KR100528707B1 - Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler - Google Patents

Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler Download PDF

Info

Publication number
KR100528707B1
KR100528707B1 KR10-2004-0014281A KR20040014281A KR100528707B1 KR 100528707 B1 KR100528707 B1 KR 100528707B1 KR 20040014281 A KR20040014281 A KR 20040014281A KR 100528707 B1 KR100528707 B1 KR 100528707B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
unit
cam plate
base portion
cam
Prior art date
Application number
KR10-2004-0014281A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050089110A (en
Inventor
함철호
임우영
서재봉
조영근
송호근
박용근
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR10-2004-0014281A priority Critical patent/KR100528707B1/en
Publication of KR20050089110A publication Critical patent/KR20050089110A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100528707B1 publication Critical patent/KR100528707B1/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333—Trays for chips
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치에 관한 것으로, 엘리베이터 상에 놓여진 트레이의 위치 정렬시 트레이에 가해지는 충격을 최소화함으로써 트레이 상의 반도체 소자들이 뒤집어지거나 위치 이탈하는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다. The present invention relates to a tray aligning device of a semiconductor device test handler, to minimize the impact on the tray during the alignment of the tray placed on the elevator to prevent the semiconductor elements on the tray to be flipped or out of position.

이를 위해 본 발명은, 트레이가 안착되는 베이스부와; 상기 베이스부의 일측부에 상측으로 돌출되게 형성되어 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부와; 상기 베이스부의 저면에 직선 왕복 운동하도록 설치된 직선운동유닛과; 상기 직선운동부의 일측에 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되고, 일단부가 상기 베이스부의 일측면 외측부에 위치되어, 상기 직선운동부의 직선 운동에 의해 회전축을 중심으로 내외측으로 회동하면서 그 일단부가 트레이의 일측면부를 위치결정부 쪽으로 밀어내는 트레이 푸쉬유닛을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치를 제공한다.To this end, the present invention, the base is seated on the tray; A positioning unit protruding upward from one side of the base unit to determine a position of the tray; A linear motion unit installed to linearly reciprocate on a bottom of the base part; One end of the tray is rotatably installed on one side of the linear movement part, and one end thereof is positioned on an outer side of one side of the base part, and one end thereof rotates in and out around the rotation axis by linear motion of the linear motion part. Provided is a tray alignment device for a semiconductor device test handler including a tray push unit for pushing a side part toward a positioning part.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치{Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler}Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler}

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 장치인 핸들러에 관한 것으로, 특히 트레이를 로딩위치로 반송하는 엘리베이터 상에 트레이가 안착되었을 때 트레이의 위치를 정확하게 정렬함으로써 트레이가 로딩위치의 정확한 위치로 공급될 수 있도록 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치에 관한 것이다. The present invention relates to a handler which is a device for testing a semiconductor device, and more particularly, to precisely align the tray position when the tray is seated on an elevator for transporting the tray to the loading position so that the tray can be supplied to the correct position of the loading position. It relates to a tray alignment device of a semiconductor device test handler.

일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되는 바, 핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 반도체 소자 이송장치를 사용하여 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.In general, the semiconductor devices produced in the production line are tested to determine whether they are good or defective before shipping, and the handler is a device used to test these semiconductor devices. The semiconductor devices contained in the trays are automatically transferred between processes, mounted on the test sockets of the test site, the desired tests are carried out, and the tests are performed by sequentially classifying the classes into different grades and unloading them again. It's the equipment that is supposed to run.

첨부된 도면의 도 1을 참조하여, 핸들러에서 이루어지는 테스트과정에 대해 좀 더 구체적으로 설명하면, 핸들러의 본체 베이스(1) 하부에 설치된 로딩스택커(5)에 테스트할 반도체 소자를 수납하는 트레이(T)들을 적재하고, 로딩스택커(5)의 일측에 설치된 언로딩스택커(6)에는 테스트 완료된 반도체 소자를 수납하게 되는 빈 트레이(T)들을 적재한 후 핸들러를 가동시키면, 트레이 이송장치(9)가 로딩스택커(5)의 트레이(T)를 홀딩하여 로딩측 엘리베이터(4) 상에 안착시킨다. Referring to FIG. 1 of the accompanying drawings, the test process performed in the handler will be described in more detail. The tray for accommodating the semiconductor device to be tested in the loading stacker 5 installed under the main body base 1 of the handler ( After loading the T trays and loading the empty trays T for storing the tested semiconductor elements in the unloading stacker 6 installed on one side of the loading stacker 5 and operating the handler, the tray transfer apparatus ( 9) holds the tray T of the loading stacker 5 and seats it on the loading side elevator 4.

이어서, 로딩측 엘리베이터(4)가 상측의 본체 베이스(1)의 로딩위치(2)로 상승하여 대기한다. 그리고, 소자 이송장치(8a, 8b)가 로딩위치(2)로 이동하여 트레이(T)에서 반도체 소자들을 픽업한 다음 핸들러 후방의 테스트 사이트(미도시)로 공급하고, 테스트 사이트에서는 인덱스장치(미도시)가 공급된 반도체 소자들을 테스트소켓(미도시)으로 이송하여 전기적으로 접속시킴으로써 소정의 테스트를 수행한다. The loading side elevator 4 then ascends to the loading position 2 of the upper body base 1 and stands by. Then, the device transfer devices 8a and 8b move to the loading position 2 to pick up the semiconductor devices from the tray T, and then supply them to a test site (not shown) behind the handler, and the index device (not shown) at the test site. A predetermined test is performed by transferring the supplied semiconductor elements to a test socket (not shown) and electrically connecting them.

테스트소켓에서 테스트 완료된 반도체 소자들은 소자 이송장치(8a, 8b)에 의해 픽업되어 언로딩위치(3)에 위치된 트레이(T)에 테스트 결과별로 분류되어 재수납된다. The semiconductor devices tested in the test sockets are picked up by the device transfer devices 8a and 8b and sorted by the test results in the tray T located at the unloading position 3 for re-storage.

한편, 상기와 같이 테스트가 수행될 때 로딩위치(2) 및 언로딩위치(3)로 공급되는 트레이(T)는 항상 정확한 위치로 위치되어야 하는 바, 트레이를 로딩위치(2) 및 언로딩위치(3)로 반송하는 엘리베이터(4)에는 트레이를 엘리베이터의 일측 기준위치로 밀어냄으로써 엘리베이터(4)에 대한 트레이 위치를 정렬하는 정렬장치(미도시)가 구비되어 있다. On the other hand, when the test is performed as described above, the tray (T) supplied to the loading position (2) and the unloading position (3) should always be positioned in the correct position, the tray loading position (2) and unloading position The elevator 4 conveyed by (3) is equipped with the aligning apparatus (not shown) which aligns the tray position with respect to the elevator 4 by pushing a tray to one reference position of an elevator.

이러한 정렬장치로는 공압실린더가 사용되고 있는 바, 공압실린더의 작동에 의해 트레이 푸쉬블럭이 직선 운동하면서 트레이의 일측을 반대편으로 밀어 트레이를 일측에 밀착시킴으로써 엘리베이터 상에서 트레이의 위치를 정렬시킨다. As such an alignment device, a pneumatic cylinder is used. By operating the pneumatic cylinder, the tray push block is linearly moved while pushing one side of the tray to the opposite side so as to close the tray to one side to align the position of the tray on the elevator.

그러나, 상기와 같이 공압실린더가 직접 트레이를 밀어내어 트레이 위치를 정렬하게 되면, 정렬 작동시 트레이에 강한 충격이 가해지기 때문에 반도체 소자의 크기가 작을 경우 반도체 소자가 트레이에서 뒤집어지거나 위치 이탈하게 되는 현상이 자주 발생하는 문제가 있었다. However, when the pneumatic cylinder directly aligns the tray position by pushing the tray, a strong impact is applied to the tray during the alignment operation, and thus, when the size of the semiconductor element is small, the semiconductor element is turned over or out of the tray. This was a frequent problem.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 엘리베이터 상에 놓여진 트레이의 위치 정렬시 트레이에 가해지는 충격을 최소화함으로써 트레이 상의 반도체 소자들이 뒤집어지거나 위치 이탈하는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치를 제공함에 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, the semiconductor to minimize the impact applied to the tray when the position of the tray placed on the elevator to prevent the semiconductor elements on the tray to flip over or out of position The purpose is to provide a tray alignment device for the device test handler.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 트레이가 안착되는 베이스부와; 상기 베이스부의 일측부에 상측으로 돌출되게 형성되어 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부와; 상기 베이스부의 저면에 직선 왕복 운동하도록 설치된 직선운동유닛과; 상기 직선운동부의 일측에 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되고, 일단부가 상기 베이스부의 일측면 외측부에 위치되어, 상기 직선운동부의 직선 운동에 의해 회전축을 중심으로 내외측으로 회동하면서 그 일단부가 트레이의 일측면부를 위치결정부 쪽으로 밀어내는 트레이 푸쉬유닛을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the base is seated tray; A positioning unit protruding upward from one side of the base unit to determine a position of the tray; A linear motion unit installed to linearly reciprocate on a bottom of the base part; One end of the tray is rotatably installed on one side of the linear movement part, and one end thereof is positioned on an outer side of one side of the base part, and one end thereof rotates in and out around the rotation axis by linear motion of the linear motion part. Provided is a tray alignment device for a semiconductor device test handler including a tray push unit for pushing a side part toward a positioning part.

본 발명의 한 실시형태에 따르면, 상기 직선운동유닛은, 상기 베이스부에 설치된 가이드부재와; 상기 가이드부재를 따라 이동하도록 설치되고, 일측변부에 굴곡진 캠면이 형성되어 상기 트레이 푸쉬유닛의 일단부와 접촉하는 캠판과; 상기 캠판을 직선 왕복 운동시키기 위한 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. According to one embodiment of the present invention, the linear motion unit comprises: a guide member provided in the base portion; A cam plate installed to move along the guide member, the cam plate having a curved cam surface at one side thereof and contacting one end of the tray push unit; And a drive unit for linearly reciprocating the cam plate.

본 발명의 또 다른 한 실시형태에 따르면, 상기 직선운동유닛은, 상기 베이스부에 설치된 가이드부재와; 상기 가이드부재를 따라 이동하도록 설치되고, 상기 트레이 푸쉬유닛의 일단부가 이동하도록 길이방향을 따라 굴곡진 비선형 캠홈이 형성된 캠판과; 상기 캠판을 직선 왕복 운동시키기 위한 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, the linear motion unit, the guide member provided in the base portion; A cam plate installed to move along the guide member, the cam plate having a non-linear cam groove bent along a longitudinal direction to move one end of the tray push unit; And a drive unit for linearly reciprocating the cam plate.

이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of a tray alignment apparatus of a semiconductor device test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이해를 돕기 위해, 이하의 설명에서 핸들러의 구성 중 도 1을 참조하여 설명한 종래의 핸들러 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 병기하며, 그 상세한 설명은 생략한다. For the sake of clarity, the same reference numerals are given to the same components as those of the conventional handler described with reference to FIG. 1 in the following description of the handler, and detailed description thereof will be omitted.

도 2 내지 도 6은 본 발명에 따른 트레이 정렬장치의 구성을 나타낸 도면들로, 핸들러의 본체 베이스(1)(도 1참조) 하부에 트레이가 안착되는 엘리베이터 베이스부(41)가 상하로 이동가능하게 설치된다. 2 to 6 is a view showing the configuration of the tray alignment device according to the present invention, the elevator base portion 41, the tray is seated on the lower portion of the main body base 1 (see Fig. 1) of the handler is movable up and down Is installed.

상기 베이스부(41)의 일측 변부 상면에는 베이스부(41)에 대한 트레이의 측방향 위치를 결정하기 위한 2개의 측방 위치결정핀(481)이 소정 간격으로 돌출되게 형성되어 있고, 베이스부(41)의 전단부에도 베이스부(41)에 대한 트레이(T)의 전후방향 위치를 결정하기 위한 2개의 전방 위치결정핀(482)이 돌출되게 형성되어 있다. On the upper surface of one side of the base portion 41, two side positioning pins 481 are formed to protrude at predetermined intervals to determine the lateral position of the tray with respect to the base portion 41, and the base portion 41 ), Two front positioning pins 482 for determining the forward and backward positions of the tray T with respect to the base portion 41 are formed to protrude from the front end portion thereof.

상기 베이스부(41)의 하부면에는 전후방향으로 엘엠가이드(421)(LM Guide) 및 이 엘엠가이드(421)를 따라 이동하는 엘엠블럭(422)(LM Block)이 설치된다. 그리고, 상기 엘엠블럭(422)에는 일측변이 굴곡지면서 캠면이 형성된 캠판(43)이 결합된다. 상기 캠판(43)은 그의 캠면에 의해 2개의 대폭부(431)와 2개의 소폭부(432)로 이루어진다. The lower surface of the base portion 41 is provided with an LM guide 421 (LM Guide) and the LM block 422 (LM Block) which moves along the LM guide 421 in the front-rear direction. In addition, one side of the EL block 422 is bent and the cam plate 43 having a cam surface is coupled thereto. The cam plate 43 is composed of two large portions 431 and two small portions 432 by the cam surface thereof.

여기서, 상기 캠판(43)은 베이스부(41) 하부에 설치되는 공압실린더(44)의 작동로드(442)에 결합되어 이 공압실린더(44)의 작용에 의해 상기 엘엠가이드(421)를 따라 전후진 운동하게 된다. Here, the cam plate 43 is coupled to the operation rod 442 of the pneumatic cylinder 44 installed below the base portion 41, and the front and rear along the LM guide 421 by the action of the pneumatic cylinder (44). I'm going to exercise.

또한, 상기 베이스부(41)의 하부에는 일단이 상기 캠판(43)의 굴곡진 캠면에 접촉하고 타단이 베이스부(41)의 일측변 외측으로 튀어나오도록 위치되는 대략 'V' 자형의 회동부재(45)가 2개 설치된다. In addition, the lower portion of the base portion 41, the one end is in contact with the curved cam surface of the cam plate 43, the other end of the approximately 'V' shaped rotating member is positioned so as to protrude to the outside of one side of the base portion 41 Two 45 are provided.

상기 각 회동부재(45)는 절곡된 부위가 회전축(451)에 의해 베이스부(41)에 결합되어 이 회전축(451)을 중심으로 내외측으로 회동하도록 되어 있다. Each of the rotating members 45 is bent portion is coupled to the base portion 41 by the rotation shaft 451 to rotate in and out around the rotation shaft 451.

그리고, 상기 캠판(43)의 캠면과 접촉하는 각 회동부재(45)의 끝단부(이하 '내측단' 이라 함)에는 롤러(452)가 결합되어, 상기 캠판(43)의 이동시 롤러(452)가 캠판(43)의 캠면을 따라 구름 운동하도록 되어 있으며, 베이스부(41)의 외측에 위치하는 회동부재(45)의 다른쪽 끝단부 (이하 '외측단'이라 함)에는 베이스부(41)에 안착되는 트레이(T)의 일측 변부와 접촉할 수 있도록 푸쉬부(453)가 상측으로 돌출되게 형성된다. In addition, a roller 452 is coupled to an end portion (hereinafter referred to as an 'inner end') of each rotating member 45 in contact with the cam surface of the cam plate 43, and the roller 452 moves when the cam plate 43 moves. Is made to roll along the cam surface of the cam plate 43, and the base portion 41 is located at the other end of the rotating member 45 which is located outside the base portion 41 (hereinafter referred to as 'outer end'). The push part 453 is formed to protrude upward so as to be in contact with one side of the tray T which is seated on.

또한, 상기 각 회동부재(45)이 외측단은 인장스프링(455)에 의해 탄성적으로 지지되어 회동부재(45)가 베이스부(41)의 내측으로 회동하려는 힘을 받도록 되어 있다.In addition, the outer end of each of the rotating members 45 is elastically supported by the tension spring 455 so that the rotating member 45 receives a force to rotate to the inside of the base portion 41.

한편, 상기 베이스부(41)의 후방부 하부에는 후방측 공압실린더(46) 및 이 후방측 공압실린더(46)에 결합되어 전후진 이동하면서 트레이(T)의 후단부를 전방으로 밀어내는 푸쉬블럭(47)이 설치된다. On the other hand, the lower portion of the rear portion of the base portion 41 is coupled to the rear pneumatic cylinder 46 and the rear pneumatic cylinder 46 and pushes the rear end of the tray (T) forward while moving forward and backward ( 47) is installed.

상기와 같이 구성된 트레이 정렬장치는 다음과 같이 작동한다. The tray aligning device configured as described above operates as follows.

트레이 이송장치(9)(도 1참조)가 엘리베이터 베이스부(41) 상에 트레이(T)를 안착시키면, 공압실린더(44)의 작동로드(442)가 공압실린더(44) 내로 수축하면서 캠판(43)이 전진하게 된다. When the tray feeder 9 (see FIG. 1) seats the tray T on the elevator base portion 41, the cam plate (while the operating rod 442 of the pneumatic cylinder 44 contracts into the pneumatic cylinder 44). 43) go forward.

이에 따라 캠판(43)의 대폭부(431)와 접촉하고 있던 각 회동부재(45)의 롤러(452)가 캠판(43)의 변부를 따라 구름 운동하면서 캠판(43)의 소폭부(432)와 접촉하게 되고, 이와 동시에 회동부재(45)가 회전축(451)을 중심으로 내측으로 회동하면서 그의 타단부에 위치한 푸쉬부(453)가 트레이(T)의 일측변부와 접촉하여 트레이(T)를 측방 위치결정핀(481) 쪽으로 밀어내게 된다. As a result, the roller 452 of each of the rotating members 45 in contact with the wider portion 431 of the cam plate 43 rolls along the edge of the cam plate 43 while the narrow portion 432 of the cam plate 43 At the same time, while the rotating member 45 rotates inward about the rotation shaft 451, the push part 453 located at the other end thereof contacts the one side edge of the tray T to open the tray T. It pushes toward the side positioning pin 481.

상기 회동부재(45)의 푸쉬부(453)에 의해 밀려지는 트레이(T)는 다른 일측변부가 상기 측방 위치결정핀(481)에 밀착되면서 측방향 위치가 정렬된다. The tray T pushed by the push part 453 of the rotation member 45 has its other side edged in close contact with the lateral positioning pin 481 so that the lateral position is aligned.

이어서, 상기 후방측 공압실린더(46)의 작동에 의해 푸쉬블럭(47)이 전진하면서 트레이(T)의 후단부를 전방으로 밀게 되고, 트레이(T)의 전단부가 전방 위치결정핀(482)에 접촉되면서 트레이(T)의 전방 위치가 정렬된다. Subsequently, the rear block of the tray T is pushed forward while the push block 47 moves forward by the operation of the rear pneumatic cylinder 46, and the front end of the tray T contacts the front positioning pin 482. While the front position of the tray T is aligned.

이와 같이 트레이(T)가 베이스부(41) 상면에서 위치 정렬되면, 베이스부(41)가 상승하여 로딩위치(2)(도 1참조) 또는 언로딩위치(3)(도 1참조)의 정확한 위치에 트레이(T)가 놓여지게 된다. When the tray T is aligned in the upper surface of the base portion 41 in this manner, the base portion 41 is raised so that the correct position of the loading position 2 (see FIG. 1) or the unloading position 3 (see FIG. 1) is achieved. The tray T is placed in position.

상기 트레이(T)의 정렬 상태를 해제하고자 할 경우에는 상기와 같은 정렬장치의 정렬 작동을 역으로 행하면 된다. 즉, 해제 작동시에는 후방측 공압실린더(46)의 작동에 의해 푸쉬블럭(47)이 후진하면서 트레이(T)의 후단부의 고정 상태가 해제되고, 이와 동시에 공압실린더(44)의 작동로드(442)가 후방으로 연장되면서 캠판(43)이 후진하여 회동부재(45)의 내측단의 롤러(452)가 캠판(43)의 캠면을 따라 대폭부(431) 쪽으로 이동하게 되고, 이에 따라 회동부재(45)가 외측으로 회동하여 푸쉬부(453)와 트레이(T) 간의 접촉 상태가 해제된다. In order to release the alignment state of the tray T, the alignment operation of the alignment device as described above may be reversed. That is, during the release operation, the rear block of the tray T is released while the push block 47 moves backward by the operation of the rear pneumatic cylinder 46, and at the same time, the operation rod 442 of the pneumatic cylinder 44 is released. As the cam plate 43 extends backward, the roller 452 at the inner end of the rotating member 45 moves toward the wider portion 431 along the cam surface of the cam plate 43, thereby rotating the cam member 43. 45 rotates to the outside, and the contact state between the push portion 453 and the tray T is released.

한편, 전술한 실시예에서는 회동부재(45)가 캠판(43)의 굴곡진 캠면을 따라 이동하면서 회동하는 것으로 설명하였으나, 이와 다르게 캠판(43)에 상기 캠면과 동일하거나 유사한 비선형 궤적을 갖는 캠홈을 형성하고, 상기 회동부재(45)의 끝단부가 상기 캠홈 내측으로 삽입되도록 구성하여, 캠판의 직선 운동시 회동부재의 끝단부가 캠홈을 따라 이동하면서 일정량 회전하도록 구성할 수도 있을 것이다. Meanwhile, in the above-described embodiment, the rotating member 45 is rotated while moving along the curved cam surface of the cam plate 43. Alternatively, the cam plate 43 has a cam groove having the same or similar nonlinear trajectory as the cam surface. And the end of the pivot member 45 is inserted into the cam groove, so that the end portion of the pivot member moves along the cam groove and rotates by a predetermined amount during the linear movement of the cam plate.

또한, 전술한 실시예에서 상기 베이스부(41)에 대한 트레이(T)의 전후방향 정렬을 위해 단순히 공압실린더(44)와 푸쉬블럭(47)을 구성하고 있으나, 이와 다르게 전후방향 정렬을 위해서 상기 캠판(43)과 회동부재(45) 등과 유사한 정렬장치들을 구성하여 줄 수도 있을 것이다. In addition, in the above-described embodiment, the pneumatic cylinder 44 and the push block 47 are simply configured to align the front and rear directions of the tray T with respect to the base portion 41. Alignment devices similar to the cam plate 43 and the rotating member 45 may be configured.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 트레이를 위치결정핀에 대해 일측방향으로 밀어줄 때 공압실린더의 힘을 트레이에 직접 가하지 않고 캠과 회동부재의 운동을 통해서 공압실린더의 힘을 트레이에 부드럽게 전달해주므로, 트레이 정렬 과정에서 트레이 상의 반도체 소자들이 충격에 의해 뒤집어지거나 위치 이탈하는 현상이 없어지게 되고, 이에 따른 에러 발생이 줄어들어 테스트 효율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, when the tray is pushed in one direction with respect to the positioning pin, the force of the pneumatic cylinder is smoothly transmitted to the tray through the movement of the cam and the rotating member without directly applying the force of the pneumatic cylinder to the tray. In the tray alignment process, the semiconductor devices on the tray may be turned upside down or moved out of position by an impact, and thus, an error may be reduced, thereby improving test efficiency.

도 1은 종래의 반도체 소자 테스트 핸들러의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 정면도1 is a front view schematically showing an example of the configuration of a conventional semiconductor device test handler;

도 2는 본 발명에 따른 트레이 정렬장치의 구성을 나타내는 엘리베이터의 저면 사시도Figure 2 is a bottom perspective view of the elevator showing the configuration of the tray alignment apparatus according to the present invention

도 3은 도 2의 트레이 정렬장치의 구성을 나타내는 엘리베이터의 저면도3 is a bottom view of an elevator showing the configuration of the tray aligning device of FIG.

도 4는 도 2의 트레이 정렬장치의 구성을 나타내는 엘리베이터의 정면도4 is a front view of an elevator showing the configuration of the tray alignment device of FIG.

도 5는 도 2의 트레이 정렬장치의 회동부재를 나타낸 사시도5 is a perspective view showing a rotating member of the tray aligning apparatus of FIG.

도 6은 도 2의 트레이 정렬장치의 작동을 보이기 위해 엘리베이터의 베이스판을 제거하여 나타낸 저면도FIG. 6 is a bottom view of the elevator base plate removed to show the operation of the tray alignment device of FIG. 2; FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

41 : 베이스부 42 : 엘엠가이드(LM Guide)41: base portion 42: LM Guide

43 : 캠판 44 : 공압실린더43: cam plate 44: pneumatic cylinder

45 : 회동부재 451 : 회전축45: rotating member 451: rotating shaft

452 : 롤러 453 : 푸쉬부452: roller 453: push section

455 : 인장스프링 46 : 후방측 공압실린더455: tension spring 46: rear pneumatic cylinder

47 : 푸쉬블럭 481, 482 : 위치결정핀47: push block 481, 482: positioning pin

Claims (14)

트레이가 안착되는 베이스부와;A base part on which the tray is seated; 상기 베이스부의 일측부에 상측으로 돌출되게 형성되어 트레이의 위치를 결정하는 위치결정부와;A positioning unit protruding upward from one side of the base unit to determine a position of the tray; 상기 베이스부의 저면에 직선 왕복 운동하도록 설치된 직선운동유닛과; A linear motion unit installed to linearly reciprocate on a bottom of the base part; 상기 직선운동유닛의 일측에 회전축을 중심으로 회동가능하게 설치되고, 일단부가 상기 베이스부의 일측면 외측부에 위치되어, 상기 직선운동유닛의 직선 운동에 의해 회전축을 중심으로 회동하면서 그 일단부가 트레이의 일측면부를 위치결정부 쪽으로 밀어내는 트레이 푸쉬유닛을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.One end of the tray is rotatably installed on one side of the linear movement unit, one end of which is positioned on an outer side of one side of the base portion, and one end of the tray rotates about the rotation axis by the linear movement of the linear movement unit. A tray alignment device of a semiconductor device test handler including a tray push unit for pushing a side part toward a positioning part. 제 1항에 있어서, 상기 직선운동유닛은, According to claim 1, wherein the linear motion unit, 상기 베이스부에 설치된 가이드부재와; A guide member installed at the base portion; 상기 가이드부재를 따라 이동하도록 설치되고, 일측변부에 굴곡진 캠면이 형성되어 상기 트레이 푸쉬유닛의 일단부와 접촉하는 캠판과;A cam plate installed to move along the guide member, the cam plate having a curved cam surface at one side thereof and contacting one end of the tray push unit; 상기 캠판을 직선 왕복 운동시키기 위한 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.And a drive unit for linearly reciprocating the cam plate. 제 2항에 있어서, 상기 트레이 푸쉬유닛은, 일단부가 상기 캠판의 캠면에 연접하고 상기 회전축을 중심으로 회동가능하도록 설치되는 회동부재와, 상기 회동부재의 타단부에 상측으로 연장되게 형성되어 트레이의 일측면부와 접촉하게 되는 푸쉬부와, 상기 회동부재를 탄성적으로 지지하는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.According to claim 2, wherein the tray push unit, the rotating member is provided so that one end is connected to the cam surface of the cam plate and rotatable about the rotation axis, and the other end of the rotating member is formed to extend upwards of the tray And a push unit in contact with one side portion, and an elastic member for elastically supporting the pivot member. 제 3항에 있어서, 상기 회동부재는 중앙의 절곡된 부분이 베이스부에 회전축을 매개로 결합된 'V'자형의 바아형태로 이루어진 것을 특징으로 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.The tray alignment device of claim 3, wherein the pivot member has a “V” shaped bar having a centrally bent portion coupled to a base portion via a rotation axis. 제 3항에 있어서, 상기 탄성부재는 인장스프링인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.4. The tray alignment device of claim 3, wherein the elastic member is a tension spring. 제 3항에 있어서, 상기 회동부재의 일단부에 회동가능하게 설치되어 상기 캠판의 캠면을 따라 구름이동하도록 된 롤러를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.4. The tray alignment device of claim 3, further comprising a roller rotatably installed at one end of the pivot member to roll along the cam surface of the cam plate. 제 1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 캠판의 일측과 결합되어 캠판을 이동시키는 공압실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.The tray alignment device of claim 1, wherein the driving unit comprises a pneumatic cylinder coupled to one side of the cam plate to move the cam plate. 제 1항에 있어서, 상기 직선운동유닛은, According to claim 1, wherein the linear motion unit, 상기 베이스부에 설치된 가이드부재와; A guide member installed at the base portion; 상기 가이드부재를 따라 이동하도록 설치되고, 상기 트레이 푸쉬유닛의 일단부가 이동하도록 길이방향을 따라 굴곡진 비선형 캠홈이 형성된 캠판과;A cam plate installed to move along the guide member, the cam plate having a non-linear cam groove bent along a longitudinal direction to move one end of the tray push unit; 상기 캠판을 직선 왕복 운동시키기 위한 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.And a drive unit for linearly reciprocating the cam plate. 제 8항에 있어서, 상기 트레이 푸쉬유닛은, 일단부가 상기 캠홈 내측에 삽입되고 회전축을 중심으로 회동가능하도록 설치되는 회동부재와, 상기 회동부재의 타단부에 상측으로 연장되게 형성되어 트레이의 일측면부와 접촉하게 되는 푸쉬부와, 상기 회동부재를 탄성적으로 지지하는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.[Claim 10] The tray push unit of claim 8, wherein one end portion of the tray is formed so that one end portion is inserted into the cam groove and installed to be rotatable about a rotating shaft, and extends upwardly at the other end of the rotation member. And a push unit which is brought into contact with an elastic member, and an elastic member that elastically supports the pivot member. 제 9항에 있어서, 상기 회동부재의 일단부에 회동가능하게 설치되어 상기 캠판의 캠홈을 따라 구름이동하도록 된 롤러를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.10. The tray alignment apparatus of claim 9, further comprising a roller rotatably installed at one end of the pivot member to roll along the cam groove of the cam plate. 제 8항에 있어서, 상기 구동부는 상기 캠판의 일측과 결합된 공압실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.The tray alignment device of claim 8, wherein the driving unit comprises a pneumatic cylinder coupled to one side of the cam plate. 제 1항에 있어서, 상기 베이스부에 안착된 트레이를 상기 위치결정부가 형성된 방향과 수직한 방향으로 이동시켜 이 방향에 대한 트레이 위치를 정렬하는 제 2정렬수단을 더 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.2. The semiconductor device test handler as claimed in claim 1, further comprising a second alignment means for moving the tray seated on the base portion in a direction perpendicular to the direction in which the positioning portion is formed to align the tray position with respect to this direction. Tray Aligner. 제 12항에 있어서, 상기 제 2정렬수단은 상기 베이스부에 안착된 트레이를 전방으로 이동시키는 제 2트레이 푸쉬유닛과;13. The apparatus of claim 12, wherein the second alignment means comprises: a second tray push unit for moving the tray seated in the base portion forward; 상기 베이스부의 전단부에 상측으로 돌출되게 형성되어 트레이의 전단부와 접촉하게 되는 제 2 위치결정부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.And a second positioning part protruding upward from the front end of the base part to be in contact with the front end of the tray. 제 13항에 있어서, 상기 제 2트레이 푸쉬유닛은 베이스부의 후방부 저면에 고정된 공압실린더와, 상기 공압실린더의 로드 끝단에 상측으로 돌출되게 설치되어 트레이의 후단부를 밀어내는 푸쉬블럭으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치.The method of claim 13, wherein the second tray push unit comprises a pneumatic cylinder fixed to the bottom surface of the rear of the base portion, and a push block protruding upward from the rod end of the pneumatic cylinder to push the rear end of the tray. A tray alignment device for a semiconductor device test handler.
KR10-2004-0014281A 2004-03-03 2004-03-03 Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler KR100528707B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2004-0014281A KR100528707B1 (en) 2004-03-03 2004-03-03 Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2004-0014281A KR100528707B1 (en) 2004-03-03 2004-03-03 Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050089110A KR20050089110A (en) 2005-09-07
KR100528707B1 true KR100528707B1 (en) 2005-11-15

Family

ID=37271587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2004-0014281A KR100528707B1 (en) 2004-03-03 2004-03-03 Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100528707B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101222122B1 (en) * 2010-06-18 2013-01-31 엘아이지에이디피 주식회사 Substrate Align Device
KR101316893B1 (en) 2011-05-17 2013-10-11 에버테크노 주식회사 Tray Aligner

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100550957B1 (en) * 2004-11-02 2006-02-13 주식회사 유니테스트 Tray orientation device
KR100906975B1 (en) * 2007-10-25 2009-07-08 미래산업 주식회사 Position Revision Apparatus of Customer-tray, Handler include the same, and Method of Manufacturing Semiconductor using the same
KR101040351B1 (en) * 2009-10-01 2011-06-13 (주)와이티에스 Centering apparatus of glass

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101222122B1 (en) * 2010-06-18 2013-01-31 엘아이지에이디피 주식회사 Substrate Align Device
KR101316893B1 (en) 2011-05-17 2013-10-11 에버테크노 주식회사 Tray Aligner

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050089110A (en) 2005-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4290732A (en) Apparatus for carrying and placing components
US20030188997A1 (en) Semiconductor inspection system and method
JP3567803B2 (en) IC device test equipment
TWI698386B (en) Electronic parts conveying device and electronic parts inspection device
KR100528707B1 (en) Apparatus for Aligning Tray in Semiconductor Test Handler
KR20090075622A (en) Inspecting Apparatus for inspecting Semiconductor Chip and method thereof
US4802816A (en) Pick and place machine having improved centering jaws
US6776643B2 (en) Socket for electronic element
JPH1114957A (en) Inspection device for liquid crystal panel
US7458761B2 (en) Apparatus and method for flipping electronic components
KR101308650B1 (en) A moving materials arranged devices
KR100297393B1 (en) device for alignment of loading and unloading picker in sorting handler for burn-in tester
JPH06278857A (en) Transport device
TWI728716B (en) Operating device with correction unit and operating equipment using the same
JP4745536B2 (en) Display substrate transfer device
KR100528706B1 (en) Tray Transfer for Semi-conductor Test Handler
JP2002160187A (en) Holding device, conveying device, ic inspection device, holding method, conveying method and ic inspection method
JP6116088B2 (en) End effector device and plate member positioning method using the end effector device
JPH11233555A (en) Bump bonding device
KR20060062244A (en) Carrier module for semiconductor test handler
TWI718851B (en) Operating equipment and carrying device thereof
KR100352609B1 (en) Contact device for tester handler
US6468023B1 (en) Apparatus and method for inverting an IC device
TWI728663B (en) Operating device and operating equipment using the same
TWI766335B (en) Alignment platform and electronic component transmission apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121106

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131104

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141103

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151104

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161109

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171020

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191104

Year of fee payment: 15