KR101515908B1 - Apparatus for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

기판이송장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판이송장치는, 제2지지레일의 하면에 제2가이드레일의 상면이 설치되고, 제2가이드레일의 하면은 제2지지레일의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 상측에 위치된 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다. 그리고, 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 더욱 방지되는 효과가 있다.A substrate transfer apparatus is disclosed. In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the upper surface of the second guide rail is provided on the lower surface of the second support rail, and the lower surface of the second guide rail is directed to the lower side of the second support rail. Therefore, the foreign matter generated when the second guide member slides along the second guide rail floats upwards, so that the substrate positioned on the upper side is prevented from being contaminated by foreign matter. The lower surface and the outer surface of the second guide member are surrounded by the second sliding member. Due to this, foreign matter generated when the second guide member slides along the second guide rail must float upwards through a complicated path, so that the foreign matter floats relatively to the upper side relatively. Therefore, there is an effect that the substrate is further prevented from being contaminated by foreign matter.

Description

기판이송장치 {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}[0001] APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE [0002]

본 발명은 기판을 이송하는 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate.

반도체 소자용 웨이퍼, 디스플레이장치용 유리기판 또는 박막형 태양전지용 유리기판 등과 같은 기판은 기판상에 여러 공정을 수행하여 제조한다. 이때, 기판은 각각의 공정에 필요한 최적의 조건을 제공하는 기판처리장치에 로딩되어 처리된다.A substrate such as a wafer for a semiconductor device, a glass substrate for a display device, or a glass substrate for a thin film solar cell is manufactured by performing various processes on a substrate. At this time, the substrate is loaded and processed in a substrate processing apparatus that provides optimal conditions necessary for each process.

오늘날, 생산성을 향상시키기 위하여 기판을 일괄적으로 처리할 수 있는 클러스터(Cluster) 타입 기판처리장치가 개발되어 사용되고 있다.Today, a cluster type substrate processing apparatus capable of collectively processing substrates in order to improve productivity has been developed and used.

클러스터 타입 기판처리장치는 기판이 저장되는 로드락챔버, 기판을 이송하기 위한 이송챔버 및 각각의 공정을 수행하기 위한 복수의 공정챔버를 포함한다. 기판을 이송하는 기판이송장치는 일반적으로 진공상태인 이송챔버에 설치되어, 기판을 로드락챔버에서 이송챔버, 이송챔버에서 로드락챔버 또는 공정챔버 간에 이송한다.The cluster type substrate processing apparatus includes a load lock chamber in which a substrate is stored, a transfer chamber for transferring the substrate, and a plurality of process chambers for performing each process. A substrate transfer apparatus for transferring a substrate is generally installed in a vacuum transfer chamber to transfer the substrate from the transfer chamber to the transfer chamber, from the transfer chamber to the load lock chamber or from the process chamber.

도 1a는 종래의 기판이송장치의 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 "A"부 확대도로서, 이를 설명한다.FIG. 1A is a perspective view of a conventional substrate transfer apparatus, and FIG. 1B is an enlarged view of an "A" part of FIG.

도시된 바와 같이, 종래의 기판이송장치는 받침부재(10)의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재(20)와 승강/회전부재(20)에 지지 설치된 이송유닛을 포함하고, 상기 이송유닛은 제1지지레일(31), 제2지지레일(32), 제1슬라이딩부재(34), 제2슬라이딩부재(35), 핸드(41) 및 아암(45)을 포함한다.As shown in the figure, the conventional substrate transfer apparatus includes a lifting / rotating member 20 provided on an upper surface of a supporting member 10 so as to be vertically movable and rotatable, and a transfer unit supported by the lifting / rotating member 20, The transfer unit includes a first support rail 31, a second support rail 32, a first sliding member 34, a second sliding member 35, a hand 41 and an arm 45.

제1지지레일(31) 및 제2지지레일(32)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 승강/회전부재(20)의 상면측에 설치된다. 제1지지레일(31)은 상호 평행한 한쌍으로 마련되고, 제2지지레일(32)은 상호 평행한 한쌍으로 마련되어 제1지지레일(31)의 외측에 위치된다.The first support rail 31 and the second support rail 32 are formed in a rectangular parallelepiped shape having a predetermined length and are provided on the upper surface side of the lifting / The first support rails 31 are provided in a pair in parallel with each other and the second support rails 32 are provided in mutually parallel pairs and positioned outside the first support rails 31.

제1슬라이딩부재(34)는 제1지지레일(31)에 설치되어 제1지지레일(31)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 설치되고, 제2슬라이딩부재(35)는 제2지지레일(32)에 설치되어 제2지지레일(32)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 설치된다. 이때, 제2슬라이딩부재(35)의 상측 부위는 제1슬라이딩부재(34)의 상측에 위치된다.The first sliding member 34 is installed on the first supporting rail 31 and is slidably installed along the longitudinal direction of the first supporting rail 31 and the second sliding member 35 is mounted on the second supporting rail 32 And is slidably installed along the longitudinal direction of the second support rail 32. At this time, the upper portion of the second sliding member 35 is positioned above the first sliding member 34. [

그리고, 핸드(41)는 제1슬라이딩부재(34) 및 제2슬라이딩부재(35)의 일측에 일단부측이 각각 결합되어 제1슬라이딩부재(34) 및 제2슬라이딩부재(35)와 함께 운동하며, 타측 부위에 기판이 탑재 지지된다. 그리하여, 기판을 로딩하거나 언로딩하고자 할 때, 제1슬라이딩부재(34) 또는 제2슬라이딩부재(35)를 슬라이딩시켜, 핸드(41)에 기판을 탑재한 다음, 기판을 로딩 또는 언로딩한다.One end side of the hand 41 is coupled to one side of the first sliding member 34 and the second sliding member 35 and moves together with the first sliding member 34 and the second sliding member 35 , And the substrate is mounted and supported on the other side. Thus, when the substrate is to be loaded or unloaded, the first sliding member 34 or the second sliding member 35 is slid to mount the substrate on the hand 41, and then the substrate is loaded or unloaded.

아암(45)은 일단부측이 상호 회전가능하게 결합된 제1아암(45a)과 제2아암(45b)을 포함하며, 제1슬라이딩부재(34)를 슬라이딩시키기 위한 아암(45)과 제2슬라이딩부재(35)를 슬라이딩시키기 위한 아암(45)은 각각 마련된다.The arm 45 includes a first arm 45a and a second arm 45b that are rotatably coupled to each other at one end thereof and includes an arm 45 for sliding the first sliding member 34, And an arm 45 for sliding the member 35 are provided, respectively.

제1아암(45a)의 타단부측은 승강/회전부재(20)에 회전가능하게 지지되고, 제2아암(45b)의 타단부측은 제1슬라이딩부재(34)의 일측 및 제2슬라이딩부재(35)의 일측에 회전가능하게 각각 지지된다. 그리하여, 제1아암(45a)과 제2아암(45b)이 상호 결합된 일단부측을 기준으로 회전하면서 상호 접히거나 펼쳐지는 형태로 운동함에 따라 제1슬라이딩부재(34) 또는 제2슬라이딩부재(35)가 슬라이딩한다.The other end side of the first arm 45a is rotatably supported by the lifting / rotating member 20 and the other end side of the second arm 45b is supported by one side of the first sliding member 34 and the other side of the second sliding member 35 Respectively. As the first arm 45a and the second arm 45b move relative to each other while being rotated with reference to one end side of the first arm 45a and the second arm 45b, the first sliding member 34 or the second sliding member 35 ).

제1슬라이딩부재(34)와 제2슬라이딩부재(35)가 안정되게 슬라이딩할 수 있도록, 제1지지레일(31)의 상면 및 제1슬라이딩부재(34)의 하면에는 상호 삽입 결합되는 제1가이드레일(37a) 및 제1가이드부재(37b)가 각각 설치되고, 제2지지레일(32)의 상면 및 제2슬라이딩부재(35)의 하면에는 상호 삽입 결합되는 제2가이드레일(38a) 및 제2가이드부재(38b)가 설치된다.The upper surface of the first support rail 31 and the lower surface of the first sliding member 34 are coupled to each other by a first guide (not shown), which is inserted into and engaged with the upper surface of the first support rail 31 and the lower surface of the first sliding member 34 so that the first sliding member 34 and the second sliding member 35 can slide stably. A second guide rail 38a and a second guide rail 37b are provided on the upper surface of the second support rail 32 and the lower surface of the second sliding member 35, 2 guide member 38b are provided.

상기와 같은 종래의 기판이송장치는 제2가이드레일(38a) 및 제2가이드부재(38b)가 제2지지레일(32)의 상면측에 설치되므로, 기판이 탑재 지지되는 핸드(41)와 인접되게 위치된다. 이로 인해, 제2가이드부재(38b)가 제2가이드레일(38a)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질에 의하여 기판이 오염될 수 있다.Since the second guide rail 38a and the second guide member 38b are provided on the upper surface side of the second support rail 32 in the conventional substrate transfer apparatus as described above, Respectively. Accordingly, the substrate may be contaminated by foreign substances generated when the second guide member 38b slides along the second guide rail 38a.

그리고, 제2가이드레일(38a)과 제2가이드부재(38b)가 기판과 상대적으로 가까이 위치되므로, 고온의 기판에 의하여 제2가이드레일(38a)과 제2가이드부재(38b)가 쉽게 손상될 수 있다. 이로 인해, 기판이송장치의 내구성이 저하되는 단점이 있다.Since the second guide rail 38a and the second guide member 38b are located relatively close to the substrate, the second guide rail 38a and the second guide member 38b are easily damaged by the high temperature substrate . As a result, there is a disadvantage that the durability of the substrate transfer apparatus is lowered.

상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 본 출원인은 2010년 6월 23일 "기판 이송 장치"에 대하여 출원하였고, 상기 "기판 이송 장치"는 한국공개특허공보 제10-2011-0139622호에 개시되어 있다.In order to solve the above problems, the present applicant filed for a "substrate transfer apparatus" on June 23, 2010, and the "substrate transfer apparatus" is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2011-0139622.

상기 "기판 이송 장치"는 상부 암(121)의 슬라이딩을 안내하는 LM가이드(133, 134)를 하부 암(122)의 슬라이딩을 안내하는 LM가이드(131, 132)에 비하여 상대적으로 하측에 위치시켜, 기판과 상대적으로 이격시켰다.The LM guides 133 and 134 guiding the sliding of the upper arm 121 are positioned lower relative to the LM guides 131 and 132 guiding the sliding of the lower arm 122 , And were relatively spaced from the substrate.

그러나, 상기와 같은 종래의 "기판 이송 장치"는 기판과 대향하는 LM가이드(133, 134)의 상면측 부위가 외부로 노출되어 있으므로, LM가이드(133, 134)에서 발생하는 이물질에 의하여 기판이 오염되는 문제점 및 고온의 기판에 의하여 LM가이드(131, 132, 133, 134)가 손상되는 문제점을 완전하게 해결하지 못하였다.However, since the upper surface side portions of the LM guides 133 and 134 opposed to the substrate are exposed to the outside, the conventional "substrate transfer apparatus" The problem of contamination and damage of the LM guides 131, 132, 133, and 134 due to the high temperature substrate can not be completely solved.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 이물질에 의하여 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 고온의 기판에 의하여 부품들이 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판이송장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to prevent contamination of a substrate by a foreign substance, And a substrate transfer device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는, 받침부재; 상기 받침부재의 상측에 직선운동가능하게 설치되며 기판이 탑재 지지되는 복수의 핸드를 가지면서 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하며, 상기 이송유닛은, 상기 받침부재의 상측에 지지 설치된 상호 평행한 한쌍의 제1지지레일; 상기 제1지지레일 외측의 상기 받침부재의 상측에 지지 설치되어 상호 평행함과 동시에 상기 제1지지레일과 평행을 이루는 한쌍의 제2지지레일; 상기 제1지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제1지지레일에 설치되며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 제1슬라이딩부재; 상기 제2지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제2지지레일에 설치되고, 상기 핸드의 일단부측이 결합되며 상측 부위는 상기 제1슬라이딩부재의 상측에 위치된 제2슬라이딩부재; 상기 제1지지레일의 상면 및 상기 제1슬라이딩부재의 하면에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제1슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제1가이드레일 및 제1가이드부재; 상기 제2지지레일의 하면 및 상기 제2슬라이딩부재의 하측 부위에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제2슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제2가이드레일 및 제2가이드부재를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including: a support member; And a transfer unit for transferring the substrate, the transfer unit having a plurality of hands mounted on the substrate, the transfer unit being linearly movable above the support member, wherein the transfer unit includes a pair of mutually parallel A first support rail; A pair of second support rails supported on the upper side of the support member outside the first support rails and parallel to each other and parallel to the first support rails; A first sliding member installed on the first support rail so as to be slidable along the first support rail and coupled to one end side of the hand; A second sliding member installed on the second supporting rail so as to be slidable along the second supporting rail, one end side of the hand being engaged and the upper side being positioned on the upper side of the first sliding member; A first guide rail and a first guide member, which are respectively installed on the upper surface of the first support rail and the lower surface of the first sliding member and are coupled to each other and guide movement of the first sliding member; And a second guide rail and a second guide member which are respectively installed on the lower surface of the second support rail and the lower portion of the second sliding member and are coupled to each other and guide the movement of the second sliding member.

본 발명에 따른 기판이송장치는, 제2지지레일의 하면에 제2가이드레일의 상면이 설치되고, 제2가이드레일의 하면은 제2지지레일의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 상측에 위치된 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the upper surface of the second guide rail is provided on the lower surface of the second support rail, and the lower surface of the second guide rail is directed to the lower side of the second support rail. Therefore, the foreign matter generated when the second guide member slides along the second guide rail floats upwards, so that the substrate positioned on the upper side is prevented from being contaminated by foreign matter.

그리고, 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 더욱 방지되는 효과가 있다.The lower surface and the outer surface of the second guide member are surrounded by the second sliding member. Due to this, foreign matter generated when the second guide member slides along the second guide rail must float upwards through a complicated path, so that the foreign matter floats relatively to the upper side relatively. Therefore, there is an effect that the substrate is further prevented from being contaminated by foreign matter.

도 1a는 종래의 기판이송장치의 사시도.
도 1b는 도 1a의 "A"부 확대도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 사시도.
도 3a는 도 2의 좌측면도.
도 3b는 도 3a의 "B"부 확대도.
도 4는 도 2의 평면도.
도 5는 도 2에 도시된 제2슬라이딩부재를 슬라이딩시키는 제1아암과 제2아암 부위의 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 제1아암과 제2아암이 사점 상태로 배열된 것을 보인 평면도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 좌측면도.1A is a perspective view of a conventional substrate transfer apparatus.
FIG. 1B is an enlarged view of a portion "A" in FIG. 1A.
2 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;
Figure 3a is a left side view of Figure 2;
FIG. 3B is an enlarged view of a portion "B" in FIG. 3A.
Fig. 4 is a plan view of Fig. 2; Fig.
FIG. 5 is a perspective view of a first arm and a second arm portion sliding the second sliding member shown in FIG. 2; FIG.
FIG. 6 is a plan view showing the first arm and the second arm shown in FIG. 5 arranged in a dead point state. FIG.
7 is a left side view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings, which illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 사시도이고, 도 3a는 도 2의 좌측면도이며, 도 3b는 도 3a의 "B"부 확대도이다.FIG. 2 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3A is a left side view of FIG. 2, and FIG. 3B is an enlarged view of a "B"

도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치는 클러스터(Cluster) 타입 기판처리장치의 이송챔버의 바닥 등에 설치되며, 내부에 밀폐 공간이 형성된 대략 원통 형상의 받침부재(110)를 포함한다. 받침부재(110)는 원통형, 육면체형 또는 각형 등과 같이 다양하게 형성될 수 있다.As shown in the figure, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a substantially cylindrical support member 110 provided on a bottom of a transfer chamber of a cluster type substrate processing apparatus and having a closed space therein, . The support member 110 may be formed in various shapes such as a cylindrical shape, a hexagonal shape, or a square shape.

받침부재(110)의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재(120)가 설치된다. 승강/회전부재(120)는 받침부재(110)의 내부에 설치된 구동유닛(미도시)에 의하여 승강 및 회전하는 구동축(미도시)의 상단부측에 연결되며, 상기 구동축에 의하여 승강 및 회전된다.On the upper surface of the supporting member 110, a lifting / lowering member 120 is installed so as to be vertically movable and rotatable. The lifting / rotating member 120 is connected to the upper end side of a drive shaft (not shown) that is lifted and lowered by a drive unit (not shown) provided inside the support member 110, and is lifted and rotated by the drive shaft.

승강/회전부재(120)에는 기판(50)(도 4 참조)을 지지하여 이송하는 이송유닛이 설치된다. 상기 이송유닛은 승강/회전부재(120)와 함께 운동함과 동시에 승강/회전부재(120)에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 기판(50)을 이송한다.The elevating / rotating member 120 is provided with a transfer unit for supporting and transferring the substrate 50 (see FIG. 4). The transfer unit moves together with the lifting / rotating member 120 and is installed to move linearly with respect to the lifting / rotating member 120 to transfer the substrate 50.

상기 이송유닛은 제1지지레일(131), 제2지지레일(135), 제1슬라이딩부재(141), 제1슬라이딩부재(145), 복수의 핸드(150) 및 아암(Arm)을 포함할 수 있다.The transfer unit includes a first support rail 131, a second support rail 135, a first sliding member 141, a first sliding member 145, a plurality of hands 150, and an arm .

제1지지레일(131)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 상호 평행한 한쌍으로 마련되며, 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합된다. 제2지지레일(135)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 상호 평행한 한쌍으로 마련되며, 제1지지레일(131) 외측의 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합되어 제1지지레일(131)과 평행을 이룬다.The first support rails 131 are formed in a rectangular parallelepiped shape having a predetermined length and are provided in parallel to each other and are coupled to the upper surface side of the elevation / rotation member 120. The second support rails 135 are formed in a rectangular parallelepiped shape having a predetermined length and are provided in parallel to each other. The second support rails 135 are coupled to the upper surface of the lifting / rotating member 120 outside the first support rails 131, And parallel to the rail 131.

제1슬라이딩부재(141)는 제1지지레일(131)을 따라 슬라이딩가능하게 제1지지레일(131)에 설치되고, 제2슬라이딩부재(145)는 제2지지레일(135)을 따라 슬라이딩가능하게 제2지지레일(135)에 설치된다. 이때, 제2슬라이딩부재(145)의 상측 부위에 해당되는 후술할 연결판(145e)은 제1슬라이딩부재(141)의 상측 부위에 해당되는 후술할 수평판(141b)의 상측에 위치된다.The first sliding member 141 is installed on the first supporting rail 131 so as to be slidable along the first supporting rail 131 and the second sliding member 145 is slidable along the second supporting rail 135 To the second support rail 135. A connecting plate 145e which will be described later on the upper portion of the second sliding member 145 is located on the upper side of the later-described flat plate 141b corresponding to the upper portion of the first sliding member 141. [

핸드(150)의 일단부측은 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b) 및 제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)에 각각 결합되어, 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)와 함께 운동한다. 그리고, 핸드(150)의 타측 부위에는 기판(50)이 탑재 지지되며, 기판(50)은 핸드(150)에 탑재 지지되어 이송된다.One end side of the hand 150 is coupled to the horizontal plate 141b of the first sliding member 141 and the connecting plate 145e of the second sliding member 145 so that the first sliding member 141 and the second And moves together with the sliding member 145. A substrate 50 is mounted and supported on the other side of the hand 150, and the substrate 50 is mounted on the hand 150 and transported.

제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)이 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치되므로, 제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)에 결합된 핸드(150)는 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)에 결합된 핸드(150)에 비하여 상측에 위치된다.Since the connecting plate 145e of the second sliding member 145 is positioned above the horizontal plate 141b of the first sliding member 141, The second sliding member 150 is positioned on the upper side of the hand 150 coupled to the horizontal plate 141b of the first sliding member 141. [

제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)을 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치시켜, 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)를 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150) 보다 상측에 위치시킨 이유는, 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하고 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩하거나, 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩하고 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하기 위함이다.The connecting plate 145e of the second sliding member 145 is positioned above the horizontal plate 141b of the first sliding member 141 and the hand 150 coupled to the second sliding member 145 is positioned on the first The reason why the first sliding member 141 is positioned above the hand 150 coupled to the sliding member 141 is that the substrate 50 is loaded onto the second sliding member 145 by the hand 150 coupled to the first sliding member 141 The unloading of the substrate 50 by the combined hand 150 or the unloading of the substrate 50 by the hand 150 coupled to the first sliding member 141 and the unloading of the substrate 50 by the hand coupled to the second sliding member 145 To load the substrate 50 with the substrate 150.

따라서, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)와 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)를 이용하여 한번에 기판(50)을 로딩하거나 언로딩 할 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present embodiment loads the substrate 50 at one time by using the hand 150 coupled to the first sliding member 141 and the hand 150 coupled to the second sliding member 145 Or unloaded.

제1슬라이딩부재(141)는 한쌍의 수직판(141a)과 수직판(141a)의 상면에 형성되어 수직판(141a)을 연결하는 수평판(141b)을 포함할 수 있다. 수평판(141b)의 일측면에 복수의 핸드(150)의 일단부측이 결합된다.The first sliding member 141 may include a pair of vertical plates 141a and a horizontal plate 141b formed on the upper surface of the vertical plate 141a and connecting the vertical plates 141a. One end of the plurality of hands 150 is coupled to one side of the horizontal plate 141b.

그리고, 제1슬라이딩부재(141)가 안정되게 운동할 수 있도록, 제1지지레일(131)의 상면 및 제1슬라이딩부재(141)의 수직판(141a)의 하면에는 제1슬라이딩부재(141)의 운동을 안내하는 제1가이드레일(133)의 일면 및 제1가이드부재(143)의 일면이 각각 설치되어 상호 삽입 결합될 수 있다. 제1슬라이딩부재(141)에 설치된 제1가이드부재(143)가 제1가이드레일(133)에 삽입 결합되어 제1가이드레일(133)을 따라 슬라이딩하므로, 제1슬라이딩부재(141)가 안정되게 슬라이딩한다.A first sliding member 141 is provided on the upper surface of the first support rail 131 and the lower surface of the vertical plate 141a of the first sliding member 141 so that the first sliding member 141 can move stably. One side of the first guide rail 133 and one side of the first guide member 143 for guiding the movement of the first guide rail 143 may be respectively installed and engaged with each other. The first guide member 143 provided on the first sliding member 141 is inserted into the first guide rail 133 and slides along the first guide rail 133 so that the first sliding member 141 can be stably Slide.

제2슬라이딩부재(145)는 상호 간격을 가지는 한쌍의 제1수평판(145a), 한쌍의 제1수평판(145a)의 외면에서 수직으로 각각 연장 형성되어 제2지지레일(135)의 외측에 위치되는 한쌍의 제1수직판(145b), 한쌍의 제1수직판(145b)의 상면에서 외측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수평판(145c), 한쌍의 제2수평판(145c)의 외면에서 상측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수직판(145d) 및 한쌍의 제2수직판(145d)을 상호 연결하며 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치되는 연결판(145e)을 포함할 수 있다. 연결판(145e)의 일측면에 핸드(150)의 일단부측이 결합된다.The second sliding members 145 extend vertically from the outer surfaces of the pair of first horizontal plates 145a and extend outwardly from the second support rails 135, A pair of second vertical plates 145c extending outward from the upper surface of the pair of first vertical plates 145b, a pair of second vertical plates 145b extending from the outer surfaces of the pair of second horizontal plates 145c, A pair of second vertical plates 145d extending upward and a pair of second vertical plates 145d and connecting plates 145e positioned above the horizontal plates 141b of the first sliding members 141, . ≪ / RTI > One end side of the hand 150 is coupled to one side of the connecting plate 145e.

그리고, 제2슬라이딩부재(145)가 안정되게 운동할 수 있도록, 제2지지레일(135)의 하면 및 제2슬라이딩부재(145)의 제1수평판(145a)의 상면에는 제2슬라이딩부재(145)의 운동을 안내하는 제2가이드레일(137)의 일면 및 제2가이드부재(147)의 일면이 각각 설치되어 상호 삽입 결합될 수 있다. 제2슬라이딩부재(145)에 설치된 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)에 삽입 결합되어 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩하므로, 제2슬라이딩부재(145)가 안정되게 슬라이딩한다.On the lower surface of the second support rail 135 and the upper surface of the first horizontal plate 145a of the second sliding member 145, a second sliding member (not shown) is mounted on the upper surface of the second supporting rail 135 so that the second sliding member 145 can stably move. 145 and one surface of the second guide member 147 may be respectively installed and engaged with each other. The second guide member 147 provided on the second sliding member 145 is inserted into the second guide rail 137 and slides along the second guide rail 137 so that the second sliding member 145 can be stably Slide.

본 실시예에 따른 기판이송장치는 제2지지레일(135)의 하면에 제2가이드레일(137)의 일면이 설치되므로, 제2가이드레일(137)은 제2지지레일(135)의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 기판(50)이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지된다.Since the second guide rail 137 is provided on one surface of the lower surface of the second support rail 135, the second guide rail 137 is positioned below the second support rail 135 I'm headed. Therefore, foreign matter generated when the second guide member 147 slides along the second guide rail 137 is floated relatively upward, so that the substrate 50 is prevented from being contaminated by foreign matter .

그리고, 제2가이드부재(147)의 타면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재(145)의 제1수평판(145a), 제1수직판(145b), 제2수평판(145c), 제2수직판(145d) 및 연결판(145e)에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판(50)이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지된다.The other surface and the outer portion of the second guide member 147 are connected to the first horizontal plate 145a of the second sliding member 145, the first vertical plate 145b, the second horizontal plate 145c, A direct plate 145d and a connecting plate 145e. Accordingly, foreign matter generated when the second guide member 147 slides along the second guide rail 137 must float upward through a complicated path, so that the foreign matter floats relatively upward )do. Therefore, the substrate 50 is prevented from being contaminated by foreign matter.

제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상면에 냉각판(161)(도 3a 참조)이 설치될 수 있다. 냉각판(161)은 핸드(150)에 탑재 지지된 기판(50)의 열에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 손상되는 되는 것을 방지함과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 방지한다.A cooling plate 161 (see Fig. 3A) may be provided on the upper surface of the horizontal plate 141b of the first sliding member 141. [ The cooling plate 161 prevents the parts located below the hand 150 from being damaged by the heat of the substrate 50 mounted and supported on the hand 150, (50) is prevented from being contaminated.

제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)은 제2슬라이딩부재(145)의 제2수평판(145c)과 제2수직판(145d)과 연결판(145e)에 의하여 형성되는 공간의 내부에 위치된다. 그러면, 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 외측 부위를 수직판(141a)의 외측으로 연장 형성할 수 있고, 이로 인해 냉각판(161)도 수평판(141b)과 대응되게 넓게 형성할 수 있다. 그러면, 넓은 냉각판(161)에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 기판(50)의 열에 의하여 손상되는 되는 것이 더욱 방지됨과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 더욱 방지할 수 있다.The horizontal plate 141b of the first sliding member 141 is inserted into the space formed by the second horizontal plate 145c of the second sliding member 145 and the second vertical plate 145d and the connecting plate 145e . The outer side of the horizontal plate 141b of the first sliding member 141 can be extended to the outside of the vertical plate 141a so that the cooling plate 161 is also widened in correspondence with the horizontal plate 141b . The components located below the hand 150 are prevented from being damaged by the heat of the substrate 50 due to the wide cooling plate 161 and the substrate 50 is prevented from being damaged It is possible to further prevent contamination.

제1지지레일(131) 및 제2지지레일(135)은 받침부재(110)의 상면에 설치된 승강/회전부재(120)에 지지 설치되므로, 제1지지레일(131) 및 제2지지레일(135)이 받침부재(110)의 상측에 지지 설치된 것은 당연하다.The first support rail 131 and the second support rail 135 are supported by the lifting / rotating member 120 installed on the upper surface of the support member 110. Therefore, the first support rail 131 and the second support rail 135 are supported on the upper side of the receiving member 110.

도 2의 미설명 부호 180은 제1슬라이딩부재(141)와 후술알 아암(170)을 연결시키는 연결브라켓이다.Reference numeral 180 in FIG. 2 denotes a connection bracket connecting the first sliding member 141 and the later-described arm 170.

제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)는 아암(Arm)(170)에 의하여 슬라이딩되면서 직선왕복운동하는데, 이를 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2의 평면도이다.The first sliding member 141 and the second sliding member 145 are linearly reciprocating while being slid by the arm 170. This will be described with reference to FIGS. 2 and 4. FIG. Fig. 4 is a plan view of Fig. 2. Fig.

도시된 바와 같이, 아암(170)은 제1아암(171)과 제2아암(175)을 포함할 수 있다.As shown, the arm 170 may include a first arm 171 and a second arm 175.

제1아암(171)의 일단부측은 승강/회전부재(120)의 일측 및 타측에 각각 회전가능하게 지지된다. 제1아암(171)의 타단부측에는 회전축(171a)이 회전가능하게 설치되고, 제1아암(171)의 내부에는 회전축(171a)을 회전시키는 모터와 기어 등을 포함하는 아암구동부(미도시)가 설치될 수 있다.One end side of the first arm 171 is rotatably supported on one side and the other side of the lifting / rotating member 120. A rotary shaft 171a is rotatably provided on the other end side of the first arm 171 and an arm driving unit (not shown) including a motor and gears for rotating the rotary shaft 171a is provided in the first arm 171, Can be installed.

제2아암(175)의 일단부측은 상기 이송유닛의 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)의 일측에 각각 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 벤딩되어 회전축(171a)에 압입 고정되어 회전가능하게 지지된다. 그리하여, 회전축(171a)이 회전하면, 제2아암(175)이 회전한다.One end side of the second arm 175 is rotatably supported on one side of the first sliding member 141 and the second sliding member 145 of the transfer unit and the other end side is bent to press the rotation axis 171a And is fixedly rotatably supported. Thus, when the rotating shaft 171a rotates, the second arm 175 rotates.

즉, 상기 아암구동부는 회전축(171a)을 회전시키고, 회전축(171a)의 회전에 의하여 제2아암(175)이 회전축(171a)을 기준으로 회전한다. 이로 인해, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 접히거나 펼쳐지는 형태로 운동하고, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)가 슬라이딩된다.That is, the arm driving unit rotates the rotating shaft 171a, and the second arm 175 rotates about the rotating shaft 171a by the rotation of the rotating shaft 171a. As a result, the first arm 171 and the second arm 175 move in such a manner as to be folded or unfolded with each other. As the first arm 171 and the second arm 175 are folded or unfolded, The member 141 and the second sliding member 145 are slid.

이때, 제1슬라이딩부재(141)를 슬라이딩시키는 상호 연결되어 연동하는 제1아암(171)과 제2아암(175)의 운동과 제2슬라이딩부재(145)를 슬라이딩시키는 상호 연결되어 연동하는 제1아암(171)과 제2아암(175)의 운동은 상호 독립적이다. 따라서, 제1슬라이딩부재(141)에 연결된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하였을 때, 제2슬라이딩부재(145)에 연결된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩할 수 있다. 그 반대의 경우도 가능함은 당연하다.At this time, the first arm 171 and the second arm 175, which are connected to each other to slide the first sliding member 141, and the first and second sliding members 145, The movements of the arm 171 and the second arm 175 are mutually independent. The substrate 50 can be unloaded by the hand 150 connected to the second sliding member 145 when the substrate 50 is loaded onto the hand 150 connected to the first sliding member 141. [ The opposite is also possible.

도 5는 도 2에 도시된 제2슬라이딩부재를 슬라이딩시키는 제1아암과 제2아암 부위의 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 제1아암과 제2아암이 사점(Singularity) 상태로 배열된 것을 보인 평면도로서, 이를 설명한다.FIG. 5 is a perspective view of a first arm and a second arm portion sliding the second sliding member shown in FIG. 2, FIG. 6 is a perspective view of the first and second arms shown in FIG. 5 in a singularity Which will be described below.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 제1아암(171)의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2아암(175)의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹치면서 평행을 이루는 사점의 상태가 되어도, 제2아암(175)의 타단부측이 상기 아암구동부에 의하여 회전되므로, 제2아암(175)은 용이하게 사점의 상태에서 벗어나면서 제1아암(171)과 펼쳐진 상태가 된다.As shown in the figure, the substrate transfer apparatus according to the present embodiment is configured such that virtual straight lines connecting the imaginary straight line connecting the both end sides of the first arm 171 and the both end sides of the second arm 175 overlap each other The second arm 175 can be easily separated from the state of the dead point so that the first arm 171 and the second arm 175 can be in a unfolded state .

그리고, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 회전축(171a)을 기준으로 제1아암(171)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(175)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 펼쳐질 수 있다.When the first arm 171 and the second arm 175 are arranged in the state of dead spots, the vertical direction from the first arm 171 to the side surface of the second support rail 135 with respect to the rotation axis 171a, The first arm 171 and the second arm 175 can be mutually opened so that the distance L1 from the second arm 175 to the side of the second support rail 135 is the same .

역으로, 회전축(171a)을 기준으로 제1아암(171)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(175)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 용이하게 접힐 수 있다.The vertical distance L1 from the first arm 171 to the side of the second support rail 135 and the vertical distance L1 from the second arm 175 to the side of the second support rail 135, The first arm 171 and the second arm 175 can be easily folded together.

그런데, 기판이송장치는 고온의 환경에서 사용되므로, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 열에 의하여 변형되어 길이가 신장(伸長)될 수 있다. 그리고, 제2슬라이딩부재(145)에 일단부측이 지지된 제2아암(175)이 고온 환경의 기판처리장치에서 발생되는 열 및 고온의 기판에 의하여 더욱 길이가 신장된다.However, since the substrate transfer apparatus is used in a high temperature environment, the first arm 171 and the second arm 175 may be deformed by heat to be elongated. The second arm 175, one end of which is supported by the second sliding member 145, is further elongated by the heat and the high temperature substrate generated in the substrate processing apparatus of the high temperature environment.

그러면, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 제2아암(175)의 신장에 의하여 제2아암(175)이 회전축(171a)에 꽉 끼인 상태가 되므로, 제2아암(175)을 회전시켜 사점의 상태로부터 벗어가게 하기 위해서는 큰 힘이 소요된다.When the first arm 171 and the second arm 175 are arranged in the state of dead spots, the second arm 175 is fastened to the rotary shaft 171a by the extension of the second arm 175 A large force is required to rotate the second arm 175 and to remove it from the dead point.

그런데, 본 실시예에 따른 기판이송장치의 제2아암(175)은 벤딩된 형상으로 형성되므로, 신장된 제2아암(175)의 길이를 수축시키기 위해서는, 제2아암(175)의 벤딩 부위를 펴거나 굽히는 방향으로 변형시키면 된다. 따라서, 상대적으로 작은 힘으로 제2아암(175)을 수축시킬 수 있다.Since the second arm 175 of the substrate transfer apparatus according to the present embodiment is formed in a bent shape, in order to contract the length of the elongated second arm 175, the bending portion of the second arm 175 It can be deformed in the direction of stretching or bending. Therefore, the second arm 175 can be contracted with a relatively small force.

그리고, 제2슬라이딩부재(145)는 다수 벤딩된 형상으로 형성되고, 제2아암(175)의 일단부측은 제2슬라이딩부재(145)은 제2수평판(145c)에 결합된다. 그러면, 제2슬라이딩부재(145)의 탄성력으로 인하여 더욱 작은 힘으로 제2아암(175)을 수축시킬 수 있다.The second sliding member 145 is formed in a plurality of bending shapes and the one end side of the second arm 175 is coupled to the second horizontal plate 145c by the second sliding member 145. [ Then, the second arm 175 can be contracted with a smaller force due to the elastic force of the second sliding member 145.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 좌측면도로서, 도 3과의 차이점만을 설명한다.FIG. 7 is a left side view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention, and only differences from FIG. 3 will be described.

도시된 바와 같이, 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)과 냉각판(161) 사이 또는 냉각판(161)의 상면 중, 적어도 어느 하나에는 반사판(165)이 설치될 수 있다. 반사판(165)은 기판(50)에서 발생되는 열을 반사하여 기판(50)의 열에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 손상되는 되는 것을 방지됨과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 방지한다.The reflection plate 165 may be installed on at least one of the horizontal plate 141b of the first sliding member 141 and the cooling plate 161 or the upper surface of the cooling plate 161. [ The reflection plate 165 reflects the heat generated from the substrate 50 to prevent the components located below the hand 150 from being damaged by the heat of the substrate 50, Thereby preventing the substrate 50 from being contaminated.

본 명세서에서는 도 4 등과 같은 구조의 기판이송장치를 상정하여 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 구조의 기판이송장치에 적용될 수 있음은 물론이라 할 것이다. 가령, 일례로서, 도 4에서는 제2아암(175)이 벤딩된 것을 예시하여 설명하였으나, 제2아암(175)이 벤딩되지 않고 직선형인 경우에도 적용할 수 있음은 당연하며, 그 밖의 다양한 구조의 기판이송장치에도 적용될 수 있을 것이다.In this specification, a substrate transfer apparatus having a structure as shown in FIG. 4 and the like has been described, but it is not limited to this, and it goes without saying that the present invention can be applied to a substrate transfer apparatus having various structures. For example, although the second arm 175 is illustrated as being bent in FIG. 4, it is obvious that the second arm 175 can be applied to a case where the second arm 175 is straight without being bent. But also to a substrate transfer apparatus.

상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.The above-described embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the accompanying drawings, in which detailed contour lines are omitted. It should be noted that the above-described embodiments are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but merely as a reference for understanding the technical idea included in the claims of the present invention.

110: 받침부재
120: 승강/회전부재
131, 135: 제1지지레일, 제2지지레일
141, 145: 제1슬라이딩부재, 제2슬라이딩부재
133, 143: 제1가이드레일, 제1가이드부재
137, 147: 제2가이드레일, 제2가이드부재110: Support member
120: lifting / rotating member
131, 135: a first support rail, a second support rail
141, 145: a first sliding member, a second sliding member
133, 143: a first guide rail, a first guide member
137, 147: a second guide rail, a second guide member

Claims (9)

받침부재;
상기 받침부재의 상측에 직선운동가능하게 설치되며 기판이 탑재 지지되는 복수의 핸드를 가지면서 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하며,
상기 이송유닛은,
상기 받침부재의 상측에 지지 설치된 상호 평행한 한쌍의 제1지지레일;
상기 제1지지레일 외측의 상기 받침부재의 상측에 지지 설치되어 상호 평행함과 동시에 상기 제1지지레일과 평행을 이루는 한쌍의 제2지지레일;
상기 제1지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제1지지레일에 설치되며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 제1슬라이딩부재;
상기 제2지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제2지지레일에 설치되고, 상기 핸드의 일단부측이 결합되며 상측 부위는 상기 제1슬라이딩부재의 상측에 위치된 제2슬라이딩부재;
상기 제1지지레일의 상면 및 상기 제1슬라이딩부재의 하면에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제1슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제1가이드레일 및 제1가이드부재;
상기 제2지지레일의 하면 및 상기 제2슬라이딩부재의 하측 부위에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제2슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제2가이드레일 및 제2가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.A support member;
And a transfer unit for transferring the substrate with a plurality of hands mounted on the support member so as to be linearly movable,
The transfer unit
A pair of first support rails parallel to each other and supported on the support member;
A pair of second support rails supported on the upper side of the support member outside the first support rails and parallel to each other and parallel to the first support rails;
A first sliding member installed on the first support rail so as to be slidable along the first support rail and coupled to one end side of the hand;
A second sliding member installed on the second supporting rail so as to be slidable along the second supporting rail, one end side of the hand being engaged and the upper side being positioned on the upper side of the first sliding member;
A first guide rail and a first guide member, which are respectively installed on the upper surface of the first support rail and the lower surface of the first sliding member and are coupled to each other and guide movement of the first sliding member;
And a second guide rail and a second guide member which are respectively installed on the lower surface of the second support rail and the lower portion of the second sliding member to be coupled to each other and guide the movement of the second sliding member, Substrate transfer device. 제1항에 있어서,
상기 제2가이드레일은 상기 제2지지레일의 하면에 결합되어 상기 제2지지레일의 하측을 향하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the second guide rail is coupled to a lower surface of the second support rail and faces the lower side of the second support rail. 제2항에 있어서,
상기 제2슬라이딩부재는, 상호 간격을 가지며 상면에 상기 제2가이드부재의 일면이 결합되는 한쌍의 제1수평판; 한쌍의 상기 제1수평판의 외면에서 수직으로 각각 연장 형성되어 상기 제2지지레일의 외측에 위치되는 한쌍의 제1수직판; 한쌍의 상기 제1수직판의 상면에서 외측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수평판; 한쌍의 상기 제2수평판의 외면에서 상측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수직판; 한쌍의 상기 제2수직판을 상호 연결하며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 연결판을 포함하면서 상기 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위를 감싸는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the second sliding member includes a pair of first horizontal plates having mutually spaced upper surfaces and one surface of the second guide member being coupled to the upper surface; A pair of first vertical plates extending vertically from the outer surfaces of the pair of first horizontal plates and positioned outside the second support rails; A pair of second horizontal plates extending outwardly from an upper surface of the pair of first vertical plates; A pair of second vertical plates extending upward from outer surfaces of the pair of second horizontal plates; And a connecting plate connecting one pair of the second vertical plates to each other and connecting one end side of the hand to each other, and surrounding the lower and outer parts of the second guide member. 제3항에 있어서,
상기 제1슬라이딩부재는, 하면에 상기 제1가이드부재의 일면이 결합되는 한쌍의 수직판; 한쌍의 상기 수직판을 상호 연결하며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 수평판을 포함하며,
상기 수평판은 한쌍의 상기 제2수평판과 한쌍의 상기 제2수직판과 상기 연결판에 의하여 형성되는 공간의 내부에 위치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method of claim 3,
Wherein the first sliding member includes: a pair of vertical plates coupled to one surface of the first guide member on a lower surface; And a horizontal plate to which a pair of the vertical plates are interconnected and to which one end of the hand is coupled,
Wherein the horizontal plate is positioned inside a space formed by a pair of the second horizontal plate, the pair of second vertical plates, and the connecting plate. 제4항에 있어서,
상기 수평판의 상면에는 냉각판이 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.5. The method of claim 4,
And a cooling plate is provided on the upper surface of the horizontal plate. 제5항에 있어서,
상기 수평판과 상기 냉각판 사이 또는 상기 냉각판의 상면 중, 적어도 어느 하나에는 반사판이 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.6. The method of claim 5,
Wherein a reflection plate is provided between at least one of the horizontal plate and the cooling plate or the upper surface of the cooling plate. 제1항에 있어서,
상기 받침부재의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재가 설치되고,
상기 승강/회전부재에는 한쌍의 상기 제1지지레일 및 한쌍의 상기 제2지지레일이 설치되며,
상기 이송유닛은 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method according to claim 1,
A lifting / rotating member is installed on the upper surface of the receiving member so as to be able to move up and down,
The elevating / rotating member is provided with a pair of the first support rails and a pair of the second support rails,
Wherein the transfer unit is installed to be able to linearly move with respect to the lifting / rotating member while moving together with the lifting / rotating member. 제7항에 있어서,
상기 승강/회전부재의 일측 및 타측에는 제1아암(Arm)의 일단부측이 각각 회전가능하게 지지되고,
상기 제1슬라이딩부재 및 상기 제2슬라이딩부재의 일측에는 제2아암의 일단부측이 각각 회전가능하게 지지되며,
상기 제2아암의 타단부측은 상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지되고,
상기 제1아암에는 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제1아암과 상기 제2아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동하도록 구동하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암이 운동하는 중 상기 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 상기 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹쳐져 평행으로 배열되었을 때 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제2아암이 상기 제1아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.8. The method of claim 7,
One end of the first arm is rotatably supported on one side and the other side of the lifting / rotating member,
One end side of the second arm is rotatably supported on one side of the first sliding member and the second sliding member,
The other end of the second arm is rotatably supported on the other end side of the first arm,
Wherein the first arm is driven to rotate in a state in which the first arm and the second arm are folded or unfolded by rotating the other end side of the second arm relative to the other end side of the first arm, When the imaginary straight line connecting the both end sides of the first arm and the imaginary straight lines connecting the both end sides of the second arm are arranged in parallel and arranged in parallel while the first arm and the second arm are moving, And an arm driving part for removing singularity by rotating the other end side of the arm relative to the other end side of the first arm so that the second arm is unfolded from the first arm. . 제8항에 있어서,
상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지되는 상기 제2아암의 타단부측은 벤딩된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
9. The method of claim 8,
And the other end side of the second arm rotatably supported on the other end side of the first arm is bent.
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