KR102231173B1 - Apparatus for transferring a test tray - Google Patents

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KR102231173B1
KR102231173B1 KR1020140150046A KR20140150046A KR102231173B1 KR 102231173 B1 KR102231173 B1 KR 102231173B1 KR 1020140150046 A KR1020140150046 A KR 1020140150046A KR 20140150046 A KR20140150046 A KR 20140150046A KR 102231173 B1 KR102231173 B1 KR 102231173B1
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이진환
공근택
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세메스 주식회사
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Abstract

테스트 트레이 이송 장치가 개시된다. 상기 장치는, 복수의 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하며 상기 테스트 트레이를 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 부재들과, 상기 수평 방향으로 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 이송축들과, 상기 이송축들과 연결되며 상기 테스트 트레이를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부를 포함하며, 상기 테스트 트레이는 상기 가이드 부재들 상에서 슬라이드 방식으로 이동된다.A test tray transfer device is disclosed. The device includes guide members for supporting a test tray in which a plurality of semiconductor elements are accommodated in an erect state in a vertical direction and guiding the test tray in a horizontal direction, and extending parallel in the horizontal direction, and Transport shafts having slots into which portions are inserted, and a first driving unit connected to the transport shafts and configured to move the test tray in the horizontal direction, and the test tray slides on the guide members. do.

Description

테스트 트레이 이송 장치{Apparatus for transferring a test tray}Test tray transfer device {Apparatus for transferring a test tray}

본 발명의 실시예들은 테스트 트레이 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들에 대한 테스트 공정을 수행하기 위하여 상기 반도체 소자들을 수납하는 테스트 트레이를 수직 방향으로 세워진 상태에서 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a test tray transfer device. More specifically, the present invention relates to an apparatus for transporting a test tray for accommodating the semiconductor devices in a vertical direction in order to perform a test process on the semiconductor devices.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정 등을 통하여 완성될 수 있다.In general, semiconductor devices can be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes, and the semiconductor devices formed as described above can be completed through a dicing process, bonding process, and packaging process. have.

상기와 같이 제조된 반도체 소자들은 전기적 특성 검사를 통하여 양품 또는 불량품으로 판정될 수 있다. 상기 전기적 특성 검사에는 상기 반도체 소자들을 핸들링하는 테스트 핸들러와 상기 반도체 소자들을 검사하기 위한 테스터가 사용될 수 있다.Semiconductor devices manufactured as described above may be determined as good or defective products through electrical characteristic inspection. A test handler for handling the semiconductor devices and a tester for checking the semiconductor devices may be used for the electrical characteristic inspection.

상기 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 가열 또는 냉각시키기 위한 속챔버와 상기 반도체 소자들에 대한 테스트 공정이 수행되는 테스트 챔버 및 상기 반도체 소자들을 상온으로 회복시키기 위한 디속 챔버를 포함할 수 있다. 상기 반도체 소자들은 테스트 트레이에 수납된 상태에서 상기 속 챔버로 이송될 수 있으며, 상기 테스트 트레이는 상기 속 챔버 내에서 수직 방향으로 세워진 상태에서 이송될 수 있다.The test handler may include an inner chamber for heating or cooling the semiconductor elements, a test chamber for performing a test process on the semiconductor elements, and a sub chamber for restoring the semiconductor elements to room temperature. The semiconductor devices may be transferred to the inner chamber while being accommodated in a test tray, and the test tray may be transferred while being erected in a vertical direction within the inner chamber.

일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0988631호에는 속 챔버 내에서 테스트 트레이를 이송하기 위한 장치가 개시되어 있다. 상기 대한민국 등록특허공보 제10-0988631호에 따르면, 상기 테스트 트레이 이송 장치는 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 이동 가능하며 테스트 트레이를 지지하는 받침대와 테스트 트레이의 전면 및 후면을 지지하는 지지대를 포함하는 트레이 지지부와, 상기 받침대를 이동시키는 구동부 등을 포함하고 있으나, 상기 테스트 트레이 이송 장치의 구성이 매우 복잡하며 그 구동 방법 역시 매우 많은 단계들을 통해 이루어지므로 테스트 트레이의 이송에 상당한 시간이 소요되는 문제점이 있다.As an example, Korean Patent Publication No. 10-0988631 discloses an apparatus for transferring a test tray in an inner chamber. According to the Republic of Korea Patent Publication No. 10-0988631, the test tray transfer device includes a guide rail, a base that is movable along the guide rail and supports the test tray, and a support base that supports the front and rear surfaces of the test tray. Although it includes a tray support part and a driving part for moving the pedestal, the configuration of the test tray transfer device is very complex, and the driving method is also performed through a very large number of steps, so it takes a considerable amount of time to transfer the test tray. have.

본 발명의 실시예들은 간단한 구조를 가지며 테스트 트레이의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 테스트 트레이 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a test tray transfer device having a simple structure and capable of shortening the time required for transferring the test tray.

본 발명의 실시예들에 따르면, 테스트 트레이 이송 장치는, 복수의 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하며 상기 테스트 트레이를 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 부재들과, 상기 수평 방향으로 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 이송축들과, 상기 이송축들과 연결되며 상기 테스트 트레이를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 테스트 트레이는 상기 가이드 부재들 상에서 슬라이드 방식으로 이동될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a test tray transfer device includes guide members for supporting a test tray in which a plurality of semiconductor elements are stored in a vertical direction and guiding the test tray in a horizontal direction, and the horizontal It may include transport shafts extending in parallel in a direction and having slots into which edge portions of the test tray are inserted, and a first driving unit connected to the transport shafts and configured to move the test tray in the horizontal direction. In this case, the test tray may be moved in a slide manner on the guide members.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 부재들은 상기 테스트 트레이의 이송 방향으로 연장될 수 있으며, 상기 테스트 트레이를 지지하기 위한 하부 가이드 부재들과 상기 테스트 트레이의 양쪽 측면들을 각각 지지하기 위한 측면 가이드 부재들을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the guide members may extend in the transport direction of the test tray, and lower guide members for supporting the test tray and side guides for supporting both sides of the test tray, respectively. It may include members.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송축들은 상기 테스트 트레이의 하부에 배치되는 제1 및 제2 이송축들과 상기 테스트 트레이의 상부에 배치되는 제3 이송축을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the transport shafts may include first and second transport shafts disposed below the test tray and a third transport shaft disposed above the test tray.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송축들 각각은 상기 슬롯들을 구성하는 복수의 돌출부들을 갖고 상기 돌출부들은 일정한 간격으로 배열될 수 있다.According to embodiments of the present invention, each of the transfer shafts may have a plurality of protrusions constituting the slots, and the protrusions may be arranged at regular intervals.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 테스트 트레이 이송 장치는, 상기 이송축들의 슬롯들에 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되도록 상기 이송축들을 회전시키는 제2 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the test tray transfer device may further include a second driving unit that rotates the transfer shafts so that edge portions of the test tray are inserted into slots of the transfer shafts.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제2 구동부는 상기 테스트 트레이를 이송하기 위하여 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들에 삽입되도록 상기 이송축들을 회전시키고, 상기 이송축들을 후퇴시키기 위하여 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들로부터 이탈되도록 상기 이송축들을 회전시킬 수 있다.According to embodiments of the present invention, the second driving unit rotates the transfer shafts so that edge portions of the test tray are inserted into the slots to transfer the test tray, and the test is performed to retreat the transfer shafts. The transport shafts may be rotated so that edge portions of the tray are separated from the slots.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 테스트 트레이 이송 장치는, 상기 이송축들에 의해 이송된 테스트 트레이의 위치를 고정시키기 위한 트레이 고정부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the test tray transfer device may further include a tray fixing unit for fixing the position of the test tray transferred by the transfer shafts.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 트레이 고정부는, 상기 이송축들과 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 고정축들과, 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들에 삽입되도록 상기 고정축들을 회전시키는 제3 구동부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tray fixing part includes fixing shafts extending parallel to the transfer shafts and having slots into which edge portions of the test tray are inserted, and edge portions of the test tray are the slots. It may include a third driving unit for rotating the fixed shaft so as to be inserted into.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 고정축들 각각은 상기 이송축들의 돌출부들과 동일한 간격으로 이격된 돌출부들을 가질 수 있다.According to embodiments of the present invention, each of the fixed shafts may have protrusions spaced apart at the same interval as the protrusions of the transport shafts.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 고정축들은 상기 테스트 트레이의 하부에 배치되는 제1 및 제2 고정축들과 상기 테스트 트레이의 상부에 배치되는 제3 고정축을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the fixed shafts may include first and second fixed shafts disposed below the test tray and a third fixed shaft disposed above the test tray.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 테스트 트레이 이송 장치는, 테스트 트레이를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하는 가이드 부재들과, 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 이송축들과, 상기 테스트 트레이를 이송하기 위하여 상기 이송축들을 이동시키는 제1 구동부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들은 제2 구동부에 의해 상기 이송축들의 슬롯들에 삽입될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the test tray transfer device includes guide members supporting the test tray in a vertically erect state, and transfer shafts having slots into which edge portions of the test tray are inserted. And, it may include a first driving unit for moving the transport shafts to transport the test tray. In this case, the edge portions of the test tray may be inserted into the slots of the transfer shafts by the second driving unit.

상기 테스트 트레이는 상기 제1 구동부의 왕복 운동과 제2 구동부의 회전 운동에 의해 수평 방향으로 이송될 수 있다. 상기와 같은 테스트 트레이 이송 장치의 구성이 종래 기술에 비하여 매우 간단하게 이루어지며 구동 방법 역시 종래 기술에 비하여 매우 간단하므로 상기 테스트 트레이 이송 장치의 제조 비용이 크게 절감될 수 있으며 또한 상기 테스트 트레이의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.The test tray may be transported in a horizontal direction by a reciprocating motion of the first driving unit and a rotational movement of the second driving unit. Since the configuration of the test tray transfer device as described above is very simple compared to the prior art, and the driving method is also very simple compared to the prior art, the manufacturing cost of the test tray transfer device can be greatly reduced. The time required can be greatly shortened.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테스트 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송축을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4는 도 1에 도시된 고정축을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5 내지 도 8은 도 1에 도시된 테스트 트레이 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a test tray transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the test tray transfer device shown in FIG. 1.
3 is a schematic configuration diagram for explaining the transport shaft shown in FIG. 1.
4 is a schematic configuration diagram for explaining the fixed shaft shown in FIG. 1.
5 to 8 are schematic plan views for explaining the operation of the test tray transfer device shown in FIG. 1.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to allow the present invention to be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements are interposed therebetween. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be construed as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the present invention and related technology, and ideally or excessively external intuition unless clearly limited. It won't be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include variations in shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shape Are not intended to describe the exact shape of the elements, nor are they intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 테스트 트레이 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 이송축을 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 4는 도 1에 도시된 고정축을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 그리고, 도 5 내지 도 8은 도 1에 도시된 테스트 트레이 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a test tray transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side view for explaining the test tray transfer device shown in FIG. 1. FIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the transport shaft shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram for describing the fixed shaft shown in FIG. 1. And, FIGS. 5 to 8 are schematic plan views for explaining the operation of the test tray transfer device shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(100)는 테스트 핸들러의 속 챔버 내에서 테스트 트레이(10)를 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 테스트 트레이(10)는 상기 속 챔버 내에서 수직 방향으로 세워진 상태에서 이송될 수 있다.1 to 8, the test tray transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transfer the test tray 10 within the inner chamber of the test handler. In particular, the test tray 10 may be transported in a vertical direction in the inner chamber.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 테스트 트레이 이송 장치(100)는 테스트 공정을 수행하기 위하여 복수의 반도체 소자들(20)이 수납된 테스트 트레이(10)를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하며 상기 테스트 트레이(10)를 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 부재들(110)과 상기 테스트 트레이(10)를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 트레이 이송부(120)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the test tray transfer device 100 supports the test tray 10 in which a plurality of semiconductor elements 20 are accommodated in a vertical direction in order to perform a test process, and the Guide members 110 for guiding the test tray 10 in the horizontal direction and a tray transfer unit 120 for moving the test tray 10 in the horizontal direction may be included.

일 예로서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 하부를 지지하며 상기 테스트 트레이(10)의 이송 방향으로 연장하는 두 개의 하부 가이드 부재들(112)과, 상기 테스트 트레이(10)의 양쪽 측면들을 각각 지지하며 상기 테스트 트레이(10)의 이송 방향으로 연장하는 두 개의 측면 가이드 부재들(114)이 사용될 수 있다. 특히, 상기 테스트 트레이(10)는 상기 트레이 이송부(120)에 의해 상기 가이드 부재들(110) 상에서 슬라이드 방식으로 이동될 수 있다.As an example, as shown in FIG. 2, two lower guide members 112 supporting the lower portion of the test tray 10 and extending in the transport direction of the test tray 10, and the test tray 10 ) Two side guide members 114 supporting both sides of the test tray 10 and extending in the transport direction of the test tray 10 may be used. In particular, the test tray 10 may be moved in a slide manner on the guide members 110 by the tray transfer unit 120.

상기 트레이 이송부(120)는, 상기 수평 방향 즉 상기 테스트 트레이(10)의 이송 방향으로 연장하며 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들(132)을 갖는 이송축들(130)과, 상기 이송축들(130)과 연결되어 상기 테스트 트레이(10)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부(140)를 포함할 수 있다.The tray transfer unit 120 includes transfer shafts 130 extending in the horizontal direction, that is, in the transfer direction of the test tray 10 and having slots 132 into which edge portions of the test tray 10 are inserted. , It may include a first driving unit 140 connected to the transport shafts 130 to move the test tray 10 in a horizontal direction.

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 구동부(140)는 모터 또는 공압 실린더를 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 제1 구동부(140)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 제1 구동부(140)의 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.Although not shown in detail, the first driving unit 140 may be configured using a motor or a pneumatic cylinder. However, since the configuration of the first driving unit 140 can be variously changed, the scope of the present invention will not be limited by the configuration of the first driving unit 140.

일 예로서, 상기 테스트 트레이(10)의 하부에 배치되는 제1 및 제2 이송축들(130A, 130B)과 상기 테스트 트레이(10)의 상부에 배치되는 제3 이송축(130C)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제3 이송축(130C)은 상기 테스트 트레이(10)의 상부의 일측면 부위에 인접하도록 배치될 수 있다.As an example, the first and second transfer shafts 130A and 130B disposed under the test tray 10 and a third transfer shaft 130C disposed over the test tray 10 may be included. I can. In particular, the third transfer shaft 130C may be disposed adjacent to a portion of one side of the upper portion of the test tray 10.

도 3에 도시된 바와 같이 상기 이송축들(130) 각각은 상기 슬롯들(132)을 구성하는 복수의 돌출부들(134)을 가질 수 있으며, 상기 돌출부들(134)은 일정한 간격으로 배치될 수 있다.As shown in FIG. 3, each of the transport shafts 130 may have a plurality of protrusions 134 constituting the slots 132, and the protrusions 134 may be disposed at regular intervals. have.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 트레이 이송부(120)는 상기 이송축들(130)의 슬롯들(132)에 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 삽입되도록 상기 이송축들(130)을 회전시키는 제2 구동부(150)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 구동부(150)는 상기 이송축들(130)과 각각 연결된 모터들을 이용하여 구성될 수도 있으며, 이와 다르게 하나의 모터와 벨트 및 풀리들을 이용하여 구성될 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the tray transfer unit 120 may move the transfer shafts 130 so that the edge portions of the test tray 10 are inserted into the slots 132 of the transfer shafts 130. It may include a second driving unit 150 to rotate. As an example, the second driving unit 150 may be configured using motors respectively connected to the transport shafts 130, or alternatively, may be configured using one motor, a belt, and pulleys.

상기 제2 구동부(150)는 상기 테스트 트레이(10)를 이송하기 위하여 상기 테스트 트레이들(10)의 가장자리 부위들이 상기 이송축들(130)의 슬롯들(132)에 삽입되도록 상기 이송축들(130)을 회전시킬 수 있으며, 또한 상기 이송축들(130)을 후퇴시키기 위하여 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 이송축들(130)의 슬롯들(132)로부터 이탈되도록 상기 이송축들(130)을 반대로 회전시킬 수 있다.The second driving unit 150 includes the transfer shafts (ie, the edge portions of the test trays 10 are inserted into the slots 132 of the transfer shafts 130) to transfer the test tray 10. 130), and to retreat the transport shafts 130, the transport shafts so that the edge portions of the test tray 10 are separated from the slots 132 of the transport shafts 130 (130) can be rotated in reverse.

예를 들면, 상기 제1 구동부(140)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 이송축들(130)의 첫 번째 슬롯들에 삽입된 상태에서 상기 이송 방향으로 상기 돌출부들(134)의 피치만큼 상기 이송축들(130)을 이동시킬 수 있다. 상기 제2 구동부(150)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 이동 후 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 첫 번째 슬롯들로부터 이탈되도록 상기 이송축들(130)을 회전시킬 수 있으며, 이어서 상기 제1 구동부(140)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 이송축들(130)을 후퇴시킬 수 있다. 계속해서, 상기 제2 구동부(150)는 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 이송축들(130)의 두 번째 슬롯들에 삽입되도록 상기 이송축들(130)을 회전시킬 수 있다.For example, as shown in FIGS. 5 and 6, the first driving unit 140 may be configured with the edge portions of the test tray 10 inserted into the first slots of the transfer shafts 130. The transport shafts 130 may be moved by the pitch of the protrusions 134 in the transport direction. As shown in FIG. 7, the second driving unit 150 moves the transfer shafts 130 so that the edges of the test tray 10 are separated from the first slots after the test tray 10 is moved. It may be rotated, and then the first driving unit 140 may retreat the transfer shafts 130 as shown in FIG. 8. Subsequently, the second driving unit 150 may rotate the transfer shafts 130 so that the edge portions of the test tray 10 are inserted into the second slots of the transfer shafts 130.

상기 트레이 이송부(120)는 상기와 같은 일련의 단계들을 반복적으로 수행함으로써 상기 테스트 트레이(10)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 테스트 트레이(10)는 상기 가이드 부재들(110)에 의해 지지된 상태에서 슬라이드 방식으로 이동될 수 있다.The tray transfer unit 120 may move the test tray 10 in a horizontal direction by repeatedly performing a series of steps as described above. In this case, the test tray 10 may be moved in a slide manner while being supported by the guide members 110.

상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 구동부(140)에 의한 왕복 운동 및 제2 구동부(150)에 의한 회전 운동과 같이 상대적으로 간단한 동작을 통해 상기 테스트 트레이(10)의 이송을 구현할 수 있다.As described above, according to an embodiment of the present invention, the test tray 10 can be controlled by relatively simple operations such as a reciprocating motion by the first driving unit 140 and a rotational movement by the second driving unit 150. Transfer can be implemented.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 테스트 트레이 이송 장치(100)는 상기 이송축들(130)의 후퇴 동작이 수행되는 동안 상기 테스트 트레이(10)의 위치를 고정시키기 위한 트레이 고정부(160)를 포함할 수 있다.On the other hand, according to an embodiment of the present invention, the test tray transfer device 100 is a tray fixing unit for fixing the position of the test tray 10 while the retraction operation of the transfer shafts 130 is performed ( 160).

상기 트레이 고정부(160)는, 상기 이송축들(130)과 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들(172)을 갖는 고정축들(170)과, 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들(172)에 삽입되도록 상기 고정축들(170)을 회전시키는 제3 구동부(180)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 제3 구동부(180)는 상기 고정축들(170)과 각각 연결된 모터들을 이용하여 구성될 수도 있으며, 이와 다르게 하나의 모터와 벨트 및 풀리들을 이용하여 구성될 수도 있다.The tray fixing part 160 includes fixing shafts 170 extending parallel to the transfer shafts 130 and having slots 172 into which edge portions of the test tray 10 are inserted, and the test It may include a third driving unit 180 for rotating the fixed shafts 170 so that the edge portions of the tray 10 are inserted into the slots 172. As an example, the third driving unit 180 may be configured using motors respectively connected to the fixed shafts 170, or alternatively, may be configured using one motor, a belt, and pulleys.

도 4에 도시된 바와 같이 상기 고정축들(170)은 상기 이송축들(130)과 동일한 구조를 가질 수 있다. 즉 도시된 바와 같이 상기 고정축들(170) 각각은 상기 슬롯들(172)을 구성하는 복수의 돌출부들(174)을 가질 수 있으며, 상기 돌출부들(174)은 상기 이송축들(130)의 돌출부들(134)과 동일한 간격으로 서로 이격될 수 있다. 즉, 상기 고정축들(170)의 돌출부들(174)은 상기 이송축들(130)의 돌출부들(134)과 동일한 피치를 가질 수 있다.As shown in FIG. 4, the fixed shafts 170 may have the same structure as the transport shafts 130. That is, as shown, each of the fixed shafts 170 may have a plurality of protrusions 174 constituting the slots 172, and the protrusions 174 are They may be spaced apart from each other at the same interval as the protrusions 134. That is, the protrusions 174 of the fixed shafts 170 may have the same pitch as the protrusions 134 of the transfer shafts 130.

예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 하부에 배치되는 제1 및 제2 고정축들(170A, 170B)과 상기 테스트 트레이(10)의 상부에 배치되는 제3 고정축(170C)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 고정축들(170A, 170B)은 상기 제1 및 제2 이송축들(130A, 130B)에 각각 인접하도록 배치될 수 있으며, 상기 제3 고정축(170C)은 상기 테스트 트레이(10)의 상부의 타측면 부위에 인접하도록 배치될 수 있다.For example, as shown in FIG. 2, first and second fixing shafts 170A and 170B disposed below the test tray 10 and a third fixing shaft disposed above the test tray 10 It may include an axis 170C. In particular, the first and second fixed shafts 170A and 170B may be disposed adjacent to the first and second transport shafts 130A and 130B, respectively, and the third fixed shaft 170C is It may be disposed to be adjacent to the other side portion of the upper portion of the test tray 10.

상기 제3 구동부(180)는 상기 이송축들(130)의 후퇴 동작시 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 위치를 고정시키기 위하여 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 고정축들(170)의 슬롯들(172)에 삽입되도록 상기 고정축들(170)을 회전시키며, 이어서 상기 이송축들(130)의 전진 동작시 간섭을 피하기 위하여 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 상기 고정축들(170)의 슬롯들(172)로부터 이탈되도록 상기 고정축들(170)을 반대로 회전시킬 수 있다. 이때, 상기 이송축들(130)과 고정축들(170)은 동시에 회전될 수 있다.The third driving unit 180 is an edge portion of the test tray 10 to fix the position of the test tray 10 as shown in FIGS. 7 and 8 when the transfer shafts 130 are retracted. The fixed shafts 170 are rotated so that they are inserted into the slots 172 of the fixed shafts 170, and then shown in Figs. 5 and 6 in order to avoid interference when the transport shafts 130 move forward. As illustrated, the fixed shafts 170 may be rotated in reverse so that the edge portions of the test tray 10 are separated from the slots 172 of the fixed shafts 170. In this case, the transport shafts 130 and the fixed shafts 170 may be rotated at the same time.

상기와 같이 테스트 트레이(10)가 상기 이송축들(130) 또는 고정축들(170)에 의해 3점 지지 형태로 지지될 수 있으므로 상기 테스트 트레이(10)의 안정적인 이송과 안정적인 위치 고정이 이루어질 수 있다.As described above, since the test tray 10 can be supported by the transfer shafts 130 or the fixed shafts 170 in a three-point support form, the test tray 10 can be transported in a stable manner and fixed in a stable position. have.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 테스트 트레이 이송 장치(100)는, 테스트 트레이(10)를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하는 가이드 부재들(110)과, 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들(132)을 갖는 이송축들(130)과, 상기 테스트 트레이(10)를 이송하기 위하여 상기 이송축들(130)을 이동시키는 제1 구동부(140)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 테스트 트레이(10)의 가장자리 부위들은 제2 구동부(150)에 의해 상기 이송축들(130)의 슬롯들(132)에 삽입될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the test tray transfer device 100 includes guide members 110 supporting the test tray 10 in a vertically erected state, and the test tray 10 Includes transport shafts 130 having slots 132 into which edge portions of the are inserted, and a first driving unit 140 for moving the transport shafts 130 to transport the test tray 10. I can. In this case, the edge portions of the test tray 10 may be inserted into the slots 132 of the transport shafts 130 by the second driving unit 150.

상기 테스트 트레이(10)는 상기 제1 구동부(140)의 왕복 운동과 제2 구동부(150)의 회전 운동에 의해 수평 방향으로 이송될 수 있다. 상기와 같은 테스트 트레이 이송 장치(100)의 구성이 종래 기술에 비하여 매우 간단하게 이루어지며 구동 방법 역시 종래 기술에 비하여 매우 간단하므로 상기 테스트 트레이 이송 장치(100)의 제조 비용이 크게 절감될 수 있으며 또한 상기 테스트 트레이(10)의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.The test tray 10 may be transported in a horizontal direction by a reciprocating movement of the first driving unit 140 and a rotational movement of the second driving unit 150. Since the configuration of the test tray transfer device 100 as described above is very simple compared to the prior art, and the driving method is also very simple compared to the prior art, the manufacturing cost of the test tray transfer device 100 can be greatly reduced. The time required for transferring the test tray 10 can be greatly shortened.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can do it.

10 : 테스트 트레이 20 : 반도체 소자
100 : 테스트 트레이 이송 장치 110 : 가이드 부재
120 : 트레이 이송부 130 : 이송축
140 : 제1 구동부 150 : 제2 구동부
160 : 트레이 고정부 170 : 고정축
180 : 제3 구동부10: test tray 20: semiconductor element
100: test tray transfer device 110: guide member
120: tray transfer unit 130: transfer shaft
140: first driving unit 150: second driving unit
160: tray fixing part 170: fixed shaft
180: third driving unit

Claims (10)

복수의 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 수직 방향으로 세워진 상태로 지지하며 상기 테스트 트레이를 수평 방향으로 안내하기 위한 가이드 부재들;
상기 수평 방향으로 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 이송축들; 및
상기 이송축들과 연결되며 상기 테스트 트레이를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부를 포함하되, 상기 테스트 트레이는 상기 가이드 부재들 상에서 슬라이드 방식으로 이동되며,
상기 가이드 부재들은 상기 테스트 트레이의 이송 방향으로 연장하며, 상기 테스트 트레이를 지지하기 위한 하부 가이드 부재들과 상기 테스트 트레이의 양쪽 측면들을 각각 지지하기 위한 측면 가이드 부재들을 포함하고,
상기 이송축들은 상기 테스트 트레이의 하부에 배치되는 제1 및 제2 이송축들과 상기 테스트 트레이의 상부 측면 부위에 배치되는 제3 이송축을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.Guide members for supporting a test tray in which a plurality of semiconductor elements are accommodated in a vertical direction and guiding the test tray in a horizontal direction;
Transport shafts extending in parallel in the horizontal direction and having slots into which edge portions of the test tray are inserted; And
A first driving unit connected to the transfer shafts and configured to move the test tray in the horizontal direction, wherein the test tray is moved in a slide manner on the guide members,
The guide members extend in the transport direction of the test tray, and include lower guide members for supporting the test tray and side guide members for supporting both sides of the test tray, respectively,
And the transfer shafts include first and second transfer shafts disposed below the test tray and a third transfer shaft disposed at an upper side portion of the test tray. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 이송축들 각각은 상기 슬롯들을 구성하는 복수의 돌출부들을 갖고 상기 돌출부들은 일정한 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The test tray transfer apparatus of claim 1, wherein each of the transfer shafts has a plurality of protrusions constituting the slots, and the protrusions are arranged at regular intervals. 제4항에 있어서, 상기 이송축들의 슬롯들에 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되도록 상기 이송축들을 회전시키는 제2 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The test tray transfer apparatus according to claim 4, further comprising a second driving unit for rotating the transfer shafts so that edge portions of the test tray are inserted into the slots of the transfer shafts. 제5항에 있어서, 상기 제2 구동부는 상기 테스트 트레이를 이송하기 위하여 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들에 삽입되도록 상기 이송축들을 회전시키고, 상기 이송축들을 후퇴시키기 위하여 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들로부터 이탈되도록 상기 이송축들을 회전시키는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The method of claim 5, wherein the second driving unit rotates the transfer shafts such that edge portions of the test tray are inserted into the slots to transfer the test tray, and the edge of the test tray retracts the transfer shafts. Test tray transfer device, characterized in that rotating the transfer shaft so that the portions are separated from the slots. 제4항에 있어서, 상기 이송축들에 의해 이송된 테스트 트레이의 위치를 고정시키기 위한 트레이 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The test tray transfer apparatus according to claim 4, further comprising a tray fixing part for fixing the position of the test tray transferred by the transfer shafts. 제7항에 있어서, 상기 트레이 고정부는,
상기 이송축들과 평행하게 연장하며 상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 고정축들; 및
상기 테스트 트레이의 가장자리 부위들이 상기 슬롯들에 삽입되도록 상기 고정축들을 회전시키는 제3 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The method of claim 7, wherein the tray fixing unit,
Fixed shafts extending parallel to the transfer shafts and having slots into which edge portions of the test tray are inserted; And
And a third driving unit that rotates the fixed shafts such that edge portions of the test tray are inserted into the slots. 제8항에 있어서, 상기 고정축들 각각은 상기 이송축들의 돌출부들과 동일한 간격으로 이격된 돌출부들을 갖는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The test tray conveying apparatus according to claim 8, wherein each of the fixed shafts has protrusions spaced apart from the protrusions of the conveying shafts at the same interval. 제8항에 있어서, 상기 고정축들은 상기 테스트 트레이의 하부에 배치되는 제1 및 제2 고정축들과 상기 테스트 트레이의 상부에 배치되는 제3 고정축을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 이송 장치.The test tray transport apparatus according to claim 8, wherein the fixed shafts include first and second fixed shafts disposed below the test tray and a third fixed shaft disposed above the test tray.
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100733846B1 (en) 2005-05-17 2007-07-02 미래산업 주식회사 Apparatus for transferring test tray for handler
KR100988631B1 (en) 2008-10-23 2010-10-18 세크론 주식회사 Unit for supporting a tray, apparatus for transferring a tray and test handler including the same
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