tray transfer device of Publication No. 2000-46257 mentioned in the prior art.
예컨대, 상부의 이송축(120)과 하부의 이송축(120)의 끝단부 각각에는 결합편(123)이 축에 수직한 방향으로 결합되어 이들 결합편(123)들의 일단이 링크바아(124)를 매개로 링크되고, 상부의 홀더축(110)에 결합된 결합편(123)의 타단이 챔버 외벽면(미도시)에 결합되는 공압실린더(125)에 결합되어, 이 공압실린더(125)의 작동에 의해 상,하의 이송축(110)들이 연동하여 회전하게 된다.For example, a coupling piece 123 is coupled to each of the ends of the upper feed shaft 120 and the lower feed shaft 120 in a direction perpendicular to the axis so that one end of these coupling pieces 123 is a link bar 124. The other end of the coupling piece 123 coupled to the upper holder shaft 110 is coupled to the pneumatic cylinder 125 coupled to the chamber outer wall surface (not shown), so that the pneumatic cylinder 125 By operation, the upper and lower feed shafts 110 rotate in conjunction with each other.
다른 나머지 축(110, 130, 140)들도 각각의 링크바아(114, 134, 144) 및 공압실린더(115, 135, 145)에 의해 상기와 동일한 방식으로 연결되어 회전 구동되지만, 이 실시예에서 홀더축(110)과 최종홀더축(130)들을 구동시키는 공압실린더(115, 135)는 푸싱판(150)이 아닌 챔버 외벽면에 결합되는 차이는 있다.The other remaining shafts 110, 130, 140 are also driven and rotated in the same manner as above by the respective link bars 114, 134, 144 and pneumatic cylinders 115, 135, 145, but in this embodiment The pneumatic cylinders 115 and 135 driving the holder shaft 110 and the final holder shaft 130 are coupled to the chamber outer wall instead of the pushing plate 150.
한편, 상기 푸싱판(150)은 챔버 외벽면(미도시) 중앙에 고정되는 전후진용 공압실린더(155)에 결합되어 이의 작동에 의해 챔버의 외측에서 전후방향으로 전후진 이동하게 된다.On the other hand, the pushing plate 150 is coupled to the forward and backward pneumatic cylinder 155 is fixed to the center of the chamber outer wall (not shown) is moved forward and backward in the front and rear direction from the outside of the chamber by its operation.
상기와 같이 구성된 트레이 이송장치의 작동에 대해 핸들러의 예열챔버(71; 도 1참조)에서의 이송작동을 예로 하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the tray feeder configured as described above with reference to the transfer operation in the preheat chamber 71 (see Fig. 1) of the handler as an example.
테스트 사이트(70; 도 1참조)로 이송된 트레이가 트레이 트랜스퍼(75; 도 1참조)에 의해 예열챔버(71; 도 1참조)의 초기위치에 위치하면, 공압실린더(125)에 의해 이송축(120)이 수직하게 회전하여 최초 걸림홈(121)에 트레이 하단부가 지지되고, 이어 전후진용 공압실린더(155)의 작동에 의해 푸싱판(150)이 전진함에 따라 이송축(120)이 한 스텝 전진하여 트레이를 한 스텝 이동시킨다.When the tray transferred to the test site 70 (see FIG. 1) is positioned at the initial position of the preheat chamber 71 (see FIG. 1) by the tray transfer 75 (see FIG. 1), the feed shaft by the pneumatic cylinder 125 As the 120 is rotated vertically, the lower end of the tray is supported by the first engaging groove 121, and the feed shaft 120 is moved by one step as the pushing plate 150 is advanced by the operation of the pneumatic cylinder 155. Move forward and move the tray one step.
이 때, 공압실린더(115)의 작동에 의해 홀더축(110)이 회전하여 걸림홈(111)에 트레이 상단 및 하단이 걸려 지지됨과 동시에, 상기 이송축(120)은 반대로 회전하여 지지상태가 해제되고 다시 전후진용 공압실린더(155)에 의한 푸싱판(150)의 후진 이동에 의해 원위치로 복귀하게 된다.At this time, the holder shaft 110 is rotated by the operation of the pneumatic cylinder 115 and the upper and lower ends of the tray are caught and supported by the locking groove 111, and the feed shaft 120 is rotated in the opposite direction to release the support state. Then, it is returned to its original position by the backward movement of the pushing plate 150 by the back and forth pneumatic cylinder 155.
이와 같이 트레이가 한 스텝 이동한 상태에서, 홀더축(110)이 상기와는 반대로 회전하면서 지지상태가 해제됨과 동시에 이송축(120)이 회전하여 이송축(120)의 걸림홈(121)에 트레이 상단 및 하단부가 걸려 지지되고, 전술한 바와 같이 푸싱판(150)의 이동에 의해 트레이가 한 스텝 더 이동한 상태에서 이송축(120)에 의한 지지상태가 해제됨과 동시에 다시 홀더축(110)에 의해 트레이가 지지된다.As described above, in the state in which the tray is moved by one step, the holder shaft 110 rotates in the opposite direction as described above, and the support state is released. As the upper and lower ends are caught and supported, the support state by the feed shaft 120 is released while the tray is moved one step further by the movement of the pushing plate 150, and at the same time, the holder shaft 110 is again supported. The tray is supported.
상기와 같은 과정이 연속 반복적으로 진행되면서 트레이가 챔버 내에서 한 스텝씩 차례로 진행하게 되는데, 트레이가 홀더축(110)의 마지막 걸림홈(111)에 걸려 지지되면 최종이송축(140)의 회전 및 전후 이동 작동에 의해 최종위치로 이송되어 최종홀더축(130)의 걸림홈(131)에 걸려 지지되고, 이 상태에서 트레이 트랜스퍼(75)의 작동에 의해 측방의 테스트챔버(72)로 이송된다.As the above process is continuously repeated, the tray proceeds step by step in the chamber. When the tray is supported by the last locking groove 111 of the holder shaft 110, the final feed shaft 140 rotates and It is conveyed to the final position by the forward and backward movement operation, and is caught and supported by the locking groove 131 of the final holder shaft 130, and in this state is transferred to the test chamber 72 on the side by the operation of the tray transfer 75.
이러한 이송장치에 의한 트레이 이송과정에서, 트레이들의 간격이 많이 벌어져 있는 경우에는 트레이 최종위치에서 최종홀더축(130)이 트레이를 지지한 상태로 최종홀더축(130)과 최종이송축(140)은 동작하지 않고, 홀더축(110)과 이송축(120)의 작동에 의해 후속 트레이가 계속 이동하여 최종위치 바로 전 위치까지 이동하게 되고, 이어 최종위치에 있던 트레이가 테스트를 위해 테스트챔버(72)로 이송되면 뒤에 있던 트레이가 최종이송축(140) 및 최종홀더축(130)의 작동에 의해 최종위치로 이송되어 테스트 대기상태로 된다.In the tray conveying process by such a conveying device, when the gap between the trays is widened, the final holder shaft 130 and the final conveying shaft 140 are supported by the final holder shaft 130 at the tray final position. After operation, the operation of the holder shaft 110 and the feed shaft 120 causes the subsequent tray to continue to move to the position just before the final position, and the tray at the final position is then moved to the test chamber 72 for testing. When the tray is transferred to the tray is transferred to the final position by the operation of the final feed shaft 140 and the final holder shaft 130 is put into the test standby state.
따라서, 전술한 바와 같이 최종이송축(140)과 최종홀더축(130)이 존재함으로 인해 하나의 트레이를 최종위치에서 테스트 대기 상태로 유지하면서 다른 트레이를 연속적으로 이송하는 것이 가능하게 되어, 테스트타임을 줄일 수 있게 된다.Therefore, as described above, due to the presence of the final feed shaft 140 and the final holder shaft 130, it is possible to continuously transfer the other trays while maintaining one tray at the final position in the test standby state, thereby providing a test time. Can be reduced.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 챔버 내에서 트레이를 이송하는 이송장치가 트레이의 상단 및 하단을 지지하면서 트레이를 한 스텝씩 이송할 수 있도록 하여 별도의 트레이 지지부재가 필요없게 되고, 이송장치들의 구성이 간단하여 제작이 간편함은 물론 유지 및 관리가 용이하게 된다.As described above, according to the present invention, the transfer device for transporting the tray in the chamber to support the top and bottom of the tray to transfer the tray step by step, eliminating the need for a separate tray support member, Simple configuration makes production easy and maintains and manages.
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