KR100733846B1

KR100733846B1 - Apparatus for transferring test tray for handler

Info

Publication number: KR100733846B1
Application number: KR1020050041202A
Authority: KR
Inventors: 함철호; 김선활; 박용근; 송호근
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2005-05-17
Filing date: 2005-05-17
Publication date: 2007-07-02
Also published as: KR20060118824A

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 구조가 간단하고, 테스트 트레이 이송시 안정성을 향상시킬 수 있도록 한 것이다. The present invention relates to a test tray feeder of a handler for testing a semiconductor device, the structure is simple, and to improve the stability during test tray transfer.

이를 위한 본 발명은, 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 챔버의 전후방향으로 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서, 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 챔버의 전후방향으로 일정 거리씩 왕복 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 이송부재와; 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 이송부재와 나란하게 설치되고, 상기 이송부재보다 낮은 제 1위치와 이송부재보다 높은 제 2위치로 상하방향으로 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 홀더부재와; 상기 이송부재를 챔버의 전후방향을 따라 수평하게 왕복 이동시키는 수평이동유닛과; 상기 홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 승강유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.The present invention for this purpose, in the transfer device for transferring the test tray equipped with a semiconductor element in the chamber of the handler by one step in the front and rear direction of the chamber, a plurality of locking grooves are inserted into the lower edge of the test tray is supported At least one conveying member formed at a predetermined interval along a longitudinal direction and installed to reciprocate at a predetermined distance in the front and rear directions of the chamber; A plurality of locking grooves are inserted into and supported by the lower edge of the test tray at regular intervals along the longitudinal direction, and are installed side by side with the transfer member, and have a first position lower than the transfer member and a second position higher than the transfer member. At least one holder member installed to be movable in a vertical direction of the furnace; A horizontal moving unit for horizontally reciprocating the conveying member horizontally along the front and rear directions of the chamber; It provides a test tray transfer apparatus of the handler for a semiconductor device test, characterized in that it comprises a lifting unit for lifting the holder member to the first position and the second position.

핸들러, 테스트 트레이, 이송장치, 홀더부재, 이송부재 Handler, Test Tray, Transfer Device, Holder Member, Transfer Member

Description

Apparatus for transferring test tray for handler}

도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 구조의 일례를 나타낸 평면 구성도1 is a plan view showing an example of the structure of a handler for testing a semiconductor device according to the present invention.

도 2는 도 1의 핸들러의 측면도2 is a side view of the handler of FIG. 1

도 3은 도 1의 핸들러에 적용된 본 발명에 따른 테스트 트레이 이송장치의 일 실시예의 구조를 나타낸 사시도Figure 3 is a perspective view showing the structure of one embodiment of a test tray feeder according to the present invention applied to the handler of Figure 1

도 4는 도 3의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 요부 횡단면도4 is a cross-sectional view illustrating main parts of the test tray feeder of FIG. 3 schematically.

도 5는 도 3의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 요부 종단면도FIG. 5 is a longitudinal sectional view schematically illustrating main components of the test tray feeder of FIG. 3. FIG.

도 6은 본 발명의 테스트 트레이 이송장치의 작동을 나타낸 요부 종단면도Figure 6 is a longitudinal cross-sectional view showing the operation of the test tray feeder of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110 : 이송부재 120 : 홀더부재110: transfer member 120: holder member

124 : 가이드바아 125 : 제 1 승강용 공압실린더124: guide bar 125: first lifting pneumatic cylinder

130 : 최종 홀더부재 132 : 가이드바아130: the last holder member 132: guide bar

134 : 제 2승강용 공압실린더 140 : 상부 홀더부재134: second lifting pneumatic cylinder 140: upper holder member

150 : 측면 지지부재 160 : 수평이동유닛150: side support member 160: horizontal moving unit

161 : 가동판 162 : 전후진용 공압실린더161: movable plate 162: pneumatic cylinder for forward and backward

163 : 가이드핀 170 : 전방 이송축163: guide pin 170: front feed shaft

180 : 전방 홀더축180: front holder shaft

본 발명은 핸들러에서 테스트 트레이를 이송하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자를 소정의 온도 상태로 만들어주는 챔버 내에서 상기 테스트 트레이를 한 스텝씩 진행시키며 다음 공정 위치로 반송하여 주는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for transferring a test tray from a handler, and more particularly, to the next process position by moving the test tray step by step in a chamber for bringing the semiconductor device mounted on the test tray into a predetermined temperature state. The test tray conveyance apparatus of the handler for semiconductor element tests which conveys is related.

일반적으로, 반도체 소자들을 테스트하는 핸들러들중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 반도체 소자들이 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행하는지의 여부를 테스트하는 고온 테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.In general, many of the handlers for testing semiconductor devices not only perform general performance tests at room temperature, but also high and low temperature tests to test whether the semiconductor devices function normally under extreme temperatures, both high and low temperatures. It can be done.

이러한 고온 및 저온 테스트를 수행하는 핸들러에서는 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 밀폐된 챔버 내부를 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하고, 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이들을 한 스텝(step)씩 진행시키면서 반도체 소자들이 소정의 온도 상태를 갖도록 한 후, 이를 테스터(tester)의 테스트소켓에 장착하여 테스트를 수행하게 된다.In the handler which performs the high temperature and low temperature test, the heat inside the chamber and the liquid nitrogen injection system create a high-temperature and low-temperature extreme environment inside the sealed chamber, and the test trays equipped with semiconductor devices are stepped. After the semiconductor devices have a predetermined temperature as they proceed, they are mounted on a test socket of a tester to perform a test.

상기와 같이 챔버 내에서 트레이를 한 스텝씩 이송하여 주는 역할은 챔버 내부에 마련된 별도의 테스트 트레이 이송장치에 의해 수행된다. As described above, the step of transferring the trays step by step in the chamber is performed by a separate test tray transfer device provided in the chamber.

국내 등록특허공보 제 10-367994호(2002년 12월 30일 등록)에는 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 '핸들러의 트레이 이송장치'가 개시되어 있다. 상기 트레이 이송장치는 테스트 트레이의 진행방향을 따라 복수개의 테스트 트레이 걸림홀이 형성된 복수개의 홀더축 및 이송축이 상호 반대로 90도씩 회전하면서 테스트 트레이를 직립 상태로 지지하고, 상기 홀더축이 테스트 트레이의 고정상태를 해제한 상태에서 상기 이송축이 진행방향을 따라 전진함으로써 테스트 트레이가 1스텝씩 전진하도록 구성됨과 더불어, 최종 이송축이 챔버 끝단위치에서 트레이를 지지 및 해제하도록 구성되며, 최종 이송축이 최종홀더축의 테스트 트레이를 챔버 내측벽의 트레이 가이드레일로 이송하여 주도록 구성되어 있다. Korean Patent Publication No. 10-367994 (registered on December 30, 2002) discloses a 'tray tray transfer apparatus' filed and registered by the present applicant. The tray conveying apparatus supports the test tray in an upright state by rotating the plurality of holder shafts and the feed shafts, each of which has a plurality of test tray engaging holes, rotated by 90 degrees in opposite directions, and the holder shafts of the test tray The test tray is configured to advance by one step by advancing along the direction of travel in the state where the fixed axis is released, and the final feed shaft is configured to support and release the tray at the chamber end position. It is configured to transfer the test tray of the final holder shaft to the tray guide rail of the chamber inner wall.

그런데, 상기와 같은 종래의 트레이 이송장치는 봉 형태의 축들이 상하로 여러개가 구비되므로 각각의 홀더축과 이송축들을 회전시키기 위한 구동장치의 구성이 복잡해지는 문제가 있다.However, the conventional tray feeder as described above has a problem that the configuration of the drive device for rotating the respective holder shaft and the feed shaft is complicated because the rod-shaped shaft is provided with a plurality of up and down.

또한, 각각의 홀더축과 이송축을 회전시키면서 구동해야 하므로 홀더축과 이송축의 크기 및 무게에 제한이 따르고, 이에 따라 축들을 얇은 봉 형태로 된 것을 사용하게 되는데, 이 경우 테스트 트레이의 크기가 커지게 되면 테스트 트레이의 하중에 의해 홀더축과 이송축에 변형이 발생하여 안정적인 동작이 이루어지지 않게 되는 문제도 있었다. In addition, since the holder shaft and the feed shaft must be driven while rotating, the size and weight of the holder shaft and the feed shaft are limited, and thus, the shafts are used in the form of thin rods. If there is a problem that the deformation occurs in the holder shaft and the feed shaft by the load of the test tray was not a stable operation.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 구조가 간단하고, 테스트 트레이 이송시 안정성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a test tray conveying apparatus for a handler for a semiconductor device test that can be simplified in structure, and can improve the stability during test tray transfer. There is this.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 챔버의 전후방향으로 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서, 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 챔버의 전후방향으로 일정 거리씩 왕복 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 이송부재와; 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 이송부재와 나란하게 설치되고, 상기 이송부재보다 낮은 제 1위치와 이송부재보다 높은 제 2위치로 상하방향으로 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 홀더부재와; 상기 이송부재를 챔버의 전후방향을 따라 수평하게 왕복 이동시키는 수평이동유닛과; 상기 홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 승강유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치가 제공된다.The present invention for achieving the above object, in the transfer device for transferring the test tray equipped with a semiconductor element in the chamber of the handler step by step in the front and rear direction of the chamber, the lower edge of the test tray is inserted and supported At least one conveying member having a plurality of engaging grooves formed at predetermined intervals along a longitudinal direction and installed to reciprocate by a predetermined distance in the front and rear directions of the chamber; A plurality of locking grooves are inserted into and supported by the lower edge of the test tray at regular intervals along the longitudinal direction, and are installed side by side with the transfer member, and have a first position lower than the transfer member and a second position higher than the transfer member. At least one holder member installed to be movable in a vertical direction of the furnace; A horizontal moving unit for horizontally reciprocating the conveying member horizontally along the front and rear directions of the chamber; There is provided a test tray conveying apparatus for a handler for a semiconductor device test, comprising a lifting unit for elevating the holder member to a first position and a second position.

이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the test tray transfer apparatus of the handler for testing semiconductor devices according to the present invention will be described in detail.

먼저, 도 1과 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 전체 구조를 개략적으로 설명한다. 핸들러의 전방부에 테스트할 반도체 소자들이 다수개 수납되어 있는 사용자 트레이들이 적재되어 있는 로딩부(10)가 설치되고, 상기 로딩부(10)의 일측부에는 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트결과에 따라 분류되어 사용자 트레이에 수납되는 언로딩부(20)가 설치된다. First, the overall structure of the semiconductor device test handler according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. In the front of the handler, a loading unit 10 in which user trays containing a plurality of semiconductor elements to be tested are stored is installed, and one side of the loading unit 10 is classified according to a test result. And the unloading unit 20 accommodated in the user tray is installed.

그리고, 핸들러의 중간부분의 양측부에 반도체 소자들이 일시적으로 안착되는 로딩측 버퍼부(40)와 언로딩측 버퍼부(45)가 전,후진가능하게 설치되어 있다. 상기 로딩측 버퍼부(40)와 언로딩측 버퍼부(45) 사이에는 테스트할 반도체 소자를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이의 테스트 완료된 반도체 소자를 분리하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(30)가 설치된다. The loading side buffer portion 40 and the unloading side buffer portion 45, in which semiconductor elements are temporarily seated, are provided at both sides of the middle portion of the handler so as to be able to move forward and backward. Between the loading side buffer unit 40 and the unloading side buffer unit 45, the operation of transferring the semiconductor device to be tested and remounting the test tray T and separating the tested semiconductor device of the test tray are performed. The exchange part 30 is lost.

또한, 핸들러의 전방부 상측에는 로딩부(10)와 언로딩부(20) 및 버퍼부(40, 45) 사이를 수평하게 이동하면서 반도체 소자들을 이송하는 제 1 로딩/언로딩픽커(51)와 제 2 로딩/언로딩픽커(52)가 각각 설치된다. 상기 제 1,2 로딩/언로딩픽커(51, 52)는 핸들러의 전방부 상측에서 전후 및 좌우 방향으로 이동하면서 반도체 소자를 진공 흡착하여 반송한다. In addition, a first loading / unloading picker 51 which transfers the semiconductor devices while horizontally moving between the loading part 10, the unloading part 20, and the buffer parts 40 and 45, above the front part of the handler; Second loading / unloading pickers 52 are respectively installed. The first and second loading / unloading pickers 51 and 52 are vacuum-adsorbed and conveyed the semiconductor elements while moving in the front, rear and left and right directions above the front part of the handler.

상기 교환부(50) 및 버퍼부(40)의 상측에는 양측 버퍼부(40, 45)와 교환부(30) 간에 반도체 소자들을 이송하여 주는 복수개의 단축 픽커(61, 62)가 X축 방향으로 수평 이동하도록 설치된다. On the upper side of the exchange unit 50 and the buffer unit 40, a plurality of single-axis pickers 61 and 62 which transfer semiconductor elements between the buffer units 40 and 45 and the exchange unit 30 in the X-axis direction are provided. It is installed to move horizontally.

그리고, 핸들러의 후방부에는 다수개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤 반도체 소자가 장착된 테스트용 트레이(T)들을 순차적으로 이송하며 반도체 소자를 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 테스트부(70)가 배치된다. In the rear part of the handler, a test is performed in which a high temperature or low temperature environment is formed in a plurality of sealed chambers, and then the test trays in which the semiconductor devices are mounted are sequentially transferred and the semiconductor devices are tested under a predetermined temperature condition. The unit 70 is disposed.

상기 테스트부(70)에서는 테스트 트레이(T)가 직립 상태로 이동하고, 교환부(30)에서는 테스트 트레이(T)에 반도체 소자를 장착 및 분리하는 작업이 테스트 트레이(T)의 수평 상태에서 이루어진다. 따라서, 상기 테스트부(70)의 전단부와 교환부(30)의 사이에는 테스트 트레이(T)를 수평상태에서 직립 상태로, 직립 상태에서 수평상태로 전환시키면서 반송하여 주는 로테이터(80)가 90도로 왕복 회동 가능하게 설치된다. In the test unit 70, the test tray T moves to an upright state, and in the exchange unit 30, the operation of attaching and detaching a semiconductor device to the test tray T is performed in a horizontal state of the test tray T. . Therefore, between the front end of the test unit 70 and the exchange unit 30, the rotator 80 which conveys the test tray T while being transferred from the horizontal state to the upright state and from the upright state to the horizontal state is 90. It is installed so that the road can rotate back and forth.

본 발명의 핸들러의 실시예에서 상기 테스트부(70)는 후방부가 상하로 2층으로 구성되어 동시에 2개의 테스트 트레이(T)가 테스트될 수 있도록 되어 있다.In the embodiment of the handler of the present invention, the test unit 70 is configured such that two test trays T can be tested at the same time by forming two layers of the rear part up and down.

이를 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 테스트부(70)는, 상기 교환부(50)에서 이송되어 온 테스트 트레이를 전방에서부터 후방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키며 반도체 소자들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 된 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)를 통해 이송된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 외부의 테스트장비(도시 않음)와 결합된 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)를 통해 이송된 테스트 트레이를 후방에서부터 전방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키면서 테스트완료된 반도체 소자를 초기의 상온 상태로 복귀시키는 제열챔버(73)로 구성된다. 상기 예열챔버(71)와 테스트챔버(72)와 제열챔버(73)는 순차적으로 측방향으로 배치된다. In more detail, the test unit 70 transfers the test tray transferred from the exchange unit 50 step by step from front to back, and heats the semiconductor devices to a predetermined temperature. Alternatively, the preheating chamber 71 capable of cooling and the semiconductor elements of the test tray transferred through the preheating chamber 71 are mounted on a test socket (not shown) coupled with an external test equipment (not shown) for testing. A heat treatment for returning the tested semiconductor device to an initial room temperature state while transferring the test chamber 72 performing the step and the test tray transferred through the test chamber 72 step by step from the rear to the front step by step It consists of a chamber 73. The preheating chamber 71, the test chamber 72, and the heat removing chamber 73 are sequentially disposed laterally.

상기 테스트챔버(72)의 후방에는 복수개의 테스트소켓(미도시)을 구비한 테스트보드(74)가 상하로 2층으로 구성된다. 또한, 상기 테스트챔버(72)의 내부에는 테스트 트레이(T)가 상,하측 테스트보드(74)에 정렬되었을 때 테스트 트레이(T)의 캐리어(C)를 테스트보드(74)로 가압함으로써 반도체 소자를 테스트소켓에 접속시키는 콘택트유닛(75)이 전후진 이동 가능하게 설치된다. At the rear of the test chamber 72, a test board 74 having a plurality of test sockets (not shown) is formed in two layers. In addition, when the test tray T is aligned with the upper and lower test boards 74 inside the test chamber 72, the semiconductor device is pressed by pressing the carrier C of the test tray T with the test board 74. Contact unit 75 is connected to the test socket so as to be movable forward and backward.

상기 예열챔버(71)와 제열챔버(73)의 후단부에는 각 챔버의 최후방으로 이동한 테스트 트레이를 상하로 승강시키면서 분배하는 엘리베이터(78)가 설치된다. At the rear ends of the preheating chamber 71 and the heat removing chamber 73, an elevator 78 for distributing while lifting the test tray moved to the rear of each chamber up and down is provided.

상기 테스트부(70)의 전방에는 교환부(30)로부터 전달된 테스트 트레이 및 제열챔버(73)의 테스트 트레이(T)를 각각 측방의 예열챔버(71) 및 교환부(30)로 이송하는 전방측 이송유닛(76)이 설치된다. 그리고, 테스트부(70)의 후방에는 예열챔버(71) 및 테스트챔버(72)의 테스트 트레이(T)를 각각 테스트챔버(72) 및 제열챔버(73)로 이송하는 후방측 이송유닛(77)이 설치된다. In front of the test unit 70 is a front to transfer the test tray T and the test tray T of the heat removal chamber 73 transferred from the exchange unit 30 to the preheat chamber 71 and the exchange unit 30 on the side, respectively. The side transfer unit 76 is installed. The rear transfer unit 77 transfers the preheating chamber 71 and the test tray T of the test chamber 72 to the test chamber 72 and the heat removal chamber 73, respectively, behind the test unit 70. This is installed.

도 3 내지 도 6은 상기 핸들러의 예열챔버(71) 및 제열챔버(73)(도 1참조)에서 테스트 트레이(T)를 한 스텝씩 단계적으로 이송하는 테스트 트레이 이송장치의 구조를 나타낸다. 여기서는 테스트 트레이 이송장치의 일 실시예로서 예열챔버(71)에 적용되는 테스트 트레이 이송장치에 대해 설명하나, 본 발명의 테스트 트레이 이송장치는 제열챔버(73)에도 유사하게 적용될 수 있을 것이다. 3 to 6 show the structure of the test tray feeder which transfers the test tray T step by step in the preheating chamber 71 and the heat removing chamber 73 (see FIG. 1) of the handler. Herein, a test tray feeder applied to the preheating chamber 71 will be described as an embodiment of the test tray feeder. However, the test tray feeder of the present invention may be similarly applied to the heat transfer chamber 73.

도면에 도시된 것과 같이, 본 발명의 테스트 트레이 이송장치는 예열챔버(71)의 하부에 전후방향으로 길게 설치되는 2개의 이송부재(110)와, 상기 이송부재(110)의 내측에 역시 전후방향으로 길게 설치되는 2개의 홀더부재(120)와, 상기 예열챔버(71)의 후방부에서 상기 홀더부재(120)의 내측에 설치되는 2개의 최종 홀더부재(130)와, 상기 예열챔버(71)의 전방부의 상,하부에 90도로 왕복 회동하도록 설치되는 복수개의 전방 홀더축(180)과, 상기 전방 홀더축(180)과 나란하게 설치되며 90도 왕복 회동 및 전후진 가능하게 설치된 전방 이송축(170)을 포함하여 구성된다.As shown in the figure, the test tray conveying apparatus of the present invention has two conveying members 110 which are installed long in the front-rear direction in the lower part of the preheating chamber 71, and also in the front-rear direction inside the conveying member 110. Two holder members 120 which are installed to be long, two final holder members 130 which are installed inside the holder member 120 at the rear of the preheat chamber 71, and the preheat chamber 71. A plurality of front holder shafts 180 installed to reciprocate the upper and lower portions of the front portion of the front portion by 90 degrees, and the front feed shafts installed in parallel with the front holder shaft 180 and installed to allow 90 degrees reciprocation rotation and forward and backward movements. 170).

그리고, 상기 예열챔버(71)의 측면에는 테스트 트레이(T)의 측면부를 해제 가능하게 지지하는 측면 지지부재(150)가 설치되며, 예열챔버(71)의 상부에는 테스트 트레이(T)의 상단 가장자리부를 지지하는 2개의 상부 홀더부재(140)가 전후방향으로 길게 설치된다.In addition, a side support member 150 is installed on a side of the preheating chamber 71 to release the side of the test tray T, and an upper edge of the test tray T is provided on the top of the preheating chamber 71. Two upper holder members 140 supporting the portion are installed long in the front-rear direction.

상기 이송부재(110)와 홀더부재(120)와 상부 홀더부재(140) 및 측면 지지부재(150)는 대체로 기다란 직사각형 형태로 이루어지며, 테스트 트레이(T)의 가장자리부가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈(111, 121, 141, 151)이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성된다. The transfer member 110, the holder member 120, the upper holder member 140, and the side support member 150 may have a generally rectangular shape, and a plurality of hooks may be inserted into and supported at an edge of the test tray T. Grooves 111, 121, 141 and 151 are formed at regular intervals along the longitudinal direction.

또한, 상기 최종홀더부재(130)는 상기 홀더부재(120)의 후단부에 연이어서 형성됨이 바람직하며, 그의 걸림홈(131)의 갯수는 2~3개 정도로 홀더부재(120)의 걸림홈(121)의 갯수보다 작게 형성된다. In addition, the final holder member 130 is preferably formed in succession to the rear end of the holder member 120, the number of the locking groove 131 of the locking groove of the holder member 120 (about 2 to 3) It is formed smaller than the number of 121).

상기 이송부재(110)는 예열챔버(71)의 전방면 외측에 설치되는 수평이동유닛(160)에 의해 전후방향으로 일정 거리 수평 왕복 이동하도록 구성된다. 이 실시예에서 상기 수평이동유닛(160)은 예열챔버(71)의 전방면 외측에 전후진 가능하게 설치되는 가동판(161)과, 상기 예열챔버(71)의 전방 외측면에 고정되어 상기 가동판(161)을 전후진시키는 전후진용 공압실린더(162)와, 상기 가동판(161)의 양측에 형성된 가이드보스(164)에 삽입되어 가동판(161)의 전후 이동을 안내하는 가이드핀(163)과, 상기 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 각 이송부재(110)의 전단부와 가 동판(161)을 상호 연결하는 연결바아(165)로 구성될 수 있다. The conveying member 110 is configured to horizontally reciprocate a predetermined distance in the front-rear direction by a horizontal moving unit 160 installed outside the front surface of the preheating chamber 71. In this embodiment, the horizontal moving unit 160 is movable plate 161 which is installed to the front and rear of the front surface of the preheating chamber 71 and the front outer surface of the preheating chamber 71 is fixed to the movable Forward and backward pneumatic cylinder 162 for advancing and retreating the plate 161, and guide pins 163 inserted into the guide boss 164 formed on both sides of the movable plate 161 to guide the forward and backward movement of the movable plate 161. ) And a connection bar 165 penetrating the front surface of the preheating chamber 71 and interconnecting the front end of each transfer member 110 and the movable plate 161.

또한, 상기 측면 지지부재(150)는 예열챔버(71)의 측방향으로 수평 왕복이동하면서 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지 및 해제함과 더불어, 상기 수평이동유닛(160)에 연결되어 상기 이송부재(110)와 함께 이동하면서 테스트 트레이(T)를 반송하는 역할을 한다. In addition, the side support member 150 supports and releases the side edges of the test tray T while horizontally reciprocating in the lateral direction of the preheating chamber 71, and is connected to the horizontal transfer unit 160. While moving with the transfer member 110 serves to convey the test tray (T).

이를 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 예열챔버(71)의 일측면부에 가동브라켓(152)이 전후방향으로 이동 가능하게 구성되고, 상기 가동브라켓(152)의 상부에 측면 지지부재(150)가 측면 공압실린더(154)에 의해 측방향으로 왕복 이동가능하게 설치된다. 상기 가동브라켓(152)은 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 상기 수평이동유닛(160)의 가동판(161)에 연결되는 연결바아(165)에 고정되어, 상기 가동판(161)의 이동에 의해 상기 이송부재(110)와 함께 이동하도록 구성된다. In more detail, the movable bracket 152 is configured to be movable in the front-rear direction at one side surface of the preheating chamber 71, and the side support member 150 is provided at the upper side of the movable bracket 152. The cylinder 154 is installed to reciprocate in the lateral direction. The movable bracket 152 is fixed to the connecting bar 165 connected to the movable plate 161 of the horizontal moving unit 160 through the front surface of the preheating chamber 71, the movable plate 161 of the movable plate 161 It is configured to move together with the transfer member 110 by movement.

그리고, 상기 홀더부재(120) 및 최종홀더부재(130)는 상기 이송부재(110)보다 높은 고정위치(P2)와 이송부재(110)보다 낮은 해제위치(P1)로 상하로 이동하도록 구성된다. 여기서, 상기 홀더부재(120)와 최종홀더부재(130)는 각각 예열챔버(71)의 하부면을 관통하는 가이드바아(124, 132)를 매개로 예열챔버(71)의 하부 외측에 설치되는 제 1,2 승강용 공압실린더(125, 135)에 연결되어 상하로 승강운동하게 된다. The holder member 120 and the final holder member 130 are configured to move up and down to a fixed position P2 higher than the transfer member 110 and a release position P1 lower than the transfer member 110. Here, the holder member 120 and the final holder member 130 are respectively installed on the lower outer side of the preheat chamber 71 through the guide bars 124, 132 penetrating the lower surface of the preheat chamber 71, respectively. It is connected to the first and second pneumatic cylinders 125 and 135 to move up and down.

한편, 상기 전방 홀더축(180) 및 전방 이송축(170)은 대략 원형 단면을 갖는 바아 형태로 이루어지면, 그 일단부에는 2개의 걸림돌기(171, 181)에 의해 테스트 트레이(T)의 상,하단 가장자리부를 지지하게 되는 걸림홈(172, 182)이 형성된 구조 로 이루어진다. On the other hand, when the front holder shaft 180 and the front feed shaft 170 has a bar shape having a substantially circular cross section, one end of the test tray (T) by the two engaging projections (171, 181) , The locking groove 172, 182 to support the lower edge portion is formed.

또한, 상기 전방 홀더축(180)들은 그 끝단부가 상기 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 링크바아(184) 및 제 1공압실린더(185)에 의해 상호 연결되고, 이 제 1공압실린더(185)의 작동에 의해 연동하여 일정 각도로 회전하면서 테스트 트레이(T)를 지지 및 해제한다. In addition, the front holder shafts 180 are connected to each other by a link bar 184 and a first pneumatic cylinder 185 through the front end of the preheating chamber 71, and the first pneumatic cylinder ( The test tray T is supported and released while being rotated at an angle in cooperation with the operation of the device 185.

상기 전방 이송축(170) 또한 그 끝단부가 예열챔버(71)의 전방면 및 가동판(161)을 관통하여 링크바아(174) 및 제 2공압실린더(175)에 의해 상호 연결되고, 이 제 2공압실린더(175)의 작동에 의해 연동하여 일정 각도로 회전하면서 테스트 트레이(T)를 지지 및 해제한다. 그리고, 상기 전방 이송축(170)은 상기 가동판(161)의 이동에 의해 전후진하면서 테스트 트레이(T)를 홀더부재(120)의 최전방 걸림홈(121)과 대응하는 위치로 반송한다. The front feed shaft 170 is also connected to each other by a link bar 174 and a second pneumatic cylinder 175 through the front end of the preheating chamber 71 and the movable plate 161. By operating the pneumatic cylinder 175, the test tray T is supported and released while being rotated at an angle. The front feed shaft 170 carries the test tray T to a position corresponding to the frontmost locking groove 121 of the holder member 120 while moving forward and backward by the movement of the movable plate 161.

상기와 같이 구성된 테스트 트레이 이송장치의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다. 참고로, 테스트 트레이 이송장치의 작동의 이해를 돕기 위해, 테스트 트레이(T)는 예열챔버(71)의 전방에서 후방으로 한 스텝씩 진행하게 됨을 미리 밝히는 바이다. Referring to the operation of the test tray feeder configured as described above are as follows. For reference, in order to assist in understanding the operation of the test tray feeder, the test tray T is previously disclosed to advance one step from the front of the preheating chamber 71 to the rear.

핸들러가 가동되면, 교환부(30)(도 1참조)로부터 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(T)가 테스트부(70)(도 1참조)의 전방으로 반송되고, 이어서 테스트 트레이(T)는 전방측 이송유닛(76)(도 1참조)에 의해 슬라이딩하여 예열챔버(71)의 최전방으로 진입한다. 이 때, 예열챔버(71)의 전방으로 인입된 테스트 트레이(T)는 전방 홀더축(180)의 걸림홈(182)에 삽입되어 지지된다. When the handler is activated, the test tray T on which the semiconductor element is mounted is transferred from the exchange unit 30 (see FIG. 1) to the front of the test unit 70 (see FIG. 1), and then the test tray T is It slides by the front side transfer unit 76 (refer FIG. 1), and enters the foremost of the preheating chamber 71. FIG. At this time, the test tray T drawn in front of the preheating chamber 71 is inserted into and supported by the locking groove 182 of the front holder shaft 180.

이어서, 제 2공압실린더(175)의 작동에 의해 전방 이송축(170)이 회전하여 테스트 트레이(T)를 지지함과 동시에 제 1공압실린더(185)의 작동에 의해 전방 홀더축(180)이 회전하여 테스트 트레이(T)의 고정상태를 해제한다. 그 다음, 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 후방으로 이동하여 상기 전방 이송축(170)이 후방으로 이동하게 되고, 이에 따라 테스트 트레이(T)의 후방으로 이동하게 된다. 이 때, 테스트 트레이(T)는 홀더부재(120)의 최전방의 첫번째 걸림홈(121)과 대응하는 위치에 위치된다. Subsequently, the front feed shaft 170 is rotated by the operation of the second pneumatic cylinder 175 to support the test tray T, and the front holder shaft 180 is operated by the operation of the first pneumatic cylinder 185. Rotate to release the test tray T. Then, the movable plate 161 is moved to the rear by the operation of the pneumatic cylinder 162 for forward and backward to move the front feed shaft 170 to the rear, thereby moving to the rear of the test tray (T). do. At this time, the test tray T is located at a position corresponding to the first locking groove 121 of the foremost of the holder member 120.

그리고, 측면 공압실린더(154)의 작동에 의해 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동하여 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지한다. 이어서, 제 1승강용 공압실린더(125)의 작동에 의해 홀더부재(120)가 고정위치(P2)로 상승하고, 테스트 트레이(T)의 하단부가 홀더부재(120)의 첫번째 걸림홈(121)에 걸려 지지됨과 더불어 테스트 트레이(T)의 상단부가 상부 홀더부재(140)의 첫번째 걸림홈(141)에 걸려 지지된다. 이로써 테스트 트레이(T)의 첫번째 후방 이동이 완료된다. Then, the side support member 150 is moved laterally inward by the operation of the side pneumatic cylinder 154 to support the side edge of the test tray (T). Subsequently, the holder member 120 is raised to the fixed position P2 by the operation of the first lifting pneumatic cylinder 125, and the lower end of the test tray T is the first locking groove 121 of the holder member 120. In addition, the upper end of the test tray T is supported by the first locking groove 141 of the upper holder member 140. This completes the first rearward movement of the test tray T.

그 다음, 상기 측면 공압실린더(154)의 작동에 의해 측면 지지부재(150)가 측방향 외측으로 이동하여 테스트 트레이(T)의 측면부의 고정상태를 해제한다. 그리고, 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 전방으로 이동하여 측면 지지부재(150) 및 이송부재(110)가 전방으로 이동한다. Then, the side support member 150 is moved laterally outward by the operation of the side pneumatic cylinder 154 to release the fixed state of the side of the test tray (T). Then, the movable plate 161 moves forward by the operation of the pneumatic cylinder 162 for forward and backward movement so that the side support member 150 and the transfer member 110 move forward.

이어서, 다시 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동하면서 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지한다. 그리고, 제 1 승강용 공압실린더(125)가 하강 작동하여 홀더부재(120)가 해제위치(P1)로 하강하고, 테스트 트레이(T)의 하 단부가 이송부재(110)의 걸림홈(111)에 삽입되어 지지된다. 물론, 이 때 테스트 트레이(T)의 상단부는 상부 홀더부재(140)의 걸림홈(141) 외측으로 빠져 나와 자유로운 상태로 된다.Subsequently, the side support member 150 moves laterally inward to support the side edge of the test tray T. Then, the first lifting pneumatic cylinder 125 is lowered to operate the holder member 120 is lowered to the release position (P1), the lower end of the test tray (T) is the locking groove 111 of the transfer member 110 Is inserted into and supported. Of course, at this time, the upper end portion of the test tray T comes out of the locking groove 141 of the upper holder member 140 to be free.

다음으로, 상기 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 후방으로 이동하고, 이에 따라 이송부재(110) 및 측면 지지부재(150)가 동시에 후방으로 이동하면서 테스트 트레이(T)를 후방으로 한 스텝 이동시키게 된다. Next, the movable plate 161 is moved backward by the operation of the pneumatic cylinder 162 for forward and backward, and thus the transfer tray 110 and the side support member 150 are moved backwards at the same time while the test tray T ) To move backward one step.

그리고, 다시 제 1 승강용 공압실린더(125)의 작동에 의해 홀더부재(120)가 고정위치(P2)로 상승하면서 테스트 트레이(T)를 들어올히게 되고, 이에 따라 테스트 트레이(T)의 하단부가 이송부재(110)의 걸림홈(111)에서 빠져 나옴과 동시에 상단부가 상부 홀더부재(140)가 걸려 고정된다. Then, the holder member 120 is lifted up to the fixed position P2 by the operation of the first lifting pneumatic cylinder 125 to lift the test tray T. Accordingly, the lower end of the test tray T is The upper holder member 140 is caught and fixed at the same time as it is pulled out of the locking groove 111 of the transfer member 110.

이 후, 전술한 것과 마찬가지로 측면 지지부재(150)가 측방향 외측으로 이동한 다음, 가동판(161)의 전진에 의해 측면 지지부재(150) 및 이송부재(110)가 전진하고, 다시 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동한 후, 홀더부재(120)가 하강하여 테스트 트레이(T)를 이송부재(110)에 안착시키고, 가동판(161)이 후진하여 이송부재(110) 및 측면 지지부재(150)가 테스트 트레이를 후진시킴으로써 테스트 트레이를 한 스텝 후진시키는 과정을 반복한다. Thereafter, the side support member 150 moves laterally outward in the same manner as described above, and then the side support member 150 and the transfer member 110 are advanced by the advancement of the movable plate 161, and the side support is again supported. After the member 150 is moved laterally inwardly, the holder member 120 is lowered to seat the test tray T on the transfer member 110, and the movable plate 161 is moved backward to move the transfer member 110 and The side support member 150 repeats the process of reversing the test tray by one step by reversing the test tray.

상기와 같이 예열챔버(71) 내에서 테스트 트레이 이송장치가 테스트 트레이를 한 스텝씩 후진시킬 때, 예열챔버(71) 내부로 테스트 트레이가 연속적으로 공급될 것이고, 예열챔버(71) 내로 공급된 테스트 트레이들은 전술한 과정에 의해 함께 후진하게 된다. As described above, when the test tray feeder reverses the test tray by one step in the preheat chamber 71, the test tray will be continuously supplied into the preheat chamber 71, and the test supplied into the preheat chamber 71 will be described. The trays are retracted together by the process described above.

상기 예열챔버(71)의 후방으로 이동한 테스트 트레이(T)들은 예열챔버(71) 최후방으로 이동하기 전에 상기 최종홀더부재(130)에 의해 고정되어 대기하게 된다. The test trays T moved to the rear of the preheating chamber 71 are fixed by the final holder member 130 before moving to the rear end of the preheating chamber 71.

예열챔버(71)의 최후방으로 이동한 테스트 트레이(T)는 엘리베이터(78)에 안착되어 상측으로 이동하거나, 곧바로 후방측 이송유닛(77)(도 1참조)에 의해 측방향으로 슬라이딩하여 테스트챔버(72)로 반송된다. The test tray T moved to the rearmost portion of the preheating chamber 71 is seated on the elevator 78 and moved upward, or is immediately tested by sliding laterally by the rear transfer unit 77 (see FIG. 1). It is conveyed to the chamber 72.

한편, 전술한 실시예의 설명에서 이송부재(110)와 홀더부재(120), 최종홀더부재(130) 및, 측면 지지부재(150) 등의 갯수는 필요에 따라 1개 또는 2개 이상을 선택적으로 취할 수 있다.On the other hand, the number of the transfer member 110, the holder member 120, the final holder member 130, the side support member 150, etc. in the description of the above-described embodiment selectively one or two or more, if necessary Can be taken.

예를 들어, 전술한 실시예에서는 측면 지지부재(150)가 1개가 구성되어 있으나, 이와 다르게 측면부에 상하로 2개가 구성될 수도 있을 것이다. For example, in the above-described embodiment, one side support member 150 is configured. Alternatively, two side support members 150 may be configured up and down.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 상측 홀더부재는 고정된 상태에서 하측의 홀더부재만 상측으로 이동하는 동작에 의해 테스트 트레이가 고정되고, 이송부재를 전후진 시키는 동작에 의해 테스트 트레이가 진행할 수 있게 되므로 홀더부재와 이송부재를 구동시키기 위한 구동장치의 구조가 단순화되고, 따라서 전체 구조가 단순화되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the test tray is fixed by an operation of moving only the lower holder member upward while the upper holder member is fixed, and the test tray can proceed by an operation of advancing and moving the transfer member. Therefore, the structure of the driving device for driving the holder member and the conveying member is simplified, and thus the overall structure is simplified.

또한, 홀더부재 및 이송부재를 회전시키지 않고 상하 또는 수평 운동시키는 작동에 의해 테스트 트레이를 이송할 수 있으므로 홀더부재와 이송부재의 크기 및 강도를 증대시킬 수 있고, 따라서 테스트 트레이의 크기가 증대되더라도 변형이 발 생하지 않고 안정적인 동작을 수행할 수 있다. In addition, since the test tray can be transferred by an operation of vertically or horizontally moving the holder member and the conveying member without rotating, the size and strength of the holder member and the conveying member can be increased, and thus, even if the size of the test tray is increased, the strain is deformed. This does not occur and can perform a stable operation.

Claims

In the transfer device for transferring the test tray equipped with a semiconductor element in the chamber of the handler in a stepwise direction of the chamber,

A plurality of locking grooves are inserted at the lower edges of the test tray and are supported at regular intervals along the longitudinal direction, and the test trays are installed to be reciprocally moved by a predetermined distance in the front and rear directions of the chamber. At least one conveying member for conveying step by step;

A plurality of locking grooves are inserted into and supported by the lower edge of the test tray at regular intervals along the longitudinal direction, and are installed side by side with the transfer member, and are positioned lower than the transfer member so that the test tray is locked by the transfer member. At least one holder member movably in a vertical position to a first position to be supported at the second position and a second position to be positioned higher than the transfer member to release and fix the test tray from the transfer member;

A horizontal moving unit for horizontally reciprocating the conveying member horizontally along the front and rear directions of the chamber;

And a lift unit configured to lift and lower the holder member to a first position and a second position.

The chamber of claim 1, wherein a plurality of locking grooves are installed at a side portion of the chamber to be reciprocally moved in a lateral direction, and are supported at a predetermined interval along a length direction to support the side edges of the test tray while being inserted. At least one side support member releasably supporting a side edge portion of the test tray at a side portion of the test tray;

And a side moving unit configured to reciprocate the side support member for a predetermined distance to the side of the chamber.

The test tray of claim 2, wherein the side support member and the side moving unit are coupled to the horizontal moving unit to move horizontally in the front and rear direction together with the transfer member and move the test tray. Conveying device.

According to claim 1, The upper side of the chamber is installed in parallel with the holder member, a plurality of engaging grooves are formed at regular intervals along the longitudinal direction is supported by the upper edge of the test tray is inserted, the holder member is raised The test tray transfer apparatus of the handler for semiconductor device testing, characterized in that it further comprises an upper holder member for holding the upper edge of the test tray fixedly.

2. The apparatus of claim 1, further comprising: a final holder member installed below the rear portion of the chamber so as to be movable up and down from a first position to a second position and having a smaller number of locking grooves than the number of locking grooves of the holder member;

And a second elevating unit for elevating the final holder member to a first position and a second position.

The at least one front holder shaft of claim 1, further comprising: at least one front holder shaft disposed at the front of the chamber so as to be reciprocally rotated at a predetermined angle about the axis, and having a locking portion for fixing and releasing the edge of the test tray inserted into the front of the chamber; ;

A test tray fixed to the front holder shaft is formed in the frontmost part of the chamber to be reciprocally rotatable at a predetermined angle and horizontally movable in the front-rear direction, and to hold and release the edge of the test tray. And at least one forward feed shaft for moving the test tray to a position corresponding to the foremost catching groove of the holder member when the fixed state of the chamber is released. Test tray feeder.

The method of claim 1, wherein the horizontal moving unit,

A movable plate installed to be movable in the front-rear direction outside the front surface of the chamber;

A connecting portion connecting the front end of the movable plate and the transfer member through the front surface of the chamber;

A driving unit installed outside the front surface of the chamber to move the movable plate forward and backward;

And a guide part for guiding the movement of the movable plate with respect to the chamber.

According to claim 1, The lifting unit,

A connection bar installed at a lower outer side of the chamber to be movable up and down and having an upper end fixedly connected to the holder member;

A lifting guide part for guiding the vertical movement of the connecting bar;

And a pneumatic cylinder installed at an outer side of the lower surface of the chamber and configured to move the connecting bar up and down.