KR101405303B1 - Carrier board transfer apparatus for test handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 캐리어보드를 이송시키기 위한 이송축과 캐리어보드의 자세(위치)를 유지시키기 위한 유지축이 동일한 파지동력원에 의해 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 함으로써 장치의 설계가 용이하고 생산단가를 절감할 수 있도록 하는 기술이 개시된다.The present invention relates to a carrier board transfer apparatus for a test handler. According to the present invention, a carrier board is gripped by a gripping power source having the same transfer shaft for transferring a carrier board and a holding shaft for holding a posture (position) Or releasing the grip, thereby making it easy to design the apparatus and reduce the production cost.

Description

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치{CARRIER BOARD TRANSFER APPARATUS FOR TEST HANDLER}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a carrier board transfer device for a test handler,

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a carrier board transfer apparatus for a test handler.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재시키는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.The test handler supports a semiconductor device manufactured through a predetermined manufacturing process so that the semiconductor device can be tested by a tester. The test handler classifies the semiconductor devices according to the test results and loads them on a customer tray. 0553992 (entitled " Test Handler "), and the like.

일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 캐리어보드로 로딩된 후 캐리어보드에 적재된 상태로 로딩위치에서 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버를 거쳐 언로딩위치로 이동한다. 그리고 캐리어보드가 테스트챔버 상에 위치할 때 테스터에 의해 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트가 이루어지며, 캐리어보드가 언로딩위치에 위치할 때 캐리어보드에 적재된 반도체소자들이 고객트레이로 언로딩된다. 여기서 캐리어보드라 함은 다수의 반도체소자들이 한꺼번에 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 다수의 반도체소자들을 적재시킬 수 있도록 한 적재요소인데, 이러한 캐리어보드에는 종래 개념의 테스트트레이와 근자에 새로이 제안된 신개념의 테스트보드가 있다.Generally, the produced semiconductor device is supplied to a test handler while being loaded on a customer tray. The semiconductor devices supplied to the test handler are loaded into the carrier board in the loading position and then moved from the loading position to the unloading position via the soak chamber, the test chamber and the desock chamber while being loaded on the carrier board. When the carrier board is positioned on the test chamber, the semiconductor elements mounted on the carrier board are tested by the tester. When the carrier board is positioned at the unloading position, the semiconductor elements loaded on the carrier board are unloaded do. Here, the carrier board is a loading element that can load a plurality of semiconductor elements to support a plurality of semiconductor elements to be tested at one time. In such a carrier board, a conventional concept test tray and a new concept There is a test board.

한편, 소크챔버에서는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들에 열적인 스트레스를 가하여 반도체소자들을 테스트 온도 조건으로 가열시키거나 냉각시키고, 디소크챔버에서는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 상온에 가깝게 회귀시키게 된다.On the other hand, in the soak chamber, thermal stress is applied to the semiconductor elements mounted on the carrier board to heat or cool the semiconductor elements to the test temperature condition, and to return the semiconductor elements mounted on the carrier board to near room temperature in the desorption chamber .

따라서 소크챔버에서는 캐리어보드를 테스트챔버로 보내기에 앞서 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 테스트하기에 적당한 온도로 충분히 가열시키거나 냉각시켜야 하고, 디소크챔버에서는 캐리어보드를 언로딩위치로 보내기에 앞서 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 언로딩하기에 적합한 온도로 회귀시켜야 한다.Therefore, in the soak chamber, the semiconductor devices loaded on the carrier board must be sufficiently heated or cooled to a temperature suitable for testing before the carrier board is sent to the test chamber. In the desalk chamber, before the carrier board is sent to the unloading position, It is necessary to return to a temperature suitable for unloading the semiconductor devices loaded on the board.

대개의 경우 소크챔버에는 다수의 캐리어보드가 함께 순차적으로 수용되기 때문에, 다수의 캐리어보드가 함께 테스트챔버 측으로 이송되어야 하고, 소크챔버로 새로이 수용되는 캐리어보드들도 먼저 수용된 캐리어보드를 따라서 함께 테스트챔버 측으로 원활히 이송되어야 한다. 그리고 소크챔버에 수용된 다수의 캐리어보드에 적재된 반도체소자들이 테스트 시에 요구되는 온도로 가열되거나 냉각될 충분한 물리적 시간이 확보되어야 한다. 이러한 필요들에 의해 소크챔버에서는 캐리어보드들을 캐리어보드의 적재면에 수직한 방향으로 동시에 이송시키거나 동시에 정지시키는 동작을 반복하면서 먼저 수용된 캐리어보드 순으로 순차적으로 테스트챔버 측으로 병진 이송시키도록 하는 기술이 필요하다. 즉, 소크챔버 내부에서 캐리어보드들을 단계적으로 병진 이송시키기 위한 이송장치가 필요하며, 그러한 이송장치에 대한 필요는 디소크챔버에서도 마찬가지로 요구된다.Since a plurality of carrier boards are sequentially accommodated together in the soak chamber, the plurality of carrier boards must be transferred to the test chamber side together, and the carrier boards newly accommodated in the soak chambers are firstly transferred to the test chamber As shown in Fig. And sufficient physical time must be ensured that the semiconductor devices loaded on the plurality of carrier boards accommodated in the soak chambers are heated or cooled to the temperature required in the test. According to these requirements, a technique of simultaneously transferring the carrier boards to the test chamber side sequentially in the order of the received carrier boards while repeating the operation of simultaneously transferring or stopping the carrier boards in the vertical direction to the loading surface of the carrier board need. That is, there is a need for a transfer device for stepwise translational transfer of the carrier boards within the soak chamber, and the need for such transfer devices is likewise required in the desalk chamber.

위에서 설명한 바와 같은 요구들을 만족할 수 있는 이송장치는 다수의 캐리어보드를 테스트챔버 측으로 단계적으로 병진 이송시킬 수 있는 구성과 캐리어보드가 정지하고 있을 시에 캐리어보드의 위치를 유지시킬 수 있는 구성을 필요로 한다. 이러한 예들로서, 대한민국 특허 공개공보 공개번호 특2002-0076442호(발명의 명칭 : 핸들러의 트레이 이송장치, 출원인 : 미래산업 주식회사)에서 제안된 기술(이하 '종래기술1'이라 함)과 공개번호 10-2006-0118824호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치, 출원인 : 미래산업 주식회사)에서 제안된 기술(이하 '종래기술2'라 함) 등이 있다.A transfer device that can satisfy the above-described requirements requires a configuration capable of transferring a plurality of carrier boards to the test chamber side stepwise and a configuration capable of maintaining the position of the carrier board when the carrier board is stopped do. As examples of such a technique, a technique (hereinafter referred to as 'prior art 1') disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2002-0076442 (entitled "Handler's tray transfer device, applicant: Mirae Industry Co., -2006-0118824 (entitled " Prior Art 2 ") proposed by the applicant, Mirae Industry Co., Ltd. (a test tray transfer device of a handler for semiconductor device test).

종래기술1은 캐리어보드(종래기술1에는 '트레이'로 정의 됨)를 병진 이송시키기 위한 이송축과 캐리어보드의 정지 시에 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위한 유지축(종래기술1에는 '홀더축'으로 정의 됨)을 구비하고 있고, 이송축과 유지축을 구동하기 위한 각각의 구동장치를 구비하고 있으며, 최종 이송축과 최종 유지축을 추가로 구비할 뿐더러 이들을 구동하기 위한 별도의 구동장치도 구비하고 있다. 따라서 구비되어야 할 장치가 많아 설계가 복잡하고, 생산단가가 상승하는 문제점을 가진다.The prior art 1 has a transport shaft for translating a carrier board (defined as a 'tray' in the prior art 1) and a holding shaft for holding the position of the carrier board at the time of stopping the carrier board '), And each of the driving devices for driving the feed shaft and the holding shaft is provided. Further, the final driving shaft and the final holding shaft are additionally provided, and a separate driving device for driving them is also provided have. Therefore, there are many devices to be provided, which complicates the design and increases the production cost.

종래기술2는 종래기술1을 보완 개략한 기술이지만, 이 역시 이송축(종래기술2에는 '이송부재'로 정의 됨)과 홀더부재를 구비하고 있고, 이송축과 홀더부재를 구동하기 위한 각각의 구동장치를 구비하고 있으며, 측면 지지부재와 최종 홀더부재 및 이들을 구동하기 위한 구동장치도 별도로 구비하고 있다. 따라서 여전히 구비되어야 할 장치가 많아 설계가 복잡하고 생산단가가 상승하는 문제점을 가진다.
The conventional art 2 is a technique which is a complementary outline of the conventional art 1, but it also has a conveying shaft (defined as a "conveying member" in the related art 2) and a holder member, and each of the conveying shafts A driving device, a side support member, a final holder member, and a driving device for driving them are separately provided. Therefore, there are still many devices to be provided, which complicate the design and increase the production cost.

본 발명은 이송축과 유지축이 동일한 동력원에 의해서 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a technique that enables the carrier shaft and the holding shaft to grip or release the carrier board by the same power source.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는, 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 캐리어보드를 파지한 상태로 캐리어보드를 병진 이송시키기 위해 마련되는 이송축; 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 상기 이송축에 의해 캐리어보드가 파지된 상태로 병진 이송될 때에는 캐리어보드의 파지를 해제하고, 상기 이송축으로부터 캐리어보드의 파지가 해제된 상태에서는 캐리어보드를 파지함으로써 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위해 마련되는 유지축; 상기 이송축에 의한 캐리어보드의 병진 이송에 필요한 동력을 제공하는 이송동력원; 및 상기 이송축과 유지축이 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 파지동력원; 을 포함한다.In order to accomplish the above object, according to the present invention, there is provided a carrier board transfer device for a test handler, which is capable of gripping or releasing a carrier board, ; The gripping of the carrier board is released when the carrier board is gripped by the carrier shaft while being gripped by the carrier shaft, and when the carrier board is gripped by the carrier shaft, A holding shaft provided to hold the position of the carrier board by holding the board; A feed power source for providing power necessary for translating the carrier board by the feed shaft; And a gripping power source for providing power to the carrier shaft and the holding shaft to grip or release the carrier board; .

상기 이송축은 캐리어보드를 파지하기 위한 다수의 파지돌기를 가지고 있고, 상기 유지축은 캐리어보드를 파지하기 위한 복수의 파지돌기를 가지고 있으며, 상기 파지동력원은 상기 이송축과 유지축을 함께 회전시킴으로써 상기 다수의 파지돌기들 사이 또는 상기 복수의 파지돌기들 사이에 캐리어보드를 삽입시키거나 탈거시켜 상기 이송축 및 유지축에 의해 캐리어보드를 파지시키거나 파지를 해제시키도록 구현된다.Wherein the carrier shaft has a plurality of grip protrusions for gripping the carrier board, the holding shaft having a plurality of grip protrusions for gripping the carrier board, the gripping power source rotating the transport shaft and the holding shaft together, The carrier board is inserted or detached between the grip protrusions or between the plurality of grip protrusions to grip or release the carrier board by the transport shaft and the holding shaft.

상기 이송축이 가지는 파지돌기의 개수는 상기 유지축이 가지는 파지돌기의개수보다 적어도 1개 이상 더 많은 것이 바람직하다.It is preferable that the number of the holding protrusions of the transfer axis is at least one or more than the number of the holding protrusions of the holding shaft.

상기 파지동력원은 상기 이송축에 회전력을 제공하며, 상기 이송축은 상기 파지동력원으로부터 제공받은 회전력을 상기 유지축에 전달함으로써 상기 이송축과 유지축이 함께 회전한다.The gripping power source provides a rotational force to the conveying shaft, and the conveying shaft transmits the rotational force provided from the gripping power source to the holding shaft so that the conveying shaft and the holding shaft rotate together.

상기 유지축은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있고, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈을 가지며, 상기 이송축은 상기 유지축의 내부에 축 방향으로 삽입되어 있고, 상기 다수의 파지돌기는 상기 노출홈을 통해 상기 유지축의 외측으로 돌출된다.
Wherein the holding shaft has an inner circumferential surface extending in the axial direction and an exposing groove formed in the axial direction and the transfer axis is axially inserted into the holding shaft, And protrudes outside the holding shaft.

위와 같은 본 발명에 따르면 하나의 동력원에 의해서 이송축과 유지축이 함께 회전하면서 이송축이 캐리어보드를 파지할 때에는 유지축이 캐리어보드의 파지를 해제하여 캐리어보드의 이송이 가능하도록 하고, 이송축이 캐리어보드의 파지를 해제할 때에는 유지축이 캐리어보드를 파지하여 캐리어보드의 위치를 유지시킬 수 있도록 함으로써 장치가 간소해져 설계가 용이하고 그 생산단가도 절감할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, when the conveying shaft rotates together with the retaining shaft by one power source and the conveying shaft grasps the carrier board, the retaining shaft releases the gripping of the carrier board to enable the carrier board to be conveyed, When releasing the grip of the carrier board, the holding shaft grasps the carrier board to maintain the position of the carrier board, thereby simplifying the apparatus, facilitating the design, and reducing the production cost.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.
도2는 도1의 이송장치에서 이송축과 유지축을 별개로 발췌하여 분리시켜 놓은 사시도이다.
도3은 이송축의 회전과 그에 따른 캐리어보드의 파지 및 파지 해제 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도4는 유지축의 회전과 그에 따른 캐리어보드의 파지 및 파지 해제 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도5a 내지 도5g는 도1의 이송장치의 작동을 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도6은 이송축과 유지축이 가지는 파지돌기들 간의 다른 예를 보여주기 위한 참조도이다.
도7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.
1 is a perspective view of a carrier board transfer apparatus for a test handler according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of the transfer apparatus of Fig. 1, in which the transfer axis and the holding axis are separately extracted and separated.
Fig. 3 is a reference diagram for explaining the rotation of the transport shaft and the grasping and gripping releasing operation of the carrier board.
4 is a reference diagram for explaining the rotation of the holding shaft and the operation of grasping and gripping the carrier board accordingly.
5A to 5G are operation state diagrams for explaining the operation of the conveyance device of FIG.
6 is a reference diagram showing another example between the gripping protrusions of the transporting shaft and the holding shaft.
7 is a perspective view of a carrier board transfer apparatus for a test handler according to another embodiment of the present invention.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For simplicity of description, redundant description is omitted or compressed as much as possible.

<제1 실시예>&Lt; Embodiment 1 >

도1은 본 발명의 실시예에 따른 이송장치(100)에 대한 사시도이고, 도2는 이송축(110)과 유지축(120)을 서로 분리시켜 놓은 분해 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a transfer device 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view in which a transfer shaft 110 and a holding shaft 120 are separated from each other.

도1 및 2에서 참조되는 바와 같이, 이송장치(100)는 이송축(110), 유지축(120), 이송동력원(130), 파지동력원(140) 및 안착장치(150) 등을 포함하여 구성된다. 여기서 이송축(110), 유지축(120), 파지동력원(140) 등은 캐리어보드(CB)의 네 귀퉁이를 파지하기 위해 4개씩 구비되어지나, 본 설명이나 도면 부호 등에서는 설명의 간결함을 위해 하나의 이송축(110), 유지축(120) 및 파지동력원(140)을 참조로 설명한다. 1 and 2, the conveying apparatus 100 includes a conveying shaft 110, a holding shaft 120, a conveying power source 130, a holding power source 140, a seating device 150, and the like. do. Here, four conveying shafts 110, holding shafts 120, gripping power sources 140 and the like are provided for holding the four corners of the carrier board CB. However, for the sake of simplicity of explanation, One transfer shaft 110, the holding shaft 120 and the gripping power source 140 will be described with reference to FIG.

이송축(110)은, 전후 방향으로 이동 가능하고 전후 방향의 축(Y)을 회전축으로 하여 화살표(도1의 화살표 a 참조) 방향으로 회전 가능하게 구비되며, 캐리어보드(CB)를 파지하기 위한 13개의 파지돌기(110a 내지 110m)를 축 방향으로 나란히 일렬로 가진다. 따라서 도3의 참조도에서 참조되는 바와 같이 그 회전 상태에 따라 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지 해제할 수 있게 된다.The feed shaft 110 is rotatable in the direction of an arrow (see arrow a in Fig. 1) with its longitudinal axis Y being a rotational axis and movable in the longitudinal direction, And has thirteen grip protrusions 110a to 110m in a row in the axial direction. Accordingly, it is possible to grasp or release the carrier board CB according to the rotation state thereof, as referred to in the reference diagram of Fig.

유지축(120)도 캐리어보드(CB)를 파지하기 위한 12개의 파지돌기(120a 내지 120l)를 축 방향으로 나란히 일렬로 가지며, 도4의 참조도에서 참조되는 바와 같이 그 회전 상태에 따라 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지 해제할 수 있게 된다. 또한 유지축(120)은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있으며, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈(121)을 가진다. 이러한 유지축(120)은 이송축(110)의 회전축과 동 축인 전후 방향의 축(Y)을 회전축으로 하여 화살표(도1의 화살표 b 참조) 방향으로 회전 가능하나 전후 방향으로의 이동은 이루어지지 않도록 고정되게 구비된다.The holding shaft 120 also has twelve gripping protrusions 120a to 120l for holding the carrier board CB in a row along the axial direction, and as shown in the reference diagram of FIG. 4, It is possible to grasp or release the grip portion CB. In addition, the holding shaft 120 has an inside thereof axially penetrated, and has an exposure groove 121 formed to be long in the axial direction. The holding shaft 120 is rotatable in the direction of an arrow (see arrow b in FIG. 1) with the longitudinal axis Y being the axis of rotation coaxial with the rotational axis of the conveying shaft 110, As shown in FIG.

위와 같은 구성의 이송축(110)과 유지축(120)은 이송축(110)이 유지축(120)의 내부에 축 방향으로 삽입된 상태로 상호 결합되어지며, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들은 유지축(120)의 노출홈(121)을 통해 유지축(120)의 외측으로 돌출되어진다. 따라서 이송축(110)이 회전하게 되면 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들이 이송축(110)의 회전력을 유지축(120)에 전달하는 구조가 구현된다.The transfer shaft 110 and the holding shaft 120 having the above structure are coupled to each other in a state where the transfer shaft 110 is inserted axially into the holding shaft 120, The protrusions 110a to 110m protrude to the outside of the retaining shaft 120 through the exposed grooves 121 of the retaining shaft 120. [ Therefore, when the transfer shaft 110 rotates, the gripping protrusions 110a to 110m of the transfer shaft 110 transfer the rotational force of the transfer shaft 110 to the holding shaft 120.

위와 같은 구성은 이송축(110)을 파지돌기(110a 내지 110m)가 없는 상태에서 유지축(120)에 삽입시킨 후, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)를 이송축(110)에 결합시킴으로써 완성된다. In this configuration, after the feed shaft 110 is inserted into the holding shaft 120 without the grip protrusions 110a to 110m, the grip protrusions 110a to 110m of the feed shaft 110 are inserted into the feed shaft 110, As shown in FIG.

이송동력원(130)은, 이송축(110)을 캐리어보드(CB)의 적재면에 수직한 방향인 전후 방향으로 왕복 운동시킴으로써 캐리어보드(CB)의 적재면에 수직한 방향으로 캐리어보드(CB)를 병진 이송시키기 위한 동력을 제공하기 위해 마련되는 것으로, 본 실시예에서는 실린더(131)와 실린더(131)로부터 제공되는 동력을 4개의 이송축(110) 각각으로 분산하여 전달하기 위한 전달부재(132)로 구성되어 있다. The conveying power source 130 reciprocates the conveying shaft 110 in the forward and backward direction perpendicular to the loading surface of the carrier board CB to thereby guide the carrier board CB in the direction perpendicular to the loading surface of the carrier board CB. In this embodiment, the transmission member 132 for dispersing and transmitting the power provided from the cylinder 131 and the cylinder 131 to each of the four conveying shafts 110 is provided. ).

파지동력원(140)은, 이송축(110)과 유지축(120)이 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하기 위해 마련되는 것으로, 본 실시예에서는 모터로 구성되어 있다.The gripping power source 140 is provided to provide a power for allowing the feed shaft 110 and the holding shaft 120 to grip or release the grip of the carrier board CB. In this embodiment, .

안착장치(150)는, 유지축(120)과 분리되어 있으며, 이송축(110)에 의해 병진 이송되어 온 캐리어보드(CB)를 테스트챔버(미도시) 또는 언로딩위치(미도시)와 같은 다른 곳으로 이송시킬 수 있도록 캐리어보드(CB)를 임시적으로 안착시키기 위해 마련된다. 즉, 테스트챔버나 언로딩위치의 상황(테스트챔버나 언로딩위치에 앞선 캐리어보드가 위치하고 있는 경우 등)에 따라서 캐리어보드(CB)를 테스트챔버나 언로딩위치로 이송시키지 못하고 대기시킬 필요가 있는데, 유지축(120)은 이송축(110)의 정역 회전에 연동하여 정역 회전하기 때문에 유지축(120)에 파지된 상태로 캐리어보드(CB)를 대기시키기에는 부적합하다. 따라서 유지축(120)과는 다른 별도의 안착장치(150)를 통해 캐리어보드(CB)를 이송 대기시키도록 하고 있다. 그리고 이송축(110)에 의해 캐리어보드(CB)를 안착장치(150)에 안착시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하기 때문에, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)의 개수를 유지축(120)의 파지돌기(120a 내지 120l)의 개수보다 한 개 더 많게 구성한다. 물론, 안착장치가 2개 이상의 캐리어보드를 대기시킬 수 있도록 구현된 경우에는, 그에 비례하는 만큼 이송축의 파지돌기의 개수를 유지축의 파지돌기의 개수보다 더 많게 구성시키는 것이 바람직하다. 이러한 안착장치(150)는 캐리어보드(CB)를 파지할 수 있는 상하 한 쌍의 파지대(151a, 151b)와 한 쌍의 파지대(151a, 151b) 각각을 상하 방향으로 일정 간격 이동시키기 위한 구동원(152)으로 구성된다. 본 실시예에서는 구동원(152)이, 모터(152a), 벨트(152b), 구동풀리(152c), 피동풀리(152d) 및 한 쌍의 파지대(151a, 151b)를 벨트(152b)에 결합시키기 위한 결합대(152e, 152f) 등으로 구성된다. 물론, 실시하기에 따라서는 2개의 구동원에 의해 한 쌍의 파지대가 각각 별개로 작동되도록 구성하는 것도 얼마든지 고려될 수 있으며, 모터(152a) 대신에 실린더와 같은 다른 동력원을 이용할 수도 있다.The seat device 150 is separated from the holding shaft 120 and is mounted to a test chamber (not shown) or an unloading position (not shown) such that the carrier board CB, which has been translationally transferred by the transfer shaft 110, And is provided for temporarily holding the carrier board (CB) so that the carrier board (CB) can be transferred to another place. That is, it is necessary to wait for the carrier board (CB) to be transferred to the test chamber or unloading position according to the situation of the test chamber or the unloading position (such as when the carrier board is located before the test chamber or unloading position) The holding shaft 120 rotates forward and backward in conjunction with the forward and reverse rotations of the conveying shaft 110 and is therefore unsuitable for holding the carrier board CB in a state gripped by the holding shaft 120. [ Therefore, the carrier board CB is waiting to be conveyed through the separate seating device 150 different from the holding shaft 120. The number of the gripping protrusions 110a to 110m of the transporting shaft 110 is set to be smaller than the number of the holding shafts 120a to 110m of the transporting shaft 110 because the carrier board CB can be seated on the placing apparatus 150 by the transporting shaft 110. [ The number of the holding protrusions 120a to 120l is one more than the number of the holding protrusions 120a to 120l. Of course, in the case where the mounting apparatus is constructed so as to allow two or more carrier boards to be placed, it is preferable that the number of the holding projections of the conveying axis is set to be larger than the number of the holding projections of the holding shaft. The seat device 150 includes a pair of upper and lower rails 151a and 151b and a pair of rails 151a and 151b capable of gripping the carrier board CB, (Not shown). In this embodiment, the drive source 152 is configured to couple the motor 152a, the belt 152b, the drive pulley 152c, the driven pulley 152d and the pair of fingers 151a and 151b to the belt 152b 152e, 152f, and the like. Of course, depending on the implementation, it is also possible to consider a configuration in which the pair of grippers are operated separately by two driving sources, and another power source such as a cylinder may be used instead of the motor 152a.

계속하여 상기한 바와 같은 캐리어보드 이송장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.Next, the operation of the carrier board transfer apparatus 100 as described above will be described.

먼저, 도5a에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)가 화살표(c) 방향으로 진입해 오면서 이송축(120)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에 삽입된다. 그러나 경우에 따라서는 장비의 구조상 캐리어 보드(CB)가 위에서 아래로 진입해 오면서 이송축의 제1 파지돌기와 제2 파지돌기 사이에 삽입된다. 이러한 경우, 윗 쪽에 위치한 2개의 이송축의 파지돌기의 방향은 캐리어보드의 이동 방향(위에서 아래)의 수직한 방향 혹은 수직한 방향보다 캐리어보드 이동 방향 쪽으로 치우진 방향으로 있다가 캐리어보드가 하부 이송축의 파지돌기에 삽입이 완료된 후 회전함으로써 후 캐리어보드를 지지하는 구성으로 할 수 도 있다. 즉 4개의 이송축의 파지돌기의 방향은 장비의 구조에 따라 초기에는 모두 동일한 방향으로 정지되어 있지 않으며, 작동 시에도 모두 동일한 방향으로 회전되지 않을 수 도 있다.5A, the carrier board CB is inserted between the first gripping protrusions 110a and the second gripping protrusions 110b of the transfer shaft 120 while entering the direction of arrow c . However, in some cases, the carrier board CB is inserted between the first gripping protrusions and the second gripping protrusions of the transport shaft as the carrier board CB moves from the top to the bottom. In this case, the direction of the gripping projections of the two transporting shafts located at the upper side is in a direction deviated toward the direction of the carrier board moving direction than the vertical direction or vertical direction of the movement direction (upper and lower) of the carrier board, The carrier board may be supported by being rotated after the insertion of the gripper protrusion is completed. That is, the directions of the gripping protrusions of the four transporting shafts are not stopped in the same direction at the beginning according to the structure of the equipment, and may not be all rotated in the same direction during operation.

도5a의 상태에서 이송동력원(130)이 작동하여, 도5b에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)을 후방으로 밀어 이동시킴으로써 캐리어보드(CB)를 1 스텝(step) 후방으로 이동시킨다.5A, the feed power source 130 operates to move the carrier board CB one step backward by pushing the feed shaft 110 rearward as shown in FIG. 5B.

도5b의 상태에서 파지동력원(140)이 작동하여 이송축(110)을 정회전시키면, 도5c에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)이 정회전함과 동시에 유지축(120)도 정회전하면서 캐리어보드(CB)는 이송축(110)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에서 탈거되면서 유지축(120)의 제1 파지돌기(120a)와 제2 파지돌기(120b) 사이에 삽입된다. 이 때, 파지동력원(140)의 작동에 따라 유지축(120)의 파지돌기(120a 내지 120l)들에 의해 캐리어보드(CB)가 파지되는 시점과 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들에 의해 캐리어보드(CB)의 파지가 해제되는 시점이 다를 수 있으며, 이러한 경우 순간적으로 캐리어보드(CB)의 자세가 불안정(쓰러지거나 위치를 이탈하는 등)해질 수 있다. 따라서 4개의 파지동력원(140)이 시간차를 두고 순차적으로 작동되게 구현하거나 4개의 파지동력원(140) 중 2개씩 시간차를 두고 쌍으로 작동되게 구현하는 것이 바람직하다.5B, when the gripping power source 140 is operated to rotate the feed shaft 110 in the normal direction, the feed shaft 110 is rotated in the forward direction and the hold shaft 120 is rotated in the forward direction, The board CB is detached between the first gripping protrusion 110a and the second gripping protrusion 110b of the transfer shaft 110 and the first gripping protrusion 120a and the second gripping protrusion 120b . At this time, when the carrier board CB is held by the gripping protrusions 120a to 120l of the holding shaft 120 and the gripping protrusions 110a to 110m The carrier board CB may be instantaneously unstable (collapsed or displaced) instantaneously. In this case, the posture of the carrier board CB may be unstable. Therefore, it is preferable that the four gripping power sources 140 are implemented to be sequentially operated with a time difference or two of the four gripping power sources 140 are operated in pairs with a time difference.

물론 유지축의 파지돌기들과 이송축의 파지돌기들 간의 각도(θ, 0˚ < θ < 90˚)를 조정하여, 도6에서 참조되는 바와 같이, 유지축(120A)의 파지돌기(120A-1)들에 의한 캐리어보드(CB)의 파지가 해제되기 전에 이송축(110A)에 의한 파지돌기(110A-1)들에 의한 캐리어보드(CB)의 파지가 이루어지도록 하는 것도 바람직하게 고려될 수 있다. 6, the holding protrusion 120A-1 of the holding shaft 120A is adjusted by adjusting the angle (θ, 0 ° <θ <90 °) between the holding protrusions of the holding shaft and the holding protrusions of the transfer shaft, It is also preferable to grasp the carrier board CB by the gripping protrusions 110A-1 by the conveying shaft 110A before releasing the gripping of the carrier board CB by the grippers 110A-1.

도5c와 같은 상태에서 이송동력원(130)이 작동하여, 도5d에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)을 전방으로 당김으로써 이송축(110)을 도5a와 같은 원래의 상태로 복귀시킨다.5C, the feed power source 130 operates to return the feed shaft 110 to its original state as shown in FIG. 5A by pulling the feed shaft 110 forward as shown in FIG. 5D.

이어서 파지동력원(140)이 작동하여 이송축(110)을 역회전시키면, 도5e에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)이 역회전함과 동시에 유지축(120)도 역회전하면서 캐리어보드(CB)는 유지축(120)의 제1 파지돌기(120a)와 제2 파지돌기(120b) 사이에서 탈거되면서 이송축(110)의 제2 파지돌기(110b)와 제3 파지돌기(110c) 사이에 삽입된다. 그리고 이송축(110)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에는 새로운 캐리어보드가 삽입될 수 있게 된다.5E, when the gripping power source 140 is operated to rotate the feed shaft 110 in the opposite direction, the holding shaft 120 rotates in reverse while the feeding shaft 110 is reversely rotated, Is detached between the first gripping protrusion 120a and the second gripping protrusion 120b of the holding shaft 120 and is inserted between the second gripping protrusion 110b and the third gripping protrusion 110c of the transporting shaft 110 . A new carrier board can be inserted between the first gripping protrusions 110a and the second gripping protrusions 110b of the transfer shaft 110.

즉, 이송축(110)에 의해 캐리어보드(CB)가 파지된 상태로 병진 이송되어야 할 때에는 유지축(120)이 캐리어보드(CB)의 파지를 해제시킨 상태로 되게 하고, 이송축(110)으로부터 캐리어보드(CB)의 파지가 해제된 상태에서는 유지축(120)이 캐리어보드(CB)를 파지하여 캐리어보드(CB)의 자세(또는 위치) 등을 유지시키는 상태로 되게 함으로써 이송축(110)과 유지축(120)에 의한 캐리어보드(CB)의 단계적 이송을 실현시킨다.That is, when the carrier board CB is to be translationally transferred by the transfer shaft 110, the holding shaft 120 is made to release the holding of the carrier board CB, The holding shaft 120 grasps the carrier board CB to hold the posture (or position) of the carrier board CB in a state where the gripping of the carrier board CB is released, And the holding shaft 120. The carrier board CB can be moved in a stepwise manner.

그리고 계속하여 도5a 내지 도5e의 동작을 반복함으로써 캐리어보드(CB)를 전방에서 후방으로 1 스텝씩 병진 이송시키게 된다.Subsequently, by repeating the operations of Figs. 5A to 5E, the carrier board CB is translated by one step from the front to the back.

차후 이송축(110)의 후단 부근까지 이송된 캐리어보드(CB)는, 도5f에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)의 제12 파지돌기(110l)와 제13 파지돌기(110m) 사이에 삽입된 채로 더 후방으로 이송되어진다. 이 때, 안착장치(150)의 구동원(152)은 캐리어보드(CB)의 진입을 허락하기 위하여 양 파지대(151a, 151b) 사이의 간격을 벌려 놓는다. 캐리어보드(CB)가 양 파지대(151a, 151b)와 수직선상에서 일치된 상태로 진입을 완료하게 되면, 도5g에서 참조되는 바와 같이, 구동원(152)이 작동하여 양 파지대(151a, 151b) 간의 간격을 좁힘으로써 캐리어보드(CB)의 상측 변과 하측 변이 양 파지대(151a, 151b)에 의해 파지될 수 있게 한다.The carrier board CB transferred to the vicinity of the rear end of the subsequent transport shaft 110 is moved between the twelfth gripping protrusion 110l and the thirteenth gripping protrusion 110m of the transport shaft 110, It is further inserted backward. At this time, the driving source 152 of the seating device 150 spreads the space between the two rails 151a and 151b to allow the carrier board CB to enter. When the carrier board CB completes its entry in a state where the carrier boards CB are aligned with the vertical rails 151a and 151b in a vertical line, the driving source 152 is operated to rotate the both rails 151a and 151b, The upper side and the lower side of the carrier board CB can be gripped by the both fingers 151a and 151b.

한편, 위에서 설명된 작동에 대한 설명에서는 캐리어보드(CB)가 이송축(110)에 파지되면서 병진 이송이 시작되고 있지만, 실시하기에 따라서는 캐리어보드가 유지축에 먼저 파지되면서 병진 이송이 시작되도록 하는 것도 가능하다.
In the above description of the operation, the carrier board CB is gripped by the transport shaft 110 to start the translational transport. However, according to the carrier board CB, It is also possible to do.

<제2 실시예>&Lt; Embodiment 2 >

도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치(700)에 대한 사시도이다.7 is a perspective view of a transfer device 700 according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 이송장치(700)는, 파지동력원(740)을 2개 구비시키고, 1개의 실린더(741)가 2개의 회전부재(742a, 742b) 및 링크부재(743)를 통해 2개의 이송축(710A, 710B)에 회전력을 제공하는 구조로 되어 있다. 이러한 예의 경우에도 2개의 파지동력원(740)이 동시에 작동되도록 하거나 순차적으로 작동되도록 할 수 있으며, 실시하기에 따라서는 링크구조를 개량하여 하나의 파지동력원에 의해 4개의 이송축에 회전력이 제공되도록 하는 구조도 얼마든지 고려될 수 있다.
The conveying apparatus 700 according to the present embodiment is provided with two gripping power sources 740 and one cylinder 741 is supported by two rotary members 742a and 742b and a link member 743, And provides a rotational force to the shafts 710A and 710B. In this case as well, the two gripping power sources 740 can be simultaneously operated or sequentially operated, and the link structure can be improved to provide rotational force to the four transporting shafts by one gripping power source The structure can be considered as much as possible.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. And the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.

100 : 이송장치
110 : 이송축
110a 내지 110m : 파지돌기
120 : 유지축
121 : 노출홈
120a 내지 120l : 파지돌기
130 : 이송동력원
140 : 파지동력원
150 : 안착장치 100: Feeding device
110: Feed axis
110a to 110m:
120: Holding axis
121: Exposure home
120a to 120l:
130: Feeding power source
140: Phasing power source
150:

Claims (5)

삭제delete 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 캐리어보드를 파지한 상태로 캐리어보드를 병진 이송시키기 위해 마련되는 이송축;
캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 상기 이송축에 의해 캐리어보드가 파지된 상태로 병진 이송될 때에는 캐리어보드의 파지를 해제하고, 상기 이송축으로부터 캐리어보드의 파지가 해제된 상태에서는 캐리어보드를 파지함으로써 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위해 마련되는 유지축;
상기 이송축에 의한 캐리어보드의 병진 이송에 필요한 동력을 제공하는 이송동력원; 및
상기 이송축과 유지축이 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 파지동력원; 을 포함하며,
상기 이송축은 캐리어보드를 파지하기 위한 다수의 파지돌기를 가지고 있고,
상기 유지축은 캐리어보드를 파지하기 위한 복수의 파지돌기를 가지고 있으며,
상기 파지동력원은 상기 이송축과 유지축을 함께 회전시킴으로써 상기 다수의 파지돌기들 사이 또는 상기 복수의 파지돌기들 사이에 캐리어보드를 삽입시키거나 탈거시켜 상기 이송축 및 유지축에 의해 캐리어보드를 파지시키거나 파지를 해제시키는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.A conveying shaft which is capable of gripping or releasing the carrier board and provided for translating the carrier board while holding the carrier board;
The gripping of the carrier board is released when the carrier board is gripped by the carrier shaft while being gripped by the carrier shaft, and when the carrier board is gripped by the carrier shaft, A holding shaft provided to hold the position of the carrier board by holding the board;
A feed power source for providing power necessary for translating the carrier board by the feed shaft; And
A gripping power source for providing power for allowing the carrying shaft and the holding shaft to grip or release the carrier board; / RTI &gt;
Wherein the transport shaft has a plurality of grip protrusions for gripping the carrier board,
The holding shaft has a plurality of holding protrusions for gripping the carrier board,
Wherein the gripping power source rotates the transfer shaft and the holding shaft together to insert or detach the carrier board between the plurality of gripping protrusions or between the plurality of gripping protrusions to grip the carrier board by the transferring shaft and the holding shaft Or releasing the grip.
Carrier board transfer device for test handler. 제2항에 있어서,
상기 이송축이 가지는 파지돌기의 개수는 상기 유지축이 가지는 파지돌기의개수보다 적어도 1개 이상 더 많은 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the number of the holding protrusions of the transfer axis is at least one more than the number of the holding protrusions of the holding shaft
Carrier board transfer device for test handler. 제2항에 있어서,
상기 파지동력원은 상기 이송축에 회전력을 제공하며,
상기 이송축은 상기 파지동력원으로부터 제공받은 회전력을 상기 유지축에 전달함으로써 상기 이송축과 유지축이 함께 회전하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치3. The method of claim 2,
Wherein said gripping power source provides a rotational force to said feed shaft,
Wherein the transfer shaft transfers the rotational force provided from the gripping power source to the holding shaft so that the transfer shaft and the holding shaft rotate together
Carrier board transfer device for test handler 제4항에 있어서,
상기 유지축은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있고, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈을 가지며,
상기 이송축은 상기 유지축의 내부에 축 방향으로 삽입되어 있고, 상기 다수의 파지돌기는 상기 노출홈을 통해 상기 유지축의 외측으로 돌출되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.5. The method of claim 4,
Wherein the holding shaft has an inside thereof penetrating in the axial direction and has an exposure groove formed in a long axial direction,
Wherein the feed shaft is axially inserted into the holding shaft and the plurality of grip protrusions protrudes outwardly of the holding shaft through the exposure groove
Carrier board transfer device for test handler.
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